JP5142144B2 - プリント配線板の製造方法 - Google Patents
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Description
多層積層板の最外層の銅または銅合金表面にレーザー光を照射してビアを形成するプリント配線板の製造方法において、
レーザー光照射後に前記最外層の銅または銅合金表面に、スプレー処理におけるエッチング速度/ディップ処理におけるエッチング速度の比が3〜5であるエッチング液であって、硫酸および過酸化水素を含むエッチング液をスプレー処理で接触させることを特徴とする。
前記プリント配線板の製造方法においては、前記エッチング液が、脂肪族又は脂環式アミン、アルコール、テトラゾール化合物、非イオン界面活性剤から選ばれた少なくとも1種を更に含んでいることが好ましい。
また、前記プリント配線板の製造方法においては、エッチング液の溶媒が水であることが好ましい。
基板1としては、例えばガラス繊維強化エポキシ樹脂含浸基板(ガラスエポキシ基板)、アラミド繊維強化エポキシ樹脂含浸基板(アラミドエポキシ基板)などの樹脂を含む基板(樹脂基板)などが挙げられる。
本発明で使用されるレーザーは、加工効率やコスト面から炭酸ガスレーザーが特に適している。
上記炭酸ガスレーザー加工後(例えば図3(e)の工程後)に、図1で示すようにエッチング液21のスプレー処理で銅の飛散り物22を除去する。
ビア開口部周辺の多層積層板表面側の銅箔表面の飛散り物は表面に物理的に付着しているので、横方向のエッチングを優先するエッチング液、または横方向と縦方向のエッチング性に差のないエッチング液を使用した場合に除去しやすい傾向にある。
飛散り物除去のためにビア付近の多層積層板表面側の銅層7表面側からスプレーでエッチング処理を行った場合に、ビア内部、および外部のエッチング液の状態は図1のようになっていると考えられる。
好ましくは、スプレー処理におけるエッチング速度/ディップ処理におけるエッチング速度の比が3.5〜4であることが望ましい。
エッチング速度の比が3以上であればビア底部に位置する銅層2(2´)や多層積層板表面側の銅層7表面を過剰にエッチングすることなく飛び散りを除去することができる。
一方、エッチング速度の比が5以下であれば、縦方向のエッチング速度が速すぎて、飛び散りを除去する前に銅層2(2´)や多層積層板表面側の銅層7表面が過剰にエッチングされるということがない。
さらに、スプレー処理におけるエッチング速度は、2μm〜8μmであることが望ましい。
スプレー処理におけるエッチング速度がこの範囲であれば、縦方向と横方向へのエッチング速度のバランスを保ち、ビア底部に位置する銅層2(2´)や多層積層板表面側の銅層7表面を過剰にエッチングすることなく飛び散りを除去することができるので好ましい。
尚、本発明における各エッチング速度は、スプレー処理においては、液温度25℃、スプレー圧0.1MPaの条件で、ディップ処理においては、液温度25℃の条件で、電解銅箔を5μmエッチングするまでエッチングした時の速度をそれぞれいう。
さらに、脂肪族アミンとしては炭素数が1〜12の脂肪族アミンが好ましく、脂肪族アミンの具体例としては、トリ−n−ブチルアミン、エチレンジアミン、2−エチルヘキシルアミンなどが挙げられる。
脂環式アミンの具体例としては、シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミンなどが挙げられる。
アルコールの具体例としては、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコールなどが挙げられる。
テトラゾール化合物の具体例としては、1H−テトラゾール、5H‐メチル‐1H‐テトラゾール、5‐フェニル‐1H‐テトラゾール、5‐メルカプト‐1H‐テトラゾール、1‐メチル‐5‐エチル‐1H‐テトラゾールなどが挙げられる。
非イオン界面活性剤の具体例としては、プロピレンジグリセリルエーテル、ポリエチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルなどが挙げられる。
これらの添加剤を添加することで、銅の飛び散りを確実に除去することができる本願発明のエッチング液のようなエッチング速度およびエッチング速度の比の液にすることが容易にできる。
これらの添加剤は、1種類または2種類以上を適宜選択して使用することができる。特に、脂環式アミンとテトラゾール化合物を併用すると、飛び散り除去性にすぐれたエッチング液になる。
これらの添加剤の使用量は、特に限定するものではないが液の全量に対して0.001〜2wt%が好ましく、0.01〜0.5wt%の範囲がより好ましい。
周波数(Hz):1000
ショット数:1/1 (上記出力、周波数を1回ずつ採用)
パルス幅(μs):36/10
表1に示す実施例1〜12、比較例1〜4および比較例6〜8の各液を小型スプレー機に入れて上記ビアを形成した各試験基板を5μmエッチング(重量法)できるようにエッチングを行った。
2 銅層
2´ 内層配線回路
3 銅張積層板
4 レジストパターン
5 内層配線基板
6 絶縁層(プリプレグ層)
7 銅箔
20 レーザー
21 スプレーされているエッチング液
22 銅の飛散り物
23 ビア内部
Claims (2)
- 多層積層板の最外層の銅または銅合金表面にレーザー光を照射してビアを形成するプリント配線板の製造方法において、
レーザー光照射後に前記最外層の銅または銅合金表面に、スプレー処理におけるエッチング速度/ディップ処理におけるエッチング速度の比が3〜5であるエッチング液であって、硫酸3wt%〜25wt%、過酸化水素1wt%〜15wt%および添加剤0.001〜2wt%を含むエッチング液をスプレー処理で接触させる工程を有し、
前記スプレー処理におけるエッチング速度は、温度25℃の前記エッチング液を用いて、スプレー圧0.1MPaの条件で、電解銅箔を5μmエッチングするまでエッチングした時の速度であり、
前記ディップ処理におけるエッチング速度は、温度25℃の前記エッチング液を用いて、電解銅箔を5μmエッチングするまでエッチングした時の速度であり、
前記エッチング液は、前記添加剤として、脂肪族又は脂環式アミンとテトラゾール化合物とを含むことを特徴とするプリント配線板の製造方法。 - 前記エッチング液のスプレー処理におけるエッチング速度が2μm/min〜8μm/minである請求項1記載のプリント配線板の製造方法。
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