JP5136027B2 - 水晶振動片及び水晶振動片の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧電デバイスなどに用いられる水晶振動片及び水晶振動片の製造方法に関する。

近年、情報機器、移動体通信機器などの様々な電子機器に用いられる圧電デバイスには、電子機器の小型、高機能化に伴い、更なる小型、高性能化が要求されている。
この要求に応えるために、圧電デバイスを構成する各部品の小型、高性能化が図られ、水晶振動片においては、小型、高周波数化が推進されている。
この小型、高周波数化された水晶振動片については、主面に凹部を設け、凹部の底面を振動部とした形状のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。なお、この水晶振動片は、逆メサ型と呼ばれ、凹部がエッチングにより形成されている。

特開２００２−３７４１３５号公報

上記逆メサ型水晶振動片（以下、水晶振動片という）を更に小型、高周波数化し、且つ安定した振動を得るためには外形サイズに対する振動部（底面）の面積を極力大きくする必要がある。
しかしながら、水晶振動片は、水晶基板の結晶軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）方向によってエッチングの速度が異なるエッチング異方性を有する。
これにより、水晶振動片の凹部は、凹部を形成する側壁が主面側の端を起点にして、底面に向かうにつれて底面の面積を狭める側に傾斜して形成される。この側壁の傾斜の度合いは、水晶基板の結晶軸に対する側壁の方向によって異なる。例えば、ＡＴカット水晶基板の場合は、Ｘ軸を中心にＺ軸を約３５°回転したＺ’軸方向と略直交する側壁の一方が、なだらかに傾斜して形成される。
また、水晶振動片は、水晶振動片として必要な強度に見合った凹部周囲の厚みの確保と、高周波数化に伴う振動部の薄型化との両立から、主面と凹部の底面との段差が大きくなっており、側壁における主面から底面までの長さが長くなっている。
これらにより、凹部の底面に形成される振動部の面積は、エッチング量が多くなるに従い、側壁がなだらかに傾斜して形成されることで狭められ、凹部の主面における開口面積より小さくなる。このことから、限られた大きさの水晶振動片では、振動部の面積が充分に確保できないという問題がある。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある実施形態に係る水晶振動片は、水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸、機械軸としてのＹ軸、及び光学軸としてのＺ軸、のうち前記Ｘ軸を回転軸として、＋Ｚ側を−Ｙ方向へ回転するように前記Ｚ軸を傾けた軸をＺ’軸とし、＋Ｙ側を＋Ｚ方向へ回転するように前記Ｙ軸を傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸と前記Ｚ’軸に平行な面を主面とし、前記Ｙ’軸に平行な方向を厚みとするＡＴカット水晶基板の一方の主面側に、エッチングにより開口部が矩形状である凹部が設けられ、前記凹部の底面に振動部を含み、前記底面の周囲を囲んでいる側壁を有する枠部が外形に沿って設けられ、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側、又はプラス側を向いており、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、前記枠部が、前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第１の辺部と、前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第４の辺部と、前記底面を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第１の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第４の辺部に接続されている第２の辺部及び第３の辺部と、を含み、前記枠部の前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部の少なくともいずれかの前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄く、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、前記枠部が、前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第一の辺部と、前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第四の辺部と、前記底面を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第一の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第四の辺部に接続されている第二の辺部及び第三の辺部と、を含み、前記枠部の前記第一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第二の辺部、前記第三の辺部及び前記第四の辺部の少なくともいずれかの前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄いことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片は、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第４の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄く、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、前記第一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第四の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄いことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片は、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第２の辺部及び第３の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄く、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、前記第一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第二の辺部及び第三の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄いことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の製造方法は、水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸、機械軸としてのＹ軸、及び光学軸としてのＺ軸、のうち前記Ｘ軸を回転軸として、＋Ｚ側を−Ｙ方向へ回転するように前記Ｚ軸を傾けた軸をＺ’軸とし、＋Ｙ側を＋Ｚ方向へ回転するように前記Ｙ軸を傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸と前記Ｚ’軸に平行な面を主面とし、前記Ｙ’軸に平行な方向を厚みとするＡＴカット水晶基板の一方の主面側に、エッチングにより開口部が矩形状である凹部が設けられ、前記凹部の底面に振動部を含み、前記底面の周囲を囲んでいる側壁を有する枠部が外形に沿って設けられ、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側、又はプラス側を向いており、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、前記枠部が、前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第１の辺部と、前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第４の辺部と、前記底面を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第１の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第４の辺部に接続されている第２の辺部及び第３の辺部と、を含み、前記枠部の前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部の少なくともいずれかの前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄く、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、前記枠部が、前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第一の辺部と、前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第四の辺部と、前記底面を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第一の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第四の辺部に接続されている第二の辺部及び第三の辺部と、を含み、前記枠部の前記第一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第二の辺部、前記第三の辺部及び前記第四の辺部の少なくともいずれかの前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄い水晶振動片の製造方法であって、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、前記一方の主面の前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部の少なくともいずれかが形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして薄くする第１のエッチング工程と、前記第１のエッチング工程後、前記一方の主面の前記第１の辺部、前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部が形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして前記一方の主面に、底面に振動部を含むように凹部を形成する第２のエッチング工程と、を含み、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、前記一方の主面の前記第二の辺部、前記第三の辺部及び前記第四の辺部の少なくともいずれかが形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして薄くする第１エッチング工程と、前記第１エッチング工程後、前記一方の主面の前記第一の辺部、前記第二の辺部、前記第三の辺部及び前記第四の辺部が形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして前記一方の主面に、底面に振動部を含むように凹部を形成する第２エッチング工程と、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の製造方法は、水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸、機械軸としてのＹ軸、及び光学軸としてのＺ軸、のうち前記Ｘ軸を回転軸として、＋Ｚ側を−Ｙ方向へ回転するように前記Ｚ軸を傾けた軸をＺ’軸とし、＋Ｙ側を＋Ｚ方向へ回転するように前記Ｙ軸を傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸と前記Ｚ’軸に平行な面を主面とし、前記Ｙ’軸に平行な方向を厚みとするＡＴカット水晶基板の一方の主面側の一部に、エッチングによりＹ’軸方向の厚みが薄い薄肉部が形成され、前記薄肉部の他方の主面側に、エッチングにより開口部が矩形状の凹部が設けられ、前記凹部の底面に振動部を含み、前記底面の周囲を囲んでいる枠部が前記ＡＴカット水晶基板の外形に沿って設けられ、前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側、又はプラス側を向いており、前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、前記枠部が、前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第１の辺部と、前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第４の辺部と、前記底面を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第１の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第４の辺部に接続されている第２の辺部及び第３の辺部と、を含み、前記枠部の前記第１の辺部の前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部の少なくともいずれかの前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みと同等に設けられているとともに、前記一方の主面側の前記Ｙ’軸方向の厚みが厚い厚肉部が、平面視において、前記第１の辺部、または、前記第２の辺部及び第３の辺部と重なるように設けられ、前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、前記枠部が、前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第一の辺部と、前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第四の辺部と、前記振動部を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第一の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第四の辺部に接続されている第二の辺部及び第三の辺部と、を含み、前記枠部の前記第一の辺部の前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第二の辺部、前記第三の辺部及び前記第四の辺部の少なくともいずれかの前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みと同等に設けられているとともに、前記一方の主面側の前記Ｙ’軸方向の厚みが厚い厚肉部が、平面視において、前記第一の辺部、または、前記第二の辺部及び第三の辺部と重なるように設けられている水晶振動片の製造方法であって、前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、前記一方の主面の、平面視において、前記他方の主面の前記第１の辺部が形成される領域、または、前記第２の辺部及び第３の辺部が形成される領域と重なる領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして、前記一方の主面側に、前記薄肉部を形成する第１のエッチング工程と、前記他方の主面の、前記第１の辺部、前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部が形成される領域をマスクし、前記他方の主面をエッチングして、前記他方の主面に、底面に振動部を含むように凹部を形成する第２のエッチング工程と、を含み、前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、前記一方の主面の、平面視において、前記他方の主面の前記一の辺部が形成される領域、または、前記二の辺部及び三の辺部が形成される領域と重なる領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして、前記一方の主面側に、前記薄肉部を形成する第１エッチング工程と、前記他方の主面の、前記一の辺部、前記第二の辺部、前記第３の辺部及び前記第四の辺部が形成される領域をマスクし、前記他方の主面をエッチングして、前記他方の主面に、底面に振動部を含むように凹部を形成する第２エッチング工程と、を含むことを特徴とする。

［適用例１］本適用例にかかる水晶振動片は、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸により規定されるＡＴカット水晶基板の一方の主面に、エッチングにより矩形状の凹部が形成され、前記凹部の底面を振動部とし、前記振動部の周囲を囲む側壁を有する枠部が前記ＡＴカット水晶基板の外形に沿って形成されている水晶振動片であって、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、前記枠部が、前記振動部より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された第１の辺部と、前記振動部より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された第４の辺部と、前記振動部を挟んで対向するように前記Ｚ’軸方向に沿って形成され、それぞれ一端が前記第１の辺部に接続され他端が前記第４の辺部に接続された第２の辺部及び第３の辺部と、を含んで構成され、前記枠部の前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、少なくとも他の３つの前記辺部のいずれか１つの前記Ｙ’軸方向の厚みより薄く形成され、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、前記枠部が、前記振動部より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された一の辺部と、前記振動部より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された四の辺部と、前記振動部を挟んで対向するように前記Ｚ’軸方向に沿って形成され、それぞれ一端が前記一の辺部に接続され他端が前記四の辺部に接続された二の辺部及び三の辺部と、を含んで構成され、前記枠部の前記一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、少なくとも他の３つの前記辺部のいずれか１つの前記Ｙ’軸方向の厚みより薄く形成されていることを特徴とする。

このような構成によれば、水晶振動片は、ＡＴカット水晶基板の一方の主面に、エッチングにより凹部の底面を振動部とし、振動部の周囲を囲む側壁を有する枠部が形成されている。そして、一方の主面が、Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、枠部の第１の辺部のＹ’軸方向の厚みが、少なくとも他の３つの辺部のいずれか１つのＹ’軸方向の厚みより薄く形成されている。
これにより、水晶振動片は、ＡＴカット水晶基板のエッチング異方性により凹部に形成される側壁の傾斜がなだらかな第１の辺部が、他の３つの辺部のいずれか１つより薄い。
このことから、水晶振動片は、第１の辺部の傾斜がなだらかな側壁の一方の主面側から底面までの長さが短くなり、凹部の底面の面積を狭める量を少なくできる。
これにより、水晶振動片は、限られた大きさの中で振動部の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片は、外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部を形成できる。

また、水晶振動片は、一方の主面が、Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、枠部の一の辺部のＹ’軸方向の厚みが、他の３つの辺部のいずれか１つのＹ’軸方向の厚みより薄く形成されている。
これにより、水晶振動片は、凹部に形成される側壁の傾斜がなだらかな一の辺部が、他の３つの辺部のいずれか１つより薄い。
このことから、水晶振動片は、一の辺部の傾斜がなだらかな側壁の、一方の主面側から底面までの長さが短くなり、凹部の底面の面積を狭める量を少なくできる。
これにより、水晶振動片は、限られた大きさの中で振動部の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片は、外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部を形成できる。

［適用例２］上記適用例にかかる水晶振動片は、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第４の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みより薄く形成され、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、前記一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記四の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みより薄く形成されていることが好ましい。

このような構成によれば、水晶振動片は、一方の主面が、Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、第１の辺部のＹ’軸方向の厚みが、第４の辺部のＹ’軸方向の厚みより薄く形成される。
これにより、水晶振動片は、第４の辺部のＹ’軸方向の厚みが、第１の辺部のＹ’軸方向の厚みより厚く形成されることから、第４の辺部を固定部として、例えば、パッケージなどの外部部材の水晶振動片支持部に固定できる。

また、水晶振動片は、一方の主面が、Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、一の辺部のＹ’軸方向の厚みが、四の辺部のＹ’軸方向の厚みより薄く形成される。
これにより、水晶振動片は、四の辺部のＹ’軸方向の厚みが、一の辺部のＹ’軸方向の厚みより厚く形成されることから、四の辺部を固定部として、例えば、パッケージなどの外部部材の水晶振動片支持部に固定できる。

［適用例３］上記適用例にかかる水晶振動片は、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第２の辺部及び第３の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みより薄く形成され、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、前記一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記二の辺部及び三の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みより薄く形成されていることが好ましい。

このような構成によれば、水晶振動片は、一方の主面が、Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、第１の辺部のＹ’軸方向の厚みが、第２の辺部及び第３の辺部のＹ’軸方向の厚みより薄く形成される。
これにより、水晶振動片は、第２の辺部及び第３の辺部のＹ’軸方向の厚みが、第１の辺部のＹ’軸方向の厚みより厚く形成されることから、第２の辺部及び第３の辺部を固定部として、例えば、パッケージなどの外部部材の水晶振動片支持部に固定できる。

また、水晶振動片は、一方の主面が、Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、一の辺部のＹ’軸方向の厚みが、二の辺部及び三の辺部のＹ’軸方向の厚みより薄く形成される。
これにより、水晶振動片は、二の辺部及び三の辺部のＹ’軸方向の厚みが、一の辺部のＹ’軸方向の厚みより厚く形成されることから、二の辺部及び三の辺部を固定部として、例えば、パッケージなどの外部部材の水晶振動片支持部に固定できる。

［適用例４］本適用例にかかる水晶振動片は、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸により規定されるＡＴカット水晶基板の一方の主面側の一部に、エッチングによりＹ’軸方向の厚みが薄い薄肉部が形成され、前記薄肉部の他方の主面側に、エッチングにより矩形状の凹部が形成され、前記凹部の底面を振動部とし、前記振動部の周囲を囲む側壁を有する枠部が前記ＡＴカット水晶基板の外形に沿って形成されている水晶振動片であって、前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、前記枠部が、前記振動部より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された第１の辺部と、前記振動部より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された第４の辺部と、前記振動部を挟んで対向するように前記Ｚ’軸方向に沿って形成され、それぞれ一端が前記第１の辺部に接続され他端が前記第４の辺部に接続された第２の辺部及び第３の辺部と、を含んで構成され、前記枠部の前記第１の辺部の前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みが、少なくとも他の３つの前記辺部のいずれか１つの前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みと同等に形成されているとともに、前記一方の主面側の前記Ｙ’軸方向の厚みが厚い厚肉部が、平面視において、前記第１の辺部または、前記第２の辺部及び第３の辺部と重なるように形成され、前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、前記枠部が、前記振動部より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された一の辺部と、前記振動部より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された四の辺部と、前記振動部を挟んで対向するように前記Ｚ’軸方向に沿って形成され、それぞれ一端が前記一の辺部に接続され他端が前記四の辺部に接続された二の辺部及び三の辺部と、を含んで構成され、前記枠部の前記一の辺部の前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みが、少なくとも他の３つの前記辺部のいずれか１つの前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みと同等に形成されているとともに、前記一方の主面側の前記Ｙ’軸方向の厚みが厚い厚肉部が、平面視において、前記一の辺部または、前記二の辺部及び三の辺部と重なるように形成されていることを特徴とする。

このような構成によれば、水晶振動片は、ＡＴカット水晶基板の一方の主面側の一部に、薄肉部が形成され、薄肉部の他方の主面側に、エッチングにより凹部の底面を振動部とし、振動部の周囲を囲む側壁を有する枠部が形成されている。
そして、水晶振動片は、他方の主面が、Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、第１の辺部の薄肉部におけるＹ’軸方向の厚みが、他の３つの辺部のいずれか１つの薄肉部におけるＹ’軸方向の厚みと同等に形成されている。
これにより、水晶振動片は、凹部が薄肉部に形成されていることから、他方の主面側の第１の辺部の傾斜がなだらかな側壁の、他方の主面側から底面までの長さが短くなり、凹部の底面の面積を狭める量を少なくできる。

加えて、水晶振動片は、一方の主面側の厚肉部が、平面視において、第１の辺部または、第２の辺部及び第３の辺部と重なるように形成されている。このことから、水晶振動片は、一方の主面側の薄肉部と厚肉部との段差部分に形成される側壁が、エッチング異方性により急峻に傾斜して形成される。
これらにより、水晶振動片は、両主面側からのエッチングによって限られた大きさの中で振動部の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片は、外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部を形成できる。

また、水晶振動片は、一方の主面側の厚肉部が、平面視において、第１の辺部または、第２の辺部及び第３の辺部と重なるように形成されている。このことから、水晶振動片は、第１の辺部と厚肉部とが重なる部分または、第２の辺部及び第３の辺部と厚肉部とが重なる部分を固定部として、例えば、パッケージなどの外部部材の水晶振動片支持部に固定できる。

また、水晶振動片は、他方の主面が、Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、一の辺部の薄肉部におけるＹ’軸方向の厚みが、他の３つの辺部のいずれか１つの薄肉部におけるＹ’軸方向の厚みと同等に形成されている。
これにより、水晶振動片は、凹部が薄肉部に形成されていることから、他方の主面側の一の辺部の傾斜がなだらかな側壁の、他方の主面側から底面までの長さが短くなり、凹部の底面の面積を狭める量を少なくできる。

加えて、水晶振動片は、一方の主面側の厚肉部が、平面視において、一の辺部または、二の辺部及び三の辺部と重なるように形成されている。このことから、水晶振動片は、一方の主面側の薄肉部と厚肉部との段差部分に形成される側壁が、急峻に傾斜して形成される。
これらにより、水晶振動片は、両主面側からのエッチングによって限られた大きさの中で振動部の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片は、外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部を形成できる。

また、水晶振動片は、一方の主面側の厚肉部が、平面視において、一の辺部または、二の辺部及び三の辺部と重なるように形成されている。このことから、水晶振動片は、一の辺部と厚肉部とが重なる部分または、二の辺部及び三の辺部と厚肉部とが重なる部分を固定部として、例えば、パッケージなどの外部部材の水晶振動片支持部に固定できる。

［適用例５］本適用例にかかる水晶振動片の製造方法は、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸により規定されるＡＴカット水晶基板の一方の主面に、エッチングにより矩形状の凹部が形成され、前記凹部の底面を振動部とし、前記振動部の周囲を囲む側壁を有する枠部が前記ＡＴカット水晶基板の外形に沿って形成されている水晶振動片であって、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、前記枠部が、前記振動部より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された第１の辺部と、前記振動部より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された第４の辺部と、前記振動部を挟んで対向するように前記Ｚ’軸方向に沿って形成され、それぞれ一端が前記第１の辺部に接続され他端が前記第４の辺部に接続された第２の辺部及び第３の辺部と、を含んで構成され、前記枠部の前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、少なくとも他の３つの前記辺部のいずれか１つの前記Ｙ’軸方向の厚みより薄く形成され、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、前記枠部が、前記振動部より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された一の辺部と、前記振動部より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された四の辺部と、前記振動部を挟んで対向するように前記Ｚ’軸方向に沿って形成され、それぞれ一端が前記一の辺部に接続され他端が前記四の辺部に接続された二の辺部及び三の辺部と、を含んで構成され、前記枠部の前記一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、少なくとも他の３つの前記辺部のいずれか１つの前記Ｙ’軸方向の厚みより薄く形成されている水晶振動片の製造方法であって、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、前記一方の主面の少なくとも前記第２の辺部〜第４の辺部のいずれか１つが形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして薄くする第１のエッチング工程と、前記第１のエッチング工程後、前記一方の主面の前記第１の辺部〜第４の辺部が形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして前記一方の主面に凹部を形成し、前記凹部の底面を振動部として形成する第２のエッチング工程と、を有し、前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、前記一方の主面の少なくとも前記二の辺部〜四の辺部のいずれか１つが形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして薄くする第１エッチング工程と、前記第１エッチング工程後、前記一方の主面の前記一の辺部〜四の辺部が形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして前記一方の主面に凹部を形成し、前記凹部の底面を振動部として形成する第２エッチング工程と、を有することを特徴とする。

これによれば、水晶振動片の製造方法は、一方の主面が、Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、一方の主面の少なくとも第２の辺部〜第４の辺部のいずれか１つが形成される領域をマスクし、一方の主面をエッチングして薄くする。そして、このエッチング後、一方の主面の第１の辺部〜第４の辺部が形成される領域をマスクし、一方の主面をエッチングして一方の主面に凹部を形成し、凹部の底面を振動部として形成する。
これにより、水晶振動片の製造方法は、凹部に形成される側壁の傾斜がなだらかな第１の辺部を、他の３つの辺部のいずれか１つより薄く形成できる。

このことから、水晶振動片の製造方法は、凹部形成前に第１の辺部の形成領域を上記のように薄く形成しておくことで、第１の辺部の傾斜がなだらかな側壁の、一方の主面側から底面までの長さが短くなり、凹部の底面の面積を狭める量を少なくできる。
これにより、水晶振動片の製造方法は、限られた大きさの水晶振動片の振動部の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片の製造方法は、水晶振動片の外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部を形成することができる。

また、水晶振動片の製造方法は、一方の主面が、Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、一方の主面の少なくとも二の辺部〜四の辺部のいずれか１つが形成される領域をマスクし、一方の主面をエッチングして薄くする。そして、このエッチング後、一方の主面の一の辺部〜四の辺部が形成される領域をマスクし、一方の主面をエッチングして一方の主面に凹部を形成し、凹部の底面を振動部として形成する。
これにより、水晶振動片の製造方法は、凹部に形成される側壁の傾斜がなだらかな一の辺部を、他の３つの辺部のいずれか１つより薄く形成できる。

このことから、水晶振動片の製造方法は、凹部形成前に一の辺部の形成領域を上記のように薄く形成しておくことで、一の辺部の傾斜がなだらかな側壁の、一方の主面側から底面までの長さが短くなり、凹部の底面の面積を狭める量を少なくできる。
これにより、水晶振動片の製造方法は、限られた大きさの水晶振動片の振動部の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片の製造方法は、水晶振動片の外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部を形成できる。

［適用例６］本適用例にかかる水晶振動片の製造方法は、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸により規定されるＡＴカット水晶基板の一方の主面側の一部に、エッチングによりＹ’軸方向の厚みが薄い薄肉部が形成され、前記薄肉部の他方の主面側に、エッチングにより矩形状の凹部が形成され、前記凹部の底面を振動部とし、前記振動部の周囲を囲む側壁を有する枠部が前記ＡＴカット水晶基板の外形に沿って形成されている水晶振動片であって、前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、前記枠部が、前記振動部より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された第１の辺部と、前記振動部より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された第４の辺部と、前記振動部を挟んで対向するように前記Ｚ’軸方向に沿って形成され、それぞれ一端が前記第１の辺部に接続され他端が前記第４の辺部に接続された第２の辺部及び第３の辺部と、を含んで構成され、前記枠部の前記第１の辺部の前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みが、少なくとも他の３つの前記辺部のいずれか１つの前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みと同等に形成されているとともに、前記一方の主面側の前記Ｙ’軸方向の厚みが厚い厚肉部が、平面視において、前記第１の辺部または、前記第２の辺部及び第３の辺部と重なるように形成され、前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、前記枠部が、前記振動部より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された一の辺部と、前記振動部より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って形成された四の辺部と、前記振動部を挟んで対向するように前記Ｚ’軸方向に沿って形成され、それぞれ一端が前記一の辺部に接続され他端が前記四の辺部に接続された二の辺部及び三の辺部と、を含んで構成され、前記枠部の前記一の辺部の前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みが、少なくとも他の３つの前記辺部のいずれか１つの前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みと同等に形成されているとともに、前記一方の主面側の前記Ｙ’軸方向の厚みが厚い厚肉部が、平面視において、前記一の辺部または、前記二の辺部及び三の辺部と重なるように形成されている水晶振動片の製造方法であって、前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、前記一方の主面の、平面視において、前記他方の主面の前記第１の辺部が形成される領域または、前記第２の辺部及び第３の辺部が形成される領域と重なる領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして、前記一方の主面側に、前記薄肉部を形成する第１のエッチング工程と、前記他方の主面の、前記第１の辺部〜第４の辺部が形成される領域をマスクし、前記他方の主面をエッチングして、前記他方の主面に凹部を形成し、前記凹部の底面を振動部として形成する第２のエッチング工程と、を有し、前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、前記一方の主面の、平面視において、前記他方の主面の前記一の辺部が形成される領域または、前記二の辺部及び三の辺部が形成される領域と重なる領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして、前記一方の主面側に、前記薄肉部を形成する第１エッチング工程と、前記他方の主面の、前記一の辺部〜四の辺部が形成される領域をマスクし、前記他方の主面をエッチングして、前記他方の主面に凹部を形成し、前記凹部の底面を振動部として形成する第２エッチング工程と、を有することを特徴とする。

これによれば、水晶振動片の製造方法は、他方の主面が、Ｙ’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、一方の主面の、平面視において、他方の主面の第１の辺部が形成される領域または、第２の辺部及び第３の辺部が形成される領域と重なる領域をマスクし、一方の主面をエッチングして、一方の主面側にＹ’軸方向の厚みが薄い薄肉部を形成する。
加えて、他方の主面の、第１の辺部〜第４の辺部が形成される領域をマスクし、他方の主面をエッチングして、他方の主面に凹部を形成し、凹部の底面を振動部として形成する。

これにより、水晶振動片の製造方法は、凹部を薄肉部に形成することから、水晶振動片の他方の主面側の第１の辺部の傾斜がなだらかな側壁の、他方の主面側から底面までの長さが短くなり、凹部の底面の面積を狭める量を少なくできる。加えて、水晶振動片の製造方法は、水晶振動片の一方の主面側の厚肉部が、平面視において、第１の辺部または、第２の辺部及び第３の辺部と重なるように形成する。このことから、水晶振動片の製造方法は、水晶振動片の一方の主面側の薄肉部と厚肉部との段差部分に形成される側壁を、急峻な傾斜で形成できる。

これらにより、水晶振動片の製造方法は、水晶振動片の両主面側からのエッチングによって限られた大きさの中で振動部の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片の製造方法は、水晶振動片の外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部を形成できる。

また、水晶振動片の製造方法は、他方の主面が、Ｙ’軸のプラス側を向いた主面であるとき、一方の主面の、平面視において、他方の主面の一の辺部が形成される領域または、二の辺部及び三の辺部が形成される領域と重なる領域をマスクし、一方の主面をエッチングして、一方の主面側にＹ’軸方向の厚みが薄い薄肉部を形成する。
加えて、他方の主面の、一の辺部〜四の辺部が形成される領域をマスクし、他方の主面をエッチングして、他方の主面に凹部を形成し、凹部の底面を振動部として形成する。

これにより、水晶振動片の製造方法は、凹部を薄肉部に形成することから、水晶振動片の他方の主面側の一の辺部の傾斜がなだらかな側壁の、他方の主面側から底面までの長さが短くなり、凹部の底面の面積を狭める量を少なくできる。加えて、水晶振動片の製造方法は、水晶振動片の一方の主面側の厚肉部が、平面視において、一の辺部または、二の辺部及び三の辺部と重なるように形成する。このことから、水晶振動片の製造方法は、水晶振動片の一方の主面側の薄肉部と厚肉部との段差部分に形成される側壁を、急峻な傾斜で形成できる。

これらにより、水晶振動片の製造方法は、水晶振動片の両主面側からのエッチングによって限られた大きさの中で振動部の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片の製造方法は、水晶振動片の外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部を形成できる。

以下、本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態の水晶振動片の構成を示す構成図である。図１（ａ）は斜視図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。

図１に示すように、水晶振動片１は、水晶の結晶軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対して、Ｘ軸と、Ｘ軸を中心としてＹ軸及びＺ軸をＸ軸のプラス方向に向いて時計回りに約３５°回転させたＹ’軸及びＺ’軸とにより規定されるＡＴカット水晶基板を用いて形成される。
水晶振動片１は、Ｘ軸とＺ’軸とで規定される平面に沿い、Ｙ’軸のマイナス側を向いた一方の主面１１に、エッチングにより矩形状の凹部１２が形成されている。水晶振動片１は、凹部１２の底面１２ａを振動部１３とし、振動部１３の周囲を囲む側壁２４ａ〜２４ｄを有する枠部１４が、外形に沿って形成されている。なお、水晶振動片１の他方の主面１５は、平坦な面で形成されている。

水晶振動片１の枠部１４は、四つの辺部から構成されている。第１の辺部１４ａは、振動部１３よりＺ’軸のプラス側でＸ軸方向に沿って形成されている。第２の辺部１４ｂ及び第３の辺部１４ｃは、振動部１３を挟んで対向するようにＺ’軸方向に沿って形成されている。第４の辺部１４ｄは、振動部１３よりＺ’軸のマイナス側でＸ軸方向に沿って形成されている。なお、第２の辺部１４ｂ及び第３の辺部１４ｃは、それぞれ一端が第１の辺部１４ａに接続され、他端が第４の辺部１４ｄに接続されている。

枠部１４の第１の辺部１４ａは、Ｙ’軸方向の厚みＴ１が、第４の辺部１４ｄのＹ’軸方向の厚みＴ２より薄く形成され、第２の辺部１４ｂ及び第３の辺部１４ｃと同じ厚みに形成されている。

ここで、ＡＴカット水晶基板におけるエッチング異方性について説明する。
図２は、ＡＴカット水晶基板のエッチング異方性についての説明図である。図２（ａ）は、両主面側からエッチングにより凹部が形成されたＡＴカット水晶基板を、Ｚ’軸とＹ’軸とで規定される平面に沿って切断した断面図である。図２（ｂ）は、上記ＡＴカット水晶基板を、Ｘ軸とＹ’軸とで規定される平面に沿って切断した断面図である。

図２（ａ）に示すように、エッチングによりＡＴカット水晶基板２のＹ’軸のマイナス側を向いた主面２ａに形成された凹部３の、Ｘ軸方向に沿ってＺ’軸のマイナス側を向く側壁４は、なだらかに傾斜して形成される。一方、凹部３のＸ軸方向に沿ってＺ’軸のプラス側を向く側壁５は、急峻に傾斜して形成される。
また、Ｙ’軸のプラス側を向いた主面２ｂに形成された凹部３’の、Ｘ軸方向に沿ってＺ’軸のプラス側を向く側壁４’は、なだらかに傾斜して形成される。一方、凹部３’のＸ軸方向に沿ってＺ’軸のマイナス側を向く側壁５’は、急峻に傾斜して形成される。
また、図２（ｂ）に示すように、Ｚ’軸方向に沿ってＸ軸のプラス側を向く側壁６，６’及びＺ’軸方向に沿ってＸ軸のマイナス側を向く側壁７，７’は、ともに急峻に傾斜して形成される。
この側壁４，５，６，７，４’，５’，６’，７’の傾斜の度合いの違いは、ＡＴカット水晶基板２の結晶軸方向によってエッチングの進行速度が異なるエッチング異方性によるものである。

図１に戻って、上記エッチング異方性により、枠部１４の第１の辺部１４ａは、側壁２４ａがなだらかに傾斜して形成され、第２の辺部１４ｂ〜第４の辺部１４ｄは、側壁２４ｂ〜２４ｄが急峻に傾斜して形成される。
ここで、図１（ｂ）に示すように、水晶振動片１は、第１の辺部１４ａのＹ’軸方向の厚みＴ１が、第４の辺部１４ｄのＹ’軸方向の厚みＴ２より薄く形成されている。これにより、第１の辺部１４ａの側壁２４ａの、一方の主面１１側から底面１２ａまでの長さが短く形成される。
このことから、水晶振動片１は、振動部１３のＺ’軸方向の長さＬ１が、２点鎖線で示した第１の辺部１４ａと第４の辺部１４ｄとが同じ厚みで形成された場合のＺ’軸方向の長さＬ２と比較して長くなる。これにより、水晶振動片１は、２点鎖線で示した第１の辺部１４ａと第４の辺部１４ｄとが同じ厚みで形成された場合と比較して、振動部１３の面積が大きくなる。

ここで、水晶振動片１の外部部材に対する固定について説明する。
図３は、水晶振動片１の固定について説明する断面図である。
図３に示すように、水晶振動片１は、図示しない電極形成、発振周波数調整などが行われた後、第１の辺部１４ａよりＹ’軸方向の厚みが厚く形成されている第４の辺部１４ｄが固定部として、外部部材としてのパッケージ３０内の水晶振動片支持部３１に接着剤３２などにより固定される。なお、図３では、第４の辺部１４ｄの他方の主面１５側が固定されているが、水晶振動片１を反転させて第４の辺部１４ｄの一方の主面１１側が固定されるようにしてもよい。

上述したように、水晶振動片１は、ＡＴカット水晶基板のＹ’軸のマイナス側を向いた一方の主面１１に、エッチングにより凹部１２の底面１２ａを振動部１３とし、振動部１３の周囲を囲む側壁２４ａ〜２４ｄを有する枠部１４が形成されている。そして、水晶振動片１は、枠部１４の第１の辺部１４ａのＹ’軸方向の厚みＴ１が、第４の辺部１４ｄのＹ’軸方向の厚みＴ２より薄く形成されている。
このことから、水晶振動片１は、第１の辺部１４ａの傾斜がなだらかな側壁２４ａの一方の主面１１側から底面１２ａまでの長さが短くなり、凹部１２の底面１２ａの面積を狭める量を少なくできる。
これにより、水晶振動片１は、限られた大きさの中で振動部１３の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片１は、外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部１３を形成できる。

また、水晶振動片１は、第４の辺部１４ｄのＹ’軸方向の厚みＴ２が、第１の辺部１４ａのＹ’軸方向の厚みＴ１より厚く形成されることから、第４の辺部１４ｄを固定部として、パッケージ３０の水晶振動片支持部３１に固定できる。

なお、本実施形態では、水晶振動片１の第１の辺部１４ａのＹ’軸方向の厚みＴ１が、第４の辺部１４ｄのＹ’軸方向の厚みＴ２より薄く形成されているとしたが、これに限定するものではない。水晶振動片１は、下記のように第１の辺部１４ａのＹ’軸方向の厚みが、第２の辺部１４ｂ及び第３の辺部１４ｃのＹ’軸方向の厚みより薄く形成されていてもよい。
図４は、第１の実施形態の水晶振動片の他の構成を示す構成図である。図４（ａ）は斜視図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図である。
図４に示すように、水晶振動片１’は、第１の辺部１４ａ’のＹ’軸方向の厚みが第２の辺部１４ｂ’及び第３の辺部１４ｃ’のＹ’軸方向の厚みより薄く形成されている。また、第４の辺部１４ｄ’は、Ｙ’軸方向の厚みが第１の辺部１４ａ’と同じ厚みに形成されている。これにより、水晶振動片１’は、水晶振動片１と同様に、振動部１３’の面積が大きくなる。

また、図４（ｂ）に示すように、水晶振動片１’は、図示しない電極形成、発振周波数調整などが行われた後、第１の辺部１４ａ’よりＹ’軸方向の厚みが厚く形成されている第２の辺部１４ｂ’及び第３の辺部１４ｃ’が固定部として、パッケージ３０’内の水晶振動片支持部３１’に接着剤３２’などにより固定される。なお、図４では、第２の辺部１４ｂ’及び第３の辺部１４ｃ’の他方の主面１５’側が固定されているが、水晶振動片１’を反転させて第２の辺部１４ｂ’及び第３の辺部１４ｃ’の一方の主面１１’側が固定されるようにしてもよい。

上述したように、水晶振動片１’は、水晶振動片１と同様に振動部１３’の面積を充分に確保できる。また、水晶振動片１’は、第２の辺部１４ｂ’及び第３の辺部１４ｃ’のＹ’軸方向の厚みが、第１の辺部１４ａ’のＹ’軸方向の厚みより厚く形成されることから、第２の辺部１４ｂ’及び第３の辺部１４ｃ’を固定部として、パッケージ３０’の水晶振動片支持部３１’に固定できる。

ここで、第１の実施形態の水晶振動片１の製造方法について説明する。
図５は、第１の実施形態の水晶振動片１の製造方法についての説明図である。なお、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸については、図５（ａ）に代表して示す。

［第１のエッチング工程］
図５（ａ）に示すように、第１のエッチング工程では、まず、ＡＴカット水晶基板８の他方の主面１５の全域をレジスト２０によりマスクする。
なお、マスクとしてのレジスト２０を含む以降の各レジストには、Ｃｒを下地膜としたＡｕ／Ｃｒ積層膜を用いる。
ついで、一方の主面１１の第４の辺部１４ｄが形成される領域を、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングし、レジスト２１によりマスクする。

ついで、図５（ｂ）に示すように、ＡＴカット水晶基板８を図示しないエッチング液に浸漬して、一方の主面１１をエッチングし、ＡＴカット水晶基板８を所定の厚みまで薄くする。なお、この厚みは、所望の水晶振動片の必要強度、外形サイズ、振動部の厚みなどに応じ適宜設定される。また、エッチング液には、フッ化水素酸液、またはフッ化アンモニウムとフッ化水素酸の混合液であるバッファードフッ化水素酸液などのフッ酸含有液を用いる。なお、エッチング後、レジスト２０，２１を一旦剥離し、ＡＴカット水晶基板８を清浄にする。

［第２のエッチング工程］
第１のエッチング工程後、第２のエッチング工程では、図５（ｃ）に示すように、ＡＴカット水晶基板８の他方の主面１５の全域をレジスト２０によりマスクする。ついで、一方の主面１１の第１の辺部１４ａ〜第４の辺部１４ｄが形成される領域をパターニングし、レジスト２１，２２によりマスクする。

ついで、図５（ｄ）に示すように、ＡＴカット水晶基板８をエッチング液に浸漬して、一方の主面１１をエッチングし、一方の主面１１に凹部１２を形成し、凹部１２の底面１２ａを振動部１３として形成する。ついで、レジスト２０，２１，２２を剥離し、図１に示す水晶振動片１を得る。

上述したように、水晶振動片１の製造方法は、一方の主面１１の第４の辺部１４ｄが形成される領域をマスクし、一方の主面１１をエッチングして薄くする。そして、このエッチング後、一方の主面１１の第１の辺部１４ａ〜第４の辺部１４ｄが形成される領域をマスクし、一方の主面１１をエッチングして一方の主面１１に凹部１２を形成し、凹部１２の底面１２ａを振動部１３として形成する。

これにより、水晶振動片１の製造方法は、ＡＴカット水晶基板８のエッチング異方性により凹部１２に形成される側壁２４ａの傾斜がなだらかな第１の辺部１４ａを、第４の辺部１４ｄより薄く形成できる。
このことから、水晶振動片１の製造方法は、凹部１２形成前に第１の辺部１４ａの形成領域を上記のように薄く形成しておくことで、第１の辺部１４ａの傾斜がなだらかな側壁２４ａの、一方の主面１１側から底面１２ａまでの長さが短くなり、凹部１２の底面１２ａの面積を狭める量を少なくできる。
これにより、水晶振動片１の製造方法は、限られた大きさの中で振動部１３の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片１の製造方法は、外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部１３を形成することができる。
なお、水晶振動片１の製造方法は、個片状態のＡＴカット水晶基板８だけではなく、ウエハ状態のＡＴカット水晶基板８にも適用できる。

なお、水晶振動片１’の製造方法については、水晶振動片１の製造方法における第１のエッチング工程のレジスト２１によりマスクする領域を、第２の辺部１４ｂ’及び第３の辺部１４ｃ’が形成される領域とする。これ以降は、水晶振動片１の製造方法と同様の方法となる。これにより、水晶振動片１’の製造方法は、水晶振動片１の製造方法と同様の効果が得られる。

（第２の実施形態）
図６は、第２の実施形態の水晶振動片の構成を示す構成図である。図６（ａ）は斜視図、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＣ−Ｃ線での断面図である。

図６に示すように、水晶振動片１０１は、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸とにより規定されるＡＴカット水晶基板を用いて形成され、第１の実施形態の水晶振動片１と、Ｘ軸方向を回転軸とした回転対称形状に形成されている。
水晶振動片１０１は、Ｘ軸とＺ’軸とで規定される平面に沿い、Ｙ’軸のプラス側を向いた一方の主面１１１に、エッチングにより矩形状の凹部１１２が形成されている。水晶振動片１０１は、凹部１１２の底面１１２ａを振動部１１３とし、振動部１１３の周囲を囲む側壁１２４ａ〜１２４ｄを有する枠部１１４が、外形に沿って形成されている。なお、水晶振動片１０１の他方の主面１１５は、平坦な面で形成されている。

水晶振動片１０１の枠部１１４は、四つの辺部から構成されている。一の辺部１１４ａは、振動部１１３よりＺ’軸のマイナス側でＸ軸方向に沿って形成されている。二の辺部１１４ｂ及び三の辺部１１４ｃは、振動部１１３を挟んで対向するようにＺ’軸方向に沿って形成されている。四の辺部１４ｄは、振動部１３よりＺ’軸のプラス側でＸ軸方向に沿って形成されている。なお、二の辺部１１４ｂ及び三の辺部１１４ｃは、それぞれ一端が一の辺部１１４ａに接続され、他端が四の辺部１１４ｄに接続されている。

枠部１１４の一の辺部１１４ａは、Ｙ’軸方向の厚みＴ１１が、四の辺部１１４ｄのＹ’軸方向の厚みＴ１２より薄く形成され、二の辺部１４ｂ及び三の辺部１４ｃと同じ厚みに形成されている。

水晶振動片１０１は、前述したＡＴカット水晶基板のエッチング異方性により、枠部１１４の一の辺部１１４ａの側壁１２４ａが、なだらかに傾斜して形成され、二の辺部１１４ｂ〜四の辺部１１４ｄの側壁１２４ｂ〜１２４ｄが、急峻に傾斜して形成される。
ここで、上記のように、水晶振動片１０１は、一の辺部１１４ａのＹ’軸方向の厚みＴ１１が、四の辺部１１４ｄのＹ’軸方向の厚みＴ１２より薄く形成されている。これにより、一の辺部１１４ａの側壁１２４ａの、一方の主面１１１側から底面１１２ａまでの長さが短く形成される。
このことから、水晶振動片１０１は、振動部１１３のＺ’軸方向の長さＬ１１が、２点鎖線で示した一の辺部１１４ａと四の辺部１１４ｄとが同じ厚みで形成された場合のＺ’軸方向の長さＬ１２と比較して長くなる。これにより、水晶振動片１０１は、２点鎖線で示した一の辺部１１４ａと四の辺部１１４ｄとが同じ厚みで形成された場合と比較して、振動部１１３の面積が大きくなる。

ここで、水晶振動片１０１の外部部材に対する固定について説明する。
図７は、水晶振動片１０１の固定について説明する断面図である。
図７に示すように、水晶振動片１０１は、図示しない電極形成、発振周波数調整などが行われた後、一の辺部１１４ａよりＹ’軸方向の厚みが厚く形成されている四の辺部１１４ｄが固定部として、外部部材としてのパッケージ１３０内の水晶振動片支持部１３１に接着剤１３２などにより固定される。なお、図７では、四の辺部１１４ｄの一方の主面１１１側が固定されているが、水晶振動片１０１を反転させて四の辺部１１４ｄの他方の主面１１５側が固定されるようにしてもよい。

上述したように、水晶振動片１０１は、ＡＴカット水晶基板のＹ’軸のプラス側を向いた一方の主面１１１に、エッチングにより凹部１１２の底面１１２ａを振動部１１３とし、振動部１１３の周囲を囲む側壁１２４ａ〜１２４ｄを有する枠部１１４が形成されている。そして、水晶振動片１０１は、枠部１１４の一の辺部１１４ａのＹ’軸方向の厚みＴ１１が、四の辺部１１４ｄのＹ’軸方向の厚みＴ１２より薄く形成されている。
このことから、水晶振動片１０１は、一の辺部１１４ａの傾斜がなだらかな側壁１２４ａの、一方の主面１１１側から底面１１２ａまでの長さが短くなり、凹部１１２の底面１１２ａの面積を狭める量を少なくできる。
これにより、水晶振動片１０１は、限られた大きさの中で振動部１１３の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片１０１は、外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部１１３を形成できる。

また、水晶振動片１０１は、四の辺部１１４ｄのＹ’軸方向の厚みＴ１２が、一の辺部１１４ａのＹ’軸方向の厚みＴ１１より厚く形成されることから、四の辺部１１４ｄを固定部として、パッケージ１３０の水晶振動片支持部１３１に固定できる。

なお、本実施形態では、水晶振動片１０１の一の辺部１１４ａのＹ’軸方向の厚みＴ１１が、四の辺部１１４ｄのＹ’軸方向の厚みＴ１２より薄く形成されているとしたが、これに限定するものではない。水晶振動片１０１は、下記のように一の辺部１１４ａのＹ’軸方向の厚みが、二の辺部１１４ｂ及び三の辺部１１４ｃのＹ’軸方向の厚みより薄く形成されていてもよい。
図８は、第２の実施形態の水晶振動片の他の構成を示す構成図である。図８（ａ）は斜視図、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＤ−Ｄ線での断面図である。
図８に示すように、水晶振動片１０１’は、一の辺部１１４ａ’のＹ’軸方向の厚みが二の辺部１１４ｂ’及び三の辺部１１４ｃ’のＹ’軸方向の厚みより薄く形成されている。また、四の辺部１１４ｄ’は、Ｙ’軸方向の厚みが一の辺部１１４ａ’と同じ厚みに形成されている。これにより、水晶振動片１０１’は、水晶振動片１０１と同様に、振動部１１３’の面積が大きくなる。

また、図８（ｂ）に示すように、水晶振動片１０１’は、図示しない電極形成、発振周波数調整などが行われた後、一の辺部１１４ａ’よりＹ’軸方向の厚みが厚く形成されている二の辺部１１４ｂ’及び三の辺部１１４ｃ’が固定部として、パッケージ１３０’内の水晶振動片支持部１３１’に接着剤１３２’などにより固定される。なお、図８では、二の辺部１１４ｂ’及び三の辺部１１４ｃ’の一方の主面１１１’側が固定されているが、水晶振動片１０１’を反転させて二の辺部１１４ｂ’及び三の辺部１１４ｃ’の他方の主面１１５’側が固定されるようにしてもよい。

上述したように、水晶振動片１０１’は、水晶振動片１０１と同様に振動部１１３’の面積を充分に確保できる。また、水晶振動片１０１’は、二の辺部１１４ｂ’及び三の辺部１１４ｃ’のＹ’軸方向の厚みが、一の辺部１１４ａ’のＹ’軸方向の厚みより厚く形成されることから、二の辺部１１４ｂ’及び三の辺部１１４ｃ’を固定部として、パッケージ１３０’の水晶振動片支持部１３１’に固定できる。

ここで、第２の実施形態の水晶振動片１０１の製造方法について説明する。
図９は、第２の実施形態の水晶振動片１０１の製造方法についての説明図である。なお、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸については、図９（ａ）に代表して示す。

［第１エッチング工程］
図９（ａ）に示すように、第１エッチング工程では、まず、ＡＴカット水晶基板１０８の他方の主面１１５の全域をレジスト１２０によりマスクする。
ついで、一方の主面１１１の四の辺部１１４ｄが形成される領域を、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングし、レジスト１２１によりマスクする。

ついで、図９（ｂ）に示すように、ＡＴカット水晶基板１０８を図示しないエッチング液に浸漬して、一方の主面１１１をエッチングし、ＡＴカット水晶基板１０８を所定の厚みまで薄くする。なお、エッチング後、レジスト１２０，１２１を一旦剥離し、ＡＴカット水晶基板１０８を清浄にする。

［第２エッチング工程］
第１エッチング工程後、第２エッチング工程では、図９（ｃ）に示すように、ＡＴカット水晶基板１０８の他方の主面１１５の全域をレジスト１２０によりマスクする。ついで、一方の主面１１１の一の辺部１１４ａ〜四の辺部１１４ｄが形成される領域をパターニングし、レジスト１２１，１２２によりマスクする。

ついで、図９（ｄ）に示すように、ＡＴカット水晶基板１０８をエッチング液に浸漬して、一方の主面１１１をエッチングし、一方の主面１１１に凹部１１２を形成し、凹部１１２の底面１１２ａを振動部１１３として形成する。ついで、レジスト１２０，１２１，１２２を剥離し、図６に示す水晶振動片１０１を得る。

上述したように、水晶振動片１０１の製造方法は、一方の主面１１１の四の辺部１１４ｄが形成される領域をマスクし、一方の主面１１１をエッチングして薄くする。そして、このエッチング後、一方の主面１１１の一の辺部１１４ａ〜四の辺部１１４ｄが形成される領域をマスクし、一方の主面１１１をエッチングして一方の主面１１１に凹部１１２を形成し、凹部１１２の底面１１２ａを振動部１１３として形成する。

これにより、水晶振動片１０１の製造方法は、ＡＴカット水晶基板１０８のエッチング異方性により凹部１１２に形成される側壁１２４ａの傾斜がなだらかな一の辺部１１４ａを、四の辺部１１４ｄより薄く形成できる。
このことから、水晶振動片１０１の製造方法は、凹部１１２形成前に一の辺部１１４ａの形成領域を上記のように薄く形成しておくことで、一の辺部１１４ａの傾斜がなだらかな側壁１２４ａの、一方の主面１１１側から底面１１２ａまでの長さが短くなり、凹部１１２の底面１１２ａの面積を狭める量を少なくできる。
これにより、水晶振動片１０１の製造方法は、限られた大きさの中で振動部１１３の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片１０１の製造方法は、外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部１１３を形成することができる。
なお、水晶振動片１０１の製造方法は、個片状態のＡＴカット水晶基板１０８だけではなく、ウエハ状態のＡＴカット水晶基板１０８にも適用できる。

なお、水晶振動片１０１’の製造方法については、水晶振動片１０１の製造方法における第１エッチング工程のレジスト１２１によりマスクする領域を、二の辺部１１４ｂ’及び三の辺部１１４ｃ’が形成される領域とする。これ以降は、水晶振動片１０１の製造方法と同様の方法となる。これにより、水晶振動片１０１’の製造方法は、水晶振動片１０１の製造方法と同様の効果が得られる。

（第３の実施形態）
図１０は、第３の実施形態の水晶振動片の構成を示す構成図である。図１０（ａ）は斜視図、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図である。

図１０に示すように、水晶振動片２０１は、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸とにより規定されるＡＴカット水晶基板を用いて形成される。
水晶振動片２０１は、一方の主面２１１側の一部に、エッチングによりＹ’軸方向の厚みが薄い薄肉部２１１ａが形成されている。そして、薄肉部２１１ａのＹ’軸のマイナス側を向いた他方の主面２１５側に、エッチングにより矩形状の凹部２１２が形成されている。水晶振動片２０１は、凹部２１２の底面２１２ａを振動部２１３とし、振動部２１３の周囲を囲む側壁２２４ａ〜２２４ｄを有する枠部２１４が、外形に沿って形成されている。

水晶振動片２０１の枠部２１４は、四つの辺部から構成されている。第１の辺部２１４ａは、振動部２１３よりＺ’軸のプラス側でＸ軸方向に沿って形成されている。第２の辺部２１４ｂ及び第３の辺部２１４ｃは、振動部２１３を挟んで対向するようにＺ’軸方向に沿って形成されている。第４の辺部２１４ｄは、振動部２１３よりＺ’軸のマイナス側でＸ軸方向に沿って形成されている。なお、第２の辺部２１４ｂ及び第３の辺部２１４ｃは、それぞれ一端が第１の辺部２１４ａに接続され、他端が第４の辺部２１４ｄに接続されている。

枠部２１４の第１の辺部２１４ａの薄肉部２１１ａにおけるＹ’軸方向の厚みＴ２１は、他の３つの辺部２１４ｂ〜２１４ｄの薄肉部２１１ａにおけるＹ’軸方向の厚みと同等に形成されている。それとともに、水晶振動片２０１の一方の主面２１１側のＹ’軸方向の厚みが厚い厚肉部２１１ｂが、平面視において、第１の辺部２１４ａと重なるように形成されている。

水晶振動片２０１は、前述したエッチング異方性により、枠部２１４の第１の辺部２１４ａの側壁２２４ａが、なだらかに傾斜して形成され、第２の辺部２１４ｂ〜第４の辺部２１４ｄの側壁２２４ｂ〜２２４ｄが、急峻に傾斜して形成される。
ここで、上記のように、水晶振動片２０１は、凹部２１２が薄肉部２１１ａに形成されている。これにより、枠部２１４の第１の辺部２１４ａの側壁２２４ａの、他方の主面２１５側から底面２１２ａまでの長さが短く形成される。

また、水晶振動片２０１は、一方の主面２１１側の厚肉部２１１ｂが、平面視において、第１の辺部２１４ａと重なるように形成されている。このことから、水晶振動片２０１は、一方の主面２１１側の薄肉部２１１ａと厚肉部２１１ｂとの段差部分に形成される側壁２１１ｃが、エッチング異方性により急峻に傾斜して形成される。

これらのことから、図１０（ｂ）に示すように、水晶振動片２０１は、振動部２１３のＺ’軸方向の長さＬ２１が、厚肉部２１１ｂが２点鎖線で示した第４の辺部２１４ｄと重なる場合の、Ｚ’軸方向の長さＬ２２と比較して長くなる。これにより、水晶振動片２０１は、厚肉部２１１ｂが２点鎖線で示した第４の辺部２１４ｄと重なる場合と比較して、振動部２１３の面積が大きくなる。

ここで、水晶振動片２０１の外部部材に対する固定について説明する。
図１１は、水晶振動片２０１の固定について説明する断面図である。
図１１に示すように、水晶振動片２０１は、図示しない電極形成、発振周波数調整などが行われた後、第１の辺部２１４ａと厚肉部２１１ｂとが重なる部分を固定部として、パッケージ２３０内の水晶振動片支持部２３１に接着剤２３２などにより固定される。なお、図１１では、水晶振動片２０１の一方の主面２１１側が固定されているが、水晶振動片２０１を反転させて他方の主面２１５側が固定されるようにしてもよい。

上述したように、水晶振動片２０１は、一方の主面２１１側の一部に、薄肉部２１１ａが形成され、薄肉部２１１ａのＹ’軸のマイナス側を向いた他方の主面２１５側に、エッチングにより凹部２１２が形成される。そして、凹部２１２の底面２１２ａを振動部２１３とし、振動部２１３の周囲を囲む側壁２２４ａ〜２２４ｄを有する枠部２１４が形成されている。
そして、水晶振動片２０１は、第１の辺部２１４ａの薄肉部２１１ａにおけるＹ’軸方向の厚みが、他の３つの辺部２１４ｂ〜２１４ｄの薄肉部におけるＹ’軸方向の厚みと同等に形成されている。

これにより、水晶振動片２０１は、凹部２１２が薄肉部２１１ａに形成されることから、他方の主面２１５側の第１の辺部２１４ａの傾斜がなだらかな側壁２２４ａの、他方の主面２１５側から底面２１２ａまでの長さが短くなり、凹部２１２の底面２１２ａの面積を狭める量を少なくできる。
加えて、水晶振動片２０１は、一方の主面２１１側の厚肉部２１１ｂが、平面視において、第１の辺部２１４ａと重なるように形成されている。このことから、水晶振動片２０１は、一方の主面２１１側の薄肉部２１１ａと厚肉部２１１ｂとの段差部分に形成される側壁２１１ｃが、エッチング異方性により急峻に傾斜して形成される。
これらにより、水晶振動片２０１は、両主面２１１，２１５側からのエッチングによって限られた大きさの中で振動部２１３の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片２０１は、外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部２１３を形成できる。

また、水晶振動片２０１は、一方の主面２１１側の厚肉部２１１ｂが、平面視において、第１の辺部２１４ａと重なるように形成されている。このことから、水晶振動片２０１は、第１の辺部２１４ａと厚肉部２１１ｂとが重なる部分を固定部として、パッケージ２３０の水晶振動片支持部２３１に固定できる。

なお、本実施形態では、水晶振動片２０１の、一方の主面２１１側の厚肉部２１１ｂが、平面視において、第１の辺部２１４ａと重なるように形成されているとしたが、これに限定するものではない。水晶振動片２０１は、下記のように一方の主面２１１側の厚肉部２１１ｂが、第２の辺部２１４ｂ及び第３の辺部２１４ｃと重なるように形成されていてもよい。
図１２は、第３の実施形態の水晶振動片の他の構成を示す構成図である。図１２（ａ）は斜視図、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＦ−Ｆ線での断面図である。
図１２に示すように、水晶振動片２０１’は、一方の主面２１１’側の厚肉部２１１ｂ’が、第２の辺部２１４ｂ’及び第３の辺部２１４ｃ’と重なるように形成されている。また、第１の辺部２１４ａ’及び第４の辺部２１４ｄ’は、薄肉部２１１ａ’に形成されている。これにより、水晶振動片２０１’は、水晶振動片２０１と同様に、振動部２１３’の面積が大きくなる。

また、図１２（ｂ）に示すように、水晶振動片２０１’は、図示しない電極形成、発振周波数調整などが行われた後、厚肉部２１１ｂ’と第２の辺部２１４ｂ’及び第３の辺部２１４ｃ’とが重なる部分が、固定部として、パッケージ２３０’内の水晶振動片支持部２３１’に接着剤２３２’などにより固定される。なお、図１２では、水晶振動片２０１’の一方の主面２１１’側が固定されているが、水晶振動片２０１’を反転させて他方の主面２１５’側が固定されるようにしてもよい。

上述したように、水晶振動片２０１’は、水晶振動片２０１と同様に振動部２１３’の面積を充分に確保できる。また、水晶振動片２０１’は、一方の主面２１１’側の厚肉部２１１ｂ’が、第２の辺部２１４ｂ’及び第３の辺部２１４ｃ’と重なるように形成されている。このことから、水晶振動片２０１’は、厚肉部２１１ｂ’と第２の辺部２１４ｂ’及び第３の辺部２１４ｃ’とが重なる部分が、固定部として、パッケージ２３０’の水晶振動片支持部２３１’に固定できる。

ここで、第３の実施形態の水晶振動片２０１の製造方法について説明する。
図１３は、第３の実施形態の水晶振動片２０１の製造方法についての説明図である。なお、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸については、図１３（ａ）に代表して示す。

［第１のエッチング工程］
図１３（ａ）に示すように、第１のエッチング工程では、まず、ＡＴカット水晶基板２０８の他方の主面２１５の全域をレジスト２２０によりマスクする。
ついで、一方の主面２１１の、平面視において、他方の主面２１５の第１の辺部２１４ａが形成される領域と重なる領域を、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングし、レジスト２２１によりマスクする。

ついで、図１３（ｂ）に示すように、ＡＴカット水晶基板２０８を図示しないエッチング液に浸漬して、一方の主面２１１をエッチングし、所定の厚みの薄肉部２１１ａを形成する。なお、エッチング後、レジスト２２０，２２１を一旦剥離し、ＡＴカット水晶基板２０８を清浄にする。

［第２のエッチング工程］
第２のエッチング工程では、図１３（ｃ）に示すように、ＡＴカット水晶基板２０８の一方の主面２１１の全域をレジスト２２１によりマスクする。ついで、他方の主面２１５の第１の辺部２１４ａ〜第４の辺部２１４ｄが形成される領域をパターニングし、レジスト２２０によりマスクする。

ついで、図１３（ｄ）に示すように、ＡＴカット水晶基板２０８をエッチング液に浸漬して、他方の主面２１５をエッチングし、他方の主面２１５に凹部２１２を形成し、凹部２１２の底面２１２ａを振動部２１３として形成する。ついで、レジスト２２０，２２１を剥離し、図１０に示す水晶振動片２０１を得る。

上述したように、水晶振動片２０１の製造方法は、一方の主面２１１の、平面視において、他方の主面２１５の第１の辺部２１４ａが形成される領域と重なる領域をマスクし、一方の主面２１１をエッチングして、一方の主面２１１側に薄肉部２１１ａを形成する。加えて、他方の主面２１５の、第１の辺部２１４ａ〜第４の辺部２１４ｄが形成される領域をマスクし、他方の主面２１５をエッチングして、他方の主面２１５に凹部２１２を形成し、凹部２１２の底面２１２ａを振動部２１３として形成する。

これにより、水晶振動片２０１の製造方法は、凹部２１２を薄肉部２１１ａに形成することから、水晶振動片２０１の第１の辺部２１４ａの傾斜がなだらかな側壁２２４ａの、他方の主面２１５側から底面２１２ａまでの長さが短くなり、凹部２１２の底面２１２ａの面積を狭める量を少なくできる。
加えて、水晶振動片２０１の製造方法は、水晶振動片２０１の一方の主面２１１側の厚肉部２１１ｂが、平面視において、第１の辺部２１４ａと重なるように形成する。このことから、水晶振動片２０１の製造方法は、水晶振動片２０１の一方の主面２１１側の薄肉部２１１ａと厚肉部２１１ｂとの段差部分に形成される側壁２１１ｃを、急峻な傾斜で形成できる。

これらにより、水晶振動片２０１の製造方法は、水晶振動片２０１の両主面２１１，２１５側からのエッチングによって限られた大きさの中で振動部２１３の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片２０１の製造方法は、水晶振動片２０１の外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部２１３を形成できる。

なお、水晶振動片２０１の製造方法は、第１のエッチング工程のエッチングと第２のエッチング工程のエッチングとを一括して行ってもよい。これによれば、エッチングを一括して行うことで製造時間を短縮でき、生産効率が向上する。
なお、水晶振動片２０１の製造方法は、個片状態のＡＴカット水晶基板２０８だけではなく、ウエハ状態のＡＴカット水晶基板２０８にも適用できる。

なお、水晶振動片２０１’の製造方法については、水晶振動片２０１の製造方法における第１のエッチング工程のレジスト２２１によりマスクする領域を、第２の辺部２１４ｂ’及び第３の辺部２１４ｃ’が形成される領域とする。これ以降は、水晶振動片２０１の製造方法と同様の方法となる。これにより、水晶振動片２０１’の製造方法は、水晶振動片２０１の製造方法と同様の効果が得られる。

（第４の実施形態）
図１４は、第４の実施形態の水晶振動片の構成を示す構成図である。図１４（ａ）は斜視図、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のＧ−Ｇ線での断面図である。

図１４に示すように、水晶振動片３０１は、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸とにより規定されるＡＴカット水晶基板を用いて形成され、第３の実施形態の水晶振動片２０１と、Ｘ軸方向を回転軸とした回転対称形状に形成されている。
水晶振動片３０１は、一方の主面３１１側の一部に、エッチングによりＹ’軸方向の厚みが薄い薄肉部３１１ａが形成されている。そして、薄肉部３１１ａのＹ’軸のプラス側を向いた他方の主面３１５側に、エッチングにより矩形状の凹部３１２が形成されている。水晶振動片３０１は、凹部３１２の底面３１２ａを振動部３１３とし、振動部３１３の周囲を囲む側壁３２４ａ〜３２４ｄを有する枠部３１４が、外形に沿って形成されている。

水晶振動片３０１の枠部３１４は、四つの辺部から構成されている。一の辺部３１４ａは、振動部３１３よりＺ’軸のマイナス側でＸ軸方向に沿って形成されている。二の辺部３１４ｂ及び三の辺部３１４ｃは、振動部３１３を挟んで対向するようにＺ’軸方向に沿って形成されている。四の辺部３１４ｄは、振動部３１３よりＺ’軸のプラス側でＸ軸方向に沿って形成されている。なお、二の辺部３１４ｂ及び三の辺部３１４ｃは、それぞれ一端が一の辺部３１４ａに接続され、他端が四の辺部３１４ｄに接続されている。

枠部３１４の一の辺部３１４ａの薄肉部３１１ａにおけるＹ’軸方向の厚みＴ３１は、他の３つの辺部３１４ｂ〜３１４ｄの薄肉部３１１ａにおけるＹ’軸方向の厚みと同等に形成されている。それとともに、水晶振動片３０１の一方の主面３１１側のＹ’軸方向の厚みが厚い厚肉部３１１ｂが、平面視において、一の辺部３１４ａと重なるように形成されている。

水晶振動片３０１は、前述したエッチング異方性により、枠部３１４の一の辺部３１４ａの側壁３２４ａが、なだらかに傾斜して形成され、二の辺部３１４ｂ〜四の辺部３１４ｄの側壁３２４ｂ〜３２４ｄが、急峻に傾斜して形成される。
ここで、上記のように、水晶振動片３０１は、凹部３１２が薄肉部３１１ａに形成されている。これにより、枠部３１４の一の辺部３１４ａの側壁３２４ａの、他方の主面３１５側から底面３１２ａまでの長さが短く形成される。

また、水晶振動片３０１は、一方の主面３１１側の厚肉部３１１ｂが、平面視において、一の辺部３１４ａと重なるように形成されている。このことから、水晶振動片３０１は、一方の主面３１１側の薄肉部３１１ａと厚肉部３１１ｂとの段差部分に形成される側壁３１１ｃが、エッチング異方性により急峻に傾斜して形成される。

これらのことから、図１４（ｂ）に示すように、水晶振動片３０１は、振動部３１３のＺ’軸方向の長さＬ３１が、厚肉部３１１ｂが２点鎖線で示した四の辺部３１４ｄと重なる場合の、Ｚ’軸方向の長さＬ３２と比較して長くなる。これにより、水晶振動片３０１は、厚肉部３１１ｂが２点鎖線で示した四の辺部３１４ｄと重なる場合と比較して、振動部３１３の面積が大きくなる。

ここで、水晶振動片３０１の外部部材に対する固定について説明する。
図１５は、水晶振動片３０１の固定について説明する断面図である。
図１５に示すように、水晶振動片３０１は、図示しない電極形成、発振周波数調整などが行われた後、一の辺部３１４ａと厚肉部３１１ｂとが重なる部分を固定部として、パッケージ３３０内の水晶振動片支持部３３１に接着剤３３２などにより固定される。なお、図１５では、水晶振動片３０１の他方の主面３１５側が固定されているが、水晶振動片３０１を反転させて一方の主面３１１側が固定されるようにしてもよい。

上述したように、水晶振動片３０１は、一方の主面３１１側の一部に、薄肉部３１１ａが形成され、薄肉部３１１ａのＹ’軸のプラス側を向いた他方の主面３１５側に、エッチングにより凹部３１２が形成される。そして、凹部３１２の底面３１２ａを振動部３１３とし、振動部３１３の周囲を囲む側壁３２４ａ〜３２４ｄを有する枠部３１４が形成されている。
そして、水晶振動片３０１は、一の辺部３１４ａの薄肉部３１１ａにおけるＹ’軸方向の厚みが、他の３つの辺部３１４ｂ〜３１４ｄの薄肉部におけるＹ’軸方向の厚みと同等に形成されている。

これにより、水晶振動片３０１は、凹部３１２が薄肉部３１１ａに形成されることから、他方の主面３１５側の一の辺部３１４ａの傾斜がなだらかな側壁３２４ａの、他方の主面３１５側から底面３１２ａまでの長さが短くなり、凹部３１２の底面３１２ａの面積を狭める量を少なくできる。
加えて、水晶振動片３０１は、一方の主面３１１側の厚肉部３１１ｂが、平面視において、一の辺部３１４ａと重なるように形成されている。このことから、水晶振動片３０１は、一方の主面３１１側の薄肉部３１１ａと厚肉部３１１ｂとの段差部分に形成される側壁３１１ｃが、エッチング異方性により急峻に傾斜して形成される。
これらにより、水晶振動片３０１は、両主面３１１，３１５側からのエッチングによって限られた大きさの中で振動部３１３の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片３０１は、外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部３１３を形成できる。

また、水晶振動片３０１は、一方の主面３１１側の厚肉部３１１ｂが、平面視において、一の辺部３１４ａと重なるように形成されている。このことから、水晶振動片３０１は、一の辺部３１４ａと厚肉部３１１ｂとが重なる部分を固定部として、パッケージ３３０の水晶振動片支持部３３１に固定できる。

なお、本実施形態では、水晶振動片３０１の、一方の主面３１１側の厚肉部３１１ｂが、平面視において、一の辺部３１４ａと重なるように形成されているとしたが、これに限定するものではない。水晶振動片３０１は、下記のように一方の主面３１１側の厚肉部３１１ｂが、二の辺部３１４ｂ及び三の辺部３１４ｃと重なるように形成されていてもよい。
図１６は、第４の実施形態の水晶振動片の他の構成を示す構成図である。図１６（ａ）は斜視図、図１６（ｂ）は、図１６（ａ）のＨ−Ｈ線での断面図である。
図１６に示すように、水晶振動片３０１’は、一方の主面３１１’側の厚肉部３１１ｂ’が、二の辺部３１４ｂ’及び三の辺部３１４ｃ’と重なるように形成されている。また、一の辺部３１４ａ’及び四の辺部３１４ｄ’は、薄肉部３１１ａ’に形成されている。これにより、水晶振動片３０１’は、水晶振動片３０１と同様に、振動部３１３’の面積が大きくなる。

また、図１６（ｂ）に示すように、水晶振動片３０１’は、図示しない電極形成、発振周波数調整などが行われた後、厚肉部３１１ｂ’と二の辺部３１４ｂ’及び三の辺部３１４ｃ’とが重なる部分が、固定部として、パッケージ３３０’内の水晶振動片支持部３３１’に接着剤３３２’などにより固定される。なお、図１６では、水晶振動片３０１’の他方の主面３１５’側が固定されているが、水晶振動片３０１’を反転させて一方の主面３１１’側が固定されるようにしてもよい。

上述したように、水晶振動片３０１’は、水晶振動片３０１と同様に振動部３１３’の面積を充分に確保できる。また、水晶振動片３０１’は、一方の主面３１１’側の厚肉部３１１ｂ’が、二の辺部３１４ｂ’及び三の辺部３１４ｃ’と重なるように形成されている。このことから、水晶振動片３０１’は、厚肉部３１１ｂ’と二の辺部３１４ｂ’及び三の辺部３１４ｃ’とが重なる部分が、固定部として、パッケージ３３０’の水晶振動片支持部３３１’に固定できる。

ここで、第４の実施形態の水晶振動片３０１の製造方法について説明する。
図１７は、第４の実施形態の水晶振動片３０１の製造方法についての説明図である。なお、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸については、図１７（ａ）に代表して示す。

［第１エッチング工程］
図１７（ａ）に示すように、第１エッチング工程では、まず、ＡＴカット水晶基板３０８の他方の主面３１５の全域をレジスト３２０によりマスクする。
ついで、一方の主面３１１の、平面視において、他方の主面３１５の一の辺部３１４ａが形成される領域と重なる領域を、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングし、レジスト３２１によりマスクする。

ついで、図１７（ｂ）に示すように、ＡＴカット水晶基板３０８を図示しないエッチング液に浸漬して、一方の主面３１１をエッチングし、所定の厚みの薄肉部３１１ａを形成する。なお、エッチング後、レジスト３２０，３２１を一旦剥離し、ＡＴカット水晶基板３０８を清浄にする。

［第２エッチング工程］
第２エッチング工程では、図１７（ｃ）に示すように、ＡＴカット水晶基板３０８の一方の主面３１１の全域をレジスト３２１によりマスクする。ついで、他方の主面３１５の一の辺部３１４ａ〜四の辺部３１４ｄが形成される領域をパターニングし、レジスト３２０によりマスクする。

ついで、図１７（ｄ）に示すように、ＡＴカット水晶基板３０８をエッチング液に浸漬して、他方の主面３１５をエッチングし、他方の主面３１５に凹部３１２を形成し、凹部３１２の底面３１２ａを振動部３１３として形成する。ついで、レジスト３２０，３２１を剥離し、図１４に示す水晶振動片３０１を得る。

上述したように、水晶振動片３０１の製造方法は、一方の主面３１１の、平面視において、他方の主面３１５の一の辺部３１４ａが形成される領域と重なる領域をマスクし、一方の主面３１１をエッチングして、一方の主面３１１側に薄肉部３１１ａを形成する。加えて、他方の主面３１５の、一の辺部３１４ａ〜四の辺部３１４ｄが形成される領域をマスクし、他方の主面３１５をエッチングして、他方の主面３１５に凹部３１２を形成し、凹部３１２の底面３１２ａを振動部３１３として形成する。

これにより、水晶振動片３０１の製造方法は、凹部３１２を薄肉部３１１ａに形成することから、水晶振動片３０１の一の辺部３１４ａの傾斜がなだらかな側壁３２４ａの、他方の主面３１５側から底面３１２ａまでの長さが短くなり、凹部３１２の底面３１２ａの面積を狭める量を少なくできる。
加えて、水晶振動片３０１の製造方法は、水晶振動片３０１の一方の主面３１１側の厚肉部３１１ｂが、平面視において、一の辺部３１４ａと重なるように形成する。このことから、水晶振動片３０１の製造方法は、水晶振動片３０１の一方の主面３１１側の薄肉部３１１ａと厚肉部３１１ｂとの段差部分に形成される側壁３１１ｃを、急峻な傾斜で形成できる。

これらにより、水晶振動片３０１の製造方法は、水晶振動片３０１の両主面３１１，３１５側からのエッチングによって限られた大きさの中で振動部３１３の面積を充分に確保できる。このことから、水晶振動片３０１の製造方法は、水晶振動片３０１の外形サイズが小型化されても安定した振動が得られる振動部３１３を形成できる。

なお、水晶振動片３０１の製造方法は、第１エッチング工程のエッチングと第２エッチング工程のエッチングとを一括して行ってもよい。これによれば、エッチングを一括して行うことで製造時間を短縮でき、生産効率が向上する。
なお、水晶振動片３０１の製造方法は、個片状態のＡＴカット水晶基板３０８だけではなく、ウエハ状態のＡＴカット水晶基板３０８にも適用できる。

なお、水晶振動片３０１’の製造方法については、水晶振動片３０１の製造方法における第１エッチング工程のレジスト３２１によりマスクする領域を、二の辺部３１４ｂ’及び三の辺部３１４ｃ’が形成される領域とする。これ以降は、水晶振動片３０１の製造方法と同様の方法となる。これにより、水晶振動片３０１’の製造方法は、水晶振動片３０１の製造方法と同様の効果が得られる。

第１の実施形態の水晶振動片の構成を示す構成図。 ＡＴカット水晶基板のエッチング異方性についての説明図。 第１の実施形態の水晶振動片の固定について説明する断面図。 第１の実施形態の水晶振動片の他の構成を示す構成図。 第１の実施形態の水晶振動片の製造方法についての説明図。 第２の実施形態の水晶振動片の構成を示す構成図。 第２の実施形態の水晶振動片の固定について説明する断面図。 第２の実施形態の水晶振動片の他の構成を示す構成図。 第２の実施形態の水晶振動片の製造方法についての説明図。 第３の実施形態の水晶振動片の構成を示す構成図。 第３の実施形態の水晶振動片の固定について説明する断面図。 第３の実施形態の水晶振動片の他の構成を示す構成図。 第３の実施形態の水晶振動片の製造方法についての説明図。 第４の実施形態の水晶振動片の構成を示す構成図。 第４の実施形態の水晶振動片の固定について説明する断面図。 第４の実施形態の水晶振動片の他の構成を示す構成図。 第４の実施形態の水晶振動片の製造方法についての説明図。

符号の説明

１…水晶振動片、１１…一方の主面、１２…凹部、１２ａ…凹部の底面、１３…振動部、１４…枠部、１４ａ…第１の辺部、１４ｂ…第２の辺部、１４ｃ…第３の辺部、１４ｄ…第４の辺部、２４ａ…第１の辺部の側壁、２４ｂ…第２の辺部の側壁、２４ｃ…第３の辺部の側壁、２４ｄ…第４の辺部の側壁。

Claims (5)

1. 水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸、機械軸としてのＹ軸、及び光学軸としてのＺ軸、のうち前記Ｘ軸を回転軸として、＋Ｚ側を−Ｙ方向へ回転するように前記Ｚ軸を傾けた軸をＺ’軸とし、＋Ｙ側を＋Ｚ方向へ回転するように前記Ｙ軸を傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸と前記Ｚ’軸に平行な面を主面とし、前記Ｙ’軸に平行な方向を厚みとするＡＴカット水晶基板の一方の主面側に、エッチングにより開口部が矩形状である凹部が設けられ、
   前記凹部の底面に振動部を含み、
   前記底面の周囲を囲んでいる側壁を有する枠部が外形に沿って設けられ、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側、又はプラス側を向いており、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、
   前記枠部が、
   前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第１の辺部と、
   前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第４の辺部と、
   前記底面を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第１の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第４の辺部に接続されている第２の辺部及び第３の辺部と、
   を含み、
   前記枠部の前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部の少なくともいずれかの前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄く、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、
   前記枠部が、
   前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第一の辺部と、
   前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第四の辺部と、
   前記底面を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第一の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第四の辺部に接続されている第二の辺部及び第三の辺部と、
   を含み、
   前記枠部の前記第一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第二の辺部、前記第三の辺部及び前記第四の辺部の少なくともいずれかの前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄い
   ことを特徴とする水晶振動片。
2. 請求項１において、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、
   前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第４の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄く、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、
   前記第一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第四の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄い
   ことを特徴とする水晶振動片。
3. 請求項１において、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、
   前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第２の辺部及び第３の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄く、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、
   前記第一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第二の辺部及び第三の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄い
   ことを特徴とする水晶振動片。
4. 水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸、機械軸としてのＹ軸、及び光学軸としてのＺ軸、のうち前記Ｘ軸を回転軸として、＋Ｚ側を−Ｙ方向へ回転するように前記Ｚ軸を傾けた軸をＺ’軸とし、＋Ｙ側を＋Ｚ方向へ回転するように前記Ｙ軸を傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸と前記Ｚ’軸に平行な面を主面とし、前記Ｙ’軸に平行な方向を厚みとするＡＴカット水晶基板の一方の主面側に、エッチングにより開口部が矩形状である凹部が設けられ、
   前記凹部の底面に振動部を含み、
   前記底面の周囲を囲んでいる側壁を有する枠部が外形に沿って設けられ、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側、又はプラス側を向いており、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、
   前記枠部が、
   前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第１の辺部と、
   前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第４の辺部と、
   前記底面を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第１の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第４の辺部に接続されている第２の辺部及び第３の辺部と、
   を含み、
   前記枠部の前記第１の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部の少なくともいずれかの前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄く、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、
   前記枠部が、
   前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第一の辺部と、
   前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第四の辺部と、
   前記底面を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第一の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第四の辺部に接続されている第二の辺部及び第三の辺部と、
   を含み、
   前記枠部の前記第一の辺部の前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第二の辺部、前記第三の辺部及び前記第四の辺部の少なくともいずれかの前記Ｙ’軸方向の厚みよりも厚みが薄い水晶振動片の製造方法であって、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、
   前記一方の主面の前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部の少なくともいずれかが形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして薄くする第１のエッチング工程と、
   前記第１のエッチング工程後、前記一方の主面の前記第１の辺部、前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部が形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして前記一方の主面に、底面に振動部を含むように凹部を形成する第２のエッチング工程と、を含み、
   前記一方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、
   前記一方の主面の前記第二の辺部、前記第三の辺部及び前記第四の辺部の少なくともいずれかが形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして薄くする第１エッチング工程と、
   前記第１エッチング工程後、前記一方の主面の前記第一の辺部、前記第二の辺部、前記第三の辺部及び前記第四の辺部が形成される領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして前記一方の主面に、底面に振動部を含むように凹部を形成する第２エッチング工程と、
   を含むことを特徴とする水晶振動片の製造方法。
5. 水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸、機械軸としてのＹ軸、及び光学軸としてのＺ軸、のうち前記Ｘ軸を回転軸として、＋Ｚ側を−Ｙ方向へ回転するように前記Ｚ軸を傾けた軸をＺ’軸とし、＋Ｙ側を＋Ｚ方向へ回転するように前記Ｙ軸を傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸と前記Ｚ’軸に平行な面を主面とし、前記Ｙ’軸に平行な方向を厚みとするＡＴカット水晶基板の一方の主面側の一部に、エッチングによりＹ’軸方向の厚みが薄い薄肉部が形成され、
   前記薄肉部の他方の主面側に、エッチングにより開口部が矩形状の凹部が設けられ、
   前記凹部の底面に振動部を含み、
   前記底面の周囲を囲んでいる枠部が前記ＡＴカット水晶基板の外形に沿って設けられ、
   前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側、又はプラス側を向いており、
   前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、
   前記枠部が、
   前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第１の辺部と、
   前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第４の辺部と、
   前記底面を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第１の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第４の辺部に接続されている第２の辺部及び第３の辺部と、
   を含み、
   前記枠部の前記第１の辺部の前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部の少なくともいずれかの前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みと同等に設けられているとともに、
   前記一方の主面側の前記Ｙ’軸方向の厚みが厚い厚肉部が、平面視において、前記第１の辺部、または、前記第２の辺部及び第３の辺部と重なるように設けられ、
   前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、
   前記枠部が、
   前記底面より前記Ｚ’軸のマイナス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第一の辺部と、
   前記底面より前記Ｚ’軸のプラス側で前記Ｘ軸方向に沿って設けられている第四の辺部と、
   前記振動部を挟んで、前記Ｚ’軸方向に沿って設けられ、それぞれの一端が前記第一の辺部に接続され、それぞれの他端が前記第四の辺部に接続されている第二の辺部及び第三の辺部と、
   を含み、
   前記枠部の前記第一の辺部の前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みが、前記第二の辺部、前記第三の辺部及び前記第四の辺部の少なくともいずれかの前記薄肉部における前記Ｙ’軸方向の厚みと同等に設けられているとともに、
   前記一方の主面側の前記Ｙ’軸方向の厚みが厚い厚肉部が、平面視において、前記第一の辺部、または、前記第二の辺部及び第三の辺部と重なるように設けられている水晶振動片の製造方法であって、
   前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のマイナス側を向いている場合、
   前記一方の主面の、平面視において、前記他方の主面の前記第１の辺部が形成される領域、または、前記第２の辺部及び第３の辺部が形成される領域と重なる領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして、前記一方の主面側に、前記薄肉部を形成する第１のエッチング工程と、
   前記他方の主面の、前記第１の辺部、前記第２の辺部、前記第３の辺部及び前記第４の辺部が形成される領域をマスクし、前記他方の主面をエッチングして、前記他方の主面に、底面に振動部を含むように凹部を形成する第２のエッチング工程と、
   を含み、
   前記他方の主面が、前記Ｙ’軸のプラス側を向いている場合、
   前記一方の主面の、平面視において、前記他方の主面の前記一の辺部が形成される領域、または、前記二の辺部及び三の辺部が形成される領域と重なる領域をマスクし、前記一方の主面をエッチングして、前記一方の主面側に、前記薄肉部を形成する第１エッチング工程と、
   前記他方の主面の、前記一の辺部、前記第二の辺部、前記第３の辺部及び前記第四の辺部が形成される領域をマスクし、前記他方の主面をエッチングして、前記他方の主面に、底面に振動部を含むように凹部を形成する第２エッチング工程と、
   を含むことを特徴とする水晶振動片の製造方法。

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