JP5132820B2 - 研磨用組成物 - Google Patents
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Description
実施例1における研磨用組成物COMP1は、濃度が研磨用組成物COMP1全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP1全体に対して0.5(重量%)である硫酸アンモニウムとを含む。
実施例2における研磨用組成物COMP2は、濃度が研磨用組成物COMP2全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP2全体に対して0.5(重量%)である硫酸カリウムとを含む。
実施例3における研磨用組成物COMP3は、濃度が研磨用組成物COMP3全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP3全体に対して0.5(重量%)である塩酸とを含む。
実施例4における研磨用組成物COMP4は、濃度が研磨用組成物COMP4全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP4全体に対して0.5(重量%)であるグリコール酸とを含む。
実施例5における研磨用組成物COMP5は、濃度が研磨用組成物COMP5全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP5全体に対して0.5(重量%)であるピロ硫酸カリウムとを含む。
実施例6における研磨用組成物COMP6は、濃度が研磨用組成物COMP6全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP6全体に対して0.5(重量%)であるアスパラギン酸とを含む。
実施例7における研磨用組成物COMP7は、濃度が研磨用組成物COMP7全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP7全体に対して0.5(重量%)である硫酸とを含む。
実施例8における研磨用組成物COMP8は、濃度が研磨用組成物COMP8全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP8全体に対して0.5(重量%)であるピロリン酸とを含む。
実施例9における研磨用組成物COMP9は、濃度が研磨用組成物COMP9全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP9全体に対して0.5(重量%)であるリン酸とを含む。
実施例10における研磨用組成物COMP10は、濃度が研磨用組成物COMP10全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP10全体に対して0.5(重量%)である硝酸とを含む。
実施例11における研磨用組成物COMP11は、濃度が研磨用組成物COMP11全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP11全体に対して0.5(重量%)であるシュウ酸とを含む。
実施例12における研磨用組成物COMP12は、濃度が研磨用組成物COMP12全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP12全体に対して0.5(重量%)であるPAA(ポリアクリル酸)とを含む。
実施例13における研磨用組成物COMP13は、濃度が研磨用組成物COMP13全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP13全体に対して0.5(重量%)であるアスパラギンとを含む。
実施例14における研磨用組成物COMP14は、濃度が研磨用組成物COMP14全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP14全体に対して0.5(重量%)であるフタル酸とを含む。
実施例15における研磨用組成物COMP15は、濃度が研磨用組成物COMP15全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP15全体に対して0.5(重量%)である安息香酸とを含む。
実施例16における研磨用組成物COMP16は、濃度が研磨用組成物COMP16全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP16全体に対して0.5(重量%)であるマロン酸とを含む。
実施例17における研磨用組成物COMP17は、濃度が研磨用組成物COMP17全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP17全体に対して0.5(重量%)である炭酸水素アンモニウムとを含む。
実施例18における研磨用組成物COMP18は、濃度が研磨用組成物COMP18全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP18全体に対して0.5(重量%)である過硫酸アンモニウムとを含む。
実施例19における研磨用組成物COMP19は、濃度が研磨用組成物COMP19全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP19全体に対して0.5(重量%)であるチオ硫酸アンモニウムとを含む。
実施例20における研磨用組成物COMP20は、濃度が研磨用組成物COMP20全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP20全体に対して0.5(重量%)であるメチルスルホン酸とを含む。
実施例21における研磨用組成物COMP21は、濃度が研磨用組成物COMP21全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP21全体に対して0.5(重量%)であるポリリン酸とを含む。
実施例22における研磨用組成物COMP22は、濃度が研磨用組成物COMP22全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP22全体に対して0.5(重量%)である乳酸とを含む。
実施例23における研磨用組成物COMP23は、濃度が研磨用組成物COMP23全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP23全体に対して0.5(重量%)であるアラニンとを含む。
実施例24における研磨用組成物COMP24は、濃度が研磨用組成物COMP24全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP24全体に対して0.5(重量%)であるマレイン酸とを含む。
実施例25における研磨用組成物COMP25は、濃度が研磨用組成物COMP25全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP25全体に対して0.5(重量%)である酒石酸とを含む。
実施例26における研磨用組成物COMP26は、濃度が研磨用組成物COMP26全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP26全体に対して0.5(重量%)であるクエン酸とを含む。
実施例27における研磨用組成物COMP27は、濃度が研磨用組成物COMP27全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP27全体に対して0.5(重量%)であるベンゼンスルホン酸とを含む。
実施例28における研磨用組成物COMP28は、濃度が研磨用組成物COMP28全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP28全体に対して0.5(重量%)であるブタノールとを含む。
実施例29における研磨用組成物COMP29は、濃度が研磨用組成物COMP29全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP29全体に対して0.5(重量%)であるグリセリンとを含む。
実施例30における研磨用組成物COMP30は、濃度が研磨用組成物COMP30全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP30全体に対して0.5(重量%)であるプロパノールとを含む。
実施例31における研磨用組成物COMP31は、濃度が研磨用組成物COMP31全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP31全体に対して0.5(重量%)であるエタノールとを含む。
比較例1における研磨用組成物COMP_CP1は、濃度が研磨用組成物COMP_CP1全体に対して20(重量%)のコロイダルシリカを含む。即ち、研磨用組成物COMP_CP1は、添加剤として電解質または電解質の塩を含まない。
比較例2における研磨用組成物COMP_CP2は、濃度が研磨用組成物COMP_CP2全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP2全体に対して0.5(重量%)であるグルコースとを含む。
比較例3における研磨用組成物COMP_CP3は、濃度が研磨用組成物COMP_CP3全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP3全体に対して0.5(重量%)であるピリジンとを含む。
比較例4における研磨用組成物COMP_CP4は、濃度が研磨用組成物COMP_CP4全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP4全体に対して0.5(重量%)であるデキストリンとを含む。
比較例5における研磨用組成物COMP_CP5は、濃度が研磨用組成物COMP_CP5全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP5全体に対して0.5(重量%)であるPEG(ポリエチレングリコール)とを含む。
比較例6における研磨用組成物COMP_CP6は、濃度が研磨用組成物COMP_CP6全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP6全体に対して0.5(重量%)である溶性デンプンとを含む。
比較例7における研磨用組成物COMP_CP7は、濃度が研磨用組成物COMP_CP7全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP7全体に対して0.5(重量%)であるトリエタノールアミンとを含む。
比較例8における研磨用組成物COMP_CP8は、濃度が研磨用組成物COMP_CP8全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP8全体に対して0.5(重量%)であるPVP(ポリ(N−ビニルピロリドン))とを含む。
比較例9における研磨用組成物COMP_CP9は、濃度が研磨用組成物COMP_CP9全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP9全体に対して0.5(重量%)であるTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)とを含む。
比較例10における研磨用組成物COMP_CP10は、濃度が研磨用組成物COMP_CP10全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP10全体に対して0.5(重量%)であるエチルアミンとを含む。
比較例11における研磨用組成物COMP_CP11は、濃度が研磨用組成物COMP_CP11全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP11全体に対して0.5(重量%)であるDABCO(1,4−ジアザビシクロ[2.2.2.]オクタン)とを含む。
比較例12における研磨用組成物COMP_CP12は、濃度が研磨用組成物COMP_CP12全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP12全体に対して0.5(重量%)であるアルギニンとを含む。
比較例13における研磨用組成物COMP_CP13は、濃度が研磨用組成物COMP_CP13全体に対して20(重量%)であるコロイダルシリカと、濃度が研磨用組成物COMP_CP13全体に対して0.5(重量%)であるピペリジンとを含む。
研磨用組成物COMP1〜COMP31を用いてSiO2を研磨したときの研磨レートは、研磨用組成物COMP1_CP1〜COMP_CP13を用いてSiO2を研磨したときの研磨レートよりも高い。
Claims (4)
- SiO x (0<x≦2)の研磨に用いられる研磨用組成物であって、
コロイダルシリカと、
水溶液中で水素イオンを放出する電解質または前記電解質の塩からなる添加剤とを含む研磨用組成物。 - 前記添加剤は、オキソ酸、オキソ酸塩、塩酸、塩酸塩、酸性または中性のアミノ酸、および酸性または中性のアミノ酸の塩のいずれかからなる、請求項1に記載の研磨用組成物。
- 前記添加剤は、硫酸、ピロ硫酸、リン酸、ピロリン酸、またはこれらの塩からなり、
前記添加剤の濃度は、当該研磨用組成物全体に対して2重量%以下である、請求項2に記載の研磨用組成物。 - 前記添加剤の濃度は、当該研磨用組成物全体に対して1重量%以下である、請求項3に記載の研磨用組成物。
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