JP5132210B2 - 磁気検出素子及び検出方法 - Google Patents

磁気検出素子及び検出方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5132210B2
JP5132210B2 JP2007179635A JP2007179635A JP5132210B2 JP 5132210 B2 JP5132210 B2 JP 5132210B2 JP 2007179635 A JP2007179635 A JP 2007179635A JP 2007179635 A JP2007179635 A JP 2007179635A JP 5132210 B2 JP5132210 B2 JP 5132210B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
detection
region
magnetic field
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2007179635A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009014650A (ja
Inventor
未紀 上田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2007179635A priority Critical patent/JP5132210B2/ja
Priority to PCT/JP2008/062660 priority patent/WO2009008533A1/en
Priority to EP08778131A priority patent/EP2165189B1/en
Priority to CN200880023483XA priority patent/CN101688849B/zh
Priority to US12/602,860 priority patent/US20100156406A1/en
Publication of JP2009014650A publication Critical patent/JP2009014650A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5132210B2 publication Critical patent/JP5132210B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/12Measuring magnetic properties of articles or specimens of solids or fluids
    • G01R33/18Measuring magnetostrictive properties
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/74Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables of fluids
    • G01N27/745Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables of fluids for detecting magnetic beads used in biochemical assays
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/063Magneto-impedance sensors; Nanocristallin sensors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Description

本発明は、磁性粒子を検出するための、又は磁性粒子を標識として非磁性物質を検出するための磁気検出素子及び検出方法に関する。
定量的なイムノアッセイとして、放射免疫分析法(RIA:radio immunoassay、又はIRMA:immunoradiometric assay)が古くから知られている。この方法では、放射性核種によって、競合する抗原あるいは抗体を標識し、比放射能の測定結果から抗原が定量的に測定される。つまり抗原などの標的物質を標識してこれを間接的に測定する。この方法は感度が高いことから、臨床診断において大きな貢献を果たしたが、放射性核種の安全性を考慮する必要があり、専用の施設や装置が必要になる。そこで、より扱いやすい方法として、例えば、蛍光物質、酵素、電気化学発光分子、磁性粒子などの標識を用いる方法が提案されてきた。
蛍光標識、酵素標識、電気化学発光標識等を標識として用いた場合は、光学的な測定方法に用いられ、光の吸収率や透過率、あるいは発光光量を計測することによって、標的物質の検出が行われる。標識に酵素を用いる酵素免疫測定法(EIA:Enzyme Immunoassay)は、抗原−抗体反応をさせた後に、酵素標識抗体を反応させ、その酵素に対する基質を添加して発色させ、その吸光度により比色定量する方法である。
また、磁性粒子を標識とし磁気センサ素子によって間接的に生体分子を検出するバイオセンサの研究報告が幾つかの研究機関によってなされている。この検出方法で用いられる磁気センサ素子には種々のものが挙げられる。磁気抵抗効果素子を用いたもの、ホール素子を用いたもの、ジョセフソン素子を用いたもの、コイルを用いたもの、磁気インピーダンスが変化する素子を用いたもの、フラックスゲート(FG)センサなどが提案されている(特許文献1、2、非特許文献1〜5)。FGセンサは、軟磁性体とコイルを用いて誘導起電力を検出するものである。これらの素子を用いた生体物質の検出方法にはそれぞれ特徴が有るが、中でもFGセンサは、磁場の分解能が高い、入力磁場に対する出力の直線性が高い、温度安定性が高い、という利点を持つ。
FGセンサ素子には、大きく分けて平行型と直交型の二種類がある。
直交型FGセンサは一般に、磁性体膜と、磁性体膜に交流磁界を印加するための手段と、磁性体膜の磁化変化を検出するための検出コイルとを有する。交流磁界Hac中における磁性体膜の磁化変化により引き起こされる、検出コイルの誘導起電力を通して磁界を検出することになる(非特許文献6、7)。
図11は一般的な直交型FGセンサ素子の構成例を示す図である。FGセンサ素子2000は、交流電源1502に接続された励磁用導体1231と、励磁用導体1231の円周面に設けられた磁性体膜1200と、磁性体膜1200からなる筒に巻かれた検出コイル1204とを有する。以下に、磁性体膜1200の磁化容易軸が交流磁界の方向に一致するFGセンサ素子について動作原理を簡単に説明する。
図12は図11に示したFGセンサ素子の動作原理を説明するための図である。
図12(a)において検出可能な磁界方向は、検出コイル長手方向である。ここで、図12(a)のように、外部磁界(検出対象磁界)Hext中に図11に示したFGセンサ素子2000を置く。外部磁界による磁界の方向は、検出コイル1204の長手方向である。さらに、交流電源1502により励磁用導体1231を介して交流磁界Hacを円筒形の磁性体薄膜1200の面内に印加する。ここで、交流磁界Hacは、磁性体膜1200の磁化を飽和させるのに十分な強度で、かつ磁壁移動現象が生じる周波数よりも十分高い周波数のものとする。
簡単のために、図12(b)に示すように、磁性体膜1200を切り出して平面に展開して考える。図12(b)に示す磁化容易軸2010と平行に交流磁界Hacが発生する。磁性体膜1200の磁化と交流磁界の関係は、図12(b)の(i)の状態と(ii)の状態を往復することになる。磁性体膜1200の磁化の振る舞いは、図12(b)の(i)、(ii)、それぞれの場合に、Hac方向に飽和することになる。
そのため、この磁化変化に伴う、検出コイル1204内磁化の時間変化は図13のようになる。図13に示すように、磁性体膜の膜厚は、磁性体膜が形成された円筒の円柱半径に対して十分薄く形成されており、磁化は膜内を回転するモードで時間変化する。
外部磁界(検出磁界)が0の場合、図14(a)に示すように、図で右回りの磁化回転と左回りの磁化回転が等比で存在するため、検出コイル1204の誘導起電力はゼロになる。
一方、外部磁界(検出磁界)がある場合、図14(b)に示すように、検出磁界方向を経由して回転する磁化の存在比が高くなり、検出コイル内で長さ方向の磁化変化が生じ、検出コイルに誘導起電力が生じる。また、検出磁界が大きいと磁化反転開始の励振位相角が小さくなることから、検出磁界の方向と大きさの両方の要素を読み取れることになる。励振磁界の位相と検出コイルに生じる誘導起電力の位相差により磁界強度を検出することが可能となる。磁界の方向は、上記誘導起電力の符号に反映する。
なお、直交型FGセンサには、磁性膜の磁化容易軸が上記と異なるもの、磁性膜と励磁用銅線が一体になった構造のもの、コアが短冊形のものなど、上記構造と異なるものがあるが、いずれのタイプであっても動作原理は上述した内容と同様である。
特開2005−315744号公報 特開2006−208368号公報 H. A. Ferreira, et al, J. Appl. Phys., 93 7281 (2003) Pierre-A. Besse, et al, Appl. Phys. Lett. 80 4199 (2002) SeungKyun Lee, et al, Appl. Phys. Lett. 81 3094 (2002) Richard Luxton, et al, Anal. Chem.16 1127 (2001) Horia Chiriac, et al, J. Magn. Magn. Mat. 293 671 (2005) 電学論C,Vol93-C,No.2,P.27(1973) 磁気工学の基礎と応用 電気学会マグネティックス技術委員会p.171
直交型FGセンサ素子による磁界測定は、非特許文献6、7に見られるように、円筒形の磁性体膜1200とその中心を貫く励磁用導体1231及び検出コイル1204を有する電気回路で行われる。上述したように、励磁用導体1231に交流を流し、磁性体膜1200における磁化変化が検出磁界より受ける影響を、検出コイル1204に生じる誘導起電力を通して検出する。このため、誘導起電力発生の有無、又は磁性粒子を固定する前後でセンサの出力を比較すると、磁性粒子が周囲に作る磁界(HSとする)を通して磁性粒子の検出が可能となる。
直交型FGセンサ素子を用いて、磁性粒子が作るような局所的な磁界HSを検出しようとするとき、磁性粒子と検出コイル1204の位置関係が変化すると、センサ素子の出力に大きく影響することがある。センサ素子の誘導起電力に打ち消し合いなどが生じると、センサ出力が大きく低下する。このため、条件によっては磁性粒子1401が存在するにもかかわらず、センサ出力が充分に得られないなど、磁性粒子の検出が困難な状況も起こる。
本発明は上述したような従来の技術が有する問題点を解決するためになされたものであり、検査対象物質による磁界の検出強度を向上させた磁気検出素子及び検出方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するための本発明の磁気検出素子は、交流磁界が印加される磁性体と、該磁性体が受ける磁界を検出する検出コイルとを有する磁気検出素子であって、
記磁性体の表面を前記検出コイルの長手方向に第1の領域及び第2の領域に二分し、検出対象物質の親和性が前記第1の領域の少なくとも一部において前記第2の領域と異なる構成である。
また、本発明の磁気検出素子は、交流磁界が印加される磁性体と、該磁性体が受ける磁界を検出する検出コイルとを有する磁気検出素子であって、
前記検出コイルは、コイルの巻き方向が互いに逆になっている2つ以上のコイルが直列に接続された構成であり、
前記2つ以上のコイルの接続部及び前記検出コイルの両端における前記磁性体の表面に、該検出コイルの一方の端部から順に第1の領域及び第2の領域を交互に設け、検出対象物質の親和性が前記第1の領域の少なくとも一部において前記第2の領域と異なる構成である。
本発明によれば、磁性粒子又は磁性粒子を標識とした非磁性物質を検出する際、磁性粒子による磁界の検出強度を向上させることができる。
本実施形態の磁気検出素子の構成を説明する。本実施形態では、磁気検出素子が直交型FGセンサ素子の場合で説明する。
図1は本実施形態のFGセンサ素子の構成を説明するための模式図である。図1に示すように、FGセンサ素子は、励磁用導体1231と、励磁用導体1231の外周面に設けられた磁性体膜1200と、磁性体膜1200の周りに巻かれた検出コイル1210とを有する。検出コイル1210は、磁化された検出対象物質の数量に応じて強度の異なる信号を検出する。
磁性体膜1200に用いる磁性体としては、例えば、ニッケル(Ni)と鉄(Fe)からなるパーマロイや、Ni、Fe及びモリブデン(Mo)からなるモリブデンパーマロイなどが用いられている。
本実施形態のFGセンサ素子では、検出コイル1210の長さ方向で二分する断面1300によってセンサ素子の表面が領域1301と領域1302に分けられている。検出コイル1210の長さをLとすれば、断面1300は検出コイル1210の端からL/2の位置に相当する。そして、領域1301の少なくとも一部における検出対象物質に対する親和性が領域1302の少なくとも一部の領域と異なっている。ここでは、検出対象物質を磁性粒子とする。
図2は図1で説明したFGセンサ素子の構成例を示す模式図である。領域1301の全部又は一部に、磁性粒子との親和性の高い磁性粒子固定膜1202が形成されている。また、領域1302の全部又は一部には、磁性粒子固定膜1202に比べて磁性粒子との親和性の低い磁性粒子非固定膜1203が形成されている。磁性粒子固定膜1202及び磁性粒子非固定膜1203非磁性材料からなる膜である。
図2に示す構成例では、磁性粒子固定膜1202が検出コイル1220の一方の端部の磁性体膜1200の表面に形成され、磁性粒子非固定膜1203が検出コイル1220のもう一方の端部の磁性体膜1200の表面に形成されている。磁性粒子固定膜1202が領域1301の一部に形成され、磁性粒子非固定膜1203が領域1302の一部に形成されている。ただし、上記親和性は領域1301から領域1302の間の素子表面で徐々に変化していても、図2に示すように局所的に異なっていてもよい。
磁性体膜1200の領域1301,1302の表面に、磁性粒子との親和性の異なる性質の膜を形成する方法として、スパッタリング法、めっき法、蒸着法などのうち少なくともいずれかの方法を用いることが可能である。膜が親水性か、疎水性かの性質によって、磁性粒子との親和性が異なるようにすることも可能である。また、膜の種類が同じでも膜厚を変えることで、磁性粒子の親和性が異なるようにすることも可能である。さらに、磁性体膜1200の表面に形成する膜の厚みや組成を徐々に変化させることでも、領域1301と領域1302とで、磁性粒子との親和性を変化させることが可能である。
例えば、磁性粒子との親和性が高い材料を、領域1301で最も厚い膜厚が得られるように形成してもよい。これは、コリメートスパッタリング法などを用いることでも、部分的に膜厚を厚くすることが可能である。
なお、領域1301と領域1302のそれぞれにおける磁性粒子との親和性について述べたが、検出対象物質は磁性粒子に限らず、磁性粒子に固定可能な物質であってもよい。また、本実施形態では、領域1301が領域1302よりも磁性粒子との親和性が高いものとして説明するが、領域1301と領域1302の性質は逆であってもよい。
図3は図2に示したFGセンサ素子に磁性粒子を固定させた場合の一例を示す模式図である。上述の直交型のFGセンサ素子を準備することで、図3の模式図に示すように、センサ素子表面の一部に磁性粒子1401を固定することが可能となる。ここでは、磁性粒子固定膜1202に磁性粒子1401が複数固定されている場合を示す。
次に、磁化m(ベクトルで表される)を持つ1個の磁性粒子1401がFGセンサ素子上に固定された場合において、FGセンサ素子の検出原理を図4及び図5を用いて説明する。
図4はFGセンサ素子に固定された磁性粒子の座標を説明するための図である。図5は、一般的なFGセンサ素子が磁性粒子から受ける磁界を示す模式図である。図5の横方向白抜きの矢印は、FGセンサ素子が受ける、磁性粒子からの磁界HS(ベクトルで表される)の検出可能方向成分を示す。磁性粒子の磁化は、交流磁界の方向に対して垂直な方向に直流磁界を印加する磁界印加手段(不図示)により、その方向が一定になるようにしている。直流磁界を印加する磁界印加手段は、所望の磁界が印加できればどのようなものでもよく、永久磁石でも電磁石でもよい。
図4(a)の破線で囲む部分のFGセンサ素子を拡大して、磁性体膜1200の表面上の任意の点Pを3次元座標で表してみる。一般的なFGセンサ素子の場合として説明するため、検出コイルの符号を1204とする。図4(b)は図4(a)に示すFGセンサ素子の一部を拡大した図である。座標を定義する際に、図1に示した励磁用導体1231及び磁性体膜1200からなる円柱構造で考える。
図4(b)に示すように、磁性体膜1200の表面上の任意の点Pを3次元座標で表すために、上記円柱構造の長手方向で、かつ、励磁用導体1231の中心を通る直線をZ軸とし、Z軸上にX軸とY軸が交差する基準点0を決める。上記円柱構造の半径をRと、基準点0から点Pへの直線をXY平面座標に投影した線分のX軸からのなす角をθとすると、点Pの座標は、(Rcosθ,Rsinθ,z)で表される。磁性体膜1200の表面上で、図中Y軸上に位置する磁性粒子1401の半径をL’とすると、基準点0から点Pの磁性粒子1401までの距離rのベクトルは、(Rcosθ,Rsinθ−(R+L’),z)で表される。そして、真空の透磁率をμ0とすると、点Pでの磁性粒子1401から生じる浮遊磁界HSは(1)式で表される。
Figure 0005132210
・・・・・・・・・・・・・・・(1)
ここで(1)式を解いて、検出可能な素子長手方向成分の磁界強度|HS(z)|の面積分をとり、その結果をHSsumとする。
図5(a)に示すようにFG素子の検出コイル1204の端付近に磁性粒子1401が存在する場合を状態Iとする。図5(b)に示すように検出コイル1204の中央付近に磁性粒子1401が存在する場合を状態IIとする。状態Iの場合と状態IIの場合とを比較すると、HSsumの値が大きく異なる。状態IIの場合は、図5(b)のように、磁性体膜1200が受ける磁性粒子1401からの磁界は、磁性粒子1401とセンサ素子の接点を含むセンサ素子断面を境に逆向きになる。つまり、状態Iの場合はセンサ素子出力が高く得られるが、状態IIの場合は、磁性体膜1200が磁性粒子1401の位置により逆向きのHSを受ける。このとき、逆向きのHSを受ける領域では、逆回りの磁化回転が生じ、検出コイル1204内の誘導起電力が打ち消し合う方向に生じることになる。この結果として、センサ素子出力が大きく減衰してしまう。
また、検出コイル1204を長さ方向で二分する断面に対して対称の位置(例えば、図5(c)に示す検出コイルの両端)に磁性粒子1401が存在する場合を状態IIIとする。状態IIIのようにして複数の磁性粒子1401を検出しようとする場合、状態IIの場合と同様に逆向きのHSsumを受ける領域からの出力が打ち消し合うこともわかる。さらに、図5(d)に示す状態IVのように、例えば、FGセンサ素子の裏表など、素子の中心軸(Z軸)に対称な位置に磁性粒子が存在する場合でも、上記状態IIや状態IIIと同様に、出力の打ち消し合いが生じることがわかる。
つまり、状態II、III又はIVに近い状況になるほど、素子全体で考えると出力の打ち消し合いが増加し、磁性粒子が存在するにもかかわらず、低い出力しか得られなくなってしまう。
上述の検出原理の考察から、FGセンサ素子が磁性粒子1401から受ける全体の磁界HStotの検出について検討する。本実施形態のFGセンサ素子では、図1及び図2で説明したように、領域1301,1302を設定し、磁性粒子1401が検出コイル1210の片方の端付近に付くようにしている。そのため、磁性粒子が単体の場合に限らず、図3に示したように複数の場合であっても、上述の状態Iで磁性粒子の磁界を検出することが可能となる。よって、本実施形態のFGセンサ素子では、磁性粒子による磁界に対して高い出力が得られることがわかる。
本実施形態では、検出対象物質との親和性の高い部分が検出コイルを二分したときの一方の領域の少なくとも一部に設けられている。そのため、検出対象物質の磁界を測定する際、検出対象物質との親和性の高い部分に磁性粒子が固定され、磁性粒子による磁界が検出されやすくなり、磁界に応じた信号強度の高い出力を得ることが可能となる。
次に、本実施形態のFGセンサ素子の別の構成例を説明する。図6は本実施形態のFGセンサ素子の別の構成例を示す模式図である。図1と同様な構成については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、検出対象物質を磁性粒子とする。
図6に示すように、FGセンサ素子は、励磁用導体1231と、磁性体膜1200と、検出コイル1211,1212,1213,1214とを有する。検出コイル1211,1212,1213,1214は、磁化された検出対象物質の数量に応じて強度の異なる信号を検出する。上記4つの検出コイルは、直列に接続されているが、コイルの巻き方向が交互に逆になっている。
検出コイル1211の一方の端部の磁性体膜1200に領域1303が設定され、検出コイル1211のもう一方の端部と検出コイル1212との接続部の磁性体膜1200に領域1304が設定されている。検出コイル1212と検出コイル1213の接続部の磁性体膜1200に領域1303が設定され、検出コイル1213と検出コイル1214の一方の端部との接続部の磁性体膜1200に領域1304が設定されている。そして、検出コイル1214のもう一方の端部の磁性体膜1200に領域1303が設定されている。
このように、直列に接続された2つ以上のコイルの接続部又はコイルの端部における磁性体膜1200に対して、領域1303及び領域1304がコイルの端部から交互に設けられている。領域1303における検出対象物質に対する親和性が領域1304の少なくとも一部の領域と異なっている。領域1303は本発明の第1の領域に相当し、領域1304は本発明の第2の領域に相当する。
図7は図6で説明したFGセンサ素子の構成例を示す模式図である。
図7に示す検出コイル1205,1206,1207,1208は図6で説明した4つの検出コイルと同様な構成である。領域1303の全部又は一部に、磁性粒子との親和性の高い磁性粒子固定膜1202が形成されている。領域1304の全部又は一部には、磁性粒子固定膜1202に比べて磁性粒子との親和性の低い磁性粒子非固定膜1203が形成されている。図7に示す構成例では、図6に示した領域1303の一部に磁性粒子固定膜1202が形成され、領域1304の一部に磁性粒子非固定膜1203が形成されている。ただし、上記親和性は領域1301から領域1302の間の素子表面で徐々に変化していても、図7に示すように局所的に異なっていてもよい。
なお、領域1303と領域1304のそれぞれにおける磁性粒子との親和性について述べたが、検出対象物質は磁性粒子に限らず、磁性粒子に固定可能な物質であってもよい。さらに、以下では、領域1303が領域1304よりも磁性粒子との親和性が高いものとして説明するが、領域1303と領域1304の性質は逆であってもよい。
図6及び図7に示したFGセンサ素子では、図5(a)で説明した動作原理にしたがって、磁性粒子による磁界の検出強度が従来よりも向上する。なお、図6及び図7では、直列に接続する検出コイルが4つの場合で説明したが、その数は4つに限らず、2つ以上あればよい。さらに、コイルの端部及びコイルの境目に設定された領域1303,1304に、隣接する検出コイルが重なっていてもよい。
図8は図7に示したFGセンサ素子に磁性粒子を固定させた場合の一例を示す模式図である。上述の直交型のFGセンサ素子を準備することで、図8の模式図に示すように、センサ素子表面の一部に磁性粒子1401を固定することが可能となる。ここでは、磁性粒子固定膜1202に磁性粒子1401が複数固定されている場合を示す。
実際に磁性粒子1401を検出する際には、外部磁場をかけるなどして磁性粒子1401の磁界を一定の方向にそろえることで、上記計算モデルに似た状況を実現できる。特に、素子の検出困難方向に静磁場を印加することで、素子の感度飽和を避けている。図5は、中でも特に、検出対象物質と素子の固定位置における素子接平面の法線方向に磁界を印加した場合について考察している。ただし、本実施形態及び後述の実施例の説明で用いる「検出困難方向の磁界」は検出方向以外の成分を有する磁界を意味し、「法線方向の磁界」は法線方向の成分を有する磁界を意味する。また、「素子表面」とは、素子の周囲に形成された保護膜等の表面も含む意味である。
図5(a)で説明した状態Iに近い状況で磁性粒子1401の磁界を検出することで、高いセンサ素子出力で磁性粒子1401の検出が可能となる。さらに、磁性粒子1401の数が少なくても一般的な方法に比べて充分な出力が得られ、検出が可能となる。
図9は本実施形態のFGセンサ素子を筐体に組み込んで使用する場合の一例を示す模式図である。図9に示すように、交流電源1502に接続されたFGセンサ素子1900が筐体に組み込まれている。FGセンサ素子1900の一部は、筐体表面1910に設けられた開口部で、筐体表面1910よりも飛び出ている。FGセンサ素子1900において筐体表面1910から飛び出した部分の磁性粒子固定膜に磁性粒子1401が固定されている。
また、磁性粒子1401の磁化方向をそろえるための静磁場が筐体表面1910に対して垂直方向に印加されている。この静磁場の磁界印加手段は、所望の磁界が印加できれば永久磁石でも電磁石でもよく、その他の手段であってもよい。図9に示すような場合でも、図5(a)で説明した状態Iに近い条件で検出することが可能である。
本実施形態では、検出コイルは巻き方向の異なる2つ以上のコイルが直列に接続された構成であり、それらのコイルの接続部分と検出コイルの両端にあるコイルの端部に、検出対象物質との親和性の高い部分と低い部分が交互に設けられている。そのため、検出対象物質の磁界を測定する際、検出対象物質との親和性の高い部分に磁性粒子が固定され、磁性粒子による磁界が検出されやすくなり、磁界に応じた信号強度の高い出力を得ることが可能となる。
また、FGセンサ素子の表面に固定される磁性粒子が単体の場合に限らず、複数の場合でも、磁性粒子が固定される領域を絞ることで、磁性粒子の磁界を検出することができる。また、検出対象物質が静磁界で磁化されないものであっても、その検出対象物質に磁性粒子を固定し、固定した磁性粒子を検出することで、検出対象物質を間接的に検出する際においても、本実施形態のFGセンサによる、上述の検出原理は有効である。
本発明の磁気検出素子及び検出方法により、磁性粒子又は磁性粒子を標識とした非磁性物質を検出する際、磁性粒子による磁界の検出強度を向上させることができる。
また、本発明に係る磁気検出素子としては、磁性体と、磁性体が受ける磁界を検出する検出コイルとを有し、そして、検出コイルにおける磁性体の表面に下記の特徴を付与することで既述の課題を解決する構成にすることもできる。
具体的には、検出コイルの長手方向に第1の領域及び第2の領域とを有し、第1の領域と第2の領域とでは、その表面特性を互いに異ならせるのである。表面特性が異なるとは、例えば、検出対象物質である磁性粒子との親和性が互いに異なることを意味する。結果として、検出対象物質が付着し易い領域と、付着し難い領域に分かれれば、粗い表面と平坦度の高い表面との相違に基づく表面特性の違いであってもよい。
本実施例では、本発明の磁気検出素子及び検出方法を用いた免疫センサについて説明をする。
(i)センサ機構
本実施例では、図2で説明したFGセンサ素子を用いる。図2に示すように、FGセンサ素子は、励磁用導体1231と、励磁用導体1231の周囲に円筒形に形成された磁性体膜1200と、磁性体膜1200をとりまく形で設けられた検出コイル1220とを有する。
本実施例のFGセンサ素子の作製方法を簡単に説明する。Moを材料とする励磁用導体1231の周囲に、Ni80パーマロイを材料とする磁性体膜1200を形成し、その表面にSiO2などの非磁性絶縁材料を形成する。さらに、磁性体膜1200を覆う非磁性絶縁材料の周りに、銅を材料とする検出コイル1220を設ける。
上記コイルを設ける前に、検出コイル1220を長さ方向で二分する断面を境にして、素子表面を分け、一方を第1の領域、他方を第2の領域に設定する。第1の領域は図1に示した領域1301に相当し、第2の領域は図2に示した領域1302に相当する。ここで、第1の領域の一部(図2では検出コイルの一方の端付近)に磁性粒子固定膜1202として金膜を形成する。第2の領域の一部(図2では検出コイルのもう一方の端付近)に磁性粒子非固定膜1203としてSiN膜を形成する。
上述のようにして、FGセンサ素子を作製した後、図11に示した交流電源1502を励磁用導体1231のMo線に接続する。
(ii)磁性粒子固定
検出対象物質の構成を説明する。図10は本実施例の検出対象物質の構成例を示す図である。図10に示すように、検出対象物質は、磁化されない物質に相当する抗原1403と、磁性粒子1401と、抗原1403及び磁性粒子1401をつなげるための二次抗体1404とを有する。抗原1403は一次抗体1402を介して、FGセンサ素子の磁性粒子固定膜1202と接続される。これにより、検出対象物質が磁性粒子固定膜1202に固定されることになる。
上述した磁気検出素子を用いて、以下のプロトコールにしたがって前立腺癌のマーカーとして知られている前立腺特異抗原(PSA)の検出を試みることが可能となる。なお、FGセンサ素子の磁性体膜1200には、PSAを認識する一次抗体が固定化されている。
(1)抗原(被検体)であるPSAを含むリン酸緩衝生理食塩水(被検体溶液)を流路内に注入し、5分間インキュベートする。
(2)リン酸緩衝生理食塩水を流路内に流し、未反応のPSAを除去する。
(3)磁性粒子1401により標識された抗PSA抗体(二次抗体)を含むリン酸緩衝生理食塩水を流路内に注入し、5分間インキュベートする。
(4)未反応の該標識抗体をリン酸緩衝生理食塩水で洗浄する。
上記プロトコールによって、抗PSA抗体(二次抗体)1404、抗原1403及び一次抗体1402を介してFGセンサ素子の磁性体膜1200の表面に設定された第1の領域の磁性粒子固定膜1202に、磁性粒子1401が固定される。つまり、被検体の中に抗原1403が存在しない場合には、磁性粒子1401はFG素子の磁性体膜1200部に固定されないので、磁性粒子1401の有無を検出することによって、抗原があるか否かを検出することが可能となる。
(iii)測定手順
FGセンサ素子にとって検出困難方向の磁界である、磁性体膜1200の膜面に垂直な方向に外部磁場をかける。このようにして、第1の領域の磁性粒子固定膜1202に固定された磁性粒子1401の磁化を、膜面に垂直な方向に向くようにそろえる。図11に示した交流電源1502を動作させ、励磁用導体1231に1MHzの交流磁界を発生させ、その交流磁界を磁性体膜1200に印加する。検出コイル1220に生じる誘電起電力を、検出コイルの両端に生じる電位差を示す検出信号で測定する。
検出信号の有無で、磁性粒子1401の有無を検出する。交流磁界の位相と出力の位相との差の大きさから、固定された磁性粒子1401の数量を予測し、被検体中に含まれる抗原1403の量を間接的に知ることも可能である。抗原1403の数量から濃度を予測することも可能である。また、実験の設定上、検出困難方向の軸に正確に静磁界を印加することが難しい際は、磁性粒子1401を固定する前後で信号出力を比較し、磁性粒子1401が固定されている場合の信号出力を予め調べておけばよい。
なお、本実施例では、上記(ii)において、流路を1つのみ形成する場合で説明したが、複数個の流路を持つ検出部とし、各流路で異なる抗原−抗体反応が生じるようにすることで、一度に複数の抗原を検出することも可能である。
本実施例は、図7で説明した構成を実施例1の素子に適用したものである。
図7に示したように、本実施例のFGセンサ素子は、逆巻きのコイルを直列につないだ形の検出コイル1205,1206,1207,1208が実施例1のFGセンサ素子に設けられている。また、磁性体膜1200の表面に、図6に示した領域1303及び領域1304が設定されている。直列に接続された4つのコイルの接続部又はコイルの端部における磁性体膜1200に、領域1303及び領域1304がコイルの端部から交互に設けられている。
そして、領域1303に相当する領域の少なくとも一部に磁性粒子固定膜1202が形成され、領域1304に相当する領域の少なくとも一部に磁性粒子非固定膜1203が形成されている。磁性粒子による磁界を測定する際には、磁性粒子固定膜1202に固定された磁性粒子1401による磁界を検出する。磁性粒子固定及び測定手順については、実施例1と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
なお、上記実施例1、2で説明したFGセンサ素子は、上記構造のものに限るわけではなく、他の構造の直交型FGセンサ素子を用いてもよい。
本実施形態のFGセンサ素子の構成を説明するための模式図である。 図1で説明したFGセンサ素子の構成例を示す模式図である。 図2に示したFGセンサ素子に磁性粒子を固定させた場合の一例を示す模式図である。 FGセンサ素子に固定された磁性粒子の座標を説明するための図である。 一般的なFGセンサ素子が磁性粒子から受ける磁界を示す模式図である。 本実施形態のFGセンサ素子の別の構成例を示す模式図である。 図6で説明したFGセンサ素子の構成例を示す模式図である。 図7に示したFGセンサ素子に磁性粒子を固定させた場合の一例を示す模式図である。 本実施形態のFGセンサ素子を筐体に組み込んで使用する場合の一例を示す模式図である。 実施例1の検出対象物質の構成例を示す図である。 一般的な直交型FGセンサ素子の構成例を示す図である。 図11に示したFGセンサ素子の動作原理を説明するための図である。 図11に示したFGセンサ素子における磁界の時間変化の様子を示す模式図である。 図11に示したFGセンサ素子において、外部磁界がない場合とある場合の磁界の様子を示す模式図である。
符号の説明
1200 磁性体膜
1210、1211、1212、1220、1221、1222 検出コイル
1230 励磁用導体
1301、1302、1303、1304 領域

Claims (8)

  1. 交流磁界が印加される磁性体と、該磁性体が受ける磁界を検出する検出コイルとを有する磁気検出素子であって、
    記磁性体の表面を前記検出コイルの長手方向に第1の領域及び第2の領域に二分し、検出対象物質の親和性が前記第1の領域の少なくとも一部において前記第2の領域と異なる磁気検出素子。
  2. 交流磁界が印加される磁性体と、該磁性体が受ける磁界を検出する検出コイルとを有する磁気検出素子であって、
    前記検出コイルは、コイルの巻き方向が互いに逆になっている2つ以上のコイルが直列に接続された構成であり、
    前記2つ以上のコイルの接続部及び前記検出コイルの両端における前記磁性体の表面に、該検出コイルの一方の端部から順に第1の領域及び第2の領域を交互に設け、検出対象物質の親和性が前記第1の領域の少なくとも一部において前記第2の領域と異なる磁気検出素子。
  3. 前記第1の領域の少なくとも一部に、前記第2の領域に比べて前記検出対象物質との親和性が高く、かつ、非磁性材料からなる膜が設けられている請求項1又は2に記載の磁気検出素子。
  4. 請求項1から3のいずれか1項に記載の磁気検出素子を用いた検出方法であって、
    前記検出対象物質の磁化方向を設定するための静磁場を印加し、
    前記磁気検出素子の表面に前記検出対象物質を固定させ、
    前記磁性体に交流磁界を印加し、前記検出コイルに発生する信号強度を前記磁気検出素子で測定することにより前記検出対象物質の有無又は濃度を検出する、検出方法。
  5. 前記静磁場の磁界方向が、前記検出対象物質を前記磁気検出素子に固定した位置における接平面の法線方向である請求項記載の検出方法。
  6. 前記検出対象物質が、
    磁化されない物質と、
    前記磁化されない物質に固定された磁性粒子と、
    を有する請求項又はに記載の検出方法。
  7. 前記磁化されない物質が生体物質である請求項に記載の検出方法。
  8. 前記検出対象物質が磁性体である請求項又はに記載の検出方法。
JP2007179635A 2007-07-09 2007-07-09 磁気検出素子及び検出方法 Expired - Fee Related JP5132210B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007179635A JP5132210B2 (ja) 2007-07-09 2007-07-09 磁気検出素子及び検出方法
PCT/JP2008/062660 WO2009008533A1 (en) 2007-07-09 2008-07-08 Magnetic detection element and detecting method
EP08778131A EP2165189B1 (en) 2007-07-09 2008-07-08 Magnetic detection element and detecting method
CN200880023483XA CN101688849B (zh) 2007-07-09 2008-07-08 磁检测元件和检测方法
US12/602,860 US20100156406A1 (en) 2007-07-09 2008-07-08 Magnetic detection element and detecting method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007179635A JP5132210B2 (ja) 2007-07-09 2007-07-09 磁気検出素子及び検出方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009014650A JP2009014650A (ja) 2009-01-22
JP5132210B2 true JP5132210B2 (ja) 2013-01-30

Family

ID=40084175

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007179635A Expired - Fee Related JP5132210B2 (ja) 2007-07-09 2007-07-09 磁気検出素子及び検出方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20100156406A1 (ja)
EP (1) EP2165189B1 (ja)
JP (1) JP5132210B2 (ja)
CN (1) CN101688849B (ja)
WO (1) WO2009008533A1 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5159193B2 (ja) * 2007-07-09 2013-03-06 キヤノン株式会社 磁気検出素子及び検出方法
CN102935996B (zh) * 2012-10-18 2015-04-22 上海交通大学 血清肿瘤标志物检测的微型化磁通门生物传感器制作方法
CN104880683B (zh) * 2014-02-28 2018-02-13 西门子(深圳)磁共振有限公司 一种磁共振成像系统的匀场片的检测装置、方法和系统
CN105548921B (zh) * 2015-12-03 2018-06-19 深圳怡化电脑股份有限公司 一种确定轴承含磁的方法及装置
CN109073596B (zh) * 2016-03-28 2022-06-24 Tdk株式会社 化学传感器
JP7378586B2 (ja) * 2020-04-01 2023-11-13 三菱電機株式会社 発電素子、これを用いた磁気センサ、エンコーダおよびモータ
WO2022153356A1 (ja) * 2021-01-12 2022-07-21 三菱電機株式会社 発電素子、磁気センサおよびエンコーダ
CN112986376A (zh) * 2021-02-05 2021-06-18 大连海事大学 一种高梯度磁场感抗式油液检测装置及其制作方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3643155A (en) * 1966-07-25 1972-02-15 Micro Magnetic Ind Inc Flux gate magnetometer including backing plate
US4007417A (en) * 1972-10-02 1977-02-08 Mishima Kosan Co., Ltd. Thin film magnetometer using an orthogonal flux gate
US6208135B1 (en) * 1994-07-22 2001-03-27 Steve J. Shattil Inductive noise cancellation circuit for electromagnetic pickups
US6437563B1 (en) * 1997-11-21 2002-08-20 Quantum Design, Inc. Method and apparatus for making measurements of accumulations of magnetically susceptible particles combined with analytes
JP4171139B2 (ja) * 1999-07-21 2008-10-22 住友電気工業株式会社 磁性体標識による免疫検査方法とその装置
US6736978B1 (en) * 2000-12-13 2004-05-18 Iowa State University Research Foundation, Inc. Method and apparatus for magnetoresistive monitoring of analytes in flow streams
JP3630142B2 (ja) * 2002-03-01 2005-03-16 株式会社三協精機製作所 物体検知センサ
WO2003085417A1 (fr) * 2002-03-01 2003-10-16 Sankyo Seiki Mfg. Co., Ltd. Detecteur d'objets et lecteur de carte a circuit integre le contenant
JP2005315744A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Canon Inc 検出素子、検出装置、および素子と試薬を含む検出用キット
JP2005315677A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Canon Inc 検出装置および検出方法
JP2006090825A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Citizen Watch Co Ltd 磁気免疫測定装置
WO2007014322A2 (en) * 2005-07-27 2007-02-01 University Of Houston Nanomagnetic detector array for biomolecular recognition
US20080246470A1 (en) * 2005-10-12 2008-10-09 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Magnetic Sensor Device With Field Compensation
US7729093B1 (en) * 2006-09-28 2010-06-01 Headway Technologies, Inc. Detection of magnetic beads using a magnetoresistive device together with ferromagnetic resonance
US8114683B2 (en) * 2007-03-05 2012-02-14 Headway Technologies, Inc. Low temperature method to enhance detection of magnetic beads
JP5159193B2 (ja) * 2007-07-09 2013-03-06 キヤノン株式会社 磁気検出素子及び検出方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009014650A (ja) 2009-01-22
US20100156406A1 (en) 2010-06-24
EP2165189B1 (en) 2012-11-28
EP2165189A1 (en) 2010-03-24
WO2009008533A1 (en) 2009-01-15
CN101688849B (zh) 2012-07-04
CN101688849A (zh) 2010-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5132210B2 (ja) 磁気検出素子及び検出方法
JP5349840B2 (ja) 磁気センサ素子及びそれを備える検出装置
US20090243594A1 (en) Method and device for characterization of a magnetic field applied to a magnetic sensor
JP4676361B2 (ja) 磁気的免疫検査装置
KR20060127918A (ko) 온-칩 자기공명 측정 장치, 방법 및 이 장치의 사용 방법
US10197564B2 (en) Nuclear magnetic resonance apparatus and methods
Huang et al. Magnetoresistive biosensors for direct detection of magnetic nanoparticle conjugated biomarkers on a chip
JP5279340B2 (ja) 標的物質検出キットおよび標的物質検出方法
JP5159193B2 (ja) 磁気検出素子及び検出方法
Yang et al. Ultra-highly sensitive and wash-free bio-detection of H5N1 virus by immunomagnetic reduction assays
JP5188091B2 (ja) センサ素子、ならびにこの素子を用いた磁性粒子の検出方法及び標的物質の検出方法
JP5201885B2 (ja) 磁性物質の検出装置及び検出方法
JP2005315678A (ja) 検出方法、検出デバイス及び検出用キット
US10094897B2 (en) Nuclear magnetic resonance apparatus and methods
US20160025825A1 (en) Nuclear magnetic resonance apparatus and methods
JP2009250926A (ja) 磁気センサ、及び磁性粒子の検出方法
JP2009008475A (ja) センサ及びセンサを用いた検出方法
Lei et al. Detection of targeted carcinoembryonic antigens using a micro-fluxgate-based biosensor
Yang et al. A Dynabeads-labeled immunoassay based on a fluxgate biosensor for the detection of biomarkers
Lei et al. Investigation of targeted biomolecules in a micro-fluxgate-based bio-sensing system
Ghionea et al. Ferromagnetic resonance detection for magnetic microbead sensors
Ejsing Planar Hall sensor for influenza immunoassay
JP2009031303A (ja) 検出デバイス及び検出用キット
KR20120085502A (ko) 자성 입자를 이용한 진단키트 및 진단방법

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100708

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120228

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120426

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121009

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121106

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151116

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151116

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees