JP5127357B2 - 透過型液晶表示素子の製造方法、透過型液晶表示素子及び液晶プロジェクタ - Google Patents
透過型液晶表示素子の製造方法、透過型液晶表示素子及び液晶プロジェクタ Download PDFInfo
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Crystal On Silicon)と呼ばれ、ビューファインダやプロジェクタに使用されているが、単結晶シリコン基板に薄膜トランジスタを形成したものであり、反射型が主流である。
支持基板であるシリコン基板2の表面に絶縁膜を介してシリコン基板1を積層してなるSOI基板のシリコン基板1に透過型液晶表示素子の各画素電極を制御するための回路素子を形成する工程と、
シリコン基板2を薄くする工程と、
シリコン基板2に水素イオンによるインプランテーションをする工程と、
該インプランテーションをした部分を境にシリコン基板2の一部を剥離する工程と、
該一部を剥離したシリコン基板2の表面を研磨する工程と、
該研磨したシリコン基板2の表面を透明基板に接着する工程と、
前記画素電極に対応する部分のシリコン基板1、シリコン基板2を除去する工程と、
該シリコン基板1、シリコン基板2を除去した部分と前記回路素子上部に絶縁膜を形成する工程と、
該絶縁膜を平坦化処理する工程と、
前記絶縁膜に前記回路素子と前記画素電極との導通をとるためのコンタクトホールを形成する工程と、
前記シリコン基板1、シリコン基板2を除去した部分に対応する前記絶縁膜の表面に前記画素電極を形成する工程と、
を具備する透過型液晶表示素子の製造方法とする。
SOI基板のシリコン基板1表面に透過型液晶表示素子の各画素電極を制御するためのトランジスタ等の回路素子を形成する工程と、
支持基板であるシリコン基板2を薄くする工程と、
シリコン基板2に水素イオンによるインプランテーションをして分割する工程と、
分割したシリコン基板2を剥離する工程と、
剥離したシリコン基板2の表面を研磨する工程と、
前記研磨したシリコン基板2側を透明基板1に接着する工程と、
前記画素電極に対応するシリコン基板1、シリコン基板2を除去する工程と、
該除去した部分と前記回路素子上部に絶縁膜を形成する工程と、
該絶縁膜を平坦化処理する工程と、
前記回路素子と画素電極の導通をとるためのコンタクトホールを形成する工程と、
前記画素電極を形成する工程
を具備する透過型液晶表示素子の製造方法とする。
従来技術として示した図5と異なるのは、画素電極9(26)の下部のシリコン基板7(23)とその下の絶縁層3、さらにその下のシリコン基板2’が無いこと、代わりに絶縁層10(24)が形成されていること、サファイア基板22が透明基板6(例えば石英基板)になっていることである。本発明の構造により、光の透過する画素領域に透過率の低いシリコン層を無くしたので明るい透過型液晶表示素子が得られる。(括弧内の符号は対応する図5の符号である。)
2 単結晶シリコン基板2
2’ 単結晶シリコン基板2’
3 絶縁膜
4 単結晶シリコン基板1
5 剥離面
5’ 研磨された面
6 透明基板
7 回路素子
8 絶縁膜
9 画素電極(透明電極)
10 絶縁膜
20 透過型液晶表示素子
21 ガラス基板
22 サファイア基板
23 シリコン基板
24 絶縁層
25 コンタクトホール
26 画素電極
26’ 透明電極
27 配向膜
28 スペーサ
29 シール材
30 注入口
31 封止材
32 液晶
33 パッド電極
Claims (2)
- 少なくとも、
支持基板であるシリコン基板2の表面に絶縁膜を介してシリコン基板1を積層してなるSOI基板のシリコン基板1に透過型液晶表示素子の各画素電極を制御するための回路素子を形成する工程と、
シリコン基板2を薄くする工程と、
シリコン基板2に水素イオンによるインプランテーションをする工程と、
該インプランテーションをした部分を境にシリコン基板2の一部を剥離する工程と、
該一部を剥離したシリコン基板2の表面を研磨する工程と、
該研磨したシリコン基板2の表面を透明基板に接着する工程と、
前記画素電極に対応する部分のシリコン基板1、シリコン基板2を除去する工程と、
該シリコン基板1、シリコン基板2を除去した部分と前記回路素子上部に絶縁膜を形成する工程と、
該絶縁膜を平坦化処理する工程と、
前記絶縁膜に前記回路素子と前記画素電極との導通をとるためのコンタクトホールを形成する工程と、
前記シリコン基板1、シリコン基板2を除去した部分に対応する前記絶縁膜の表面に前記画素電極を形成する工程と、
を具備することを特徴とする透過型液晶表示素子の製造方法。 - 前記一部を剥離したシリコン基板2の表面を研磨する工程でシリコン基板2を全部除去することを特徴とする請求項1記載の透過型液晶表示素子の製造方法。
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