JP5124283B2 - 真空ゲージの較正パラメータおよび真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置 - Google Patents
真空ゲージの較正パラメータおよび真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5124283B2 JP5124283B2 JP2007546716A JP2007546716A JP5124283B2 JP 5124283 B2 JP5124283 B2 JP 5124283B2 JP 2007546716 A JP2007546716 A JP 2007546716A JP 2007546716 A JP2007546716 A JP 2007546716A JP 5124283 B2 JP5124283 B2 JP 5124283B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gauge
- vacuum
- ionization
- thermal sensor
- vacuum gauge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
- G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
- G01L21/10—Vacuum gauges by measuring variations in the heat conductivity of the medium, the pressure of which is to be measured
Description
1.電子機器モジュールのシリアル番号およびファームウェア改訂版コード
2.電離真空計の各フィラメントおよびの複合真空ゲージ全体の動作時間
3.電離真空計の各フィラメントの脱ガス・サイクルの総回数
4.電離真空計の各フィラメントの動作サイクルの総回数
5.複合真空ゲージの動作サイクルの総回数
6.記録された最高の内部温度
1.エラー・コード
2.熱損失センサの生データ(VsおよびIs)および真空圧力の指示値
3.電離真空計のコレクタ電流、放射電流、脱ガス状態、動作しているフィラメント数、および真空圧力の読み取り値
4.最後のオン以降の電離真空計の動作時間
5.内部の電子機器モジュールの温度
6.ダイヤフラムセンサの電圧および真空圧力の読み取り値
7.気圧の読み取り値
[態様1](出願当初の請求項9)
周囲のガス圧を測定するための装置であって、
真空ゲージ、および
後段の計器の分析のために前記真空ゲージに結合され、前記真空ゲージの測定データを保存する不揮発性メモリを有している装置。
[態様2](出願当初の請求項10)
態様1において、前記不揮発性メモリが、前記真空ゲージと一体である装置。
[態様3](出願当初の請求項11)
態様1において、前記不揮発性メモリが、所定の時間間隔で更新される装置。
[態様4](出願当初の請求項12)
態様3において、測定データのウインドウが、前記不揮発性メモリに保存される装置。
[態様5](出願当初の請求項13)
態様1において、前記不揮発性メモリが、或る事象に応答して更新される装置。
[態様6](出願当初の請求項14)
態様5において、測定データのウインドウが、前記不揮発性メモリに保存される装置。
[態様7](出願当初の請求項15)
態様5において、前記事象が、エラーである装置。
[態様8](出願当初の請求項16)
態様1において、前記真空ゲージが、電離真空計、熱損失センサ、およびダイヤフラムセンサを含んでいる装置。
[態様9](出願当初の請求項17)
態様8において、前記電離真空計の測定データが、フィラメント放射電流およびイオン電流を含んでいる装置。
[態様10](出願当初の請求項18)
態様8において、前記熱損失センサの測定データが、熱損失センサについて検出される電気的パラメータを含んでいる装置。
[態様11](出願当初の請求項19)
態様8において、前記ダイヤフラムセンサの測定データが、ダイヤフラムセンサの電子回路からの出力を含んでいる装置。
[態様12](出願当初の請求項20)
周囲のガス圧を測定するための方法であって、
真空ゲージを用意するステップ、
不揮発性メモリを、前記真空ゲージに結合して用意するステップ、および
前記真空ゲージの測定データを前記不揮発性メモリに保存するステップを含んでいる方法。
[態様13](出願当初の請求項21)
態様12において、前記不揮発性メモリが、前記真空ゲージと一体である方法。
[態様14](出願当初の請求項22)
態様12において、前記不揮発性メモリが、所定の時間間隔で更新される方法。
[態様15](出願当初の請求項23)
態様14において、測定データのウインドウが、前記不揮発性メモリに保存される方法。
[態様16](出願当初の請求項24)
態様12において、前記不揮発性メモリが、或る事象に応答して更新される方法。
[態様17](出願当初の請求項25)
態様16において、測定データのウインドウが、前記不揮発性メモリに保存される方法。
[態様18](出願当初の請求項26)
態様16において、前記事象が、エラーである方法。
[態様19](出願当初の請求項27)
態様12において、前記真空ゲージが、電離真空計、熱損失センサ、およびダイヤフラムセンサを含んでいる方法。
[態様20](出願当初の請求項28)
態様19において、前記電離真空計の測定データが、フィラメント放射電流およびイオン電流を含んでいる方法。
[態様21](出願当初の請求項29)
態様19において、前記熱損失センサの測定データが、熱損失センサについて検出される電気的パラメータを含んでいる方法。
[態様22](出願当初の請求項30)
態様19において、前記ダイヤフラムセンサの測定データが、ダイヤフラムセンサの電子回路からの出力を含んでいる方法。
[態様23](出願当初の請求項31)
周囲のガス圧を測定するための装置であって、
真空ゲージ、および
前記真空ゲージに結合され、前記真空ゲージの測定データを保存するための手段を有している装置。
120 熱損失センサ(感熱センサ)
130 ダイヤフラムセンサ
140 不揮発メモリ
160 制御用電子機器(コントローラ)
165 真空ゲージ
Claims (8)
- 周囲のガス圧を測定するための装置であって、
フィラメントを有する電離真空計、
ガス圧を測定する感熱センサ、および
前記感熱センサに結合された不揮発性メモリを有しており、
前記不揮発性メモリが、前記電離真空計がオンになっているときおよび前記電離真空計がオフになっているときの両方において取得された較正データであって、前記電離真空計によって引き起こされる温度勾配を考慮した較正データにもとづく前記感熱センサの温度補償較正パラメータを含んでいる装置。 - 請求項1において、前記感熱センサが、熱損失センサである装置。
- 請求項1において、前記不揮発性メモリが、前記電離真空計および前記感熱センサと一体である装置。
- 請求項1において、さらに前記電離真空計および前記感熱センサに組み合わせられ、前記感熱センサの出力に応答して前記電離真空計をオンにするコントローラを有している装置。
- 請求項4において、前記不揮発性メモリが、前記電離真空計および前記前記感熱センサと一体である装置。
- 周囲のガス圧を測定するための方法であって、
フィラメントを有する電離真空計を用意するステップ、
ガス圧を測定する感熱センサを用意するステップ、
前記電離真空計および前記感熱センサに結合され、前記電離真空計がオンになっているときおよび前記電離真空計がオフになっているときの両方において取得された較正データであって、前記電離真空計によって引き起こされる温度勾配を考慮した較正データにもとづく前記感熱センサの温度補償較正パラメータを含んでいる不揮発性メモリを用意するステップ、および
前記感熱センサから出力される測定データに、前記較正パラメータを適用するステップ
を含んでいる方法。 - 請求項6において、さらに前記感熱センサの出力に応答して前記電離真空計をオンにするステップを含んでいる方法。
- 周囲のガス圧を測定するための装置であって、
フィラメントを有する電離真空計、
ガス圧を測定する感熱センサ、および
前記電離真空計がオンになっているときおよび前記電離真空計がオフになっているときの両方において取得された較正データであって、前記電離真空計によって引き起こされる温度勾配を考慮した較正データにもとづく前記感熱センサを較正するための手段を有している装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/012,871 US7313966B2 (en) | 2004-12-14 | 2004-12-14 | Method and apparatus for storing vacuum gauge calibration parameters and measurement data on a vacuum gauge structure |
US11/012,871 | 2004-12-14 | ||
PCT/US2005/043269 WO2006065535A1 (en) | 2004-12-14 | 2005-11-29 | Method and apparatus for storing vacuum gauge calibration parameters and measurement data on a vacuum gauge structure |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012063178A Division JP2012112981A (ja) | 2004-12-14 | 2012-03-21 | 真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008523410A JP2008523410A (ja) | 2008-07-03 |
JP5124283B2 true JP5124283B2 (ja) | 2013-01-23 |
Family
ID=36180190
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007546716A Expired - Fee Related JP5124283B2 (ja) | 2004-12-14 | 2005-11-29 | 真空ゲージの較正パラメータおよび真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置 |
JP2012063178A Withdrawn JP2012112981A (ja) | 2004-12-14 | 2012-03-21 | 真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置 |
JP2015116249A Active JP6069415B2 (ja) | 2004-12-14 | 2015-06-09 | 真空ゲージの較正パラメータおよび真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012063178A Withdrawn JP2012112981A (ja) | 2004-12-14 | 2012-03-21 | 真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置 |
JP2015116249A Active JP6069415B2 (ja) | 2004-12-14 | 2015-06-09 | 真空ゲージの較正パラメータおよび真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7313966B2 (ja) |
EP (1) | EP1825241B1 (ja) |
JP (3) | JP5124283B2 (ja) |
KR (1) | KR20070090012A (ja) |
CN (2) | CN101666697B (ja) |
TW (1) | TWI417528B (ja) |
WO (1) | WO2006065535A1 (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7207224B2 (en) * | 2005-06-10 | 2007-04-24 | Brooks Automation, Inc. | Wide-range combination vacuum gauge |
US7418869B2 (en) * | 2005-06-10 | 2008-09-02 | Brooks Automation, Inc. | Wide-range combination vacuum gauge |
US8343624B2 (en) | 2006-06-13 | 2013-01-01 | 3M Innovative Properties Company | Durable antireflective film |
US20070286994A1 (en) * | 2006-06-13 | 2007-12-13 | Walker Christopher B | Durable antireflective film |
US7429863B2 (en) * | 2006-07-18 | 2008-09-30 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for maintaining emission capabilities of hot cathodes in harsh environments |
ITTO20080103A1 (it) * | 2008-02-08 | 2009-08-09 | Itw Metalflex Druzba Za Proizvodnjo Delov Za... | Sensore di pressione perfezionato per un elettrodomestico e metodo associato |
DE102008013455A1 (de) * | 2008-03-10 | 2009-09-17 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Totaldrucktransmitters |
JP2010261881A (ja) * | 2009-05-11 | 2010-11-18 | Yokogawa Electric Corp | 圧力伝送器 |
US9322738B2 (en) | 2009-11-09 | 2016-04-26 | Mks Instruments, Inc. | Vacuum quality measurement system |
JP2011191284A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Toyo Denshi Kenkyusho:Kk | 冷陰極形電離真空計付き熱陰極形電離真空計 |
CN103460078B (zh) * | 2011-03-29 | 2015-09-30 | 凸版印刷株式会社 | 防反射膜及偏振片 |
CN102230837A (zh) * | 2011-03-30 | 2011-11-02 | 厦门大学 | 一种带温度补偿式微真空传感器 |
EP2737291B1 (en) * | 2011-07-26 | 2019-01-23 | MKS Instruments, Inc. | Cold cathode gauge fast response signal circuit |
JP2013040914A (ja) * | 2011-08-15 | 2013-02-28 | Toyo Denshi Kenkyusho:Kk | 校正機能付き冷陰極形電離真空計 |
JP5827532B2 (ja) * | 2011-09-27 | 2015-12-02 | 株式会社アルバック | 熱陰極電離真空計 |
RU2573751C1 (ru) | 2012-01-10 | 2016-01-27 | Майкро Моушн, Инк. | Полевое устройство обслуживания и способ для облегчения замены системы обработки в вибрационном расходомере |
TW201520526A (zh) * | 2013-09-30 | 2015-06-01 | Mks Instr Inc | 冷陰極離子化真空計 |
JP6275454B2 (ja) * | 2013-11-18 | 2018-02-07 | 株式会社アルバック | 電流測定装置、および、イオン電流測定システム |
CN104481514A (zh) * | 2014-12-17 | 2015-04-01 | 中国石油集团川庆钻探工程有限公司长庆井下技术作业公司 | 一种CalScan小直径压力计整体标校专用接头 |
WO2020121576A1 (ja) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | 株式会社アルバック | 真空計及びこの真空計を備える圧力測定システム |
US10917102B2 (en) | 2019-03-18 | 2021-02-09 | Analog Devices International Unlimited Company | Signal gauge |
CN110954265A (zh) * | 2019-10-31 | 2020-04-03 | 华北电力大学 | 一种新型热阴极电离真空计电参数校准装置 |
CN111678642A (zh) * | 2020-05-29 | 2020-09-18 | 中国航发南方工业有限公司 | 一种热阴极电离真空计发射电流测试装置及方法 |
GB2621399A (en) * | 2022-08-12 | 2024-02-14 | Edwards Ltd | Vacuum pressure gauge |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2431138A1 (fr) | 1978-07-12 | 1980-02-08 | Commissariat Energie Atomique | Procede de lecture automatique de la dose d'irradiation d'un dosimetre portatif a chambre d'ionisation et dispositif mettant en oeuvre ce procede |
US4237900A (en) | 1979-02-14 | 1980-12-09 | Pacesetter Systems, Inc. | Implantable calibration means and calibration method for an implantable body transducer |
EP0074498B1 (de) | 1981-09-04 | 1985-12-04 | F. HOFFMANN-LA ROCHE & CO. Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zum Eichen von Messfühlern |
NL8302964A (nl) * | 1983-08-24 | 1985-03-18 | Cordis Europ | Inrichting voor het bepalen van de aktiviteit van een ion (pion) in een vloeistof. |
JPH0746074B2 (ja) | 1984-11-27 | 1995-05-17 | 日電アネルバ株式会社 | 真空計 |
GB8603999D0 (en) * | 1986-02-18 | 1986-03-26 | Vg Instr Group | Vacuum monitoring apparatus |
JPH0330640Y2 (ja) * | 1986-06-30 | 1991-06-27 | ||
US4866640A (en) | 1987-08-20 | 1989-09-12 | Granville-Phillips Company | Temperature compensation for pressure gauge |
JP2628341B2 (ja) | 1988-05-19 | 1997-07-09 | フィガロ技研株式会社 | ガス検出方法及びその装置 |
JPH03197832A (ja) * | 1989-12-26 | 1991-08-29 | Fujitsu Ltd | 真空測定装置 |
JPH03235030A (ja) * | 1990-02-13 | 1991-10-21 | Seiko Instr Inc | デジタル表示式水晶真空計 |
US5296817A (en) * | 1990-04-11 | 1994-03-22 | Granville-Phillips Company | Ionization gauge and method of using and calibrating same |
US5250906A (en) * | 1991-10-17 | 1993-10-05 | Granville-Phillips Company | Ionization gauge and method of using and calibrating same |
US5422573A (en) | 1990-04-11 | 1995-06-06 | Granville-Phillips Company | Ionization gauge and method of using and calibrating same |
JPH04110249A (ja) * | 1990-08-29 | 1992-04-10 | Omron Corp | 車載用コントローラ |
US5185709A (en) * | 1991-02-01 | 1993-02-09 | Mdt Corporation | Apparatus and method for measuring pressure changes within pressure vessels |
JPH05215633A (ja) * | 1992-02-06 | 1993-08-24 | Fujitsu Ltd | 真空装置の監視装置及び監視方法 |
JP3188752B2 (ja) * | 1992-04-27 | 2001-07-16 | 日本真空技術株式会社 | ピラニ真空計 |
US5347476A (en) | 1992-11-25 | 1994-09-13 | Mcbean Sr Ronald V | Instrumentation system with multiple sensor modules |
US5422572A (en) * | 1993-08-06 | 1995-06-06 | Toshiba America Mri, Inc. | Method and apparatus for substantially simultaneously exciting a plurality of slices in NMR imaging |
CH688210A5 (de) | 1993-12-15 | 1997-06-13 | Balzers Hochvakuum | Druckmessverfahren und Druckmessanordnung zu dessen Ausfuehrung |
US5557972A (en) | 1994-09-13 | 1996-09-24 | Teledyne Industries, Inc. | Miniature silicon based thermal vacuum sensor and method of measuring vacuum pressures |
US5831851A (en) * | 1995-03-21 | 1998-11-03 | Seagate Technology, Inc. | Apparatus and method for controlling high throughput sputtering |
US5940780A (en) | 1995-09-29 | 1999-08-17 | Advanced Thermal Solutions, Inc. | Universal transceiver |
US5918194A (en) | 1996-08-01 | 1999-06-29 | Keithley Instruments, Inc. | Integrated modular measurement system having configurable firmware architecture and modular mechanical parts |
US5857777A (en) | 1996-09-25 | 1999-01-12 | Claud S. Gordon Company | Smart temperature sensing device |
DE19724742C2 (de) | 1997-06-12 | 1999-03-25 | Georg Dieter Dr Mirow | Verfahren und Vorrichtung zur Anzeige von statistisch auftretenden Ereignissen |
US6658941B1 (en) | 1997-07-21 | 2003-12-09 | Helix Technology Corporation | Apparatus and methods for heat loss pressure measurement |
US6119670A (en) * | 1997-08-29 | 2000-09-19 | Autotronic Controls Corporation | Fuel control system and method for an internal combustion engine |
DE19860500B4 (de) | 1998-12-28 | 2005-12-15 | Plöchinger, Heinz, Dipl.-Ing. | Vorrichtung und Verfahren zur Druckmessung |
JP4493139B2 (ja) * | 2000-02-02 | 2010-06-30 | キヤノンアネルバ株式会社 | 電離真空計 |
US7076920B2 (en) * | 2000-03-22 | 2006-07-18 | Mks Instruments, Inc. | Method of using a combination differential and absolute pressure transducer for controlling a load lock |
JP4592897B2 (ja) * | 2000-08-30 | 2010-12-08 | キヤノンアネルバ株式会社 | 圧力測定装置および複合型圧力測定装置 |
US6672171B2 (en) * | 2001-07-16 | 2004-01-06 | Mks Instruments, Inc. | Combination differential and absolute pressure transducer for load lock control |
JP3549505B2 (ja) * | 2001-08-10 | 2004-08-04 | 本田技研工業株式会社 | データ記録装置 |
US6756785B2 (en) * | 2002-07-25 | 2004-06-29 | Mks Instruments, Inc. | Pressure controlled degas system for hot cathode ionization pressure gauges |
JP2004163136A (ja) | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Junko Saeki | 真空計用圧力補正装置 |
US6909975B2 (en) * | 2003-11-24 | 2005-06-21 | Mks Instruments, Inc. | Integrated absolute and differential pressure transducer |
US20060113322A1 (en) * | 2004-11-09 | 2006-06-01 | Maser Bryan A | Monitoring operation of a fluid dispensing system |
EP1828710A2 (en) * | 2004-12-22 | 2007-09-05 | Weiss Instruments, Inc. | Light powered pressure gauge |
US7207224B2 (en) * | 2005-06-10 | 2007-04-24 | Brooks Automation, Inc. | Wide-range combination vacuum gauge |
-
2004
- 2004-12-14 US US11/012,871 patent/US7313966B2/en active Active
-
2005
- 2005-11-29 WO PCT/US2005/043269 patent/WO2006065535A1/en active Application Filing
- 2005-11-29 JP JP2007546716A patent/JP5124283B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-11-29 KR KR1020077016088A patent/KR20070090012A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-11-29 CN CN2009101502381A patent/CN101666697B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-11-29 EP EP05852494.3A patent/EP1825241B1/en not_active Not-in-force
- 2005-11-29 CN CNB2005800426520A patent/CN100538298C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-13 TW TW094144066A patent/TWI417528B/zh not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-06-20 US US11/820,629 patent/US7921719B2/en active Active
-
2012
- 2012-03-21 JP JP2012063178A patent/JP2012112981A/ja not_active Withdrawn
-
2015
- 2015-06-09 JP JP2015116249A patent/JP6069415B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012112981A (ja) | 2012-06-14 |
CN101666697A (zh) | 2010-03-10 |
US20060123915A1 (en) | 2006-06-15 |
TW200632298A (en) | 2006-09-16 |
EP1825241B1 (en) | 2014-03-05 |
JP2008523410A (ja) | 2008-07-03 |
EP1825241A1 (en) | 2007-08-29 |
JP6069415B2 (ja) | 2017-02-01 |
CN101084422A (zh) | 2007-12-05 |
US7313966B2 (en) | 2008-01-01 |
TWI417528B (zh) | 2013-12-01 |
KR20070090012A (ko) | 2007-09-04 |
US20070251293A1 (en) | 2007-11-01 |
CN101666697B (zh) | 2012-07-04 |
CN100538298C (zh) | 2009-09-09 |
JP2015179095A (ja) | 2015-10-08 |
WO2006065535A1 (en) | 2006-06-22 |
US7921719B2 (en) | 2011-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5124283B2 (ja) | 真空ゲージの較正パラメータおよび真空ゲージ構造についての測定データを保存するための方法および装置 | |
JP5102819B2 (ja) | デジタルキャパシタンスダイヤフラムゲージ用システムおよび埋め込まれた当該システムの操作方法 | |
KR101476287B1 (ko) | 커패시턴스 마노미터 및 자동 드리프트 보정 방법 | |
US7223014B2 (en) | Remotely programmable integrated sensor transmitter | |
CN102084226B (zh) | 具有气体特定校准能力的多气体流量传感器 | |
US6450005B1 (en) | Method and apparatus for the calibration and compensation of sensors | |
US6609076B2 (en) | Interface device and method of use with a smart sensor | |
AU707544B2 (en) | Pressure transmitter with remote seal diaphragm and correction circuit therefor | |
US5877423A (en) | Method for providing temperature compensation for a wheatstone bridge-type pressure sensor | |
JP2007507713A (ja) | プロセス圧力センサのキャリブレーション | |
JP2579143B2 (ja) | プロセス変数センサのディジタル補正の方法およびそのためのプロセス変数発信器 | |
US20100292941A1 (en) | Pressure sensor with sensor characteristic memory | |
CN110940449B (zh) | 远程密封隔膜系统 | |
JP2008014774A (ja) | 温度測定装置 | |
KR100598934B1 (ko) | 열량계의 제작 공정에서 발생하는 열량계의 오차를보정하는 방법 | |
CN115574980B (zh) | 温度校准方法及电子设备 | |
EP1174778A1 (en) | Sensor clock, data input system of sensor clock, data input method of sensor clock and computer-readable recording medium in which program for making computer execute the method is recorded | |
JPH0584839U (ja) | 温度センサユニット | |
CA2210243A1 (en) | Pressure transmitter with remote seal diaphragm and correction circuit therefor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110927 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111226 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120106 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120321 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121023 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121029 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151102 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5124283 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |