JP5121357B2 - 鏡支持装置 - Google Patents
鏡支持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5121357B2 JP5121357B2 JP2007224181A JP2007224181A JP5121357B2 JP 5121357 B2 JP5121357 B2 JP 5121357B2 JP 2007224181 A JP2007224181 A JP 2007224181A JP 2007224181 A JP2007224181 A JP 2007224181A JP 5121357 B2 JP5121357 B2 JP 5121357B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- support
- pad
- holding frame
- support device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
前記支持体は、前記鏡がその前記法線方向が前記水平方向に載置されたときの鏡の下側部水平面と前記保持枠部材の下側部水平内面との間に設けられ鏡の重量を支持する重量支持体を有しており、
この重量支持体は、前記鏡の周縁部に設けられて鏡の下側部水平面に当接するパッドと、このパッドと前記保持枠部材の前記下側部との間に設けられ両面が共に平滑面である複数の平板が積層された積層パッドとを有しているとともに、
前記支持体は、さらに前記鏡の周縁部の3箇所にそれぞれ設けられ鏡をその前記法線方向に挟み込む3個の位置決め支持体を有し、1ユニットの前記位置決め支持体は、他の2ユニットの位置決め支持体と異なる辺の周縁部に設けられている。
実施の形態1.
図1(a)はこの発明の実施の形態1による鏡1を支持した鏡支持装置を示す正面図、図1(b)は図1(a)の平面図、図1(c)は図1(a)の右側面図、図2(a)は図1の鏡1の正面図、図2(b)は図2(a)の平面図、図2(c)は図2(a)の右側面図である。
この実施の形態による鏡支持装置により、鏡1は保持枠部材の内側に支持されているが、先ず鏡1及び保持枠部材の配置が分かり易くするために、座標系を定義する。
鏡1の反射面の法線方向をZ軸とする。鏡1は縦置きされており、エッジが鉛直方向と水平方向を向いている。この状態で鉛直方向をY軸とし、Z軸及びY軸と直交する水平方向をX軸とする。図の+Z側の面が反射面(鏡面)であり、座標原点は鏡1の表面の中心にあるものとする。
縦置きされた鏡1の4側面を形成する、下側面2、上側面3、右側面4及び左側面5には、全長にわたって延びた溝6a,6b,6c及び6dがそれぞれ形成されている。
図1において、上記重量支持体7は、下側面2のY軸に関する対称位置に2式設置され、下方から鏡1の重量を支えている。
この一対の重量支持体7の近傍には、それぞれ上記位置決め支持体8が設置され、鏡1のZ方向を拘束している。この位置決め支持体8は、重量支持体7と同様に下側面2のY軸に関する対称位置に配設されている。また、鏡1の上側面3の中央部において、上記位置決め支持体9が鏡1の上側面3に配置されている。
また、鏡1の反射鏡は、石英ガラス、ガラスセラミック等、光学素子に一般的に用いられるガラス材料であり、高い反射効率と高い反射波面精度を維持するため、鏡面が高精度に研磨され、必要に応じて反射性能を高めるためのコーティングが施されている。
図3は図1(a)のIII−III線に沿った矢視拡大断面図であり、保持枠部材の保持枠下側部13に取り付けられた重量支持体7の断面を示している。
重量支持体7は、保持枠下側部13に形成された溝6aの底面に当接した溝面パッド14aと、同一面形状の平板4b,14cが積層されて構成された積層パッドと、溝面パッド14a、積層パッドに形成された貫通穴に挿入され貫通穴よりも僅かに長く上部に鍔部を有するカラー16と、このカラー16を貫通したネジ15とを備えており、このネジ15が保持枠下側部13に螺着され、重量支持体7は保持枠下側部13に固定されている。
溝面パッド14a、平板14b,14cの材質は、金属やガラスに比較して軟らかい樹脂材料で構成されている。また、溝面パッド14aが平板14bと当接する当接面、平板14b,14cのそれぞれの両面は、平滑面である。
とりわけ、この鏡支持装置を真空環境で用いる場合には、樹脂材料からのアウトガスが相対的に少ないフッ化エチレン樹脂等が適している。
カラー16はこれらの樹脂材料よりも硬い、金属製(ステンレス鋼、アルミ合金等)のものを用いる。
なお、重量支持体7における、平板は、最低限1枚でもよいが、この実施の形態のように、2枚、または3枚以上が望ましい。
この位置決め支持体8では、鏡1の下部裏面と保持枠部材の保持枠裏面部17との間には、裏面パッド18、この裏面パッド18の面に重ねられ裏面パッド18にネジ(図示せず)により固定された裏面パッド押さえ金具19が設けられている。この裏面パッド押さえ金具19の表面には、押しネジ24の先端部が当接しており、この押しネジ24により裏面パッド押さえ金具19を+Z方向に押し込むようになっている。押しネジ24の先端部は半球形状である。
鏡1の溝6a内には、裏面パッド18と対向した溝側面パッド20と、この溝側面パッド20に当接した断面Lの字形状の溝側面パッド押さえ金具21の短片部とが設けられている。この溝側面パッド押さえ金具21の長片部は保持枠下側部13の当て面23に当接している。溝側面パッド押さえ金具21は、当て面23に押し当てられた位置で、固定ネジ22によって、保持枠下側面部13に固定されている。溝側面パッド押さえ金具21にネジ(図示せず)で固定された溝側面パッド20は、押しネジ24による、裏面パッド18を介しての押し付け力を受け止め、結果として、裏面パッド18と溝側面パッド20とによって鏡1を挟み込んでZ方向の鏡1の位置を固定している。
この図5における位置決め支持体9の構成は、図4に示した位置決め支持体8と同様の構成であり、取り付け方向が上下反転し、保持枠下側面部13が保持枠上側面部25に入れ替わった点が異なる。
また、位置決め支持体8と同様に、裏面パッド18と溝側面パッド20とによって鏡1を挟み込んでZ方向の鏡1の位置を固定している。
この移動防止支持体10では、鏡1の溝6b内には、溝面パッド26と、この溝面パッド26の上面にネジ(図示せず)により固定された押さえ金具27とが設けられている。この押さえ金具27の表面には、保持枠上側部25を貫通した押しネジ24の先端部が当接し、この押しネジ24により押さえ金具27を−Y方向に押し込むようになっている。
この移動防止支持体10では、鏡1を縦置きした状態で、僅かに溝面パッド26が鏡1の溝6bの底面に押し当てられる状態、もしくは僅かな間隙を有する状態となるように押しネジ24の押し込み量が調整されている。
この移動防止支持体11a,11bでは、鏡1の溝6d内には、溝面パッド26と、この溝面パッド26の上面に重ねられた押さえ金具27とが設けられている。この押さえ金具27の表面には、保持枠左側部28を貫通した押しネジ24の先端部が当接しており、この押しネジ24により押さえ金具27を+X方向に押し込むようになっている。
また、鏡1の溝6c内には、溝面パッド26と、この溝面パッド26の上面に重ねられた押さえ金具27とが設けられている。この押さえ金具27の表面には、保持枠右側部29を貫通した押しネジ24の先端部が当接しており、この押しネジ24により押さえ金具27を−X方向に押し込むようになっている。
この移動防止支持体11a,11bでは、鏡1を縦置きした状態で、僅かにそれぞれの溝面パッド26が鏡1の溝6c,6dの底面に押し当てられる状態、もしくは僅かな間隙を有する状態となるように押しネジ24の押し込み量が調整されている。
押しネジ24が押さえ金具27を押し込むのと並行して、保持枠左側部28に形成された穴30を貫通する2本のガイドピン31が、押さえ金具27に螺着して固定されている。このガイドピン31は、穴30の径よりも細く、穴30の内部で抵抗なく出し入れ可能な径寸法で構成されている。
なお、移動防止支持体11aも、移動防止支持体11bと同様の構成である。
また、図6に示した移動防止支持体10をX−Y面に沿って切断したときの断面形状は、図8と同様であり、この移動防止支持体10でも、同様に押しネジ24の両側にガイドピン31が設けられている。
この補助位置決め支持体12では、鏡1の上部裏面と保持枠裏面部17との間には、裏面パッド18、この裏面パッド18に固定された裏面パッド押さえ金具19が設けられている。この裏面パッド押さえ金具19の表面には、押しネジ24の先端部が当接しており、この押しネジ24により裏面パッド押さえ金具19を+Z方向に押し込むようになっている。
鏡1の溝6b内には、裏面パッド18と対向した溝側面パッド20と、この溝側面パッド20に当接した断面Lの字形状の溝側面パッド押さえ金具21の短片部とが設けられている。
この溝側面パッド押さえ金具21の長片部は保持枠上側部25に当接している。押さえ金具21は、固定ネジ22によって、保持枠上側部25に固定されている。溝側面パッド押さえ金具21にネジ(図示せず)で固定された溝側面パッド20は、押しネジ24による、裏面パッド18を介しての押し付け力を受け止め、結果として、裏面パッド18と溝側面パッド20とによって鏡1を挟み込んでZ方向の鏡1の位置を固定している。
この補助位置決め支持体12では、図4に示された当て面23は設けられておらず、溝側面パット押さえ金具21は、溝側面パット押さえ金具21に形成された穴と固定ネジ22との間のクリアランスの範囲内で自由な位置に固定することができる。
また、鏡1の反射面位置(Z方向位置)は、位置決め支持体8及び位置決め支持体9の合計3点で保持される、即ち空間上の3点により、平面を決定する原理に従い、鏡1を過不足無く保持される。
また、左右に配置された移動防止支持体11a,11bでX方向に拘束することにより、横方向の位置ずれ防止することができる。
また、移動防止支持体10が鏡1の上面に一対配置されているので、輸送中やその他の外乱力により+Y方向に外乱荷重が作用した場合にも、Y方向への鏡1のずれを防止することができる。
従って、位置決め支持体8,9の合計3点で確定される平面内に鏡1を位置決め拘束するにあたって、重量支持体7の±Z方向の摩擦反力が鏡1を歪ませる等の悪影響は極めて少ない。
しかしながら、このものの場合には、平板と、この平板が当接する鏡1の側面(材料はガラスであり、側面は研磨されていないので面が粗いことが多い)、あるいは平板と、この平板と当接する保持枠部材(材料はアルミ合金などの金属材料であることが多い)との間で摩擦が生じるため、摩擦力低減効果は限られたものとなる。
また、平板が3枚以上積層された積層パッドの場合には、個々の平板の面の摩擦力のばらつきが生じても、最も摩擦抵抗の小さい面が滑ることにより、摩擦力の低減効果がさらに確実に得られ、結果とし、重量支持体7全体としての摩擦力低減効果が非常に大きい。
また、この重量支持体7では、鏡1に当接する溝面パッド14aの当接面、保持枠下側部13に当接する積層パッドの当接面は、ともに平面形状であり、鏡1の損傷を防止するための受圧面積は必要十分なだけ確保でき、接触面圧を軽減しつつ支持荷重を確保することができるので、極めて単純な構造で、所望の低摩擦機能を実現することができる。
即ち、重量支持体7の積層パッドによる積層構成によって低減されつつも残存する摩擦力があっても、それによる鏡1の変歪量を極めて小さい範囲に抑止することができる。
この移動防止支持体11a,11bは、押し込み量を調整可能な押しネジ24で押さえ金具27を押し当てる構造となっているので、鏡1の位置・寸法に合わせて、鏡1と溝面パッド26との間の隙間がちょうどゼロとなる近傍で押しネジ24を現物合わせにて固定することができ、鏡1に余分なストレスを加えずに±X方向の位置固定をすることができる。
この鏡1は、縦置き状態、即ち、+Y方向が鉛直上向き、X,Z方向が水平方向となる状態で、レーザ光の反射などの目的に運用されることが標準的であるが、輸送時には、X軸,Y軸が水平方向、Z軸が鉛直方向となる姿勢(以後、「水平姿勢」と呼称する)で輸送されることも多い。
保持枠部材内で鏡1を保持して、水平姿勢で輸送する場合において、外乱力が加わると、鏡1が±X,±Y方向にずれようとすることがある。
このとき、重量支持体7が存在することにより−Y方向へのずれは防止され、移動防止支持体10が重量支持体7と対向して保持枠上側面部25に配置されているので、+Y方向へのずれが防止される。
また、輸送後に鏡1を水平姿勢から運用状態に移行する場合には、押しネジ24を引き戻して押しネジ24による押し当て力を解放することができる。
このように、輸送時の安全性(ずれによる鏡1の破損等の防止)と、運用時の鏡1の反射面精度の確保とを両立させることができる。
従って、元々3点で鏡1のZ方向の位置拘束を行っている位置決め支持体8,9で決定される鏡1のZ方向位置に対して、ちょうど適合する位置で溝側面パッド20が鏡1に接触するように現物合わせ調整することが可能であり、所望すれば適当な押し当て量を設定することも可能である。
また、この補助位置決め支持体12は、水平姿勢による鏡1の輸送が終了し、運用状態に移る際において、固定ネジ22及び押しネジ24を緩めることにより、鏡1との接触力を解放し、鏡1に余分なストレスが残留するのが防止される。
また、重量支持体7における、積層パッドによる積層構造は、他の支持体パッド8,9,10,11a,11b,12にも適用することができ、これらの支持体8,9,10,11a,11b,12も目的の方向の拘束力以外の余分な拘束力を発生させないという効果がある。
また、積層パッドを有する重量支持体7については、保持枠下側部の中間部に一個のみ設けてもよい。
従来の鏡支持装置では、鏡の変形を軽減したり、支持位置を拘束したりする場合において、これらのような、アウトガスが問題となる材料を用いなければならない場合がしばしば生じていたが、この発明ではそのようなアウトガス問題を解消することができる。
図10は、この発明の実施の形態2に係る鏡支持装置を示す要部拡大断面図である。
この実施の形態の重量支持体7では、保持枠下側部13と鏡1の溝6aとの間に、上側玉保持枠部材32a、下側玉保持枠部材32b、複数の玉33及びリテーナ34が1ユニットとして設けられている。
玉33の個数は少なくとも3個以上で、ステンレスなどの硬質材料で径が均一に揃ったものである。リテーナ34は玉の直径よりも薄く、摩擦係数の低いフッ化エチレン系樹脂材料等で構成され、玉の位置を概略規制するように、穴をあけて玉を通した状態で32a,32bの間に挟まれた位置に配設されている。
他の構成は、実施の形態1の鏡支持装置と同じである。
Claims (6)
- 矩形形状の保持枠部材の内側に収められ、鏡面の法線方向が水平方向に向く姿勢で使用される矩形状の鏡を支持する支持体を有する鏡支持装置において、
前記支持体は、前記鏡がその前記法線方向が前記水平方向に載置されたときの鏡の下側部水平面と前記保持枠部材の下側部水平内面との間に設けられ鏡の重量を支持する重量支持体を有しており、
この重量支持体は、前記鏡の周縁部に設けられて鏡の下側部水平面に当接するパッドと、このパッドと前記保持枠部材の前記下側部との間に設けられ両面が共に平滑面である複数の平板が積層された積層パッドとを有しているとともに、
前記支持体は、さらに前記鏡の周縁部の3箇所にそれぞれ設けられ鏡をその前記法線方向に挟み込む3個の位置決め支持体を有し、1ユニットの前記位置決め支持体は、他の2ユニットの位置決め支持体と異なる辺の周縁部に設けられていることを特徴とする鏡支持装置。 - 前記重量支持体は、前記鏡がその前記法線方向が前記水平方向に載置されたときの鏡の下側部に一対離れて設けられ、前記2ユニットの前記位置決め支持体は、それぞれの前記重量支持体に接近して設けられ、前記1ユニットの前記位置決め支持体は、前記鏡の上側部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の鏡支持装置。
- 前記支持体は、さらに前記重量支持体と対向した前記鏡の周縁部の辺、及び周縁部の他の対向した2辺にそれぞれ対向して設けられ前記保持枠部材に対する移動を防止する移動防止支持体を有していることを特徴とする請求項1または2に記載の鏡支持装置。
- 前記支持体は、さらに前記1ユニットの前記位置決め支持体の両側で前記鏡の周縁部にそれぞれ設けられ鏡の鏡面の法線方向に挟み込む補助位置決め支持体を有していることを特徴とする請求項2に記載の鏡支持装置。
- 前記位置決め支持体、前記移動防止支持体及び前記補助位置決め支持体は、それぞれ前記鏡の前記周縁部に設けられたパッドと、このパッドに固定された押さえ金具と、前記保持枠部材に対して進退可能に設けられ、先端部が前記押さえ金具と当接し前記鏡と前記パッドとの距離を調整する押しネジとを備えていることを特徴とする請求項4に記載の鏡支持装置。
- 前記位置決め支持体、前記移動防止体及び前記補助位置決め支持体の各前記押しネジのうち、少なくともの一つの押しネジの先端部は、半球状であることを特徴とする請求項5に記載の鏡支持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007224181A JP5121357B2 (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | 鏡支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007224181A JP5121357B2 (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | 鏡支持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009058624A JP2009058624A (ja) | 2009-03-19 |
JP5121357B2 true JP5121357B2 (ja) | 2013-01-16 |
Family
ID=40554445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007224181A Expired - Fee Related JP5121357B2 (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | 鏡支持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5121357B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5535108B2 (ja) | 2011-02-18 | 2014-07-02 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63129310A (ja) * | 1986-11-19 | 1988-06-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ミラ−支持装置 |
JP2627557B2 (ja) * | 1989-06-30 | 1997-07-09 | キヤノン株式会社 | 光学部品の保持手段 |
JPH06347688A (ja) * | 1993-06-10 | 1994-12-22 | Canon Inc | 軽量ミラーの保持構造 |
JP2907705B2 (ja) * | 1993-12-28 | 1999-06-21 | 三菱電機株式会社 | 主反射鏡支持装置 |
JPH10175324A (ja) * | 1996-12-19 | 1998-06-30 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置および画像形成装置における静電潜像形態調整方法 |
-
2007
- 2007-08-30 JP JP2007224181A patent/JP5121357B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009058624A (ja) | 2009-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5448334B2 (ja) | パッケージ基板の保持治具 | |
US9302394B2 (en) | Positioning device | |
JP4791106B2 (ja) | ステージ装置 | |
US9054140B2 (en) | Substrate holder system, substrate holder, fastening mechanism, substrate bonding apparatus and method for manufacturing devices | |
CN106164641B (zh) | 光学元件的测定用夹具、偏心测定装置以及偏心测定方法 | |
WO2019163620A1 (ja) | 被加工物の支持装置及び被加工物の支持方法 | |
JP5121357B2 (ja) | 鏡支持装置 | |
CN102670315B (zh) | 制造牙科成型件的系统 | |
US11262381B2 (en) | Device for positioning a semiconductor die in a wafer prober | |
US4718591A (en) | Wire bonder with open center of motion | |
JP2018098377A (ja) | 基板搬送装置用のキャリア | |
JP2022181332A (ja) | 厚み測定装置及びこれを用いた積層装置 | |
US9412638B2 (en) | End effector pads | |
JP2016132564A (ja) | 媒体取扱装置 | |
JP2011086650A (ja) | 搬送装置、被搬送物の搬送方法、及び半導体装置の製造方法 | |
JP5370099B2 (ja) | 部品位置決め構造 | |
KR102229722B1 (ko) | 반송 장치 및 반송 시스템 | |
JP6688945B1 (ja) | センサホルダ | |
TWI755880B (zh) | 貼標裝置 | |
JP2007168005A (ja) | 切削工具、ホルダ及びスローアウェイチップ | |
JP6687268B1 (ja) | 光学部品の調整構造及び光学装置 | |
KR200311418Y1 (ko) | 멀티 포크형 엔드 이펙터 | |
JP2009018393A (ja) | 基板搬送ロボット | |
JP4240981B2 (ja) | 超精密移動台装置 | |
JP2002367553A (ja) | 試料ステージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100615 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120410 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120601 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120925 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121023 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151102 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |