JP5121114B2 - 画素回路および表示装置 - Google Patents

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Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス(以下EL)素子などの発光素子を含む画素回路、及びその画素回路がマトリクス状に配置された表示装置に関する。
従来より、発光素子として有機EL素子を用いた有機ELパネルが知られており、その開発が進んでいる。この有機ELパネルにおいては、有機EL素子をマトリクス状に配置し、この有機EL素子の発光を個別に制御することで、表示を行う。特に、アクティブマトリクスタイプの有機ELパネルでは、画素毎に表示制御用のTFTを有し、このTFTの動作制御により画素毎の発光を制御できるため、非常に高精度の表示を行うことができる。
図14に、アクティブマトリクスタイプの有機ELパネルにおける画素回路の一例を示す。画素の輝度を示すデータ電圧が供給されるデータラインは、ゲートがゲートラインに接続されたnチャンネルのスイッチングTFT10を介し、駆動TFT12のゲートに接続されている。また、駆動TFT12のゲートには、他端が容量電源ラインに接続された保持容量14の一端が接続され、駆動TFT12のゲート電圧を保持する。
駆動TFT12のソースは、EL電源に接続され、ドレインは有機EL素子16のアノードに接続され、有機EL素子16のカソードがカソード電源に接続されている。
このような画素回路がマトリクス状に配置されており、所定のタイミングで、水平ライン毎に設けられたゲートラインがHレベルとなり、その行のスイッチングTFT10がオン状態になる。この状態で、データラインには、順次データ電圧が供給されるため、そのデータ電圧は保持容量14に供給保持され、ゲートラインがLレベルとなってもその時の電圧を保持する。
そして、この保持容量14に保持された電圧に応じて、駆動TFT12が動作して対応する駆動電流がEL電源から有機EL素子16を介し、カソード電源に流れ、有機EL素子16がデータ電圧に応じて発光する。
そして、ゲートラインを順次Hレベルとして、入力されてくるビデオ信号を対応する画素にデータ電圧として順次供給することで、マトリクス状に配置された、有機EL素子16がデータ電圧に応じて発光し、ビデオ信号に対応した表示が行われる。
特表2002−514320号公報
しかし、このような画素回路において、マトリクス状に配置された画素回路の駆動TFT12のしきい値電圧がばらつくと、有機EL素子の輝度がばらつくことになり、表示品質が低下するという問題がある。そして、表示パネル全体の画素回路を構成するTFTについて、その特性を完全に同一にすることは難しく、またそのオンオフのしきい値がばらつくことを防止することは難しい。
そこで、駆動TFTにおけるしきい値のバラツキの表示に対する影響を防止することが望まれる。
ここで、TFTのしきい値の変動への影響を防止するための回路については、従来より各種の提案がある(例えば、上記特許文献1)。
しかし、この提案では、しきい値変動の補償をするための回路を必要とする。よって、このような回路を用いると、画素回路の素子数が増加し、開口率が小さくなってしまうという問題があった。また、補償のための回路を追加した場合、画素回路を駆動するための周辺回路についても変更が必要となるという問題もあった。
本発明は、簡単な変更で、効果的に駆動トランジスタのしきい値電圧の変動を補償できる画素回路を提供する。
本発明は、データ電圧を一端に受けて保持する保持容量と、前記保持容量の前記一端にゲートが接続され、前記保持容量の一端の電圧に応じて電流量が制御される駆動トランジスタと、前記駆動トランジスタに流れる電流に応じて発光する発光素子と、前記保持容量の他端に接続され、所定の電圧またはパルス状信号が入力される第1制御信号線と、前記駆動トランジスタのゲートに一端が接続され、他端は所定の電圧またはパルス状信号が入力される第2制御信号線に接続され、前記第1または第2制御信号線の電圧変動によって容量値の変化するMOS型容量素子と、を備える。
第1または第2制御信号線の電圧変動によって前記MOS型容量素子のオンオフ状態が変化してMOS型容量素子の容量が変化する。そこで、この容量値の変化を利用して、駆動トランジスタのしきい値変化を補償することが可能となる。なお、MOS型容量素子としては、薄膜トランジスタ(TFT)の他、MISトランジスタ、MOSトランジスタを利用することができる。
また、前記データ電圧を保持容量において保持した後、第1または第2制御信号線の電圧変動によって、MOS型容量素子をオン状態からオフ状態に変化させることが好適である。
また、前記MOS型容量素子は、前記駆動トランジスタと同様のしきい値電圧を有していることが好適である。
MOS型容量素子は、駆動TFTと同一プロセスでかつ近傍に形成することができる。このため、両者を容易に同一の特性にできる。両者のしきい値電圧が同様であることで、これを利用してしきい値電圧の変動の補償が容易になる。
本発明の他の態様では、前記MOS型容量素子のソースまたはドレインの少なくとも一方が前記駆動トランジスタのゲートに接続され、ゲートが前記第2制御信号線に接続されている。
また、本発明の他の態様では、前記MOS型容量素子のソースまたはドレインの一方がデータ信号の供給源に接続され、他端が前記駆動トランジスタのゲートに接続され、ゲートが第2制御信号線に接続されている。
このように、MOS型容量素子をMOSトランジスタとすることによっても、同様の作用効果が得られる。
前記第1または第2制御信号線の電圧変動によって、前記MOS型容量素子をオン状態からオフ状態に変化させるとともに、前記駆動トランジスタをオフ状態からオン状態に変化させて発光素子を発光させることが好適である。
また、前記第2制御信号線は、前記駆動トランジスタに接続される駆動用電源線が兼用することができる。これによって、特別の第2制御信号線が不要になる。
本発明の他の態様では、前記駆動トランジスタおよび前記MOS型容量素子はpチャンネル薄膜トランジスタである。
また、本発明の他の態様では、前記発光素子は、エレクトロルミネッセンス素子である。
また、本発明の他の態様では、表示装置において、上述のような画素回路をマトリクス状に有する。
以上説明したように、本発明によれば、第1または第2制御信号線(例えばパルス駆動ライン)の電圧変動により、MOS型容量素子のオンオフ状態が切り替わり、その容量値が変化する。そして、MOS型容量素子のしきい値変化に応じて、MOS型容量素子のオンオフがどの電圧で切り替わるかが変化する。
また、パルス駆動ラインの変化に応じた駆動トランジスタのゲート電圧の変化は、MOS型容量素子の容量値に応じて決まるので、MOS型容量素子のしきい値変動に応じて、ゲート電圧が変動することになる。そこで、駆動トランジスタのしきい値変動を相殺するように駆動トランジスタのゲート電圧が変化するように、MOS型容量素子や保持容量などを設計することで、駆動トランジスタのしきい値変動の駆動電流への影響を低減することができる。
以下、本発明の実施形態について、図面に基づいて説明する。
図1は、実施形態に係る1画素の画素回路の構成を示す図である。垂直(走査)方向に伸びるデータラインには、pチャンネルのスイッチングTFT20のドレインが接続されている。このスイッチングTFT20のゲートは水平(走査)方向に伸びるゲートラインに接続され、ソースはpチャンネルの駆動TFT22のゲートに接続されている。さらに、スイッチングTFT20のソースが接続されている駆動TFT22のゲートには、保持容量24の一端が接続され、この保持容量の他端はパルス駆動ラインに接続されている。このパルス駆動ライン(第1制御信号線)は、容量電源ラインと同様に水平方向に伸びるラインである。
駆動TFT22のソースは、垂直方向に伸びるEL電源ラインに接続され、ドレインは有機EL素子26のアノードに接続されている。また、有機EL素子26のカソードがカソード電源に接続されている。ここで、通常の場合、有機EL素子26のカソードは全画素共通になっており、このカソードが所定の電位のカソード電源に接続されている。
そして、駆動TFT22のゲートには、ゲート端が所定電位のリファレンス電源ライン(第2制御信号線)の電圧に設定されたpチャンネルのMOS型容量素子28の一端が接続されている。ここで、このMOS型容量素子28は、通常のTFTと同様に、ソース、チャンネルおよびドレイン領域を有しているが、ソースまたはドレインの一方の電極と、ゲート電極を所定の部位に接続し、単にゲート容量として利用するものである。
また、MOS型容量素子28は、チャネル領域と1つの不純物領域とを有し、その不純物領域に対応した電極とゲート電極とを所定の部位に接続したものでもよい。また、MOS型容量素子28としては、MOSトランジスタ、MISトランジスタや、TFTタイプなどがある。
このような画素回路がマトリクス状に配置されており、該当する水平ラインのビデオ信号が入力されてくるタイミングで、その水平ラインのゲートラインがLとなり、その行のスイッチングTFT20がオン状態になる。そして、この状態で、ビデオ信号が対応するデータラインには、順次データ電圧として供給される。このため、そのデータ電圧は保持容量24に供給保持され、ゲートラインがHレベルとなり、スイッチングTFT20がオフになっても駆動TFT22のゲート電圧が保持される。
そして、この保持容量24に保持された電圧に応じて、駆動TFT22が動作して対応する駆動電流がEL電源から有機EL素子26を介し、カソード電源に流れ、有機EL素子26がデータ電圧に応じて発光する。
そして、ゲートラインを順次Lレベルとして、入力されてくるビデオ信号を対応する画素にデータ電圧として順次供給することで、マトリクス状に配置された、有機EL素子26がデータ電圧に応じて発光し、ビデオ信号についての表示が行われる。
ここで、駆動TFT22は、EL電源の電圧とゲート電圧の差、すなわちVgsに従ってオンされて対応する駆動電流を流す。そして、このVgsがそのTFTの特性で定まるしきい値電圧Vthより大きくなったときに電流を流し始め、駆動電流量は、ゲート電圧と、しきい値電圧の差によって決定される。一方、マトリクス状に配置された多数の駆動TFT22のしきい値電圧を完全に同一にすることは難しく、しきい値電圧は画素位置によって多少ばらつくことを免れない。従って、表示輝度が駆動TFT22のしきい値電圧のバラツキに応じて変動することになる。
本実施形態では、駆動TFT22のゲートにMOS型容量素子28を接続し、また保持容量24の他端をパルス駆動ラインに接続し、これによって駆動TFT22のしきい値電圧のバラツキを補償する。
まず、パルス駆動ラインは、スイッチングTFT20がオンしデータ電圧が書き込まれているときには、Hレベルにある。そして、データ電圧の書き込み(保持容量24への充電)が終了して、スイッチングTFT20がオフ状態となった後、パルス駆動ラインは、Lレベルになり、これによって駆動TFT22のゲート電圧がデータ電圧から所定値低い電圧になり、この電圧に応じた駆動電流を流す。
一方、MOS型容量素子28は、各画素毎に設けられており、その画素の駆動TFT22に隣接して形成されており、駆動TFT22と同一の工程で作成される。従って、駆動TFT22と、MOS型容量素子28は、不純物濃度などもほぼ同一であり、しきい値電圧も同一のものになる。そして、MOS型容量素子28のゲートに印加されるリファレンス電圧(Vref=VG28)は、上述のパルス駆動ラインの電圧がHレベルからLレベルに変化したときに、MOS型容量素子28のチャネル領域がオン状態からオフ状態に変化するように設定されており、定電圧でもよく、またパルス駆動電圧と逆相の信号でもよい。
図2に示すように、パルス駆動ラインのパルス駆動電圧は、HレベルからLレベルに変化する。これによって図1のノードTG22の電圧、即ち駆動TFT22のゲート電圧(VG22)がパルス駆動電圧に応じて低下する。そして、このゲート電圧(VG22)が低下して、リファレンス電圧(Vref)との電位差(|Vref−VG22|)がMOS型容量素子28のしきい値電圧(Vth28)の絶対値より小さくなると、p導電型で構成されたMOS型容量素子28はオン状態からオフ状態に変化する。これによって、MOS型容量素子28は、その容量が小さくなるため、保持容量24を介して入力されるパルス駆動電圧の変化の影響が大きくなり、ゲート電圧の低下の傾きが大きくなる。すなわち、パルス駆動電圧の変化に応じてノードTG22の電位が変化するが、MOS型容量素子28の容量値が、このMOS型容量素子28のオン状態の時は大きく、オフ状態の時には小さくなり、容量が大きい状態から小さい状態に切り替わる際にノードTG22の電位(TFT22のゲート電位)の変化の傾きが大きくなる。
MOS型容量素子28のオン状態からオフ状態への切り替わり電圧が、図2における「切り替わり電圧A」であった場合には、ゲート電圧VG22は図において実線で示したように変化し、切り替わり電圧Aに至るまでは、第1の傾きで変化(低下)し、その後第2の傾きで変化(低下)して、パルス駆動電圧がLレベルになった時に、ゲート電圧VG22は補正電圧VcAに設定される。ここで、MOS型容量素子28のオンオフする切り替わり電圧は、リファレンス電圧Vrefとの差で決定されるため、切り替わり電圧A,Bは、VrefにMOS型容量素子28のしきい値電圧Vth28の絶対値を加算した電圧(Vref+|Vth28|)に等しい。
一方、MOS型容量素子28のしきい値電圧Vth28の絶対値が小さく、切り替わり電圧が、「切り替わり電圧A」より低い「切り替わり電圧B」である場合には、ゲート電圧VG22は図2に破線で示したように変化し、切り替わり電圧Bに至るまで第1の傾きで変化(低下)し、その後第2の傾きで変化(低下)して、パルス駆動電圧がLレベルになった時に、ゲート電圧VG22は補正電圧VcBに設定される。すなわち、同一のデータ電圧(サンプリング電圧)がノードTG22に供給されても、パルス駆動によって設定されるゲート電圧は、MOS型容量素子28のしきい値電圧Vth28が低いほど(絶対値|Vth28|が小さく、オンしやすい場合ほど)、高い電圧(p−chTFTでオフ電圧に近い電圧)に設定されることになる。
上述のように、各画素の駆動TFT22のしきい値電圧Vth22は、同一画素内で、すぐ近くに形成されているMOS型容量素子28のしきい値電圧Vth28と同じである。従って、駆動TFT22のしきい値電圧Vth22が「しきい値電圧Vth221」であれば、ゲート電圧VG22は、Vth221に応じた補正電圧Vcth221、「しきい値電圧Vth222」であれば、ゲート電圧VG22は、Vth222に応じた補正電圧Vcth222に設定され、この例では、しきい値電圧Vth22とゲート電圧VG22との差は、どの画素でもほぼ同一になっている。すなわち、MOS型容量素子28のサイズ、リファレンス電圧値(VG28)、駆動TFT22のサイズ、保持容量24の容量値などの設定によって、データ電圧が一定であれば、駆動TFT22のしきい値電圧Vth22が異なっても、しきい値電圧Vth22とゲート電圧VG22の差を一定にすることが可能であり、しきい値電圧のバラツキの影響を排除することができる。
ここで、このような補償を行うためには、図2の第1の傾きに比べ第2の傾きが2倍になるように、条件を設定する。この条件設定ついて図3に基づいて説明する。上図に示すように、MOS型容量素子28がオン状態であるとした場合は、その容量値がオフ時に比べ大きいため、ゲート電圧の変化はパルス駆動電圧の変化による影響が抑制されて、傾きが小さくなる。一方、MOS型容量素子28がオフ状態である場合は容量値が小さく、パルス駆動電圧の変化による影響が大きいため傾きが大きい。その傾きが2倍となるような条件に設定しているため、パルス駆動電圧がLレベルになったときのゲート電圧の減少分は、MOS型容量素子28がオフ状態の時がオン状態のときの2倍になる。
そして、実際には、図3に示すように、MOS型容量素子28(駆動TFT22)の切り替わり電圧がAであった場合に、切り替わり電圧Aまでは、第1の傾きでゲート電圧VG22が減少し、その後2倍の大きさの第2の傾きでゲート電圧VG22が減少する。切り替わり電圧がBであった場合には、切り替わり電圧Bまでゲート電圧VG22が第1の傾きで減少するため、このゲート電圧VG22が切り替わり電圧Bになった時のゲート電圧VG22と、その時、切り替わり電圧がAの場合のゲート電圧VG22との差であるVαは、補正電圧VcAとVcBの差(VcB−VcA)になる。そして、第1の傾きに比べ第2の傾きが2倍であることで、Vαは、切り替わり電圧A,Bの差に等しくなる。従って、切り替わり電圧の差と、補正電圧Vcの差が同一となり、切り替わり電圧(すなわち、しきい値電圧Vth22)の変動の影響を補償することができる。
また、図3に示すように、データ電圧の書き込み電圧であるサンプリング電圧が変化した場合でも、切り替わり電圧差と、補正電圧差が等しくなることには変わりはなく、常にしきい値電圧の変動を補償することができる。そのとき、サンプリング電圧自体の電位差は補償動作後には2倍に増幅される。
図4には、より実際的な画素回路の構成例を示してあり、MOS型容量素子28のゲートは、EL電源Pvddに接続してある。
この例において、EL電源Pvdd=0V、カソード電源CV=−12V、データライン5〜2V、パルス駆動ライン8〜−4V、ゲートライン8V〜−4Vに設定するとともに、保持容量24の容量値=0.15pF、MOS型容量素子28のチャネル長L=120μm、チャネル幅W=5μm、駆動TFT22のチャネル長L=34μm、チャネル幅W=5μmに設定している。
ここで、ゲートラインGL:300にLレベルの走査信号を出力してここではp−ch型のスイッチング用TFT20をオンさせ、このTFT20を介してデータラインDL:310からデータ電圧(サンプリング電圧)として4Vまたは3VをノードTG22に書き込み、つまり、ゲート電圧VG22を4V又は3Vとする。図5及び図6は、その後、パルス駆動電圧を8Vから−4Vに立ち下げた際のゲート電圧VG22の変化の様子を示す。図5がゲート電圧4V、図6がゲート電圧3Vの場合である。また、両図において、しきい値電圧Vth22(=切り替わり電圧)が−1Vの場合と、−2Vの場合の両方を示してある。図5及び図6から分かるように、サンプリング電圧が異なり、かつしきい値電圧Vth22が異なる場合であっても、駆動TFT22のゲート電圧VG22、即ち補正電圧Vcがしきい値電圧Vth22の差分だけ異なるため、しきい値電圧のばらつきが補償されていることがわかる。
また、図7には、駆動TFT22のチャネル長L×チャネル幅Wを34×5μm、MOS型容量素子28のチャネル長L×チャネル幅Wを120×5μmとし、保持容量24の容量値を0.1、0.15、0.2pFに変更した場合におけるサンプリング電圧の変化に対する補正電圧Vc(ゲート電圧VG22)の変化の関係を示している。図8には、駆動TFT22のチャネル長Lを34μm、MOS型容量素子28のチャネル長L×チャネル幅Wを120×5μm、保持容量24の容量値を0.15pFとし、駆動TFT22のチャネル幅Wを2.5μm、5.0μm、10.0μmに変更した場合におけるサンプリング電圧の変化に対する補正電圧Vc(ゲート電圧VG22)の変化の関係を示す。また、図9には、駆動TFT22のチャネル長L×チャネル幅Wを34×5μmとし、MOS型容量素子28のチャネル長L×チャネル幅Wを80×5μm、120×5μm、160×5μmに変更した場合におけるサンプリング電圧の変化に対する補正電圧(ゲート電圧VG22)の変化の関係を示す。以上の図7,図8及び図9から分かるように、保持容量値、駆動TFT22のサイズ、MOS型容量素子28のサイズなどの条件の変更によって補正電圧の変化を調整できる。つまりこれらの条件によってゲート電圧VG22の補償程度を調整することができる。
また、これら図7〜図9より、サンプリング電圧(入力電圧)の変化幅に比べ、補正電圧VG22(出力電圧)の変化幅が大きいことが分かる。条件の設定によっては、補正電圧の変化幅をかなり大きなものにできる。従って、ビデオ信号の変化幅より、ゲート電圧VG22の変化幅を大きくでき、有機EL素子26に流す駆動電流の変動幅、つまり有機EL素子26の輝度変化を大きくして、よりクリアな表示を行うことができる。
なお、図1、図4の例では、スイッチングTFT20として、pチャンネルTFTを利用したが、nチャンネルTFTを利用しても構わない。この場合には、ゲートラインGL:300に出力する選択信号(走査信号)の極性を反転すればよい。また、駆動TFT22にnチャンネルTFTを利用することもできる。この場合には、図10に示すように、MOS型容量素子28もnチャンネルとし、そのゲートを駆動TFT22のソースに接続する。また、この場合には、有機EL素子26を、駆動TFT22のドレインとEL電源の間に配置することが好適である。
また、上述したように、実施形態に係る各画素回路は、マトリクス状に配置され、表示装置が構成される。通常の場合、ガラス等の絶縁基板上には、周辺ドライバ回路および有機EL素子以外の画素回路が形成され、これらの回路素子の上層に、有機EL素子が形成され、有機ELパネルが構成される。ただし、実施形態の画素回路は、この形式の有機ELパネルに限定されることなく、各種の表示装置に適用が可能である。
図11は、図4に示すような回路構成とする場合の実際のレイアウトの一例を示している。また、図12(a)、(b)、(c)は、それぞれこの図11のA−A線、B−B線、C−C線に沿った概略断面構造を示している。ガラスなどの透明な絶縁基板100の上にはバッファ層102が形成されており、その上に形成され、かつ多結晶シリコンからなる各TFTの能動層、及び容量電極を構成する半導体層(120、122、128、124)は、図11において、破線で示している。また、図11において、上記半導体層よりも上方に形成され、Crなどの高融点金属材料が用いられたゲートライン300(GL)、パルス駆動ライン330(SC)及び駆動TFTのゲート電極302及びMOS型容量素子28のゲート電極306は、一点鎖線で示し、半導体層や上記GL、SCよりも上方に形成され、Alなどの低抵抗金属材料が用いられたデータライン310(DL)、電源ライン320(PL)及びその他の同層の金属配線304は、実線で示している。
図11に示すレイアウトでは、各画素は、表示装置の水平(H)方向に沿って形成されるゲートラインGL:300の行間と、概ね表示装置の垂直(V)方向に沿って形成されるデータラインDL:310の行間との位置に構成されている。
また、データラインDL:310と並んで列方向にこのデータラインDL:310に接続される画素に設けられている有機EL素子26に、駆動TFT22を介して電力を供給する電源ラインPL:320は、データラインDL:310とほぼ並んで列方向に形成されており、各画素領域内では、データラインDL:310と上記有機EL素子26との間を通っている。
スイッチングTFT20は、ゲートラインGLとデータラインDLとの交点付近に形成され、その半導体層120は、ゲートラインGLに沿うように形成されている。このTFT20のチャネル長方向はゲートラインGLに沿って、つまり、水平方向に形成されている。ゲートラインGLからは、画素領域に向かって突出部が形成され、間にゲート絶縁膜104を挟んで、ゲートラインGLに沿って延びる半導体層120の一部分を横切るように覆っている。
ゲートラインGLからの突出部がTFT20のゲート電極300となり、半導体層120のこのゲート電極300に覆われた領域がチャネル領域になっている。スイッチングTFT20の半導体層120は、ゲート絶縁膜104及び層間絶縁膜106を貫通して形成されたコンタクトホールにおいてデータラインDLと接続されている。また、半導体120のデータラインDLと接続された導電領域(例えばドレイン領域120d)とチャネル領域120cを挟んで反対側に存在する導電領域(例えばソース領域120s)は、ゲート絶縁膜104及び層間絶縁膜106に形成されたコンタクトホールにおいて、層間絶縁膜106の上に形成された金属配線304に接続され、半導体層120は、このコンタクト位置からさらに水平方向及び垂直方向に広がり、隣接画素の手前、ここでは、電源ラインPLとの重畳領域の端付近で終端している。
半導体層120の金属配線304とのコンタクト位置からさらに延びる領域は容量電極124として機能し、この容量電極124は、層間にゲート絶縁膜104を挟んで、ゲートラインGLと平行して水平方向に配置されたパルス駆動ライン330(SC)の幅広領域と重なっている。そして、この容量電極124とパルス駆動ライン330との重畳領域が保持容量24を構成している。
スイッチングTFT20のソース領域120sが保持容量電極124との間でにコンタクトホールにおいて接続される金属配線304は、データラインDLなどと同層であり、図11の例では、コンタクト位置から、並んで延びているデータラインDL及び電源ラインPLの間を通ってこれらと同様に垂直方向に延び、図12(b)に示すように、間に層間絶縁膜106を挟んで延びているパルス駆動ラインSCの上を横切り、後述するMOS型容量素子28の半導体層128の形成領域と重なる位置で終端している。この金属配線304は、層間絶縁膜106及びゲート絶縁膜104を貫通して形成されたコンタクトホールにおいて、半導体層128と接続されている。
また、金属配線304は、スイッチングTFT20の半導体層120(ソース領域120s)とのコンタクト位置から、上記MOS型容量素子の半導体層128とのコンタクト位置までの間で、層間絶縁膜106に形成されたコンタクトホールにおいて、ゲートラインGL等と同一材料の金属層で構成され、駆動TFT22のゲート電極を構成するゲート電極配線302と接続されている。
ゲート電極配線302は、図11に示すように、電源ラインPLと、駆動TFT22の半導体層122とのコンタクト領域を迂回するように、上記金属配線304とのコンタクト位置から、一旦水平方向に延び、電源ラインPLの下層をくぐった位置で屈曲して電源ラインPLと並んで垂直方向に延びる。その後、電源ラインPLと重なるように水平方向(図中の右側)に曲がり、電源ラインPLと重なった位置から再び垂直方向に、図12(c)に示すように電源ラインPLの下層を、駆動TFT22の半導体層122と重なるように延びている。ゲート電極配線302が、ゲート絶縁膜104を間に挟んで下層の半導体層122と対向する領域が駆動TFT22のゲート電極であり、このゲート電極に覆われた半導体層122の領域にチャネル領域122cが形成されている。
ここで、駆動TFT22の半導体層122は、垂直方向に延び、その形成領域の大半が電源ラインPLの下層に配置されている。半導体層122の導電領域(ここではソース領域122s)は、層間絶縁膜106及びゲート絶縁膜104に形成されたコンタクトホールにおいて、その上方を覆うように形成されている電源ラインPLに接続されている。さらに、チャネル領域122cを挟んでソース領域122sと反対側の位置に形成されている導電領域(ここではドレイン領域122d)は、次の行のゲートラインGLの近傍で、電源ラインPLの形成領域から延出し、有機EL素子26の下部電極(ここでは陽極)262に接続されている。したがって、この駆動TFT22のチャネル長方向は、電源ラインPLの延在方向である垂直方向と平行になっている。
図12(c)に示すように、有機EL素子26は、下部電極262と上部電極264との間に、発光素子層270を備え、発光素子層270は、この例では正孔輸送層272、発光層274、電子輸送層276の3層構造である。3層構造には限らず、用いる有機材料などにより、発光機能を備えた単独層でも、2層でも、また4層以上の積層構造あっても良い。
なお、データラインDL及び電源ラインPLなどの形成面全体を覆って有機樹脂などからなる第1平坦化絶縁層108が基板のほぼ全面に形成されており、この第1平坦化絶縁膜108の上には、有機EL素子26の下部電極262が、ITOなど、透明な導電性金属酸化物材料を用いて画素領域毎に個別に形成されている。この上記有機EL素子26の下部電極262は、第1平坦化絶縁膜108に形成されたコンタクトホールにおいて、駆動TFT22のドレイン領域122dに接続されたドレイン電極308に接続されている。
発光素子層270を挟んで、上記下部電極262と対向して形成された上部電極264は、ここでは各画素共通であり、例えばAlなどの金属材料や、ITOなどの導電性透明材料などを用いることができる。
また、図12(c)に示すように、第1平坦化絶縁膜108の上には、下部電極262の端部を覆うように第2平坦化絶縁膜110が形成されており、発光素子層270は、下部電極262の露出面及び第2平坦化絶縁膜110の上を覆うように形成されている。
発光素子層270として、多層構造を採用する場合に、全層を各画素共通で形成しても良いし、多層のうちの一部又は全層、例えば、図12(c)に示すように、発光層274のみが、下部電極262と同様の画素毎に個別パターンとしても良い。
MOS型容量素子28は、このような有機EL素子26と電源ラインPLとの間に接続された駆動TFT22のすぐ近く形成されている。MOS型容量素子28のゲート電極306は、層間絶縁膜106に形成されたコンタクトホールにおいて、電源ラインPLと接続され(図12(b)参照)、そのコンタクト位置から真っ直ぐ垂直方向に延びている。また、MOS型容量素子28の半導体層(能動層)128は、金属配線層304とのコンタクト位置から、駆動TFT22の半導体層122と平行する垂直方向に、上記ゲート電極306と間にゲート絶縁膜104を挟んで対向するように形成されている。
このように、MOS型容量素子28の半導体層128は、一端側が、金属配線層304によって、駆動TFT22のゲート電極302及びスイッチTFT20のソース領域120s及び保持容量電極124に接続されているが、他端側は電気的にはオープンな状態となっている。別の言い方をすると、このMOS型容量素子28の半導体層128は、図4に示すように、TFTとして考えた場合のソース領域及びドレイン領域が共に、上記金属配線層304を介してスイッチTFT20のソース領域120s及び保持容量24及び駆動TFT22のゲート電極302に接続されている。
電源ラインPLを画素領域内で有機EL素子26側に屈曲させ、これによってデータラインDLとの間に生じたスペースに、MOS型容量素子28を形成することで、駆動TFT22と近接した位置にMOS型容量素子28を形成することができ、両者の特性を合わせることができる。また、駆動TFT22のチャネル長方向とMOS型容量素子28のチャネル長方向(ゲート電極306と半導体層128とが重畳して延在する方向)とが、共に垂直方向で、かつ、そのチャネル領域の垂直方向での位置がほぼ等しく形成されている。
したがって、例えば非晶質状態のシリコン膜を形成した後にレーザビームを照射して多結晶化してこれをTFTの能動層に用いる場合、TFT特性に大きな影響を及ぼすMOS型容量素子28のチャネル領域と駆動TFT22のチャネル領域とが、ほぼ同一のレーザビームの照射によって多結晶化されることとなる。特に、ライン状のレーザビームを垂直方向に走査して多結晶化する場合にはほぼ同一のレーザビームによって多結晶化される。したがって、駆動TFT22とMOS型容量素子28の特性を非常に近似させることが可能となる。
図13には、他の実施形態を示してある。この例において、図4の構成と異なる点は、MOS型容量素子28のソースをスイッチングTFT20のドレインに接続し、ドレインを駆動TFT22ゲートに接続していることである。すなわち、この実施形態では、MOS型容量素子28は、pチャネルMOSトランジスタである。
このような構成によっても、MOS型容量素子28は、パルス駆動ラインの電圧が高い場合には、オンしており、パルス駆動ラインの電圧が降下する際にその状態がオンからオフに変化し、容量が変化して、上述と同様の作用効果が得られる。
表示装置の画素回路等に利用できる。
本発明の実施形態に係る画素回路の構成を示す図である。 ゲート電圧の変化状態を示す図である。 切り替わり電圧の変化とゲート電圧の変化の関係を示す図である。 本発明の実施形態に係る他の画素回路構成を示す図である。 ゲート電圧の変化状態を示す図である。 ゲート電圧の変化状態を示す図である。 保持容量の補正電圧への影響を示す図である。 駆動TFTのゲート幅の補正電圧への影響を示す図である。 MOS型容量素子のゲート長の補正電圧への影響を示す図である。 本発明の他の実施形態に係る画素回路構成を示す図である。 本発明の実施形態にかかる画素の平面構成を示す図である。 図11の画素の各位置の概略断面構造を示す図である。 本発明の他の実施形態に係る画素回路の構成を示す図である。 従来の画素回路の構成を示す図である。
符号の説明
20 スイッチングTFT、22 駆動TFT、24 保持容量、26 有機EL素子、28 MOS型容量素子、100 基板、102 バッファ層、104 ゲート絶縁膜、106 層間絶縁膜、108 (第1)平坦化絶縁膜、110 (第2)平坦化絶縁膜、120 第1TFT用半導体層(能動層)、122 第2TFT用半導体層(能動層)、124 保持容量電極、128 MOS型容量素子用半導体層(能動層)、262 下部電極(陽極)、264 上部電極(陰極)、270 発光素子層、272 正孔輸送層、274 発光層、276 電子輸送層、300(GL) ゲートライン、302 第2TFTゲート電極、304 金属配線層、306 MOS型容量素子用ゲート電極、308 ドレイン電極、310(DL) データライン、330(SC) 保持容量ライン(パルス駆動ライン)。

Claims (12)

  1. データ電圧を一端に受けて保持する保持容量と、
    前記保持容量の前記一端にゲートが接続され、前記保持容量の前記一端の電圧に応じて電流量が制御される駆動トランジスタと、
    前記駆動トランジスタに流れる電流に応じて発光する発光素子と、
    前記保持容量の他端に接続され、第1のパルス状信号が入力される第1制御信号線と、
    ゲート電極とチャネル領域と複数の不純物領域を有し、前記不純物領域の1つは金属配線層を介して前記駆動トランジスタのゲートに接続され、他の不純物領域はオープンもしくは前記1つの不純物領域と共に前記金属配線層を介して前記駆動トランジスタのゲートに接続され、前記ゲート電極は第2の所定電圧または前記第1のパルス状信号とは逆相である第2のパルス状信号が入力される第2制御信号線に接続され、前記第1または第2制御信号線の電圧変動によって容量値の変化する素子と、
    を備えることを特徴とする画素回路。
  2. データ電圧を一端に受けて保持する保持容量と、
    前記保持容量の前記一端にゲートが接続され、前記保持容量の前記一端の電圧に応じて電流量が制御される駆動トランジスタと、
    前記駆動トランジスタに流れる電流に応じて発光する発光素子と、
    前記保持容量の他端に接続され、第1のパルス状信号が入力される第1制御信号線と、
    ゲート電極とチャネル領域とソース領域およびドレイン領域とを有し、前記駆動トランジスタのゲートに前記ソース領域または前記ドレイン領域の一方が金属配線層を介して接続され、他方が前記保持容量のデータ電圧を受ける一端に金属配線層を介して接続され、前記ゲート電極は第2の所定電圧または前記第1のパルス状信号とは逆相である第2のパルス状信号が入力される第2制御信号線に接続され、前記第1または第2制御信号線の電圧変動によって容量値の変化する素子と、
    を備えることを特徴とする画素回路。
  3. 請求項1または請求項2に記載の画素回路において
    前記素子は、前記駆動トランジスタと同様のしきい値電圧を有していることを特徴とする画素回路。
  4. データ電圧を一端に受けて保持する保持容量と、
    前記保持容量の前記一端にゲートが接続され、前記保持容量の前記一端の電圧に応じて電流量が制御される駆動トランジスタと、
    前記駆動トランジスタに流れる電流に応じて発光する発光素子と、
    前記保持容量の他端に接続され、第1のパルス状信号が入力される第1制御信号線と、
    ゲート電極とチャネル領域と少なくとも1つの不純物領域を有するトランジスタであって、前記駆動トランジスタのゲートに前記不純物領域に対応した電極が接続され、前記ゲート電極は第2の所定電圧または前記第1のパルス状信号とは逆相である第2のパルス状信号が入力される第2制御信号線に接続され、前記駆動トランジスタと同様のしきい値電圧を有し、前記第1または第2制御信号線の電圧変動によって容量値の変化する素子と、
    を備えることを特徴とする画素回路。
  5. 請求項1乃至請求項4に記載の画素回路において、
    前記素子はトランジスタであって、
    前記データ電圧を保持容量において保持した後、前記第1または第2制御信号線の電圧変動によって、前記素子をオン状態からオフ状態に変化させることを特徴とする画素回路。
  6. 請求項1乃至請求項5に記載の画素回路において、
    前記素子は、前記駆動トランジスタに隣接して形成されることを特徴とする画素回路。
  7. 請求項1乃至請求項6に記載の画素回路において、
    前記素子は、前記駆動トランジスタと同一の工程で作成されることを特徴とする画素回路。
  8. 請求項1乃至請求項7に記載の画素回路において、
    前記素子はトランジスタであって、
    前記第1または第2制御信号線の電圧変動によって、前記素子をオン状態からオフ状態に変化させるとともに、前記駆動トランジスタをオフ状態からオン状態に変化させて発光素子を発光させることを特徴とする画素回路。
  9. 請求項1乃至請求項8に記載の画素回路において、
    前記第2制御信号線は、前記駆動トランジスタに接続される駆動用電源線が兼用することを特徴とする画素回路。
  10. 請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の画素回路において、
    前記駆動トランジスタおよび前記素子はpチャンネル薄膜トランジスタであることを特徴とする画素回路。
  11. 請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の画素回路において、
    前記発光素子は、エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする画素回路。
  12. 請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載の画素回路がマトリクス状に配置されていることを特徴とする表示装置。
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