JP5114236B2 - 薄膜形成方法 - Google Patents
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Description
このCVD装置によれば、サセプタおよび断熱材を備えた反応室に原料ガスをキャリアガスで供給し目的とする単結晶薄膜をエピタキシャル結晶成長によって形成することができる。しかし、製膜装置を起源とするハイドロカーボン・不純物の発生があり、その発生量や種類の制御が困難なため、SiCの成長条件の精密な制御が困難である。また、装置ごとにハイドロカーボンの発生量が異なるため、成長条件の一般化が難しい。
そして、高温、例えば1000℃程度以上の温度に昇温時あるいは高温での反応時に反応室内部にC(炭素)などの堆積・付着による堆積物が形成されると、キャリアガスによってこの堆積物がガス化されるため原料組成が当初の組成とは変化し、目的とする高品位単結晶の形成が不可能となることが指摘されている。
従って、この発明の目的は、反応室内部の温度をその場で測定して精度良く反応室内の堆積物量を推定し得る薄膜形成方法を提供することである。
1)SiC又はSiCコートグラファイトサセプタ、断熱材およびSiC基板を備えた反応室内を、高周波電源を用いてサセプタ内に設置した熱電対による熱電対温度で1500〜1800℃の範囲内の設定温度まで昇温し、
2)キャリアガス、Si源およびC源を供給し前記設定温度にてSiC結晶を成長させ、
3)前記熱電対温度とサセプタの放射率を測定する放射温度計による放射温度との相関を評価してサセプタ表面の堆積・付着によるC堆積物量を推定し、
4)堆積物のC汚染がなければ下記の行程6)に進み引き続いて前記熱電対温度と放射温度との相関を評価してサセプタ表面の堆積・付着によるC堆積物量を推定し、C汚染がある場合は下記の行程5)に進み、
5)反応室の加熱を止めて冷却し、SiC基板を取出し、付着Cの除去を行うか又はC非付着部品に変更し、次いで工程1)に戻り、
6)前記設定温度でSiC結晶を成長させ、
7)成長したSiC結晶素子を反応室から取り出した後、1)の工程を続ける、
からなる薄膜形成方法に関する。
1)装置内加熱装置の出力値がサセプタに設置した熱電対で測定した温度又は高周波加熱装置の出力値であり、反応室内の温度測定手段の測定値が放射温度計で測定した温度である前記の薄膜形成方法。
2)サセプタが、SiC又はSiCコートグラファイトで構成される前記の薄膜形成方法。
3)断熱材が、SiC又はSiCコートグラファイトで構成される前記の薄膜形成方法。
4)サセプタおよび/又は断熱材の放射率を監視してC汚染を検出する前記の薄膜形成方法。
5)前記の工程3)における付着炭素の除去が、雰囲気ガスを酸素又は酸素含有の混合ガスに切替え、昇温し、付着炭素を除去する工程を含む前記の薄膜形成方法。
図1において、薄膜形成装置10は、反応室1内にサセプタ2および断熱材3を備え、サセプタ2上の基板4に薄膜を形成するための反応室1、例えば、石英製チャンバーを有する装置であり、反応室1外に装置内加熱装置5、例えば、高周波電源と装置内加熱装置の出力値測定用の熱電対温度計6と反応室内の温度測定手段用の放射温度計7と、ガス、例えば原料ガス、キャリアガス、クリーニングガスの供給配管(図示せず)、排気管(図示せず)および形成された薄膜を取り出す薄膜取り出し装置(図示せず)を備えている。図1において、熱電対温度計6はサセプタ2に取り付けられているが、断熱材3に取り付けられていてもよく、放射温度計7はサセプタ2の放射率(放射温度)を監視する例が示されているが、断熱材3を含む反応容器の任意の部位の放射率を監視することもできる。
図2において、高周波電源によって1500〜1800℃に加熱される時に、堆積物がない場合つまりC(炭素)非付着時に、反応室内部の放射温度計で測定される温度が1400〜1700℃の範囲内のTRであったものが、堆積物が形成されるC付着時に放射温度計で測定される温度がTAとなり、熱電対温度計で測定される温度(℃)(TTC)又は高周波電源の高周波出力(W)に対応する放射温度のTRに比べて数十℃以上温度上昇することが示されている。
この発明の方法によれば、例えば図2における1500〜1800℃の熱電対温度又は高周波電源の高周波出力(W)の設定条件(例えば、TTC又はWHF)に対応する放射温度計(例えば、TR)の温度を監視し、放射温度計で数十℃以上高い測定温度(例えば、TA)になった時に反応室内部に堆積・付着による検出可能な堆積物量を推定することができる。
図3は、高周波電源によってサセプタ内が1750℃に加熱されて、SiCエピタキシャル結晶成長の工程を数回行って放射温度計表示温度が平均約1640℃であったものが約1700℃に上昇し、堆積物が形成されたことを示す。以後、実験回数を増やしても放射温度計表示温度は高いままであり、この発明の方法によれば温度上昇をいち早く把握することができることを示す。
この発明の実施態様において、SiCをエピタキシャル結晶成長させるために原料ガスとしては、シリコン源としてSiH4やジクロルシランなどを挙げることができ、カーボン源としてメタン、プロパン、アセチレンなどのハイドロカーボンを使用することができる。
また、これらの原料ガスはキャリアガス、通常は水素をキャリアガスとして用いて反応室内に搬送される。
さらに、反応室内の温度(サセプタの熱電伝対温度)は1000℃以上2000℃未満、特に1500〜1800℃の範囲内の温度であることが好ましく、圧力は1torr〜1atm特に2torr〜100torr程度、反応時間(素子1枚ごとの成長時間)は厚みによって異なるが5〜10μmの場合には通常1〜2時間程度であることが好ましい。
前記の各サセプタおよび断熱材のうちどれを組み合わせて使用するかによって、原料のシリコン源およびカーボン源の割合を変えることが好ましい。
例えば、SiCサセプタおよびSiC断熱材の場合、SiCエピタキシャル結晶成長時の適切な原料供給比:C/Si=6であり、装置依存性がない。
さらに、グラファイトサセプタおよびSiC断熱材の場合、SiCエピタキシャル結晶成長時の適切な原料供給比:C/Si=1であり、装置依存性がある。
このように、サセプタおよび断熱材の種類によって供給原料の組成を変えることが必要である。
1)先ず最適なSi/Cでエピタキシャル結晶成長中に、サセプタのSiCコート層が高温での反応中に剥がれてピンホールが形成される。
2)ピンホールから反応室内にCが飛び出る。
3)Cが堆積物を形成する。
4)C堆積物がキャリアガスの大量の水素と反応してCH4となる。
5)CH4が反応原料となるため、最適なSi/Cが狂ってくる。
6)当初に目的としたエピタキシャル結晶が得られなくなる。
1)サセプタおよび断熱材を備えた反応室を昇温し、熱電対温度又は電源出力と放射温度計の相関を評価して反応室内部の堆積・付着による炭素堆積物量を推定し、
2)堆積物のC汚染がなければ下記の工程4)に進み、C汚染がある場合は下記の工程3)に進み、
3)基板を取り出し、付着Cの除去を行うか又はC非付着部品に変更し、
4)設定温度でSiC結晶を成長させ、
5)成長したSiC結晶素子を反応室から取り出し、前記の1)の工程を続ける、
ことによって、薄膜を形成することができる。
上記の付着炭素の除去工程において、放射率が正常値になるまで処理を行うことが必要である。
実施例1
実施例1に示すCVD薄膜製造装置を用いて、下記の工程でSiC薄膜形成の実験を行った。
1)SiCサセプタおよびSiC断熱材、さらに0.3〜0.5mm厚みのSiC基板を備えた反応室に2torrの圧力、水素ガス流通下にコールドウォール型高周波電源を用いてサセプタ内に設置した熱電対温度で1750℃まで加熱した。
2)キャリアガスとして水素を、Si(シリコン)源としてSiH4を、C(カーボン)源としてアセチレンをSi/C=6の割合で用いて、設定温度として熱電対温度で1750℃にてSiC結晶を成長させた。
3)サセプタ内に設置した熱電対温度とサセプタの放射率を測定する放射温度計の相関を評価して、サセプタ表面の堆積・付着によるC堆積物量を継続的に推定した。
4)放射温度が1660℃未満であれば堆積物のC汚染がないと判断し、下記の工程6)に進み、放射温度が1660℃に達したらC汚染があると判断し、下記の工程5)に進んだ。
6)設定温度でSiC結晶を成長させ、
7)成長した用途によって厚み5〜10μmあるいは50〜100μmのSiC結晶素子薄膜を反応室から取り出し、前記の2)の工程を続けた。
これらの工程によって、SiCサセプタに形成されたピンホールによるC汚染を精度高く推定することができた。
2 サセプタ
3 断熱材
4 基板
5 装置内加熱装置
6 熱電対温度計
7 放射温度計
10 薄膜形成装置
Claims (3)
- 下記の工程:
1)SiC又はSiCコートグラファイトサセプタ、断熱材およびSiC基板を備えた反応室内を、高周波電源を用いてサセプタ内に設置した熱電対による熱電対温度で1500〜1800℃の範囲内の設定温度まで昇温し、
2)キャリアガス、Si源およびC源を供給し前記設定温度にてSiC結晶を成長させ、
3)前記熱電対温度とサセプタの放射率を測定する放射温度計による放射温度との相関を評価してサセプタ表面の堆積・付着によるC堆積物量を推定し、
4)堆積物のC汚染がなければ下記の行程6)に進み引き続いて前記熱電対温度と放射温度との相関を評価してサセプタ表面の堆積・付着によるC堆積物量を推定し、C汚染がある場合は下記の行程5)に進み、
5)反応室の加熱を止めて冷却し、SiC基板を取出し、付着Cの除去を行うか又はC非付着部品に変更し、次いで工程1)に戻り、
6)前記設定温度でSiC結晶を成長させ、
7)成長したSiC結晶素子を反応室から取り出した後、1)の工程を続ける、
からなる薄膜形成方法。 - 前記断熱材が、SiC又はSiCコートグラファイトで構成される請求項1に記載の薄膜形成方法。
- 前記付着炭素の除去が、酸素を導入して堆積物のC汚染層を除去して行われる請求項1に記載の薄膜形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008028844A JP5114236B2 (ja) | 2008-02-08 | 2008-02-08 | 薄膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008028844A JP5114236B2 (ja) | 2008-02-08 | 2008-02-08 | 薄膜形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009185365A JP2009185365A (ja) | 2009-08-20 |
JP5114236B2 true JP5114236B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=41068888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008028844A Expired - Fee Related JP5114236B2 (ja) | 2008-02-08 | 2008-02-08 | 薄膜形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5114236B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102747418B (zh) * | 2012-07-25 | 2015-12-16 | 东莞市天域半导体科技有限公司 | 一种高温大面积碳化硅外延生长装置及处理方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3103228B2 (ja) * | 1992-12-09 | 2000-10-30 | 株式会社日立製作所 | ガス処理装置 |
JPH0897185A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-12 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH08236450A (ja) * | 1995-03-01 | 1996-09-13 | Toshiba Corp | 半導体気相成長装置及び半導体気相成長方法 |
JP4720029B2 (ja) * | 2001-06-19 | 2011-07-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 枚葉式の熱処理装置 |
JP4703230B2 (ja) * | 2005-03-29 | 2011-06-15 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 |
JP2006303152A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | エピタキシャル成膜装置およびエピタキシャル成膜方法 |
-
2008
- 2008-02-08 JP JP2008028844A patent/JP5114236B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009185365A (ja) | 2009-08-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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