JP5110464B2 - CVD−SiC単体膜の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 73
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 54
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 54
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 53
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 21
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 21
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 21
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 239000007770 graphite material Substances 0.000 claims description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 14
- 229910021382 natural graphite Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 10
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 32
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- DWAWYEUJUWLESO-UHFFFAOYSA-N trichloromethylsilane Chemical compound [SiH3]C(Cl)(Cl)Cl DWAWYEUJUWLESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- HDNHWROHHSBKJG-UHFFFAOYSA-N formaldehyde;furan-2-ylmethanol Chemical compound O=C.OCC1=CC=CO1 HDNHWROHHSBKJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007849 furan resin Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
室温から1000℃における熱膨張係数が7.0×10−6[/℃]の黒鉛材(SiC被膜の熱膨張係数4.7×10−6[/℃]よりも約50%高い)として、東海カーボン(株)製の等方性黒鉛材G077を直径400mm、厚さ8mmの円形状に成形し、天然黒鉛粉(平均粒子径:20μm、最大粒子径:50μm)10重量部とフェノール樹脂100重量部をアセトンにて希釈した混合液中に浸漬し、引き上げた後に、半日風乾させ、硬化炉にて250℃の温度で3時間処理して樹脂分を硬化させた。続いて、カンタル炉にて窒素パージの下、1000℃の温度で10時間加熱して樹脂分を炭化させ、100μm厚さの脆弱層を有する脆弱層被覆黒鉛基材を作製した。
実施例1において、天然黒鉛粉の配合量を100重量部に変更し、実施例1のものよりさらに脆弱化させた脆弱層を被覆した黒鉛基材を作製して、実施例1と同様に厚さ3mmのSiC被膜を成膜し、冷却後における基材とSiC単体膜の剥離状況、SiC単体膜の割れ状況を観察したところ、SiC被膜は、割れ、クラックが生じることなく黒鉛基材と分離した。
実施例1において、天然黒鉛粉の配合量を5重量部に減少させ、樹脂の含有率を高めた脆弱層を被覆した黒鉛基材を作製して、実施例1と同様に厚さ3mmのSiC被膜を成膜し、冷却後における基材とSiC単体膜の剥離状況、SiC単体膜の割れ状況を観察したところ、脆弱層の樹脂含有率が高くなると、炭化後の空孔率が減少し、脆弱層の強度が高くなるばかりか、楔作用により脆弱層に強固に固着するため、SiC被膜の一部は基材と分離したが、SiC被膜の大部分に割れが生じた。
実施例1において、1000μm厚さの脆弱層を有する脆弱層被覆黒鉛基材を作製した。この脆弱層には炭化後の熱収縮によるひび割れ、深い空孔が点在しており、実施例1と同様に厚さ3mmのSiC被膜を成膜し、冷却後における基材とSiC単体膜の剥離状況、SiC単体膜の割れ状況を観察したところ、楔作用によりSiC被膜と基材は分離せず、熱収縮差に起因する内部応力によって割れが生じた。
実施例1において、黒鉛基材に脆弱層を設けることなく、黒鉛基材に直接SiC被膜を成膜したところ、楔作用によりSiC被膜が黒鉛基材に固着して、SiC被膜と基材は分離せず、熱収縮差に起因する内部応力によって割れが生じた。
実施例1において、室温から1000℃における熱膨張係数が3.0×10−6[/℃](SiC被膜の熱膨張係数4.7×10−6[/℃]よりも約36%低い)の東海カーボン(株)製G140を黒鉛材として使用し、実施例1と同様にして、100μm厚さの脆弱層を有する脆弱層被覆黒鉛基材を作製した。実施例1と同様に厚さ3mmのSiC被膜を成膜し、冷却後における基材とSiC単体膜の剥離状況、SiC単体膜の割れ状況を観察したところ、黒鉛基材とSiC被膜との熱収縮差が大きいため、脆弱層が崩壊し易くなり剥離は誘導されたが、SiC被膜の方が熱膨張係数が高く圧縮力が加わるため、SiC単体膜に反り、割れが生じた。
実施例1において、室温から1000℃における熱膨張係数が4.8×10−6[/℃](SiC被膜の熱膨張係数4.7×10−6[/℃]とほぼ同等)の東海カーボン(株)製 等方性黒鉛G330を黒鉛材として使用し、実施例1と同様にして、100μm厚さの脆弱層を有する脆弱層被覆黒鉛基材を作製した。実施例1と同様に厚さ3mmのSiC被膜を成膜し、冷却後における基材とSiC単体膜の剥離状況、SiC単体膜の割れ状況を観察したところ、冷却過程においてSiC被膜と基材の間に熱収縮差が殆どなく、両者の間には内部応力が発生しないため、分離が生じなかった。
Claims (2)
- 黒鉛基材を基材保持冶具に載置し、基材面にCVD反応によりSiC被膜を成膜した後、該SiC被膜を黒鉛基材と分離してSiC単体膜を得る方法において、黒鉛基材として、所定の形状に成形した黒鉛材に、天然黒鉛粉と液状樹脂からなる混合物を塗布し、焼成して得られる脆弱層を形成してなる黒鉛基材を用いることを特徴とするCVD−SiC単体膜の製造方法。
- 前記黒鉛基材として、室温から1000℃における熱膨張係数が前記SiC被膜よりも30〜100%高い黒鉛材に、液状樹脂100重量部に対して、天然黒鉛粉を10重量部以上配合した混合物を塗布し、焼成して得られる脆弱層を形成してなる黒鉛基材を用いることを特徴とする請求項1記載のCVD−SiC単体膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007182968A JP5110464B2 (ja) | 2007-07-12 | 2007-07-12 | CVD−SiC単体膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007182968A JP5110464B2 (ja) | 2007-07-12 | 2007-07-12 | CVD−SiC単体膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009019238A JP2009019238A (ja) | 2009-01-29 |
JP5110464B2 true JP5110464B2 (ja) | 2012-12-26 |
Family
ID=40359138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007182968A Active JP5110464B2 (ja) | 2007-07-12 | 2007-07-12 | CVD−SiC単体膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5110464B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9643291B2 (en) | 2013-11-11 | 2017-05-09 | Olympus Corporation | Polishing method |
JP2021046336A (ja) * | 2019-09-18 | 2021-03-25 | 住友金属鉱山株式会社 | 黒鉛製支持基板の表面処理方法、炭化珪素多結晶膜の成膜方法および炭化珪素多結晶基板の製造方法 |
EP3627536B1 (en) | 2017-10-18 | 2022-07-27 | Nippon Techno-Carbon Co., Ltd. | Susceptor |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6175315B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2017-08-02 | イビデン株式会社 | セラミック成形体の製造方法 |
JP7385459B2 (ja) * | 2019-12-19 | 2023-11-22 | イビデン株式会社 | 非酸化物系気相成長セラミック材料の形成用の型、非酸化物系気相成長セラミック材料、及び、非酸化物系気相成長セラミック材料の形成用の型の製造方法 |
JP7322783B2 (ja) * | 2020-03-30 | 2023-08-08 | 住友金属鉱山株式会社 | 成膜用支持基板、成膜用支持基板の製造方法、多結晶膜の成膜方法および多結晶基板の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06228754A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-08-16 | Tokai Carbon Co Ltd | 金属基材へのカーボン被膜形成法 |
JPH0812315A (ja) * | 1994-06-30 | 1996-01-16 | Tokai Carbon Co Ltd | SiC成形体の製造方法 |
JP3617676B2 (ja) * | 1994-07-18 | 2005-02-09 | 東海カーボン株式会社 | 炭化珪素成形体の製造方法 |
JPH1017382A (ja) * | 1996-06-28 | 1998-01-20 | Mitsubishi Pencil Co Ltd | 炭化珪素成形体の製造方法 |
-
2007
- 2007-07-12 JP JP2007182968A patent/JP5110464B2/ja active Active
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9643291B2 (en) | 2013-11-11 | 2017-05-09 | Olympus Corporation | Polishing method |
EP3627536B1 (en) | 2017-10-18 | 2022-07-27 | Nippon Techno-Carbon Co., Ltd. | Susceptor |
JP2021046336A (ja) * | 2019-09-18 | 2021-03-25 | 住友金属鉱山株式会社 | 黒鉛製支持基板の表面処理方法、炭化珪素多結晶膜の成膜方法および炭化珪素多結晶基板の製造方法 |
JP7294021B2 (ja) | 2019-09-18 | 2023-06-20 | 住友金属鉱山株式会社 | 黒鉛製支持基板の表面処理方法、炭化珪素多結晶膜の成膜方法および炭化珪素多結晶基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009019238A (ja) | 2009-01-29 |
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