JP5108497B2 - 複合部材およびその製造方法 - Google Patents
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図1(a)は、複合部材1を示す斜視図である。また、図1(b)は、複合部材1の断面図である。複合部材1は、セラミック部2および複合材料部3から構成されている。セラミック部2は、セラミック焼結体で形成されている。複合材料部3は、金属のマトリックスにセラミックスの強化材が分布してなる金属基複合材料で形成され、金属層を介することなくセラミック部2に直接に結合している。これにより、セラミック部2および金属層による膨張や収縮の応力が生じない。たとえばセラミック部2と複合材料部3との熱膨張率の差を小さくすることで、セラミック部2の割れ等を防止することができる。
上記のような構成の複合部材1の製造方法について説明する。図2(a)〜(c)は、複合部材1の製造方法の工程を模式的に示す図である。まず、鋳型容器10にセラミック焼結体12を配置する(配置工程)。セラミック焼結体12は、円柱、四角柱、多角柱、円錐、四角錐など様々な形状とすることができる。また、セラミック焼結体12の配置は、鋳型容器10内の中心でなくてもよい。また、複数のセラミック焼結体12を配置してもよい。鋳型容器10としては、あらかじめ溝加工等がなされた炭素製(グラファイト製)のものを用いる。炭素製のものを用いることで、鉄等の金属製の型に比べ、鋳型容器10の熱膨張による影響を小さくすることができる。また、炭素製の鋳型容器10を用いることで作業性の面では作製した複合部材1を鋳型から取り出すのが容易となり、型の製造コストを低減することもできる。
2 セラミック部
3 複合材料部
4 境界面
10 鋳型容器
12 セラミック焼結体
13 セラミック粉末
16 溶融金属
23 金属基複合材料
Claims (7)
- 半導体製造装置の部品に用いられる複合部材であって、
相対密度99.5%の酸化アルミニウムのセラミック焼結体で形成されたセラミック部と、
純度が99%以上のアルミニウムのマトリックスに窒化アルミニウムセラミックスの強化材が分布してなる金属基複合材料で形成され、金属層を介することなく前記セラミック部に直接に結合する複合材料部と、を備え、
室温から前記マトリックスを構成する金属の融点までの温度範囲において、前記セラミック部の熱膨張率と前記複合材料部の熱膨張率との差が3×10−6/℃以下であることを特徴とする複合部材。 - 前記複合材料部は、前記セラミック部と結合する境界面に至るまで一様に強化材が分布した構造を有していることを特徴とする請求項1記載の複合部材。
- 前記複合材料部に分布する強化材の充填率は、50%以上であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の複合部材。
- 前記複合材料部は、前記セラミック部を囲繞するように前記セラミック部に結合していることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の複合部材。
- 鋳型容器にセラミック焼結体を配置する配置工程と、
前記セラミック焼結体が配置された鋳型容器内にセラミック粉末を充填する充填工程と、
前記セラミック粉末を充填された鋳型容器内に熔融金属を注入する注入工程と、
前記注入した熔融金属を加圧して、前記セラミック粉末に浸透させる浸透工程と、を有することを特徴とする複合部材の製造方法。 - 前記鋳型容器として、炭素製の鋳型容器を用いることを特徴とする請求項5記載の複合部材の製造方法。
- 前記浸透工程において、前記鋳型容器内を450℃以上に維持しつつ、圧力5MPa以上で前記注入した熔融金属を加圧することを特徴とする請求項5または請求項6記載の複
合部材の製造方法。
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