JP5108324B2 - 光学式変位測定器 - Google Patents
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Description
従来、このような光学式変位測定器は、光源と、この光源からの光を平行光とするコリメータレンズと、コリメータレンズを通過した平行光を測定面に向けて照射するとともに測定面からの反射光を受けるフォーカシングレンズと、フォーカシングレンズを光軸に沿って移動させる移動手段と、フォーカシングレンズの位置を検出する位置検出手段と、ピンホール法等によってフォーカシングレンズと測定面との位置関係を認識してフォーカシングレンズと測定面との距離をフォーカシングレンズの焦点距離に保つように移動手段を制御する焦点合わせ手段とを備えて構成されている。
(a)フォーカシングレンズの位置を検出する位置検出手段は、フォーカシングレンズに一体的に取り付けられたスケールと、これと対向して静止部材に固定された検出ヘッドから構成されるが、フォーカシングレンズの移動速度が過大になると、これと一体のスケールの移動速度も過大となるため、検出ヘッドの読み取り可能な許容スピードを超え、誤計数を生じる。
(b)フォーカシングレンズの移動が急激になるため、そのときの衝撃力がフォーカシングレンズやこれの案内部分に加えられる結果、フォーカシングレンズ案内軸のずれが生じやすい。
本発明の他の目的は、フォーカシングレンズの移動端への衝突を緩和することにより、フォーカシングレンズ案内軸のずれが発生するのを防ぐことができる光学式変位測定器を提供することにある。
ここで、第1制限速さは、位置検出手段が誤計数を生じる速度に対して、マージンを見込んで低速とした速度、つまり、位置検出手段が誤計数を生じない速度に設定されている。
従って、段差や急傾斜面などの測定面を追従測定しても、位置検出手段の誤検出を防止できる。
また、フォーカシングレンズが移動範囲の移動端に近接すると、移動端近接判定手段によって、フォーカシングレンズが移動範囲の移動端に近接したことが検出される。すると、速度制限手段によって、移動手段が制御されフォーカシングレンズの移動速度が減速される。また、フォーカシングレンズが移動範囲の移動端に近接した状態において、フォーカシングレンズの移動速度が第1制限速度よりも低速な第2制限速度以上と判定されると、移動手段を制御してフォーカシングレンズの移動速度が更に低速に減速される。
従って、フォーカシングレンズの移動端への衝突を緩和できるため、フォーカシングレンズ案内軸のずれが発生するのを防ぐことができる。
具体的には、フォーカシングレンズの移動速度が予め設定された第1制限速度以上になると、第2スイッチによって、第1レートリミッタが制御器に接続される。すると、デフォーカス信号が第1レートリミッタによって制限されて制御器に伝達される。同時に、第3スイッチによって、ブレーキ用電圧が制御器に接続される。すると、ブレーキ用電圧が制御器に印加されるから、フォーカシングレンズの移動速度が減速される。
また、フォーカシングレンズが移動範囲の移動端に近接すると、第1スイッチがオフされる。すると、デフォーカス信号が遮断されるので、フォーカシングレンズの移動速度の急加速を抑制できる。更に、フォーカシングレンズが移動範囲の移動端に近接し、かつ、フォーカシングレンズの移動速度が第2制限速度以上になると、第3スイッチによって、ブレーキ用電圧が制御器に印加される。すると、ブレーキ用電圧が制御器に印加されるから、フォーカシングレンズの移動速度は減速される。
この際、ブレーキ用電圧印加回路は、第3スイッチの出力端と制御器との間に並列に接続された第2レートリミッタを含んで構成されているから、つまり、ブレーキ用電圧が第2レートリミッタによってPI動作に近い形で動作して制御器に印加されるから、オン/オフの断続的な動作があっても円滑に制御を行うことができる。
なお、フォーカシングレンズの移動方向が上下方向の場合、フォーカシングレンズが移動範囲上端に近接したときにブレーキ用電圧を加えるブレーキ用電圧印加回路と、フォーカシングレンズが移動範囲下端に近接したときにブレーキ用電圧を加えるブレーキ用電圧印加回路を別々に設け、移動方向に応じて切り換えるようにすれば、より好ましい。
このような構成によれば、フォーカシングレンズの移動方向によって第1制限速さを異なる値に設定しておけば、適切なタイミングでフォーカシングレンズに減速を掛けることができる。例えば、フォーカシングレンズが上下に移動する機構の場合、フォーカシングレンズが下方へ移動するときと、フォーカシングレンズが上方へ移動するときとで、第1制限速さを異なる値に設定しておけば、フォーカシングレンズの上方移動時や下方移動時でも適切なタイミングでフォーカシングレンズに減速を掛けることができる。
このような構成によれば、絶対値回路とコンパレータとで移動端近接判定手段を構成できるから、簡易な構成にできるとともに、経済的に構成できる。
このような構成によれば、位置検出手段からの出力を利用してフォーカシングレンズの移動速度を検出する速さ検出手段を構成できるから、速さ検出手段も経済的に構成できる。
<全体構成:図1の説明>
本発明にかかる光学式変位検出器は、図1に示されるように、光源1と、この光源1からの光を平行光とするコリメータレンズ2と、このコリメータレンズ2によって平行光とされた光源1からの光をテーブル3に載置された被測定物4の測定面4Aに向けて照射するとともに測定面4Aからの反射光を受けるフォーカシングレンズ5と、フォーカシングレンズ5を光軸に沿って移動させる移動手段としてのアクチュエータ6と、フォーカシングレンズ5の位置を検出する位置検出手段としてのリニアエンコーダ7と、測定面4Aから反射されフォーカシングレンズ5を通過した光を受光して受光信号を出力する受光部8と、この受光部8からの受光信号を処理してフォーカシングレンズ5と測定面4Aとの距離に関する信号を生成する信号処理回路9と、信号処理回路9からの信号をもとにアクチュエータ6を制御しフォーカシングレンズ5の焦点位置を測定面4Aに一致させるサーボ回路10とを含んで構成されている。
光源1とコリメータレンズ2は、コリメータレンズ2の焦点距離を隔てて配置されている。
アクチュエータ6は、例えば、ボイスコイルなどによって構成されているが、これに限られない。
リニアエンコーダ7は、フォーカシングレンズ5の外縁部においてフォーカシングレンズ5の移動方向と平行に付設されたスケール7Aと、このスケール7Aの変位を検出して変位に対応した2相正弦波信号を出力する検出ヘッド部7Bとを含んで構成されている。
二つのピンホール8C,8Dは、第2ビームスプリッタ8Bにより分割された一方の光に対しては焦点前に配置され、他方の光に対しては焦点後に配置されている。測定面4Aからの反射光は、フォーカシングレンズ5およびコリメータレンズ2を照射光とは逆に進んで受光部8に入射する。測定面4Aがフォーカシングレンズ5の焦点位置よりも遠くなった場合には測定面4Aからの反射光が焦点の手前で結像し、測定面4Aがフォーカシングレンズ5の焦点位置よりも近くなった場合には測定面4Aからの反射光が焦点よりも後ろ側で結像する。従って、焦点の前後に配置されたピンホール8C,8Dを通過する光量が、フォーカシングレンズ5と測定面4Aとの距離に応じてそれぞれ変化される。
具体的には、受光素子8E,8Fから出力される受光信号に対し、これらの差と和とを生成したのち、その差を和で除算することによりS字状のデフォーカス信号を生成する。デフォーカス信号は、フォーカシングレンズ5と測定面4Aとの距離が焦点距離に等しいときにゼロクロス値を示し、フォーカシングレンズ5と測定面4Aとの距離が焦点距離からずれるに従って急峻に変化してS字状のカーブを描く。
コリメータレンズ2からフォーカシングレンズ5に入射される光が平行光であることから、フォーカシングレンズ5を通過した光が測定面4Aで結像するとき、フォーカシングレンズ5と測定面4Aとの距離はフォーカシングレンズ5の焦点距離で一定となる。よって、測定面4Aの形状に応じて変位するフォーカシングレンズ5の位置変化をリニアエンコーダ7によって測定すれば、測定面4Aの形状を知ることができる。
サーボ回路10は、図2に示すように、信号処理回路9からのデフォーカス信号を入力とする速度制限手段としてのブレーキ用電圧印加部11と、制御器12と、アクチュエータ6を作動させるアクチュエータドライバ13と、リニアエンコーダ7からの変位信号をアナログ演算し、フォーカシングレンズ5の速さ信号を生成する速さ検出手段としての速さ検出部14と、リニアエンコーダ7からの変位信号を計数して出力するための演算部15と、この演算部15からの出力をアナログ信号に変換するD/Aコンバータ16と、このD/Aコンバータ16からのアナログ信号をアナログ微分演算して速度出力を求め、この速度出力の符号からフォーカシングレンズ5の移動方向判定を行う移動方向検出手段としての移動方向検出部17と、D/Aコンバータ16からのアナログ信号の絶対値を取り移動端接近判定を行う移動端近接判定手段としての移動端近接判定部19と、速さ検出部14で生成された速さ信号と移動方向判別部17で得られた速度の符号からフォーカシングレンズ5の移動速度が、予め設定した制限速度以上であるか否かを、移動方向別に判定するオーバースピード判定手段としてのオーバースピード判定部18とから構成されている。
以下、これらのブレーキ用電圧印加部11、速さ検出部14、移動方向検出部17、移動端近接判定部19、オーバースピード判定部18の具体的な回路構成について、詳述する。
ブレーキ用電圧印加部11は、図3に示すように、4つのアナログスイッチ21,22,23,24(SW1,SW2,SW3,SW4と記載する場合もある)と、3つのレートリミッタ25,26,27と、2つのゲインアンプ28,29と、4つの加算器30,31,32,33とを含んで構成されている。
デフォーカス信号を制御器12へ伝達する経路に、スイッチ21,22および加算器30,31が順次直列に接続されている。
スイッチ21の出力端子とスイッチ22の他方の入力端子bとの間には、レートリミッタ25が並列に挿入されている。
加算器30の他方の入力端子には、加算器32が接続されている。加算器32の一方の入力端子には、スイッチ23を介してブレーキ用電源(図示省略)からのプラス側オーバースピードブレーキ用電圧(フォーカシングレンズが移動範囲上端に近接したときに加えるブレーキ用電圧)が与えれている。スイッチ23の他方の入力端子bには、0Vが与えられている。加算器32の他方の入力端子には、レートリミッタ26およびゲインアンプ28を介してスイッチ23の出力端子が接続されている。
加算器31の他方の入力端子には、加算器33が接続されている。加算器33の一方の入力端子には、スイッチ24を介してマイナス側オーバースピードブレーキ用電圧(フォーカシングレンズが移動範囲下端に近接したときに加えるブレーキ用電圧)が与えられている。スイッチ24の他方の入力端子には、0Vが与えられている。加算器33の他方の入力端子には、レートリミッタ27およびゲインアンプ29を介してスイッチ24の出力端子が接続されている。
また、以下の説明において、V,VE,VL1,VL2は、次の内容を意味する。
V :フォーカシングレンズの移動速度、
VE :リニアエンコーダ誤計数速度、
VL1:リニアエンコーダ誤計数速度にマージンを見込んだ第1制限速度、
VL2:リニアエンコーダ誤計数速度にマージンを見込んだ第2制限速度
(移動端での衝突衝撃を緩和できる速度)、
である。
また、これらは、次の関係に設定されている。
VL2<VL1<VE
(1-1)V<VL1であれば、
SW1:オン(デフォーカス信号を伝達)
SW2:入力端子aに切替(デフォーカス信号をダイレクトに接続)
SW3,SW4:入力端子bに切替(ブレーキ用電圧不印加=0V加算)
(1-2) V≧VL1であれば、
SW1:オン(デフォーカス信号を伝達)
SW2:入力端子bに切替
(デフォーカス信号をレートリミッタ25を通して接続)
また、ブレーキを掛けている間に、デフォーカス信号が急変化し、ブレー
キ用電圧を打ち消してしまうのを防ぐために、ブレーキオン中のみ、デフ
ォーカス信号に制限を設けている。ブレーキ動作時のみ、(レートリミッ
タ25の制限値)<レートリミッタ26,27の制限値)という、2水準
のレートリミッタが動作するようにし、確実に、ブレーキ用電圧がデフォ
ーカス信号に勝るようにされている。
SW3,SW4:
i)プラス側VL1超過時 →SW3:入力端子aに切替(プラス側オーバース
ピードブレーキ用電圧オン:印加)
SW4:入力端子bに切替(マイナス側オーバー
スピードブレーキ用電圧オフ)
ii)マイナス側VL1超過時→SW3:入力端子bに切替(プラス側オーバー
スピードブレーキ用電圧オフ)
SW4:入力端子aに切替(マイナス側オーバー
スピードブレーキ用電圧オン)
ブレーキ用電圧は、速度の向きに応じて逆符号の固定電圧をPI(正しく
は、Iではなくレートリミッタ)である。PI動作に近い形で動作させる
ことにより、オン/オフの断続的な動作があっても円滑に制御を行うこと
ができる。
(2-1)V<VL2であれば、
SW1:オフ(デフォーカス信号を断つ)
SW2:入力端子aに切替(デフォーカス信号をダイレクトに接続)
SW3,SW4:入力端子bに切替(ブレーキ用電圧不印加=0V加算)
(2-2) V≧VL2であれば、
SW1:オフ(デフォーカス信号を断つ)
SW2:入力端子bに切替(デフォーカス信号をレートリミッタ25を通して
接続)
SW3,SW4:
i)プラス側VL1超過時 →SW3:入力端子aに切替(プラス側オーバース
ピードブレーキ用電圧オン:印加)
SW4:入力端子bに切替(マイナス側オーバー
スピードブレーキ用電圧オフ)
ii)マイナス側VL1超過時→SW3:入力端子bに切替(プラス側オーバー
スピードブレーキ用電圧オフ)
SW4:入力端子aに切替(マイナス側オーバー
スピードブレーキ用電圧オン)
リニアエンコーダ7からの出力(変位に応じてリニアエンコーダから出力される90度位相差をもった2相正弦波信号:A相信号およびB相信号)が速さ検出部14に入力される。
速さ検出部14、図4に示すように、オフセット調整回路41A,41Bと、微分器42Aと、ローパスフィルタ43A,43Bと、半波整流回路44Aと、全波整流回路45B,オフセット加算回路46B,半波整流回路47Bおよびオフセット減算回路48Bと、割算器49とを含んで構成されている。
(11)A相信号およびB相信号ともに、オフセット電圧を調整して0Vにする(オフセッ
ト調整回路41A,41B)。
(12)A相信号をアナログ演算で微分する(微分器42A)。すると、
i)A相信号の位相は、B相信号と同相または逆相の余弦波になる(三角関数の
特性による)。
ii)A相信号の振幅は、スケールの移動速度に比例して増幅される。
(正弦波周波数∝スケール移動速度、微分器のゲインは周波数に比例から)
相信号微分出力側にローパスフィルタ43Aが挿入されている。また、B相信号の
位相をA相信号と精密に合わせ込むために、B相信号側にもローパスフィルタ43
Bが挿入されている。こちらのローパスフィルタ43Bについては、カットオフ周
波数がA相信号側と同一になるように、可変抵抗器でチューニングできるようにな
っている。
49)すると、
i)互いのもともとの正弦波信号の振幅が分母、分子で相殺される。
(A,B相共通の振幅変動も相殺)
ii)三角関数(余弦波)が分母、分子で相殺される。
となり、スケール移動速度に比例したゲインに相当する電圧のみを抽出できる(プ
ラス・マイナスの符号付)。
しかし、実際は、割算器49では「ゼロ割」ができないため、このままでは、正し
い演算出力は得られない。そこで、ゼロ割を回避できるように、次の信号処理で対
応している。
割算の分母となるB相信号は、全波整流(全波整流回路45B)→マイナスオフセ
ット加算(オフセット加算回路46B)→半波整流(半波整流回路47B)→マイ
ナスオフセット減算(オフセット減算回路48B)の処理を行う。
このように処理したA相信号をB相信号で割算すると、割算器49の出力は、
i)正弦波の半周期に相当する時間は、スケール移動速度に比例したゲインに相
当する電圧
ii)正弦波の残りの半周期に相当する時間が0V
となる。これは、ゼロ割した場合に比べ、a)速度の向きはわからない、b)半周
期分は0Vになってしまう、という問題が生じるが、本実施形態では、後段の信号
処理部で対応している。
こうして得られた速度信号は、実際のスケールの動きに対して、ある程度のスピー
ド以上の場合、(スケール信号が高周波の場合)、即時性が高い(応答性が高い)
のが特徴である。100kHz以上での応答周波数で速さ信号を得ることができる
。
ちなみに、他の方法で、スケールから速さ信号を得ようとすると、例えば、F/
Vコンバータ(周波数/速度コンバータ)による方法の場合、リプル平滑化用のロ
ーパスフィルタの影響で応答性が遅くなる、また、CPU等でサンプリングして演
算結果を出力する場合、応答性が遅い、あるいは、高価な高速CPUが必要、とい
った欠点があるが、本実施形態では、これらの欠点もない。
D/Aコンバータ16からのアナログ変位出力(位置に比例したアナログ電圧)が、移動方向検出部17および移動端近接判定部19に入力される。
移動端近接判定部19は、図5に示すように、絶対値回路51と、コンパレータ52とを含んで構成されている。移動方向検出部17は、図5に示すように、バンドエリミネートフィルタ53と、微分器54と、コンパレータ55とを含んで構成されている。
アナログ変位出力(電圧)の大きさ(絶対値回路51)からの出力が、設定した値
を超えると、つまり、アナログ変位出力(電圧)の大きさが、測定範囲中央(0V
)から+または−どちらかへ設定した距離以上離れると、移動端に近接した状態と
判定し(コンパレータ52で判定し)、移動端近接判定フラグを立てる。
このフラグの状態によって、ブレーキ用電圧印加部11のSW1、および、オーバ
ースピード判定部18のSW5が切り替えられる。
アナログ変位出力をアナログ微分演算(微分器54で微分演算)し、速度に比例し
たアナログ電圧、つまり、アナログ速度出力を得る。
ここで、アナログ変位出力は、D/Aコンバータ16の出力であるため、サンプリ
ングによる零次ホールド特性を有している。この零次ホールドを、このまま微分す
ると、非常に大きなインパルス状のノイズに変換されてしまう。
そこで、零次ホールド特性のみを、バンドエリミネートフィルタ53で除去してか
ら、微分演算するようにし、この問題に対処している。
速度信号からは、速度の向きを判定している(プラス速度かマイナス速度かを、コ
ンパレータ55で判定)。この信号は、後段のオーバースピード判定部18で使用
される。
速さ検出部14からの出力(速さ信号)と、移動方向検出部17からの出力(速度の符号:移動方向)とが、オーバースピード判定部18に入力されている。
オーバースピード判定部18は、3つのコンパレータ61,62,65と、2つの片方向性ローパスフィルタ63,64と、AND回路66と、OR回路67と、減算回路68と、プラス電圧抽出回路69とを含んで構成されている。
、制限速度を超えているかどうかを、コンパレータ61,62で判定する。
コンパレータ61は、矩形波の電圧高さが、フォーカシングレンズが移動端に近接
していない場合の第1制限速度VL1以上であるか否かを判定する。
コンパレータ62は、矩形波の電圧高さが、フォーカシングレンズが移動端に近接
している場合の第2制限速度VL2以上であるか否かを判定する。
ダイオードを接続したものである。入力電圧上昇時はダイレクトに電圧を出力し、
電圧降下時はローパスフィルタ特性を通過させて出力する。コンパレータ61,
62のハイレベルの時間を引き延ばす役割を与えている。
ッチSW5は、移動端近接判定部19の移動端近接判定フラグの状態によって切り
替えられる。
(34)コンパレータ65は、スイッチSW5より前段のコンパレータ61,62からの出
力を波形整形する目的で設けられている。
類のオーバースピードフラグを生成するために設けられている。つまり、AND回
路前段のコンパレータ65の出力を(A)、AND回路66からの出力を(B)、
プラス電圧抽出回路69からの出力を(C)としている。
(A):±VL1または±VL2のオーバースピードフラグ。
ブレーキ用電圧印加部11のスイッチSW2の切替用信号である。
(B):+VL1または+VL2のオーバースピードフラグ。
ブレーキ用電圧印加部11のスイッチSW3の切替用信号である。
(C):−VL1または−VL2のオーバースピードフラグ。
ブレーキ用電圧印加部11のスイッチSW4の切替用信号である。
被測定物4の測定面4Aの追従測定において、段差や急傾斜面などの測定面4Aを追従測定すると、フォーカシングレンズ5の移動速度が過大になる。すると、フォーカシングレンズ5の移動速度Vが速さ検出部14によって検出されたのち、オーバースピード判定部18によって、フォーカシングレンズ5の移動速度Vが予め設定された第1制限速度VL1、第2制限速度VL2を超えているか否か、および、その制限速度を超えている移動速度Vの移動方向が上端側か下端側かが判定される。
また、移動端近接判定部19において、フォーカシングレンズ5が移動範囲の移動端、つまり、上端または下端に近接しているか否かが判定される。
ブレーキ用電圧印加部11では、これらのオーバースピード判定部18の判定結果、および、移動端近接判定部19の判定結果に基づいて、スイッチ21(SW1),22(SW2),23(SW3),24(SW4)が切り替えられる。
(1-1)V<VL1であれば、
SW1:オン(デフォーカス信号を伝達)
SW2:入力端子aに切替(デフォーカス信号をダイレクトに接続)
SW3,SW4:入力端子bに切替(ブレーキ用電圧不印加=0V加算)
となる。これにより、デフォーカス信号がダイレクトに制御器12に伝達されるとと
もに、ブレーキ用電圧が制御器12には印加されないため、通常のサーボ機構の動作
が実行される。
SW1:オン(デフォーカス信号を伝達)
SW2:入力端子bに切替
(デフォーカス信号をレートリミッタ25を通して接続)
SW3,SW4:
i)プラス側VL1超過時 →SW3:入力端子aに切替
SW4:入力端子bに切替
となる。これにより、デフォーカス信号がレートリミッタ25によって制限されて制
御器12に伝達されるとともに、制御器12にはプラス側オーバースピードブレーキ
用電圧が印加されるため、フォーカシングレンズ5の移動速度が減速される。
やがて、フォーカシングレンズ5の移動速度Vが第1制限速度VL1未満になり、 これがオーバースピード判定部18において判定されると、SW2:入力端子a、S
W3:入力端子bにそれぞれ切替られる。すると、デフォーカス信号がダイレクトに
制御器12に伝達されるとともに、制御器12に印加されていたブレーキ用電圧がオ
フされる。また、
ii)マイナス側VL1超過時→SW3:入力端子bに切替
SW4:入力端子aに切替
となるから、上端への移動と同様な動作が実行される。
更に、速度制限にあたって、サーボの応答性が1kHz以上の応答性であっても、測定面の変位がランダムであっても、狭いデフォーカス範囲しか存在しないデフォーカス信号の内外に偏差が出入りするような状況があっても、速度制限を実現することができる。
(2-1)V<VL2であれば、
SW1:オフ(デフォーカス信号を断つ)
となる。すると、デフォーカス信号の伝達が遮断される結果、フォーカシングレンズ
5の移動速度の急加速を抑制できる。
SW1:オフ(デフォーカス信号を断つ)
SW2:入力端子bに切替(デフォーカス信号をレートリミッタ25を通して
接続)
SW3,SW4:
i)プラス側VL2超過時 →SW3:入力端子aに切替
SW4:入力端子bに切替
となる。これにより、デフォーカス信号の伝達が遮断された状態において、プラス側
オーバースピードブレーキ用電圧が制御器12に印加されるため、フォーカシングレ
ンズの移動速度は減速される。また、
ii)マイナス側VL2超過時→SW3:入力端子bに切替
SW4:入力端子aに切替
となるから、上端への移動と同様な動作が実行される。
本発明の光学式変位測定器は、上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
上記実施形態では、リニアエンコーダ7の位置情報を利用してフォーカシングレンズ5の速さ情報を検出するようにしたが、フォーカシングレンズ5の速さを検出する速さ検出手段を別に設けるようにしてもよい。
上記実施形態では、フォーカシングレンズ5が上下方向へ移動する構造であったが、水平方向、あるは、斜め方向へ移動するタイプであっても適用可能である。
上記実施形態では、受光部8の第1ビームスプリッタ8Aを、光源1とコリメータレンズ2との間の光路上に配置したが、これに限らず、第1ビームスプリッタ8Aをコリメータレンズ2とフォーカシングレンズ5との間の光路上に配置しても同様な効果が期待できる。
2…コリメータレンズ、
4…被測定物、
4A…測定面、
5…フォーカシングレンズ
6…アクチュエータ(移動手段)、
7…リニアエンコーダ(位置検出手段)
11…ブレーキ用電圧印加部(速度制限手段)
12…制御器、
14…速さ検出部(速さ検出手段)、
17…移動方向検出部(移動方向検出手段)、
18…オーバースピード判定部(オーバースピード判定手段)、
19…移動端近接判定部(移動端近接判定手段)
21…アナログスイッチ(第1スイッチ)、
22…アナログスイッチ(第2スイッチ)、
23,24…アナログスイッチ(第3スイッチ)、
25…レートリミッタ(第1レートリミッタ)、
26,27…レートリミッタ(第2レートリミッタ)、
42A…微分器、
44A…半波整流回路、
45B…全波整流回路、
47B…半波整流回路、
49…割算器、
51…絶対値回路、
52…コンパレータ、
61…第1コンパレータ、
62…第2コンパレータ、
63…第1片方向性ローパスフィルタ、
64…第2片方向性ローパスフィルタ、
V…フォーカシングレンズの移動速度、
VL1…第1制限速度、
VL2…第2制限速度。
Claims (5)
- コリメータレンズによって平行光とされた光源からの光を測定面に向けて照射するとともに前記測定面からの反射光を受けるフォーカシングレンズと、前記フォーカシングレンズを光軸に沿って移動させる移動手段と、前記フォーカシングレンズの位置を検出する位置検出手段とを備え、前記測定面から反射され前記フォーカシングレンズを通過した光の焦点位置に基づいて、前記フォーカシングレンズの焦点位置と前記測定面との位置ずれを認識するとともに、前記フォーカシングレンズの焦点位置が前記測定面に一致するように前記移動手段を制御する光学式変位測定器において、
前記フォーカシングレンズの移動時の速さを検出する速さ検出手段と、
前記フォーカシングレンズが移動範囲の移動端に近接したことを検出する移動端近接判定手段と、
前記速さ検出手段によって検出された前記フォーカシングレンズの速さが予め設定された第1制限速さ以上であるか否か、および、前記第1制限速さを大きさとする第1制限速度よりも低速な第2制限速度以上であるか否かを判定するオーバースピード判定手段と、
前記オーバースピード判定手段によって判定された前記フォーカシングレンズの速さに応じて、前記移動手段を制御して前記フォーカシングレンズの速さを減速する速度制限手段とを備え、
前記速度制限手段は、前記フォーカシングレンズの焦点位置と前記測定面との位置ずれに基づくデフォーカス信号を、前記移動手段の制御器に与える経路に直列に挿入された第1スイッチと、前記第1スイッチの出力端に接続された第1レートリミッタと、前記第1スイッチの出力端および前記第1レートリミッタの出力端のいずれかを選択的に前記制御器に接続する第2スイッチと、前記第2スイッチと前記制御器との間の経路に接続されたブレーキ用電圧印加回路とを備え、
前記ブレーキ用電圧印加回路は、ブレーキ用電圧および0Vのいずれかを選択的に前記制御器に接続する第3スイッチと、前記第3スイッチの出力端と前記制御器との間に並列に接続された第2レートリミッタとを含んで構成され、
前記第1スイッチは、前記移動端近接判定手段によって前記フォーカシングレンズが移動範囲の移動端に近接したと判定された際には、オフされ、
前記第2スイッチは、前記オーバースピード判定手段によって前記フォーカシングレンズの移動速度が前記第1制限速度以上と判定された際には、前記第1レートリミッタの出力端を前記制御器に接続し、
前記第3スイッチは、前記オーバースピード判定手段によって前記フォーカシングレンズの移動速度が前記第1制限速度および第2制限速度のいずれか以上と判定された際には、前記ブレーキ用電圧を前記制御器に接続する、
ことを特徴とする光学式変位測定器。 - 請求項1に記載の光学式変位測定器において、
前記フォーカシングレンズの移動方向を検出する移動方向検出手段を更に備え、
前記オーバースピード判定手段は、前記移動方向検出手段によって検出された前記フォーカシングレンズの移動方向毎に、前記フォーカシングレンズの速さを判定する、
ことを特徴とする光学式変位測定器。 - 請求項1または請求項2に記載の光学式変位測定器において、
前記オーバースピード判定手段は、前記位置検出手段の出力から生成された前記フォーカシングレンズの移動速度が前記第1制限速度以上であるか否かを判定する第1コンパレータと、前記第1コンパレータの出力を入力としその第1コンパレータの出力上昇時はダイレクトに出力するとともに出力下降時はローパスフィルタ特性を通過させて出力する第1片方向性ローパスフィルタと、前記フォーカシングレンズの移動速度が前記第2制限速度以上であるか否かを判定する第2のコンパレータと、前記第2コンパレータの出力を入力としその第2コンパレータの出力上昇時はダイレクトに出力するとともに出力下降時はローパスフィルタ特性を通過させて出力する第2片方向性ローパスフィルタとを備え、
前記第1片方向性ローパスフィルタを通して出力される前記第1コンパレータの出力によって前記第2スイッチおよび第3スイッチを切り替え、
前記第2片方向性ローパスフィルタを通して出力される前記第2コンパレータの出力によって前記第3スイッチを切り替える、
ことを特徴とする光学式変位測定器。 - 請求項1または請求項2に記載の光学式変位測定器において、
前記移動端近接判定手段は、前記位置検出手段の位置情報の絶対値を得る絶対値回路と、前記絶対値回路で得られた絶対値が予め設定した設定値を超えたか否かを判定し前記絶対値が設定値を超えたとき、前記フォーカシングレンズが移動範囲の移動端に近接したことを表す信号を出力する第3コンパレータとを含んで構成され、
前記第3コンパレータの出力によって前記第1スイッチをオフする、
ことを特徴とする光学式変位測定器。 - 請求項1〜請求項4のいずれかに記載の光学式変位測定器において、
前記速さ検出手段は、前記位置検出手段からの90度位相の異なる2相正弦波信号の一方を微分演算する微分器と、前記微分器の出力を半波整流する第1半波整流回路と、前記2相正弦波信号の他方を全波整流する全波整流回路と、この全波整流回路の出力にマイナスオフセット加算をするオフセット加算回路と、このオフセット加算回路の出力を半波整流する第2半波整流回路と、この第2半波整流回路の出力にマイナスオフセット減算をするオフセット減算回路と、前記第1半波整流回路の出力を前記オフセット減算回路の出力で割算する割算器とを含んで構成されている、
ことを特徴とする光学式変位測定器。
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