JP6336718B2 - オートフォーカス装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施の形態に係るオートフォーカス装置の構成を示す概略図である。本実施の形態に係るオートフォーカス装置は、所謂、ダブルピンホール方式のレーザオートフォーカス装置であり、例えば、顕微鏡、画像測定機などの光学装置に搭載される。
次に、図3を参照して第2の実施の形態に係るオートフォーカス装置について説明する。図3に示すように、第2の実施の形態は、信号電圧加算部31の代わりに、最大電圧検出部31aを有する。この点で第2の実施の形態は第1の実施の形態と異なる。
次に、図4を参照して、第3の実施の形態に係るオートフォーカス装置について説明する。本実施の形態に係るオートフォーカス装置は、ダブル・ナイフエッジ方式のレーザオートフォーカス装置である。
Claims (2)
- 対物レンズを介して被測定物に光を照射する光源と、
前記被測定物からの反射光の一部を検出して、第1信号を生成する第1検出部と、
前記反射光の一部を検出して、第2信号を生成する第2検出部と、
前記第1信号を増幅させて第1増幅信号を生成する第1増幅器と、
前記第2信号を増幅させて第2増幅僧号を生成する第2増幅器と、
前記第1増幅信号と前記第2増幅信号のうち、高い電圧を有する一方の信号の電圧値を検出する最大電圧検出部と、
前記最大電圧検出部において検出された電圧値が一定の大きさを有するように前記第1増幅器及び前記第2増幅器に同じ増幅率を設定する増幅率決定部と、
前記第1増幅信号及び前記第2増幅信号に基づき前記対物レンズの合焦位置を特定する演算部と
を備えることを特徴とするオートフォーカス装置。 - 前記増幅率決定部は、前記第1増幅器及び前記第2増幅器に増幅率制御信号を入力し、
前記増幅率制御信号は、アナログ信号である
ことを特徴とする請求項1記載のオートフォーカス装置。
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