JP2015011275A - オートフォーカス装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1の実施の形態に係るオートフォーカス装置の構成を示す概略図である。本実施の形態に係るオートフォーカス装置は、所謂、ダブルピンホール方式のレーザオートフォーカス装置であり、例えば、顕微鏡、画像測定機などの光学装置に搭載される。
次に、図3を参照して第2の実施の形態に係るオートフォーカス装置について説明する。図3に示すように、第2の実施の形態は、信号電圧加算部31の代わりに、最大電圧検出部31aを有する。この点で第2の実施の形態は第1の実施の形態と異なる。
次に、図4を参照して、第3の実施の形態に係るオートフォーカス装置について説明する。本実施の形態に係るオートフォーカス装置は、ダブル・ナイフエッジ方式のレーザオートフォーカス装置である。
Claims (3)
- 対物レンズを介して被測定物に光を照射する光源と、
前記被測定物からの反射光の一部を検出して、第1信号を生成する第1検出部と、
前記反射光の一部を検出して、第2信号を生成する第2検出部と、
前記第1信号を増幅させて第1増幅信号を生成する第1増幅器と、
前記第2信号を増幅させて第2増幅信号を生成する第2増幅器と、
前記第1増幅信号及び前記第2増幅信号に基づき前記第1増幅器及び前記第2増幅器の増幅率を設定する増幅率設定部と、
前記第1増幅信号及び前記第2増幅信号に基づき前記対物レンズの合焦位置を特定する演算部と
を備えることを特徴とするオートフォーカス装置。 - 前記増幅率設定部は、前記第1増幅信号の電圧値と前記第2増幅信号の電圧値の総和が一定値となるように前記第1増幅器及び前記第2増幅器の増幅率を設定する
ことを特徴とする請求項1記載のオートフォーカス装置。 - 前記増幅率設定部は、前記第1増幅信号と前記第2増幅信号のうち高い電圧を有する一方の信号が一定の電圧を有するように前記第1増幅器及び前記第2増幅器の増幅率を設定する
ことを特徴とする請求項1記載のオートフォーカス装置。
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---|---|---|---|---|
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5576310A (en) * | 1978-12-05 | 1980-06-09 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Automatic focusing device |
JPS59100406A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-09 | Asahi Optical Co Ltd | 顕微鏡系における自動合焦装置 |
JPH11337812A (ja) * | 1998-05-21 | 1999-12-10 | Olympus Optical Co Ltd | オートフォーカス装置 |
JP2001013005A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-01-19 | Keyence Corp | 光電変換率調節可能な光量検出回路 |
JP2012155011A (ja) * | 2011-01-24 | 2012-08-16 | Keyence Corp | 顕微鏡システム、焦点位置検出方法および焦点位置検出プログラム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07105547A (ja) | 1993-10-01 | 1995-04-21 | Mitsutoyo Corp | オートフォーカス機構 |
US5471046A (en) * | 1994-02-25 | 1995-11-28 | Eastman Kodak Company | Camera auto-focusing system with designator using a volume holographic element |
US7297921B2 (en) * | 2003-11-21 | 2007-11-20 | Olympus Corportion | Photodetection circuit and confocal microscope that has it |
US7514661B2 (en) * | 2005-01-04 | 2009-04-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Focus calibration in an optical drive |
-
2013
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5576310A (en) * | 1978-12-05 | 1980-06-09 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Automatic focusing device |
JPS59100406A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-09 | Asahi Optical Co Ltd | 顕微鏡系における自動合焦装置 |
JPH11337812A (ja) * | 1998-05-21 | 1999-12-10 | Olympus Optical Co Ltd | オートフォーカス装置 |
JP2001013005A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-01-19 | Keyence Corp | 光電変換率調節可能な光量検出回路 |
JP2012155011A (ja) * | 2011-01-24 | 2012-08-16 | Keyence Corp | 顕微鏡システム、焦点位置検出方法および焦点位置検出プログラム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11284060B2 (en) | 2018-01-31 | 2022-03-22 | Japan Display Inc. | Display device and display system |
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