JP5894987B2 - 距離を測定する装置、方法、及びコンピュータプログラム - Google Patents
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Description
− SMI信号を生成するSMIユニットであり、SMIユニットは対象物へ向けられる第1レーザビームを発するレーザを有し、SMI信号は、第1レーザビームと対象物によって反射された第1レーザビームのレーザ光である第2レーザビームとの干渉に依存する、SMIユニットと、
− SMI信号のピーク幅を決定するピーク幅決定ユニットと、
− 決定されたSMI信号のピーク幅に応じて、対象物とSMIユニットとの間の距離を決定する距離決定ユニットとを有する。
− 第1レーザビームをフォーカスするフォーカスユニットと、
− 決定された距離に応じてフォーカスユニットを制御するコントロールユニットとを有する。これは、本装置をフォーカス装置、特に自動フォーカス装置として使用することを可能にする。例えば、コントロールユニットは、決定された距離が一定に維持されるようフォーカスユニットを制御するよう構成され、距離が一定である場合、対象物は第1レーザビームのフォーカスに関して同じ位置に留まっていることが推測される。
− SMI信号を生成するSMIユニットであって、SMIユニットは対象物に向けられる第1レーザビームを発するレーザを有し、SMI信号は第1レーザビームと対象物によって反射された第1レーザビームのレーザ光である第2レーザビームとの干渉に依存し、
− SMI信号の周波数スペクトルにおける周波数ピークのピーク幅を決定するピーク幅決定ユニットと、
− 第1レーザビームをフォーカスするフォーカスユニットと、
− 決定されたピーク幅に応じてフォーカスユニットを制御するコントロールユニットと、を有する。
− SMIユニットによってSMI信号を生成するステップであり、SMIユニットは対象物に向けられる第1レーザビームを発するレーザを有し、SMI信号は第1レーザビームと対象物によって反射された第1レーザビームのレーザ光である第2レーザビームとの干渉に依存し、
− ピーク幅決定ユニットによってSMI信号の周波数スペクトルにおける周波数ピークのピーク幅を決定するステップと、
− 距離決定ユニットによって、対象物とSMIユニットとの間の距離を決定するステップと、を有し、距離決定ユニットは、a)SMI信号のピーク幅と、b)所定の距離範囲内にある対象物とSMIユニットとの間の距離との間の割当を有し、距離決定ユニットは、SMI信号の決定されたピーク幅と割当とに応じて、対象物とSMIユニットとの間の距離を決定するよう構成される。
− SMIユニットによってSMI信号を生成するステップであって、SMIユニットは対象物に向けられる第1レーザビームを発するレーザを有し、SMI信号は第1レーザビームと対象部によって反射される第2レーザビームとの干渉に依存し、
− ピーク幅決定ユニットによってSMI信号のピーク幅を決定するステップと、
− フォーカスユニットによって前記第1レーザビームをフォーカスするステップと、
− コントロールユニットによって、決定されたピーク幅に応じて、フォーカスユニットを制御するステップと、を有する。
Claims (13)
- 距離を測定するための装置であって、該装置は:
− 自己混合干渉(SMI)信号を生成するSMIユニットであり、前記SMIユニットは、対象物へ向けられる第1レーザビームを発するレーザを有し、前記SMI信号は、前記第1レーザビームと、前記対象物によって反射された前記第1レーザビームのレーザ光である第2レーザビームとの干渉に依存する、SMIユニットと、
− 前記SMI信号の周波数スペクトルにおける周波数ピークのピーク幅を決定するピーク幅決定ユニットと、
− 前記対象物と前記SMIユニットとの間の距離を決定する距離決定ユニット、とを有し、前記距離決定ユニットは、a)前記SMI信号のピーク幅と、b)所定の距離範囲内にある前記対象物と前記SMIユニットとの間の距離との間の対応関係を有し、前記距離決定ユニットは、前記SMI信号の前記決定されたピーク幅と前記対応関係とに応じて、前記対象物と前記SMIユニットとの間の距離を決定するよう構成される、装置。 - 前記装置は、前記SMI信号の周波数スペクトルを、前記SMI信号のピークの周波数に対して正規化する正規化ユニットを更に有し、前記ピーク幅決定ユニットは、前記正規化されたSMI信号のピーク幅を決定するよう構成される、請求項1記載の装置。
- 前記装置は、前記距離が前記ピーク幅に線形に依存する所定の距離範囲内の距離を測定するよう構成される、請求項1記載の装置。
- 前記装置は、前記第1レーザビームをフォーカスするフォーカスユニットを更に有し、前記フォーカスユニットのフォーカス設定は修正可能であり、前記距離決定ユニットは、a)前記SMI信号のピーク幅と、b)異なる所定の距離範囲内にある前記対象物と前記SMIユニットとの間の距離との間の異なる対応関係を有し、前記異なる対応関係は、前記フォーカスユニットの異なるフォーカス設定に対応し、前記距離決定ユニットは、前記SMI信号の前記決定されたピーク幅と、前記フォーカスユニットのフォーカス設定に対応する対応関係とに応じて、前記対象物と前記SMIユニットとの間の距離を決定するよう構成される、請求項1記載の装置。
- 前記装置は、前記SMI信号の周波数スペクトルにおけるピークの振幅、及び/又は前記SMI信号の周波数スペクトルにおける周波数ピークのピーク幅に基づき、前記装置が、前記ピーク幅が前記第2レーザビームの強度から独立しているフィードバック独立型にあるかどうかを検出するフィードバック独立型検出ユニットを更に有する、請求項1記載の装置。
- 前記距離決定ユニットは、前記装置が前記フィードバック独立型にあることを前記フィードバック独立型検出ユニットが検出する場合に、前記距離を決定するよう構成される、請求項5記載の装置。
- 前記フィードバック独立型検出ユニットは、前記SMI信号の周波数スペクトルにおけるピークの振幅が所定の閾値よりも小さい場合に、前記装置が前記フィードバック独立型にあることを検出するよう構成される、請求項5記載の装置。
- 前記装置は、前記第2レーザビームを減衰する減衰器を有し、前記フィードバック独立型検出ユニットは、前記第2レーザビームの減衰が前記減衰器によって修正される間に前記ピーク幅が修正されない場合に、前記装置が前記フィードバック独立型にあることを検出するよう構成される、請求項5記載の装置。
- 前記装置は、前記第2レーザビームを減衰する減衰器を有し、前記減衰器は、前記装置が前記フィードバック独立型にあるとの検出に応じて、前記第2レーザビームの減衰を能動的に修正するよう構成される、請求項5記載の装置。
- 前記装置は:
−前記第1レーザビームをフォーカスするフォーカスユニットと、
−前記決定された距離に応じて前記フォーカスユニットを制御するコントロールユニットと、を更に有する、請求項1記載の装置。 - 前記コントロールユニットは、前記SMI信号のピーク幅が一定に維持されるよう前記フォーカスユニットを制御する、請求項10記載の装置。
- 距離を測定する方法であって、該方法は:
−SMIユニットによってSMI信号を生成するステップであり、前記SMIユニットは、対象物に向けられる第1レーザビームを発するレーザを有し、前記SMI信号は、第1レーザビームと、前記対象物によって反射された前記第1レーザビームのレーザ光である第2レーザビームとの干渉に依存する、ステップと、
−ピーク幅決定ユニットによって前記SMI信号の周波数スペクトルにおける周波数ピークのピーク幅を決定するステップと、
−距離決定ユニットによって、前記対象物と前記SMIユニットとの間の距離を決定するステップと、を有し、前記距離決定ユニットは、a)前記SMI信号のピーク幅と、b)所定の距離範囲内にある前記対象物と前記SMIユニットとの間の距離との間の対応関係を有し、前記距離決定ユニットは、前記SMI信号の前記決定されたピーク幅と前記対応関係とに応じて、前記対象物と前記SMIユニットとの間の距離を決定するよう構成される、方法。 - 距離を測定するコンピュータプログラムであって、該コンピュータプログラムは、前記コンピュータプログラムが請求項1記載の装置を制御するコンピュータ上で実行されると、前記装置に請求項12記載の方法のステップ群を実行させるプログラムコード手段を有する、コンピュータプログラム。
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