JP2013535676A - 距離測定用装置 - Google Patents
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Abstract
Description
− SMI信号を生成するSMIユニットであり、そのSMIユニットは第1レーザビームを発するレーザを含み、そのレーザビームは対象物へ向けられ、そして、そのSMI信号は、第1レーザビームとその対象物によって反射された第2レーザビームとの干渉に依存する、SMIユニットと、
− そのSMI信号のピーク幅を判定するピーク幅判定ユニットと、
− その判定されたSMI信号のピーク幅に応じて、対象物とSMIユニットとの間の距離を判定する距離判定ユニットとを含む。
− 第1レーザビームをフォーカスするフォーカスユニットと、
− 決定された距離に応じてそのフォーカスユニットをコントロールするコントロールユニットとを含む。これは、本装置をフォーカス装置、特に自動フォーカス装置として使用することを可能にする。例えば、コントロールユニットは適応され、決定された距離が一定に維持されるようフォーカスユニットをコントロールし、その距離が一定である場合は、対象物は第1レーザビームのフォーカスに関して同じ位置に留まっていることが推測される。
− SMI信号を生成するSMIユニットであって、そのSMIユニットは対象物に向けられる第1レーザビームを発光するレーザを含み、そのSMI信号は第1レーザビームと対象物によって反射される第2レーザビームとの干渉に依存し、
− SMI信号のピーク幅を決定するピーク幅決定手段と、
− 第1レーザビームをフォーカスするフォーカスユニットと、
− その決定されたピーク幅に応じてフォーカスユニットをコントロールするコントロールユニットと、を含む。
− SMIユニットによってSMI信号を生成するステップであり、そのSMIユニットは対象物に向けられる第1レーザビームを発光するレーザを含み、そして、そのSMI信号は第1レーザビームと対象物によって反射される第2レーザビームとの干渉に依存し、
− ピーク幅判定ユニットによってピーク幅を判定するステップと、
− 距離判定ユニットによってSMI信号の決定されたピーク幅に応じて、対象物とSMIユニットとの間の距離を判定するステップと、を含む。
− SMIユニットによってSMI信号を生成するステップであって、そのSMIユニットは対象物に向けられる第1レーザビームを発光するレーザを含み、そのSMI信号は第1レーザビームと対象部によって反射される第2レーザビームとの干渉に依存し、
− ピーク幅判定ユニットによってSMI信号のピーク幅を判定するステップと、
− フォーカスユニットによって前記第1レーザビームをフォーカスするステップと、
− コントロールユニットによって、判定されたピーク幅に応じて、前記フォーカスユニットをコントロールするステップと、を含む。
ステップ303では、周波数スペクトルにおいてSMI信号の周波数ピーク幅がピーク幅判定ユニット108によって判定され、そして、この判定されたピーク幅は制御ユニット114に供給され、ステップ304で、判定された周波数ピーク幅に応じて、フォーカスユニット113を制御する。ステップ301乃至304は、優先的に、ループで実行され、フォーカスユニット113を連続的に制御し、そうして、対象物105は、第1レーザビームのフォーカス位置に関して所望の位置に存在するようになり、特に、対象物105は第1レーザビーム104のフォーカスに存在することが確保されるようになる。
− SMI信号を生成するSMIユニットであり、そのSMIユニットは第1レーザビームを発するレーザを含み、そのレーザビームは対象物へ向けられ、そして、そのSMI信号は、第1レーザビームとその対象物によって反射された第1レーザビームのレーザ光である第2レーザビームとの干渉に依存する、SMIユニットと、
− そのSMI信号のピーク幅を判定するピーク幅判定ユニットと、
− その判定されたSMI信号のピーク幅に応じて、対象物とSMIユニットとの間の距離を判定する距離判定ユニットとを含む。
− 第1レーザビームをフォーカスするフォーカスユニットと、
− 決定された距離に応じてそのフォーカスユニットをコントロールするコントロールユニットとを含む。これは、本装置をフォーカス装置、特に自動フォーカス装置として使用することを可能にする。例えば、コントロールユニットは適応され、決定された距離が一定に維持されるようフォーカスユニットをコントロールし、その距離が一定である場合は、対象物は第1レーザビームのフォーカスに関して同じ位置に留まっていることが推測される。
− SMI信号を生成するSMIユニットであって、そのSMIユニットは対象物に向けられる第1レーザビームを発光するレーザを含み、そのSMI信号は第1レーザビームと第1レーザビームのレーザ光である対象物によって反射される第2レーザビームとの干渉に依存し、
− 周波数スペクトルにおける周波数ピークのSMI信号のピーク幅を決定するピーク幅決定手段と、
− 第1レーザビームをフォーカスするフォーカスユニットと、
− その決定されたピーク幅に応じてフォーカスユニットをコントロールするコントロールユニットと、を含む。
− SMIユニットによってSMI信号を生成するステップであり、そのSMIユニットは対象物に向けられる第1レーザビームを発光するレーザを含み、そして、そのSMI信号は第1レーザビームと第1レーザビームのレーザ光である対象物によって反射される第2レーザビームとの干渉に依存し、
− ピーク幅判定ユニットによって周波数スペクトルにおける周波数ピークのピーク幅を判定するステップと、
− 距離判定ユニットによって、対象物とSMIユニットとの間の距離を判定するステップと、を含み、前記距離判定ユニットは、a)SMI信号のピーク幅と、b)所定の距離範囲内にある対象物とSMIユニットとの間の距離との間の割当を含み、前記距離判定ユニットは、前記SMI信号の判定されたピーク幅と前記割当とに応じて、前記対象物と前記SMIユニットとの間の距離を判定するよう適応される。
− SMIユニットによってSMI信号を生成するステップであって、そのSMIユニットは対象物に向けられる第1レーザビームを発光するレーザを含み、そのSMI信号は第1レーザビームと対象部によって反射される第2レーザビームとの干渉に依存し、
− ピーク幅判定ユニットによってSMI信号のピーク幅を判定するステップと、
− フォーカスユニットによって前記第1レーザビームをフォーカスするステップと、
− コントロールユニットによって、判定されたピーク幅に応じて、前記フォーカスユニットをコントロールするステップと、を含む。
ステップ303では、周波数スペクトルにおいてSMI信号の周波数ピーク幅がピーク幅判定ユニット108によって判定され、そして、この判定されたピーク幅は制御ユニット114に供給され、ステップ304で、判定された周波数ピーク幅に応じて、フォーカスユニット113を制御する。ステップ301乃至304は、優先的に、ループで実行され、フォーカスユニット113を連続的に制御し、そうして、対象物105は、第1レーザビームのフォーカス位置に関して所望の位置に存在するようになり、特に、対象物105は第1レーザビーム104のフォーカスに存在することが確保されるようになる。
Claims (15)
- 距離を測定するための装置が供給され、該装置は:
− 自己混合干渉(SMI)信号を生成するSMIユニットであり、前記SMIユニットは第1レーザビームを発するレーザを含み、そのレーザビームは対象物へ向けられ、そして、前記SMI信号は、第1レーザビームと前記対象物によって反射された第2レーザビームとの干渉に依存する、SMIユニットと、
− 前記SMI信号のピーク幅を判定するピーク幅判定ユニットと、
− 判定されたSMI信号の前記ピーク幅に応じて、前記対象物と前記SMIユニットとの間の距離を判定する距離判定ユニット、とを含む装置。 - 前記装置は、前記SMI信号の周波数依存度を、前記SMI信号のピーク周波数に対して正規化する正規化ユニットを更に含み、前記ピーク幅判定ユニットは適応されて正規化されたSMI信号のピーク幅を決定する、請求項1記載の装置。
- 前記装置は所定の距離範囲内の或る距離を測定するよう適応され、前記距離は前記ピーク幅に線形に依存する、請求項1記載の装置。
- 前記距離判定ユニットは、a)前記SMI信号のピーク幅と、b)所定の距離範囲内にある対象物とSMIユニットの間の距離との間の割当を有し、前記距離判定ユニットは、判定されたSMI信号のピーク幅と前記割当とに応じて、対象物とSMIユニットとの間の距離を決定するように適応される、請求項1記載の装置。
- 前記装置は、第1レーザビームをフォーカスするフォーカスユニットを更に含み、前記フォーカスユニットのフォーカス設定は修正可能であり、前記距離判定ユニットは、a)SMI信号のピーク幅と、b)様々な所定の距離範囲内にある対象物とSMIユニットとの間の距離との間の様々な割当を含み、前記様々な割当は、フォーカスユニットの様々なフォーカス設定に対応し、前記距離判定ユニットは、対象物とSMIユニットとの間の距離を判定するよう適応され、前記判定は、判定されたSMI信号のピーク幅とフォーカスユニットのフォーカス設定に対応する、請求項1記載の装置。
- 前記装置は、フィードバック独立型検出ユニットを更に含み、前記装置がフィードバック独立型であるかどうかを検出し、フィードバック独立型では、前記ピーク幅は前記第2レーザビームの強度と独立である、請求項1記載の装置。
- 前記フィードバック独立型検出ユニットは本装置がフィードバック独立型であることを検出する場合は、前記距離判定ユニットは距離を判定するよう適応される、請求項6記載の装置。
- 前記フィードバック独立型検出ユニットは、前記SMI信号の振幅に応じて、前記装置がフィードバック独立型であるかどうかを検出するよう適応される、請求項6記載の装置。
- 前記装置は前記第2レーザビームを減衰する減衰器を含み、前記フィードバック独立型検出ユニットは前記装置がピーク幅に応じてフィードバック独立型にあるかどうかを検出するよう適応され、前記ピーク幅は第2レーザビームの減衰がその減衰器によって修正される間に測定される、請求項6記載の装置。
- 前記装置は前記第2レーザビームを減衰する減衰器を含み、前記減衰器は前記装置がフィードバック独立型にあるかどうかの検出に応じて、第2レーザビームの減衰を能動的に修正するよう適応される、請求項6記載の装置。
- 前記装置は:
−前記第1レーザビームをフォーカスするフォーカスユニットと、
−決定された距離に応じて前記フォーカスユニットを制御するコントロールユニットと、を更に含む、請求項1記載の装置。 - 前記フォーカス装置は:
−SMI信号を生成するSMIユニットであって、前記SMIユニットは対象物に向けられる第1レーザビームを発光するレーザを含み、前記SMI信号は第1レーザビームと対象物によって反射される第2レーザビームとの干渉に依存する、SMIユニットと、
−前記SMI信号のピーク幅を決定するピーク幅決定手段と、
−前記第1レーザビームをフォーカスするフォーカスユニットと、
−前記決定されたピーク幅に応じてフォーカスユニットを制御するコントロールユニットと、を含む、装置。 - 前記コントロールユニットは、前記SMI信号のピーク幅が一定に維持されるようフォーカスユニットを制御する、請求項12記載のフォーカス装置。
- 距離を測定する方法であって、該方法は:
−SMIユニットによってSMI信号を生成するステップであり、前記SMIユニットは対象物に向けられる第1レーザビームを発光するレーザを含み、そして、前記SMI信号は第1レーザビームと対象物によって反射される第2レーザビームとの干渉に依存する、ステップと、
−ピーク幅判定ユニットによってピーク幅を判定するステップと、
−距離判定ユニットによって、前記SMI信号の決定されたピーク幅に応じて、対象物とSMIユニットとの間の距離を判定するステップと、を含む方法。 - 距離を測定するコンピュータプログラムであって、該コンピュータプログラムはプログラムコード手段を含み、前記コンピュータプログラムが請求項1記載の装置を制御するコンピュータ上でランされると、前記装置に請求項14記載の方法のステップ群を実行させる、コンピュータプログラム。
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