JP5105499B2 - 透明電極フィルム - Google Patents
透明電極フィルム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5105499B2 JP5105499B2 JP2012500528A JP2012500528A JP5105499B2 JP 5105499 B2 JP5105499 B2 JP 5105499B2 JP 2012500528 A JP2012500528 A JP 2012500528A JP 2012500528 A JP2012500528 A JP 2012500528A JP 5105499 B2 JP5105499 B2 JP 5105499B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent electrode
- pattern
- film
- transparent
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 9
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical class Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 72
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N cadmium oxide Inorganic materials [Cd]=O CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Cd+2] CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940114081 cinnamate Drugs 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229960003280 cupric chloride Drugs 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920001690 polydopamine Polymers 0.000 description 1
- 235000019795 sodium metasilicate Nutrition 0.000 description 1
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M trans-cinnamate Chemical compound [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0445—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using two or more layers of sensing electrodes, e.g. using two layers of electrodes separated by a dielectric layer
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Position Input By Displaying (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
- Switches That Are Operated By Magnetic Or Electric Fields (AREA)
Description
本発明は、ＰＤＡ、ハンディターミナルなど携帯情報端末、コピー機、ファクシミリなどＯＡ機器、スマートフォン、携帯電話機、携帯ゲーム機器、電子辞書、カーナビシステム、小型ＰＣ、各種家電品等の静電容量センサなどに用いられる透明電極フィルムに関するものである。
従来、静電容量センサなどに用いられる透明電極フィルムは、中央部に透明電極のパターンが形成され、周囲すなわち額縁に相当する部分に透明電極で得られた電気信号を外部回路に伝える引き回し回路が形成されている。そして、透明電極のパターンは特許文献１や特許文献２に示されるように共通軸に沿って接続された一連の菱形形状の電極を備える帯状電極が複数本平行に並べられた形状をしている場合が多い（特許文献１請求項７、特許文献２図９参照）。一方、静電容量センサは、適用製品の小型化、透明電極部分の大型化による狭額縁化の要望が高く、電気信号の取り出しは片側のみに引き回し回路を設けるようになってきている。
そこで、本発明者らは上記帯状電極と引き回し回路とを確実に接続させるために、位置ずれを考慮して、透明電極の端部を大きくし引き回し回路形成部分まで張り出すようなパターンにした。しかし、そのようにした結果、そこだけ透明電極のパターンが大きくなって透明電極全体の感度にアンバランスが生じる問題が生じた。
そこで、本発明者らは以下の発明により上記課題を解決した。すなわち本発明は、透明フィルムの表面に平行に並べられた複数本の帯状電極を有する透明電極フィルムであって、前記帯状電極の片側の端部に引き回し回路と接続するための透明電極パターンが形成され、かつ前記帯状電極の反対側の端部にも前記透明電極パターンと同等の透明電極パターンが設けられている透明電極フィルムである。
また本発明は、前記帯状電極の片側の端部に設けられた透明電極パターンの一部と引き回し回路のパターンの一部とが積層されている透明電極フィルムであってもよい。また本発明は、透明フィルム上に透明導電膜を全面形成し、前記透明導電膜上にエッチングレジストをパターン形成し、前記エッチングレジストが形成されていない箇所の透明導電膜をエッチング除去し、前記エッチングレジストを剥離除去することにより帯状電極を形成し、前記帯状電極の片側の端部に引き回し回路をパターン形成する透明電極フィルムの製造方法であってもよい。
また本発明は、前記透明電極フィルムと、前記透明電極フィルムの帯状電極と直交する形状の帯状電極を有する第二透明電極フィルムとが積層された挟額縁静電容量センサである。
本発明の透明電極フィルムは、透明フィルムの表面に平行に並べられた複数本の帯状電極を有する透明電極フィルムであって、前記帯状電極の片側の端部に引き回し回路と接続するための透明電極パターンが形成され、かつ前記帯状電極の反対側の端部にも前記透明電極パターンと同等の透明電極パターンが設けられていることを特徴とする。したがって、引き回し回路が形成されている側とそうでない反対側とで透明電極パターンに大差がなく、感度が大して変わらないため、透明電極全体の感度にアンバランスが生じないという効果がある。
また本発明の透明電極フィルムは、前記帯状電極の片側の端部に設けられた透明電極パターンの一部と引き回し回路のパターンの一部とが積層されていることを特徴とする。したがって、帯状電極と引き回し回路パターンとが多少位置ずれを起こしても両者の電気的接続が確実にできるという効果がある。
また本発明の透明電極フィルムの製造方法は、透明フィルム上に透明導電膜を全面形成し、前記透明導電膜上にエッチングレジストをパターン形成し、前記エッチングレジストが形成されていない箇所の透明導電膜をエッチング除去し、前記エッチングレジストを剥離除去することにより帯状電極を形成し、前記帯状電極の片側の端部に引き回し回路をパターン形成することを特徴とする。したがって、狭額縁化の要望に応えられる透明電極フィルムを生産性よく容易に製造できる効果がある。
以下、本発明の透明電極フィルムについて説明する。本発明の透明電極フィルム１は、透明フィルム２の表面に平行に並べられた複数の帯状電極５を有する透明電極フィルム１であって、前記帯状電極５の片側の端部（一方端部）に引き回し回路１５と接続するための透明電極パターン２０が形成され、かつ前記帯状電極５の反対側の端部（他方端部）にも前記透明電極パターン２０と同等の透明電極パターン３０が設けられている（図１ａ、図１ｂ、図１ｃ参照）。
透明フィルム２の材質としては、透明性があるものであればよく、例えば、ポリカーボネート（ＰＣ）系、ポリアミド系、若しくはポリエーテルケトン系などのエンジニアリングプラスチック、アクリル系、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系、又は、ポリブチレンテレフタレート系などのフィルムを用いることができる。透明フィルム２の厚みは特に限定はないが、静電容量センサの薄型化と安定した量産を考慮すると２０〜５００μｍの範囲が好ましい。
帯状電極５は透明導電膜１１により構成される。当前記透明導電膜１１の材料としては、酸化錫、酸化インジウム、酸化アンチモン、酸化亜鉛、酸化カドミウム、インジウムチンオキサイド（ＩＴＯ）若しくは、アンチモンドープ酸化錫（ＡＴＯ）などの金属酸化物膜、又は、これらの金属酸化物を主体とする複合膜、又は、金、銀、銅、錫、ニッケル、アルミニウム、若しくは、パラジウムなどの金属、導電フィラー入り透明高分子、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）などの導電性ポリマーの薄膜がある。前記導電膜の形成方法としては、例えば真空蒸着法、スパッタリング、イオンプレーティング、ＣＶＤ法、ロールコーター法などを用いることができる。
帯状電極５のパターンは、特許文献１や特許文献２のように直線の共通軸に沿って接続された一連の菱形形状の電極１０を備えていてもよいし、最小電極幅１０〜２００μｍの単なる直線状のパターンであってもよい。ただし図１に示すように、帯状電極５の端部には引き回し回路１５と接続するための透明電極パターン２０が形成され、かつ前記帯状電極１５の反対側の端部にも前記透明電極パターン２０と同等の透明電極パターン３０が設けられている。ここで同等とは全く同じでなければならないというわけではなく、透明電極パターン２０と透明電極パターン３０とで電極感度の相違が問題にならない程度にするという意味である。
すなわち、端部の透明電極パターン２０は従来の菱形の電極パターン１０を、菱形の電極パターン１０の半分の三角形２１と菱形の電極パターン１０の半分の面積に相当する長方形２２のパターンとが連なったパターンに変更し、透明電極パターン３０も透明電極パターン２０と同様のパターンにする（図１ａ参照）。このようにすることで、透明電極パターン２０および透明電極パターン３０は菱形の電極パターン１０と同じ感度で、透明電極パターン２０は引き回し回路１５と電気的接続させやすいパターンの態様となる。
なお、透明電極パターン２０や透明電極パターン３０は上記のパターンの態様に限定されるわけでなく、矢印のようなパターン（図１ｂ参照）にしたり、従来の菱形の電極パターン１０と正方形が連なったパターン（図１ｃ参照）などにしたりしてもよい。また、電極感度の相違が問題にならない程度であれば透明電極パターン２０と透明電極パターン３０とでパターンが多少異なっていても構わない。例えば、図１ａで示した透明電極パターン２０と図１ｂで示した透明電極パターン３０とを、１つの帯状電極５において組み合わせることができる。あるいは、透明電極２０と透明電極３０とは、１つの帯状電極において、互いに面積を同一とし、電極感度の相違が問題にならない範囲で互いに平面形状を相違させることもできる。
帯状電極５の製造方法としては、透明フィルム２上に透明導電膜１１を全面形成し（図２ａ参照）、前記透明導電膜１１上にエッチングレジスト１２をパターン形成し（図２ｂ参照）、前記エッチングレジスト１２が形成されていない箇所の透明導電膜１１をエッチング除去し（図２ｃ参照）、前記エッチングレジスト１２を剥離除去する（図２ｄ参照）方法が挙げられる。そして、帯状電極５の片方の端部に引き回し回路１５が形成される（図２ｅ参照）。
エッチングレジスト１２としては、アクリル系、ポリビニルシンナメート系、合成ゴム系、ノボラック系などの光硬化型または光分解型の感光性レジスト材料などが挙げられ、グラビア・スクリーンなどの各種印刷方法やマスク塗装する方法などにより形成される。
エッチングレジスト１２のパターン化は、グラビア印刷やスクリーン印刷などの汎用印刷方式を用いて形成してもよいが、１０〜２００μｍの最小電極幅に対応するために、フォトマスクに光を照射させて、エッチングレジスト１２の非マスク部分を所望のパターンに露光し、現像するというフォトプロセスによって形成する方法の方が好ましい。現像は、エッチングレジスト１２が光硬化型の場合、炭酸ソーダなどを現像液として使用することにより未硬化部分を選択的に除去することにより行なわれる。またエッチングレジスト１２が光分解型の場合、メタケイ酸ソーダなどを現像液として使用することにより分解されている部分を選択的に除去することにより行なわれる。
エッチング剤としては、たとえば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、過硫酸アンモニウム、アンモニウム、塩化アンモニウムなどのアルカリエッチング液または塩化第二銅、塩化第二鉄、クロム酸／硫酸混液、過酸化水素水／硫酸混液などの酸性エッチング液などを用いる。
引き回し回路１５の材質および形成方法としては銀ペースト、カーボンペースト等の導電ペーストをスクリーン印刷・グラビア印刷など汎用の印刷法で形成する方法、無電解または電解などのめっきにより銅などの金属膜を形成する方法、真空蒸着法やスパッタリング法で形成した銅などの金属膜をパターンエッチングする方法等が用いられる。
なお、露出した帯状電極５を保護するために保護層等を設けてもよい。保護層の材質は透明な物質が選ばれる。例えば透明プラスチックフィルムを貼り合せたり、透明高分子を塗布してもよい。また、ウインドウパネルやＬＣＤパネルに実装するための透明接着層が前記保護層の役割を兼ねてもよい。
以上の発明によって得られた透明電極フィルム１と、前記透明電極フィルム１の帯状電極５と直交する形状の帯状電極６を有する第二透明電極フィルム８とを積層すれば挟額縁静電容量センサ１００が得られる（図３参照）。挟額縁静電容量センサ１００は、透明電極フィルム１の２つが、互いの帯状電極５が直交するように積層されている。
厚さ３８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上にインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）からなる透明導電膜をスパッタリング法にて全面形成し、前記透明導電膜上に光硬化型のドライフィルムレジストを貼合し、次に、フォトマスクの非マスク部分に紫外線を透過させて、前記ドライフィルムレジストの帯状電極のパターンに相当する部分を露光した。次いで、前記感光したドライフィルムレジストを炭酸ソーダで現像し、感光しなかった部分のドライフィルムレジストを除去し、エッチングレジストパターンを得た。
得られたエッチングレジストパターンは、両端部以外は最小電極幅２０μｍの直線とその直線の共通軸に沿って接続された一連の対角線６ｍｍの菱形形状であり、両端部は、前記菱形形状の半分の三角形のパターンと、それと面積を同じくする６ｍｍ×１．５ｍの長方形のパターンが連なったパターンであった。
次に、前記エッチングレジストパターンが形成されていない箇所の透明導電膜を塩化第二鉄でエッチングした後、パターニングされた前記導電膜を被覆するエッチングレジストを３％水酸化ナトリウムで除去した。この工程により、両端部が菱形形状の半分の三角形のパターンと、それと面積を同じくする６ｍｍ×１．５ｍの長方形のパターンが連なったパターンの透明電極フィルムが得られた。
両端部のエッチングレジストパターンを菱形形状の半分の三角形のパターンと、一辺が３ｃｍの正方形が連なった矢印のような形のパターンにした以外は、実施例１と同様にして透明電極フィルムを得た。
両端部のエッチングレジストパターンを対角線６ｍｍの菱形形状と一辺が３ｃｍの正方形が連なったパターンにした以外は、実施例１と同様にして透明電極フィルムを得た。
上記実施例１〜実施例３の透明電極フィルムについて、片方の端部に銀ペーストからなる導電インキをスクリーン印刷にて引き回し回路のパターンを形成した。そして、それらを２セット作製し、各帯状電極が直交するように積層した結果、挟額縁静電容量センサが得られた。得られた挟額縁静電容量センサは、透明電極全体の感度にアンバランスが生じるようなこともなく正常に作動するものであった。
１ 透明電極フィルム
２ 透明フィルム
５ 帯状電極
６ 帯状電極５と直交する形状の帯状電極
８ 第二透明電極フィルム
１０ 菱形形状の電極
１１ 透明導電膜
１２ エッチングレジスト
１５ 引き回し回路
２０ 引き回し回路１５と接続するための端部透明電極パターン
２１ 従来の菱形の電極パターン３０の半分の三角形のパターン
２２ 従来の菱形の電極パターン３０の半分の面積に相当する長方形のパターン
３０ 端部透明電極パターン２０と反対側の端部透明電極パターン
１００ 挟額縁静電容量センサ
２ 透明フィルム
５ 帯状電極
６ 帯状電極５と直交する形状の帯状電極
８ 第二透明電極フィルム
１０ 菱形形状の電極
１１ 透明導電膜
１２ エッチングレジスト
１５ 引き回し回路
２０ 引き回し回路１５と接続するための端部透明電極パターン
２１ 従来の菱形の電極パターン３０の半分の三角形のパターン
２２ 従来の菱形の電極パターン３０の半分の面積に相当する長方形のパターン
３０ 端部透明電極パターン２０と反対側の端部透明電極パターン
１００ 挟額縁静電容量センサ
Claims (5)
- 透明電極フィルムの表面に平行に複数並べられた、一連の菱形形状からなる帯状電極を有する透明電極フィルムであって、前記帯状電極の片側の端部に、電極感度が前記菱形形状と同じである、引き回し回路と接続するための透明電極パターンが形成され、かつ前記帯状電極の反対側の端部にも前記透明電極パターンと同等の透明電極パターンが形成された、透明電極フィルム。
- 透明電極フィルムの表面に平行に複数並べられた、一連の菱形形状からなる帯状電極を有する透明電極フィルムであって、前記帯状電極の片側の端部に、前記菱形形状の一部と他の形状とが連なった外形からなる、引き回し回路と接続するための透明電極パターンが形成され、かつ前記帯状電極の反対側の端部にも前記透明電極パターンと同等の透明電極パターンが形成された、透明電極フィルム。
- 前記他の形状は長方形又は正方形である、請求項２に記載の透明電極フィルム。
- 前記帯状電極の両端に形成された前記透明電極パターンの各々は、互いに面積が同一であり、互いに平面形状が相違する、請求項１〜３のいずれかに記載の透明電極フィルム。
- 請求項１〜４のいずれかに記載の透明電極フィルムの２つが、互いの帯状電極が直交するように積層された、狭額縁静電容量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012500528A JP5105499B2 (ja) | 2010-02-17 | 2011-01-18 | 透明電極フィルム |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010032046 | 2010-02-17 | ||
| JP2010032046 | 2010-02-17 | ||
| PCT/JP2011/050715 WO2011102168A1 (ja) | 2010-02-17 | 2011-01-18 | 透明電極フィルム |
| JP2012500528A JP5105499B2 (ja) | 2010-02-17 | 2011-01-18 | 透明電極フィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP5105499B2 true JP5105499B2 (ja) | 2012-12-26 |
| JPWO2011102168A1 JPWO2011102168A1 (ja) | 2013-06-17 |
Family
ID=44482770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012500528A Active JP5105499B2 (ja) | 2010-02-17 | 2011-01-18 | 透明電極フィルム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5105499B2 (ja) |
| TW (1) | TW201205600A (ja) |
| WO (1) | WO2011102168A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5652717B2 (ja) * | 2011-03-11 | 2015-01-14 | 大日本印刷株式会社 | 積層パターン基板の製造方法およびタッチパネルセンサの製造方法 |
| TWI472977B (zh) * | 2012-09-13 | 2015-02-11 | Rtr Tech Technology Co Ltd | 觸控面板及其製造方法 |
| JP6166828B1 (ja) * | 2016-09-29 | 2017-07-19 | 積水化学工業株式会社 | 光透過性導電フィルム及びパターン状の導電層を有する光透過性導電フィルムの製造方法 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009009291A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Hitachi Displays Ltd | 画面入力型画像表示装置 |
| JP2009015489A (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-22 | Hitachi Displays Ltd | タッチパネル付き表示装置 |
| JP2009205321A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Hitachi Displays Ltd | 表示パネル |
| JP2009260536A (ja) * | 2008-04-15 | 2009-11-05 | Hitachi Displays Ltd | 入力装置、及びそれを備えた表示装置 |
| JP2009258935A (ja) * | 2008-04-16 | 2009-11-05 | Hitachi Displays Ltd | 静電容量方式タッチパネルおよびそれを備える画面入力型表示装置 |
| JP2010003048A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Hitachi Displays Ltd | タッチパネル付き表示装置 |
| JP2010092152A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Hitachi Displays Ltd | 入力装置、及びそれを備えた表示装置 |
| JP2010108038A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Hitachi Displays Ltd | タッチパネル及びその製造方法並びにタッチパネル表示装置 |
| JP2010165336A (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-29 | Samsung Mobile Display Co Ltd | タッチスクリーンパネル及びその製造方法 |
| JP2011502313A (ja) * | 2007-11-07 | 2011-01-20 | エーティーラブ・インコーポレーテッド | タッチパネル装置及びこの装置の接触位置検出方法 |
-
2011
- 2011-01-18 JP JP2012500528A patent/JP5105499B2/ja active Active
- 2011-01-18 WO PCT/JP2011/050715 patent/WO2011102168A1/ja active Application Filing
- 2011-02-16 TW TW100105012A patent/TW201205600A/zh unknown
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009009291A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Hitachi Displays Ltd | 画面入力型画像表示装置 |
| JP2009015489A (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-22 | Hitachi Displays Ltd | タッチパネル付き表示装置 |
| JP2011502313A (ja) * | 2007-11-07 | 2011-01-20 | エーティーラブ・インコーポレーテッド | タッチパネル装置及びこの装置の接触位置検出方法 |
| JP2009205321A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Hitachi Displays Ltd | 表示パネル |
| JP2009260536A (ja) * | 2008-04-15 | 2009-11-05 | Hitachi Displays Ltd | 入力装置、及びそれを備えた表示装置 |
| JP2009258935A (ja) * | 2008-04-16 | 2009-11-05 | Hitachi Displays Ltd | 静電容量方式タッチパネルおよびそれを備える画面入力型表示装置 |
| JP2010003048A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Hitachi Displays Ltd | タッチパネル付き表示装置 |
| JP2010092152A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Hitachi Displays Ltd | 入力装置、及びそれを備えた表示装置 |
| JP2010108038A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Hitachi Displays Ltd | タッチパネル及びその製造方法並びにタッチパネル表示装置 |
| JP2010165336A (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-29 | Samsung Mobile Display Co Ltd | タッチスクリーンパネル及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW201205600A (en) | 2012-02-01 |
| JPWO2011102168A1 (ja) | 2013-06-17 |
| WO2011102168A1 (ja) | 2011-08-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5383991B2 (ja) | 静電容量センサとその製造方法 | |
| TWI484381B (zh) | Touch panel and manufacturing method thereof | |
| JP5298209B2 (ja) | 静電容量式センサーシートおよびその製造方法 | |
| JP4601710B1 (ja) | 狭額縁タッチ入力シートとその製造方法 | |
| JP6117620B2 (ja) | タッチパネル部材及びその製造方法 | |
| JP4855536B1 (ja) | 防錆性に優れたタッチ入力シートの製造方法 | |
| JP2012133598A (ja) | カバーガラス一体型センサー | |
| JP5105499B2 (ja) | 透明電極フィルム | |
| US10951211B2 (en) | FPC integrated capacitance switch and method of manufacturing the same | |
| JP6457897B2 (ja) | タッチ入力センサ及びその製造方法 | |
| JP2011129272A (ja) | 両面透明導電膜シートとその製造方法 | |
| JP2014029682A (ja) | タッチパネル | |
| CN111722742A (zh) | 透明导电膜及其制备方法 | |
| JP4870830B2 (ja) | 防錆性に優れた両面透明導電膜シートとその製造方法 | |
| KR101551859B1 (ko) | 금속 레이어를 에칭 레지스트로 이용하는 에칭 방법 | |
| KR101428009B1 (ko) | 터치 패널 및 제조 방법 | |
| JP2012118762A (ja) | タッチパネル | |
| JP2015106264A (ja) | 配線フィルム製造用フォトマスク及び配線フィルムの製造方法 | |
| JP6676450B2 (ja) | タッチセンサ及びタッチセンサの製造方法 | |
| JP6129611B2 (ja) | タッチパネルの製造方法 | |
| CN117637235A (zh) | 导电性膜、触摸传感器膜及图像显示装置 | |
| JP2015102890A (ja) | タッチパッドの製造方法及びタッチパッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120926 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120927 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5105499 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151012 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151012 Year of fee payment: 3 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |