JP5098456B2 - プロセス状態監視装置 - Google Patents

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Description

本発明は、端末装置上で実行されるプロセスの状態を監視する装置に関する。
半導体製造工程において、ウェハを収納したキャリアを搬送する搬送装置が知られている。このような搬送装置としては、OHS(Over Head Shuttle)、OHT(Over Head Hoist Transport)などが知られており、AMHS(Automatic Material Handling System)からの無線通信による指示に基づいて移動する。複数のAMHSはネットワークを通じてMCS(Materal Control System)と接続されている。MCSは、ホストマシン又はオペレータの指令に従って搬送経路を決定し、各AMHSに対して搬送指令を送る。
上記のような従来の搬送制御システムでは、MCS上で複数のプロセスが同時に実行される。各プロセスはそれぞれに重要な役割を持っているため、各プロセスの状態を常時監視することが要求される。
なお、複数の端末装置がネットワークに接続された環境において、各端末装置の通信状態を一元管理する通信監視装置を設ける手法が特許文献1に記載されている。
特開平3−80731号公報
従来のMCSはプロセス状態の監視を目的とした独自の機能を有しておらず、各プロセスの状態に関する情報を収集するためには、オペレーティングシステム(OS)が提供する外部コマンドやツールを使用する必要がある。
よって、OSに関して専門の知識を持つ者でなければプロセスの状態に関する情報を収集、監視することができない。また、使用する外部コマンド、ツールによっては、収集されたデータが複雑であり、監視しやすい形態のデータへの変換作業が必要となる。さらに、使用する外部コマンド、ツールによってはそのコマンドやツールを使用するための特別の権限が要求される、使用環境によっては全ての情報を収集できないなどの制約が生じる場合があった。
また、特許文献1の手法では、ネットワーク上の端末装置単位での状態監視は可能であるが、1つの端末装置上で実行されている複数のプロセスについてプロセス単位で状態を監視することはできない。
本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、OSに依存することなく、実行中の各プロセスの状態をプロセス単位で監視できるプロセス状態監視装置を提供することを課題とする。
本発明の1つの観点では、ネットワークを通じて複数の搬送装置と接続された搬送制御システムにおけるプロセス状態監視装置は、各々がネットワーク上で1つのノードに対応し、統括制御MCSによって割り当てられた処理プロセスを各々が実行し、1つのノード上での実行が不能となった場合には別ノードでの実行が可能に構成されている複数のMCSを備え、前記複数のMCSのうちの1つが、状態監視プロセスを動作させ、他の各々のMCS上で実行されている複数のプロセス情報を収集、監視するサーバMCSとされ、前記サーバMCSは、前記他の各々のMCSに対して、定期的にプロセス情報を要求するプロセス情報要求手段と、前記他の各々のMCSからプロセス情報を受信し、プロセス単位で更新及び記憶するプロセス情報記憶手段と、前記プロセス情報をプロセス単位で外部装置へ出力するプロセス情報出力手段と、を備える。
上記のプロセス状態監視装置は、ネットワークを通じて複数の搬送装置と接続された搬送制御システムに設けられる。プロセス状態監視装置は、各々がネットワーク上で1つのノードに対応し、統括制御MCSによって割り当てられた処理プロセスを各々が実行し、1つのノード上での実行が不能となった場合には別ノードでの実行が可能に構成されている複数のMCSを備える。また、前記複数のMCSのうちの1つが、状態監視プロセスを動作させ、他の各々のMCS上で実行されている複数のプロセス情報を収集、監視するサーバMCSとされる。複数の処理プロセスが実行されている状態で、サーバMCSは、他の各々のMCSに対して定期的にプロセス情報を要求し、他の各々のMCSからプロセス情報を受信する。そして、受信したプロセス情報は、処理プロセス単位で更新及び記憶される。このプロセス情報は、要求に応じて又は自動的に、処理プロセス単位で外部装置へ出力される。こうして、複数の処理プロセスについて、プロセス単位での状態監視が可能となる。
上記のプロセス状態監視装置の一態様では、前記MCSの各々は、他のMCSからメッセージを受信して保存するとともに、当該メッセージに対応する処理を実行し、処理結果を前記他のMCSに送信する。この態様では、各処理プロセスは相互にメッセージを送受信し、独立して処理を実行する。
上記のプロセス状態監視装置の他の一態様では、前記複数のMCSの各々は、前記プロセス情報として、他のMCSから受信して保存しているメッセージの数を前記MCSに送信する。これにより、各処理プロセス毎のメッセージ数、即ち処理負荷を示す情報を容易に収集することができる。
好適な例では、前記複数のMCSの各々は、前記プロセス情報として、当該MCSによるCPUの使用率及びメモリの使用率を前記プロセス情報記憶手段に送信する。
上記のプロセス状態監視装置の他の一態様では、前記サーバMCSは、前記MCSとの通信の有無に基づいて、当該MCSの生存状態を検出する生存状態検出手段を備える。こうして、状態監視プロセスは、各処理プロセスが正常に動作しているか否かを容易に監視することができる。
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
[基本構成]
なお、以下の説明において、MCSなどはコンピュータ端末装置により構成される。「プロセス」とは、予め用意され、そのような端末装置において実行されるプログラムに相当する。即ち、端末装置のCPUなどがプログラムを実行することにより、各プロセスが実行されることになる。
まず、本発明を適用した搬送制御システムの基本構成について説明する。図1は、本発明を適用したMCSを模式的に示す。図示のように、本システムでは、基本的に同一機能を有する複数のMCSが用意される。各MCSはネットワーク上で1つのノードに対応しており、マルチノードシステムを構成している。搬送処理はこれら複数のMCSにより実行される。
具体的に、図1の例では、ノード#0のMCSが他の複数のMCS#1〜#nを統括制御している。この例では、搬送処理において実行されるプロセスとして、ホスト通信プロセス、搬送制御プロセス、AMHS通信プロセスがある。これらのプロセスは、ホストマシンなどから与えられる搬送指令単位で分類され、複数のMCSにより分散処理される。複数のMCSにより分散処理を行うため、統括制御を実行しているノード#0のMCSはディスパッチャ(Dispatcher)プロセスを実行している。ディスパッチャプロセスとは、複数のプロセスを複数のMCSに割り当てる処理である。
図1では、ノード#0のMCSは、ホスト通信ディスパッチャプロセスとして、ホスト通信プロセス#1〜#nをそれぞれノード#1〜#nの複数のMCSに割り当てる処理を行っている。搬送制御プロセス及びAMHS通信プロセスについても、同様にノード#0のMCSが他のノード#1〜#nのMCSに対してディスパッチャプロセスを実行し、分散処理を行っている。
なお、ホスト通信ディスパッチャプロセス及び複数のホスト通信プロセス#1〜#nはホスト通信サブシステムを構成する。同様に、搬送制御ディスパッチャプロセス及び複数の搬送制御プロセス#1〜#nは搬送制御サブシステムを構成し、AMHS通信ディスパッチャプロセス及び複数のAMHS通信プロセス#1〜#nはAMHS通信サブシステムを構成する。以下、各サブシステムについて詳しく説明する。
図2は、ホスト通信サブシステムの動作を模式的に示す。図2(a)に示すように、ホスト通信サブシステムはホストからの搬送要求を受け取り、ホスト通信ディスパッチャプロセスは複数のホスト通信プロセスに搬送要求を割り振る。
図2(b)にホスト通信サブシステムの動作の詳細を示す。統括制御を担当するノード#0のMCSでは、ホスト通信ディスパッチャプロセスがホストから搬送要求を受信し(S1)、複数のホスト通信プロセスに搬送要求を割り振る(S2)。また、ホスト通信ディスパッチャプロセスは、他のサブシステム/プロセスからホストへの報告/結果を受信し(S3、S5)、ホストへ送信する(S4)。一方、各ホスト通信プロセス#1〜nは、ホスト通信ディスパッチャプロセスから搬送要求を受信し(S2)、受付処理を行い、結果をホスト通信ディスパッチャプロセスへ送る(S5)。また、各ホスト通信プロセス#1〜nは、搬送指令を搬送制御サブシステムに送信する(S6)。
図3は、搬送制御サブシステムの動作を模式的に示す。図3(a)に示すように、搬送制御サブシステムは、搬送指令/搬送報告を複数の搬送制御プロセスに割り振る。なお、MCSは、搬送指令をどの搬送制御プロセスに割り振ってもよいが、搬送報告はその報告の元である搬送指令が割り振られた搬送制御プロセスに割り振る必要がある。例えば、搬送指令1が搬送制御プロセス#1に割り振られた場合、搬送指令1の搬送に対する搬送報告は搬送制御プロセス#1に割り振られねばならない。
図3(b)に搬送制御サブシステムの動作の詳細を示す。搬送制御ディスパッチャプロセスは、ホスト通信サブシステムより搬送指令を受信し(S11)、搬送制御プロセスに割り振る(S12)。また、AMHS通信サブシステムより搬送報告を受信し(S13)、搬送報告をその報告の搬送指令を担当している搬送制御プロセスへ割り振る(S14)。
搬送制御プロセスは、搬送制御ディスパッチャプロセスより搬送指令を受信し(S12)、受信処理を行い、AMHS通信サブシステムへ搬送指令を送信する(S15)。また、搬送制御プロセスは、搬送制御ディスパッチャプロセスより搬送報告を受信し(S14)、受信処理を行い、ホスト通信サブシステムへ搬送報告を送信する(S16)。
図4は、AMHS通信制御サブシステムの動作を模式的に示す。図4(a)に示すように、AMHS通信サブシステムは、他のサブシステムからの搬送指令をAMHS通信プロセスに割り振る。ここで、MCSとして、各AMHS通信プロセスはトランザクション数を考慮して担当するAMHSが決められている。AMHS通信ディスパッチャプロセスは、搬送指令をどのAMHS通信プロセスに割り振っても良いというわけではなく、搬送指令の通信先AMHSを担当するAMHS通信プロセスに割り振る必要がある。
図4(b)にAMHS通信サブシステムの動作の詳細を示す。AMHS通信ディスパッチャプロセスは、搬送制御サブシステムより搬送指令を受信し(S21)、搬送指令をその指令の通信先AMHSを担当するAMHS通信プロセスへ割り振る(S22)。
AMHS通信プロセスは、AMHS通信ディスパッチャプロセスより搬送指令を受信し(S22)、AMHSへ搬送コマンドを送信する(S23)。なお、AMHSとしては、キャリアの保管棚であるスタッカ(STK)、キャリアを搬送する搬送装置であるOHSなどが挙げられる。また、AMHS通信プロセスは、AMHSより搬送報告を受信し(S24)、搬送報告を搬送制御サブシステムへ送信する(S25)。さらに、AMHS通信プロセスは、AMHSより状態変化を受信し(S24)、状態変化をホスト通信サブシステムへ送信する(S26)。
[実施例]
次に、本発明の実施例について説明する。図5は本発明の実施例に係る搬送制御システムの構成を示す。図示のように、ホスト11と、MCSターミナル12と、複数のAMHS#1〜#nと、ネットワーク分散装置(以下、「分散装置」と呼ぶ。)13と、複数のMCS(ノード#1〜#n)とがイーサネット(登録商標)LAN(以下、「LAN」と呼ぶ。)10を通じて接続されている。
ホスト11は、MCSに搬送指令を送る役割を有する。MCSターミナル12は、システムの状態表示を行うとともに、MCSに対するオペレータ操作を提供する。MCSは、ホストまたはオペレータの指令に従って搬送経路を決定し、各AMHSに対して搬送指示を送る。AMHSはMCS又はオペレータの指示に従い、搬送を実行する。
MCSはマルチノード構成であり、搬送処理量に応じてシステムを停止することなく増減が可能である。但し、システム無停止でのMCS増減時には、そのノード上で起動/停止するプロセスに制限がある。
具体的に、ノード#1のMCSは、管理プロセス#1、搬送制御ディスパッチャプロセス、AMHS通信ディスパッチャプロセス、ホスト通信ディスパッチャプロセス、及び、サーバプロセスを実行する。一方、ノード#2のMCSは、管理プロセス#2、統計履歴プロセス、ログプロセス及び画面制御プロセスを実行する。なお、これらノード#1及び#2のMCSが実行するプロセスは搬送制御全体を統括するためのプロセスであり、これらを総称して以下「統括制御プロセス」と呼ぶこととする。
共有ディスク#1にはノード#1のMCSが使用するデータであって制御に必要なデータが記憶される。共有ディスク#2にはノード#2のMCSが使用する履歴/統計/ログデータが記憶されている。よって、通常は、図5の実線で示すように、ノード#1のMCSが共有ディスク#1を使用し、ノード#2のMCSが共有ディスク#2を使用している。但し、ノード#1及び#2のMCSの一方がダウンしたときには、他方のMCSが共有ディスク#1及び#2の両方のデータを利用して全ての統括制御プロセスを実行する。
ノード#3のMCSは、管理プロセス#3に加えて、搬送制御ディスパッチャプロセスにより割り振られた搬送制御プロセス#1、AMHS通信ディスパッチャプロセスにより割り振られたAMHS通信プロセス#1、及びホスト通信ディスパッチャプロセスにより割り振られたホスト通信プロセス#1を実行する。同様に、ノード#nのMCSは、管理プロセス#nに加えて、搬送制御ディスパッチャプロセスにより割り振られた搬送制御プロセス#n、AMHS通信ディスパッチャプロセスにより割り振られたAMHS通信プロセス#n、及びホスト通信ディスパッチャプロセスにより割り振られたホスト通信プロセス#nを実行する。
このように、搬送制御のための各プロセスは、複数のMCS#3〜#nによるマルチプロセス化されており、あるノード上での実行が不能となった場合には別ノードでの実行が可能である。また、マルチノード、マルチプロセス構成としたため、管理プロセス及びディスパッチャプロセスが存在する。
各プロセスの機能は以下の通りである。なお、以下の説明では、あるノードのMCSを単に「ノード」とも呼ぶ。例えば、ノード#1のMCSを単に「ノード#1」とも呼ぶ。
管理プロセスは、同一ノード上のプロセスの起動/終了/監視を行う。各ノードの管理プロセス同士は通信を行い、各ノードで発生したイベントを他ノードへ通知する。
ホスト通信ディスパッチャは、ホスト通信プロセスの管理を行うものであり、具体的には他プロセスから受信したメッセージの処理、ホストとの通信などを行う。また、ホストより受信した搬送指示などをホスト通信プロセスに実行させる。
AMHS通信ディスパッチャプロセスは、AMHS通信プロセスの管理を行うものであり、具体的には他プロセスから受信したメッセージの処理を行う。また、搬送制御プロセスからのAMHS送信メッセージを担当AMHS通信プロセスに実行させる。
搬送制御ディスパッチャプロセスは、搬送制御プロセスの管理を行うものであり、具体的には、他プロセスから受信したメッセージの処理を行う。また、搬送制御を搬送制御プロセスに実行させる。
統計履歴プロセスは、他プロセスからの履歴情報の登録、管理を行うとともに、統計情報の計算、登録及び管理を行う。ログプロセスは、他プロセスからのログ(Log)情報の登録、管理を行う。画面制御プロセスは、システム状態表示及びオペレータ操作の受付などを行う。
ホスト通信プロセスは、搬送指示などの受付処理(受信メッセージの処理)を行う。AMHS通信プロセスはAMHSとの通信及び受信メッセージの処理を行う。搬送制御プロセスは、搬送経路の決定及び制御を行う。
上記の各プロセスのうち、上記の統括制御プロセス、即ち、ホスト通信ディスパッチャプロセス、AMHS通信ディスパッチャプロセス、搬送制御ディスパッチャプロセス、統計履歴プロセス、ログプロセス及び画面制御プロセスは、システム上でそれぞれ1つが動作する。一方、管理プロセスは各ノードのMCS上で動作する。ホスト通信プロセス、AMHS通信プロセス及び搬送制御プロセスはシステムの規模に応じて同一ノード上又は別ノード上で複数個が動作するものであり、システム無停止で増減が可能である。
ノード、プロセスの情報としては、MCSを構成するノード情報、及び、プロセスの動作に必要な情報及び起動ノードの優先順位情報であるプロセス情報が存在し、これらの情報に従ってプロセスが配置される。
次に、本発明の特徴部分であるプロセス状態監視処理について説明する。本発明では、1つのMCS上でサーバプロセスが動作し、各MCS上で実行されている複数のプロセスの状態に関する情報(「プロセス情報」と呼ぶ。)を収集、監視する。
図6は、プロセス状態監視処理に関連する構成要素のブロック図である。図6において、MCSはサーバを構成し(以下、「サーバMCS」と呼ぶ。)、複数のクライアントA〜Xとネットワーク接続されている。複数のクライアントA〜Xは、サーバMCSに接続し、当該MCS及び他のMCSにおいて実行されているプロセスのプロセス状態を閲覧したり、プロセス情報を取得したりするために使用される。サーバMCSは、通信プロトコルとしてTCP/IPを使用して各クライアントA〜Xと通信する。
サーバMCSでは、サーバプロセス1と、複数のプロセス#1〜#nが実行される。本例では、サーバMCSは図5におけるノード#1のMCSに対応し、プロセス#1〜#nはノード#1のMCS上で実行されている各プロセスに対応する。なお、サーバプロセスは本発明における状態監視プロセスに相当し、プロセス#1〜#nは本発明における処理プロセスに相当する。
サーバプロセス1と、プロセス#1〜#nとは、通信プロトコルとしてTCP/IPを使用して通信する。また、プロセス#1〜#n同士も通信プロトコルとしてTCP/IPを使用する。
図6に示すように、サーバプロセス1は、各プロセス#1〜#nからプロセス情報を収集するとともに、プロセスの生存を確認する。そして、サーバプロセス1は、各プロセス#1〜#nから収集したプロセス情報を保存する。このプロセス情報は、プロセス単位のプロセス情報の集合であり、サーバプロセス1は、プロセス単位のプロセス情報4を出力することができる。
各クライアントA〜Xは例えばPCなどの端末装置により構成される。クライアントA〜Xは、サーバMCSのサーバプロセス1にアクセスしてプロセス情報をダウンロードすることができる。これにより、クライアントA〜Xを使用するオペレータは、異なる場所に設置された異なるクライアントA〜Xを使用して、図6に示すような搬送制御システムのプロセス単位の状態を監視することができる。
図7は、サーバプロセス1により実行される生存確認の方法を模式的に示す。サーバプロセス1は、各プロセス#1〜#nとの通信状態、即ちネットワーク接続が接続状態であるか切断状態であるかに基づいてプロセスの生存状態を判定する。具体的に、図7(a)に示すように、サーバプロセス1は、プロセス#nとの通信状態が接続状態であるときには、プロセス#nが生存していると判定する。一方、図7(b)に示すように、サーバプロセス1は、プロセス#nとの通信状態が切断状態にあるときには、プロセス#nがダウンしていると判定する。こうして、サーバプロセス1は、定期的に各プロセス#1〜#nにアクセスすることにより、各プロセス#1〜#nの生存確認を行い、その結果をプロセス情報の一部として記憶する。
図8は、各プロセス#1〜#nの動作を模式的に示す。各プロセス#1〜#nは、他のプロセスと通信し、他のプロセスから要求される処理を実行してその結果を要求元のプロセスに送信する。ここで、処理の要求及び処理の結果を含む送受信データを「メッセージ」と呼ぶ。各プロセス#1〜#nは、他のプロセスから受信したメッセージ、即ち処理の要求を一時的にメッセージキューに保存する(S1)。メッセージキューとは、物理的にはメッセージを保存するメモリのようなものである。そして、プロセス#1〜#nは、メッセージキューに保存されているメッセージを取り出してその内容に応じた処理を実行し(S2)、処理の結果を含むメッセージを要求元のプロセスに送信する(S3)。こうして、各プロセス#1〜#nは、他のプロセスから要求された処理を実行する。この間、他のプロセスから要求されたメッセージは一時的にメッセージキューに保存されるので、メッセージキューに保存されているメッセージ数は、そのプロセスが実行する処理の数を示している。よって、各プロセス#1〜#nは、このメッセージ数をプロセス情報としてサーバプロセスに送信する。
図9は、サーバプロセス1が各プロセス#1〜#nからプロセス情報を収集する方法を模式的に示す。まず、サーバプロセス1は定期的に各プロセス#1〜#nに対してプロセス情報を要求する(S11)。各プロセス#1〜#nは、要求時の最新メッセージ数、CPU使用率及びメモリ使用率を計算し、これらをプロセス情報としてサーバプロセス1へ送信する(S12)。ここで、「要求時の最新メッセージ数」とは、各プロセス#1〜#3のメッセージキューに蓄積されているメッセージの数である。「CPU使用率」とは、そのプロセスの実行によりサーバMCSのCPUを占有している割合である。また、「メモリ使用率」とは、そのプロセスの実行によりサーバMCSのメモリを占有している割合である。サーバプロセス1は、これらの情報をプロセス情報として各プロセス#1〜#nから受信し、プロセス情報として更新し、保存する(S13)。その後、図6に示すクライアントなどの外部装置から要求があると、プロセス情報を外部ファイルへ出力する(S14)。この際、サーバプロセス1は、プロセス単位でプロセス情報を出力することができる。例えば、クライアントAがプロセス#1のみのプロセス情報を要求した場合には、サーバプロセス1はプロセス#1のみのプロセス情報をクライアントAへ送信することができる。
図10は、外部装置であるクライアントA〜Xからプロセス情報にアクセスする際の処理を模式的に示す。まず、クライアントA〜Xで実行されるクライアントプロセス3は、定期的に又はオペレータの指示に基づいて、サーバプロセス1へプロセス情報を要求する(S21)。サーバプロセス1は、要求されたプロセス情報を要求元のクライアントへ返信する(S22)。要求元のクライアントは、受信したプロセス情報を用いてクライアント内のプロセス情報を更新する(S23)。こうして、各クライアントA〜XはサーバMCSから全てのプロセスについてのプロセス情報を取得することができる。また、例えば、クライアント毎に状態監視の対象となるプロセスが決められている場合には、特定のクライアントは特定のプロセスについてのプロセス情報のみを取得し、監視することもできる。
なお、上記の例では、サーバプロセス1はサーバMCS内のプロセスのみについてプロセス情報を収集しているが、サーバプロセス1は他のMCS内のプロセスについても、ネットワークを通じてプロセス情報を取得することができる。例えば、図5において、サーバMCSとして機能するノード#1のMCSは、LAN10を経由してノード#2〜#nのMCS内の全てのプロセスからプロセス情報を定期的に収集し、記憶しておくことができる。この場合には、クライアントA〜Xは、サーバMCSのみに接続することにより、全てのMCS内の全てのプロセスについてのプロセス情報を収集、監視することもできるし、特定のMCS内の特定のプロセスのみについてプロセス情報を収集、監視することもできる。
本発明の搬送制御システムの基本構成を模式的に示す。 ホスト通信サブシステムの動作を模式的に示す。 搬送制御サブシステムの動作を模式的に示す。 AMHS通信サブシステムの動作を模式的に示す。 本発明の実施例に係る搬送制御システムの構成を示す。 プロセス状態監視処理の概略を示す。 生存確認処理を概念的に示す。 各プロセスにおける処理を示す。 サーバプロセスによるプロセス情報の収集方法を示す。 クライアントからのプロセス情報の取得方法を示す。
符号の説明
1 サーバプロセス
10 LAN
11 ホスト
12 MCSターミナル
13 分散装置

Claims (5)

  1. ネットワークを通じて複数の搬送装置と接続された搬送制御システムにおけるプロセス状態監視装置であって、
    各々がネットワーク上で1つのノードに対応し、統括制御MCSによって割り当てられた処理プロセスを各々が実行し、1つのノード上での実行が不能となった場合には別ノードでの実行が可能に構成されている複数のMCS(Material Control System)を備え、
    前記複数のMCSのうちの1つが、状態監視プロセスを動作させ、他の各々のMCS上で実行されている複数のプロセス情報を収集、監視するサーバMCSとされ、
    前記サーバMCSは、
    前記他の各々のMCSに対して、定期的にプロセス情報を要求するプロセス情報要求手段と、
    前記他の各々のMCSからプロセス情報を受信し、プロセス単位で更新及び記憶するプロセス情報記憶手段と、
    前記プロセス情報をプロセス単位で外部装置へ出力するプロセス情報出力手段と、を備えることを特徴とするプロセス状態監視装置。
  2. 前記複数のMCSの各々は、他のMCSからメッセージを受信して保存するとともに、当該メッセージに対応する処理を実行し、処理結果を前記他のMCSに送信することを特徴とする請求項1に記載のプロセス状態監視装置。
  3. 前記複数のMCSの各々は、前記プロセス情報として、他のMCSから受信して保存しているメッセージの数を前記MCSに送信することを特徴とする請求項1又は2のいずれか一項に記載のプロセス状態監視装置。
  4. 前記複数のMCSの各々は、前記プロセス情報として、当該MCSによるCPUの使用率及びメモリの使用率を前記プロセス情報記憶手段に送信することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のプロセス状態監視装置。
  5. 前記サーバMCSは、前記MCSとの通信の有無に基づいて、当該MCSの生存状態を検出する生存状態検出手段を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のプロセス状態監視装置。
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