JP5098313B2 - 配線基板 - Google Patents
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Description
まず、第1の従来例は、例えば図9に示すように、配線基板内の電極5上に半導体素子1、キャパシタ(図示せず)、抵抗3、及びインダクタ(図示せず)等の電子部品を一つずつ実装した例である(例えば特許文献1参照)。
この配線基板は、複数層の絶縁樹脂17を重ね合わせて基板本体が成形され、下側の絶縁樹脂17上に電極5が形成されている。そして、半導体素子1の場合は、半導体素子の電極5(図示せず)上に金等のバンプ6を形成し、非導電性接着剤(NCF(Non-conductive Film))23等を介して、フェイスダウン方式により、基板上の金めっき等が施された電極5に実装されている。また、その他の部品は、基板(絶縁樹脂17)上の半田27等が施された電極5に実装されている。そして、このような電子部品上に上層の絶縁樹脂17が積層される。また、このような配線基板の上下両面に配線14が設けられている。
この配線基板においては、半導体素子1の場合は、電極5上に金等のバンプ6を形成し、フェイスアップ方式で基板(絶縁樹脂17)上のダイパッド24上に銀ペーストを介して接地し、その他の電子部品は、絶縁樹脂17上に絶縁接着剤を介して接地し、上層の絶縁樹脂17を積層した後、炭酸ガスレーザー等でバンプ6及び電極5上に穴を開け、無電解めっきや電解めっきにて上層との接続を行う。なお、その他は図9に示す構成と同様であり、共通する部材には同一符号を付して説明は省略する。
以下、この第3の従来例の製造工程を順次説明する。まず、パッケージはTCP(図11(a))と呼ばれ、TAB(フィルムキャリヤ)の実装方式を採用したパッケージであり、リードピッチの縮小化、パッケージの薄型化小型化に適している。
代表的な製造方法としては、長尺の樹脂フィルム26にシート状接着剤(図示せず)を貼り合わせた後、金型等でパンチングし、所定の開口部26Aを設ける。
次に、シート状接着剤を介して樹脂フィルム26に銅箔13を貼りあわせ、フォトリソグラフィ及びエッチングプロセスを用いて、樹脂フィルム26の開口部26Aにリード7が張り出した銅配線14を形成する。なお、この一連のプロセスは樹脂フィルム26の両端に形成されたスプロケットホール12と呼ばれる穴で位置合わせ及び搬送が行われる(図12参照)。
次いで、例えば錫めっきが施されたリード7と半導体素子1(半導体チップ)の電極5上に形成されたバンプ6(例えば金バンプ)とを所定の治具でボンディングする。
次に、ポッティング樹脂10により半導体素子1(半導体チップ)及び所望周辺部を樹脂封止し、所定の金型等でパンチングし、TCP(図11(a))を作製する。
そして、この従来例は、パッケージを配線基板に内蔵する形態であり、TCPが接着剤を介して基板(絶縁樹脂17)の開口部に接地され、アウターリード25といわれる外へ張り出したリードがACFといわれる異方性導電フィルム(図示せず)を介して基板上の配線14に接続される(図11(b)参照)。
また、第2の従来例の場合、配線基板上へ接着剤等を介して電子部品を接着するため、配線基板の回路パターンと電子部品の位置精度が悪くなり、特に、半導体素子の場合は、上層回路パターンを形成する際、上層回路パターンと電子部品の電極位置ズレが発生すると、狭ピッチなため接続不良が発生するといった問題があった。
また、第3の従来例の場合、第2の従来例の問題を解決する方法の一つではあるが、電子部品の外周での接続となるため、第1の従来例の問題を解決できないといった問題があった。また、さらには、半導体素子とそれ以外の電子部品の実装方法が異なるため、コスト高といった問題があった。
また、第1、2及び3の従来例とも、一つずつ電子部品を配線基板内に内蔵するため、製造時間が長く、コストが高いといた問題があった。
図1〜図8は本発明の実施の形態による配線基板の各具体例を示す断面図及び平面図である。
本実施の形態による配線基板は、まず、半導体素子1、キャパシタ2、抵抗3、及びインダクタ等の少なくとも一種類がフィルムキャリア4(図1(a)参照)に実装されており、そのフィルムキャリアが少なくとも1層含まれた配線基板(図1(b)参照)である。
なお、フィルムキャリア4と電子部品との接合方法は、電子部品の電極5上に金等のバンプ6を形成して接合する方法(図2(a)参照)とフィルムキャリアのリード7上に金等のバンプ6を形成し接合する方法(図2(b)参照)がある。
また、キャパシタ、抵抗、及びインダクタ等の電子部品にバンプ6を形成する際、バンプ6を複数形成し、接合することでリード7との接着強度が上がり、接続信頼性が向上する。リード7には、接合のため、金、銀、錫等のめっきを施し、バンプ6としては、一般に金が用いられるが、接合用の金属種には様々な組み合わせを取ることができることは公知である。
また、本実施の形態による配線基板は、半導体素子1、キャパシタ2、抵抗3、及びインダクタ等の電子部品が内蔵される配線基板において、キャパシタ2、抵抗3、及びインダクタ等の少なくとも一種類の電子部品がフィルムキャリア4の製造工程内で作り込まれたものとフィルムキャリアに実装されたものであり、要求精度が低いものは造り込み、要求精度が高いものはチップ部品をフィルムキャリア4に実装することが望ましい(図4参照)。
また、フィルムキャリア4における電子部品の実装部は、図2(a)及び図5(a)、(b)に示すように、張り出した形のリードでも、接続部9以外が樹脂10で覆われた構造でも良く、各電子部品に対して様々な構成が簡単に適用できる。さらに、フィルムキャリア以外の配線基板の絶縁材に用いられる材料はフレキシブル及びリジッドタイプの材料が自由に選択できる。
まず、150mm幅、25μm厚の熱硬化性長尺ポリイミドフィルム11上に2μm厚の熱可塑性ポリイミド接着剤(図示せず)を所定温度でラミネートした後、所望の金型で電子部品が実装される部分及び位置決め孔や搬送孔となるスプロケットホール12(スプロケットホールでなく、位置決めになる孔だけでも良い)をパンチング加工する。
次いで、12μm厚の銅箔13を熱可塑性ポリイミド接着剤(図示せず)を介して熱硬化性長尺ポリイミドフィルム11に所定温度でラミネートし、部材を作製する。
次いで、部材両面にフォトレジストをロールコートし、露光現像を行うフォトリソグラフィ及び銅を腐食させるエッチング法により、所望の配線14を形成する(図6(a)参照)。
次いで、半導体素子1、キャパシタ2、抵抗3、及びインダクタ等のチップ部品の電極5上にボールボンディング装置を用いて金バンプ6を形成する。なお、リード7と電極5を直接接続すると半導体素子表面にリードが接触し、ショートが発生したり、回路を破壊してしまう可能性があるため、通常、突起状のバンプ6を設ける。バンプ6の種類は、リード7に施されためっきの種類により、選択されるが、一般的には金が好ましい。また、バンプ6の形成方法には、ボールボンディング装置を用いる他に、めっきによる形成方法等もある。また、リード7にバンプ6を形成し、電子部品との接続を図る方法もある。
ここで、シングルボンディングと言われるバンプ6とリード7とを一つずつ接続する方法もある。
次いで、プリント配線基板の途中工程で得られた基板であり、電子部品が内蔵される溝15が形成された基板上に、例えば、電子部品が内蔵される部分を開口したガラスクロス入りエポキシ系樹脂であるプリプレグ16を介し、電子部品が実装されたフィルムキャリア4を位置させ、その上に、ガラスクロス入りエポキシ系樹脂であるプリプレグ16を介し、銅箔13を位置させ(図6(c)参照)、最高加熱温度175°C、2時間程度で加熱プレスする(図6(d)参照))。
まず、150mm幅、25μm厚の熱硬化性長尺ポリイミドフィルム11Aの両面に2μm厚の熱可塑性ポリイミド接着剤(図示せず)を所定温度でラミネートした後、18μm厚の銅箔13を熱可塑性ポリイミド接着剤を介して熱硬化性長尺ポリイミドフィルム11Aの片側に所定温度でラミネートし、次いで、所望の金型で電子部品が実装される部分及び位置決め孔や搬送孔となるスプロケットホール12(スプロケットホールでなく、位置決めになる孔だけでも良い)のパンチング加工を行い、第1の部材を作製する。
次いで、142mm幅、25μm厚の熱硬化性長尺ポリイミドフィルム11Bの上に2μm厚の熱可塑性ポリイミド接着剤(図示せず)を所定温度でラミネートした後、12μm厚の銅箔13を熱可塑性ポリイミド接着剤を介して熱硬化性長尺ポリイミドフィルム11Bに所定温度でラミネートし、第2の部材を作製する。
次いで、第1の部材に第2の部材を所定温度でラミネートすることで第3の部材を作製する。次いで、第1の部材側から、炭酸ガスレーザーにより、電子部品の電極5上のバンプ6が接続される部分のポリイミドを除去し、銅を露出させた。次いで、第2の部材側から、YAGレーザーにより、両面の接続となるビア18穴を開け、第1部材側の銅を露出させた。次に、第1の部材側にレジスト(図示せず)をロールコートし、無電解銅めっき及び電解銅めっきにより、ビア18を形成し、両面を電気的に接続する(図7(a)参照)。
次いで、一般に用いられているILB(インナーリードボンディング)装置のボンディングステージ上に設置した電子部品の電極5上のバンプ6に対して、非導電性接着剤23(NCF(Non-conductive Film)やNCP(Non-conductive Paste))を介して、フィルムキャリヤ4の所望のリード7をボンディングツールを用いて、加熱加圧することで、電子部品の電極5とリード7の接続を行う。なお、NCPの場合は、実装後でも良い(図7(b)参照)。
次いで、電子部品が実装されたフィルムキャリア4の両面に、例えば、ガラスクロス入りエポキシ系樹脂であるプリプレグ16を介し、銅箔13を位置させ、最高加熱温度175°C、2時間程度で加熱プレスする(図7(c)参照)。
次いで、残された一連の配線基板の製造工程を行うことで、本実施の形態による配線基板を作製する。
まず、150mm幅、25μm厚の熱硬化性長尺ポリイミドフィルム11上に2μm厚の熱可塑性ポリイミド接着剤を所定温度でラミネートした後、所望の金型で電子部品が実装される部分及び位置決め孔や搬送孔となるスプロケットホール12(スプロケットホールでなく、位置決めになる孔だけでも良い)をパンチング加工する。
次いで、12μm厚の銅箔13を熱可塑性ポリイミド接着剤を介して熱硬化性長尺ポリイミドフィルム11に所定温度でラミネートし、部材を作製する。次いで、部材両面にフォトレジストをロールコートし、露光現像を行うフォトリソグラフィ及び銅を腐食させるエッチング法により、所望の配線14及び印刷キャパシタ8の下電極19を形成し、次いで、フォトレジストを剥離する。次いで、エポキシ系樹脂にチタン酸バリウム粒子を混入した誘電体ペーストをスクリーン印刷により、下電極19上に印刷し、所定の温度で硬化させた。
次いで、誘電体20及び引き出し電極21上に、銅ペーストを用い、同じくスクリーン印刷により、上電極22を印刷し、所定の温度で硬化させることで、印刷キャパシタ8を形成する。なお、ここで、要求精度の低いキャパシタに対して印刷キャパシタ8を適用する。次いで、配線の表面に無電解錫めっきを行った。錫めっき厚は1μm程度である。次いで、半導体素子、キャパシタ(要求精度の高いキャパシタ)、抵抗、及びインダクタ等のチップ部品の電極5上にボールボンディング装置を用い、金バンプ6を形成する。
次いで、プリント配線基板の途中工程で得られた基板であり、電子部品が内蔵される溝が形成された基板上に、例えば、電子部品が内蔵される部分を開口したガラスクロス入りエポキシ系樹脂であるプリプレグ16を介し、電子部品が実装されたフィルムキャリアを位置させ、その上に、ガラスクロス入りエポキシ系樹脂であるプリプレグ16を介し、銅箔を位置させ、最高加熱温度175°C、2時間程度で加熱プレスする。
次いで、残された一連の配線基板の製造工程を行う事で、本発明の配線基板を作製する。
まず、150mm幅、35μm厚の長尺銅箔の両面に、ポジ型フォトレジストをロールコートし、露光現像を行うフォトリソグラフィ及び銅を腐食させるエッチング法により、電子部品が実装される部分だけのリード7と位置決め孔や搬送孔となるスプロケットホール12(スプロケットホールでなく、位置決めになる孔だけでも良い)を形成する。
次いで、リード7の部分だけに光を照射し、現像を行い、リード7の表面に無電解錫めっきを行った。錫めっき厚は1μm程度である。次いで、フォトレジストを剥離する。次いで、半導体素子1、キャパシタ2、抵抗3、及びインダクタ等のチップ部品の電極5上にボールボンディング装置を用い、金バンプ6を形成する。
次いで、一般に用いられているILB(インナーリードボンディング)装置のボンディングステージ上に設置した電子部品の電極5上のバンプ6に対して、フィルムキャリヤ4所望のリード7をボンディングツールを用いて、加熱加圧することで、電子部品の電極5とリード7の接続を行う。
次いで、プリント配線基板の途中工程で得られた基板であり、電子部品が内蔵される溝15が形成された基板上に、例えば、電子部品が内蔵される部分を開口したガラスクロス入りエポキシ系樹脂であるプリプレグ16を介し、電子部品が実装されたフィルムキャリア4を位置させ、基板の他方面には、ガラスクロス入りエポキシ系樹脂であるプリプレグ16を介し、銅箔を位置させ、最高加熱温度175°C、2時間程度で加熱プレスする。ここで、一般的なガラス不織布出なければ、電子部品が内蔵される溝15が形成されていない基板でも良く、開口されていないプリプレグ16でも良い。
次いで、残された一連の配線基板の製造工程を行うことで、本実施の形態の配線基板を作製する。
まず、配線基板の製造時に用いられる例えば、リジッド基板である、基板厚0.2mmのエポキシ系片面銅張り基板を用い、樹脂表面に例えば、エポキシ系熱硬化型接着剤を形成する。ここで、両面銅張り基板を用いるときは、片側の銅箔をエッチング等で除去する。
次いで、所望の位置に電子部品が実装される開口部、及び位置決め孔や搬送孔となるスプロケットホールや位置決めになる孔を形成した後、接着剤を介して、銅箔を接着する。次いで、所望の位置に、ドリルやレーザー等で穴を開け、無電解銅めっき及び電解銅めっき等を行い、スルーホールまたはビアを形成する。
次いで、基板表面にフォトレジストを形成し、露光現像を行った後、塩化第2銅液等でエッチングを行い、配線を形成する。次いで、配線に例えば無電解Snめっきを施し、リジッド基板からなるフィルムキャリアを作製する。
次いで、フィルムキャリアに、例えば、金バンプ等が形成された半導体素子やキャパシタ等の電子部品をTAB実装する。ここで、金バンプは、フィルムキャリアのリード側に形成しても良い。
次いで、上層積層等、残された一連の配線基板の製造工程を行う事で、本発明の配線基板を作製する。
Claims (1)
- 複数種類の電子部品が搭載される配線基板であって、半導体素子、キャパシタ、抵抗体、及びインダクタの少なくとも一種類の電子部品が実装され、搬送孔を兼ねるスプロケットホールからなる位置決め用の孔を有するフィルムキャリアが複数のモジュールを含む帯状で配置される層を少なくとも1層有しており、
前記フィルムキャリアと電子部品とを電気的に接続するためのバンプがフィルムキャリアあるいは電子部品の何れか一方に形成されており、
前記フィルムキャリアが配置される層は、プリント配線基板の製造工程の途中工程で得られた、電子部品が内蔵される溝が形成された基板上に、前記プリント配線基板の製造工程とは別工程によって得られた前記フィルムキャリアを、プリプレグを介して積層することにより形成されている、
ことを特徴とする配線基板。
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