JP5095174B2 - テープ接合装置、電子部品圧着装置、およびテープ接合方法 - Google Patents

Description

本発明は、次回ＡＣＦテープの始端部を現在ＡＣＦテープの終端部に精度良く接合することができるテープ接合装置、電子部品圧着装置、およびテープ接合方法に関する。

図１１（ａ）−（ｄ）に示すように、従来のテープ接合装置１０は、テープ供給部から供給された現在ＡＣＦテープ１ａを把持するクランプ部１１と、クランプ部１１の上流側に設けられ、クランプ部１１により把持された現在ＡＣＦテープ１ａの所望位置を切断する切断カッター１２と、クランプ部１１の上流側に設けられ、次回ＡＣＦテープ１ｂに空気を吹き付けることによって次回ＡＣＦテープ１ｂの反りを抑制するエアブロー８と、エアブロー８近傍に設けられ、エアブロー８からの空気によって反りを抑えられた次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を、現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に押圧して接合する接合部１６と、を備えている。

すなわち、従来のテープ接合装置１０においては、まず、テープ接合装置１０のクランプ部１１により、テープ供給部から供給された現在ＡＣＦテープ１ａが把持される（図１１（ａ）参照）。次に、クランプ部１１の上流側に設けられた切断カッター１２により、クランプ部１１によって把持された現在ＡＣＦテープ１ａの所望位置が切断される（図１１（ａ）（ｂ））。次に、テープ供給部により、次回ＡＣＦテープ１ｂが供給される（図１１（ｃ）参照）。次に、エアブロー８により、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部に空気が吹きかけられ、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部の反りが抑制される（図１１（ｃ）参照）。最後に、エアブロー８近傍に設けられた接合部１６により、エアブロー８からの空気によって反りの抑えられた次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部が、現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に押圧して接合される（図１１（ｄ）参照）。なお、現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂの各々は、剥離紙３ａ，３ｂと粘着膜２ａ，２ｂとからなっている。

しかしながら、従来のテープ接合装置１０において、エアブロー８から吹き付けられる空気によっては、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部の反りを十分に抑制することができない。また、エアブロー８から吹き付けられる空気によって、次回ＡＣＦテープ１ｂがばたついてしまうことがある。このため、接合部１６によって、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を、現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に精度良く接合することができない。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、次回テープ（次回ＡＣＦテープ）の始端部を現在テープ（現在ＡＣＦテープ）の終端部に対して精度良く位置決めするとともに、次回テープの始端部の反りを抑制することによって、接合部により、次回テープの始端部を現在テープの終端部に精度良く接合することができるテープ接合装置、当該テープ接合装置を用いた電子部品圧着装置、および当該テープ接合装置を用いたテープ接合方法を提供することを目的とする。

本発明は、テープ供給部から順次供給される現在テープと次回テープとを接合するテープ接合装置において、テープ供給部から供給された現在テープを把持するクランプ部と、クランプ部の上流側に設けられ、クランプ部により把持された現在テープの所望位置を切断する切断部と、クランプ部の上流側に設けられ、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回テープの始端部の幅方向位置を現在テープの終端部の幅方向位置に対して位置決めする接合補助機構と、接合補助機構近傍に設けられ、接合補助機構によって現在テープの終端部に対して重ね合わされ、かつ位置決めされた次回テープの始端部を、現在テープの終端部に押圧して接合する接合部と、を備えたことを特徴とするテープ接合装置である。

このような構成により、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して精度良く位置決めするとともに、次回テープの始端部の反りを抑制することができ、接合部により、次回テープの始端部を現在テープの終端部に精度良く接合することができる。

本発明は、接合補助機構が、次回テープおよび現在テープ側に向かって開口する凹部溝を有することを特徴とするテープ接合装置である。

本発明は、接合補助機構の凹部溝が、次回テープおよび現在テープ側に向かって広がった略Ｖ字形状断面を有することを特徴とするテープ接合装置である。

このような構成により、次回テープおよび現在テープを凹部溝内に容易に導くことができる。

本発明は、接合補助機構の凹部溝が、断面が矩形状の底部を有することを特徴とするテープ接合装置である。

このような構成により、次回テープおよび現在テープを幅方向で規制することができ、次回テープの始端部を現在テープの始端部に精度良く位置決めすることができる。

本発明は、接合補助機構の凹部溝の底部が、その幅が可変となることを特徴とするテープ接合装置である。

このような構成により、電子部品圧着装置において幅の異なる様々なテープ（現在テープおよび次回テープ）を用いる場合でも、接合補助機構を交換することなく、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回テープの始端部の幅方向位置を現在テープの終端部の幅方向位置に対して位置決めすることができる。

本発明は、接合補助機構が、切断部と一体で駆動されることを特徴とするテープ接合装置である。

本発明は、接合補助機構の凹部溝が、次回テープおよび現在テープ側と反対側に向かって段階的に幅が狭くなった多段型断面を有することを特徴とするテープ接合装置である。

このような構成により、電子部品圧着装置において幅の異なる様々なテープ（現在テープおよび次回テープ）を用いる場合でも、接合補助機構を交換することなく、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回テープの始端部の幅方向位置を現在テープの終端部の幅方向位置に対して位置決めすることができる。

本発明は、接合補助機構が、次回テープおよび現在テープの幅方向に移動可能であるとともに、次回テープおよび現在テープを幅方向から支持する複数の凹部溝を有し、各凹部溝は異なる幅を有することを特徴とするテープ接合装置である。

このような構成により、電子部品圧着装置において幅の異なる様々なテープ（現在テープおよび次回テープ）を用いる場合でも、接合補助機構を交換することなく、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回テープの始端部の幅方向位置を現在テープの終端部の幅方向位置に対して位置決めすることができる。

本発明は、接合補助機構の各凹部溝が、次回テープおよび現在テープ側に向かって広がった略Ｖ字形状断面を有することを特徴とするテープ接合装置である。

このような構成により、次回テープおよび現在テープを凹部溝内に容易に導くことができる。

本発明は、基板を支持する基板ステージと、基板ステージの上流側に配置され、粘着膜と剥離紙とからなる現在テープおよび次回テープを順次供給するテープ供給部と、基板ステージとテープ供給部との間に配置された上述のテープ接合装置と、基板ステージに対向して配置され、基板上に供給された現在テープの剥離紙を押圧し、基板に粘着膜を圧着させる加圧部と、基板ステージの下流側に配置され、現在テープの剥離紙を巻き取るテープ巻取部と、を備えたことを特徴とする電子部品圧着装置である。

このような構成により、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して精度良く位置決めするとともに、次回テープの始端部の反りを抑制することができ、接合部により、次回テープの始端部を現在テープの終端部に精度良く接合することができる。

本発明は、テープ供給部により、現在テープを供給する現在テープ供給工程と、クランプ部により、テープ供給部から供給された現在テープを把持するクランプ工程と、クランプ部の上流側に設けられた切断部により、クランプ部によって把持された現在テープの所望位置を切断する切断工程と、テープ供給部により、次回テープを供給する次回テープ供給工程と、クランプ部の上流側に設けられた接合補助機構により、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回テープの始端部の幅方向位置を現在テープの終端部の幅方向位置に対して位置決めする接合補助工程と、接合補助機構近傍に設けられた接合部により、接合補助機構によって現在テープの終端部に対して重ね合わされ、かつ位置決めされた次回テープの始端部を、現在テープの終端部に押圧して接合する接合工程と、を備えたことを特徴とするテープ接合方法である。

このような構成により、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して精度良く位置決めするとともに、次回テープの始端部の反りを抑制することができ、接合部により、次回テープの始端部を現在テープの終端部に精度良く接合することができる。

本発明によれば、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回テープの始端部の幅方向位置を現在テープの終端部の幅方向位置に対して位置決めする接合補助機構を用いることによって、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して精度良く位置決めするとともに、次回テープの始端部の反りを抑制することができる。このため、接合部により、次回テープの始端部を現在テープの終端部に精度良く接合することができる。

第１の実施の形態
以下、本発明に係る電子部品圧着装置および電子部品圧着方法の第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１（ａ）（ｂ）乃至図７は本発明の第１の実施の形態を示す図である。

図１（ａ）（ｂ）および図３（ａ）−（ｄ）に示すように、電子部品圧着装置は、基板９を支持する基板ステージ５１と、基板ステージ５１の上流側に配置され、粘着膜２ａと剥離紙３ａとからなる現在ＡＣＦテープ（現在テープ）１ａと、粘着膜２ｂと剥離紙３ｂとからなる次回ＡＣＦテープ（次回テープ）１ｂを順次供給するテープ供給部２０と、基板ステージ５１とテープ供給部２０との間に配置され、現在ＡＣＦテープ１ａの終端部と次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部とを接合するテープ接合装置１０と、基板ステージ５１に対向して配置され、基板９上に供給された現在ＡＣＦテープ１ａの剥離紙３ａを押圧し、基板９に粘着膜２ａを圧着させる加圧部５３と、基板ステージ５１の下流側に配置され、現在ＡＣＦテープ１ａの剥離紙３ａを巻き取るテープ巻取部３０と、を備えている。

なお、図３（ａ）−（ｄ）は、テープ接合装置１０の縦断面図であり、接合補助機構６０について言えば、図２のIII−III線で切断したものに相当する。また、上流側および下流側とは、ＡＣＦテープ（現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂ）の流れに対して上流側および下流側であることを意味する。

ところで、現在ＡＣＦテープ１ａとは、その粘着膜２ａが加圧部５３によって基板９に圧着されている（または、既に圧着された）ＡＣＦテープのことを意味し、次回ＡＣＦテープ１ｂとは、現在ＡＣＦテープ１ａに次いでその粘着膜２ｂが加圧部５３によって基板９に圧着されるＡＣＦテープのことを意味する。従って、ＡＣＦテープの粘着膜が未だ基板９に圧着され始めていない場合には、当該ＡＣＦテープは次回ＡＣＦテープ１ｂであり、ＡＣＦテープの粘着膜が基板９に圧着される段階に入ると、当該ＡＣＦテープは現在ＡＣＦテープ１ａとなる。

また、図３（ａ）−（ｄ）に示すように、テープ接合装置１０は、テープ供給部２０から供給された現在ＡＣＦテープ１ａを把持するクランプ部１１と、クランプ部１１の上流側に設けられ、クランプ部１１により把持された現在ＡＣＦテープ１ａの所望位置を切断する切断カッター（切断部）１２と、クランプ部１１の上流側に設けられ、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部の幅方向位置を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部の幅方向位置に対して位置決めする接合補助機構６０と、接合補助機構６０近傍に設けられ、接合補助機構６０によって現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に対して重ね合わされ、かつ位置決めされた次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を、現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に押圧して接合する接合部１６と、を備えている。

なお、接合部１６は、図３（ａ）−（ｄ）に示すように、現在ＡＣＦテープ１ａの終端部と次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を、支持台１９に対して押圧することによって、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に押圧して接合する。また、この支持台１９には開口溝１７が設けられ、当該開口溝１７内に切断カッター１２および接合補助機構６０が挿入可能になっている（図３（ｂ）および（ｄ）参照）。

このうち、接合補助機構６０は、図２に示すように、次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａ側に向かって開口し、次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａ側に向かって広がった略Ｖ字形状断面を有する凹部溝６１を有している。また、この凹部溝６１は、断面が矩形状である底部６１ｕを有している。

また、接合補助機構６０は、切断カッター１２と一体で駆動される。具体的には、図４に示すように、接合補助機構６０と切断カッター１２とは、連結体５を介して連結固定されている。そして、この連結体５は、連結体５を支持台１９（図３（ａ）−（ｄ）参照）に向かって移動させる法線方向駆動装置６に連結されている。また、この法線方向駆動装置６は、法線方向駆動装置６を支持台１９の面方向（現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂの幅方向）に移動させる面方向駆動装置７に連結されている。

また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、基板ステージ５１の上流側（図１（ａ）（ｂ）の左側）には、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを切断するハーフカッタ４１と、当該ハーフカッタ４１によって切断された粘着膜２ａを剥離する剥離ヘッド４２とを有する粘着膜部分剥離部４０が配置されている。そして、この粘着膜部分剥離部４０によって、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが部分的に切断し剥離される。

また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、ハーフカッタ４１および剥離ヘッド４２の上方には、ハーフカッタ４１によって現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを切断する際、および剥離ヘッド４２によってハーフカッタ４１によって切断された粘着膜２ａを剥離する際に、現在ＡＣＦテープ１ａを上方から吸着して保持する吸着ブロック４５が設けられている。

また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、基板ステージ５１の下流側（図１（ａ）（ｂ）の右側）には、使用済み現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）をクランパ４６ａによって把持しつつ、下流側（図１（ａ）（ｂ）の右側）に移動することによって、所定の長さの現在ＡＣＦテープ１ａを基板９上に引き出す引出ユニット４６が設けられている。

また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、テープ接合装置１０とハーフカッタ４１との間には、ガイド２３に沿って上下方向に移動自在な供給側可動ローラ２５と、テープ供給部２０からの現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂを折り返し供給側可動ローラ２５に供給する供給側固定ローラ２９と、供給側可動ローラ２５からの現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂを受ける供給側固定ローラ２６とが配置されている。また、同様に、引出ユニット４６とテープ巻取部３０との間には、巻取側固定ローラ３６と、当該巻取側固定ローラ３６からの剥離紙３ａを受けるとともに、ガイド３３に沿って上下方向に移動自在な巻取側可動ローラ３５とが配置されている。

なお、供給側可動ローラ２５には、支持ローラ（図示せず）を介して錘（図示せず）が連結されている。このため、供給側可動ローラ２５には、当該錘によって上方への引っ張り力が加えられる。また、同様に、巻取側可動ローラ３５には、支持ローラ（図示せず）を介して錘（図示せず）が連結されている。このため、巻取側可動ローラ３５にも、当該錘によって上方への引っ張り力が加えられる。

また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、巻取側固定ローラ３６と巻取側可動ローラ３５との間には、剥離紙３ａ（使用済みＡＣＦテープ）を把持するクランプ機構３９が設けられている。

また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、テープ供給部２０は、現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂを巻きつけて保持する供給リール２２と、当該供給リール２２を回転駆動する供給モータ２１とを有している。また、テープ巻取部３０は、現在ＡＣＦテープ１ａの剥離紙３ａを巻き取って保持する巻取リール３２と、当該巻取リール３２を回転駆動する巻取モータ３１とを有している。

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。

最初に、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを基板９に圧着する電子部品圧着装置の作用について説明する。

まず、基板ステージ５１によって、基板９が支持される（基板支持工程７１）（図１（ａ）（ｂ）および図５参照）。

次に、クランプ機構３９により、使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）がクランプされる（図１（ａ）参照）。

次に、基板ステージ５１の上流側に配置されたテープ供給部２０によって、剥離紙３ａと粘着膜２ａとからなる現在ＡＣＦテープ１ａが供給される（テープ供給工程７３）（図１（ａ）および図５参照）。具体的には、テープ供給部２０の供給モータ２１が、供給リール２２を図１（ａ）の矢印の方向に回転駆動し、現在ＡＣＦテープ１ａが供給リール２２から巻き出される。

このため、現在ＡＣＦテープ１ａに弛みが生じ、供給側可動ローラ２５に連結された錘の作用により供給側可動ローラ２５が上昇する（図１（ａ）参照）。なお、供給側可動ローラ２５が上昇して上限位置に到達すると、供給モータ２１の回転駆動は停止する。

このとき、基板ステージ５１の下流側に配置されたテープ巻取部３０によって、加圧部５３によって基板９に現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが既に圧着された、使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）が巻き取られる（テープ巻取工程８３ａ）（図１（ａ）および図５参照）。

すなわち、テープ巻取部３０の巻取モータ３１が、巻取リール３２を図１（ａ）の矢印の方向に回転駆動し、巻取リール３２に使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）が巻き取られる。このため、使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）とクランプ機構３９との距離が短くなり、巻取側可動ローラ３５が、巻取側可動ローラ３５に連結された錘（図示せず）の作用により上方向に付与されている引っ張り力に抗して下降する（図１（ａ）参照）。なお、巻取側可動ローラ３５が下降して下限位置に到達すると、巻取モータ３１の回転駆動は停止する。

次に、クランプ機構３９が使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）のクランプを解除する（図１（ｂ）参照）。

次に、加圧部５３によって既に基板９に粘着膜２ａが圧着された、使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）が、テープ供給部２０とテープ巻取部３０との間に配置された引出ユニット４６によって把持されて、上流側から下流側（図１（ｂ）の右側）へと移動する（テープ引出工程７５）（図１（ａ）（ｂ）および図５参照）。このことによって、現在ＡＣＦテープ１ａが上流側から下流側へと移動し、所定長さの現在ＡＣＦテープ１ａが基板９上に供給される。

具体的には、まず、引出ユニット４６が、クランパ４６ａを開いた状態で引き出し待機位置（図１（ａ）参照）から、引き出す現在ＡＣＦテープ１ａの長さに相当する距離だけ下流側から上流側（図１（ａ）の左側）に移動して引き出し開始位置（図１（ｂ）参照）まで移動する。次に、引出ユニット４６が、そのクランパ４６ａを閉じて使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）を把持する。次に、引き出しクランパ４６ａは、当該現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）を把持したまま、所定の引き出し長さ分に相当する距離だけＸ方向の正方向に移動して、待機位置へ戻る（図１（ａ）参照）。

このように、引出ユニット４６によって現在ＡＣＦテープ１ａを基板９上に引き出す際、現在ＡＣＦテープ１ａの所定位置がハーフカッタ４１の上方に到達したとき、ハーフカッタ４１によって現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが切断される（ハーフカット工程７７）（図１（ｂ）および図５参照）。その後、現在ＡＣＦテープ１ａのハーフカッタ４１によって粘着膜２ａが切断された箇所が、粘着膜部分剥離部４０の上方に到達したときに、粘着膜部分剥離部４０によって、当該箇所の粘着膜２ａが剥離される（粘着膜剥離工程７８）（図１（ｂ）および図５参照）。このように、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａがハーフカッタ４１によって切断されたり、粘着膜部分剥離部４０によって剥離されたりするときには、吸着ブロック４５がその都度作動し、現在ＡＣＦテープ１ａは吸着ブロック４５に吸着保持される。

なお、上述のように、現在ＡＣＦテープ１ａが上流側から下流側へと移動するので、テープ供給部２０の供給側可動ローラ２５が、供給側可動ローラ２５に連結された錘により上方向に付与されている引っ張り力に抗して下降する（図１（ｂ）参照）。

このとき、加圧部５３によって既に基板９に現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが圧着された、使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）には、弛みが生じる。このため、巻取側可動ローラ３５に連結された錘によって、巻取側可動ローラ３５が上昇する（図１（ｂ）参照）。

次に、基板ステージ５１に対向して配置された加圧部５３が降下し、基板９上に供給された現在ＡＣＦテープ１ａの剥離紙３ａが押しつけられる。このため、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが基板９に圧着される（圧着工程８１）（図１（ａ）（ｂ）および図５参照）。

次に、基板ステージ５１の下流側に配置されたテープ巻取部３０によって、加圧部５３によって基板９に現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを圧着した後に残った剥離紙３ａが巻き取られる（テープ巻取工程８３）（図１（ａ）および図５参照）。

このテープ巻取工程８３について、さらに詳述する。具体的には、まず、クランプ機構３９により、現在ＡＣＦテープ１ａがクランプされる（図１（ａ）参照）。

次に、テープ巻取部３０の巻取モータ３１が、巻取リール３２を図１（ａ）の矢印の方向に回転駆動し、巻取リール３２に使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）が巻き取られる。このため、使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）とクランプ機構３９との距離が短くなり、巻取側可動ローラ３５が、巻取側可動ローラ３５に連結された錘（図示せず）の作用により上方向に付与されている引っ張り力に抗して下降する（図１（ａ）参照）。

このとき、テープ供給部２０の供給モータ２１が、供給リール２２を図１（ａ）の矢印の方向に回転駆動し、次に基板９に圧着されるＡＣＦテープが、供給リール２２から巻き出される（テープ供給工程７３ａ）（図１（ａ）および図５参照）。このため、当該ＡＣＦテープに弛みが生じて、供給側可動ローラ２５に連結された錘（図示せず）の作用により供給側可動ローラ２５が上昇する（図１（ａ）参照）。

以降は、上述した工程が繰り返し行われる。

上記のように、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを基板９に圧着する工程を繰り返していくと、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが無くなってしまう。このように、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが無くなると、新しいＡＣＦテープ（次回ＡＣＦテープ１ｂ）を現在ＡＣＦテープ１ａに接合する必要がある。このように、次回ＡＣＦテープ１ｂを現在ＡＣＦテープ１ａに接合する際に、以下に示すように、電子部品圧着装置のテープ接合装置１０が用いられる。

以下、次回ＡＣＦテープ１ｂを現在ＡＣＦテープ１ａに接合する作用について述べる。まず、テープ接合装置１０のクランプ部１１により、テープ供給部２０から供給された現在ＡＣＦテープ１ａが把持される（クランプ工程９１）（図３（ａ）および図６参照）。

次に、クランプ部１１の上流側に設けられ、作動位置ＷＰにある切断カッター１２により、クランプ部１１によって把持された現在ＡＣＦテープ１ａの所望位置が切断される（切断工程９２）（図３（ａ）（ｂ）、図４および図６参照）。このとき、法線方向駆動装置６によって、連結体５が支持台１９方向に向かって駆動されることによって、切断カッター１２により現在ＡＣＦテープ１ａが切断される（図４参照）。

次に、テープ供給部２０により、次回ＡＣＦテープ１ｂが供給される（次回ＡＣＦテープ供給工程９３）（図３（ｃ）および図６参照）。

次に、面方向駆動装置７によって、法線方向駆動装置６が支持台１９の面方向（現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂの幅方向）に向かって駆動され、切断カッター１２が作動位置ＷＰから移動させられるとともに、当該作動位置ＷＰに、接合補助機構６０が配置される（図３（ｂ）（ｃ）および図４参照）。

次に、法線方向駆動装置６によって、連結体５が支持台１９方向に向かって駆動され、接合補助機構６０により、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部が現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に対して重ね合わされ、かつ次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部の幅方向位置が現在ＡＣＦテープ１ａの終端部の幅方向位置に対して位置決めされる（接合補助工程９４）（図３（ｃ）（ｄ）および図６参照）。

このため、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に対して精度良く位置決めするとともに、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部の反りを抑制することができる。

また、上述のように、接合補助機構６０を切断カッター１２と同じ作動位置ＷＰに配置した上で、次回ＡＣＦテープ１ｂを現在ＡＣＦテープ１ａに対して重ね合わるとともに、位置決めするため、テープ接合装置１０の大きさをコンパクトにすることができる。

また、接合補助機構６０を切断カッター１２と同じ作動位置ＷＰに配置するので、切断カッター１２によって切断された現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に近い位置で、次回ＡＣＦテープ１ｂを現在ＡＣＦテープ１ａに対して重ね合わせるとともに、位置決めすることができ、次回ＡＣＦテープ１ｂの反りを効率よく抑制することができる。

ここで、接合補助機構６０は、図２に示すように、次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａ側に向かって広がった略Ｖ字形状断面を有する凹部溝６１を有している。このため、次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａを凹部溝６１内に容易に導くことができる。

また、この凹部溝６１は、図２に示すように、底部６１ｕを有するとともに、底部６１ｕの断面が矩形状となっている。このため、当該底部６１ｕにおいて、次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａを幅方向で規制することができ、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を現在ＡＣＦテープ１ａの始端部に精度良く位置決めすることができる。

次に、接合補助機構６０によって現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に対して重ね合わされ、かつ位置決めされた次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部が、接合補助機構６０近傍に設けられた接合部１６により、現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に押圧され接合される（接合工程９５）（図３（ｃ）（ｄ）および図６参照）。

上述のように、本実施の形態によると、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部の幅方向位置を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部の幅方向位置に対して位置決めする接合補助機構を用いることによって、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に対して精度良く位置決めするとともに、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部の反りを抑制することができる。このため、接合部１６により、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に精度良く接合することができる。

上記実施の形態において、接合補助機構６０が切断カッター１２と一体で駆動される態様として、接合補助機構６０と切断カッター１２とが、連結体５を介して連結固定され、この連結体５が連結体５を支持台１９に向かって移動させる法線方向駆動装置６に連結され、この法線方向駆動装置６が法線方向駆動装置６を支持台１９の面方向に駆動する面方向駆動装置７に連結されている例を示した。しかしながら、これに限ることなく、接合補助機構６０が切断カッター１２と一体で駆動される態様としては、例えば図７に示すように、接合補助機構６０と切断カッター１２とが、連結体５ａを介して連結固定され、この連結体５ａは、回転軸Ｒを中心として揺動自在となり、かつ当該連結体５ａを支持台１９に向かって移動させる法線方向駆動装置６に連結されているものでもよい。

第２の実施の形態
次に図８（ａ）（ｂ）により本発明の第２の実施の形態について説明する。図８（ａ）（ｂ）に示す第２の実施の形態は、凹部溝６１の底部６１ｕの幅が可変となる接合補助機構６０を用いたものであり、他は図１（ａ）（ｂ）乃至図７に示す第１の実施の形態と略同一である。

図８（ａ）（ｂ）に示す第２の実施の形態において、図１（ａ）（ｂ）乃至図７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

図８（ａ）（ｂ）に示すように、接合補助機構６０は、第一切欠き６４ａを有する第一接合補助ユニット６０ａと、当該第一接合補助ユニット６０ａにスライド可能に連結され、第一切欠き６４ａとともに矩形状の断面からなる底部６１ｕを形成する第二切欠き６４ｂを有する第二接合補助ユニット６０ｂとを含んでいる。

このような接合補助機構６０においては、第二接合補助ユニット６０ｂを第一接合補助ユニット６０ａに対してスライドさせて、第一接合補助ユニット６０ａと第二接合補助ユニット６０ｂとの間の距離を調整して、凹部溝６１の底部６１ｕの幅を調整することができる。

このため、電子部品圧着装置において幅の異なる様々なＡＣＦテープ（現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂ）を用いる場合でも、凹部溝６１の底部６１ｕの幅を調整することによって、接合補助機構６０を交換することなく、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部の幅方向位置を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部の幅方向位置に対して位置決めすることができる。

第３の実施の形態
次に図９により本発明の第３の実施の形態について説明する。図９に示す第３の実施の形態は、凹部溝６１が次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａ側と反対側に向かって段階的に幅が狭くなった多段型断面を有する接合補助機構６０を用いたものであり、他は図１（ａ）（ｂ）乃至図７に示す第１の実施の形態と略同一である。

図９に示す第３の実施の形態において、図１（ａ）（ｂ）乃至図７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

図９に示すように、接合補助機構６０の凹部溝６１は、次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａ側と反対側に向かって段階的に幅が狭くなった多段型断面を有している。

具体的には、図９に示すように、接合補助機構６０の凹部溝６１は、底部６１ｕ３と、底部６１ｕ３より幅が広い底部６１ｕ２と、底部６１ｕ２より幅が広い底部６１ｕ１とを有し、底部６１ｕ１、底部６１ｕ２および底部６１ｕ３は、底部６１ｕ１、底部６１ｕ２、底部６１ｕ３の順でＡＣＦテープ（現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂ）側に配置されている。これにより、凹部溝６１は、次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａ側と反対側に向かって段階的に幅が狭くなった多段型断面を有することになる。

そして、幅の広いＡＣＦテープ（現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂ）を用いる場合、底部６１ｕ１において当該ＡＣＦテープを幅方向で規制して位置決めする。また、幅が中程度のＡＣＦテープを用いる場合、底部６１ｕ２において当該ＡＣＦテープを幅方向で規制して位置決めする。さらに、幅の狭いＡＣＦテープを用いる場合、底部６１ｕ３において当該ＡＣＦテープを幅方向で規制して位置決めする。

このため、電子部品圧着装置において幅の異なる様々なＡＣＦテープを用いる場合でも、ＡＣＦテープの幅に応じて使用される底部６１ｕ１，６１ｕ２，６１ｕ３が自動的に決定される（例えば、幅の狭いＡＣＦテープを用いる場合には、底部６１ｕ１および底部６１ｕ２ではなく、底部６１ｕ３によって自動的に規制される）ため、接合補助機構６０を交換することなく、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部の幅方向位置を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部の幅方向位置に対して位置決めすることができる。

第４の実施の形態
次に図１０により本発明の第２の実施の形態について説明する。図１０に示す第４の実施の形態は、接合補助機構６０が、次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａの幅方向（支持台１９の面内方向）に移動可能となっており、かつ接合補助機構６０が次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａを幅方向から支持する複数の凹部溝６１，６２，６３を有し、さらに各凹部溝６１，６２，６３の底部６１ｕ，６２ｕ，６３ｕの幅が異なるものであり、他は図１（ａ）（ｂ）乃至図７に示す第１の実施の形態と略同一である。

図１０に示す第４の実施の形態において、図１（ａ）（ｂ）乃至図７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

図１０に示すように、接合補助機構６０は、次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａの幅方向に移動可能であるとともに、次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａを幅方向から支持する複数の凹部溝６１，６２，６３を有している。そして、各凹部溝６１の底部６１ｕ，６２ｕ，６３ｕの幅は異なっている。

具体的には、図１０に示すように、接合補助機構６０は、幅の広いＡＣＦテープ（次回ＡＣＦテープ１ｂおよび現在ＡＣＦテープ１ａ）を用いる場合に、当該ＡＣＦテープを幅方向で規制して位置決めする底部６１ｕを有する凹部溝６１と、幅が中程度のＡＣＦテープを用いる場合に、当該ＡＣＦテープを幅方向で規制して位置決めする底部６２ｕを有する凹部溝６２と、幅の狭いＡＣＦテープを用いる場合に、当該ＡＣＦテープを幅方向で規制して位置決めする底部６３ｕを有する凹部溝６３とを有している。

そして、幅の広いＡＣＦテープを用いる場合、底部６１ｕにおいて当該ＡＣＦテープを幅方向で規制して位置決めする。また、幅が中程度のＡＣＦテープを用いる場合に、底部６２ｕにおいて当該ＡＣＦテープを幅方向で規制して位置決めする。さらに、幅の狭いＡＣＦテープを用いる場合に、底部６３ｕにおいて当該ＡＣＦテープを幅方向で規制して位置決めする。このように、使用する凹部溝６１，６２，６３を適宜選択するとき、接合補助機構６０をＡＣＦテープの幅方向に移動させる。

このため、電子部品圧着装置において幅の異なる様々なＡＣＦテープを用いる場合でも、底部６１ｕ，６２ｕ，６３ｕの幅が異なる凹部溝６１，６２，６３を適宜選択することによって、接合補助機構６０を交換することなく、次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部の幅方向位置を現在ＡＣＦテープ１ａの終端部の幅方向位置に対して位置決めすることができる。

本発明による電子部品圧着装置の第１の実施の形態を示す構成図。 本発明による電子部品圧着装置の第１の実施の形態の接合補助機構を示す断面図。 本発明による電子部品圧着装置の第１の実施の形態のテープ接合装置を示す断面図。 本発明による電子部品圧着装置の第１の実施の形態において、切断カッターと接合補助機構との関係を示す構成図。 本発明による電子部品圧着方法の第１の実施の形態を示すフロー図。 本発明による電子部品圧着方法の第１の実施の形態におけるテープ接合方法を示すフロー図。 本発明による電子部品圧着装置の第１の実施の形態の変形例において、切断カッターと接合補助機構との関係を示す構成図。 本発明による電子部品圧着装置の第２の実施の形態の接合補助機構を示す断面図。 本発明による電子部品圧着装置の第３の実施の形態の接合補助機構を示す断面図。 本発明による電子部品圧着装置の第４の実施の形態の接合補助機構を示す断面図。 従来の電子部品圧着装置のテープ接合装置を示す断面図。

符号の説明

１ａ 現在ＡＣＦテープ
１ｂ 次回ＡＣＦテープ
２ａ，２ｂ 粘着膜
３ａ，３ｂ 剥離紙
１０ テープ接合装置
１１ クランプ部
１２ 切断カッター（切断部）
１６ 接合部
２０ テープ供給部
３０ テープ巻取部
５１ 基板ステージ
５３ 加圧部
６０ 接合補助機構
６１，６２，６３ 凹部溝
６１ｕ，６２ｕ，６３ｕ 底部
９１ クランプ工程
９２ 切断工程
９３ 次回ＡＣＦテープ供給工程
９４ 接合補助工程
９５ 接合工程

Claims (9)

1. テープ供給部から順次供給される現在テープと次回テープとを接合するテープ接合装置において、
   テープ供給部から供給された現在テープを把持するクランプ部と、
   クランプ部の上流側に設けられ、クランプ部により把持された現在テープの所望位置を切断する切断部と、
   クランプ部の上流側に設けられ、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回テープの始端部の幅方向位置を現在テープの終端部の幅方向位置に対して位置決めする接合補助機構と、
   接合補助機構近傍に設けられ、接合補助機構によって現在テープの終端部に対して重ね合わされ、かつ位置決めされた次回テープの始端部を、現在テープの終端部に押圧して接合する接合部と、
   を備え、
   接合補助機構は、次回テープおよび現在テープ側に向かって開口する凹部溝を有し、
   接合補助機構の凹部溝は、次回テープおよび現在テープ側に向かって広がった略Ｖ字形状断面を有し、
   接合補助機構は、次回テープおよび現在テープの法線方向で移動可能となることを特徴とするテープ接合装置。
2. 接合補助機構の凹部溝は、断面が矩形状の底部を有することを特徴とする請求項１記載のテープ接合装置。
3. 接合補助機構の凹部溝の底部は、その幅が可変となることを特徴とする請求項２記載のテープ接合装置。
4. 接合補助機構は、切断部と一体で駆動されることを特徴とする請求項１記載のテープ接合装置。
5. 接合補助機構の凹部溝は、次回テープおよび現在テープ側と反対側に向かって段階的に幅が狭くなった多段型断面を有することを特徴とする請求項１記載のテープ接合装置。
6. 接合補助機構は、次回テープおよび現在テープの幅方向に移動可能であるとともに、次回テープおよび現在テープを幅方向から支持する複数の凹部溝を有し、
   各凹部溝は異なる幅を有することを特徴とする請求項１記載のテープ接合装置。
7. 接合補助機構の各凹部溝は、次回テープおよび現在テープ側に向かって広がった略Ｖ字形状断面を有することを特徴とする請求項６記載のテープ接合装置。
8. 基板を支持する基板ステージと、
   基板ステージの上流側に配置され、粘着膜と剥離紙とからなる現在テープおよび次回テープを順次供給するテープ供給部と、
   基板ステージとテープ供給部との間に配置された請求項１記載のテープ接合装置と、
   基板ステージに対向して配置され、基板上に供給された現在テープの剥離紙を押圧し、基板に粘着膜を圧着させる加圧部と、
   基板ステージの下流側に配置され、現在テープの剥離紙を巻き取るテープ巻取部と、
   を備えたことを特徴とする電子部品圧着装置。
9. テープ供給部により、現在テープを供給する現在テープ供給工程と、
   クランプ部により、テープ供給部から供給された現在テープを把持するクランプ工程と、
   クランプ部の上流側に設けられた切断部により、クランプ部によって把持された現在テープの所望位置を切断する切断工程と、
   テープ供給部により、次回テープを供給する次回テープ供給工程と、
   クランプ部の上流側に設けられた接合補助機構により、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回テープの始端部の幅方向位置を現在テープの終端部の幅方向位置に対して位置決めする接合補助工程と、
   接合補助機構近傍に設けられた接合部により、接合補助機構によって現在テープの終端部に対して重ね合わされ、かつ位置決めされた次回テープの始端部を、現在テープの終端部に押圧して接合する接合工程と、
   を備え、
   接合補助機構は、次回テープおよび現在テープ側に向かって開口する凹部溝を有し、
   接合補助機構の凹部溝は、次回テープおよび現在テープ側に向かって広がった略Ｖ字形状断面を有し、
   前記接合補助工程において、接合補助機構は、次回テープおよび現在テープの法線方向で、該次回テープおよび現在テープに向かって移動することで、次回テープの始端部を現在テープの終端部に対して重ね合わせ、かつ次回テープの始端部の幅方向位置を現在テープの終端部の幅方向位置に対して位置決めすることを特徴とするテープ接合方法。

Images