JP5091716B2 - テレセントリックレンズ光学系および画像測定装置 - Google Patents
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Description
テレセントリックレンズ光学系は、物体視野が広く、焦点深度が深く、結像倍率が物体の位置に関係なく前側レンズ群と後側レンズ群の焦点距離によって決まるという特徴を有している。そのため、刃工具類や機械部品、アッセンブリされた電子部品等、段差を有する観測対象を観測するのにテレセントリックレンズ光学系がよく用いられる。
これは、前側レンズ群と、この前側レンズ群の後側焦点に前側焦点が一致するように配置された後側レンズ群と、前側レンズ群の後側焦点と後側レンズ群の前側焦点とが一致する位置に配置された絞り機構とを備え、絞り機構に、開口数を変える開口数変更機構が設けられた構造である。
また、テレセントリックレンズ光学系の中にはズームタイプのものが知られているが、このタイプでは、倍率と絞り機構の絞り径とを関連させることが困難になる。
従って、測定対象ワークを所望の倍率で観察できるとともに、その倍率に合った絞り機構を自動的に選択できるから、測定対象ワークの拡大とともに、測定作業効率の向上が図れる。
従って、開口数変更機構によって開口数を変更することにより、長焦点深度を要する用途から高分解能を要する用途まで幅広く対応することができる。よって、用途の違う観測を一つのテレセントリックレンズ光学系で連続して行うことができる。その結果、作業効率が画期的に向上されるという効果を奏する。さらに、用途に応じて別途顕微鏡等を用意しなくても良いので、コストの削減にも貢献することができる。
予め規定された開口数を有する絞りを複数用意するとともに、それぞれの開口数に対する光学性能(焦点深度、分解能など)を既知のものとすれば、様々な観測対象や種々の用途に応じて最適な開口数を選択することが容易である。観測した画像を画像処理して画像測定を行う場合などは、光学性能が既知であるので、最適な画像測定を行うことができる。
しかも、開口数切替操作部によって、各絞り機構の揺動レバーの基端が回動可能に連結され、各絞り機構の揺動レバーが揺動支点を中心に揺動されるから、変倍レンズ群およびこれに対応する絞り機構のいずれかの対を、前側レンズ群および後側レンズ群の他方の光軸上に切り替えた状態において、開口数切替操作部を操作すれば、光軸上に位置する絞り機構の開口数が可変される。つまり、1つの開口数切替操作部を操作するだけで、光軸上に位置する絞り機構の開口数を可変することができるから、使い勝手に優れる。
<実施形態の構成>
図1に、本発明のテレセントリックレンズ光学系を用いた画像測定装置に係る実施形態を示す。
本実施形態の画像測定装置1は、内部に空間を有する筒状の鏡筒2と、この鏡筒2の内部に構成されたテレセントリックレンズ光学系3と、鏡筒2に対して垂直に設けられた照明光学系4と、倍率切替機構5と、テレセントリックレンズ光学系3に連結されたCCDカメラなどの撮像光学系6とを備える。
前筒部21の後側には、中筒部22が着脱可能に連結されている。
中筒部22の後側には、倍率切替機構5を介して2つの後筒部23A,23Bのいずれかが選択的に連結される。
後筒部23A,23Bのうち中筒部22に連結された後筒部23A,23Bの後側には、撮像光学系6が光学的に連結される。
前側レンズ群31は、図2に示すように、凸レンズ、凹レンズおよびこれらの接合レンズから構成されている。後側レンズ群32A,32Bも、図2に示すように、凸レンズ、凹レンズおよびこれらの接合レンズから構成されている。ここでは、後側レンズ群32A,32Bは、倍率が異なる複数組の変倍レンズ群によって構成されている。
前側レンズ群31の後側焦点位置と後側レンズ群32A,32Bの前側焦点位置とが一致するように前側レンズ群31と後側レンズ群32A,32Bとが配置され、この焦点が一致する位置に絞り機構33A,33Bが配置される。
ちなみに、前側レンズ群31や後側レンズ群32A,32Bにおいて、テレセントリシティおよび諸収差の補正のためのレンズの組み合わせは、例えば、本出願人による特願2001−185241号に提示されている。
光ファイバ42は、図示しない光源に接続され、光源からの光を照明用筒部41内に導く。
スライドプレート51には、変倍レンズ群である後側レンズ群32A,32Bおよびこれに対応する絞り機構33A,33Bの対がスライド方向に沿って所定間隔隔てて複数対(2対)配列されている。
ガイド機構52には、スライドプレート51の切り替え位置から切り替えられた倍率を検出する倍率検出手段としての倍率検出スイッチ53,54(なお、倍率検出スイッチ53は図1においてスライドプレート51の下に隠れているため、示されていない。図5参照)が設けられている。つまり、第1変倍レンズ群である後側レンズ群32Aが前側レンズ群31の光軸上に位置したときにスライドプレート51によってオンされる第1倍率検出スイッチ53と、第2変倍レンズ群である後側レンズ群32Bが前側レンズ群31の光軸上に位置したときにスライドプレート51によってオンされる第2倍率検出スイッチ54とが設けられている。
倍率切替操作部55は、スライドプレート51のスライド方向端面中央にスライド方向に沿って突出する操作杆56と、この操作杆56の先端に設けられたつまみ57とから構成されている。
具体的には、図3および図4に示すように、前側レンズ群31の光軸上に配置された第1絞りとしての大開口絞り34と、中間部分が揺動可能にかつ先端が大開口絞り34の位置から退避可能に支持された揺動レバー35と、この揺動レバー35の先端に形成され大開口絞り34の径より小さい径の第2絞りとしての小開口絞り36とを含んで構成されている。
各絞り機構33A,33Bの揺動レバー35の基端には、これらを回動可能に連結し、これらの揺動レバー35を揺動支点を中心に揺動させる開口数切替操作部70が設けられている。
ガイド機構73は、スライドプレート51から一体的に折り曲げ形成された支持プレート76と、この支持プレート76に設けられたスライド片72を案内するガイドレール77とを含んで構成されている。
このような構成において、例えば、図2中点Pに観測対象を配置する。光ファイバ42から発せられた光が、ビームスプリッタ43で反射された後、前側レンズ群31を通過して測定対象に照射される。すると、観測対象からの光は、前側レンズ群31、ビームスプリッタ43を通過した後、絞り機構33Aの大開口絞り34で絞られて後側レンズ群32Aに入射し、撮像光学系6で撮像される。
一方、絞り機構33A,33Bの揺動レバー35を揺動させて、図6に示すように、光軸上に小開口絞り36をセットすると、開口数が小さいので、焦点深度の深い画像が得られる。
(1)後側レンズ群32A,32Bは、倍率が異なる複数組の変倍レンズ群によって構成され、絞り機構33A,33Bは、各変倍レンズ群に対応して複数設けられ、これら変倍レンズ群およびこれに対応する絞り機構33A,33Bのいずれかの対を、前側レンズ群31の光軸上に選択的に切り替える倍率切替機構5が設けられているから、倍率切替機構5によって、所望の倍率の変倍レンズ群を前側レンズ群31の光軸上に切り替えると、この変倍レンズ群と対応して設けられた絞り機構33A,33Bも一緒に光軸上に切り替えられる。
従って、測定対象ワークを所望の倍率で観察できるとともに、その倍率に合った絞り機構33A,33Bを自動的に選択できるから、測定対象ワークの拡大とともに、測定作業効率の向上が図れる。
(4)開口数変更機構によって、開口数を変更することにより、長焦点深度を要する用途から高分解能を要する用途にまで幅広く対応することができる。よって、用途の違う観測を一つのテレセントリックレンズ光学系3で連続して行うことができる。その結果、作業効率が画期的に向上されるという効果を奏する。さらに、用途に応じて別途顕微鏡等を用意しなくても良いので、コストの削減にも貢献することができる。
予め規定された開口数を有する絞りを複数用意するともに、それぞれの開口数に対する光学性能(焦点深度、分解能など)を既知のものとすれば、様々な観測対象や種々の用途に応じて最適な開口数を選択することが容易である。観測した画像を画像処理して画像測定を行う場合などは、光学性能が既知であるので、最適な画像測定を行うことができる。
本発明のテレセントリックレンズ光学系および画像測定装置は、上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
例えば、円板状プレートの外周部分の一部が前側レンズ群31の光軸に重なるように配置し、かつ、円板状プレートを回転可能に構成し、この円板状プレートの回転中心から光軸までの距離を半径とする円周上に変倍レンズ群である後側レンズ群32A,32Bおよびこれと対応する絞り機構33A,33Bを配置しても、同様な効果が期待できる。
例えば、図7に示すように、前側レンズ群31の光軸に対して直交する方向へスライド可能に設けられたスライドプレート81と、このスライドプレート81のスライド方向に沿って、大開口絞り82、中開口絞り83、小開口絞り84を配列し、このスライドプレート81をスライドさせることにより、絞りを切り替えるようにしても、同様な効果が期待できる。この場合、スライドプレート81にV溝85を形成するとともに、これを案内するガイド壁にボール86をばね87で突出する方向へ収納したガイド溝88を形成しておけば、スライドプレート81を各位置に位置決めできる。
この構成によれば、羽91に連結されたレバー92によって羽91の角度を変更することにより、開口数を連続的に変更することができるから、観測対象や用途に応じて最適の開口数に調整することができる。
要するに、絞り機構33A,33Bは、上記実施形態に限られず、開口数を変更できる絞り機構33A,33Bであればよい。
また、変倍レンズ群の組数は、2組に限らず、3組以上であってよい。
例えば、倍率検出スイッチ53,54によって検出された倍率に応じて、変倍レンズ群32A、32Bの倍率補正や、変倍レンズ群32A,32Bを切り替えた際に生じる画像の位置ずれを補正する同軸補正などを行うようにしてもよい。
ちなみに、レンズ倍率は、公称値とは若干誤差を持つため、既知の長さを測定した結果(校正用スケールを測定した結果)を基に、倍率を校正し、この校正した倍率で画像のピクセル値を補正することにより行う。あるいは、網目格子状の各格子点の座標が既知(校正データとして記憶されている)の平面状校正用スケールを変倍レンズ群32A,32Bによって撮像し、この撮像画像データから各格子点の座標を抽出し、この抽出した座標と校正データとの差を基に画像内の場所ごとに倍率を校正し、この校正した倍率で画像のピクセル値を補正するようにしてもよい。
また、同軸補正では、変倍レンズ群32A,32Bを切り替えた際に画像の位置ずれを生じることがある。この状態で十字線を使って測定する場合、切り替えた変倍レンズ群により、ずれた分だけ位置が変化してしまうため、画像のピクセルにオフセットを与えるなどの補正を行う、あるいは、電動デーブルを備えた自動測定装置の場合には、変倍レンズ群によりずれ量をテーブル移動により補正を行う。
3…テレセントリックレンズ光学系、
4…照明光学系、
5…倍率切替機構、
6…撮像光学系、
31…前側レンズ群、
32A,32B…後側レンズ群(変倍レンズ群)、
33A,33B…絞り機構(開口数変更機構)、
34…大開口絞り(第1絞り)、
35…揺動レバー、
36…小開口絞り(第2絞り)、
51…スライドプレート、
52…ガイド機構、
53,54…倍率検出スイッチ(倍率検出手段)、
55…倍率切替操作部、
61…画像処理部、
70…開口数切替操作部、
78,79…開口数検出スイッチ(開口数検出手段)、
81…スライドプレート、
82…大開口絞り、
83…中開口絞り、
84…小開口絞り、
91…羽。
Claims (8)
- 前側レンズ群と、前記前側レンズ群の後側焦点に前側焦点が一致するように配置された後側レンズ群と、前記前側レンズ群の後側焦点と前記後側レンズ群の前側焦点とが一致する位置に配置された絞り機構とを備えたテレセントリックレンズ光学系において、
前記前側レンズ群および前記後側レンズ群の一方は、倍率が異なる複数組の変倍レンズ群によって構成され、
前記絞り機構は、前記各変倍レンズ群に対応してそれぞれ設けられ、
これら変倍レンズ群およびこれに対応する絞り機構のいずれかの対を、前記前側レンズ群および前記後側レンズ群の他方の光軸上に選択的に切り替える倍率切替機構を備えることを特徴とするテレセントリックレンズ光学系。 - 請求項1に記載のテレセントリックレンズ光学系において、
前記倍率切替機構は、スライドプレートと、このスライドプレートを前記前側レンズ群および前記後側レンズ群の他方の光軸に対して略直交する方向へスライド可能に支持するガイド機構と、前記スライドプレートをスライド操作する倍率切替操作部とを備え、
前記スライドプレートには、前記変倍レンズ群およびこれに対応する絞り機構の対が前記スライド方向に沿って複数対配列されていることを特徴とするテレセントリックレンズ光学系。 - 請求項1または請求項2に記載のテレセントリックレンズ光学系において、
前記各絞り機構は、開口数を変える開口数変更機構によって構成されていることを特徴とするテレセントリックレンズ光学系。 - 請求項3に記載のテレセントリックレンズ光学系において、
前記開口数変更機構は、段階的に異なる開口数を有する2以上の絞りを有し、前記絞りを替えることにより、前記開口数を変更することを特徴とするテレセントリックレンズ光学系。 - 請求項2に記載のテレセントリックレンズ光学系において、
前記各絞り機構は、前記前側レンズ群および前記後側レンズ群の他方の光軸上に配置された第1絞りと、中間部分が揺動可能にかつ先端が前記第1絞りの位置から退避可能に支持された揺動レバーと、この揺動レバーの先端に形成され前記第1絞りの径より小さい径の第2絞りとを含んで構成され、
前記各絞り機構の揺動レバーの基端を回動可能に連結し、これらの揺動レバーを揺動支点を中心に揺動させる開口数切替操作部が設けられていることを特徴とするテレセントリックレンズ光学系。 - 請求項5に記載のテレセントリックレンズ光学系において、
前記倍率切替操作部と前記開口数切替操作部とは、前記スライドプレートに前記スライドプレートのスライド方向と平行にかつ互いに同方向へ突出して設けられていることを特徴とするテレセントリックレンズ光学系。 - 請求項1〜6のいずれかに記載のテレセントリックレンズ光学系と、
前記テレセントリックレンズ光学系に連結された撮像光学系とを備えることを特徴とする画像測定装置。 - 請求項3または請求項4に記載のテレセントリックレンズ光学系と、
このテレセントリックレンズ光学系に光を導入する照明光学系と、
前記倍率切替機構によって切り替えられた倍率を検出する倍率検出手段と、
前記開口数変更機構によって切り替えられた開口数を検出する開口数検出手段と、
前記テレセントリックレンズ光学系に連結された撮像光学系と、
この撮像光学系によって得られた画像情報を処理する画像処理部とを備え、
前記画像処理部は、前記倍率検出手段によって検出された倍率および前記開口数検出手段によって検出された開口数に応じて、前記照明光学系の照明条件補正、前記変倍レンズ群の倍率補正、同軸補正のうち少なくとも1つを行うことを特徴とする画像測定装置。
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