JP5088416B2 - 弾性波フィルタ - Google Patents

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Description

本発明は、弾性波フィルタに関し、詳細には、直列腕共振子と、並列腕共振子と、直列腕共振子に対して並列となるように直列腕に接続されているインダクタとを備えるラダー型弾性波フィルタに関する。
近年、例えば、下記の特許文献1などにおいて、弾性波共振子を用いたラダー型弾性波フィルタが提案されている。具体的には、特許文献1には、所謂π型のラダー型弾性波フィルタが記載されている。
特開2006−238101号公報
特許文献1に記載のようなπ型のラダー型弾性波フィルタの基本的な回路構成を図19に示す。図19に示すように、π型のラダー型弾性波フィルタ100は、入力端子101と出力端子102とを結ぶ直列腕103に、ひとつの直列腕共振子104と、ひとつのインダクタ105とが並列に配置されている。また、直列腕103とグラウンド電位とを結ぶ2本の並列腕106のそれぞれに並列腕共振子107が配置されている。このπ型のラダー型弾性波フィルタ100では、直列腕103に配置されている直列腕共振子104に対して並列にインダクタ105が設けられているため、ローパス型のフィルタ特性が得られる。
また、上述のπ型のラダー型弾性波フィルタ以外のタイプのラダー型弾性波フィルタとして、T型のラダー型弾性波フィルタが知られている。図20にT型のラダー型弾性波フィルタの基本的な回路構成を示す。図20に示すように、T型のラダー型弾性波フィルタ110は、入力端子111と出力端子112とを結ぶ直列腕113において、2つの直列腕共振子114,115が直列に接続されている。そして、直列腕共振子114と直列腕共振子115との接続点と、グラウンド電位とを結ぶ並列腕116に並列腕共振子117が配置されている。また、直列腕113には、直列腕共振子114,115に対して並列となるように、インダクタ118が接続されている。
通常、直列腕共振子の反共振点と並列腕共振子の共振点とによって阻止帯域を形成する場合、T型のラダー型弾性波フィルタよりもπ型のラダー型弾性波フィルタの方が高い減衰特性を有する。よって、高い減衰特性を実現する観点からは、π型のラダー型弾性波フィルタを用いた方が有利である。従って、トラップフィルタとしては、π型のラダー型弾性波フィルタが用いられることが多い。
しかしながら、このようなπ型のラダー型フィルタでは、より高い減衰特性をもつ複数の阻止帯域を実現しようとすると、段数を増やすしかなく、インダクタの数が増えてしまう。このため、π型のラダー型フィルタは小型化及び低価格化することが困難であるという問題があった。特に、複数の阻止帯域を形成する目的や、高い減衰特性を得る目的でπ型のラダー型弾性波フィルタ部を複数段接続した場合には、ラダー型フィルタの大型化及び高価格化が顕著になるという問題があった。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、良好なフィルタ特性を有する小型な弾性波フィルタを提供することにある。
本発明に係る弾性波フィルタは、複数の直列腕共振子と、インダクタと、複数の並列腕共振子とを備えている。複数の直列腕共振子は、入力端子と出力端子とを結ぶ直列腕において、互いに直列に接続されている。インダクタは、複数の直列腕共振子のうちの2つ以上の直列腕共振子に対して並列となるように直列腕に接続されている。複数の並列腕共振子は、インダクタと直列腕との接続点とグラウンド電位とを結ぶ並列腕と、隣接する直列腕共振子の接続点とグラウンド電位とを結ぶ並列腕とに配置されている。
本発明のある特定の局面では、インダクタが並列に接続されている2つ以上の直列腕共振子は、第1の直列腕共振子と、第1の直列腕共振子の反共振周波数以上である共振周波数を有する第2の直列腕共振子とを含む。
弾性波共振子は、共振周波数と反共振周波数との間の周波数が印加されたときにL性となり、それ以外の周波数が印加されたときにC性となるため、この構成によれば、第1及び第2の直列腕共振子のうちの一方の直列腕共振子がL性となり他方の直列腕共振子がC性となるため、インダクタと第1及び第2の直列腕共振子とでLCフィルタを形成することができる。従って、減衰特性をより改善することができる。特に、弾性波フィルタが複数の阻止帯域を有するトラップフィルタである場合は、第1の直列腕共振子の共振周波数と、第2の直列腕共振子の共振周波数とを互いに異なる阻止帯域に位置させることが可能となるため、より大きな減衰特性の改善効果が期待できる。
本発明の他の特定の局面では、弾性波フィルタは、阻止帯域と、阻止帯域の低域側に位置している通過帯域とを有する。
本発明の別の特定の局面では、弾性波フィルタはインダクタを複数備える。この構成によれば、より大きな減衰特性の改善効果が期待できる。
本発明のさらに他の特定の局面では、弾性波フィルタは、複数の直列腕共振子と複数の並列腕共振子とが形成されており、複数のインダクタが接続されているフィルタ本体を備え、複数のインダクタは、フィルタ本体の中心に対して点対称に配置されている。この構成によれば、より良好なフィルタ特性を実現することができる。
本発明のさらに別の特定の局面では、インダクタは、2つの直列腕共振子に対して並列に設けられており、複数の並列腕のそれぞれには、ひとつの並列腕共振子が設けられている。この構成によれば、通過帯域における挿入損失をより低減することができる。
本発明のまた他の特定の局面では、複数の並列腕が接続されている複数のアース端子電極をさらに備え、複数のアース端子電極は、弾性波フィルタの中心に対して、点対称に配置されている。この構成によれば、より良好なフィルタ特性を実現することができる。
本発明では、2つ以上の直列腕共振子に対して並列となるように直列腕に接続されているインダクタが設けられているため、π型のラダー型弾性波フィルタと比べて共振子の数量に対するインダクタの数量を少なくできるので、小型化可能であり、かつ、インダクタの数量に対する共振子の数量の割合を高くできるため高いフィルタ特性、特に阻止帯域の広帯域化及び阻止帯域における高い減衰量を実現することができる。
図1は、第1の実施形態の弾性波フィルタの略図的模式図である。 図2は、直列腕共振子及び並列腕共振子を構成する弾性表面波共振子の略図的断面図である。 図3は、弾性表面波共振子の略図的平面図である。 図4は、π型のラダー型弾性波フィルタとT型のラダー型弾性波フィルタとの減衰特性を示すグラフである。なお、図4において実線がπ型のラダー型弾性波フィルタの減衰特性を表し、破線がT型のラダー型弾性波フィルタの減衰特性を表す。 図5は、第1の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性と、π型の弾性波フィルタの減衰特性とを表すグラフである。図5において、実線が第1の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性を示し、破線がπ型の弾性波フィルタの減衰特性を示している。 図6は、第1の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性と、π型の弾性波フィルタの減衰特性とを表すグラフである。図6において、実線が第1の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性を示し、破線がπ型の弾性波フィルタの減衰特性を示している。 図7は、第1の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性と、図9に示す弾性波フィルタの減衰特性とを表すグラフである。図7において、実線が第1の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性を示し、破線が図9に示す弾性波フィルタの減衰特性を示している。 図8は、第1の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性と、図9に示す弾性波フィルタの減衰特性とを表すグラフである。図8において、実線が第1の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性を示し、破線が図9に示す弾性波フィルタの減衰特性を示している。 図9は、2段接続されたπ型の弾性波フィルタの略図的模式図である。 図10は、第2の実施形態に係る弾性波フィルタの略図的模式図である。 図11は、3段接続されたπ型のラダー型弾性波フィルタの略図的模式図である。 図12は、第2の実施形態に係る弾性波フィルタ及び3段接続されたπ型のラダー型弾性波フィルタの減衰特性を表すグラフである。図12において、実線が第2の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性を示し、破線が図11に示す弾性波フィルタの減衰特性を示している。 図13は、第3の実施形態に係る弾性波フィルタの略図的模式図である。 図14は、2段接続されたバンドパス型の弾性波フィルタの略図的模式図である。 図15は、第3の実施形態に係る弾性波フィルタ及び図14に示す弾性波フィルタの減衰特性を表すグラフである。図15において、実線が第3の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性を示し、破線が図14に示す弾性波フィルタの減衰特性を示している。 図16は、第4の実施形態における弾性波フィルタの略図的裏面図である。 図17は、参考例に係る弾性波フィルタの略図的裏面図である。 図18は、第4の実施形態に係る弾性波フィルタ及び図17に示す弾性波フィルタの減衰特性を表すグラフである。図18において、実線が第4の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性を示し、破線が図17に示す弾性波フィルタの減衰特性を示している。 図19は、π型のラダー型弾性波フィルタの基本的な回路構成を示す図である。 図20は、T型のラダー型弾性波フィルタの基本的な回路構成を示す図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
(第1の実施形態)
本実施形態では、地上波デジタル放送受信帯域(470〜770MHz)を通過帯域とし、RF送信周波数帯域(800MHz近傍及び900MHz近傍)を阻止帯域とするトラップフィルタとしての弾性波フィルタについて説明する。
図1は、第1の実施形態の弾性波フィルタの略図的模式図である。図1に示すように、弾性波フィルタ1は、入力端子10と、出力端子11とを結ぶ直列腕12において、互いに直列に接続されている複数の直列腕共振子S1,S2を備えている。具体的には、本実施形態では、直列腕12には、第1の直列腕共振子S1と、第2の直列腕共振子S2とが設けられている。本実施形態では、第1の直列腕共振子S1の反共振周波数は、第2の直列腕共振子S2の共振周波数以下にされている。
また、直列腕12には、インダクタ13aが接続されている。インダクタ13aは、第1及び第2の直列腕共振子S1,S2に対して並列に設けられている。具体的には、インダクタ13aは、第1の直列腕共振子S1と入力端子10との間の接続点14と、第2の直列腕共振子S2と出力端子11との間の接続点15との間に接続されている。
インダクタ13aと直列腕12との接続点14とグラウンド電位とは、第1の並列腕16aによって接続されている。インダクタ13aと直列腕12との接続点15とグラウンド電位とは、第3の並列腕16cによって接続されている。また、互いに隣接する第1の直列腕共振子S1と第2の直列腕共振子S2との接続点17とグラウンド電位とは、第2の並列腕16bによって接続されている。並列腕16a〜16cには、それぞれ並列腕共振子P1〜P3が配置されている。
本実施形態では、上記直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1〜P3は、弾性波共振子により構成されている。より具体的には、弾性表面波共振子により接続されている。もっとも、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1〜P3は、弾性表面波以外の弾性波を利用した弾性波共振子であってもよい。例えば、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1〜P3は、弾性境界波を利用した弾性境界波共振子であってもよいし、薄膜バルク弾性波共振子であってもよい。
図2に、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1〜P3を構成する弾性表面波共振子20の略図的断面図を示す。また、図3に、弾性表面波共振子20の略図的平面図を示す。図2及び図3に示すように、弾性表面波共振子20は、圧電基板21上に形成されているIDT電極22と、IDT電極22の弾性表面波の伝搬方向xにおける両側に配置されている第1及び第2のグレーティング反射器23,24とを備えている。図3に示すように、IDT電極22は、互いに間挿し合う第1及び第2のくし歯電極22a及び22bを有する。
圧電基板21は、LiNbOやLiTaOなどの圧電材料からなる基板により構成することができる。圧電基板21は、例えば、42°YカットX伝搬LiTaO基板により構成することができる。IDT電極22並びに第1及び第2のグレーティング反射器23,24は、公知の1または複数の導電材料により形成することができる。IDT電極22並びに第1及び第2のグレーティング反射器23,24は、例えば、Alにより形成することができる。
なお、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1〜P3は、同一の圧電基板上に形成されていてもよく、別個の圧電基板上に形成されていてもよい。本実施形態では、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1〜P3が同一の圧電基板21上に形成されている例について説明する。また、本実施形態では、直列腕共振子S1,S2及び並列腕共振子P1〜P3が形成されている圧電基板21が、図示しないアルミナ基板にフェースダウン実装されている。アルミナ基板に実装された圧電基板21は、図示しない封止樹脂により封止されている。
ところで、上述のように、ラダー型弾性波フィルタには、図19に示すようなπ型のラダー型弾性波フィルタと、図20に示すようなT型のラダー型弾性波フィルタとがある。π型のラダー型弾性波フィルタとT型のラダー型弾性波フィルタとを比べると、図4に示すように、π型のラダー型弾性波フィルタの方が高い減衰特性を有する。従って、高い減衰特性を実現する観点からは、π型のラダー型弾性波フィルタを用いた方が有利である。しかしながら、図19に示すようなπ型のラダー型弾性波フィルタで、より高い減衰量をもつ複数の阻止帯域(減衰特性)を実現しようとすると、段数を増やすしか方法がない。段数を増やした場合、インダクタが段数毎に必要となるため、大型化すると共に、コストアップしてしまう。
それに対して、本実施形態の弾性波フィルタ1では、第1及び第2の直列腕共振子S1,S2に対して並列となるように直列腕12に接続されているインダクタ13aが設けられている。そして、インダクタ13aと直列腕12との接続点14,15とグラウンド電位との間を結ぶ並列腕16a、16cと、並列腕16a、16cに配置されている並列腕共振子P1、P3とが設けられている。このため、直列腕共振子2つ及び並列腕共振子3つに対してひとつのインダクタ13aのみが存在することとなる。従って、弾性波フィルタ1では、共振子の数量に対するインダクタの数量が少ない。よって、弾性波フィルタ1を小型化することができる。また、本実施形態では、インダクタの数量に対する共振子の数量の割合が高いため、以下に具体的に示すように、高いフィルタ特性を実現することができる。
図5及び図6は、本実施形態の弾性波フィルタ1の減衰特性と、図19に示すπ型の弾性波フィルタ100の減衰特性とを表すグラフである。なお、図5及び図6において、実線が第1の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性を示し、破線がπ型の弾性波フィルタの減衰特性を示している。図5及び図6における弾性波フィルタ1の設計パラメータ及び弾性波フィルタ100の設計パラメータは下記の通りである。
弾性波フィルタ1の設計パラメータ:
第1の並列腕共振子P1:
IDT電極の波長:4.3039μm、反射器の波長:4.3039μm、交叉幅:48.63μm、IDT電極の対数:79対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:902MHz、反共振周波数:935MHz
第1の直列腕共振子S1:
IDT電極の波長:4.7255μm、反射器の波長:4.7255μm、交叉幅:57.17μm、IDT電極の対数:72対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.549、共振周波数:830MHz、反共振周波数:859MHz
第2の並列腕共振子P2:
IDT電極の波長:4.7843μm、反射器の波長:4.7843μm、交叉幅:54.9μm、IDT電極の対数:65対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:819MHz、反共振周波数:848MHz
第2の直列腕共振子S2:
IDT電極の波長:4.2941μm、反射器の波長:4.2941μm、交叉幅:50.98μm、IDT電極の対数:96対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.669、共振周波数:904MHz、反共振周波数:936MHz
第3の並列腕共振子P3:
IDT電極の波長:4.2001μm、反射器の波長:4.2001μm、交叉幅:54.9μm、IDT電極の対数:87対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:922MHz、反共振周波数:956MHz
インダクタ13a:7.8nH
弾性波フィルタ100の設計パラメータ:
第1の並列腕共振子107a:
IDT電極の波長:4.7353μm、反射器の波長:4.7353μm、交叉幅:40.24μm、IDT電極の対数:90対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:827MHz、反共振周波数:857MHz
直列腕共振子104:
IDT電極の波長:4.0784μm、反射器の波長:4.0784μm、交叉幅:60.71μm、IDT電極の対数:58対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:946MHz、反共振周波数:980MHz
第2の並列腕共振子107b:
IDT電極の波長:4.3039μm、反射器の波長:4.3039μm、交叉幅:97.41μm、IDT電極の対数:55対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:904MHz、反共振周波数:936MHz
インダクタ105:6.4nH
また、図7及び図8に、弾性波フィルタ1の減衰特性と、図9に示す2段接続されたπ型の弾性波フィルタ300の減衰特性とを示す。なお、図7及び図8において、実線が第1の実施形態の弾性波フィルタ1の減衰特性を示し、破線が図9に示す弾性波フィルタの減衰特性を示している。図7における弾性波フィルタ1の設計パラメータは、上記設計パラメータと同様である。図9に示す弾性波フィルタ300の設計パラメータは下記の通りである。
弾性波フィルタ300の設計パラメータ:
第1の並列腕共振子107a:
IDT電極の波長:4.2353μm、反射器の波長:4.2353μm、交叉幅:40μm、IDT電極の対数:90対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:915MHz、反共振周波数:949MHz
第1の直列腕共振子104a:
IDT電極の波長:4.6351μm、反射器の波長:4.6351μm、交叉幅:60.78μm、IDT電極の対数:104対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:844MHz、反共振周波数:875MHz
第2の並列腕共振子107b:
IDT電極の波長:4.7353μm、反射器の波長:4.7353μm、交叉幅:45.49μm、IDT電極の対数:60対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:826MHz、反共振周波数:856MHz
第2の直列腕共振子104b:
IDT電極の波長:4.2059μm、反射器の波長:4.2059μm、交叉幅:75.69μm、IDT電極の対数:61対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:922MHz、反共振周波数:955MHz
第3の並列腕共振子107c:
IDT電極の波長:4.2059μm、反射器の波長:4.2059μm、交叉幅:41.18μm、IDT電極の対数:100対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:921MHz、反共振周波数:954MHz
インダクタ105a:3.2nH
インダクタ105b:4.5nH
図5及び図6に示すように、本実施形態の弾性波フィルタ1では、インダクタ13aと並列腕共振子P1〜P3のC成分とによってローパスフィルタが構成されることにより、広い通過帯域が形成される。そして、その通過帯域内に、並列腕共振子P1〜P3の共振点により、2つの阻止帯域が形成されている。また、本実施形態では、第1の直列腕共振子S1の反共振周波数が、第2の直列腕共振子S2の共振周波数以下にされている。このため、第1及び第2の直列腕共振子S1,S2のうちの一方の直列腕共振子がL性となり他方の直列腕共振子がC性となる。よって、インダクタ13aと第1及び第2の直列腕共振子S1,S2とで2つの減衰極を有するLCフィルタを形成することができ、2つの減衰極を前記2つの阻止帯域に配置することにより、減衰特性をより改善できる。従って、本実施形態は、従来の1段接続のπ型の弾性波フィルタよりも阻止帯域における減衰量が大きくなっており、かつ阻止帯域が広域となっている。
また、図7及び図8に示すように、本実施形態の弾性波フィルタ1では、従来の2段接続のπ型の弾性波フィルタと比べてインダクタの数量が少ないにもかかわらず、ほぼ同等の減衰特性が得られることが分かる。
以上より、本実施形態によれば、小型でありつつ高い減衰特性を有する弾性波フィルタを実現できることが分かる。
以下、本発明を実施した好ましい形態の他の例について説明する。なお、下記の説明において、上記第1の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照する。
(第2の実施形態)
図10に第2の実施形態に係る弾性波フィルタ2の略図的模式図である。図10に示すように、本実施形態の弾性波フィルタ2は、上記第1の実施形態の弾性波フィルタの後段に、π型のラダー型フィルタ部をさらに接続したものである。具体的には、弾性波フィルタ2は、直列腕12において、互いに直列に接続されている第1〜第3の直列腕共振子S1〜S3を備えている。第1の直列腕共振子S1と入力端子10との間の接続点14と、第2の直列腕共振子S2と第3の直列腕共振子S3との間の接続点15との間には、インダクタ13aが接続されている。また、接続点15と、第3の直列腕共振子S3と出力端子11との間の接続点18との間には、インダクタ13bが接続されている。接続点14,17,15,18とグラウンド電位とは、第1〜第4の並列腕16a〜16dによって接続されている。第1〜第4の並列腕16a〜16dには、それぞれ並列腕共振子P1〜P4が配置されている。
本実施形態においても、上記第1の実施形態と同様に、第1の直列腕共振子S1の反共振周波数は、第2の直列腕共振子S2の共振周波数以下にされている。
本実施形態の弾性波フィルタ2の減衰特性を図12に示す。また、比較として、図11に示すように、3段接続されたπ型のラダー型弾性波フィルタ400の減衰特性も図12に併記する。図12において、実線が第2の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性を示し、破線が図11に示す弾性波フィルタの減衰特性を示している。なお、図12において、弾性波フィルタ2の設計パラメータ及び弾性波フィルタ400の設計パラメータは下記の通りである。
弾性波フィルタ2の設計パラメータ:
第1の並列腕共振子P1:
IDT電極の波長:4.3137μm、反射器の波長:4.3137μm、交叉幅:40.39μm、IDT電極の対数:56対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:899MHz、反共振周波数:931MHz
第1の直列腕共振子S1:
IDT電極の波長:4.6961μm、反射器の波長:4.6961μm、交叉幅:40.39μm、IDT電極の対数:101対、反射器の対数:1.5対、デューティー:0.569、共振周波数:829MHz、反共振周波数:859MHz
第2の並列腕共振子P2:
IDT電極の波長:4.7255μm、反射器の波長:4.7255μm、交叉幅:47.06μm、IDT電極の対数:115対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:828MHz、反共振周波数:857MHz
第2の直列腕共振子S2:
IDT電極の波長:4.2251μm、反射器の波長:4.2251μm、交叉幅:72.55μm、IDT電極の対数:66対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.539、共振周波数:920MHz、反共振周波数:953MHz
第3の並列腕共振子P3:
IDT電極の波長:4.2743μm、反射器の波長:4.2743μm、交叉幅:69.02μm、IDT電極の対数:75対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:908MHz、反共振周波数:941MHz
第3の直列腕共振子S3:
IDT電極の波長:4.1176μm、反射器の波長:4.1176μm、交叉幅:102.35μm、IDT電極の対数:21対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:936MHz、反共振周波数:967MHz
第4の並列腕共振子P4:
IDT電極の波長:4.1863μm、反射器の波長:4.1863μm、交叉幅:67.84μm、IDT電極の対数:53対、反射器の対数:3.5対、デューティー:0.569、共振周波数:922MHz、反共振周波数:956MHz
インダクタ13a:7.2nH
インダクタ13b:7.1nH
弾性波フィルタ400の設計パラメータ:
第1の並列腕共振子107a:
IDT電極の波長:4.2647μm、反射器の波長:4.2647μm、交叉幅:40.78μm、IDT電極の対数:66対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:909MHz、反共振周波数:942MHz
第1の直列腕共振子104a:
IDT電極の波長:4.6471μm、反射器の波長:4.6471μm、交叉幅:55.69μm、IDT電極の対数:104対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:842MHz、反共振周波数:873MHz
第2の並列腕共振子107b:
IDT電極の波長:4.7353μm、反射器の波長:4.7353μm、交叉幅:40μm、IDT電極の対数:94対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:827MHz、反共振周波数:857MHz
第2の直列腕共振子104b:
IDT電極の波長:4.2255μm、反射器の波長:4.2255μm、交叉幅:70.2μm、IDT電極の対数:62対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:919MHz、反共振周波数:951MHz
第3の並列腕共振子107c:
IDT電極の波長:4.2549μm、反射器の波長:4.2549μm、交叉幅:58.04μm、IDT電極の対数:94対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:912MHz、反共振周波数:945MHz
第3の直列腕共振子104c:
IDT電極の波長:4.1373μm、反射器の波長:4.1373μm、交叉幅:49.41μm、IDT電極の対数:58対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:934MHz、反共振周波数:967MHz
第4の並列腕共振子107d:
IDT電極の波長:4.1667μm、反射器の波長:4.1667μm、交叉幅:54.9μm、IDT電極の対数:52対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:926MHz、反共振周波数:960MHz
インダクタ105a:3.6nH
インダクタ105b:4.8nH
インダクタ105c:4.6nH
図12に示す結果から、本実施形態の弾性波フィルタ2の方が、3段接続された弾性波フィルタ400よりもインダクタの数量が少ないにもかかわらず、本実施形態の弾性波フィルタ2は、3段接続された弾性波フィルタ400と同等以上の減衰特性を有していることが分かる。
(第3の実施形態)
図13は、第3の実施形態に係る弾性波フィルタ4の略図的模式図である。図13に示すように、本実施形態の弾性波フィルタ4は、上記の第1の実施形態に係る弾性波フィルタ1が2段に接続されたものである。具体的には、弾性波フィルタ4では、直列腕12において、互いに直列に接続されている第1〜第4の直列腕共振子S1〜S4が配置されている。第1の直列腕共振子S1と入力端子10との間の接続点14と、第2の直列腕共振子S2と第3の直列腕共振子S3との間の接続点15との間には、インダクタ13aが接続されている。また、接続点15と、第4の直列腕共振子S4と出力端子11との間の接続点8との間には、インダクタ13cが接続されている。上記接続点14,15,8,9とグラウンド電位との間、第1の直列腕共振子S1と第2の直列腕共振子S2との間の接続点17とグラウンド電位との間、並びに第3の直列腕共振子S3と第4の直列腕共振子S4との間の接続点9とグラウンド電位との間には、第1〜第5の並列腕16a〜16eが接続されている。第1〜第5の並列腕16a〜16eには、第1〜第5の並列腕共振子P1〜P5が配置されている。
本実施形態の弾性波フィルタ4は、阻止帯域を2つ有し、その2つの阻止帯域は、通過帯域の高域側に位置している。
本実施形態においても、上記第1の実施形態と同様に、第1の直列腕共振子S1の反共振周波数は、第2の直列腕共振子S2の共振周波数以下にされている。また、第3の直列腕共振子S3の反共振周波数は、第4の直列腕共振子S4の共振周波数以下にされている。
本実施形態の弾性波フィルタ3の減衰特性を図15に示す。また、比較として、図14に示すバンドパス型の弾性波フィルタ600の減衰特性も図15に示す。図15において、実線が第3の実施形態の弾性波フィルタ4の減衰特性を示し、破線が図14に示す弾性波フィルタ600の減衰特性を示している。なお、図15において、弾性波フィルタ4の設計パラメータ及び弾性波フィルタ600の設計パラメータは下記の通りである。
弾性波フィルタ4の設計パラメータ:
第1の並列腕共振子P1:
IDT電極の波長:4.2785μm、反射器の波長:4.2785μm、交叉幅:57.88μm、IDT電極の対数:70対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:905MHz、反共振周波数:939MHz
第1の直列腕共振子S1:
IDT電極の波長:4.7431μm、反射器の波長:4.7431μm、交叉幅:85.88μm、IDT電極の対数:109対、反射器の対数:1.5対、デューティー:0.569、共振周波数:826MHz、反共振周波数:857MHz
第2の並列腕共振子P2:
IDT電極の波長:4.7823μm、反射器の波長:4.7823μm、交叉幅:42.59μm、IDT電極の対数:53対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:819MHz、反共振周波数:848MHz
第2の直列腕共振子S2:
IDT電極の波長:4.1765μm、反射器の波長:4.1765μm、交叉幅:80.24μm、IDT電極の対数:60対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.619、共振周波数:926MHz、反共振周波数:960MHz
第3の並列腕共振子P3:
IDT電極の波長:4.1765μm、反射器の波長:4.1765μm、交叉幅:81.88μm、IDT電極の対数:85対、反射器の対数:3.5対、デューティー:0.569、共振周波数:924MHz、反共振周波数:960MHz
第3の直列腕共振子S3:
IDT電極の波長:4.7039μm、反射器の波長:4.7039μm、交叉幅:72.42μm、IDT電極の対数:95対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:832MHz、反共振周波数:862MHz
第4の並列腕共振子P4:
IDT電極の波長:4.8117μm、反射器の波長:4.8117μm、交叉幅:81.41μm、IDT電極の対数:33対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:814MHz、反共振周波数:842MHz
第4の直列腕共振子S4:
IDT電極の波長:4.1765μm、反射器の波長:4.1765μm、交叉幅:65.18μm、IDT電極の対数:72対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.619、共振周波数:926MHz、反共振周波数:960MHz
第5の並列腕共振子P5:
IDT電極の波長:4.3187μm、反射器の波長:4.3187μm、交叉幅:86.54μm、IDT電極の対数:61対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.569、共振周波数:900MHz、反共振周波数:934MHz
インダクタ13a:9.5nH
インダクタ13c:10.0nH
弾性波フィルタ600の設計パラメータ:
第1の並列腕共振子601:
IDT電極の波長:4.6863μm、反射器の波長:4.6863μm、交叉幅:69.16μm、IDT電極の対数:49対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.385
第2の並列腕共振子602:
IDT電極の波長:5.2647μm、反射器の波長:5.2647μm、交叉幅:45μm、IDT電極の対数:39対、反射器の対数:3.5対、デューティー:0.385
第1の直列腕共振子603:
IDT電極の波長:5.6667μm、反射器の波長:5.6667μm、交叉幅:82.8μm、IDT電極の対数:105対、反射器の対数:1.5対、デューティー:0.391
第3の並列腕共振子604:
IDT電極の波長:4.8039μm、反射器の波長:4.8039μm、交叉幅:49.26μm、IDT電極の対数:74対、反射器の対数:1.5対、デューティー:0.385
第4の並列腕共振子605:
IDT電極の波長:4.8235μm、反射器の波長:4.8235μm、交叉幅:51.43μm、IDT電極の対数:43対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.385
第2の直列腕共振子606:
IDT電極の波長:5.6471μm、反射器の波長:5.6471μm、交叉幅:67.27μm、IDT電極の対数:105対、反射器の対数:1.5対、デューティー:0.391
第5の並列腕共振子607:
IDT電極の波長:4.7157μm、反射器の波長:4.7157μm、交叉幅:53.16μm、IDT電極の対数:52対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.385
第6の並列腕共振子608:
IDT電極の波長:5.3039μm、反射器の波長:5.3039μm、交叉幅:45μm、IDT電極の対数:63対、反射器の対数:4.5対、デューティー:0.385
インダクタ609:19nH
インダクタ610:27nH
インダクタ611:19nH
図15に示す結果から、本実施形態の弾性波フィルタ4の方が、弾性波フィルタ600よりもインダクタの数量が少ないにもかかわらず、本実施形態の弾性波フィルタ4は、バンドパス型の弾性波フィルタ600と同等以上の減衰特性を有し、バンドパス型の弾性波フィルタ600より通過帯域における挿入損失が小さいことが分かる。
なお、本実施形態では、上記第1の実施形態の弾性波フィルタが2段に接続されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。本発明においては、上記第1の実施形態の弾性波フィルタが3段以上接続されていてもよい。このように、接続段数を増やすことにより、より多くの減衰極を形成することが可能となる。
(第4の実施形態)
本実施形態の弾性波フィルタは、上記の第3の実施形態の弾性波フィルタと同様の回路構成を有している。このため、本実施形態において、図13は、上記第3の実施形態と共通に参照する。
本実施形態では、弾性波フィルタは、図16に示すように、第1〜第3の直列腕共振子S1〜S3及び第1〜第4の並列腕共振子P1〜P4が形成されている圧電基板が実装されたアルミナ基板を樹脂封止したフィルタ本体としてのフィルタチップ30を備えている。フィルタチップ30の裏面には、入力端子10に接続されている入力端側電極31と、出力端子11に接続されている出力端側電極32とが形成されている。入力端側電極31と、出力端側電極32とは、裏面から視た際に、フィルタ本体としてのフィルタチップ30の中心に対して点対称に配置されている。
また、フィルタチップ30の裏面には、グラウンド電位に接続されるアース端子電極33,34が形成されている。アース端子電極33,34は、裏面から視た際に、弾性波フィルタの中心、すなわち、フィルタチップ30の中心に対して点対称に配置されている。
また、本実施形態では、インダクタ13a、13bは、それぞれインダクタチップ35,36内に形成されている。そして、インダクタチップ35,36がフィルタチップ30に実装されている。
本実施形態の弾性波フィルタの減衰特性を図18に示す。また、比較のために、図17に示すように、アース端子電極41〜43がフィルタチップ40の中心に対して点対称には配置されておらず、入力端側電極44と出力端側電極45ともフィルタチップ40の中心に対して点対称には配置されていない弾性波フィルタの減衰特性も図18に合わせて示す。図18において、実線が第4の実施形態の弾性波フィルタの減衰特性を示し、破線が図17に示す弾性波フィルタの減衰特性を示している。なお、図18において、第4の実施形態の弾性波フィルタ及び図17に示す弾性波フィルタの設計パラメータは、上記第3の実施形態の弾性波フィルタの設計パラメータと同様である。
図18に示す結果から、入力端側電極と出力端側電極とをフィルタチップ30の中心に対して点対称に配置し、かつ複数のアース端子電極をフィルタチップ30の中心に対して点対称に配置した方が、点対称に配置しない場合に比べて高い減衰特性が得られることが分かる。
なお、本発明において、インダクタは、フィルタ本体と別個に設けられたインダクタチップにより構成されている必要はない。インダクタは、例えば、フィルタ本体に形成されているコイルパターンなどにより構成されていてもよい。
S1…第1の直列腕共振子
S2…第2の直列腕共振子
S3…第3の直列腕共振子
S4…第4の直列腕共振子
P1…第1の並列腕共振子
P2…第2の並列腕共振子
P3…第3の並列腕共振子
P4…第4の並列腕共振子
P5…第5の並列腕共振子
1〜5…弾性波フィルタ
8,9,14,15,17,18…接続点
10…入力端子
11…出力端子
12…直列腕
13a…インダクタ
13b…インダクタ
13c…インダクタ
16a…第1の並列腕
16b…第2の並列腕
16c…第3の並列腕
16d…第4の並列腕
20…弾性表面波共振子
21…圧電基板
22…IDT電極
22a、22b…くし歯電極
23…第1のグレーティング反射器
24…第2のグレーティング反射器
30…フィルタチップ
31…入力端側電極
32…出力端側電極
33,34…アース端子電極
35,36…インダクタチップ
40…フィルタチップ
41〜43…アース端子電極
44…入力端側電極
45…出力端側電極

Claims (7)

  1. 入力端子と出力端子とを結ぶ直列腕において、互いに直列に接続されている複数の直列腕共振子と、
    前記複数の直列腕共振子のうちの2つ以上の直列腕共振子に対して並列となるように前記直列腕に接続されているインダクタと、
    前記インダクタと前記直列腕との接続点とグラウンド電位とを結ぶ並列腕と、隣接する前記直列腕共振子の接続点とグラウンド電位とを結ぶ並列腕とに配置されている複数の並列腕共振子とを備え、
    前記インダクタを複数備え、
    前記複数の直列腕共振子と前記複数の並列腕共振子とが形成されており、前記複数のインダクタが接続されているフィルタ本体を備え、前記複数のインダクタは、前記フィルタ本体の中心に対して点対称に配置されている、弾性波フィルタ。
  2. 少なくともひとつの阻止帯域を形成するトラップフィルタとしての弾性波フィルタであって、
    入力端子と出力端子とを結ぶ直列腕において、互いに直列に接続されている複数の直列腕共振子と、
    前記複数の直列腕共振子のうちの2つ以上の直列腕共振子に対して並列となるように前記直列腕に接続されているインダクタと、
    前記インダクタと前記直列腕との接続点とグラウンド電位とを結ぶ並列腕と、隣接する前記直列腕共振子の接続点とグラウンド電位とを結ぶ並列腕とに配置されている複数の並列腕共振子とを備え、
    少なくとも一つの前記直列腕共振子の共振周波数と、少なくとも一つの前記並列腕共振子の共振周波数とが前記阻止帯域に位置している、弾性波フィルタ。
  3. 第1及び第2の阻止帯域を形成するトラップフィルタとしての弾性波フィルタであって、
    入力端子と出力端子とを結ぶ直列腕において、互いに直列に接続されている複数の直列腕共振子と、
    前記複数の直列腕共振子のうちの2つ以上の直列腕共振子に対して並列となるように前記直列腕に接続されているインダクタと、
    前記インダクタと前記直列腕との接続点とグラウンド電位とを結ぶ並列腕と、隣接する前記直列腕共振子の接続点とグラウンド電位とを結ぶ並列腕とに配置されている複数の並列腕共振子とを備え、
    少なくとも一つの前記並列腕共振子の共振周波数が前記第1の阻止帯域に位置し、他の少なくとも一つの前記並列腕共振子の共振周波数が前記第2の阻止帯域に位置している、弾性波フィルタ。
  4. 前記インダクタが並列に接続されている2つ以上の直列腕共振子は、第1の直列腕共振子と、前記第1の直列腕共振子の反共振周波数以上である共振周波数を有する第2の直列腕共振子とを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。
  5. 阻止帯域と、前記阻止帯域の低域側に位置している通過帯域とを有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。
  6. 前記インダクタは、2つの前記直列腕共振子に対して並列に設けられており、前記複数の並列腕のそれぞれには、ひとつの前記並列腕共振子が設けられている、請求項1〜5のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。
  7. 前記複数の並列腕が接続されている複数のアース端子電極をさらに備え、前記複数のアース端子電極は、前記弾性波フィルタの中心に対して、点対称に配置されている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の弾性波フィルタ。
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