JP2003087082A - ラダー型弾性表面波フィルタ素子 - Google Patents

ラダー型弾性表面波フィルタ素子

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JP2003087082A
JP2003087082A JP2001281090A JP2001281090A JP2003087082A JP 2003087082 A JP2003087082 A JP 2003087082A JP 2001281090 A JP2001281090 A JP 2001281090A JP 2001281090 A JP2001281090 A JP 2001281090A JP 2003087082 A JP2003087082 A JP 2003087082A
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ladder
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saw
acoustic wave
surface acoustic
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Masaki Ugawa
政樹 鵜川
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Toyo Communication Equipment Co Ltd
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Toyo Communication Equipment Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 RF段用ラダー型SAWフィルタの3d
Bから10dB近辺の減衰傾度及び通過帯域近傍の阻止
域減衰量を改善する手段を得ることを目的とする。 【解決手段】 圧電基板の主表面上に弾性表面波の伝搬
方向に沿ってインターデジタルトランスデューサと該イ
ンターデジタルトランスデューサの両側にグレーティン
グ反射器を配置した弾性表面波共振素子を用いたラダー
型弾性表面波フィルタ素子において、直列腕の最外側の
弾性表面波共振素子のインターデジタルトランスデュー
サの電極周期λsと直列腕の最外側を除いた少なくとも
一つの弾性表面波共振素子のインターデジタルトランス
デューサの電極周期λs2とを異にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ラダー型弾性表面
波フィルタ素子に関し、特に通過帯域の高周波側近傍の
3dBから10dBにかけての減衰傾度を改善し、且つ
通過帯域近傍の阻止域の減衰量を高減衰に改善したラダ
ー型弾性表面波フィルタ素子に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、弾性表面波(Surface Acoustic W
ave:以下、SAW)デバイスは、高性能、小型、量産
性等の優れた特徴を有していることから例えば携帯電話
機等に多く用いられている。SAWデバイスの中でも、
通過帯域特性カーブの両肩の減衰傾度が急峻であると共
に、低挿入損失という優れたフィルタ特性を有するラダ
ー型SAWフィルタがセルラー携帯電話機等のRF(Ra
dio Frequency)段に数多く用いられている。周知の通
り、ラダー型SAWフィルタは同一圧電基板上に一端子
対SAW共振子複数個を直列、並列交互に配置して梯子
型に構成した共振子型のSAWフィルタである。
【0003】図5はラダー型SAWフィルタを構成する
ための素子であるSAW共振素子の一例を示す平面図で
あって、圧電基板1の主面上にSAWの伝搬方向に沿っ
てすだれ状のくし形電極(Interdigital Transducer:
以下、IDT)2を配置すると共に、 SAWエネルギ
ーを該IDT2上に閉じ込めるために前記IDT2の両
側であってSAWの伝搬方向となる位置にグレーティン
グ反射器(Reflector:以下、反射器)3を配置してS
AW共振素子を構成したものである。そして、IDT電
極2は夫々互いに間挿し合う複数の電極指を有する一対
のくし形電極から構成され、夫々のくし形電極から延出
した一対の入力リード端子(IN)と出力リード端子
(OUT)を備えた一端子対SAW共振素子を構成して
いる。
【0004】図6は従来のラダー型SAWフィルタ素子
の構成を示す平面図であって、圧電基板4上にSAWの
伝搬方向と直交するよう、図1に示すSAW共振子5個
(5〜9)を互いに音響的な影響を及ぼさないような間
隔で併置し、入力(IN)電極10、出力(OUT)電
極11、引き回し電極12及びアース電極13とを用い
て直列、並列、直列、…と梯子(ラダー)型構造になる
ように電極パターンを形成し、図10に示す如くパッケ
ージの夫々の対応する端子電極14へ図10(a)に示
す如くワイヤ15を用いてボンディング、或は図10
(b)に示す如くバンプ16を用いてフリップチップボ
ンディング接続してなるラダー型SAWフィルタを構成
する。
【0005】圧電共振子を表すのに一般的に採用されて
いる電気的符号を用いて、図6に示す5素子からなるラ
ダー型SAWフィルタを表すと、図7(b)に示す5素
子のラダー型回路で表すことができる。直列腕はインピ
ーダンス表示(Zs,2Zs)、並列腕はアドミタンス
表示(2Yp)とし、図6に対応するように、同一の共
振子番号を付している。
【0006】即ち、図7(b)に示した各SAW共振素
子のうち、5,7,9は入力端子10に対し直列腕に、
6,8は並列腕に接続されている。図7(b)に示すラ
ダー型回路の原回路は、図7(a)に示す如く直列腕と
並列腕とが共に1個の共振子からなる基本区間を、互い
にインピーダンスが整合するように4区間を縦続接続し
たものとして表現することができる。
【0007】図8に示す如く基本区間のパラメータを、
基本区間の直列腕のSAW共振子(Zs)の共振周波数
と並列腕のSAW共振子(Yp)の反共振周波数とをほ
ぼ一致させるように設定すると、その一致した周波数を
中心周波数とする帯域通過フィルタFが形成され、直列
腕のSAW共振子の反共振周波数及び並列腕の共振周波
数に夫々減衰極(Pole)が形成される。
【0008】図7(a)の基本区間を4個縦続接続した
ラダー型回路において、直列腕のインピーダンスZsを
有する共振子を2個直列接続した回路は、インピーダン
ス2Zsの1個の共振子と等価であり、また、アドミタ
ンスYpの共振子が2個並列接続した回路は、アドミタ
ンス2Ypの1個の共振子と等価となる。従って、図7
(a)の原回路は図7(b)のラダー型回路に等価変換
され、各共振子をSAW共振子で置換してラダー型SA
Wフィルタが構成されることとなる。このため、直列腕
のSAW共振子5,7,9は同一の周波数を有するが、
SAW共振子7はSAW共振子5,9の2倍のインピー
ダンスを有することとなる。
【0009】ここで、ラダー型SAWフィルタには、一
般的にT型等価回路で構成されるものと図9に示す如く
π型等価回路で構成されるものと2通りがある。尚、前
述したラダー型SAWフィルタはSAW共振子をT型配
置したT型等価回路で構成したフィルタである。図11
は、T型(実線)及びπ型(破線)等価回路で構成した
ラダー型SAWフィルタのフィルタ特性を比較した図で
ある。通過帯域から阻止域へ至る減衰傾度(急峻度)で
はπ型がT型より優れている、一方、通過帯域近傍の阻
止域の減衰特性においてはT型がπ型より優れており高
減衰な特性を有している。
【0010】上記のような特徴から、送信帯域(Tx)
が1850〜1910MHz、受信帯域(Rx)が19
30〜1990MHzと送信帯域と受信帯域が極めて近
接している北米のデジタル方式携帯電話システムのPC
S(Personal CommunicationService)のRF段では、
互いの影響をさけるために通過帯域近傍の3dBから1
0dBにかけての減衰傾度(急峻度)が優れているπ型
回路構成のラダー型SAWフィルタが従来から一般的に
適用されている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】近年、PCSの更なる
通話品質の向上に伴い、市場からのRF用フィルタに対
する要求仕様も厳しくなってきており、特に通過帯域近
傍の阻止域の高減衰化の要求が顕著になってきた。斯か
る市場の要求規格を満足するために様々な設計改善を行
って対応してきたが、π型回路構成によるラダー型SA
Wフィルタでは阻止域の減衰特性の改善も限界に達し、
市場からの要求仕様を満足することが難しくなってきた
ため、π型回路構成のラダー型SAWフィルタでの通過
帯域近傍の阻止域の高減衰化はもはや限界であると判断
した。
【0012】T型回路構成のラダー型SAWフィルタ
は、π型に比べ通過帯域両肩の3dBから10dBにか
けての減衰傾度(以下、急峻度と称する)が劣り、送信
帯域と受信帯域とが近接したPCSには適していないと
考えられていたのは前述した通りである。ここで、本願
発明者は、通過帯域近傍の阻止域の減衰特性において市
場の要求規格を満たすことができるT型回路構成のラダ
ー型SAWフィルタにあらためて着目し、一方で急峻度
を如何に改善したらPCSの規格を満足せしめるかとい
う発想の転換を行い研究に着手し、圧電基板にLiTa
にアルミニウム合金からなる図6に示した電極パタ
ーンを形成し、中心周波数1880MHzのT型のラダ
ー型SAWフィルタを試作した。
【0013】しかしながら、図12は試作したT型回路
のラダー型SAWフィルタの通過帯域特性を測定した結
果であって、通過帯域高域側の急峻度が劣り、斯かるフ
ィルタでは製造歩留りを極めて悪化させることは明白で
あった。
【0014】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであって、PCSのRF段Tx用SAWフィル
タの規格、即ち通過帯域高域側の急峻度及び通過帯域近
傍の阻止域減衰量を十分満たし、製造歩留りも良好なラ
ダー型SAWフィルタ素子を提供することを目的とす
る。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係るラダー型弾性表面波フィルタ素子の請求
項1記載の発明は、圧電基板の主表面上に弾性表面波の
伝搬方向に沿ってインターデジタルトランスデューサと
該インターデジタルトランスデューサの両側にグレーテ
ィング反射器を配置した弾性表面波共振素子を用いたラ
ダー型弾性表面波フィルタ素子において、直列腕の最外
側の弾性表面波共振素子のインターデジタルトランスデ
ューサの電極周期λsと直列腕の最外側を除いた少なく
とも一つの弾性表面波共振素子のインターデジタルトラ
ンスデューサの電極周期λs2とを異にしたことを特徴
とするラダー型弾性表面波フィルタ素子である。
【0016】請求項2記載の発明は、前記インターデジ
タルトランスデューサの電極周期λsとλs2との関係
が、1<λs/λs2<1.0050を満足するもので
あることを特徴とする請求項1記載のラダー型弾性表面
波フィルタ素子である。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に図示した実
施の形態例に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明
に係るラダー型SAWフィルタ素子の構成を示す平面図
であって、圧電基板4上に表面波の伝搬方向に沿って、
図5と同様なSAW共振子5個(17〜21)を互いに
音響的な影響を及ぼさない間隔を置いて併置すると共
に、SAW共振子17のバスバーから延出した電極22
を入力用ボンディングパッドとし、SAW共振子21の
バスバーから延出した電極23を出力用ボンディングパ
ッドとする。SAW共振子17と18とのバスバーの接
続部から延出した引き回し電極24をSAW共振子19
のバスバーに接続し、 SAW共振子19と20とのバ
スバーの接続部から延出した引き回し電極24をSAW
共振子21の他方のバスバーに接続する。更に、SAW
共振子18と20の他方のバスバーをアース用ボンディ
ングパッド25に接続する。入出力ボンディングパッド
22,23、及びアース用ボンディングパッド25は、
図10(a)に示す如くワイヤ15を用いてパッケージ
の夫々対応する端子電極14へワイヤボンディング、或
は図10(b)に示す如くバンプ16を用いてパッケー
ジの夫々対応する端子電極14へフリップチップボンデ
ィングして接続して、SAW共振子が直列、並列、直
列、…とラダー構造に並んだ所謂T型等価回路構成によ
るラダー型SAWフィルタができる。
【0018】本願発明者は、特開2000−34108
6号公報で開示された図9(b)に示す如くπ型回路構
成のラダー型SAWフィルタの並列腕共振子になされた
技術、即ち、並列腕に配置したSAW共振子のIDT電
極周期において、2Ypの電極周期λ2を最外側のYp
の電極周期λ1より大きくするという技術をT型回路構
成のラダー型SAWフィルタに応用できるのではないか
と考えた。
【0019】本発明のラダー型SAWフィルタ素子の特
徴は、図1に示す3個の直列腕に配置したSAW共振子
17、19及び21のうち、SAW共振子17と21の
IDT電極周期λsと、SAW共振子19のIDT電極
周期λs2とを僅かに異ならせたラダー型SAWフィル
タとし、通過帯域高域側の急峻度を改善したことにあ
る。ラダー型SAWフィルタは、影像パラメータ法を用
いて構成されているため、図1のT型回路のラダー型S
AWフィルタの直列腕のSAW共振子17と21が呈す
るインピーダンスと、SAW共振子19のインピーダン
スとでは、インピーダンスの大きさが2倍異なってい
る。
【0020】図12に示したように試作したT型回路に
よるラダー型SAWフィルタの通過帯域特性において、
通過帯域高域側の急峻度が劣っていたのは前述の通りで
ある。ラダー型SAWフィルタの通過帯域特性の高域側
のフィルタ特性は、直列腕のSAW共振子の共振周波数
と反共振周波数に依存するのは周知の通りである。そこ
で、直列腕のインピーダンスZsを有するSAW共振子
とインピーダンス2Zsを有するSAW共振子のインピ
ーダンス特性について調査を行った。
【0021】一般的に、SAW共振子の共振周波数を同
一としインピーダンスの異なるSAW共振子を得るため
には、IDT電極周期λを等しくして、IDT電極対数
を多くする方法、IDT電極の交叉幅を広くする方法等
が用いられるが、ここではIDT電極対数を異ならせ
た。図13は、IDT対数:100対、交叉幅:40μ
m、波長:2μmのインピーダンスZsを有するSAW
共振子と、 IDT対数:50対、交叉幅:40μm、
波長:2μmのインピーダンス2Zsを有するSAW共
振子とのインピーダンス特性を比較したデータである。
この図13から、共振周波数は両者とも同等であるが、
反共振周波数については2Zsを有するSAW共振子の
方が低いことが判明した。
【0022】従来、直列腕のインピーダンスZsを有す
るSAW共振子とインピーダンス2Zsを有するSAW
共振子のIDT電極周期は同一にして設計することが常
識とされてきたが、本発明では双方のIDT電極周期を
異ならせることによって通過帯域高域側の急峻度が改善
されるかどうか試作、実験を行うことにした。図7
(a)に示す如く基本区間を4段縦続接続した回路を原
回路とする図7(b)の5素子によるT型回路のラダー
型SAWフィルタの直列腕に接続したインピーダンスZ
sを有するSAW共振子5と9のIDT電極周期λs
と、インピーダンス2Zsを有するSAW共振子7のI
DT電極周期λs2との比λs/λs2を変化させたと
きの通過帯域特性の比較データを図2に示す。破線が従
来のT型ラダー型SAWフィルタ(λs/λs2=1.00
00)、実線がλs/λs2=1.0021のT型ラダー型SA
Wフィルタである。λs/λs2=1.0021のT型ラダー
型SAWフィルタの方が、従来型に比べて通過帯域高域
側の急峻度を改善できることを見出した。
【0023】そこで、図2に示すように3dB及び10
dBの周波数をF1及びF2として、急峻度を次式のよ
うに定義した。 急峻度={(F1+F2)/2}/(F2−F1) 図4は、IDT電極周期比λs/λs2を変化させてラ
ダー型SAWフィルタの急峻度をプロットした図であ
る。同図から明らかなように急峻度は上に凸の曲線を描
き、急峻度が大きいほど、即ちλs/λs2=1.00
25の付近で通過帯域高域側の減衰傾度は一番急峻とな
る。λs/λs2=1のときが従来のラダー型SAWフ
ィルタの急峻度であり、これより急峻となるIDT電極
周期λs/λs2の範囲は、1<λs/λs2<1.0
050であることが判明した。
【0024】以上のように、本発明の特徴は、通過帯域
近傍の阻止域が高減衰なT型等価回路構成からなるラダ
ー型SAWフィルタ素子の直列腕に配置したSAW共振
子において、インピーダンスZsを有するSAW共振子
のIDT電極周期λsとインピーダンス2Zsを有する
SAW共振子のIDT電極周期λs2との関係を、1<
λs/λs2<1.0050とすることによって、従来
のT型回路のラダー型SAWフィルタ素子の問題とされ
た通過帯域高域側の減衰傾度を急峻せしめたことであ
る。
【0025】以上、本発明に係るラダー型SAWフィル
タを圧電基板にLiTaOを用いて説明したが、圧電
基板としてLiNbO、ランガサイト(LaGa
SiO14)、四硼酸リチウム(Li)等を
適用できることは言うまでもない。また、上記例では基
本区間を4区間縦続接続した5素子タイプのラダー型S
AWフィルタについて説明したが、本発明はこれに限定
されるものではなく、複数素子タイプのラダー型SAW
フィルタに適用できるのは言うまでもない。
【0026】更に、本発明に係るラダー型SAWフィル
タをPCSのRF段Tx用を例にして説明したが、これ
に限定されるものではなく送信帯域と受信帯域が近接し
たセルラー方式携帯電話機等のRFフィルタに広く適用
できることは言うまでもない。
【0027】
【発明の効果】本発明に係るラダー型SAWフィルタ
は、以上説明した如く構成したので下記の優れた効果を
奏する。請求項1と2の発明は、T型等価回路構成から
なるラダー型SAWフィルタ素子の直列腕に配置したS
AW共振子において、インピーダンスZsを有するSA
W共振子のIDT電極周期λsとインピーダンス2Zs
を有するSAW共振子のIDT電極周期λs2との関係
を、1<λs/λs2<1.0050としたので、通過
帯域高域側の減衰傾度を急峻にすることができるという
優れた効果を奏する。
【0028】本発明からなる通過帯域高域側の減衰傾度
が急峻、且つ通過帯域近傍の阻止域が高減衰なラダー型
SAWフィルタをPCSのRFフィルタに適用すれば、
受信周波数帯域の信号による妨害を防ぎ、明瞭度の高い
携帯電話ができるという優れた効果を奏する。
【0029】更に、π型回路に比べT型回路構成による
ラダー型SAWフィルタでは、アース用ボンディングパ
ッドが一つ少なくなるので、ボンディングパッドの所要
面積が小さくなり圧電基板の大きさを縮小化できるた
め、今日のデバイスの小型化の要求に対応して小型のラ
ダー型SAWフィルタを提供できるという優れた効果を
奏する。
【0030】また、更に通過帯域高域側の減衰傾度を急
峻に改善することができたので、製造歩留りを大幅に改
善できるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るラダー型SAWフィルタ素子の平
面図である。
【図2】本発明に係るラダー型SAWフィルタのフィル
タ特性である。
【図3】通過帯域高域側の急峻度を定義するための図で
ある。
【図4】IDT電極周期比と急峻度の関係を示す図であ
る。
【図5】SAW共振子の構成を示す平面図である。
【図6】従来のラダー型SAWフィルタの平面図であ
る。
【図7】(a)及び(b)はT型等価回路構成を示す回
路図である。
【図8】基本区間のリアクタンス曲線と構成されるフィ
ルタのフィルタ特性を示す図である。
【図9】(a)及び(b)はπ型等価回路構成を示す回
路図である。
【図10】ラダー型SAWフィルタ素子をパッケージへ
実装した断面図であって、(a)はワイヤボンディング
構造、(b)はフリップチップボンディング構造を示す
断面図である。
【図11】 T型及びπ型等価回路構成によるラダー型
SAWフィルタのフィルタ特性を比較した図である。
【図12】従来のT型回路構成のラダー型SAWフィル
タの通過帯域特性である。
【図13】SAW共振子のインピーダンス特性である。
【符号の説明】
1 圧電基板 2 IDT 3 反射器 4 圧電基板 5,6,7,8,9 SAW共振子 10、11 ボンディングパッド 12 引出し電極 13 ボンディングパッド 14 端子電極 15 ワイヤ 16 バンプ 17、 18、19、20、21 SAW共振子 22、23 ボンディングパッド 24 引出し電極 25 ボンディングパッド

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電基板の主表面上に弾性表面波の伝搬
    方向に沿ってインターデジタルトランスデューサと該イ
    ンターデジタルトランスデューサの両側にグレーティン
    グ反射器を配置した弾性表面波共振素子を用いたラダー
    型弾性表面波フィルタ素子において、直列腕の最外側の
    弾性表面波共振素子のインターデジタルトランスデュー
    サの電極周期λsと直列腕の最外側を除いた少なくとも
    一つの弾性表面波共振素子のインターデジタルトランス
    デューサの電極周期λs2とを異にしたことを特徴とす
    るラダー型弾性表面波フィルタ素子。
  2. 【請求項2】 前記インターデジタルトランスデューサ
    の電極周期λsとλs2との関係が、 1<λs/λs2<1.0050 を満足するものであることを特徴とする請求項1記載の
    ラダー型弾性表面波フィルタ素子。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013077880A (ja) * 2011-09-29 2013-04-25 Murata Mfg Co Ltd ラダー型フィルタ

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JP2013077880A (ja) * 2011-09-29 2013-04-25 Murata Mfg Co Ltd ラダー型フィルタ

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