JP5088046B2 - ロードポート装置におけるスリット閉塞装置 - Google Patents
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Description
F: ロードポート装置のフレーム
G: 蓋体着脱装置
H: スリット閉塞装置
L: ロードポート装置
S: スリット
T: カセットテーブル
X: 受渡し方向
Z: 上下方向
1: プレート
10:第1閉塞具
12:閉塞テープ
20:第2閉塞具
22:閉塞テープ
24:屈曲体
25,25’:屈曲体又は第2閉塞具が取付けられるブラケット
30:昇降装置
31:シリンダ本体
32:ロッド
40:水平移動装置
41:第1連結部材
42:ベース体
46:移動板体
60:蓋体着脱具
61:着脱具本体
63:第2連結部材
Claims (2)
- キャリアカセットを載置するために半導体製造装置のフレームの開口を閉塞するプレートの外側に水平に設けられたカセットテーブルと、当該カセットテーブルに載置された前記キャリアカセットの開口に対して蓋体を着脱させるために、前記プレートの内側に昇降可能に配置された蓋体着脱装置とを備えたロードポート装置であって、
前記蓋体着脱装置は、前記プレートの外側に垂直に取り付けられたシリンダと、前記プレートに対して垂直な水平方向に移動可能な連結部材が、前記プレートの外側に配置されたベース体に取り付けられて、当該連結部材が、前記プレートにその上下方向に形成されたスリットに挿通された状態で、前記シリンダのロッドに取り付けられて昇降する水平移動装置と、前記連結部材における前記プレートの内側部分に一体に装着された蓋体着脱具と、を備え、
前記水平移動装置の下方では、前記プレートの外側において、ケース内に閉塞テープが巻取り方向に付勢された状態で巻回された第1閉塞具が前記スリットの下形成端部又は前記水平移動装置のベース体のいずれか一方に取り付けられていると共に、前記第1閉塞具から引き出された閉塞テープの先端部がその他方に取り付けられ、
前記水平移動装置の上方では、前記プレートの内側において、前記水平移動装置の昇降時に、前記第1閉塞具と同一構造の第2閉塞具から、前記シリンダのロッドの上端部に連結したブラケットに取付けられた屈曲体により屈曲されて上方に引き出された閉塞テープの垂直部が前記スリットにほぼ密着するようにして、前記第2閉塞具が前記水平移動装置の連結部材に取り付けられていると共に、前記第2閉塞具の閉塞テープの先端部が前記スリットの上形成端部に取り付けられているか、又は前記プレートの外側において、前記第2閉塞具から引き出された閉塞テープが前記屈曲体により上方に屈曲されて、前記閉塞テープの垂直部が前記スリットにほぼ密着するようにして、前記第2閉塞具が前記ブラケットに取付けられていると共に、閉塞テープの先端部が前記スリットの上形成端部に取付けられ、
前記水平移動装置のベース体の背面には、前記スリットにおける第1及び第2の各閉塞具の各閉塞テープにより閉塞された部分、及び当該スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通された部分を除く残りの部分を閉塞するための閉塞板が取付けられ、
前記シリンダによる蓋体着脱具の昇降、及び前記水平移動装置による蓋体着脱具の水平移動により、前記プレートの外側又は内側において、前記スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通されることにより残存した全ての部分が第1及び第2の各閉塞具から引き出された各閉塞テープ、並びに前記ベース体の背面の閉塞板によりそれぞれ閉塞される構成であることを特徴とするロードポート装置におけるスリット閉塞装置。 - キャリアカセットを載置するために半導体製造装置のフレームの開口を閉塞するプレートの外側に水平に設けられたカセットテーブルと、当該カセットテーブルに載置された前記キャリアカセットの開口に対して蓋体を着脱させるために、前記プレートの内側に昇降可能に配置された蓋体着脱装置とを備えたロードポート装置であって、
前記蓋体着脱装置は、前記プレートの外側に垂直に取り付けられたシリンダと、前記プレートに対して垂直な水平方向に移動可能な連結部材が、前記プレートの外側に配置されたベース体に取り付けられて、当該連結部材が、前記プレートにその上下方向に形成されたスリットに挿通された状態で、前記シリンダのロッドに取り付けられて昇降する水平移動装置と、前記連結部材における前記プレートの内側部分に一体に装着された蓋体着脱具と、を備え、
前記水平移動装置の下方では、前記プレートの外側において、ケース内に閉塞テープが巻取り方向に付勢された状態で巻回された第1閉塞具が前記スリットの下形成端部又は前記水平移動装置のベース体のいずれか一方に取り付けられていると共に、前記第1閉塞具から引き出された閉塞テープの先端部がその他方に取り付けられ、
前記水平移動装置の上方では、同じくプレートの外側において、前記第1閉塞具と同一構造の第2閉塞具が前記スリットの上形成端部に取り付けられていると共に、前記第2閉塞具の閉塞テープの先端部が、前記シリンダのロッドの上端部に連結されたブラケットに取り付けられ、
前記水平移動装置のベース体の背面には、前記スリットにおける第1及び第2の各閉塞具の各閉塞テープにより閉塞された部分、及び当該スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通された部分を除く残りの部分を閉塞するための閉塞板が取付けられ、
前記シリンダによる蓋体着脱具の昇降、及び前記水平移動装置による蓋体着脱具の水平移動により、前記プレートの外側又は内側において、前記スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通されることにより残存した全ての部分が第1及び第2の各閉塞具から引き出された各閉塞テープ、並びに前記ベース体の背面の閉塞板によりそれぞれ閉塞される構成であることを特徴とするロードポート装置におけるスリット閉塞装置。
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JP2007216805A JP5088046B2 (ja) | 2007-08-23 | 2007-08-23 | ロードポート装置におけるスリット閉塞装置 |
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JP2009049344A JP2009049344A (ja) | 2009-03-05 |
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2007
- 2007-08-23 JP JP2007216805A patent/JP5088046B2/ja not_active Expired - Fee Related
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