JP5085073B2 - 磁気記憶素子及びその形成方法 - Google Patents
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 364
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 52
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 161
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 153
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 47
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 45
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 27
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 19
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 14
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 131
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 89
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 24
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 8
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 6
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 239000002885 antiferromagnetic material Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 2
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 210000000352 storage cell Anatomy 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019236 CoFeB Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015136 FeMn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019041 PtMn Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- QVYYOKWPCQYKEY-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Co] Chemical compound [Fe].[Co] QVYYOKWPCQYKEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVPFVAHMJGGAJG-UHFFFAOYSA-L cobalt dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Co+2] GVPFVAHMJGGAJG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- FQMNUIZEFUVPNU-UHFFFAOYSA-N cobalt iron Chemical compound [Fe].[Co].[Co] FQMNUIZEFUVPNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(ii) oxide Chemical compound [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- CTNMMTCXUUFYAP-UHFFFAOYSA-L difluoromanganese Chemical compound F[Mn]F CTNMMTCXUUFYAP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- SHMWNGFNWYELHA-UHFFFAOYSA-N iridium manganese Chemical compound [Mn].[Ir] SHMWNGFNWYELHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- NMCUIPGRVMDVDB-UHFFFAOYSA-L iron dichloride Chemical compound Cl[Fe]Cl NMCUIPGRVMDVDB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DALUDRGQOYMVLD-UHFFFAOYSA-N iron manganese Chemical compound [Mn].[Fe] DALUDRGQOYMVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N iron nickel Chemical compound [Fe].[Ni] UGKDIUIOSMUOAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZGIHSNZYGFUGM-UHFFFAOYSA-L iron(ii) fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Fe+2] FZGIHSNZYGFUGM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- IGOJMROYPFZEOR-UHFFFAOYSA-N manganese platinum Chemical compound [Mn].[Pt] IGOJMROYPFZEOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L nickel dichloride Chemical compound Cl[Ni]Cl QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- CADICXFYUNYKGD-UHFFFAOYSA-N sulfanylidenemanganese Chemical compound [Mn]=S CADICXFYUNYKGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
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Description
MTJ 磁気トンネル接合体
FM 第2の磁性層
PM 第1の磁性層
RD 読み出しダイオード
RL 読み出しライン
TB トンネルバリヤ層
WD1、WD2 第1及び第2の書き込みダイオード
WE1、WE2 第1及び第2の書き込み導電体
WL1、WL2 第1及び第2の書き込みライン
Claims (29)
- 共通ラインと、
前記共通ラインに順次に並列に接続された第1の書き込みダイオード、読み出しダイオード及び第2の書き込みダイオードと、
前記読み出しダイオードに接続された磁気トンネル接合体と、
前記磁気トンネル接合体の両側にそれぞれ設けられ、前記第1及び第2の書き込みダイオードにそれぞれ接続された第1の書き込み導電体及び第2の書き込み導電体と、
前記第1の書き込み導電体、磁気トンネル接合体及び第2の書き込み導電体にそれぞれ接続された第1の書き込みライン、読み出しライン及び第2の書き込みラインと、を含み、
前記第1の書き込み導電体と前記第2の書き込み導電体と前記磁気トンネル接合体とは単一のセルを構成し、
前記第1の書き込み導電体と前記第2の書き込み導電体とは、前記磁気トンネル接合体に互いに逆方向の磁気場を印加する
ことを特徴とする磁気記憶素子。 - 第1のプログラム動作時に前記第1の書き込み導電体は前記磁気トンネル接合体に第1の方向の磁気場を印加し、第2のプログラム動作時に前記第2の書き込み導電体は前記磁気トンネル接合体に第2の方向の磁気場を印加し、前記第1及び第2の方向は互いに逆方向である
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気記憶素子。 - 前記磁気トンネル接合体は、磁化方向が一方向に固定された第1の磁性層、磁化方向の変更が可能な第2の磁性層、及び前記第1及び第2の磁性層の間に介在されたトンネルバリヤ層を含み、
前記第1の磁性層は、前記第1及び第2の方向のうちに選択された一つの方向に固定され、前記第2の磁性層の磁化方向は前記第1の方向の磁気場又は第2の方向の磁気場によって前記第1の方向又は第2の方向に配列される
ことを特徴とする請求項2に記載の磁気記憶素子。 - 前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込みダイオードの順方向出力端子は前記共通ラインに接続され、
前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込みダイオードの順方向入力端子は、それぞれ前記第1の書き込み導電体、磁気トンネル接合体及び第2の書き込み導電体に接続された
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一つの項に記載の磁気記憶素子。 - 前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込みダイオードの順方向入力端子は前記共通ラインに接続され、
前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込みダイオードの順方向出力端子は、それぞれ前記第1の書き込み導電体、磁気トンネル接合体及び第2の書き込み導電体に接続された
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一つの項に記載の磁気記憶素子。 - 前記共通ライン及び前記読み出しラインのうちにいずれか一つは、ワードラインであり、他の一つはビットラインである
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のうちにいずれか一つの項に記載の磁気記憶素子。 - 第1の導電型の基板に配置されて活性領域を限定する素子分離膜と、
前記活性領域内に形成され、第2の導電型の不純物でドーピングされた共通ラインと、
前記共通ライン上に互いに離隔されて順次に配置された第1の導電型の第1の書き込み半導体パターン、読み出し半導体パターン及び第2の書き込み半導体パターンと、
前記読み出し半導体パターン上に配置されて電気的に接続された磁気トンネル接合体と、
前記磁気トンネル接合体両側の前記第1及び第2の書き込み半導体パターン上にそれぞれ配置され、前記第1及び第2の書き込み半導体パターンにそれぞれ電気的に接続された第1の書き込み導電体及び第2の書き込み導電体と、
前記磁気トンネル接合体上に配置されて電気的に接続された読み出しラインと、
前記第1の書き込み導電体及び第2の書き込み導電体上にそれぞれ配置されて電気的に接続された第1の書き込みライン及び第2の書き込みラインと、を含み、
前記第1の書き込み導電体と前記第2の書き込み導電体と前記磁気トンネル接合体とは単一のセルを構成し、
前記第1の書き込み導電体と前記第2の書き込み導電体とは、前記磁気トンネル接合体に互いに逆方向の磁気場を印加する
ことを特徴とする磁気記憶素子。 - 第1のプログラム動作時に前記第1の書き込み導電体は前記磁気トンネル接合体に第1の方向の磁気場を印加し、第2のプログラム動作時に前記第2の書き込み導電体は前記磁気トンネル接合体に第2の方向の磁気場を印加し、前記第1及び第2の方向は互いに逆方向である
ことを特徴とする請求項7に記載の磁気記憶素子。 - 前記磁気トンネル接合体は、
磁化方向が一方向に固定されている第1の磁性層と、
磁化方向の変更が可能な第2の磁性層と、
前記第1及び第2の磁性層の間に介在されたトンネルバリヤ層とを含み、
前記第1の磁性層は、前記第1及び第2の方向のうちに選択された一つの方向に固定され、前記第2の磁性層の磁化方向は前記第1の方向の磁気場又は第2の方向の磁気場によって前記第1の方向又は第2の方向に配列される
ことを特徴とする請求項8に記載の磁気記憶素子。 - 前記共通ラインと前記読み出しラインのうちの一つはワードラインであり、他の一つはビットラインである
ことを特徴とする請求項7に記載の磁気記憶素子。 - 前記第1の導電型及び第2の導電型のうちの一つはn型であり、他の一つはp型である
ことを特徴とする請求項7に記載の磁気記憶素子。 - 前記第1の書き込み半導体パターンと前記共通ラインとの間に介在された第1の書き込みバッファパターンと、
前記読み出し半導体パターンと前記共通ラインとの間に介在された読み出しバッファパターンと、
前記第2の書き込み半導体パターンと前記共通ラインとの間に介在された第2の書き込みバッファパターンとをさらに含み、
前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込みバッファパターンは、第2の導電型の不純物でドーピングされた半導体であり、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込みバッファパターンの不純物濃度は前記共通ラインに比べて低い
ことを特徴とする請求項7に記載の磁気記憶素子。 - 前記基板上に形成された第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターン、及び前記磁気トンネル接合体を覆う第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜を貫通して前記磁気トンネル接合体の上部面に接続する読み出し上部プラグとをさらに含み、
前記第1及び第2の書き込み導電体は、前記第2の絶縁膜を貫通するプラグ形態であり、前記読み出しラインは前記第2の絶縁膜上に配置されて前記読み出し上部プラグと接続する
ことを特徴とする請求項7乃至請求項12のいずれか一つの項に記載の磁気記憶素子。 - 前記第2の絶縁膜及び前記読み出しラインを覆う第3の絶縁膜と、
前記第3の絶縁膜を貫通して前記第1及び第2の書き込み導電体にそれぞれ電気的に接続された第1及び第2の書き込み上部プラグとをさらに含み、
前記第1及び第2の書き込みラインは、前記第3の絶縁膜上に配置されて前記第1及び第2の書き込み上部プラグとそれぞれ接続する
ことを特徴とする請求項13に記載の磁気記憶素子。 - 前記第1の書き込み上部プラグと前記第1の書き込み導電体との間に介在された第1のランディングパターンと、
前記第2の書き込み上部プラグと前記第2の書き込み導電体との間に介在された第2のランディングパターンとをさらに含む
ことを特徴とする請求項14に記載の磁気記憶素子。 - 前記第1の絶縁膜は、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターン周辺の前記基板を覆い、
前記第1の書き込み導電体、磁気トンネル接合体及び第2の書き込み導電体は、それぞれ前記第1の書き込み半導体パターンの上部面、読み出し半導体パターンの上部面及び第2の書き込み半導体パターンの上部面と直接接触する
ことを特徴とする請求項13に記載の磁気記憶素子。 - 前記第1の絶縁膜は、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターン周辺の前記基板を覆い、
前記磁気記憶素子は、
前記第2の絶縁膜下に設けられて、前記第1の絶縁膜、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンの上部面を覆うバッファ絶縁膜と、
前記バッファ絶縁膜を貫通して、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンの上部面にそれぞれ接続する第1の書き込み下部プラグ、読み出し下部プラグ及び第2の書き込み下部プラグとをさらに含み、
前記第1の書き込み導電体、磁気トンネル接合体及び第2の書き込み導電体はそれぞれ前記第1の書き込み下部プラグ、読み出し下部プラグ及び第2の書き込み下部プラグにそれぞれ接続される
ことを特徴とする請求項13に記載の磁気記憶素子。 - 前記第1の絶縁膜は、前記基板と、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンを覆い、
前記第1の絶縁膜を貫通して前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンの上部面にそれぞれ接続する第1の書き込み下部プラグ、読み出し下部プラグ及び第2の書き込み下部プラグをさらに含み、
前記第1の書き込み導電体、磁気トンネル接合体及び第2の書き込み導電体はそれぞれ前記第1の書き込み下部プラグ、読み出し下部プラグ及び第2の書き込み下部プラグにそれぞれ接続される
ことを特徴とする請求項13に記載の磁気記憶素子。 - 前記第1の書き込みライン、読み出しライン及び第2の書き込みラインの上部を横切り、前記共通ラインと電気的に接続されたストラッピングラインをさらに含む
ことを特徴とする請求項7乃至請求項12のいずれか一つの項に記載の磁気記憶素子。 - 第1の導電型の基板に配置されて活性領域を限定する素子分離膜、及び前記活性領域に第2の導電型の不純物でドーピングされた共通ラインを形成する段階と、
前記共通ライン上に互いに離隔されて配置された第1の導電型の第1の書き込み半導体パターン、読み出し半導体パターン及び第2の書き込み半導体パターンを形成する段階と、
前記読み出し半導体パターン上に配置されて電気的に接続された磁気トンネル接合体を形成する段階と、
前記磁気トンネル接合体両側の前記第1及び第2の書き込み半導体パターン上にそれぞれ配置され、前記第1及び第2の書き込み半導体パターンにそれぞれ電気的に接続された第1の書き込み導電体及び第2の書き込み導電体を形成する段階と、
前記磁気トンネル接合体上に配置されて電気的に接続された読み出しラインを形成する段階と、
前記第1の書き込み導電体及び第2の書き込み導電体上にそれぞれ配置されて電気的に接続された第1の書き込みライン及び第2の書き込みラインを形成する段階とを含み、
前記第1の書き込み導電体と前記第2の書き込み導電体と前記磁気トンネル接合体とは単一のセルを構成し、
前記第1の書き込み半導体パターンと前記共通ラインとの間に第1の書き込みバッファパターンを形成する段階と、
前記読み出し半導体パターンと前記共通ラインとの間に読み出しバッファパターンを形成する段階と、
前記第2の書き込み半導体パターンと前記共通ラインとの間に第2の書き込みバッファパターンを形成する段階とをさらに含む
ことを特徴とする磁気記憶素子の形成方法。 - 前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込みバッファパターンは、第2の導電型の不純物でドーピングされた半導体として形成され、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込みバッファパターンの不純物濃度は前記共通ラインに比べて低い
ことを特徴とする請求項20に記載の磁気記憶素子の形成方法。 - 前記第1の導電型及び第2の導電型のうちにいずれか一つはn型であり、他の一つはp型である
ことを特徴とする請求項20に記載の磁気記憶素子の形成方法。 - 前記基板上に第1の絶縁膜を形成する段階と、
前記第1の絶縁膜、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターン、及び前記磁気トンネル接合体を覆う第2の絶縁膜を形成する段階と、
前記第2の絶縁膜を貫通して前記磁気トンネル接合体の上部面に接続する読み出し上部プラグを形成する段階とをさらに含み、
前記第1及び第2の書き込み導電体は、前記第2の絶縁膜を貫通するプラグ形態で形成され、前記読み出しラインは前記第2の絶縁膜上に配置されて前記読み出し上部プラグと接続する
ことを特徴とする請求項20乃至請求項22のうちにいずれか一つの項に記載の磁気記憶素子の形成方法。 - 前記第2の絶縁膜及び前記読み出しラインを覆う第3の絶縁膜を形成する段階と、
前記第3の絶縁膜を貫通して前記第1及び第2の書き込み導電体にそれぞれ電気的に接続された第1及び第2の書き込み上部プラグを形成する段階とをさらに含み、
前記第1及び第2の書き込みラインは、前記第3の絶縁膜上に形成されてそれぞれ前記第1及び第2の書き込み上部プラグと接続する
ことを特徴とする請求項23に記載の磁気記憶素子の形成方法。 - 前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンを形成する段階は、
前記基板上に前記第1の絶縁膜を形成する段階と、
前記第1の絶縁膜をパターニングして順次に互いに離隔され、前記共通ラインを露出させる第1の書き込み開口部、読み出し開口部及び第2の書き込み開口部を形成する段階と、
前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み開口部内にそれぞれ前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンを形成する段階とを含む
ことを特徴とする請求項23に記載の磁気記憶素子の形成方法。 - 前記第1の書き込み導電体、磁気トンネル接合体及び第2の書き込み導電体は、それぞれ前記第1の書き込み半導体パターン、読み出し半導体パターン及び第2の書き込み半導体パターンの上部面に直接接触するように形成する
ことを特徴とする請求項25に記載の磁気記憶素子の形成方法。 - 前記第1の絶縁膜と、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンの上部面を覆うバッファ絶縁膜を形成する段階と、
前記バッファ絶縁膜を貫通して前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンとそれぞれ接続する第1の書き込み下部プラグ、読み出し下部プラグ及び第2の書き込み下部プラグを形成する段階とをさらに含み、
前記第1の書き込み導電体、磁気トンネル接合体及び第2の書き込み導電体は、それぞれ前記第1の書き込み下部プラグ、読み出し下部プラグ及び第2の書き込み下部プラグに接続されるように形成する
ことを特徴とする請求項25に記載の磁気記憶素子の形成方法。 - 前記素子分離膜、前記共通ライン、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンを形成する段階は、
前記基板内に順次に積層された第2の導電型のドーピング層、及び第1の導電型のドーピング層を形成する段階と、
前記第1の導電型のドーピング層、第2の導電型のドーピング層及び基板を連続的にパターニングして前記活性領域を限定するトレンチを形成する段階と、
前記トレンチ内に前記素子分離膜を形成する段階と、
前記パターニングされた第1の導電型のドーピング層をパターニングして前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンを形成する段階とを含み、前記パターニングされた第2の導電型のドーピング層は前記共通ラインである
ことを特徴とする請求項23に記載の磁気記憶素子の形成方法。 - 前記第1の絶縁膜は、前記基板、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンを覆うように形成され、
前記第1の絶縁膜を貫通して、前記第1の書き込み、読み出し及び第2の書き込み半導体パターンとそれぞれ接続する第1の書き込み下部プラグ、読み出し下部プラグ及び第2の書き込み下部プラグを形成する段階をさらに含み、
前記第1の書き込み導電体、磁気トンネル接合体及び第2の書き込み導電体はそれぞれ前記第1の書き込み下部プラグ、読み出し下部プラグ及び第2の書き込み下部プラグに接続されるように形成する
ことを特徴とする請求項28に記載の磁気記憶素子の形成方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2005-0078365 | 2005-08-25 | ||
KR1020050078365A KR100655438B1 (ko) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | 자기 기억 소자 및 그 형성 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007059919A JP2007059919A (ja) | 2007-03-08 |
JP5085073B2 true JP5085073B2 (ja) | 2012-11-28 |
Family
ID=37732599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006228297A Expired - Fee Related JP5085073B2 (ja) | 2005-08-25 | 2006-08-24 | 磁気記憶素子及びその形成方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7582941B2 (ja) |
JP (1) | JP5085073B2 (ja) |
KR (1) | KR100655438B1 (ja) |
CN (1) | CN1921004B (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008192916A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Toshiba Corp | 磁気ランダムアクセスメモリ及びその書き込み方法 |
US8125040B2 (en) * | 2008-04-18 | 2012-02-28 | Qualcomm Incorporated | Two mask MTJ integration for STT MRAM |
US9159910B2 (en) * | 2008-04-21 | 2015-10-13 | Qualcomm Incorporated | One-mask MTJ integration for STT MRAM |
CN103354952B (zh) | 2010-12-17 | 2016-09-28 | 艾沃思宾技术公司 | 具有改善的尺寸的磁随机存取存储器集成 |
KR102008412B1 (ko) * | 2013-03-04 | 2019-08-08 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 이 반도체 장치를 포함하는 마이크로프로세서, 프로세서, 시스템, 데이터 저장 시스템 및 메모리 시스템 |
US9627061B2 (en) | 2013-03-04 | 2017-04-18 | SK Hynix Inc. | Electronic device having resistance element |
US9858975B1 (en) * | 2016-08-24 | 2018-01-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Zero transistor transverse current bi-directional bitcell |
US10790002B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-09-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Giant spin hall-based compact neuromorphic cell optimized for differential read inference |
US11233191B2 (en) | 2018-09-26 | 2022-01-25 | Globalfoundries U.S. Inc. | Integrated circuits with embedded memory structures and methods for fabricating the same |
EP3823031A1 (en) | 2019-11-12 | 2021-05-19 | Imec VZW | Bipolar selector device for a memory array |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5279823A (en) * | 1992-06-08 | 1994-01-18 | Genentech, Inc. | Purified forms of DNASE |
US5640343A (en) * | 1996-03-18 | 1997-06-17 | International Business Machines Corporation | Magnetic memory array using magnetic tunnel junction devices in the memory cells |
US6256224B1 (en) * | 2000-05-03 | 2001-07-03 | Hewlett-Packard Co | Write circuit for large MRAM arrays |
EP1107329B1 (en) * | 1999-12-10 | 2011-07-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic tunnel junction device, magnetic memory adopting the same, magnetic memory cell and access method of the same |
DE10060432A1 (de) * | 2000-12-05 | 2002-07-25 | Infineon Technologies Ag | Magnetoresistiver Speicher und Verfahren zu seinem Auslesen |
JP4780874B2 (ja) | 2001-09-04 | 2011-09-28 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 薄膜磁性体記憶装置 |
US6795334B2 (en) * | 2001-12-21 | 2004-09-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic random access memory |
JP4032747B2 (ja) * | 2002-01-10 | 2008-01-16 | 三菱電機株式会社 | 磁気記憶装置 |
KR100448853B1 (ko) * | 2002-05-20 | 2004-09-18 | 주식회사 하이닉스반도체 | 마그네틱 램 |
US6801450B2 (en) | 2002-05-22 | 2004-10-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Memory cell isolation |
US6757188B2 (en) | 2002-05-22 | 2004-06-29 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Triple sample sensing for magnetic random access memory (MRAM) with series diodes |
TW583667B (en) * | 2002-07-17 | 2004-04-11 | Ind Tech Res Inst | Magnetic random access memory with low writing current |
CN1184643C (zh) * | 2002-07-29 | 2005-01-12 | 财团法人工业技术研究院 | 具有低写入电流的磁性随机存取内存 |
JP2004071881A (ja) * | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置及びその製造方法 |
US6621730B1 (en) | 2002-08-27 | 2003-09-16 | Motorola, Inc. | Magnetic random access memory having a vertical write line |
-
2005
- 2005-08-25 KR KR1020050078365A patent/KR100655438B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-06-30 US US11/480,242 patent/US7582941B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-24 JP JP2006228297A patent/JP5085073B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-25 CN CN2006101218752A patent/CN1921004B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-07-22 US US12/507,504 patent/US7851878B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-10-29 US US12/915,335 patent/US8043869B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1921004B (zh) | 2010-11-17 |
US20110053293A1 (en) | 2011-03-03 |
US7851878B2 (en) | 2010-12-14 |
JP2007059919A (ja) | 2007-03-08 |
US20070047295A1 (en) | 2007-03-01 |
KR100655438B1 (ko) | 2006-12-08 |
US8043869B2 (en) | 2011-10-25 |
CN1921004A (zh) | 2007-02-28 |
US20090273045A1 (en) | 2009-11-05 |
US7582941B2 (en) | 2009-09-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20080201 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080630 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090729 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150914 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |