JP5078822B2 - 洗浄方法および洗浄装置 - Google Patents
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Description
図1は、この発明の実施の形態1による洗浄装置を示す概念図である。洗浄槽1には、気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水2が貯留されている。この洗浄槽1には、外壁に超音波振動子3が取り付けられており、超音波振動子3は、制御配線4を介して超音波発信器5とつながっている。また、洗浄槽1には、微細気泡生成器6と、オーバーフロー用配管7が取り付けられており、オーバーフロー用配管7の先には分離槽8が設置されている。分離槽8内部には循環水取込口9が設けられており、この循環水取込口9は水配管10によって水用ポンプ11を介して微細気泡生成器6とつながっている。微細気泡生成器6には、ガス供給配管12を介してガス用ポンプ13もつながっている。
図3は、図1に示す洗浄槽1の底部に設置した噴射板15の断面図である。噴射板15の上部には、洗浄水2を噴射するための噴射穴23と洗浄水2の流れる方向を制御する突起24が設けられている。
実施の形態1においては、噴液用配管14の途中に破泡用超音波振動子17を設けていたが、破泡用超音波振動子17を設置する代わりに、図4に示すように、噴液用配管14を、その吸い込み口が洗浄槽1の内部の上部位置に配置され、噴液用配管14の一部を洗浄に使用する超音波振動子3の近傍に来るように洗浄槽1に内設した後で洗浄槽1の外に引き出し、噴液ポンプ16を介して洗浄槽1の底部から噴射板15に接続してもよい。
実施の形態3においては、噴液用配管14を流れる洗浄水2に超音波を照射するように超音波振動子3の近傍に噴液用配管14を設置していたが、図5に示すように、噴液用配管14の吸い込み口を超音波振動子3の近傍になるように洗浄槽1に内設し、洗浄槽1から外部に引き出した噴液用配管14と噴射板15を、噴液ポンプ16を介して接続することも出来る。
実施の形態4においては、超音波によって微細気泡21が破泡した洗浄水2を洗浄槽1の底部から噴射させ、その液流によって浮遊する微細気泡21を気液界面で破泡させていた。このような上昇流を生成する代りに、図6に示すように、洗浄槽1の底部に回転体29を設け、その回転によって洗浄水2に生成される渦30に向けて超音波振動子3から超音波を照射することで微細気泡21を破泡することも出来る。
実施の形態1〜5では、超音波による破泡効果を利用していたが、減圧による微細気泡21の膨張を利用することも出来る。図7は、洗浄槽1に開閉可能な密閉性の上蓋31を設け、上蓋31の中央に被洗浄物20を保持する保持具32を固定する固定棒33を取り付け、固定棒33の端に上下移動機構34を設けたものである。上蓋31には、排気配管35も取り付けられており、排気配管35は排気ポンプ36とつながっている。また、上蓋31には、ガスリーク配管37が取り付けられており、その途中にはリークバルブ38が接続されている。さらに、洗浄槽1の機密性を保つため、オーバーフロー用配管7の途中にオーバーフローバルブ39が設置されており、微細気泡生成器6に接続された水配管10には水配管バルブ40が、ガス供給配管12にはガス供給バルブ41が取り付けられている。
Claims (4)
- 洗浄槽と、
前記洗浄槽に貯留された気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水と、
前記洗浄槽に微細気泡を噴射する微細気泡発生装置と、
前記洗浄槽に浸漬された被洗浄物に対して超音波を照射する超音波振動子と
を備えた洗浄装置において、
前記洗浄槽中の微細気泡を除去する微細気泡除去機構を備え、
前記微細気泡除去機構は、前記洗浄槽に取り付けられた循環配管と、前記循環配管を通過する洗浄水に超音波を放射して洗浄水の微細気泡を破泡する超音波照射機構とを有し、前記超音波照射機構による超音波照射後の洗浄水を前記洗浄槽の底部から噴射させるようにし、
前記洗浄槽の底部に、前記循環配管から噴射される液流が前記洗浄槽に対して上向きになるよう噴射板を設置し、
前記噴射板の上部に、洗浄水を噴射するための噴射穴と、洗浄水の流れる方向を制御する突起とを設け、前記突起の角度を、前記噴射板の中央では前記噴射板と垂直になるようにし、前記洗浄槽の側面に近くなるほど前記噴射板に対して低角度になるようにした
ことを特徴とする洗浄装置。 - 洗浄槽と、
前記洗浄槽に貯留された気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水と、
前記洗浄槽に微細気泡を噴射する微細気泡発生装置と、
前記洗浄槽に浸漬された被洗浄物に対して超音波を照射する超音波振動子と
を備えた洗浄装置において、
前記洗浄槽中の微細気泡を除去する微細気泡除去機構を備え、
前記洗浄槽の底部に、前記循環配管から噴射される液流が前記洗浄槽に対して上向きになるよう噴射板が設置され、
前記微細気泡除去機構は、洗浄水の吸い込み口が前記超音波振動子の近傍に配置されるように前記洗浄槽に内設された後、前記洗浄槽の外部に引き出され、前記洗浄槽の底部から前記噴射板に接続された循環配管を有し、前記超音波振動子による超音波照射後の洗浄水を前記洗浄槽の底部から噴射させるようにした
ことを特徴とする洗浄装置。 - 洗浄槽と、
前記洗浄槽に貯留された気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水と、
前記洗浄槽に微細気泡を噴射する微細気泡発生装置と、
前記洗浄槽に浸漬された被洗浄物に対して超音波を照射する超音波振動子と、
前記洗浄槽中の微細気泡を除去するための機構であり、前記洗浄槽に取り付けられた循環配管と、前記循環配管を通過する洗浄水に超音波を放射して洗浄水の微細気泡を破泡する超音波照射機構とを有する微細気泡除去機構と、
前記循環配管から噴射される液流が前記洗浄槽に対して上向きになるように、前記洗浄槽の底部に設置された噴射板と
を備え、
前記噴射板は、上部に、洗浄水を噴射するための噴射穴と、洗浄水の流れる方向を制御する突起とが設けられており、
前記突起の角度は、前記噴射板の中央では前記噴射板と垂直になるように、前記洗浄槽の側面に近くなるほど前記噴射板に対して低角度になるように設けられた
洗浄装置に適用される洗浄方法であって、
前記超音波振動子により、前記被洗浄物に対して前記超音波を照射させる第1ステップと、
前記第1ステップにより前記超音波を照射させた後、前記微細気泡発生装置により、前記洗浄槽の底部に設置された前記噴射板を介することで前記洗浄槽の底部から前記微細気泡を噴射させる第2ステップと、
前記第2ステップによる前記微細気泡の噴射を停止させた後に、前記微細気泡除去機構により、前記洗浄槽に浮遊する前記微細気泡を除去させる第3ステップと
を備えたことを特徴とする洗浄方法。 - 洗浄槽と、
前記洗浄槽に貯留された気泡の合一を抑制する添加剤を加えた洗浄水と、
前記洗浄槽に微細気泡を噴射する微細気泡発生装置と、
前記洗浄槽に浸漬された被洗浄物に対して超音波を照射する超音波振動子と、
前記洗浄槽中の微細気泡を除去する微細気泡除去機構と、
前記循環配管から噴射される液流が前記洗浄槽に対して上向きになるように、前記洗浄槽の底部に設置された噴射板と
を備え、
前記微細気泡除去機構は、洗浄水の吸い込み口が前記超音波振動子の近傍に配置されるように前記洗浄槽に内設された後、前記洗浄槽の外部に引き出され、前記洗浄槽の底部から前記噴射板に接続された循環配管を有している洗浄装置に適用される洗浄方法であって、
前記超音波振動子により、前記被洗浄物に対して前記超音波を照射させる第1ステップと、
前記第1ステップにより前記超音波を照射させた後、前記微細気泡発生装置により、前記洗浄槽の底部に設置された前記噴射板を介することで前記洗浄槽の底部から前記微細気泡を噴射させる第2ステップと、
前記第2ステップによる前記微細気泡の噴射を停止させた後に、前記微細気泡除去機構により、前記洗浄槽に浮遊する前記微細気泡を除去させる第3ステップと
を備えたことを特徴とする洗浄方法。
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