JP5078471B2 - 高周波増幅器 - Google Patents

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この発明は高周波増幅器に関し、特に、主としてVHF帯、UHF帯、マイクロ波帯およびミリ波帯で用いられる高周波増幅器に関するものである。
図8は、この種の従来の高周波増幅器の構成を示したものである(例えば、特許文献1参照)。
図8において、1は半導体素子、2は整合回路、3は抵抗、10は先端開放スタブである。先端開放スタブ10は、増幅器の動作周波数f0で電気長が2分の1波長となり、その2分の1の周波数f0/2で電気長が4分の1波長となっている。
次に動作について説明する。先端開放スタブ10は、高周波増幅器の動作周波数f0の2分の1の周波数f0/2で長さ4分の1波長であり、図中のB点に電気的短絡点を形成するため、周波数f0/2では、抵抗3は、図中のC点の位置に一端が接続され、他端が接地された抵抗と等価となり、抵抗3が機能して利得を抑圧し、高周波増幅器の安定化を図ることができる。これに対して高周波増幅器の動作周波数f0では、先端開放スタブ10は長さ2分の1波長となり、図中のB点のインピーダンスは無限大となるため、周波数f0では、抵抗3は図中のC点の位置に一端が接続され、他端が開放された抵抗となり、抵抗3は無視できるため高周波増幅器の利得はほとんど損なわれない。したがって、高周波増幅器の動作周波数f0での利得劣化を抑えつつ、動作周波数の2分の1となる周波数f0/2での不要発振を抑圧し、安定に動作させることが可能となる。
特開2001−144560号公報
しかしながら、以上のように、特許文献1に記載された従来の高周波増幅器では、動作周波数f0で2分の1波長の先端開放スタブを必要とするため、整合回路のサイズが大きくなってしまうという問題点があった。
また、図9に示すように、動作周波数f0で長さが4分の1波長となり、その2分の1の周波数f0/2で長さが8分の1波長となる先端短絡スタブ11を用いた構成とした場合、動作周波数f0では、先端短絡スタブ11は長さ4分の1波長となり、図中のB点のインピーダンスは無限大となるため、周波数f0では、抵抗3は図中のC点の位置に一端が接続され他端が開放された抵抗となり、抵抗3は無視できるため高周波増幅器の利得はほとんど損なわれない。しかしながら、動作周波数f0の2分の1の周波数f0/2では長さ8分の1波長であり、周波数f0/2では、図中のB点に電気的短絡点が形成されないため、動作周波数f0で長さ2分の1波長の先端開放スタブを用いる場合に比べ、抵抗3の効きが弱く、利得の抑圧が小さいという問題点もある。
この発明はかかる問題点を解決するためになされたものであり、小形で、かつ、動作周波数の2分の1となる周波数での利得の抑圧が大きく、不要発振を抑圧して安定に動作する、高周波増幅器を得ることを目的とする。
この発明は、半導体素子と、前記半導体素子に接続された整合回路と、を備えた高周波増幅器であって、前記整合回路は利得抑圧回路を有しており、前記利得抑圧回路は、一端がグランドに接地され、動作周波数において4分の1波長以下の電気長となる伝送線路と、複数の容量を直列接続して構成した容量部とから構成され、前記利得抑圧回路の前記伝送線路と前記容量部とは、一端がグランドに接地され、動作周波数において4分の1波長以下の電気長となる、MIMキャパシタ部から一体に構成されており、前記MIMキャパシタ部は、複数のMIMキャパシタを直列接続することにより構成されていることを特徴とする高周波増幅器である。
この発明は、半導体素子と、前記半導体素子に接続された整合回路と、を備えた高周波増幅器であって、前記整合回路は利得抑圧回路を有しており、前記利得抑圧回路は、一端がグランドに接地され、動作周波数において4分の1波長以下の電気長となる伝送線路と、複数の容量を直列接続して構成した容量部とから構成され、前記利得抑圧回路の前記伝送線路と前記容量部とは、一端がグランドに接地され、動作周波数において4分の1波長以下の電気長となる、MIMキャパシタ部から一体に構成されており、前記MIMキャパシタ部は、複数のMIMキャパシタを直列接続することにより構成されていることを特徴とする高周波増幅器であるため、小形で、かつ、動作周波数の2分の1となる周波数での利得の抑圧が大きく、不要発振を抑圧して安定に動作することができる。
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1における高周波増幅器の構成図である。図1に示すように、本実施の形態1に係る高周波増幅器は、半導体素子1と、半導体素子1と信号源との間に接続された整合回路2とを備えている。整合回路2は、信号源側から半導体素子1の入力端子に至る間の整合回路2中の信号路に並列に接続された抵抗3と、グランド5に一端が接地された伝送線路4と、抵抗3と伝送線路4との間に接続され、複数のコンデンサ(容量)から構成されたコンデンサ部6とから構成されている。半導体素子1として、ここでは、1個のソース接地FETの場合について示している。伝送線路4は高周波増幅器の動作周波数f0で電気長が4分の1波長となり、その2分の1の周波数f0/2で電気長が8分の1波長となっている。また、コンデンサ部6は複数個のコンデンサが直列接続されて構成されている。抵抗3、コンデンサ部6、伝送線路4、及び、グランド5が順に直列に接続されてなる直列回路により利得抑圧回路が形成される。
次に動作について説明する。伝送線路4は高周波増幅器の動作周波数f0では長さ4分の1波長となり、図中のA点のインピーダンスは無限大となる。また、高い周波数では、コンデンサ6によるインピーダンスも大きいため、図中のB点のインピーダンスも無限大となる。このため、周波数f0では、抵抗3は図中のC点の位置に一端が接続され他端が開放された抵抗となり、抵抗3は無視できるため高周波増幅器の利得はほとんど損なわれない。これに対し、動作周波数f0の2分の1の周波数f0/2では、伝送線路4の長さは8分の1波長であるが、コンデンサを複数個直列接続することにより、より小さい容量値を実現することができるため、容量性としての機能が大きくなり、周波数f0/2では、コンデンサを用いない場合に比べ、B点において電気的短絡点に近い位置となり、抵抗3が機能して利得を抑圧し、高周波増幅器の安定化を図る。したがって、2分の1波長の先端開放スタブを用いる場合にくらべて半分の長さで済み、さらに4分の1波長の先端短絡スタブのみを用いる場合に比べて、利得の抑圧効果が向上するという効果がある。
なお、ここでは、抵抗3を用いた場合について説明したが、その場合に限らず、抵抗3は設けなくてもよい。この場合でも、2分の1の周波数では整合回路2での反射が大きくなることにより、利得が抑圧される。
また、利得抑圧回路を整合回路2aと整合回路2aの間に設けた場合について示しているが、利得抑圧回路の位置は入力端子側などでもよい。
さらに、利得抑圧回路としては、コンデンサ部6を抵抗3と伝送線路4との間に設けた場合について示しているが、コンデンサ部6の位置は、伝送線路4とグランド5との間、あるいは、抵抗3とC点との間でもよい。また、コンデンサ部6を構成している複数のコンデンサを分割して配置してもよい。
以上のように、本実施の形態においては、半導体素子1と整合回路2とからなる高周波増幅器において、整合回路2は、一端が接地され、動作周波数で4分の1波長の長さとなる伝送線路4と、複数のコンデンサを直列接続してなるコンデンサ部6と、抵抗3とを、直列接続した利得抑圧回路を有するようにしたので、これにより、まず、動作周波数で4分の1波長の長さとなる伝送線路4を用いるようにしたことにより、2分の1波長の先端開放スタブを用いる場合に比べて、半分の長さで済むため、整合回路のサイズを小さくでき、小形化が図れる。また、動作周波数の2分の1となる周波数において、伝送線路4の長さは8分の1波長であるが、コンデンサを複数個直列接続することにより、より小さい容量値を実現することができるため、容量性としての機能が大きくなり、コンデンサを用いない場合に比べ、抵抗3が機能して、利得の抑圧が大きく、不要発振を抑圧して安定に動作することができる。
実施の形態2.
図2はこの発明の実施の形態2における高周波増幅器の構成図である。図において、符号1〜3,5は、図1と同一であり、7は、複数のMIMキャパシタ(Metal-Insulator-Metal Capacitor)を直列接続してなるMIMキャパシタ部であり、図1のコンデンサ部6及び伝送線路4の代わりに設けられている。
次に動作について説明する。ミリ波などの高い周波数では、MIMキャパシタ部7の物理的な大きさが波長に対し無視できなくなる。一般的に、幅W、長さLのMIMキャパシタの等価回路は、図3のように、幅Wと長さLにより形成される容量値と、幅W及び長さL/2の伝送線路2個とで表される。従って、図2の構成においても、抵抗と容量と伝送線路からなる利得抑圧回路が形成され、実施の形態1と同様の効果を有する。すなわち、本実施の形態においては、MIMキャパシタ部7が、抵抗と容量と伝送線路とからなる利得抑圧回路を一体に構成している。
図4に、動作周波数f0において4分の1波長の長さとなる伝送線路(先端短絡スタブ)と、MIMキャパシタを複数個直列接続して一端を接地した利得抑圧回路の計算結果を示す。4分の1波長の伝送線路では、伝送線路を見込んだインピーダンスは動作周波数で開放とした場合、動作周波数の2分の1の周波数では開放と短絡の中間の位置となる。これに対し、MIMキャパシタを直列接続した利得抑圧回路では、回路を見込んだインピーダンスは、動作周波数の2分の1の周波数では、より短絡に近い位置となる。従って、本実施の形態におけるMIMキャパシタ部7から構成される伝送線路の長さは動作周波数の2分の1の周波数において8分の1波長以下となり、利得抑圧の効果がより高くなる。
なお、ここでは、抵抗3を用いた場合について説明したが、その場合に限らず、抵抗3は設けなくてもよい。この場合でも、2分の1の周波数では整合回路2での反射が大きくなることにより、利得が抑圧される。
また、利得抑圧回路を整合回路2aと整合回路2aの間に設けた場合について示しているが、利得抑圧回路の位置は入力端子側などでもよい。
さらに、利得抑圧回路としては、MIMキャパシタ部7を抵抗3とグランド5との間に設けた場合について示しているが、MIMキャパシタ部7の位置は、抵抗3とC点との間でもよい。また、MIMキャパシタ部7のMIMキャパシタを分割して配置してもよい。
以上のように、本実施の形態2では、上記の実施の形態1と同様の効果が得られて、小形化が図れ、さらに、動作周波数の2分の1となる周波数での利得の抑圧が大きく、不要発振を抑圧して安定に動作することができる。また、本実施の形態2においては、MIMキャパシタの物理的な大きさを伝送線路として利用し、伝送線路を別に設けることがないため、より小形にできるという利点も有する。
実施の形態3.
図5は、この発明の実施の形態3における高周波増幅器の構成図である。図において、符号5,7は、図2と同一であり、8は高周波増幅器に一般に設けられているRFパッド、9は、同様に高周波増幅器に一般に設けられているDC(Direct Current)カット用のMIMキャパシタである。図5に示すように、本実施の形態3においては、RFパッドはグランド5に接地されているが、MIMキャパシタ部7の一端もグランド5に接地されている。また、DCカット用のMIMキャパシタ9は、MIMキャパシタ部7を構成している複数のMIMキャパシタの中に、それらのうちの1つとして接続されている。従って、本実施の形態は、RFパッド8のグランドと利得抑圧回路を接地するためのグランドとを共有し、また、DCカット用のMIMキャパシタ9と利得抑圧回路のMIMキャパシタの一部を共有している。他の構成については、実施の形態2で示した図2と同じであるため、ここでは説明を省略する。
以上の構成においても、幅W、長さLのMIMキャパシタ部7の等価回路は、図3のように、幅Wと長さLにより形成される容量値と、幅W及び長さL/2の伝送線路2個とで表される。従って、図5の構成においても、抵抗と容量と伝送線路からなる利得抑圧回路が形成され、実施の形態1及び2と同様の効果を有する。さらに、本実施の形態においては、グランドを共有することにより、利得抑圧回路のグランドを新たに設ける必要がなく、より小形にできるという利点を有する。
また、DCカットのMIMキャパシタ9も共有するので、容量性をより大きくでき、より小形に2分の1の周波数でのインピーダンスを短絡に近づけられるという利点も有する。
さらに、動作周波数に大きな影響を与えることがないので、整合回路は動作周波数のみを考慮して設計しておき、RFパッド部分のみ本構成とするだけでよく、設計が容易となるという利点も有する。
図6に、本実施の形態3を用いた場合の高周波増幅器の利得抑圧効果の計算結果を示す。図6(d)のグラフにおいて、実線は、図6(a)の等価回路で示される構造の高周波増幅器の計算結果であり、三角線(−▽−)は、実線で示される利得特性を有する図6(a)の高周波増幅器に従来の先端短絡スタブを2個ずつ入力側と出力側に設けた場合(図6(b)の等価回路参照)の計算結果であり、丸線(−○−)は、実線で示される利得特性を有する図6(a)の高周波増幅器に本実施の形態3の利得抑圧回路を2個ずつ入力側と出力側に設けた場合(図6(c)の等価回路参照)の計算結果を示している。図6(d)のグラフに示される通り、通常の先端短絡スタブでは26〜28GHzにおける利得抑圧量が約5dBなのに対し、本実施の形態における利得抑圧回路では約14dBの抑圧効果が得られている。このとき、56〜60GHzにおける動作周波数での利得劣化はほとんど見られていない。
以上のように、本実施の形態では、実施の形態1及び2と同様の効果を有するとともに、さらに、本実施の形態においては、グランドをRFパッドと共有することにより、利得抑圧回路のグランドを新たに設ける必要がなく、より小形化にできるという利点を有するとともに、構造が簡易化されるので、製造工程が容易になり、小型かつ容易に動作周波数f0の2分の1の周波数f0/2での利得抑圧を図ることができるという利点を有する。
実施の形態4.
図7は、この発明の実施の形態4における高周波増幅器の構成図である。図において、符号1〜3,5,7は、図2と同一である。なお、本実施の形態においては、MIMキャパシタ部7を構成している複数のMIMキャパシタの大きさには分布を持たせており、互いに異なるサイズとなっている。具体的には、抵抗3に接続されているMIMキャパシタのサイズが最も小さく、それに接続されている次のMIMキャパシタが少し大きくなり、その次がまた少し大きくなって、というように、順に徐々に大きくなって、グランド5に接地されているMIMキャパシタのサイズが最も大きいという構造になっている。
以上のように、本実施の形態4においても、実施の形態2と同様の効果が得られるとともに、さらに、本実施の形態4においては、図中のB点では、MIMキャパシタの物理的な大きさが小さくなっているため、ミリ波などの高い周波数でもその接続の影響が小さくなり、より短絡に近くなるという利点も有する。
この発明の実施の形態1に係る高周波増幅器の構成を示した構成図である。 この発明の実施の形態2に係る高周波増幅器の構成を示した構成図である。 この発明の実施の形態2に係る高周波増幅器におけるMIMキャパシタ部の等価回路を示した回路図である。 この発明の実施の形態2に係る高周波増幅器における利得抑圧回路の利得抑圧効果の計算結果を示した説明図である。 この発明の実施の形態3に係る高周波増幅器の構成を示した構成図である。 この発明の実施の形態3に係る高周波増幅器における利得抑圧回路の利得抑圧効果の計算結果を示した説明図である。 この発明の実施の形態4に係る高周波増幅器の構成を示した構成図である。 従来の高周波増幅器の構成を示した構成図である。 従来の高周波増幅器の構成を示した構成図である。
符号の説明
1 半導体素子、2 整合回路、3 抵抗、4 伝送線路、5 グランド、6 コンデンサ部、7 MIMキャパシタ部、8 RFパッド、9 DCカット用のMIMキャパシタ、10 先端開放スタブ、11 先端短絡スタブ。

Claims (3)

  1. 半導体素子と、前記半導体素子に接続された整合回路と、を備えた高周波増幅器であって、
    前記整合回路は利得抑圧回路を有しており、
    前記利得抑圧回路は、
    一端がグランドに接地され、動作周波数において4分の1波長以下の電気長となる伝送線路と、
    複数の容量を直列接続して構成した容量部と
    から構成され、
    前記利得抑圧回路の前記伝送線路と前記容量部とは、
    一端がグランドに接地され、動作周波数において4分の1波長以下の電気長となる、MIMキャパシタ部から一体に構成されており、
    前記MIMキャパシタ部は、複数のMIMキャパシタを直列接続することにより構成されている
    ことを特徴とする高周波増幅器。
  2. 前記高周波増幅器はRFパッドとDCカット用のMIMキャパシタとが設けられているものであって、
    前記MIMキャパシタ部が接地されている前記グランドは、前記RFパッドのグランドと共有され、
    前記MIMキャパシタ部を構成している前記複数のMIMキャパシタのうちの少なくとも1つは、前記DCカット用のMIMキャパシタと共有される
    ことを特徴とする請求項に記載の高周波増幅器。
  3. 前記MIMキャパシタ部を構成している前記複数のMIMキャパシタの大きさは同一でないことを特徴とする請求項またはに記載の高周波増幅器。
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