JP5074666B2 - マグネトロン - Google Patents
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Description
また、熱陰極及びその周辺が高温になるため、陰極自体は勿論のこと、その周辺の部品にも、例えばタングステンやモリブデン等の高価な高融点金属を使用しなければならないという問題があった。
このマグネトロンは、図9に示すように、図示せぬ陽極筒体の内周に放射状に配列された陽極ベイン3の中心に筒状の陰極5を配置する。そして、陰極5は、筒状の陰極金属6の外周面に電界電子放出電極7を突設し、更に、図10に示すように、陰極金属6の外周面に酸化膜9を被覆した構成である。
電界電子放出電極7は、電界集中効果を高めるために、先端を鋭敏に尖らせた形態が望ましく、電解研磨や放電加工を駆使して、先端を鋭角形状に仕上げる。
酸化膜9は、陰極金属6からの電子の放出に対して、二次電子放出源として機能して、仕事関数を下げるもので、例えば、真空蒸着成膜法により形成される。
このようなマグネトロンは、陰極5の表面付近に高電界(109V/m程度)を加えた時に起こる電界放出現象により陰極5から電子を放出させる(例えば、特許文献1参照)。
そして、実質的に電界電子放出電極7に作用する電界強度を高くする方法としては、電界電子放出電極7の突出長を大きくすること、電界電子放出電極7の装備数を増量して、電子放出面積を増大させることなどが考えられる。
前記陰極が、外周面に凹凸を形成した筒状もしくは柱状の陰極金属と、前記陰極金属の外周面の少なくとも凹部に被覆された炭素繊維とを備え、前記筒状もしくは柱状の陰極金属は、円筒もしくは柱状の外周面にねじ切り加工を施すことによって、凹凸を形成した構成とすることを特徴とする。
そして、上記のマグネトロンでは、筒状もしくは柱状の陰極金属の外周面の凸部に被覆されている炭素繊維が、先端が鋭角で電界集中効果の高い電界電子放出電極として機能するが、この電界電子放出電極として機能する炭素繊維の突出長は、陰極金属の表面の凹凸によって嵩上げされて、大きな突出長を得ることができる。
また、陰極金属の表面の凹凸自体は、そのまま電界電子放出電極として利用されるものでないため、電解研磨や放電加工と比較して加工性の良い切削加工等によって容易に且つ効率的に大きな凹凸に仕上げることができる。
従って、比較的に簡単に突出長の大きな電界電子放出電極を設定することができ、電界電子放出電極への電界集中を高めることで、電界電子放出電極の表面に作用する電界強度を大幅に高めることができ、動作電圧の増大等に頼らずとも出力アップを図ることができる。
図1は本発明に係るマグネトロンの第1の実施の形態の陰極周辺の縦断面図であり、図2は図1に示した陰極の要部の拡大図である。
また、陰極金属15の表面の凹凸15a,15b自体は、そのまま電界電子放出電極として利用されるものでないため、電解研磨法や放電加工法と比較して加工性の良いねじ切り加工等の切削加工等によって容易に、且つ、効率的に突出長が揃った大きな凹凸15a,15bを連続形成することができる。
従って、比較的に簡単に突出長の大きな電界電子放出電極を設定することができ、電界電子放出電極の電界集中を高めることで、電界電子放出電極の表面に作用する電界強度を大幅に高めることができ、動作電圧の増大等に頼らずとも出力アップを図ることができる。
この筒状の陰極金属31は、多角形筒体で、多角形の角部31aが、外周面の凹凸の凸部として利用される。
このような多角形筒体の陰極金属31は、金属筒体を引き抜き加工等で所望の多角形状に形成するだけで、陰極金属31の外周面に、突出長が揃った凹凸(角部31a)を形成することができる。
この筒状の陰極金属33は、多角形筒体の外周面に、軸方向に一定ピッチpで、軸線方向に略直交する方向にV溝34を刻設することで、多角形の鍔状の凸部35を多段に形成したもので、凸部35の上に被覆される図示せぬ炭素繊維が電界電子放出電極となる。
図5は、本発明に係る筒状の陰極金属の第4の実施の形態を示したものである。
この筒状の陰極金属36は、複数個のリング状の金属駒37を中心軸線を合わせて積み重ねることで所定の長さの筒状に形成されている。
本実施の形態の金属駒37は、傘形状で、最大径となる下端外周部が鋭角の凸部38となり、その下に隣接する金属駒37の上端面との間に形成される段差が凹部39となって、凹凸38,39を有した陰極金属36に仕上げられている。
例えば、リング状の金属駒37自体は、図6に示すように外周の上下をそれぞれテーパ面40aとして、そろばんの玉の如き形状にしても良く、図7に示すように、円筒部41の下端外周に鍔状の凸部42を装備した構成にしても良い。また、図8に示すように、円筒部41の中間部外周に鍔状の凸部43を装備した構成にしても良い。また、図7及び図8に示した形状の駒は、外周の肉厚を部分的に薄くすることで、鍔状の凸部42,43を形成するようにしても良い。
また、以上に説明したリング状の駒は、鍛造や転造や、金属板のプレス加工によって簡単に量産することができて、複数の駒を積み重ねるだけで、多段に凹凸を形成した筒状の陰極金属に仕上げることができ、生産性に優れる。
このようなマイクロ波利用装置を構成することにより、高出力が得られる高効率の装置を実現でき、しかも、ランニングコストの低減を図ることもできる。
11 陰極
15 筒状の陰極金属
15a 凸部
15b 凹部
17 炭素繊維
Claims (2)
- 陽極の中心に筒状もしくは柱状の陰極を配置し、前記陰極の電界放出現象により電子の供給を行うマグネトロンにおいて、
前記陰極が、外周面に凹凸を形成した筒状もしくは柱状の陰極金属と、前記陰極金属の外周面の少なくとも凸部に被覆された炭素繊維とを備え、
前記筒状もしくは柱状の陰極金属は、円筒もしくは柱状の外周面にねじ切り加工を施すことによって、凹凸を形成したことを特徴とするマグネトロン。 - 上記請求項1に記載のマグネトロンを搭載したことを特徴とするマイクロ波利用装置。
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