JP5061562B2 - LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE - Google Patents

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本発明は、発光層を有する発光装置、及び当該発光装置を備えた電子機器に関する。   The present invention relates to a light emitting device having a light emitting layer, and an electronic apparatus including the light emitting device.

上記発光装置の一つに、発光層に有機発光材料を用いた有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置がある。有機ＥＬ装置は、薄型、低消費電力、広視野角といった特徴を有しており、多くの電子機器に表示装置として搭載されている。そして、こうした有機ＥＬ装置に対しては、表示情報量の増加や表示品位の向上のため、さらなる高精細化が求められている。   One of the light emitting devices is an organic EL (Electro Luminescence) device using an organic light emitting material for a light emitting layer. Organic EL devices have features such as thinness, low power consumption, and wide viewing angle, and are mounted as display devices in many electronic devices. Such organic EL devices are required to have higher definition in order to increase the amount of display information and improve display quality.

ところで、上記有機ＥＬ装置の製造方法としては、いわゆる液滴吐出法を用いた方法が知られている。これは、基板上に各画素を囲うようにして形成されたバンク（隔壁）の作る凹部に、有機発光材料が溶解又は分散された液滴を吐出し、これを乾燥させることによって発光層を形成するものである（特許文献１参照）。   By the way, as a method for manufacturing the organic EL device, a method using a so-called droplet discharge method is known. In this method, a light emitting layer is formed by discharging a droplet in which an organic light emitting material is dissolved or dispersed in a recess formed by a bank (partition) formed so as to surround each pixel on the substrate and drying it. (See Patent Document 1).

特開２００４−３１３５９号公報JP 2004-31359 A

しかしながら、高精細化のために画素を小さくしていくと、バンクの作る凹部も小さくなる。こうした場合においては、当該凹部に吐出された液滴の表面積を最小に保とうとする表面張力の作用の影響が大きくなり、液滴を乾燥させて得られる発光層の平坦性を確保することが困難になるという問題点がある。   However, as the pixels are made smaller for higher definition, the recesses made by the banks also become smaller. In such a case, the effect of the surface tension which tries to keep the surface area of the droplet discharged to the concave portion to a minimum is increased, and it is difficult to ensure the flatness of the light emitting layer obtained by drying the droplet. There is a problem of becoming.

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の奏する効果の一つにより、発光層を含む機能層の平坦化を実現させることができる。   The present invention has been made in view of the above problems, and planarization of a functional layer including a light emitting layer can be realized by one of the effects exhibited by the present invention.

本発明の発光装置は、複数の画素を有する発光装置であって、基板と、前記基板上に、前記画素ごとに形成された画素電極と、前記基板上に、前記基板の法線方向から見て一部が前記画素電極の外縁部に重なった状態に形成され、前記画素の発光領域に対応する領域に開口部を有する第１のバンクと、前記第１のバンク上に、複数の前記発光領域を囲うように、かつ前記第１のバンク上のうち前記開口部の近傍を除いた領域に形成された第２のバンクと、前記画素電極、前記第１のバンク、前記第２のバンクによって形作られる凹部に配置された、発光層を含む機能層と、前記機能層を挟んで前記画素電極の反対側に形成された陰極と、を備えることを特徴とする。   The light-emitting device of the present invention is a light-emitting device having a plurality of pixels, and is viewed from the normal direction of the substrate on the substrate, the pixel electrode formed for each pixel on the substrate, and the substrate. And a plurality of the light-emitting elements on the first bank, the first bank having an opening in a region corresponding to the light-emitting region of the pixel. A second bank formed in a region surrounding the region and excluding the vicinity of the opening on the first bank, the pixel electrode, the first bank, and the second bank. And a functional layer including a light emitting layer and a cathode formed on the opposite side of the pixel electrode with the functional layer interposed therebetween.

このような構成によれば、個々の画素及び発光領域の大きさが液滴吐出法に適さないほど小さい場合であっても、上記凹部に吐出された機能液（機能層の材料を含んだ液体）は、当該凹部が上記発光領域を複数包含する大きさを有するため、凹部の底部に均一な厚さに濡れ広がる。また、第２のバンクは各画素の発光領域（第１のバンクの開口部）の近傍を除いた領域に形成されるため、機能液は、発光領域上において第２のバンクの影響による凹凸が少ない状態で濡れ広がる。上記発光層を含む機能層は、こうした機能液を乾燥させることによって得られるため、高い平坦性を有した状態で形成される。以上から、上記構成により、発光領域における、発光層を含む機能層の平坦化を実現させることができる。また、異なる画素に形成された発光層の厚さを容易に均一にすることができる。これにより、輝度ムラ等の不具合の少ない、高品位な発光を行うことができる。   According to such a configuration, even if the size of each pixel and the light emitting region is too small to be suitable for the droplet discharge method, the functional liquid (liquid containing the material of the functional layer) discharged to the concave portion is used. ) Has a size in which the concave portion includes a plurality of the light emitting regions, and spreads in a uniform thickness on the bottom of the concave portion. Further, since the second bank is formed in a region excluding the vicinity of the light emitting region of each pixel (the opening of the first bank), the functional liquid has unevenness due to the influence of the second bank on the light emitting region. Wet and spread in a small state. Since the functional layer including the light emitting layer is obtained by drying such a functional liquid, the functional layer is formed with high flatness. As described above, with the above structure, planarization of the functional layer including the light emitting layer in the light emitting region can be realized. In addition, the thickness of the light emitting layers formed in different pixels can be easily made uniform. Thereby, high-quality light emission with less defects such as luminance unevenness can be performed.

上記発光装置において、前記画素は、前記発光領域において、複数の発光色のうちいずれか１つの発光を行い、前記第２のバンクによって囲まれた前記複数の発光領域における発光の色は同一であることが好ましい。   In the light emitting device, the pixel emits one of a plurality of light emission colors in the light emission region, and light emission colors in the plurality of light emission regions surrounded by the second bank are the same. It is preferable.

このような構成において、ある発光色の光を発する機能層を形成する際には、当該発光色に対応する複数の発光領域を包含する凹部に機能液を吐出することとなり、当該機能液が上記複数の画素にわたって均一な厚さに濡れ広がる。よって、これを乾燥して得られる機能層は、各画素の大きさが液滴吐出法に適さないほど小さい場合であっても、発光領域において高い平坦性を有した状態で形成される。また、異なる画素に形成された発光層の厚さを容易に均一にすることができる。これにより、輝度ムラ等の不具合の少ない、高品位な発光を行うことができる。   In such a configuration, when a functional layer that emits light of a certain emission color is formed, the functional liquid is discharged into a recess that includes a plurality of light emitting regions corresponding to the emission color, and the functional liquid is It spreads out to a uniform thickness over a plurality of pixels. Therefore, the functional layer obtained by drying this layer is formed with high flatness in the light emitting region even when the size of each pixel is too small to be suitable for the droplet discharge method. In addition, the thickness of the light emitting layers formed in different pixels can be easily made uniform. Thereby, high-quality light emission with less defects such as luminance unevenness can be performed.

上記発光装置においては、等ピッチで配置された複数の前記画素からなる画素列を複数有し、隣り合う前記画素列に含まれる前記画素は、互いに前記画素列方向について半ピッチずつずれて配置されていることが好ましい。   The light emitting device includes a plurality of pixel columns including a plurality of the pixels arranged at an equal pitch, and the pixels included in the adjacent pixel columns are arranged so as to be shifted from each other by a half pitch in the pixel column direction. It is preferable.

このような構成によれば、ある画素列における画素間に対応する位置に、これと隣接する画素列の画素が配置される。このようにすれば、画素をマトリクス状に配置する場合に比べて、発光領域と発光領域との間隔をより小さくすることができる。これにより、発光領域の配置密度を高めることができるとともに、開口率を向上させることが可能となる。よって、高精細な発光を行うことができ、また発光輝度を高めることができる。   According to such a configuration, pixels in a pixel column adjacent to the pixel column are arranged at positions corresponding to the pixels in a certain pixel column. In this way, the distance between the light emitting region and the light emitting region can be made smaller than in the case where the pixels are arranged in a matrix. Thereby, the arrangement density of the light emitting regions can be increased and the aperture ratio can be improved. Therefore, high-definition light emission can be performed and the light emission luminance can be increased.

上記発光装置において、前記第１のバンクは親水性を有することが好ましい。   In the light-emitting device, the first bank preferably has hydrophilicity.

このような構成によれば、上記凹部の底部を親水性とすることができる。こうした凹部に吐出された機能液は、凹部の底部に均一に濡れ広がるため、乾燥後の機能層の平坦性を向上させることができる。   According to such a structure, the bottom part of the said recessed part can be made hydrophilic. Since the functional liquid discharged to the concave portion spreads uniformly on the bottom of the concave portion, the flatness of the functional layer after drying can be improved.

上記発光装置において、前記第２のバンクは撥水性を有することが好ましい。   In the light-emitting device, the second bank preferably has water repellency.

このような構成によれば、上記凹部の側壁を撥水性とすることができる。こうした凹部に吐出された機能液は、側壁に沿って盛り上がってしまう現象が起こりにくく、底部に均一に濡れ広がるため、乾燥後の機能層の平坦性を向上させることができる。   According to such a structure, the side wall of the said recessed part can be made water-repellent. The functional liquid discharged to the recesses is unlikely to swell along the side wall and spreads uniformly on the bottom, so that the flatness of the functional layer after drying can be improved.

本発明の電子機器は、上記発光装置を備えることを特徴とする。   An electronic apparatus according to the present invention includes the light emitting device.

このような構成の電子機器によれば、輝度ムラ等の表示不良の少ない、高品位な表示を行うことができる。   According to the electronic apparatus having such a configuration, it is possible to perform high-quality display with few display defects such as luminance unevenness.

以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings shown below, the dimensions and ratios of the components are appropriately different from the actual ones in order to make the components large enough to be recognized on the drawings.

（有機ＥＬ装置）
図１は、本発明の発光装置としての有機ＥＬ装置１の拡大平面図である。有機ＥＬ装置１は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光を行う画素５Ｒ，５Ｇ，５Ｂ（以下まとめて「画素５」とも呼ぶ）を複数備えている。画素５は、同一の色に対応するものが図の縦方向に等間隔（等ピッチ）に並ぶように配置されている。このような画素５の列を画素列と呼ぶ。有機ＥＬ装置１は、赤、緑、青に対応する画素列を複数備えており、これらの画素列は赤、緑、青の順に繰り返し配列され、ストライプ状をなしている。また、隣り合う画素列に含まれる画素５は、画素列方向について半ピッチずつずれて配置されている。すなわち、画素５は千鳥状に配置されており、ある画素列における画素５の間に対応する位置に、これと隣接する画素列の画素５が配置されている。 (Organic EL device)
FIG. 1 is an enlarged plan view of an organic EL device 1 as a light emitting device of the present invention. The organic EL device 1 includes a plurality of pixels 5R, 5G, and 5B (hereinafter collectively referred to as “pixels 5”) that emit red (R), green (G), and blue (B) light. The pixels 5 corresponding to the same color are arranged so as to be arranged at equal intervals (equal pitch) in the vertical direction of the drawing. Such a column of pixels 5 is called a pixel column. The organic EL device 1 includes a plurality of pixel columns corresponding to red, green, and blue, and these pixel columns are repeatedly arranged in the order of red, green, and blue to form a stripe shape. Further, the pixels 5 included in the adjacent pixel columns are arranged with a half-pitch shift in the pixel column direction. That is, the pixels 5 are arranged in a staggered pattern, and the pixels 5 in the pixel column adjacent to the pixels 5 are arranged at positions corresponding to the pixels 5 in a certain pixel column.

画素５Ｒ，５Ｇ，５Ｂは、それぞれ発光領域６Ｒ，６Ｇ，６Ｂ（以下ではまとめて「発光領域６」とも呼ぶ）を有しており、発光領域６において赤、緑、又は青の発光を行う。発光領域６の外形は、画素列に直交する方向に長い、トラック形状（２つの向かい合う半円を２つの直線で結んだ形状）となっている。ここで、上記したように画素５は千鳥状に配置されているため、発光領域６もこれにともなって千鳥状の配置となる。このようにすれば、画素５をマトリクス状に配置する場合に比べて、発光領域６と発光領域６との間隔をより小さくすることができる。これにより、発光領域６の配置密度を高めることができるとともに、開口率を向上させることが可能となる。よって、高精細な発光を行うことができ、また発光輝度を高めることができる。有機ＥＬ装置１は、これら各発光領域６の発光輝度を制御することによってカラー表示を行う発光装置である。   The pixels 5R, 5G, and 5B have light emitting areas 6R, 6G, and 6B (hereinafter collectively referred to as “light emitting areas 6”), and the light emitting areas 6 emit red, green, or blue light. The outer shape of the light emitting region 6 has a track shape (a shape in which two opposing semicircles are connected by two straight lines) that is long in a direction orthogonal to the pixel column. Here, since the pixels 5 are arranged in a staggered manner as described above, the light emitting regions 6 are also arranged in a staggered manner. In this way, the distance between the light emitting region 6 and the light emitting region 6 can be made smaller than when the pixels 5 are arranged in a matrix. Thereby, the arrangement density of the light emitting regions 6 can be increased and the aperture ratio can be improved. Therefore, high-definition light emission can be performed and the light emission luminance can be increased. The organic EL device 1 is a light emitting device that performs color display by controlling the light emission luminance of each light emitting region 6.

図２は、有機ＥＬ装置１の電気的な構成を示した模式的な回路図である。有機ＥＬ装置１は、複数の走査線２３と、この走査線２３の延設方向に対して交差する方向に延設された複数のデータ線２４と、このデータ線２４に並列する複数の共通給電線２５とを有している。走査線２３とデータ線２４との交差に対応して画素５が設けられている。走査線２３は、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査線駆動回路２８に接続されている。データ線２４は、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを備えるデータ線駆動回路２９に接続されている。   FIG. 2 is a schematic circuit diagram showing the electrical configuration of the organic EL device 1. The organic EL device 1 includes a plurality of scanning lines 23, a plurality of data lines 24 extending in a direction intersecting with the extending direction of the scanning lines 23, and a plurality of common supplies parallel to the data lines 24. And an electric wire 25. Pixels 5 are provided corresponding to the intersections of the scanning lines 23 and the data lines 24. The scanning line 23 is connected to a scanning line driving circuit 28 having a shift register and a level shifter. The data line 24 is connected to a data line driving circuit 29 including a shift register, a level shifter, a video line, and an analog switch.

画素５の各々には、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子２６，２７が形成されている。ＴＦＴ素子２６のゲート電極には、走査線２３を介して走査信号が供給される。ＴＦＴ素子２６のソース電極は、データ線２４に接続されており、ＴＦＴ素子２６のドレイン電極は、データ線２４から供給される画像信号を保持する保持容量２１に接続されている。保持容量２１によって保持された画像信号は、電流制御用のＴＦＴ素子２７のゲート電極に供給される。ＴＦＴ素子２７のソース電極は共通給電線２５に、またドレイン電極は有機ＥＬ素子３に、それぞれ接続されている。ＴＦＴ素子２７がオンとなると、共通給電線２５から有機ＥＬ素子３に駆動電流が流れ込み、有機ＥＬ素子３が発光する。   In each of the pixels 5, TFT (Thin Film Transistor) elements 26 and 27 are formed. A scanning signal is supplied to the gate electrode of the TFT element 26 via the scanning line 23. A source electrode of the TFT element 26 is connected to the data line 24, and a drain electrode of the TFT element 26 is connected to a holding capacitor 21 that holds an image signal supplied from the data line 24. The image signal held by the holding capacitor 21 is supplied to the gate electrode of the current controlling TFT element 27. The source electrode of the TFT element 27 is connected to the common power supply line 25, and the drain electrode is connected to the organic EL element 3. When the TFT element 27 is turned on, a drive current flows from the common power supply line 25 to the organic EL element 3, and the organic EL element 3 emits light.

このように、有機ＥＬ装置１は、駆動電流が流れることによって発光する有機ＥＬ素子３をＴＦＴ素子２６，２７で駆動制御する発光装置である。なお、図２においては走査線２３、データ線２４、共通給電線２５が直線状に描かれているが、画素５の千鳥配置に対応して適宜屈曲した状態で形成されていてもよい。   As described above, the organic EL device 1 is a light-emitting device that drives and controls the organic EL element 3 that emits light when a drive current flows by the TFT elements 26 and 27. In FIG. 2, the scanning lines 23, the data lines 24, and the common power supply lines 25 are drawn in a straight line shape, but may be formed in a state where they are appropriately bent corresponding to the staggered arrangement of the pixels 5.

図３は、図１中のＡ−Ａ線における有機ＥＬ装置１の断面図である。この図を用いて、有機ＥＬ装置１の画素５の構造について説明する。   FIG. 3 is a cross-sectional view of the organic EL device 1 taken along line AA in FIG. The structure of the pixel 5 of the organic EL device 1 will be described with reference to FIG.

有機ＥＬ装置１は、本発明における基板としてのガラス基板１０を基体として構成されている。ガラス基板１０上にはシリコン酸化膜（ＳｉＯ2）等からなる下地保護膜３１が形成されている。下地保護膜３１上には、ＴＦＴ素子２６（図３においては不図示），２７が形成されている。 The organic EL device 1 is configured with a glass substrate 10 as a substrate in the present invention as a base. A base protective film 31 made of a silicon oxide film (SiO 2 ) or the like is formed on the glass substrate 10. On the base protective film 31, TFT elements 26 (not shown in FIG. 3) and 27 are formed.

より詳しくは、下地保護膜３１上に、ポリシリコン膜からなる半導体膜３６が島状に形成されている。半導体膜３６には不純物の導入によってソース領域、ドレイン領域が形成され、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域となっている。下地保護膜３１及び半導体膜３６の上には、シリコン酸化膜等からなるゲート絶縁膜３２が形成され、ゲート絶縁膜３２上には、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等からなるゲート電極３７が形成されている。ゲート電極３７及びゲート絶縁膜３２の上には、第１層間絶縁膜３３と第２層間絶縁膜３４とがこの順に積層されている。ここで、第１層間絶縁膜３３及び第２層間絶縁膜３４は、シリコン酸化膜（ＳｉＯ2）、チタン酸化膜（ＴｉＯ2）などの無機絶縁膜から構成されている。なお、下地保護膜３１から第２層間絶縁膜３４までの構成要素を、以下ではまとめて「回路素子層１９」とも呼ぶ。 More specifically, a semiconductor film 36 made of a polysilicon film is formed in an island shape on the base protective film 31. A source region and a drain region are formed in the semiconductor film 36 by introducing impurities, and a portion where no impurities are introduced is a channel region. A gate insulating film 32 made of a silicon oxide film or the like is formed on the base protective film 31 and the semiconductor film 36. On the gate insulating film 32, aluminum (Al), molybdenum (Mo), tantalum (Ta), A gate electrode 37 made of titanium (Ti), tungsten (W) or the like is formed. A first interlayer insulating film 33 and a second interlayer insulating film 34 are stacked in this order on the gate electrode 37 and the gate insulating film 32. Here, the first interlayer insulating film 33 and the second interlayer insulating film 34 are made of an inorganic insulating film such as a silicon oxide film (SiO 2 ) or a titanium oxide film (TiO 2 ). The components from the base protective film 31 to the second interlayer insulating film 34 are also collectively referred to as “circuit element layer 19” below.

第１層間絶縁膜３３の上層には、共通給電線２５が形成されている。共通給電線２５は、第１層間絶縁膜３３及びゲート絶縁膜３２を貫通して設けられたコンタクトホールを介して半導体膜３６のソース領域に接続されている。   A common power supply line 25 is formed in the upper layer of the first interlayer insulating film 33. The common power supply line 25 is connected to the source region of the semiconductor film 36 through a contact hole provided through the first interlayer insulating film 33 and the gate insulating film 32.

第２層間絶縁膜３４上には、厚さ約５０〜１５０ｎｍのＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる光透過性の画素電極１１が画素５ごとに形成されている。画素電極１１は、図１の平面図において、発光領域６より一回り大きな領域に形成されている。この画素電極１１は、第２層間絶縁膜３４、第１層間絶縁膜３３、ゲート絶縁膜３２を貫通して設けられたコンタクトホールを介して半導体膜３６のドレイン領域に電気的に接続されている。こうした構成において、ＴＦＴ素子２７は、ゲート電極３７への電圧の供給によってオン／オフが切り替わり、オン状態となった場合には、共通給電線２５から画素電極１１へ駆動電流を流す働きをする。   On the second interlayer insulating film 34, a light-transmissive pixel electrode 11 made of ITO (Indium Tin Oxide) having a thickness of about 50 to 150 nm is formed for each pixel 5. The pixel electrode 11 is formed in a region that is slightly larger than the light emitting region 6 in the plan view of FIG. The pixel electrode 11 is electrically connected to the drain region of the semiconductor film 36 through a contact hole provided through the second interlayer insulating film 34, the first interlayer insulating film 33, and the gate insulating film 32. . In such a configuration, the TFT element 27 functions to flow a drive current from the common power supply line 25 to the pixel electrode 11 when switched on / off by supplying a voltage to the gate electrode 37 and is turned on.

画素電極１１の周りには、当該画素電極１１を底部とする凹部を形作るように、親液性を有する無機材料からなる無機バンク１２、及び撥水性を有する有機材料からなる有機バンク１３がこの順に積層されている。無機バンク１２、有機バンク１３は、それぞれ本発明における第１のバンク、第２のバンクに対応する。   Around the pixel electrode 11, an inorganic bank 12 made of an inorganic material having lyophilic properties and an organic bank 13 made of an organic material having water repellency are formed in this order so as to form a recess having the pixel electrode 11 as a bottom. Are stacked. The inorganic bank 12 and the organic bank 13 correspond to the first bank and the second bank in the present invention, respectively.

無機バンク１２は、画素電極１１の周りを囲うようにして第２層間絶縁膜３４上に配置されており、ガラス基板１０の法線方向から見て、一部が画素電極１１の外縁部に重なった状態に形成されている。換言すれば、無機バンク１２は、画素電極１１より小さな開口部１２ａを有して、画素電極１１に重ねて配置されている。そして、この開口部１２ａは、画素５の発光領域６に対応する領域に設けられている。つまり、図１に示すように、この開口部１２ａの形状が、そのまま発光領域６の形状となる。言い換えれば、無機バンク１２の開口部１２ａの形状は、画素５の発光領域６の形状を規定する。したがって、開口部１２ａの形状は、トラック形状となっている。無機バンク１２は、シリコン酸化膜等の無機絶縁膜からなり、その厚さは約５０〜１００ｎｍである。   The inorganic bank 12 is disposed on the second interlayer insulating film 34 so as to surround the pixel electrode 11, and a part of the inorganic bank 12 overlaps the outer edge of the pixel electrode 11 when viewed from the normal direction of the glass substrate 10. It is formed in the state. In other words, the inorganic bank 12 has an opening 12 a smaller than the pixel electrode 11 and is disposed so as to overlap the pixel electrode 11. The opening 12 a is provided in a region corresponding to the light emitting region 6 of the pixel 5. That is, as shown in FIG. 1, the shape of the opening 12 a becomes the shape of the light emitting region 6 as it is. In other words, the shape of the opening 12 a of the inorganic bank 12 defines the shape of the light emitting region 6 of the pixel 5. Therefore, the shape of the opening 12a is a track shape. The inorganic bank 12 is made of an inorganic insulating film such as a silicon oxide film and has a thickness of about 50 to 100 nm.

無機バンク１２上には、ポリイミドやアクリル樹脂等からなる有機バンク１３が形成されている。有機バンク１３は、後述する正孔輸送層１４及び発光層１５を形成するにあたって液滴吐出法によって機能液を吐出する際、吐出された機能液の塗布領域を規定するものである。有機バンク１３は、図１に示すように、複数の発光領域６を囲うように形成されている。このとき、有機バンク１３に囲まれる発光領域６は、同一の色の発光を行う発光領域６であり、異なる色の発光領域６が混在しないようになっている。本実施形態では、画素列全体を有機バンク１３が囲む構成となっている。   An organic bank 13 made of polyimide, acrylic resin, or the like is formed on the inorganic bank 12. The organic bank 13 defines an application area of the discharged functional liquid when the functional liquid is discharged by a droplet discharge method in forming the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 described later. As shown in FIG. 1, the organic bank 13 is formed so as to surround the plurality of light emitting regions 6. At this time, the light emitting region 6 surrounded by the organic bank 13 is a light emitting region 6 that emits light of the same color, and the light emitting regions 6 of different colors are not mixed. In the present embodiment, the organic bank 13 surrounds the entire pixel column.

また、有機バンク１３は、無機バンク１２上のうち開口部１２ａの近傍を除いた領域に形成されている。つまり、有機バンク１３の配置領域は、無機バンク１２の開口部１２ａの縁（すなわち発光領域６の縁）から一定距離だけ離れている。   The organic bank 13 is formed in a region on the inorganic bank 12 excluding the vicinity of the opening 12a. That is, the arrangement region of the organic bank 13 is separated from the edge of the opening 12a of the inorganic bank 12 (that is, the edge of the light emitting region 6) by a certain distance.

こうした構成によれば、発光領域６の上に積層される構成要素（本実施形態では、後述する正孔輸送層１４及び発光層１５）の、発光領域６内における平坦性を高めることができる。これは、次の理由による。すなわち、有機バンク１３に囲まれた凹部に、液滴吐出法等の液層プロセスによって上記構成要素を形成する場合には、有機バンク１３付近では吐出された機能液の平坦性が失われやすくなる一方で、有機バンク１３から一定距離だけ離れた位置では有機バンク１３による影響を受けにくいため高い平坦性を確保しやすくなる。そして、本実施形態の構成では、発光領域６と有機バンク１３との間に距離が設けられていることにより、発光領域６が、上記平坦性の高くなる領域に位置するようになるためである。   According to such a configuration, the flatness in the light emitting region 6 of components stacked on the light emitting region 6 (in this embodiment, a hole transport layer 14 and a light emitting layer 15 described later) can be improved. This is due to the following reason. That is, in the case where the above components are formed in a recess surrounded by the organic bank 13 by a liquid layer process such as a droplet discharge method, the flatness of the discharged functional liquid tends to be lost in the vicinity of the organic bank 13. On the other hand, it is difficult to be affected by the organic bank 13 at a position away from the organic bank 13 by a certain distance, so that it is easy to ensure high flatness. And in the structure of this embodiment, it is because the light emission area | region 6 comes to be located in the area | region where the said flatness becomes high by providing the distance between the light emission area | region 6 and the organic bank 13. FIG. .

特に、発光領域６の縁から有機バンク１３に至るまでの領域は、親水性を有する無機バンク１２が配置されているため、機能液が平坦に濡れ広がりやすい。そして、こうした親水性領域に囲まれた発光領域６においても、機能液は平坦に濡れ広がる。このため、発光領域６の上に積層される構成要素は高い平坦性をもって形成される。なお、本実施形態では、発光領域６が千鳥状に配置されていることによって、無機バンク１２が露出した上記親水性領域の面積を確保しやすくなっている。   In particular, in the region from the edge of the light emitting region 6 to the organic bank 13, the inorganic bank 12 having hydrophilicity is disposed, so that the functional liquid tends to spread flatly. And also in the light emission area | region 6 surrounded by such a hydrophilic area | region, a functional liquid spreads wet flatly. For this reason, the component laminated | stacked on the light emission area | region 6 is formed with high flatness. In the present embodiment, since the light emitting regions 6 are arranged in a staggered manner, it is easy to secure the area of the hydrophilic region where the inorganic bank 12 is exposed.

上記画素電極１１、無機バンク１２、有機バンク１３によって形作られる凹部には、液滴吐出法によって形成された正孔輸送層１４及び発光層１５がこの順に配置されている。正孔輸送層１４、発光層１５を含む層は、本発明における機能層に対応し、本明細書ではこれを有機ＥＬ素子３とも呼ぶ。正孔輸送層１４の厚さは約５０ｎｍであり、発光層１５の厚さは約８０〜１２０ｎｍである。発光層１５及び有機バンク１３の上には、これらを覆うように、カルシウム（Ｃａ）及びアルミニウム（Ａｌ）の積層体である陰極１６が形成されている。陰極１６の上には、水や酸素の侵入を防ぎ、陰極１６あるいは有機ＥＬ素子３の酸化を防止するための、樹脂等からなる封止部材１７が積層されている。   In the recess formed by the pixel electrode 11, the inorganic bank 12, and the organic bank 13, a hole transport layer 14 and a light emitting layer 15 formed by a droplet discharge method are arranged in this order. The layer including the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 corresponds to the functional layer in the present invention, and is also referred to as the organic EL element 3 in the present specification. The thickness of the hole transport layer 14 is about 50 nm, and the thickness of the light emitting layer 15 is about 80 to 120 nm. On the light emitting layer 15 and the organic bank 13, the cathode 16 which is a laminated body of calcium (Ca) and aluminum (Al) is formed so as to cover them. A sealing member 17 made of a resin or the like is laminated on the cathode 16 to prevent water and oxygen from entering and prevent the cathode 16 or the organic EL element 3 from being oxidized.

ここで、上記した液滴吐出法とは、有機発光材料等の機能物質が溶解又は分散された機能液の液滴を吐出し、その後、吐出された機能液を乾燥させて溶媒を蒸発させ、機能物質の層を形成する手法である。液滴吐出法には、インクジェット法などが含まれる。   Here, the above-described droplet discharge method is to discharge a droplet of a functional liquid in which a functional substance such as an organic light emitting material is dissolved or dispersed, and then dry the discharged functional liquid to evaporate the solvent. This is a method of forming a functional material layer. The droplet discharge method includes an inkjet method and the like.

正孔輸送層１４は、導電性高分子材料中にドーパントを含有する導電性高分子層からなる。このような正孔輸送層１４は、例えば、ドーパントとしてポリスチレンスルホン酸を含有する３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳ）などから構成することができる。   The hole transport layer 14 is composed of a conductive polymer layer containing a dopant in a conductive polymer material. Such a hole transport layer 14 can be composed of, for example, 3,4-polyethylenedioxythiophene (PEDOT-PSS) containing polystyrene sulfonic acid as a dopant.

発光層１５は、エレクトロルミネッセンス現象を発現する有機発光物質の層である。画素電極１１と陰極１６との間に電圧を印加することによって、発光層１５には、正孔輸送層１４から正孔が、また、陰極１６から電子が注入される。発光層１５は、これらが結合したときに光を発する。発光層１５からの発光スペクトルは、材料の発光特性や膜厚に依存する。本実施形態では、発光領域６Ｒ，６Ｇ，６Ｂには、それぞれ赤、緑、青の可視光を発光する発光層１５が形成される。発光層１５から図３の下方に射出された光はそのままガラス基板１０を透過し、また図３の上方に射出された光は陰極１６によって反射された後に下方へ進み、同じくガラス基板１０を透過する。   The light emitting layer 15 is a layer of an organic light emitting material that exhibits an electroluminescence phenomenon. By applying a voltage between the pixel electrode 11 and the cathode 16, holes from the hole transport layer 14 and electrons from the cathode 16 are injected into the light emitting layer 15. The light emitting layer 15 emits light when they are combined. The emission spectrum from the light emitting layer 15 depends on the light emission characteristics and film thickness of the material. In the present embodiment, light emitting layers 15 that emit visible light of red, green, and blue are formed in the light emitting regions 6R, 6G, and 6B, respectively. The light emitted from the light emitting layer 15 downward in FIG. 3 is transmitted through the glass substrate 10 as it is, and the light emitted upward in FIG. 3 is reflected by the cathode 16 and then travels downward and is also transmitted through the glass substrate 10. To do.

このような構成の有機ＥＬ装置１は、ボトムエミッション型と呼ばれる。なお、有機ＥＬ装置１が、ガラス基板１０とは反対側に向けて表示光を射出するトップエミッション型である場合、陰極１６は、例えば、薄いカルシウム層と、ＩＴＯ層などから構成して光透過性をもたせ、画素電極１１の下層側には、画素電極１１の略全体と重なるようにアルミニウム膜などからなる光反射層を形成する。   The organic EL device 1 having such a configuration is called a bottom emission type. When the organic EL device 1 is a top emission type that emits display light toward the side opposite to the glass substrate 10, the cathode 16 is composed of, for example, a thin calcium layer and an ITO layer, and transmits light. Therefore, on the lower layer side of the pixel electrode 11, a light reflection layer made of an aluminum film or the like is formed so as to overlap substantially the entire pixel electrode 11.

ところで、図１中のＢ−Ｂ線、すなわち、有機バンク１３に囲まれた複数の発光領域６を含む位置において有機ＥＬ装置１を切断した場合、その模式断面図は図６（ｃ）のようになる。この図においては、下地保護膜３１から第２層間絶縁膜３４までの構成要素をまとめて回路素子層１９としている。この断面図においては、隣接する発光領域６の間に有機バンク１３が存在しない。したがって、正孔輸送層１４及び発光層１５は、複数の発光領域６を含んだ底部を有する大きな凹部の全体にわたって一つながりに形成されている。   By the way, when the organic EL device 1 is cut at a line BB in FIG. 1, that is, at a position including a plurality of light emitting regions 6 surrounded by the organic bank 13, a schematic cross-sectional view thereof is as shown in FIG. become. In this figure, the components from the base protective film 31 to the second interlayer insulating film 34 are collectively referred to as a circuit element layer 19. In this sectional view, the organic bank 13 does not exist between the adjacent light emitting regions 6. Therefore, the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 are formed in a continuous manner over the entire large recess having a bottom including the plurality of light emitting regions 6.

このような構成によれば、各発光領域６の間で、正孔輸送層１４及び発光層１５の厚さにばらつきが生じにくくなる。これにより、各発光領域６における発光輝度が均一になり、輝度ムラ等の不具合の少ない高品位な発光を行うことができる。   According to such a configuration, the thicknesses of the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 are less likely to vary between the light emitting regions 6. Thereby, the light emission luminance in each light emitting region 6 becomes uniform, and high-quality light emission with less defects such as luminance unevenness can be performed.

以上のような構成の有機ＥＬ装置１は、画素５の発光領域６においてのみ発光し、無機バンク１２が形成された領域においては発光は行われない。これは、図３に示すように、当該領域では、画素電極１１（陽極）と陰極１６との間に絶縁物質である無機バンク１２が配置されていることにより、両電極間の電流経路が遮断されるためである。   The organic EL device 1 configured as described above emits light only in the light emitting region 6 of the pixel 5 and does not emit light in the region where the inorganic bank 12 is formed. As shown in FIG. 3, the current path between the two electrodes is blocked by the inorganic bank 12 that is an insulating material disposed between the pixel electrode 11 (anode) and the cathode 16 in the region. It is to be done.

（有機ＥＬ装置の製造方法）
続いて、図４から図７を参照しながら、有機ＥＬ装置１の製造方法について説明する。図４は、有機ＥＬ装置１の製造方法を示す工程図であり、図５及び図６は、当該製造方法の各工程における有機ＥＬ装置１の断面図であって、図１中のＢ−Ｂ線の位置に対応する断面図である。 (Method for manufacturing organic EL device)
Next, a method for manufacturing the organic EL device 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a process diagram showing a manufacturing method of the organic EL device 1, and FIGS. 5 and 6 are cross-sectional views of the organic EL device 1 in each step of the manufacturing method, and are BB in FIG. It is sectional drawing corresponding to the position of a line.

まず、有機ＥＬ装置１の製造に用いる液滴吐出装置について説明する。液滴吐出装置は、基板等のワークに対して相対移動可能なヘッドを有しており、このヘッドに設けられた吐出部から機能液等の液滴を吐出する装置である。図７（ａ）は、液滴吐出装置のヘッド１１４の斜視図であり、図７（ｂ）は、当該ヘッド１１４の吐出部１２７の断面図である。   First, a droplet discharge device used for manufacturing the organic EL device 1 will be described. The droplet discharge device has a head that can move relative to a workpiece such as a substrate, and discharges droplets of functional liquid or the like from a discharge portion provided on the head. FIG. 7A is a perspective view of the head 114 of the droplet discharge device, and FIG. 7B is a cross-sectional view of the discharge portion 127 of the head 114.

図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、ヘッド１１４は、複数のノズル１１８を有するインクジェットヘッドである。具体的には、ヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズル１１８の開口を規定するノズルプレート１２８とを備えている。そして、振動板１２６とノズルプレート１２８との間には、液たまり１２９が位置しており、この液たまり１２９には、図示しない外部タンクから孔１３１を介して供給される機能液１４Ｌが常に充填される。   As shown in FIGS. 7A and 7B, the head 114 is an ink jet head having a plurality of nozzles 118. Specifically, the head 114 includes a diaphragm 126 and a nozzle plate 128 that defines the opening of the nozzle 118. A liquid pool 129 is located between the vibration plate 126 and the nozzle plate 128. The liquid pool 129 is always filled with the functional liquid 14L supplied from an external tank (not shown) through the hole 131. Is done.

また、振動板１２６とノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁部１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、一対の隔壁部１２２と、によって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、一対の隔壁部１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から機能液１４Ｌが供給される。なお、本実施形態では、ノズル１１８の直径は、約２７μｍである。   A plurality of partition walls 122 are positioned between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128. A portion surrounded by the diaphragm 126, the nozzle plate 128, and the pair of partition walls 122 is the cavity 120. Since the cavities 120 are provided corresponding to the nozzles 118, the number of the cavities 120 and the number of the nozzles 118 are the same. The functional liquid 14 </ b> L is supplied from the liquid pool 129 to the cavity 120 through the supply port 130 positioned between the pair of partition walls 122. In the present embodiment, the nozzle 118 has a diameter of about 27 μm.

振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が配置されている。振動子１２４のそれぞれは、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂとを含む。液滴吐出装置の制御部が、この一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から機能液１４Ｌの液滴が吐出される。ここで、ノズル１１８から吐出される材料の体積は、０ｐｌ以上４２ｐｌ（ピコリットル）以下の間で可変である。   On the diaphragm 126, the vibrators 124 are arranged corresponding to the cavities 120, respectively. Each of the vibrators 124 includes a piezoelectric element 124C and a pair of electrodes 124A and 124B sandwiching the piezoelectric element 124C. The control unit of the droplet discharge device applies a drive voltage between the pair of electrodes 124A and 124B, whereby the droplet of the functional liquid 14L is discharged from the corresponding nozzle 118. Here, the volume of the material discharged from the nozzle 118 is variable between 0 pl and 42 pl (picoliter).

１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４と、を含んだ部分が吐出部１２７である。よって、１つのヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有する。吐出部１２７は、ピエゾ素子１２４Ｃの代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。   A portion including one nozzle 118, a cavity 120 corresponding to the nozzle 118, and a vibrator 124 corresponding to the cavity 120 is a discharge unit 127. Therefore, one head 114 has the same number of ejection units 127 as the number of nozzles 118. The discharge unit 127 may include an electrothermal conversion element instead of the piezo element 124C. That is, the discharge unit 127 may have a configuration for discharging a material by utilizing thermal expansion of the material by the electrothermal conversion element.

続いて、図４に示す工程図に沿って有機ＥＬ装置１の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the organic EL device 1 will be described with reference to the process chart shown in FIG.

まず、ステップＳ１では、公知の成膜技術等を用いて、ガラス基板１０の表面に回路素子層１９を形成する。続くステップＳ２では、回路素子層１９上に、ＩＴＯからなる画素電極１１を形成する（図５（ａ））。   First, in step S1, the circuit element layer 19 is formed on the surface of the glass substrate 10 using a known film forming technique or the like. In the subsequent step S2, the pixel electrode 11 made of ITO is formed on the circuit element layer 19 (FIG. 5A).

次に、ステップＳ３では、回路素子層１９及び画素電極１１の上に、無機バンク１２を形成する（図５（ｂ））。より詳しくは、まず常圧又は減圧ＣＶＤ法等により回路素子層１９及び画素電極１１の上にシリコン酸化膜を形成し、その後、ドライエッチング等により開口部１２ａを形成する。上述したように、開口部１２ａは、発光領域６に対応するトラック形状となるように形成する。   Next, in step S3, the inorganic bank 12 is formed on the circuit element layer 19 and the pixel electrode 11 (FIG. 5B). More specifically, first, a silicon oxide film is formed on the circuit element layer 19 and the pixel electrode 11 by atmospheric pressure or reduced pressure CVD, and then an opening 12a is formed by dry etching or the like. As described above, the opening 12 a is formed to have a track shape corresponding to the light emitting region 6.

このステップＳ３では、無機バンク１２の表面に親液性を高めるための加工を行ってもよい。例えば、無機バンク１２にシリカ（ＳｉＯ2）の微粒子と酸化チタン（ＴｉＯ2）の微粒子とを含有する親液層を積層させ、これに紫外線を照射することによって無機バンク１２の親液性を高めることができる。 In this step S3, the surface of the inorganic bank 12 may be processed to enhance lyophilicity. For example, a lyophilic layer containing fine particles of silica (SiO 2 ) and fine particles of titanium oxide (TiO 2 ) is laminated on the inorganic bank 12, and the lyophilicity of the inorganic bank 12 is enhanced by irradiating it with ultraviolet rays. be able to.

次に、ステップＳ４では、無機バンク１２上に有機バンク１３を形成する（図５（ｃ））。より詳しくは、まずアクリル樹脂等をスピンコート等により塗布し、その後フォトリソグラフィー等によってパターニングする。このときの有機バンク１３の形成領域は、図１に示すように、各画素列を囲うような領域である。また、無機バンク１２の開口部１２ａから一定の距離をおいて配置する。このステップＳ４を経て、画素電極１１、無機バンク１２を底部とし、有機バンク１３を側壁とする凹部が形成される。   Next, in step S4, the organic bank 13 is formed on the inorganic bank 12 (FIG. 5C). More specifically, acrylic resin or the like is first applied by spin coating or the like, and then patterned by photolithography or the like. The formation area of the organic bank 13 at this time is an area surrounding each pixel column as shown in FIG. Further, the inorganic bank 12 is arranged at a certain distance from the opening 12 a of the inorganic bank 12. Through this step S4, a recess having the pixel electrode 11 and the inorganic bank 12 as a bottom and the organic bank 13 as a side wall is formed.

ここで、ステップＳ４では、有機バンク１３の表面に対して、プラズマ処理を併せて行う。プラズマ処理は、有機バンク１３の形成されたガラス基板１０をフルオロカーボン系化合物を含有するガスにさらし、当該ガスにエネルギーを与えてプラズマ化して有機バンク１３の表面と反応させて行う。このプラズマ処理によって、有機バンク１３の撥液性を高めることができる。   Here, in step S <b> 4, plasma processing is also performed on the surface of the organic bank 13. The plasma treatment is performed by exposing the glass substrate 10 on which the organic bank 13 is formed to a gas containing a fluorocarbon-based compound, applying energy to the gas to form plasma, and reacting with the surface of the organic bank 13. By this plasma treatment, the liquid repellency of the organic bank 13 can be improved.

次に、ステップＳ５では、上記凹部に正孔輸送層１４の材料を含んだ機能液１４Ｌを液滴吐出法により吐出する（図５（ｄ））。より詳しくは、液滴吐出装置のヘッド１１４から機能液１４Ｌの液滴を上記凹部の底部に向けて吐出する。機能液１４Ｌとしては、例えばＰＥＤＯＴ−ＰＳＳ分散液を用いることができる。ここで、上述したように、無機バンク１２が親液性を有し、また有機バンク１３が撥液性を有するように加工されていることから、凹部の底部が親液性に、また側壁が撥液性になっている。このため、こうした凹部に吐出された機能液１４Ｌは、凹部の底部に均一に濡れ広がる。   Next, in step S5, the functional liquid 14L containing the material of the hole transport layer 14 in the concave portion is discharged by a droplet discharge method (FIG. 5D). More specifically, a droplet of the functional liquid 14L is discharged from the head 114 of the droplet discharge device toward the bottom of the recess. As the functional liquid 14L, for example, a PEDOT-PSS dispersion liquid can be used. Here, as described above, since the inorganic bank 12 has lyophilicity and the organic bank 13 has been processed to have lyophobic properties, the bottom of the recess is lyophilic and the side walls are It is liquid repellent. For this reason, the functional liquid 14L discharged into such a recess spreads uniformly on the bottom of the recess.

また、本実施形態によれば、機能液１４Ｌは、各画素５又は発光領域６の大きさが液滴吐出法に適さないほど小さい場合であっても、各発光領域６の位置において高い平坦性をもって均一な厚さとなるように配置される。これは、機能液１４Ｌが、複数の発光領域６を含むように形成された大きな凹部に吐出されるためである。つまり、吐出された機能液１４Ｌの表面積が大きくなるため、機能液１４Ｌに生ずる、表面積を最小に保とうとする表面張力の作用の影響が相対的に小さくなるからである。   Further, according to the present embodiment, the functional liquid 14L has high flatness at the position of each light emitting region 6 even when the size of each pixel 5 or the light emitting region 6 is small enough to be unsuitable for the droplet discharge method. Are arranged to have a uniform thickness. This is because the functional liquid 14 </ b> L is discharged into a large recess formed so as to include a plurality of light emitting regions 6. That is, since the surface area of the discharged functional liquid 14L is increased, the influence of the surface tension effect that tries to keep the surface area to a minimum generated in the functional liquid 14L is relatively reduced.

ところで、吐出された機能液１４Ｌは、側壁となる有機バンク１３の近傍では表面状態が乱れて平坦性を失い、有機バンク１３から一定の距離だけ離れた部位では有機バンク１３による影響を受けにくくなるため高い平坦性が実現される傾向にある。そして、上述したように、有機バンク１３は、無機バンク１２の開口部１２ａ（発光領域６）の縁から一定距離だけ離れた位置に形成されている。したがって、こうした構成によれば、発光領域６は、機能液１４Ｌの平坦性が高くなる領域に相当するようになる。このように、機能液１４Ｌは、発光領域６上において有機バンク１３の影響による凹凸が少ない状態で均一な厚さで濡れ広がる。   By the way, the discharged functional liquid 14L loses its flatness in the vicinity of the organic bank 13 serving as a side wall and loses its flatness, and is less susceptible to the influence of the organic bank 13 at a part away from the organic bank 13 by a certain distance. Therefore, high flatness tends to be realized. As described above, the organic bank 13 is formed at a position away from the edge of the opening 12a (light emitting region 6) of the inorganic bank 12 by a certain distance. Therefore, according to such a configuration, the light emitting region 6 corresponds to a region where the flatness of the functional liquid 14L becomes high. As described above, the functional liquid 14L spreads out with a uniform thickness on the light emitting region 6 with less unevenness due to the influence of the organic bank 13.

次に、ステップＳ６では、機能液１４Ｌを乾燥させて正孔輸送層１４を形成する（図６（ａ））。より詳しくは、機能液１４Ｌを高温環境下で乾燥又は焼成して溶媒を蒸発させ、機能液１４Ｌに含まれるＰＥＤＯＴ−ＰＳＳを固形化させることにより、上記凹部の底部に正孔輸送層１４を形成する。この乾燥工程中も、機能液１４Ｌは、凹部の底部に均一に濡れ広がった状態に保たれるため、乾燥後に得られる正孔輸送層１４も凹部の底部に均一な厚さに形成される。特に、各発光領域６において凹凸が少ない状態で形成されるとともに、異なる発光領域６の間の厚さのばらつきが少ない状態で形成される。   Next, in step S6, the functional liquid 14L is dried to form the hole transport layer 14 (FIG. 6A). More specifically, the hole transport layer 14 is formed at the bottom of the recess by drying or baking the functional liquid 14L in a high temperature environment to evaporate the solvent and solidifying PEDOT-PSS contained in the functional liquid 14L. To do. Even during this drying step, the functional liquid 14L is kept in a state of uniformly spreading on the bottom of the recess, so that the hole transport layer 14 obtained after drying is also formed with a uniform thickness on the bottom of the recess. In particular, each light emitting region 6 is formed with less unevenness, and the thickness variation between different light emitting regions 6 is small.

続くステップＳ７では、次に行うステップを選択する。すなわち、ステップＳ６の終了時に機能層（本実施形態では正孔輸送層１４と発光層１５とからなる有機ＥＬ素子３）が完成していればステップＳ８に進み、機能層の完成までにさらに異なる層の形成が必要な場合にはステップＳ５に進む。ここでは、さらに発光層１５の積層が必要なので、ステップＳ５に進む。   In the subsequent step S7, the next step to be performed is selected. That is, if the functional layer (in this embodiment, the organic EL element 3 composed of the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15) is completed at the end of step S6, the process proceeds to step S8, and further differs until the functional layer is completed. If it is necessary to form a layer, the process proceeds to step S5. Here, since further stacking of the light emitting layer 15 is necessary, the process proceeds to step S5.

２回目のステップＳ５、ステップＳ６では、正孔輸送層１４の上に発光層１５を形成する。具体的には、ステップＳ５において、凹部の底部（この段階では正孔輸送層１４）に発光層１５の材料を含んだ機能液（不図示）を液滴吐出法により吐出し、ステップＳ６において、当該機能液を乾燥、固形化させることによって発光層１５を形成する（図６（ｂ））。そして、ステップＳ５、ステップＳ６を３度繰り返して、赤、緑、青に対応する画素列の凹部に、それぞれ赤、緑、青の光を発する発光層１５を形成する。ここで用いる液滴吐出装置としては、正孔輸送層１４の形成の際に用いた液滴吐出装置において機能液を入れ替えたものであってもよいし、これとは異なる液滴吐出装置を用いてもよい。   In the second step S <b> 5 and step S <b> 6, the light emitting layer 15 is formed on the hole transport layer 14. Specifically, in step S5, a functional liquid (not shown) containing the material of the light emitting layer 15 is discharged to the bottom of the recess (at this stage, the hole transport layer 14) by the droplet discharge method. In step S6, The functional liquid is dried and solidified to form the light emitting layer 15 (FIG. 6B). Then, Step S5 and Step S6 are repeated three times to form the light emitting layer 15 that emits red, green, and blue light in the concave portions of the pixel columns corresponding to red, green, and blue, respectively. As the droplet discharge device used here, the functional liquid may be replaced in the droplet discharge device used when forming the hole transport layer 14, or a different droplet discharge device is used. May be.

こうして得られた発光層１５も、正孔輸送層１４と同様に凹部の底部に均一な厚さに形成される。特に、各発光領域６において凹凸が少ない状態で形成されるとともに、異なる発光領域６の間の厚さのばらつきが少ない状態で形成される。   The light emitting layer 15 obtained in this way is also formed with a uniform thickness at the bottom of the recess, as with the hole transport layer 14. In particular, each light emitting region 6 is formed with less unevenness, and the thickness variation between different light emitting regions 6 is small.

このように、正孔輸送層１４及び発光層１５は、上記凹部によって規定される領域の全体にわたって形成される。つまり、正孔輸送層１４及び発光層１５は、個別の発光領域６に対して一つずつ形成されるのではなく、複数の発光領域６を含む領域に、同一層に連続して一つながりに形成される。このような構成によれば、各々の発光領域６における正孔輸送層１４及び発光層１５の厚さを均一にすることができる。   Thus, the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 are formed over the entire region defined by the recess. That is, the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 are not formed one by one with respect to the individual light emitting regions 6, but are continuously connected to the same layer in the region including the plurality of light emitting regions 6. It is formed. According to such a configuration, the thickness of the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 in each light emitting region 6 can be made uniform.

こうして正孔輸送層１４と発光層１５とからなる有機ＥＬ素子３（機能層）が完成する。したがって、続くステップＳ７ではステップＳ８へ進む工程を選択する。   Thus, the organic EL element 3 (functional layer) composed of the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 is completed. Therefore, in the subsequent step S7, a process to proceed to step S8 is selected.

ステップＳ８では、発光層１５の形成されたガラス基板１０上の略全体に、カルシウム及びアルミニウムをこの順に積層させることにより、陰極１６を形成する。続くステップＳ９では、陰極１６上に、樹脂からなる封止部材１７を形成する（図６（ｃ））。なお、封止の方式は封止部材１７によるものに限られず、シール剤を介してガラス基板等を貼り合わせる缶封止の方式等とすることもできる。   In step S8, the cathode 16 is formed by laminating calcium and aluminum in this order on substantially the entire glass substrate 10 on which the light emitting layer 15 is formed. In the subsequent step S9, a sealing member 17 made of resin is formed on the cathode 16 (FIG. 6C). The sealing method is not limited to the method using the sealing member 17, and a can sealing method in which a glass substrate or the like is bonded via a sealing agent can be used.

以上のステップを経て、有機ＥＬ装置１が完成する。こうして得られた有機ＥＬ装置１は、各発光領域６の間で、正孔輸送層１４及び発光層１５の厚さにばらつきが生じにくくなるとともに、各発光領域６内における正孔輸送層１４及び発光層１５の平坦性を高くすることができる。これにより、各発光領域６における発光輝度が均一になり、輝度ムラ等の不具合の少ない高品位な発光を行うことができる。   The organic EL device 1 is completed through the above steps. In the organic EL device 1 thus obtained, the thicknesses of the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 are less likely to vary between the light emitting regions 6, and the hole transport layer 14 and The flatness of the light emitting layer 15 can be increased. Thereby, the light emission luminance in each light emitting region 6 becomes uniform, and high-quality light emission with less defects such as luminance unevenness can be performed.

（電子機器）
上述した有機ＥＬ装置１は、例えば図８に示すような、電子機器としての携帯電話機２００に搭載して用いることができる。携帯電話機２００は、表示部２１０及び操作ボタン２２０を有している。表示部２１０は、内部に組み込まれた有機ＥＬ装置１によって、操作ボタン２２０で入力した内容や着信情報を始めとする様々な情報について、輝度ムラ等の不具合の少ない、高品位な表示を行うことができる。 (Electronics)
The organic EL device 1 described above can be used by being mounted on a mobile phone 200 as an electronic device as shown in FIG. 8, for example. The mobile phone 200 has a display unit 210 and operation buttons 220. The display unit 210 uses the organic EL device 1 incorporated therein to perform high-quality display with less defects such as luminance unevenness with respect to various information including the content input with the operation buttons 220 and incoming call information. Can do.

なお、本発明を適用した有機ＥＬ装置１は、上記携帯電話機２００の他、モバイルコンピュータ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、車載機器、オーディオ機器などの各種電子機器に用いることができる。   The organic EL device 1 to which the present invention is applied can be used for various electronic devices such as a mobile computer, a digital camera, a digital video camera, an in-vehicle device, and an audio device in addition to the mobile phone 200 described above.

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, various deformation | transformation can be added with respect to the said embodiment in the range which does not deviate from the meaning of this invention. As modifications, for example, the following can be considered.

（変形例１）
画素５及び発光領域６の配置や形状は、上記実施形態のものに限られず、必要に応じて変更することができる。 (Modification 1)
The arrangement and shape of the pixels 5 and the light emitting regions 6 are not limited to those in the above embodiment, and can be changed as necessary.

図９は、発光領域６の形状を正六角形とした有機ＥＬ装置１Ａの拡大平面図である。有機ＥＬ装置１Ａにおいても、発光領域６は千鳥状に配置されている。一つの発光領域６に着目すると、その発光領域６は、周囲を６つの発光領域６に囲まれている。そして、各発光領域６の正六角形の一辺が、隣接する発光領域６の一辺と平行となるように配置されている。こうした構成により、発光領域６の配置密度を高めることができ、高開口率が実現される。また、有機ＥＬ装置１Ａにおいても、発光領域６の形状は、無機バンク１２の開口部１２ａによって規定されている。そして、有機バンク１３は、複数の発光領域６を囲うように形成されている。   FIG. 9 is an enlarged plan view of an organic EL device 1A in which the shape of the light emitting region 6 is a regular hexagon. Also in the organic EL device 1A, the light emitting regions 6 are arranged in a staggered manner. When attention is paid to one light emitting region 6, the light emitting region 6 is surrounded by six light emitting regions 6. Then, one side of the regular hexagon of each light emitting region 6 is arranged to be parallel to one side of the adjacent light emitting region 6. With such a configuration, the arrangement density of the light emitting regions 6 can be increased, and a high aperture ratio is realized. Also in the organic EL device 1 </ b> A, the shape of the light emitting region 6 is defined by the opening 12 a of the inorganic bank 12. The organic bank 13 is formed so as to surround the plurality of light emitting regions 6.

図１０は、別の有機ＥＬ装置１Ｂの拡大平面図であり、その発光領域６の形状は、縦に長いトラック形状において直線部分に横方向の膨らみをもたせた形状となっている。有機ＥＬ装置１Ｂにおいても、発光領域６は千鳥状に配置されており、上記膨らみの部分が隣接画素列における発光領域６の中間の位置にあたるように配置されている。こうした構成により、発光領域６の配置密度を高めることができ、高開口率が実現される。また、有機ＥＬ装置１Ｂにおいても、発光領域６の形状は、無機バンク１２の開口部１２ａによって規定されている。そして、有機バンク１３は、複数の発光領域６を囲うように形成されている。   FIG. 10 is an enlarged plan view of another organic EL device 1B, and the shape of the light emitting region 6 is a shape in which a straight portion has a lateral bulge in a vertically long track shape. Also in the organic EL device 1B, the light emitting regions 6 are arranged in a zigzag pattern, and the bulging portions are arranged so as to be in the middle of the light emitting regions 6 in the adjacent pixel columns. With such a configuration, the arrangement density of the light emitting regions 6 can be increased, and a high aperture ratio is realized. Also in the organic EL device 1 </ b> B, the shape of the light emitting region 6 is defined by the opening 12 a of the inorganic bank 12. The organic bank 13 is formed so as to surround the plurality of light emitting regions 6.

図９、図１０に示したような構成によっても、各発光領域６の間で、正孔輸送層１４及び発光層１５の厚さにばらつきが生じにくくなるとともに、各発光領域６内における正孔輸送層１４及び発光層１５の平坦性を高くすることができる。これにより、各発光領域６における発光輝度が均一になり、輝度ムラ等の不具合の少ない高品位な発光を行うことができる。   9 and 10, the thicknesses of the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 are less likely to vary between the light emitting regions 6, and the holes in each light emitting region 6 are not affected. The flatness of the transport layer 14 and the light emitting layer 15 can be increased. Thereby, the light emission luminance in each light emitting region 6 becomes uniform, and high-quality light emission with less defects such as luminance unevenness can be performed.

なお、発光領域６の形状は、上記以外にも例えば長方形、正方形、多角形、円、楕円等とすることができる。また、画素５及び発光領域６の配置は、千鳥状に限定されるものではなく、例えばマトリクス状の配置とすることもできる。   In addition to the above, the shape of the light emitting region 6 may be, for example, a rectangle, a square, a polygon, a circle, an ellipse, or the like. Further, the arrangement of the pixels 5 and the light emitting regions 6 is not limited to a staggered pattern, and may be a matrix pattern, for example.

（変形例２）
上記実施形態の有機ＥＬ装置１は、電子機器の表示部に搭載して利用することが可能な構成のものであるが、これに限定する趣旨ではなく、これに代えて例えば電子写真技術を利用したプリンタに組み込んで用いるラインヘッドに適用することもできる。図１１は、本発明をこうしたラインヘッドに適用した場合の、発光装置としての有機ＥＬ装置１Ｃの拡大平面図である。有機ＥＬ装置１Ｃは、画素５を含む画素列を２列備えており、各画素５の発光領域６は円形となっている。また、発光領域６は、千鳥状に配列されている。発光領域６の形状は、無機バンク１２の開口部１２ａによって規定され、有機バンク１３は、１つの画素列の全ての発光領域６を囲うように形成されている。したがって、上記実施形態と同様に、有機ＥＬ装置１Ｃは、各発光領域６の間で、正孔輸送層１４及び発光層１５の厚さにばらつきが生じにくくなるとともに、各発光領域６内における正孔輸送層１４及び発光層１５の平坦性を高くすることができるという特徴を有する。これにより、各発光領域６における発光輝度が均一になり、輝度ムラ等の不具合の少ない高品位な発光を行うことができる。また、２つの画素列が有機バンク１３によって隔てられているため、各画素列の凹部に異なる材料からなる発光層１５を形成することによって、画素列ごとに発光特性（例えば主発光波長）を異ならせることができる。 (Modification 2)
The organic EL device 1 of the above embodiment has a configuration that can be used by being mounted on a display unit of an electronic device. However, the present invention is not limited to this, and instead, for example, an electrophotographic technique is used. It can also be applied to a line head used by being incorporated in a printer. FIG. 11 is an enlarged plan view of an organic EL device 1C as a light emitting device when the present invention is applied to such a line head. The organic EL device 1 </ b> C includes two pixel columns including the pixels 5, and the light emitting region 6 of each pixel 5 is circular. Further, the light emitting regions 6 are arranged in a staggered pattern. The shape of the light emitting region 6 is defined by the opening 12a of the inorganic bank 12, and the organic bank 13 is formed so as to surround all the light emitting regions 6 of one pixel column. Therefore, similarly to the above-described embodiment, the organic EL device 1C is less likely to cause variations in the thicknesses of the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 between the light emitting regions 6, and is positive in each light emitting region 6. The flatness of the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 can be increased. Thereby, the light emission luminance in each light emitting region 6 becomes uniform, and high-quality light emission with less defects such as luminance unevenness can be performed. Further, since the two pixel columns are separated by the organic bank 13, the emission characteristics (for example, the main emission wavelength) are different for each pixel column by forming the light emitting layer 15 made of a different material in the concave portion of each pixel column. Can be made.

（変形例３）
上記実施形態において、機能層としての有機ＥＬ素子３は、正孔輸送層１４と発光層１５とからなる２層構造であるが、必要に応じて電子輸送層、正孔注入層、電子注入層等を積層させて３層以上としてもよい。この場合は、図４に示す製造方法において、ステップＳ５、Ｓ６を積層数の分だけ繰り返せばよい。こうした構成によれば、電子輸送層、正孔注入層、電子注入層等の効果によって、より効率の良い発光を行うことができる。 (Modification 3)
In the above-described embodiment, the organic EL element 3 as the functional layer has a two-layer structure including the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15, and an electron transport layer, a hole injection layer, and an electron injection layer as necessary. Etc. may be laminated to form three or more layers. In this case, in the manufacturing method shown in FIG. 4, steps S5 and S6 may be repeated for the number of layers. According to such a configuration, more efficient light emission can be performed by the effects of the electron transport layer, the hole injection layer, the electron injection layer, and the like.

（変形例４）
上記実施形態の有機ＥＬ装置１は、赤、緑、青の３色の発光を行うものであるが、これに限定する趣旨ではなく、４色又は５色以上の発光を行うような構成としてもよい。４色の発光を行う場合には、例えば赤、緑、青、シアンの発光を行う４種類の発光層１５を有機バンク１３に囲まれた領域ごとに形成する。また、これ以外の４色の組合せとしては、赤、黄緑、青、エメラルドグリーンの４色とすることができる。この他にも、波長に応じて色相が変化する可視光領域（３８０〜７８０ｎｍ）のうち、青系の色相の発光、赤系の色相の発光と、青から黄までの色相の中で選択された２種の色相の発光からなるように選択することができる。ここで「系」との語を用いているが、例えば青系であれば純粋の青の色相に限定されるものでなく、青紫や青緑等を含むものである。赤系の色相であれば、赤に限定されるものでなく橙を含む。 (Modification 4)
The organic EL device 1 of the above embodiment emits light of three colors of red, green, and blue, but is not limited to this, and may be configured to emit light of four colors or five colors or more. Good. In the case of emitting light of four colors, for example, four types of light emitting layers 15 that emit red, green, blue, and cyan are formed for each region surrounded by the organic bank 13. Further, as other four color combinations, four colors of red, yellow green, blue, and emerald green can be used. In addition, in the visible light region (380 to 780 nm) in which the hue changes according to the wavelength, it is selected from the light emission of the blue hue, the light emission of the red hue, and the hue from blue to yellow. It is possible to select the light emission of two kinds of hues. Here, the term “system” is used. For example, if it is a blue system, the color is not limited to a pure blue hue, and includes a blue-violet color, a blue-green color, and the like. If it is a red hue, it is not limited to red but includes orange.

本発明の発光装置としての有機ＥＬ装置の拡大平面図。The enlarged plan view of the organic electroluminescent apparatus as a light-emitting device of this invention. 有機ＥＬ装置の電気的な構成を示した模式的な回路図。1 is a schematic circuit diagram showing an electrical configuration of an organic EL device. 図１中のＡ−Ａ線における有機ＥＬ装置の断面図。Sectional drawing of the organic electroluminescent apparatus in the AA line in FIG. 有機ＥＬ装置の製造方法を示す工程図。Process drawing which shows the manufacturing method of an organic electroluminescent apparatus. （ａ）から（ｄ）は、有機ＥＬ装置の製造方法の各工程における有機ＥＬ装置の断面図であって、図１中のＢ−Ｂ線の位置に対応する断面図。(A) to (d) is a cross-sectional view of the organic EL device in each step of the method of manufacturing the organic EL device, and is a cross-sectional view corresponding to the position of line BB in FIG. （ａ）から（ｃ）は、有機ＥＬ装置の製造方法の各工程における有機ＥＬ装置の断面図であって、図１中のＢ−Ｂ線の位置に対応する断面図。(A) to (c) is a cross-sectional view of the organic EL device in each step of the method of manufacturing the organic EL device, and is a cross-sectional view corresponding to the position of line BB in FIG. （ａ）は、液滴吐出装置のヘッドの斜視図であり、（ｂ）は、当該ヘッドの吐出部の断面図。(A) is a perspective view of the head of a droplet discharge apparatus, (b) is sectional drawing of the discharge part of the said head. 電子機器としての携帯電話機の斜視図。The perspective view of the mobile telephone as an electronic device. 本発明の変形例に係る有機ＥＬ装置の拡大平面図。The enlarged plan view of the organic electroluminescent apparatus which concerns on the modification of this invention. 本発明の変形例に係る有機ＥＬ装置の拡大平面図。The enlarged plan view of the organic electroluminescent apparatus which concerns on the modification of this invention. 本発明の変形例に係る有機ＥＬ装置の拡大平面図。The enlarged plan view of the organic electroluminescent apparatus which concerns on the modification of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…発光装置としての有機ＥＬ装置、３…機能層としての有機ＥＬ素子、５，５Ｒ，５Ｇ，５Ｂ…画素、６，６Ｒ，６Ｇ，６Ｂ…発光領域、１０…基板としてのガラス基板、１１…画素電極、１２…第１のバンクとしての無機バンク、１２ａ…開口部、１３…第２のバンクとしての有機バンク、１４…正孔輸送層、１４Ｌ…機能液、１５…発光層、１６…陰極、１７…封止部材、１９…回路素子層、２６，２７…ＴＦＴ素子、２００…電子機器としての携帯電話機。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1A, 1B, 1C ... Organic EL device as light emitting device, 3 ... Organic EL element as functional layer, 5, 5R, 5G, 5B ... Pixel, 6, 6R, 6G, 6B ... Light emitting region, 10 ... Substrate Glass substrate, 11 ... pixel electrode, 12 ... inorganic bank as first bank, 12a ... opening, 13 ... organic bank as second bank, 14 ... hole transport layer, 14L ... functional liquid, 15 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Light emitting layer, 16 ... Cathode, 17 ... Sealing member, 19 ... Circuit element layer, 26, 27 ... TFT element, 200 ... Cell-phone as electronic equipment.

Claims (5)

各々が複数の発光色をのうちの所定の発光色を発光する発光層を含む機能層を有する複数の画素を有し、前記複数の発光色のうち同一の発光色に対応するストライプ状に配列された画素列を複数備えた発光装置であって、
基板と、
前記基板上に、前記画素ごとに形成された画素電極と、
前記基板上に、前記基板の法線方向から見て一部が前記画素電極の外縁部に重なった状態に形成され、前記画素の発光領域に対応する領域に開口部を有する第１のバンクと、
前記第１のバンク上に、前記同一の発光色に対応する画素列における複数の前記発光領域を囲うように、前記第１のバンク上のうち前記開口部の近傍を除いた領域において、前記開口部の縁から一定距離だけ離れて形成されるとともに前記機能層を形成するための機能物質を含む機能液の塗布領域を規定する第２のバンクと、
前記画素電極、前記第１のバンク、前記第２のバンクによって形作られる凹部に配置された前記機能層と、
前記機能層を挟んで前記画素電極の反対側に形成された陰極と、
を備え、
前記発光領域の外形は、同一の発光色における前記画素列に直交する方向に長いトラック形状を有することを特徴とする発光装置。 Each have a plurality of pixels having a functional layer including a light emitting layer which emits predetermined light emission color of the plurality of emission colors, the plurality of stripe in the array corresponding to the same emission color of the emission color A light-emitting device including a plurality of pixel columns ,
A substrate,
A pixel electrode formed for each of the pixels on the substrate;
A first bank formed on the substrate so as to partially overlap the outer edge of the pixel electrode when viewed from the normal direction of the substrate, and having an opening in a region corresponding to the light emitting region of the pixel; ,
In the region excluding the vicinity of the opening on the first bank so as to surround a plurality of the light emitting regions in the pixel row corresponding to the same light emission color on the first bank, the openings A second bank which is formed at a certain distance from the edge of the part and defines a coating area of a functional liquid containing a functional substance for forming the functional layer;
The functional layer disposed in a recess formed by the pixel electrode, the first bank, and the second bank;
A cathode formed on the opposite side of the pixel electrode across the functional layer;
Equipped with a,
The outer shape of the light emitting region, the light emitting device according to claim Rukoto which have a long track shape in a direction orthogonal to the pixel rows in the same emission color. 請求項１に記載の発光装置であって、
等ピッチで配置された複数の前記画素からなる画素列を複数有し、
隣り合う前記画素列に含まれる前記画素は、互いに前記画素列方向について半ピッチずつずれて配置されていることを特徴とする発光装置。 The light-emitting device according to claim 1,
Having a plurality of pixel columns composed of a plurality of the pixels arranged at an equal pitch;
The light emitting device according to claim 1, wherein the pixels included in the adjacent pixel columns are arranged so as to be shifted from each other by a half pitch in the pixel column direction. 請求項１または請求項２に記載の発光装置であって、
前記第１のバンクは親水性を有することを特徴とする発光装置。 The light-emitting device according to claim 1 or 2 ,
The light emitting device, wherein the first bank has hydrophilicity. 請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の発光装置であって、
前記第２のバンクは撥水性を有することを特徴とする発光装置。 The light-emitting device according to any one of claims 1 to 3 ,
The light emitting device, wherein the second bank has water repellency. 請求項１から４のいずれか一項に記載の発光装置を備えることを特徴とする電子機器。 An electronic apparatus comprising: a light-emitting device according to any one of claims 1 to 4.
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