JP2008091070A - Light-emitting device and electronic equipment - Google Patents

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Shuichi Takei
周一 武井
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セイコーエプソン株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light-emitting device capable of realizing flattening of a function layer including a light-emitting layer, and provide an electronic equipment. <P>SOLUTION: An organic EL device 1 has pixel electrodes 11 formed for every pixel 5 on a substrate, inorganic banks 12 formed in a state that their one parts are superposed on the outer edge parts of the pixel electrodes 11, and on the inorganic banks 12, organic banks 13 formed so as to surround a plurality of light-emitting regions 6. The inorganic banks 12 have opening parts 12a corresponding to the light emitting regions 6. The organic banks 13 are formed in regions except the vicinity of the opening parts 12a. Even in the case pixels 5 and the light emitting regions 6 are too small to be suitable for a liquid drop injection method, since recessed parts shaped by the pixel electrodes 11, the inorganic banks 12, and the organic banks 13 includes a plurality of these, flat layers can be formed by the liquid drop injection method. The functional layers including the light-emitting layers are arranged in the recessed parts, and cathodes are formed on sides opposite to the pixel electrodes 11 by pinching the functional layers. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、発光層を有する発光装置、及び当該発光装置を備えた電子機器に関する。 The present invention relates to a light emitting device having a light emitting layer, and an electronic apparatus including the light emitting device.

上記発光装置の一つに、発光層に有機発光材料を用いた有機EL(Electro Luminescence)装置がある。 One of the light emitting device is an organic EL (Electro Luminescence) device using an organic luminescent material in the light emitting layer. 有機EL装置は、薄型、低消費電力、広視野角といった特徴を有しており、多くの電子機器に表示装置として搭載されている。 The organic EL device, thin, low power consumption, has features such wide viewing angle, it is mounted as a display device for many electronic devices. そして、こうした有機EL装置に対しては、表示情報量の増加や表示品位の向上のため、さらなる高精細化が求められている。 And, for such organic EL devices, to improve the growth and display quality of the display information amount, further higher definition is demanded.

ところで、上記有機EL装置の製造方法としては、いわゆる液滴吐出法を用いた方法が知られている。 Incidentally, as a method of manufacturing the organic EL device, a method using a so-called droplet discharge method is known. これは、基板上に各画素を囲うようにして形成されたバンク(隔壁)の作る凹部に、有機発光材料が溶解又は分散された液滴を吐出し、これを乾燥させることによって発光層を形成するものである(特許文献1参照)。 This forms the light emitting layer by causing the recesses to make the bank formed so as to surround each pixel on the substrate (partition wall), ejecting an organic luminescent material is dissolved or dispersed droplets, and drying the is to (see Patent Document 1).

特開2004−31359号公報 JP 2004-31359 JP

しかしながら、高精細化のために画素を小さくしていくと、バンクの作る凹部も小さくなる。 However, gradually reducing the pixel for high resolution, even smaller recesses making the bank. こうした場合においては、当該凹部に吐出された液滴の表面積を最小に保とうとする表面張力の作用の影響が大きくなり、液滴を乾燥させて得られる発光層の平坦性を確保することが困難になるという問題点がある。 In these cases, the influence of the effect of surface tension, which tries to keep the surface area of ​​the liquid droplets ejected into the concave portion to a minimum increases, difficult to secure the flatness of the light-emitting layer obtained by drying the liquid droplets there is a problem that becomes.

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の奏する効果の一つにより、発光層を含む機能層の平坦化を実現させることができる。 The present invention has been made in view of the above problems, by one of the effects of the present invention, it is possible to realize flattening of the functional layer including a light emitting layer.

本発明の発光装置は、複数の画素を有する発光装置であって、基板と、前記基板上に、前記画素ごとに形成された画素電極と、前記基板上に、前記基板の法線方向から見て一部が前記画素電極の外縁部に重なった状態に形成され、前記画素の発光領域に対応する領域に開口部を有する第1のバンクと、前記第1のバンク上に、複数の前記発光領域を囲うように、かつ前記第1のバンク上のうち前記開口部の近傍を除いた領域に形成された第2のバンクと、前記画素電極、前記第1のバンク、前記第2のバンクによって形作られる凹部に配置された、発光層を含む機能層と、前記機能層を挟んで前記画素電極の反対側に形成された陰極と、を備えることを特徴とする。 The light emitting device of the present invention is a light-emitting device having a plurality of pixels, and the substrate, on the substrate, a pixel electrode formed for each of the pixels, on said substrate, seen from the normal direction of the substrate some are formed is superposed on the outer edge of the pixel electrode Te, a first bank having an opening in a region corresponding to the emission region of the pixel, on the first bank, a plurality of light emitting so as to surround the region, and a second bank formed on the region excluding the vicinity of the opening of the first bank, the pixel electrode, the first bank, the second bank arranged in a recess is shaped, it characterized the functional layer including a light emitting layer, that and a cathode formed on the opposite side of the pixel electrode across the functional layer.

このような構成によれば、個々の画素及び発光領域の大きさが液滴吐出法に適さないほど小さい場合であっても、上記凹部に吐出された機能液(機能層の材料を含んだ液体)は、当該凹部が上記発光領域を複数包含する大きさを有するため、凹部の底部に均一な厚さに濡れ広がる。 According to such a configuration, even when the size of each pixel and the light emitting region is small enough not suitable for the liquid droplet discharge method, including the material of the functional liquid (functional layer discharged in the recess liquid ) is the recess to have a plurality including size of the emission region, it spreads to a uniform thickness on the bottom of the recess. また、第2のバンクは各画素の発光領域(第1のバンクの開口部)の近傍を除いた領域に形成されるため、機能液は、発光領域上において第2のバンクの影響による凹凸が少ない状態で濡れ広がる。 Further, since the second bank is formed in a region excluding the vicinity of the emission region of each pixel (the opening of the first bank), the functional liquid, irregularities due to the influence of the second bank on the light-emitting region It spreads in a small state. 上記発光層を含む機能層は、こうした機能液を乾燥させることによって得られるため、高い平坦性を有した状態で形成される。 Functional layer including the light emitting layer, since obtained by drying such functional fluid, is formed in a state of having a high flatness. 以上から、上記構成により、発光領域における、発光層を含む機能層の平坦化を実現させることができる。 From the above, the above-described configuration, in the light emitting region, it is possible to realize flattening of the functional layer including a light emitting layer. また、異なる画素に形成された発光層の厚さを容易に均一にすることができる。 Further, it is possible to easily uniform thickness of the light-emitting layer formed in different pixels. これにより、輝度ムラ等の不具合の少ない、高品位な発光を行うことができる。 Thus, it is possible to perform defect less, high quality light emission such as brightness unevenness.

上記発光装置において、前記画素は、前記発光領域において、複数の発光色のうちいずれか1つの発光を行い、前記第2のバンクによって囲まれた前記複数の発光領域における発光の色は同一であることが好ましい。 In the above light emitting device, the pixel is in the light emitting region, do one of the emission of the plurality of emission colors, the color of light emission of the plurality of light emitting areas surrounded by said second bank are the same it is preferable.

このような構成において、ある発光色の光を発する機能層を形成する際には、当該発光色に対応する複数の発光領域を包含する凹部に機能液を吐出することとなり、当該機能液が上記複数の画素にわたって均一な厚さに濡れ広がる。 In such a configuration, when forming a functional layer that emits light of a luminescent color becomes a by discharging the functional liquid in the recess includes a plurality of light emitting regions corresponding to the emission colors, the functional liquid above It spreads to a uniform thickness over a plurality of pixels. よって、これを乾燥して得られる機能層は、各画素の大きさが液滴吐出法に適さないほど小さい場合であっても、発光領域において高い平坦性を有した状態で形成される。 Thus, the functional layer obtained by drying this, the size of each pixel even when small enough not suitable for the liquid droplet discharge method is formed in a state of having high flatness in the light emitting region. また、異なる画素に形成された発光層の厚さを容易に均一にすることができる。 Further, it is possible to easily uniform thickness of the light-emitting layer formed in different pixels. これにより、輝度ムラ等の不具合の少ない、高品位な発光を行うことができる。 Thus, it is possible to perform defect less, high quality light emission such as brightness unevenness.

上記発光装置においては、等ピッチで配置された複数の前記画素からなる画素列を複数有し、隣り合う前記画素列に含まれる前記画素は、互いに前記画素列方向について半ピッチずつずれて配置されていることが好ましい。 In the light emitting device has a plurality of pixel columns consisting arranged plurality of pixels at an equal pitch, the said pixels included in the adjacent pixel lines, are arranged to be shifted by a half pitch for the pixel column direction it is preferred that.

このような構成によれば、ある画素列における画素間に対応する位置に、これと隣接する画素列の画素が配置される。 According to such a configuration, in a position corresponding to between the pixels in a certain pixel column, the pixel of the adjacent pixel columns are arranged thereto. このようにすれば、画素をマトリクス状に配置する場合に比べて、発光領域と発光領域との間隔をより小さくすることができる。 Thus, as compared with the case of arranging pixels in a matrix, a smaller distance between the light emitting region and the light emitting region. これにより、発光領域の配置密度を高めることができるとともに、開口率を向上させることが可能となる。 Thus, it is possible to increase the arrangement density of the light emitting region, it is possible to improve the aperture ratio. よって、高精細な発光を行うことができ、また発光輝度を高めることができる。 Therefore, it is possible to perform high-definition light-emitting, also can enhance the emission intensity.

上記発光装置において、前記第1のバンクは親水性を有することが好ましい。 In the light-emitting device described above, the first bank preferably has a hydrophilic.

このような構成によれば、上記凹部の底部を親水性とすることができる。 According to such a configuration, the bottom portion of the recess can be hydrophilic. こうした凹部に吐出された機能液は、凹部の底部に均一に濡れ広がるため、乾燥後の機能層の平坦性を向上させることができる。 Functional liquid discharged in this recess, in order to spread uniformly wet the bottom of the recess, it is possible to improve the flatness of the functional layer after drying.

上記発光装置において、前記第2のバンクは撥水性を有することが好ましい。 In the light-emitting device described above, the second bank preferably has a water repellency.

このような構成によれば、上記凹部の側壁を撥水性とすることができる。 According to such a configuration, the side walls of the recess may be water-repellent. こうした凹部に吐出された機能液は、側壁に沿って盛り上がってしまう現象が起こりにくく、底部に均一に濡れ広がるため、乾燥後の機能層の平坦性を向上させることができる。 Functional liquid discharged in this recess, hardly occurs phenomenon that raised along the side wall, because spread uniformly wet the bottom, it is possible to improve the flatness of the functional layer after drying.

本発明の電子機器は、上記発光装置を備えることを特徴とする。 Electronic device of the present invention is characterized by comprising the above light-emitting device.

このような構成の電子機器によれば、輝度ムラ等の表示不良の少ない、高品位な表示を行うことができる。 According to the electronic apparatus having such a configuration, it is possible to display less defects, high-quality display such as brightness unevenness.

以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。 Hereinafter, with reference to the drawings, embodiments of the present invention will be described. なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。 In the drawings below, to the size that can be recognized each component in the drawings, it is intended dimensions and ratios of the components actually are varied appropriately.

(有機EL装置) (Organic EL devices)
図1は、本発明の発光装置としての有機EL装置1の拡大平面図である。 Figure 1 is an enlarged plan view of the organic EL device 1 as a light-emitting device of the present invention. 有機EL装置1は、赤(R)、緑(G)、青(B)の発光を行う画素5R,5G,5B(以下まとめて「画素5」とも呼ぶ)を複数備えている。 The organic EL device 1 includes red (R), green (G), and a pixel 5R for emitting light and blue (B), 5G, 5B (collectively hereinafter also referred to as "pixels 5") provided with a plurality of. 画素5は、同一の色に対応するものが図の縦方向に等間隔(等ピッチ)に並ぶように配置されている。 Pixel 5 are those corresponding to the same color are arranged side by side at equal intervals (equal pitch) in the longitudinal direction of FIG. このような画素5の列を画素列と呼ぶ。 The columns of the pixel 5 is referred to as a pixel column. 有機EL装置1は、赤、緑、青に対応する画素列を複数備えており、これらの画素列は赤、緑、青の順に繰り返し配列され、ストライプ状をなしている。 The organic EL device 1, the red, green, and a plurality of pixel row corresponding to the blue, the pixel columns of red, green, are repeatedly arranged in the order of blue, to form a stripe. また、隣り合う画素列に含まれる画素5は、画素列方向について半ピッチずつずれて配置されている。 The pixel 5 included in adjacent pixel columns are disposed shifted by a half pitch for the pixel column direction. すなわち、画素5は千鳥状に配置されており、ある画素列における画素5の間に対応する位置に、これと隣接する画素列の画素5が配置されている。 That is, the pixel 5 are arranged in a staggered manner, in a position corresponding to between the pixels 5 in a certain pixel column, the pixel 5 pixel column adjacent are disposed thereto.

画素5R,5G,5Bは、それぞれ発光領域6R,6G,6B(以下ではまとめて「発光領域6」とも呼ぶ)を有しており、発光領域6において赤、緑、又は青の発光を行う。 Pixels 5R, 5G, 5B each light emitting region 6R, 6G, has 6B (hereinafter collectively also referred to as "light-emitting region 6"), carried out the red, green, or blue emission in the emission region 6. 発光領域6の外形は、画素列に直交する方向に長い、トラック形状(2つの向かい合う半円を2つの直線で結んだ形状)となっている。 The outer shape of the light-emitting region 6 is longer in the direction perpendicular to the pixel columns, and has a track shape (shape connecting the two opposite semicircles by two straight lines). ここで、上記したように画素5は千鳥状に配置されているため、発光領域6もこれにともなって千鳥状の配置となる。 Here, the pixels 5 as described above because it is arranged in a zigzag pattern, a staggered arrangement with the also light-emitting region 6. このようにすれば、画素5をマトリクス状に配置する場合に比べて、発光領域6と発光領域6との間隔をより小さくすることができる。 Thus, as compared with the case of arranging the pixels 5 in a matrix, a smaller distance between the light-emitting region 6 and the light emitting region 6. これにより、発光領域6の配置密度を高めることができるとともに、開口率を向上させることが可能となる。 Thus, it is possible to increase the arrangement density of the light emitting region 6, it is possible to improve the aperture ratio. よって、高精細な発光を行うことができ、また発光輝度を高めることができる。 Therefore, it is possible to perform high-definition light-emitting, also can enhance the emission intensity. 有機EL装置1は、これら各発光領域6の発光輝度を制御することによってカラー表示を行う発光装置である。 The organic EL device 1 is a light emitting device that performs color display by controlling these light emission luminance of each light-emitting region 6.

図2は、有機EL装置1の電気的な構成を示した模式的な回路図である。 Figure 2 is a schematic circuit diagram showing an electrical configuration of the organic EL device 1. 有機EL装置1は、複数の走査線23と、この走査線23の延設方向に対して交差する方向に延設された複数のデータ線24と、このデータ線24に並列する複数の共通給電線25とを有している。 The organic EL device 1 includes a plurality of scanning lines 23, a plurality of data lines 24 extended in the direction crossing the extending direction of the scanning lines 23, a plurality of common feed in parallel to the data line 24 and a wire 25. 走査線23とデータ線24との交差に対応して画素5が設けられている。 Pixel 5 are provided corresponding to intersections of the scanning lines 23 and data lines 24. 走査線23は、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査線駆動回路28に接続されている。 Scan line 23 is connected to the shift register and the scan line driver circuit 28 comprises a level shifter. データ線24は、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを備えるデータ線駆動回路29に接続されている。 Data line 24, a shift register, a level shifter, a video line, are connected to the data line driving circuit 29 comprises an analog switch.

画素5の各々には、TFT(Thin Film Transistor)素子26,27が形成されている。 To each pixel 5, TFT (Thin Film Transistor) element 26, 27 is formed. TFT素子26のゲート電極には、走査線23を介して走査信号が供給される。 The gate electrode of the TFT element 26, the scanning signal is supplied through the scanning line 23. TFT素子26のソース電極は、データ線24に接続されており、TFT素子26のドレイン電極は、データ線24から供給される画像信号を保持する保持容量21に接続されている。 The source electrode of the TFT element 26 is connected to the data line 24, the drain electrode of the TFT element 26 is connected to the storage capacitor 21 for holding an image signal supplied from the data line 24. 保持容量21によって保持された画像信号は、電流制御用のTFT素子27のゲート電極に供給される。 The image signal held by the storage capacitor 21 is supplied to the gate electrode of the TFT element 27 for current control. TFT素子27のソース電極は共通給電線25に、またドレイン電極は有機EL素子3に、それぞれ接続されている。 A source electrode common feed line 25 of the TFT element 27, the drain electrode in the organic EL element 3 are connected. TFT素子27がオンとなると、共通給電線25から有機EL素子3に駆動電流が流れ込み、有機EL素子3が発光する。 When the TFT element 27 is turned on, flows a drive current to the organic EL element 3 from the common feed line 25, the organic EL element 3 emits light.

このように、有機EL装置1は、駆動電流が流れることによって発光する有機EL素子3をTFT素子26,27で駆動制御する発光装置である。 Thus, the organic EL device 1 is an organic EL element 3 emits light by a driving current flows in the light-emitting device that drives and controls a TFT element 26, 27. なお、図2においては走査線23、データ線24、共通給電線25が直線状に描かれているが、画素5の千鳥配置に対応して適宜屈曲した状態で形成されていてもよい。 Note that the scan line 23 in FIG. 2, the data line 24, but the common feed line 25 is drawn in a straight line, it may be formed by appropriately bent state to correspond to the zigzag arrangement of the pixels 5.

図3は、図1中のA−A線における有機EL装置1の断面図である。 Figure 3 is a cross-sectional view of an organic EL device 1 taken along line A-A in FIG. この図を用いて、有機EL装置1の画素5の構造について説明する。 Using this figure, a description will be given of the structure of the pixel 5 of the organic EL device 1.

有機EL装置1は、本発明における基板としてのガラス基板10を基体として構成されている。 The organic EL device 1 has a glass substrate 10 as a substrate in the present invention is configured as a base. ガラス基板10上にはシリコン酸化膜(SiO 2 )等からなる下地保護膜31が形成されている。 On the glass substrate 10 underlying the protective film 31 made of a silicon oxide film (SiO 2) or the like is formed. 下地保護膜31上には、TFT素子26(図3においては不図示),27が形成されている。 On the base protective film 31 (not shown in FIG. 3) TFT elements 26, 27 are formed.

より詳しくは、下地保護膜31上に、ポリシリコン膜からなる半導体膜36が島状に形成されている。 More particularly, on the base protection film 31, semiconductor film 36 made of a polysilicon film is formed in an island shape. 半導体膜36には不純物の導入によってソース領域、ドレイン領域が形成され、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域となっている。 Source region by introducing impurities into the semiconductor film 36, the drain region is formed, the portion impurities are not introduced serves as a channel region. 下地保護膜31及び半導体膜36の上には、シリコン酸化膜等からなるゲート絶縁膜32が形成され、ゲート絶縁膜32上には、アルミニウム(Al)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、タングステン(W)等からなるゲート電極37が形成されている。 On the base protection film 31 and the semiconductor film 36, the gate insulating film 32 made of a silicon oxide film or the like is formed on the gate insulating film 32, aluminum (Al), molybdenum (Mo), tantalum (Ta), titanium (Ti), a gate electrode 37 made of tungsten (W) or the like is formed. ゲート電極37及びゲート絶縁膜32の上には、第1層間絶縁膜33と第2層間絶縁膜34とがこの順に積層されている。 On the gate electrode 37 and the gate insulating film 32, a first interlayer insulating film 33 and the second interlayer insulating film 34 are laminated in this order. ここで、第1層間絶縁膜33及び第2層間絶縁膜34は、シリコン酸化膜(SiO 2 )、チタン酸化膜(TiO 2 )などの無機絶縁膜から構成されている。 Here, the first interlayer insulating film 33 and the second interlayer insulating film 34, a silicon oxide film (SiO 2), and an inorganic insulating film such as a titanium oxide film (TiO 2). なお、下地保護膜31から第2層間絶縁膜34までの構成要素を、以下ではまとめて「回路素子層19」とも呼ぶ。 Incidentally, the components of the base protection film 31 to the second interlayer insulating film 34, are summarized in the following also referred to as "circuit element layer 19".

第1層間絶縁膜33の上層には、共通給電線25が形成されている。 The upper layer of the first interlayer insulating film 33, the common feeder line 25 are formed. 共通給電線25は、第1層間絶縁膜33及びゲート絶縁膜32を貫通して設けられたコンタクトホールを介して半導体膜36のソース領域に接続されている。 Common feed line 25 is connected to the source region of the semiconductor film 36 through a contact hole formed through the first interlayer insulating film 33 and the gate insulating film 32.

第2層間絶縁膜34上には、厚さ約50〜150nmのITO(Indium Tin Oxide)からなる光透過性の画素電極11が画素5ごとに形成されている。 On the second interlayer insulating film 34 is optically transparent pixel electrodes 11 are formed in each pixel 5 made of ITO with a thickness of about 50~150nm (Indium Tin Oxide). 画素電極11は、図1の平面図において、発光領域6より一回り大きな領域に形成されている。 Pixel electrodes 11 in a plan view of FIG. 1, is formed in a larger region slightly than the light emitting region 6. この画素電極11は、第2層間絶縁膜34、第1層間絶縁膜33、ゲート絶縁膜32を貫通して設けられたコンタクトホールを介して半導体膜36のドレイン領域に電気的に接続されている。 The pixel electrode 11, the second interlayer insulating film 34, the first interlayer insulating film 33, and is electrically connected to the drain region of the semiconductor film 36 through a contact hole formed through the gate insulating film 32 . こうした構成において、TFT素子27は、ゲート電極37への電圧の供給によってオン/オフが切り替わり、オン状態となった場合には、共通給電線25から画素電極11へ駆動電流を流す働きをする。 In this configuration, TFT elements 27 are switched on / off by the supply of voltage to the gate electrode 37, when turned on, serves to flow a driving current from the common power supply line 25 to the pixel electrode 11.

画素電極11の周りには、当該画素電極11を底部とする凹部を形作るように、親液性を有する無機材料からなる無機バンク12、及び撥水性を有する有機材料からなる有機バンク13がこの順に積層されている。 Around the pixel electrode 11 is to shape the recess to the bottom of the pixel electrode 11, an inorganic bank 12 made of an inorganic material having a lyophilic, and organic banks 13 made of an organic material having water repellency in this order It is stacked. 無機バンク12、有機バンク13は、それぞれ本発明における第1のバンク、第2のバンクに対応する。 Inorganic bank 12, the organic bank 13, the first bank in the present invention, respectively, corresponding to the second bank.

無機バンク12は、画素電極11の周りを囲うようにして第2層間絶縁膜34上に配置されており、ガラス基板10の法線方向から見て、一部が画素電極11の外縁部に重なった状態に形成されている。 Inorganic bank 12 is disposed on the second interlayer insulating film 34 so as to surround the pixel electrode 11, when viewed from the normal direction of the glass substrate 10, partially overlaps the outer edge of the pixel electrode 11 It is formed in a state. 換言すれば、無機バンク12は、画素電極11より小さな開口部12aを有して、画素電極11に重ねて配置されている。 In other words, the inorganic bank 12 has a small opening 12a than the pixel electrodes 11 are arranged to overlap the pixel electrode 11. そして、この開口部12aは、画素5の発光領域6に対応する領域に設けられている。 Then, the opening 12a is provided in a region corresponding to the light-emitting region 6 of the pixel 5. つまり、図1に示すように、この開口部12aの形状が、そのまま発光領域6の形状となる。 That is, as shown in FIG. 1, the shape of the opening 12a, as is the shape of the light emitting region 6. 言い換えれば、無機バンク12の開口部12aの形状は、画素5の発光領域6の形状を規定する。 In other words, the shape of the opening 12a of the inorganic bank 12 define the shape of the light-emitting region 6 of the pixel 5. したがって、開口部12aの形状は、トラック形状となっている。 Thus, the shape of the opening 12a has a track shape. 無機バンク12は、シリコン酸化膜等の無機絶縁膜からなり、その厚さは約50〜100nmである。 Inorganic bank 12 is made of an inorganic insulating film such as a silicon oxide film, a thickness of about 50 to 100 nm.

無機バンク12上には、ポリイミドやアクリル樹脂等からなる有機バンク13が形成されている。 On the inorganic bank 12, the organic bank 13 made of polyimide or acrylic resin or the like is formed. 有機バンク13は、後述する正孔輸送層14及び発光層15を形成するにあたって液滴吐出法によって機能液を吐出する際、吐出された機能液の塗布領域を規定するものである。 Organic bank 13, when ejecting the functional liquid by a droplet discharge method in forming the hole transport layer 14 and the light-emitting layer 15 described later, defines an application region of the functional liquid discharged. 有機バンク13は、図1に示すように、複数の発光領域6を囲うように形成されている。 Organic bank 13, as shown in FIG. 1, is formed so as to surround the plurality of light emitting regions 6. このとき、有機バンク13に囲まれる発光領域6は、同一の色の発光を行う発光領域6であり、異なる色の発光領域6が混在しないようになっている。 At this time, the light-emitting region 6 surrounded by the organic bank 13 is a light emitting region 6 for emitting light of the same color, the light-emitting region 6 of different colors so as not to mix. 本実施形態では、画素列全体を有機バンク13が囲む構成となっている。 In the present embodiment has a structure in which the organic bank 13 surrounding the whole pixel column.

また、有機バンク13は、無機バンク12上のうち開口部12aの近傍を除いた領域に形成されている。 The organic bank 13 is formed in a region excluding the vicinity of the opening 12a of the inorganic bank 12. つまり、有機バンク13の配置領域は、無機バンク12の開口部12aの縁(すなわち発光領域6の縁)から一定距離だけ離れている。 In other words, arrangement region of the organic bank 13 is spaced from the edge of the opening 12a of the inorganic bank 12 (i.e. the edge of the light-emitting region 6) by a predetermined distance.

こうした構成によれば、発光領域6の上に積層される構成要素(本実施形態では、後述する正孔輸送層14及び発光層15)の、発光領域6内における平坦性を高めることができる。 According to this structure, (in the present embodiment, described below the hole transport layer 14 and the light-emitting layer 15) components that are laminated on the light emitting region 6 can be increased, and the flatness of the light-emitting region 6. これは、次の理由による。 This is due to the following reasons. すなわち、有機バンク13に囲まれた凹部に、液滴吐出法等の液層プロセスによって上記構成要素を形成する場合には、有機バンク13付近では吐出された機能液の平坦性が失われやすくなる一方で、有機バンク13から一定距離だけ離れた位置では有機バンク13による影響を受けにくいため高い平坦性を確保しやすくなる。 That is, the concave portion surrounded by the organic bank 13, when forming the components by the liquid layer process of the droplet discharge method, or the like is likely to lose the flatness of the discharged functional liquid in the vicinity of the organic bank 13 On the other hand, it is easy to secure a high flatness for less sensitive to organic bank 13 is at a position distant by a predetermined distance from the organic bank 13. そして、本実施形態の構成では、発光領域6と有機バンク13との間に距離が設けられていることにより、発光領域6が、上記平坦性の高くなる領域に位置するようになるためである。 In the configuration of the present embodiment, since the distance is provided between the light-emitting region 6 and the organic bank 13, the light emitting region 6, is to become to lie becomes higher region of the flatness .

特に、発光領域6の縁から有機バンク13に至るまでの領域は、親水性を有する無機バンク12が配置されているため、機能液が平坦に濡れ広がりやすい。 In particular, the region of the edge of the light-emitting region 6 until the organic bank 13, since the inorganic bank 12 having a hydrophilic property is placed, the functional liquid tends flat spreading. そして、こうした親水性領域に囲まれた発光領域6においても、機能液は平坦に濡れ広がる。 Also in the light-emitting region 6 surrounded by these hydrophilic regions, functional fluid spreads flat. このため、発光領域6の上に積層される構成要素は高い平坦性をもって形成される。 Therefore, components that are laminated on the light emitting region 6 is formed with high flatness. なお、本実施形態では、発光領域6が千鳥状に配置されていることによって、無機バンク12が露出した上記親水性領域の面積を確保しやすくなっている。 In the present embodiment, the light emitting region 6 by being arranged in a staggered manner, the inorganic bank 12 becomes easy to secure the area of ​​the hydrophilic region exposed.

上記画素電極11、無機バンク12、有機バンク13によって形作られる凹部には、液滴吐出法によって形成された正孔輸送層14及び発光層15がこの順に配置されている。 The pixel electrode 11, an inorganic bank 12, the recess is shaped by the organic bank 13, the hole transport layer 14 and the light-emitting layer 15 formed by a droplet discharge method are arranged in this order. 正孔輸送層14、発光層15を含む層は、本発明における機能層に対応し、本明細書ではこれを有機EL素子3とも呼ぶ。 A hole transport layer 14, a layer containing a light-emitting layer 15 corresponds to the functional layer in the present invention, also referred to as organic EL element 3 which herein. 正孔輸送層14の厚さは約50nmであり、発光層15の厚さは約80〜120nmである。 The thickness of the hole transport layer 14 is about 50 nm, the thickness of the light-emitting layer 15 is about 80 to 120 nm. 発光層15及び有機バンク13の上には、これらを覆うように、カルシウム(Ca)及びアルミニウム(Al)の積層体である陰極16が形成されている。 On the light emitting layer 15 and the organic bank 13, so that to cover them, the cathode 16 is formed a laminate of calcium (Ca) and aluminum (Al). 陰極16の上には、水や酸素の侵入を防ぎ、陰極16あるいは有機EL素子3の酸化を防止するための、樹脂等からなる封止部材17が積層されている。 On the cathode 16, it prevents water or oxygen from entering, to prevent oxidation of the cathode 16 or the organic EL element 3, sealing member 17 made of a resin or the like is laminated.

ここで、上記した液滴吐出法とは、有機発光材料等の機能物質が溶解又は分散された機能液の液滴を吐出し、その後、吐出された機能液を乾燥させて溶媒を蒸発させ、機能物質の層を形成する手法である。 Here, the liquid droplet ejection method described above, ejecting droplets of the functional liquid functional material is dissolved or dispersed in such an organic light emitting material, after which the discharged functional liquid is dried to evaporate the solvent, it is a method for forming a layer of functional material. 液滴吐出法には、インクジェット法などが含まれる。 The droplet discharge method include an inkjet method.

正孔輸送層14は、導電性高分子材料中にドーパントを含有する導電性高分子層からなる。 The hole transport layer 14 is made of a conductive polymer layer containing a dopant in the conductive polymer material. このような正孔輸送層14は、例えば、ドーパントとしてポリスチレンスルホン酸を含有する3,4−ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT−PSS)などから構成することができる。 Such a hole-transporting layer 14, for example, can be composed of such containing polystyrene sulfonic acid as a dopant 3,4-polyethylenedioxythiophene (PEDOT-PSS).

発光層15は、エレクトロルミネッセンス現象を発現する有機発光物質の層である。 Emitting layer 15 is a layer of organic luminescent material expressing electroluminescence phenomenon. 画素電極11と陰極16との間に電圧を印加することによって、発光層15には、正孔輸送層14から正孔が、また、陰極16から電子が注入される。 By applying a voltage between the pixel electrode 11 and the cathode 16, the light emitting layer 15, holes from the hole transport layer 14, also, electrons are injected from the cathode 16. 発光層15は、これらが結合したときに光を発する。 Emitting layer 15 emits light when they are attached. 発光層15からの発光スペクトルは、材料の発光特性や膜厚に依存する。 Emission spectrum from the light-emitting layer 15 is dependent on the emission characteristics and thickness of the material. 本実施形態では、発光領域6R,6G,6Bには、それぞれ赤、緑、青の可視光を発光する発光層15が形成される。 In the present embodiment, the light emitting region 6R, 6G, the 6B, red respectively, green, light-emitting layer 15 that emits blue visible light is formed. 発光層15から図3の下方に射出された光はそのままガラス基板10を透過し、また図3の上方に射出された光は陰極16によって反射された後に下方へ進み、同じくガラス基板10を透過する。 Light emitted downward in FIG. 3 from the light-emitting layer 15 is transmitted through the glass substrate 10, also the light emitted upward in FIG. 3 proceeds downward after being reflected by the cathode 16, also passes through the glass substrate 10 to.

このような構成の有機EL装置1は、ボトムエミッション型と呼ばれる。 The organic EL device 1 having such a configuration is called as a bottom emission type. なお、有機EL装置1が、ガラス基板10とは反対側に向けて表示光を射出するトップエミッション型である場合、陰極16は、例えば、薄いカルシウム層と、ITO層などから構成して光透過性をもたせ、画素電極11の下層側には、画素電極11の略全体と重なるようにアルミニウム膜などからなる光反射層を形成する。 The organic EL device 1, when the glass substrate 10 is a top emission type that emits display light toward the opposite side, the cathode 16 is, for example, a thin calcium layer, constructed of ITO layer light transmission remembering sex, on the lower layer side of the pixel electrode 11, to form a light reflective layer made of aluminum film so as to overlap with substantially the entire pixel electrode 11.

ところで、図1中のB−B線、すなわち、有機バンク13に囲まれた複数の発光領域6を含む位置において有機EL装置1を切断した場合、その模式断面図は図6(c)のようになる。 Incidentally, FIG. 1 in line B-B, i.e., when cutting the organic EL device 1 at a position including a plurality of light-emitting region 6 surrounded by the organic bank 13, the schematic sectional view shown in FIG. 6 (c) become. この図においては、下地保護膜31から第2層間絶縁膜34までの構成要素をまとめて回路素子層19としている。 In this figure, a circuit element layer 19 are collectively components from the underlying protective film 31 until the second interlayer insulating film 34. この断面図においては、隣接する発光領域6の間に有機バンク13が存在しない。 In this sectional view, not organic bank 13 is present between the adjacent light emitting regions 6. したがって、正孔輸送層14及び発光層15は、複数の発光領域6を含んだ底部を有する大きな凹部の全体にわたって一つながりに形成されている。 Thus, the hole transport layer 14 and the light-emitting layer 15 is formed on a stretch throughout a large recess having a bottom including a plurality of light emitting regions 6.

このような構成によれば、各発光領域6の間で、正孔輸送層14及び発光層15の厚さにばらつきが生じにくくなる。 According to such a configuration, among the light emitting regions 6, the variation is less likely to occur in the thickness of the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15. これにより、各発光領域6における発光輝度が均一になり、輝度ムラ等の不具合の少ない高品位な発光を行うことができる。 Thus, emission luminance is uniform in the light emitting regions 6, it is possible to perform defect less high-quality light-emitting, such as brightness unevenness.

以上のような構成の有機EL装置1は、画素5の発光領域6においてのみ発光し、無機バンク12が形成された領域においては発光は行われない。 Or organic EL device 1 having such a configuration emits only in the light-emitting region 6 of pixels 5, emission in the inorganic bank 12 is formed region is not performed. これは、図3に示すように、当該領域では、画素電極11(陽極)と陰極16との間に絶縁物質である無機バンク12が配置されていることにより、両電極間の電流経路が遮断されるためである。 This is because, as shown in FIG. 3, in this region, by inorganic bank 12 is disposed an insulating material between the pixel electrode 11 (anode) and the cathode 16, a current path between the electrodes blocked This is because to be.

(有機EL装置の製造方法) (Method of manufacturing an organic EL device)
続いて、図4から図7を参照しながら、有機EL装置1の製造方法について説明する。 Subsequently, with reference to FIGS. 4-7, a method for manufacturing the organic EL device 1. 図4は、有機EL装置1の製造方法を示す工程図であり、図5及び図6は、当該製造方法の各工程における有機EL装置1の断面図であって、図1中のB−B線の位置に対応する断面図である。 Figure 4 is a process diagram showing the manufacturing method of the organic EL device 1, FIGS. 5 and 6, a cross-sectional view of an organic EL device 1 in each step of the manufacturing process, B-B in FIG. 1 it is a sectional view corresponding to the position of the line.

まず、有機EL装置1の製造に用いる液滴吐出装置について説明する。 First described droplet discharge apparatus used for manufacturing an organic EL device 1. 液滴吐出装置は、基板等のワークに対して相対移動可能なヘッドを有しており、このヘッドに設けられた吐出部から機能液等の液滴を吐出する装置である。 The droplet discharge device has a relatively movable head relative to the workpiece such as a substrate, a device for discharging droplets of the functional liquid or the like from the ejection portion provided in the head. 図7(a)は、液滴吐出装置のヘッド114の斜視図であり、図7(b)は、当該ヘッド114の吐出部127の断面図である。 7 (a) is a perspective view of the head 114 of the droplet discharge device, FIG. 7 (b) is a cross-sectional view of the discharge portion 127 of the head 114.

図7(a)及び(b)に示すように、ヘッド114は、複数のノズル118を有するインクジェットヘッドである。 As shown in FIG. 7 (a) and (b), the head 114 is an inkjet head having a plurality of nozzles 118. 具体的には、ヘッド114は、振動板126と、ノズル118の開口を規定するノズルプレート128とを備えている。 Specifically, the head 114 includes a diaphragm 126 and a nozzle plate 128 that defines the opening of the nozzle 118. そして、振動板126とノズルプレート128との間には、液たまり129が位置しており、この液たまり129には、図示しない外部タンクから孔131を介して供給される機能液14Lが常に充填される。 Further, between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128 is positioned a liquid reservoir 129, The liquid reservoir 129, the functional liquid 14L is always filled, which is supplied through the hole 131 from the external tank (not shown) It is.

また、振動板126とノズルプレート128との間には、複数の隔壁部122が位置している。 Between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128, a plurality of partition wall 122 is located. そして、振動板126と、ノズルプレート128と、一対の隔壁部122と、によって囲まれた部分がキャビティ120である。 Then, the vibration plate 126 and the nozzle plate 128, a pair of partition wall portions 122, the portion surrounded by the are cavity 120. キャビティ120はノズル118に対応して設けられているため、キャビティ120の数とノズル118の数とは同じである。 Since the cavities 120 are provided corresponding to the nozzle 118, it is the same as the number of the number of nozzles 118 of the cavity 120. キャビティ120には、一対の隔壁部122間に位置する供給口130を介して、液たまり129から機能液14Lが供給される。 The cavity 120, through the supply port 130 located between the pair of partition wall portions 122, the functional liquid 14L is supplied from the liquid reservoir 129. なお、本実施形態では、ノズル118の直径は、約27μmである。 In the present embodiment, the diameter of the nozzle 118 is about 27 [mu] m.

振動板126上には、それぞれのキャビティ120に対応して、振動子124が配置されている。 On the vibration plate 126 corresponding to the respective cavities 120, the vibrator 124 is disposed. 振動子124のそれぞれは、ピエゾ素子124Cと、ピエゾ素子124Cを挟む一対の電極124A,124Bとを含む。 Each vibrator 124 includes a piezoelectric element 124C, a pair of electrodes 124A sandwiching the piezoelectric element 124C, and 124B. 液滴吐出装置の制御部が、この一対の電極124A,124Bの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル118から機能液14Lの液滴が吐出される。 Control unit of the droplet ejection apparatus, the pair of electrodes 124A, by applying a drive voltage between 124B, droplets of the functional liquid 14L from the corresponding nozzle 118 is ejected. ここで、ノズル118から吐出される材料の体積は、0pl以上42pl(ピコリットル)以下の間で可変である。 Here, the volume of the material discharged from the nozzle 118 is variable between less than 0 pl 42 pl (picoliter).

1つのノズル118と、ノズル118に対応するキャビティ120と、キャビティ120に対応する振動子124と、を含んだ部分が吐出部127である。 A single nozzle 118, the cavity 120 corresponding to the nozzle 118, the oscillator 124 corresponding to the cavity 120, is inclusive moiety which is a discharge section 127. よって、1つのヘッド114は、ノズル118の数と同じ数の吐出部127を有する。 Thus, one head 114 has a discharge portion 127 of the same number of nozzles 118. 吐出部127は、ピエゾ素子124Cの代わりに電気熱変換素子を有してもよい。 Discharge portion 127 may have thermoelectric conversion elements in place of the piezoelectric element 124C. つまり、吐出部127は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。 That is, the discharge unit 127, the material may have a structure which discharges using thermal expansion of the material by the electrothermal converting element.

続いて、図4に示す工程図に沿って有機EL装置1の製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing the organic EL device 1 along the process diagram shown in FIG.

まず、ステップS1では、公知の成膜技術等を用いて、ガラス基板10の表面に回路素子層19を形成する。 First, in step S1, using a known film forming technique or the like to form a circuit element layer 19 on the surface of the glass substrate 10. 続くステップS2では、回路素子層19上に、ITOからなる画素電極11を形成する(図5(a))。 In step S2, on the circuit element layer 19, a pixel electrode 11 made of ITO (Figure 5 (a)).

次に、ステップS3では、回路素子層19及び画素電極11の上に、無機バンク12を形成する(図5(b))。 Next, in step S3, on the circuit element layer 19 and the pixel electrodes 11, forming the inorganic bank 12 (Figure 5 (b)). より詳しくは、まず常圧又は減圧CVD法等により回路素子層19及び画素電極11の上にシリコン酸化膜を形成し、その後、ドライエッチング等により開口部12aを形成する。 More specifically, the first atmospheric or a silicon oxide film is formed on the circuit element layer 19 and the pixel electrode 11 by low pressure CVD or the like, to form the opening 12a by dry etching or the like. 上述したように、開口部12aは、発光領域6に対応するトラック形状となるように形成する。 As described above, the opening 12a is formed to have a track shape corresponding to the light-emitting region 6.

このステップS3では、無機バンク12の表面に親液性を高めるための加工を行ってもよい。 In step S3, the surface of the inorganic bank 12 may be subjected to processing to increase the lyophilic. 例えば、無機バンク12にシリカ(SiO 2 )の微粒子と酸化チタン(TiO 2 )の微粒子とを含有する親液層を積層させ、これに紫外線を照射することによって無機バンク12の親液性を高めることができる。 For example, the inorganic bank 12 silica by stacking lyophilic layer containing a fine particulate titanium oxide of the (SiO 2) (TiO 2) , enhance the lyophilic inorganic bank 12 by irradiation of ultraviolet rays thereto be able to.

次に、ステップS4では、無機バンク12上に有機バンク13を形成する(図5(c))。 Next, in step S4, forming an organic bank 13 on the inorganic bank 12 (FIG. 5 (c)). より詳しくは、まずアクリル樹脂等をスピンコート等により塗布し、その後フォトリソグラフィー等によってパターニングする。 More specifically, the acrylic resin is applied by spin coating or the like is first patterned by a subsequent photolithography or the like. このときの有機バンク13の形成領域は、図1に示すように、各画素列を囲うような領域である。 Formation region of the organic bank 13 at this time, as shown in FIG. 1, an area such as to surround the pixel columns. また、無機バンク12の開口部12aから一定の距離をおいて配置する。 Also, placing the opening 12a of the inorganic bank 12 at a distance. このステップS4を経て、画素電極11、無機バンク12を底部とし、有機バンク13を側壁とする凹部が形成される。 Through this step S4, the pixel electrodes 11, an inorganic bank 12 and a bottom, the recess for the organic banks 13 and sidewall is formed.

ここで、ステップS4では、有機バンク13の表面に対して、プラズマ処理を併せて行う。 Here, in step S4, with respect to the surface of the organic bank 13 also performs a plasma treatment. プラズマ処理は、有機バンク13の形成されたガラス基板10をフルオロカーボン系化合物を含有するガスにさらし、当該ガスにエネルギーを与えてプラズマ化して有機バンク13の表面と反応させて行う。 Plasma treatment, exposing the glass substrate 10 formed of the organic bank 13 to a gas containing a fluorocarbon compound, is made to react with the surface of the organic bank 13 into plasma by applying energy to the gas. このプラズマ処理によって、有機バンク13の撥液性を高めることができる。 This plasma treatment can increase the liquid repellency of the organic bank 13.

次に、ステップS5では、上記凹部に正孔輸送層14の材料を含んだ機能液14Lを液滴吐出法により吐出する(図5(d))。 Next, in step S5, the functional liquid 14L containing a material of the hole transport layer 14 to eject the droplet discharge method the recess (FIG. 5 (d)). より詳しくは、液滴吐出装置のヘッド114から機能液14Lの液滴を上記凹部の底部に向けて吐出する。 More specifically, the droplet of the functional liquid 14L from the head 114 of the droplet discharge device discharges towards the bottom of the recess. 機能液14Lとしては、例えばPEDOT−PSS分散液を用いることができる。 As the functional liquid 14L, it can be used, for example PEDOT-PSS dispersion. ここで、上述したように、無機バンク12が親液性を有し、また有機バンク13が撥液性を有するように加工されていることから、凹部の底部が親液性に、また側壁が撥液性になっている。 Here, as described above, it has an inorganic bank 12 lyophilic, and from the organic bank 13 is processed to have liquid repellency, the bottom liquophilic recess also has side walls It has become liquid-repellent. このため、こうした凹部に吐出された機能液14Lは、凹部の底部に均一に濡れ広がる。 Therefore, the functional liquid 14L discharged in this recess, spreads uniformly wet the bottom of the recess.

また、本実施形態によれば、機能液14Lは、各画素5又は発光領域6の大きさが液滴吐出法に適さないほど小さい場合であっても、各発光領域6の位置において高い平坦性をもって均一な厚さとなるように配置される。 Further, according to this embodiment, the functional liquid 14L, even when the size of each pixel 5 or the light emitting region 6 is small enough not suitable for the liquid droplet discharging method, a high flatness in the position of the light-emitting region 6 have are disposed such that the uniform thickness. これは、機能液14Lが、複数の発光領域6を含むように形成された大きな凹部に吐出されるためである。 This function liquid 14L is because ejected large recess formed to include a plurality of light emitting regions 6. つまり、吐出された機能液14Lの表面積が大きくなるため、機能液14Lに生ずる、表面積を最小に保とうとする表面張力の作用の影響が相対的に小さくなるからである。 That is, the surface area of ​​the discharged functional liquid 14L is increased, resulting in the functional liquid 14L, the influence of the action of surface tension, which tries to keep to a minimum the surface area is from relatively small.

ところで、吐出された機能液14Lは、側壁となる有機バンク13の近傍では表面状態が乱れて平坦性を失い、有機バンク13から一定の距離だけ離れた部位では有機バンク13による影響を受けにくくなるため高い平坦性が実現される傾向にある。 Incidentally, the discharged functional liquid 14L, disturbed surface state in the vicinity of the organic bank 13 serving as a side wall loses flatness, less affected by organic bank 13 is at a site distant by a predetermined distance from the organic bank 13 tends to a high flatness can be realized for. そして、上述したように、有機バンク13は、無機バンク12の開口部12a(発光領域6)の縁から一定距離だけ離れた位置に形成されている。 Then, as described above, the organic bank 13 is formed from the edge of the opening 12a of the inorganic bank 12 (light-emitting region 6) in certain distance away. したがって、こうした構成によれば、発光領域6は、機能液14Lの平坦性が高くなる領域に相当するようになる。 Therefore, according to this structure, the light-emitting region 6 is as corresponding to the region where increases flatness of the functional liquid 14L. このように、機能液14Lは、発光領域6上において有機バンク13の影響による凹凸が少ない状態で均一な厚さで濡れ広がる。 Thus, the functional liquid 14L is spreads in a uniform thickness on the light-emitting region 6 in a state irregularities less under the influence of the organic bank 13.

次に、ステップS6では、機能液14Lを乾燥させて正孔輸送層14を形成する(図6(a))。 Next, in step S6, the functional liquid 14L is dried to form a hole transport layer 14 (FIG. 6 (a)). より詳しくは、機能液14Lを高温環境下で乾燥又は焼成して溶媒を蒸発させ、機能液14Lに含まれるPEDOT−PSSを固形化させることにより、上記凹部の底部に正孔輸送層14を形成する。 More specifically, dried or calcined functional liquid 14L in a high-temperature environment Evaporation of the solvent, by solidifying PEDOT-PSS contained in the functional liquid 14L, forming the hole transport layer 14 to the bottom of the recess to. この乾燥工程中も、機能液14Lは、凹部の底部に均一に濡れ広がった状態に保たれるため、乾燥後に得られる正孔輸送層14も凹部の底部に均一な厚さに形成される。 During this drying process also, the functional liquid 14L is because it is kept spread uniformly wet the bottom of the recess, the hole transport layer 14 obtained after the drying is also formed to a uniform thickness on the bottom of the recess. 特に、各発光領域6において凹凸が少ない状態で形成されるとともに、異なる発光領域6の間の厚さのばらつきが少ない状態で形成される。 In particular, while being formed in a concavo-convex is less state in the light emitting regions 6 are formed in a state variation in the thickness is small between the different emission regions 6.

続くステップS7では、次に行うステップを選択する。 In subsequent step S7, to select the next performing step. すなわち、ステップS6の終了時に機能層(本実施形態では正孔輸送層14と発光層15とからなる有機EL素子3)が完成していればステップS8に進み、機能層の完成までにさらに異なる層の形成が必要な場合にはステップS5に進む。 That is, if the functional layer completed (organic EL element 3 formed of a hole transporting layer 14 light-emitting layer 15. In this embodiment) at the end of the step S6 advances to step S8, further different to complete the functional layer It proceeds to step S5 if the formation of layers are required. ここでは、さらに発光層15の積層が必要なので、ステップS5に進む。 Here, since the required further laminated light-emitting layer 15, the process proceeds to step S5.

2回目のステップS5、ステップS6では、正孔輸送層14の上に発光層15を形成する。 Second step S5, in step S6, forming a light emitting layer 15 on the hole transport layer 14. 具体的には、ステップS5において、凹部の底部(この段階では正孔輸送層14)に発光層15の材料を含んだ機能液(不図示)を液滴吐出法により吐出し、ステップS6において、当該機能液を乾燥、固形化させることによって発光層15を形成する(図6(b))。 Specifically, in step S5, the bottom of the recess of the functional liquid containing a material for the light emitting layer 15 (the hole transport layer 14 at this stage) (not shown) discharged by a droplet discharge method, in step S6, the functional liquid drying, to form a light-emitting layer 15 by solidifying (Figure 6 (b)). そして、ステップS5、ステップS6を3度繰り返して、赤、緑、青に対応する画素列の凹部に、それぞれ赤、緑、青の光を発する発光層15を形成する。 Then, step S5, repeat Step S6 3 degrees, red, green, in the recess of the pixel row corresponding to the blue, red, respectively, green, forming a light-emitting layer 15 that emits blue light. ここで用いる液滴吐出装置としては、正孔輸送層14の形成の際に用いた液滴吐出装置において機能液を入れ替えたものであってもよいし、これとは異なる液滴吐出装置を用いてもよい。 The droplet discharge device used here, may be one obtained by rearranging the functional liquid in the droplet ejection apparatus used in forming the hole transport layer 14, using different liquid droplet ejection device to this it may be.

こうして得られた発光層15も、正孔輸送層14と同様に凹部の底部に均一な厚さに形成される。 Emitting layer 15 thus obtained are also formed to a uniform thickness on the bottom of the recess as well as the hole transport layer 14. 特に、各発光領域6において凹凸が少ない状態で形成されるとともに、異なる発光領域6の間の厚さのばらつきが少ない状態で形成される。 In particular, while being formed in a concavo-convex is less state in the light emitting regions 6 are formed in a state variation in the thickness is small between the different emission regions 6.

このように、正孔輸送層14及び発光層15は、上記凹部によって規定される領域の全体にわたって形成される。 Thus, the hole transport layer 14 and the light-emitting layer 15 is formed over the entire region defined by the recess. つまり、正孔輸送層14及び発光層15は、個別の発光領域6に対して一つずつ形成されるのではなく、複数の発光領域6を含む領域に、同一層に連続して一つながりに形成される。 That is, the hole transport layer 14 and the light-emitting layer 15, rather than being formed one by one to the individual light-emitting region 6, the region including a plurality of light emitting regions 6, in a stretch continuously in the same layer It is formed. このような構成によれば、各々の発光領域6における正孔輸送層14及び発光層15の厚さを均一にすることができる。 According to such a configuration, it is possible to make uniform the thickness of the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15 in each of the light-emitting region 6.

こうして正孔輸送層14と発光層15とからなる有機EL素子3(機能層)が完成する。 Thus the hole transport layer 14 and the organic EL element 3 formed of the light-emitting layer 15. (functional layer) is completed. したがって、続くステップS7ではステップS8へ進む工程を選択する。 Therefore, to select the process proceeds to the following step S7, step S8.

ステップS8では、発光層15の形成されたガラス基板10上の略全体に、カルシウム及びアルミニウムをこの順に積層させることにより、陰極16を形成する。 In step S8, the entire substantially on the glass substrate 10 formed of a light-emitting layer 15, by laminating the calcium and aluminum in this order, to form a cathode 16. 続くステップS9では、陰極16上に、樹脂からなる封止部材17を形成する(図6(c))。 In step S9, on the cathode 16 to form a sealing member 17 made of resin (Figure 6 (c)). なお、封止の方式は封止部材17によるものに限られず、シール剤を介してガラス基板等を貼り合わせる缶封止の方式等とすることもできる。 Incidentally, methods of sealing may also be a sealing not limited to by member 17, through the sealant bonding the glass substrate or the like method can sealing or the like.

以上のステップを経て、有機EL装置1が完成する。 Through the above steps, the organic EL device 1 is completed. こうして得られた有機EL装置1は、各発光領域6の間で、正孔輸送層14及び発光層15の厚さにばらつきが生じにくくなるとともに、各発光領域6内における正孔輸送層14及び発光層15の平坦性を高くすることができる。 The organic EL device 1 thus obtained, between the light emitting regions 6, together with the variation is less likely to occur in the thickness of the hole transport layer 14 and the light-emitting layer 15, hole transporting layer in each light-emitting region 6 14 and it is possible to increase the flatness of the light-emitting layer 15. これにより、各発光領域6における発光輝度が均一になり、輝度ムラ等の不具合の少ない高品位な発光を行うことができる。 Thus, emission luminance is uniform in the light emitting regions 6, it is possible to perform defect less high-quality light-emitting, such as brightness unevenness.

(電子機器) (Electronics)
上述した有機EL装置1は、例えば図8に示すような、電子機器としての携帯電話機200に搭載して用いることができる。 The organic EL device 1 described above, for example, as shown in FIG. 8, it may be used mounted on the portable phone 200 as an electronic device. 携帯電話機200は、表示部210及び操作ボタン220を有している。 Mobile phone 200 has a display unit 210 and operation buttons 220. 表示部210は、内部に組み込まれた有機EL装置1によって、操作ボタン220で入力した内容や着信情報を始めとする様々な情報について、輝度ムラ等の不具合の少ない、高品位な表示を行うことができる。 Display unit 210, the organic EL device 1 incorporated therein, for various information, including content and incoming information input by the operation button 220, to perform a trouble less, high quality display such as brightness unevenness can.

なお、本発明を適用した有機EL装置1は、上記携帯電話機200の他、モバイルコンピュータ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、車載機器、オーディオ機器などの各種電子機器に用いることができる。 The organic EL device 1 according to the present invention, in addition to the portable telephone 200, can be used a mobile computer, a digital camera, a digital video camera, automotive equipment, in a variety of electronic devices such as audio equipment.

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。 Having described embodiments of the present invention, for the above-described embodiment, it is possible to make various modifications without departing from the spirit of the present invention. 変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。 As a variant, it is conceivable for example, as follows.

(変形例1) (Modification 1)
画素5及び発光領域6の配置や形状は、上記実施形態のものに限られず、必要に応じて変更することができる。 Arrangement and shape of the pixel 5 and the light-emitting region 6 is not limited to the above embodiment can be modified as needed.

図9は、発光領域6の形状を正六角形とした有機EL装置1Aの拡大平面図である。 Figure 9 is an enlarged plan view of the organic EL device 1A the shape of the light emitting region 6 and the regular hexagon. 有機EL装置1Aにおいても、発光領域6は千鳥状に配置されている。 Also in the organic EL device 1A, the light-emitting region 6 is disposed in a staggered manner. 一つの発光領域6に着目すると、その発光領域6は、周囲を6つの発光領域6に囲まれている。 Focusing on one of the light-emitting region 6, the light-emitting region 6 is surrounded by six emission regions 6. そして、各発光領域6の正六角形の一辺が、隣接する発光領域6の一辺と平行となるように配置されている。 The regular hexagon of one side of the light emitting regions 6 are arranged in parallel with one side of the adjacent light emitting regions 6. こうした構成により、発光領域6の配置密度を高めることができ、高開口率が実現される。 With such arrangement, the arrangement density of the light-emitting region 6 can be increased, high aperture ratio is realized. また、有機EL装置1Aにおいても、発光領域6の形状は、無機バンク12の開口部12aによって規定されている。 Also in the organic EL device 1A, the shape of the light-emitting region 6 is defined by the opening 12a of the inorganic bank 12. そして、有機バンク13は、複数の発光領域6を囲うように形成されている。 The organic bank 13 is formed so as to surround the plurality of light emitting regions 6.

図10は、別の有機EL装置1Bの拡大平面図であり、その発光領域6の形状は、縦に長いトラック形状において直線部分に横方向の膨らみをもたせた形状となっている。 Figure 10 is an enlarged plan view of another organic EL device 1B, the shape of the light-emitting region 6, in the long track shape vertically has a shape remembering bulge transverse to the linear portion. 有機EL装置1Bにおいても、発光領域6は千鳥状に配置されており、上記膨らみの部分が隣接画素列における発光領域6の中間の位置にあたるように配置されている。 Also in the organic EL device 1B, the light-emitting region 6 is disposed in a staggered manner, the bulge portion is disposed so as to hit the middle of the position of the light-emitting region 6 in the adjacent pixel columns. こうした構成により、発光領域6の配置密度を高めることができ、高開口率が実現される。 With such arrangement, the arrangement density of the light-emitting region 6 can be increased, high aperture ratio is realized. また、有機EL装置1Bにおいても、発光領域6の形状は、無機バンク12の開口部12aによって規定されている。 Also in the organic EL device 1B, the shape of the light-emitting region 6 is defined by the opening 12a of the inorganic bank 12. そして、有機バンク13は、複数の発光領域6を囲うように形成されている。 The organic bank 13 is formed so as to surround the plurality of light emitting regions 6.

図9、図10に示したような構成によっても、各発光領域6の間で、正孔輸送層14及び発光層15の厚さにばらつきが生じにくくなるとともに、各発光領域6内における正孔輸送層14及び発光層15の平坦性を高くすることができる。 9, also by a configuration as shown in FIG. 10, between the light emitting regions 6, together with the variation is less likely to occur in the thickness of the hole transport layer 14 and the light-emitting layer 15, holes in the light emitting region 6 it is possible to increase the flatness of the transport layer 14 and the light emitting layer 15. これにより、各発光領域6における発光輝度が均一になり、輝度ムラ等の不具合の少ない高品位な発光を行うことができる。 Thus, emission luminance is uniform in the light emitting regions 6, it is possible to perform defect less high-quality light-emitting, such as brightness unevenness.

なお、発光領域6の形状は、上記以外にも例えば長方形、正方形、多角形、円、楕円等とすることができる。 The shape of the light-emitting region 6 may be in addition to the above example, rectangular, square, polygonal, circular, elliptical or the like. また、画素5及び発光領域6の配置は、千鳥状に限定されるものではなく、例えばマトリクス状の配置とすることもできる。 The arrangement of the pixels 5 and the light-emitting region 6 is not limited to the staggered, it may be, for example, a matrix arrangement.

(変形例2) (Modification 2)
上記実施形態の有機EL装置1は、電子機器の表示部に搭載して利用することが可能な構成のものであるが、これに限定する趣旨ではなく、これに代えて例えば電子写真技術を利用したプリンタに組み込んで用いるラインヘッドに適用することもできる。 The organic EL device 1 of the above embodiment is of the configuration capable of utilizing mounted on the display unit of the electronic device, not intended to be limited to, use of instead of this example electrophotography It can also be applied to a line head used incorporated into the printer. 図11は、本発明をこうしたラインヘッドに適用した場合の、発光装置としての有機EL装置1Cの拡大平面図である。 11, in the case of applying the present invention to such a line head, is an enlarged plan view of the organic EL device 1C as a light emitting device. 有機EL装置1Cは、画素5を含む画素列を2列備えており、各画素5の発光領域6は円形となっている。 The organic EL device 1C is provided with two rows pixel row including the pixel 5, the light emitting region 6 of each pixel 5 has a circular shape. また、発光領域6は、千鳥状に配列されている。 Further, the light-emitting region 6 are arranged in a staggered manner. 発光領域6の形状は、無機バンク12の開口部12aによって規定され、有機バンク13は、1つの画素列の全ての発光領域6を囲うように形成されている。 The shape of the light-emitting region 6 is defined by the opening 12a of the inorganic bank 12, the organic bank 13 is formed so as to surround all the light-emitting region 6 of the one pixel column. したがって、上記実施形態と同様に、有機EL装置1Cは、各発光領域6の間で、正孔輸送層14及び発光層15の厚さにばらつきが生じにくくなるとともに、各発光領域6内における正孔輸送層14及び発光層15の平坦性を高くすることができるという特徴を有する。 Therefore, similarly to the above embodiment, the organic EL device 1C is between the light emitting regions 6, together with the variation is less likely to occur in the thickness of the hole transport layer 14 and the light-emitting layer 15, the positive in the light emitting region 6 It has a characteristic that it is possible to increase the flatness of the hole transport layer 14 and the light emitting layer 15. これにより、各発光領域6における発光輝度が均一になり、輝度ムラ等の不具合の少ない高品位な発光を行うことができる。 Thus, emission luminance is uniform in the light emitting regions 6, it is possible to perform defect less high-quality light-emitting, such as brightness unevenness. また、2つの画素列が有機バンク13によって隔てられているため、各画素列の凹部に異なる材料からなる発光層15を形成することによって、画素列ごとに発光特性(例えば主発光波長)を異ならせることができる。 Moreover, since the two pixel columns are separated by organic bank 13, by forming a light-emitting layer 15 made of different materials in the recess of each pixel column, different emission characteristics (e.g., primary emission wavelength) for each pixel column it can be.

(変形例3) (Modification 3)
上記実施形態において、機能層としての有機EL素子3は、正孔輸送層14と発光層15とからなる2層構造であるが、必要に応じて電子輸送層、正孔注入層、電子注入層等を積層させて3層以上としてもよい。 In the above embodiment, the organic EL element 3 as a functional layer, is a two-layer structure consisting of a hole transporting layer 14 light-emitting layer 15., electron transport layer, if necessary, a hole injection layer, an electron injection layer etc. may be three or more layers are stacked. この場合は、図4に示す製造方法において、ステップS5、S6を積層数の分だけ繰り返せばよい。 In this case, in the manufacturing method shown in FIG. 4, steps S5, S6 may be repeated by the amount of the stacking number. こうした構成によれば、電子輸送層、正孔注入層、電子注入層等の効果によって、より効率の良い発光を行うことができる。 According to this structure, an electron transport layer, hole injection layer, the effect of an electron injection layer, it is possible to perform more efficient light emission.

(変形例4) (Modification 4)
上記実施形態の有機EL装置1は、赤、緑、青の3色の発光を行うものであるが、これに限定する趣旨ではなく、4色又は5色以上の発光を行うような構成としてもよい。 The organic EL device 1 of the above embodiment, red, green, and performs light emission of three colors of blue, rather than the intention to limit thereto, include an arrangement for emitting light of four or more colors, or five colors good. 4色の発光を行う場合には、例えば赤、緑、青、シアンの発光を行う4種類の発光層15を有機バンク13に囲まれた領域ごとに形成する。 If emission at four colors, for example red, green, blue, to form four types of light-emitting layers 15 for emitting light cyan for each region surrounded by the organic bank 13. また、これ以外の4色の組合せとしては、赤、黄緑、青、エメラルドグリーンの4色とすることができる。 In addition, as the four-color combination of other than this, it can be red, yellow green, blue, and four colors of emerald green. この他にも、波長に応じて色相が変化する可視光領域(380〜780nm)のうち、青系の色相の発光、赤系の色相の発光と、青から黄までの色相の中で選択された2種の色相の発光からなるように選択することができる。 In addition to this, among the visible light region (380 to 780 nm) which changes its color according to the wavelength, light emission of blue hues system, the emission of reddish hue, is selected from among colors ranging from blue to yellow two can be selected to be the emission of hue. ここで「系」との語を用いているが、例えば青系であれば純粋の青の色相に限定されるものでなく、青紫や青緑等を含むものである。 Here are using the term "system" but, for example, if the blue system rather than being limited to the hue of pure blue, is intended to include a blue-purple or blue-green and the like. 赤系の色相であれば、赤に限定されるものでなく橙を含む。 If the hue of the red system, including the orange not limited to red.

本発明の発光装置としての有機EL装置の拡大平面図。 Enlarged plan view of the organic EL device as a light-emitting device of the present invention. 有機EL装置の電気的な構成を示した模式的な回路図。 Schematic circuit diagram showing an electrical configuration of the organic EL device. 図1中のA−A線における有機EL装置の断面図。 Sectional view of an organic EL device in the A-A line in FIG. 有機EL装置の製造方法を示す工程図。 Process diagram showing the method of manufacturing the organic EL device. (a)から(d)は、有機EL装置の製造方法の各工程における有機EL装置の断面図であって、図1中のB−B線の位置に対応する断面図。 From (a) (d) is a cross-sectional view of an organic EL device in each step of the manufacturing method of the organic EL device, cross-sectional view corresponding to the position of the line B-B in FIG. (a)から(c)は、有機EL装置の製造方法の各工程における有機EL装置の断面図であって、図1中のB−B線の位置に対応する断面図。 From (a) (c) is a cross-sectional view of an organic EL device in each step of the manufacturing method of the organic EL device, cross-sectional view corresponding to the position of the line B-B in FIG. (a)は、液滴吐出装置のヘッドの斜視図であり、(b)は、当該ヘッドの吐出部の断面図。 (A) is a perspective view of the head of the droplet discharge device, (b) is a sectional view of the discharge portion of the head. 電子機器としての携帯電話機の斜視図。 Perspective view of a mobile phone as an electronic apparatus. 本発明の変形例に係る有機EL装置の拡大平面図。 Enlarged plan view of the organic EL device according to a modification of the present invention. 本発明の変形例に係る有機EL装置の拡大平面図。 Enlarged plan view of the organic EL device according to a modification of the present invention. 本発明の変形例に係る有機EL装置の拡大平面図。 Enlarged plan view of the organic EL device according to a modification of the present invention.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1,1A,1B,1C…発光装置としての有機EL装置、3…機能層としての有機EL素子、5,5R,5G,5B…画素、6,6R,6G,6B…発光領域、10…基板としてのガラス基板、11…画素電極、12…第1のバンクとしての無機バンク、12a…開口部、13…第2のバンクとしての有機バンク、14…正孔輸送層、14L…機能液、15…発光層、16…陰極、17…封止部材、19…回路素子層、26,27…TFT素子、200…電子機器としての携帯電話機。 1, 1A, 1B, the organic EL device as 1C ... light-emitting device, 3 ... organic EL device as a functional layer, 5,5R, 5G, 5B ... pixel, 6,6R, 6G, 6B ... light-emitting region, 10 ... substrate glass substrate as, 11 ... pixel electrode 12 ... inorganic bank as a first bank, 12a ... opening 13 ... organic bank as a second bank, 14 ... hole transport layer, 14L ... functional liquid, 15 ... light-emitting layer, 16 ... cathode, 17 ... sealing member, 19 ... circuit element layer, 26, 27 ... TFT element, 200 ... mobile phone as an electronic apparatus.

Claims (6)

  1. 複数の画素を有する発光装置であって、 A light emitting device having a plurality of pixels,
    基板と、 And the substrate,
    前記基板上に、前記画素ごとに形成された画素電極と、 On the substrate, a pixel electrode formed for each of the pixels,
    前記基板上に、前記基板の法線方向から見て一部が前記画素電極の外縁部に重なった状態に形成され、前記画素の発光領域に対応する領域に開口部を有する第1のバンクと、 On the substrate, is formed in a state where part when viewed from the normal direction of the substrate overlaps the outer edge of the pixel electrode, a first bank having an opening in a region corresponding to the emission region of the pixel ,
    前記第1のバンク上に、複数の前記発光領域を囲うように、かつ前記第1のバンク上のうち前記開口部の近傍を除いた領域に形成された第2のバンクと、 On the first bank and a second bank formed so as to surround the plurality of the light emitting region, and excluding the vicinity of the opening of the first bank region,
    前記画素電極、前記第1のバンク、前記第2のバンクによって形作られる凹部に配置された、発光層を含む機能層と、 The pixel electrode, the first bank, which is disposed in a recess that is shaped by the second bank, a functional layer including a light emitting layer,
    前記機能層を挟んで前記画素電極の反対側に形成された陰極と、 A cathode formed on the opposite side of the pixel electrode across the functional layer,
    を備えることを特徴とする発光装置。 Emitting apparatus comprising: a.
  2. 請求項1に記載の発光装置であって、 A light emitting device according to claim 1,
    前記画素は、前記発光領域において、複数の発光色のうちいずれか1つの発光を行い、 The pixels in the emissive area, do one of the light-emitting one of a plurality of emission colors,
    前記第2のバンクによって囲まれた前記複数の発光領域における発光の色は同一であることを特徴とする発光装置。 The light emitting device characterized in that the color of light emission is the same in the plurality of light emitting areas surrounded by the second bank.
  3. 請求項1に記載の発光装置であって、 A light emitting device according to claim 1,
    等ピッチで配置された複数の前記画素からなる画素列を複数有し、 Has a plurality of pixel rows comprising a plurality of the pixels arranged at equal pitches,
    隣り合う前記画素列に含まれる前記画素は、互いに前記画素列方向について半ピッチずつずれて配置されていることを特徴とする発光装置。 The pixels included in the adjacent pixel lines, the light emitting apparatus characterized by being arranged to be shifted by a half pitch for the pixel column direction.
  4. 請求項1に記載の発光装置であって、 A light emitting device according to claim 1,
    前記第1のバンクは親水性を有することを特徴とする発光装置。 The first bank light emitting device characterized by having a hydrophilic.
  5. 請求項1に記載の発光装置であって、 A light emitting device according to claim 1,
    前記第2のバンクは撥水性を有することを特徴とする発光装置。 The second bank light emitting device characterized by having water repellency.
  6. 請求項1から5のいずれか一項に記載の発光装置を備えることを特徴とする電子機器。 An electronic apparatus comprising: a light-emitting device according to any one of claims 1 to 5.
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