JP5061013B2 - 装置構造及びその構造を備えた走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
プローブ顕微鏡の原理は、先端を充分に鋭くした探針と試料間に働く物理力を、前記探針が取り付けられているばね要素の変位として測定し、前記ばね要素の変位量が一定に保つように前記試料表面を走査し、その前記ばね要素の変位量を一定に保つための制御信号を形状情報として、前記試料表面の形状を測定するものである。
また、プローブ顕微鏡は、試料に対向する位置に配置された探針(プローブ)が試料から原子間力を受けるものならば原子間力顕微鏡と称され、磁気力ならば磁気力顕微鏡と称される様に試料から生じる様々な力を検出して試料の状態を観察できるものである。
特に、試料のサイズが大きい場合は、探針側に微動機構を設けて探針と相対する位置に試料を設置する。そして、微動機構の動作範囲を補うために試料をステージ機構等の面内移動手段を設ける構成が一般的である
試料のサイズが大きいものとしてシリコンウェーハやガラス基板等がある。これら大きい試料の測定用プローブ顕微鏡としては、幾つかの検討がなされている(例えば、特許文献1〜5)。
G. Binnig、 C.F. Quate and Ch. Gerber、 Atomic Force Microscope、 "Physical Review Letters"、 American、 Physical Society、 1986、 Vol.56、 No.9、 p.931 R. Erlandsson、 G. M. McClelland、 C. M. Mate、 and S. Chiang、 Atomic force microscopy using optical interferometry、 "Journal of Vacuum Science Technology"、 Mar/Apr 1988、 A6(2)、 pp. 266-270 S. Alexander、 L. Hellemans、 O. Marti、 J. Schneir、 V. Elings、 and P. K. Hansma、 Matt Longmire and John Gurley、 An atomic-resolution atomic-force microscope implemented using an optical lever、 "Journal of Applied Physics"、 1989、 65(1)、 pp. 164-167
2 防音カバー
3 操作パネル
4 ステージ動作を指示する操作部
5 防音カバー扉
6 制御電装
7 コンピュータ
8 ディスプレイ
9 机
10 除振台
11,41,74 プローブ顕微鏡内部ユニット定盤
12,42,78 検出手段支持構造部材
13,44 Y軸ステージ
14 θ軸ステージ
15,79 Z軸ステージ
16 中間部材
17,52,80 微動機構
18,77 試料ホルダ
19,51,75 試料
20 プレート
21 小型X軸ステージ
22 カンチレバーのストック部材
31 曲線構造
32 楕円穴
33,45 垂直面
43 X軸ステージ
53 探針
54、81 カンチレバー
55 カンチレバーホルダ
56 粗動機構変位検出系
57 変位検出系
58 レーザ発信器
59 フォトディテクタ
60 アンプ
61 Z軸制御フィードバック回路
62 面内走査XY駆動回路
63 コンピュータおよび制御系
64 カンチレバー基板
72 除振台定盤
73 弾性材
76 XYステージ
82 光学顕微鏡
Claims (5)
- 分析、検査及び計測の対象となる試料を載置する試料ホルダを有する試料ステージと、該試料と相対する位置に配置される支持構造部材に設置された検出手段とを有し、前記試料の物性や形状等の分析、検査及び計測を行う装置の装置構造において、
前記試料ステージが、少なくとも1軸方向への微動機構を有する移動手段を備え、
前記検出手段の支持構造部材が、局所的な応力集中を回避するようにカテナリー曲線に準ずる曲線に形成した門型円弧形状の部材により構成されることを特徴とする装置構造。 - 請求項1に記載の装置構造において、
前記検出手段の支持構造部材が、一体構造により形成された前記門型円弧形状である装置構造。 - 請求項1記載の装置構造において、
前記検出手段が、前記門型円弧形状の支持構造部材の部材厚方向の一部に前記試料ホルダの平面部に対して略垂直方向となる面を形成し、該垂直面に支持された装置構造。 - 請求項3に記載の装置構造において、
前記垂直面が、前記門型円弧形状の上底部に形成した穴部の部材厚方向の側面部に形成した装置構造。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の装置構造を備えた走査型プローブ顕微鏡。
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