JP5060055B2 - 窒化化合物半導体基板及び半導体デバイス - Google Patents
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Description
・A:サファイア/50〜1000μm
・B:GaN/5〜100nm
・C:SiO2/50〜500nm
・D:GaN/0.1〜20μm
・E:AlN/5〜100nm
・F:AlGaN/5〜1000nm
・G:AlGaN/0.1〜20μm
図4は、図1に示した窒化化合物半導体基板の模式図である。同図には、埋め込み成長による欠陥(転位)の伝搬の様子が記載されている。
・下部コンタクト層4:AlGaN(n型)
・下部クラッド層5:AlGaN(n型)
・活性層7:GaN井戸層/AlGaN障壁層
・キャリアブロック層8:AlGaN
・上部クラッド層10:AlGaN(p型)
・上部コンタクト層11:GaN(p型)
・透明電極15:ITO
・A:Ga2O3
・C:SiO2
・D:GaN
・E:AlN
・F:AlGaN
・G:AlGaN
図10は、第3実施形態に係る窒化化合物半導体の縦断面図である。
・H:GaN
・C:SiO2
・E:AlGaN
・F:InAlGaN
・G:InAlGaN
図11は、第4実施形態に係る窒化化合物半導体の縦断面図である。
・A:サファイア
・C:空隙
・D1:GaN
・D2:AlGaN
・E:AlN
・F:AlGaN
・G:AlGaN
・A:サファイア
・C:空隙
・D1:InGaN
・D2:GaN
・E:AlGaN
・F:InAlGaN
・G:InAlGaN
Claims (4)
- 下地となる第1GaN系半導体層と、
前記第1GaN系半導体層の表面上に部分的に形成された結晶成長制限部と、
前記第1GaN系半導体層上に成長し、厚み方向に沿った断面が三角波形状であって、前記結晶成長制限部の直上に前記三角波の谷が位置する第2GaN系半導体層と、
前記第2GaN系半導体層上に形成されたAlN、AlGaN又はInAlGaNからなり、厚さ5〜1000nmの歪み抑制層と、
前記歪み抑制層上に形成されたAlGaN又はInAlGaNからなり、格子定数が前記歪み抑制層よりも大きい埋め込み層と、
を備え、
前記第2GaN系半導体層と前記歪み抑制層との間に介在するAlN、AlGaN、InAlGaN、GaN又はInGaNからなり、厚さ5〜100nmの中間層を更に備える、
ことを特徴とする窒化化合物半導体基板。 - 前記結晶成長制限部は、絶縁体からなるマスクによって構成されていることを特徴とする請求項1に記載の窒化化合物半導体基板。
- 前記第1及び第2GaN系半導体層はGaNであり、前記結晶成長制限部はSiO 2 であり、前記中間層はAlNであり、前記歪み抑制層はAlGaNであり、前記埋め込み層はAlGaNであることを特徴とする請求項1又は2に記載の窒化化合物半導体基板。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の窒化化合物半導体基板と、
前記窒化化合物半導体基板上に形成された半導体機能素子と、
を備えることを特徴とする半導体デバイス。
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