JP5059718B2 - 半導体単結晶製造装置用の排気部材 - Google Patents
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Description
(1)本実施形態の排気部材10のクロムめっき層10bの表面粗さRaが0.2μm以下であることにより、ドーパント及びドーパントの酸化物の固着物、並びにアモルファスの層がクロムめっき層10bの表面、すなわち曝露面11に付着するのが抑制され、また曝露面11に付着したとしても容易にこれらを曝露面11から除去することができる。このような効果がもたらされる理由は例えば2つ考えられる。一つは、排気部材10の内面のミクロな凹凸が減少することにより、排気部材10の内面でのアモルファスやドーパント等の析出が抑制されるためと推測される。もう一つは、排気部材10の内面にアモルファスやドーパント等が固着層として析出した場合でも、排気部材10の内面のミクロな凹凸が減少することにより、排気部材10の内面と固着層との接触面積が小さくなり、両者の固着が弱くなるためと推測される。
SUS304製の鋼管の内面に、電解めっき法により硬質クロムめっき層を10〜15μmの厚さで形成し、実施例1の排気部材を作成した。このとき、クロムめっき層(鋼管の内面)の硬度Hvは750以上であり、表面粗さRaは0.10〜0.20であった。
SUS304製の鋼管の内面に、電解研磨により鏡面仕上げを施し、実施例2の排気部材を作成した。このとき、鋼管の内面の硬度Hvは160〜200であり、表面粗さRaは0.07〜0.09であった。
SUS304製の鋼管に対して上記クロムめっき処理や鏡面仕上げ加工等を施さず、そのまま比較例1の排気部材とした。このとき、鋼管の内面の硬度Hvは160〜200であり、表面粗さRaは0.51〜0.57であった。
SUS304製の鋼管の内面に、塩浴軟窒化処理を施し、比較例2の排気部材を作成した。このとき、鋼管の内面の硬度Hvは1000以上であり、表面粗さRaは0.30〜0.42であった。
実施例1及び2並びに比較例1及び2の排気部材を、実際に単結晶成長装置の排気管として300時間使用し、ドーパント及びドーパントの酸化物の固着物、並びにアモルファスの層(固着層)の付着の程度、及び除去の容易性を評価した。その結果は、以下の通りであった。
実施例1の排気部材の内面に固着層の付着は観察されたが、排気部材と固着層の密着は弱く、一部の固着層が排気部材から自然に剥がれ落ちた跡が観察された。そして、排気部材の内面をステンレスブラシで軽く擦ることにより、排気部材から固着層を簡単に除去することができた。このことから、実施例1の排気部材は、固着層の付着を抑制する効果、及び固着層を容易に除去することのできる効果を有することが確認された。また、実施例1の排気部材は、使用を繰り返しても、固着層の除去効果が低下しなかったことから、耐久性についても優れることが確認された。
実施例2の排気部材の内面に固着層の付着は観察されたが、実施例1と同様に、排気部材と固着層の密着は弱く、一部の固着層が排気部材から自然に剥がれ落ちた跡が観察された。そして、排気部材の内面をステンレスブラシで軽く擦ることにより、排気部材から固着層を簡単に除去することができた。このことから、実施例2の排気部材は、固着層の付着を抑制する効果、及び固着層を容易に除去することのできる効果を有することが確認された。
比較例1の排気部材の内面には固着層の付着が確認され、排気部材と固着層の密着は強固だった。このため、ステンレスブラシで擦るのみでは排気部材から固着層を除去するのが困難であり、治具等で固着層を削り取る必要があった。このため、比較例1の排気部材は、固着層の付着を抑制する効果、及び固着層を容易に除去することのできる効果を著しく不足することが確認された。
比較例1と同様の結果であり、治具等で削り取らなければ、排気部材から固着層を除去するのは困難だった。このため、比較例2の排気部材は、固着層の付着を抑制する効果、及び固着層を容易に除去することのできる効果を著しく不足することが確認された。
10a 母材
10b クロムめっき層(コーティング被膜)
11 曝露面
12 中空部
Claims (4)
- 引き上げ炉の内部でドーパントが添加された半導体の融液から、半導体単結晶を製造する半導体単結晶製造装置に用いられ、前記融液からの蒸発物及び気化したドーパントをキャリアガスとともに外部に排気するための排気部材であって、
前記排気部材のうち、排気される前記融液からの蒸発物及び気化したドーパントが通過する空間に面した曝露面の表面粗さRaが0.2μm以下であることを特徴とする半導体単結晶製造装置用の排気部材。 - 前記曝露面の硬度Hvが300以上である請求項1記載の半導体単結晶製造装置用の排気部材。
- 前記曝露面は、排気部材の母材の表面に形成されたコーティング被膜からなる請求項1又は2記載の半導体単結晶製造装置用の排気部材。
- 前記コーティング被膜がクロムめっきである請求項3記載の半導体単結晶製造装置用の排気部材。
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