JP2004224606A - 単結晶引上装置の粉塵除去装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ内の粉塵が外部に飛散するのを抑制することができる単結晶引上装置の粉塵除去装置および方法を提供する。
【解決手段】単結晶引上装置のチャンバ10周囲を覆う遮蔽手段と、この遮蔽手段によって覆われた空間S内に外気を供給する給気手段と、空間S内の空気を外部に排出する排気手段とを備える。この排気手段には、空間S内の空気を外部に排出する前段階で当該空気中に含まれる粉塵を捕集するHEPAフィルタ32が設けられている。
【選択図】 図1
【解決手段】単結晶引上装置のチャンバ10周囲を覆う遮蔽手段と、この遮蔽手段によって覆われた空間S内に外気を供給する給気手段と、空間S内の空気を外部に排出する排気手段とを備える。この排気手段には、空間S内の空気を外部に排出する前段階で当該空気中に含まれる粉塵を捕集するHEPAフィルタ32が設けられている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、単結晶引上装置の解体清掃時等に用いて好適な粉塵除去装置および方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、単結晶引上装置のチャンバ内に供給された不活性ガス(Arガスなど)を排気する排気設備として、例えば図3に示すような排気設備が知られている。
この排気設備は、チャンバ10の下端部に接続された排気管14と、この排気管14を介してチャンバ10内の不活性ガスを吸引する真空ポンプ15Aとを備えている。チャンバ10は、所定の清浄度に保たれたクリーンルーム11内に設置される一方、真空ポンプ15Aは、クリーンルーム11と隣接するポンプ室12等に設置されている。
また、チャンバ10の上部には、チャンバ10内に不活性ガスを供給する給気設備の給気管(図示省略)が接続されており、この給気設備によりチャンバ10内に不活性ガスが供給されている状態において上記真空ポンプ15Aが作動することにより、チャンバ10内に、所定経路に沿った不活性ガスの流れが形成されるようになっている。
【0003】
一方、チャンバ10内には、シリコン融液が貯留された石英ルツボが配設されており、この石英ルツボ内の融液に種結晶を浸して、種結晶および石英ルツボを逆方向に回転させながら、種結晶を徐々に引き上げることにより、その下にシリコンの単結晶が育成されるようになっている。この単結晶の育成中には、石英ルツボに含まれる酸素とシリコン融液とが結合してシリコン酸化物(SiO、SiO2 )が生成され、このシリコン酸化物が気化して上記不活性ガスの流れに沿って進行する過程で冷却されることにより、粉塵となってチャンバ10の内壁面やチャンバ10内の各部材の表面、排気管14の内壁面等に付着し、これが時間の経過とともに徐々に堆積するようになっている。
【0004】
このため、上記のような不活性ガスの排気設備には、例えば図3に示すようなクリーニング装置が設けられている(例えば特許文献1参照)。
このクリーニング装置においては、上記排気管14の途中に、管内を流れる不活性ガス中の粉塵を分離する第1サイクロン16が設けられ、この第1サイクロン16下端のダストチャンバ16aには、クリーニング用の排気ライン18の一端が接続されている。この排気ライン18の他端側には図示省略のスクラバが設けられ、このスクラバと第1サイクロン16との間には、第2サイクロン17Aと吸引ポンプ17Bとを直列に接続してなるクリーニングユニット17が設けられている。
【0005】
上記構成からなるクリーニング装置において、上記排気管14のクリーニングを行う際には、チャンバ10内を大気に開放した後に、排気ライン18の一端を第1サイクロン16下端のダストチャンバ16aに接続し、この状態で吸引ポンプ17Bを駆動する。その際に、吸引ポンプ17Bによる吸引流量を段階的に又は徐々に大きくすることにより、排気管14内等に堆積した粉塵を徐々に燃焼させ、それら粉塵が完全に燃焼した後で、吸引ポンプ17Bによる吸引流量を増大させることにより排気管14内等から粉塵を剥離させて、これを第1および第2サイクロン16、17Aにより分離・捕集する。このため、上記構成からなるクリーニング装置によれば、排気管14内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管14内に堆積した粉塵の殆ど全てを短時間で容易かつ安全に除去することができる。すなわち、吸引ポンプ17Bによる吸引力が強い場合には、粉塵が急激に燃焼して排気管14内の温度および圧力が急激に上昇する虞があったが、上記構成からなるクリーニング装置によれば、このような現象の発生を防止することができる。
【0006】
【特許文献1】
特開2000−219591号公報(第4頁〜第6頁、図4)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のクリーニング装置は、主に排気管14内の粉塵を除去することを目的として設けられた装置であるため、当該装置だけでは、チャンバ10の内壁面やチャンバ10内の各部材等に付着した粉塵を完全に取り除くことができなかった。
このため、単結晶引上装置の解体清掃時には、チャンバ10内の粉塵が外部に飛散して、クリーンルーム11内の清浄度が悪化するとともに、上記外部に飛散した粉塵が当該単結晶引上装置のチャンバ10内やクリーンルーム11内の他の単結晶引上装置のチャンバ内に侵入して、単結晶の品質を低下させたり歩留まりを悪化させたりするなど、単結晶の製造に悪影響を及ぼす虞があった。
【0008】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ内の粉塵が外部に飛散するのを抑制することができる単結晶引上装置の粉塵除去装置および方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去装置は、単結晶引上装置のチャンバ周囲を覆う遮蔽手段と、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給する給気手段と、上記空間内の空気を外部に排出する排気手段とを備えてなり、上記排気手段には、上記空間内の空気を外部に排出する前段階で当該空気中に含まれる粉塵を捕集するフィルタが設けられていることを特徴とするものである。
【0010】
この請求項1に記載の発明によれば、単結晶引上装置のチャンバ周囲が遮蔽手段により覆われて、この遮蔽手段により覆われた空間内に給気手段により外気が供給されるとともに、排気手段により上記空間内の空気が外部に排出され、当該空気が外部に排出される前段階で、当該空気中に含まれる粉塵がフィルタにより除去されることとなるので、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ内の粉塵が外部に飛散するのを抑制することができる。
したがって、単結晶引上装置が設置されたクリーンルーム内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【0011】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記排気手段は、上記空間内の空気を吸引する吸込みフードを有し、この吸込みフードが上記チャンバの近傍に配置されていることを特徴とするものである。
【0012】
この請求項2に記載の発明によれば、吸込みフードがチャンバの近傍に配置されているので、チャンバ周囲の粉塵を容易かつ速やかに除去することができる。
【0013】
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記吸込みフードは、排気用ファンの吸引側に可撓管を介して接続されていることを特徴とするものである。
【0014】
この請求項3に記載の発明によれば、吸込みフードが排気用ファンの吸引側に可撓管を介して接続されているので、吸込みフードや排気用ファンの設置位置や向きを調整するのが容易となる。
【0015】
請求項4に記載の発明は、請求項2または3に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気手段は、上記空間内に外気を送り込む給気用ファンを有し、この給気用ファンの吐出口と上記吸込みフードとが上記空間内で上記チャンバを挟むように対向配置されていることを特徴とするものである。
【0016】
この請求項4に記載の発明によれば、給気用ファンの吐出口と吸込みフードとがチャンバを挟むように対向配置されているので、チャンバ近傍の粉塵を効率良く補集することができる。
【0017】
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気用ファン、上記排気用ファンおよび上記吸込みフードは、何れも水平方向に移動自在な状態で保持されていることを特徴とするものである。
【0018】
この請求項5に記載の発明によれば、給気用ファン、排気用ファンおよび吸込みフードが何れも水平方向に移動自在な状態で保持されているので、各々を所望位置に設置するのが容易となる。また、複数の単結晶引上装置に対して、給気用ファン、排気用ファンおよび吸込みフードの各々を共用することができる。
【0019】
請求項6に記載の発明は、請求項1〜5の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記単結晶引上装置には、そのチャンバ内に供給された不活性ガスを排気するための排気設備が備えられ、この排気設備は、上記チャンバに接続された排気管と、この排気管を介して上記チャンバ内の不活性ガスを吸引する真空ポンプとからなり、上記排気管の途中には、クリーニング用の排気ラインが接続され、この排気ライン上には、上記排気管内の気体を上記排気ラインに導入するための吸引ポンプが設けられるとともに、上記排気ラインを流れる気体中の粉塵を分離するサイクロンが設けられ、上記吸引ポンプの吸引流量が調整可能に構成されていることを特徴とするものである。
【0020】
この請求項6に記載の発明によれば、排気管の途中に、クリーニング用の排気ラインが接続され、この排気ライン上に、排気管内の気体を排気ラインに導入するための吸引ポンプが設けられるとともに、排気ラインを流れる気体中の粉塵を分離するサイクロンが設けられ、かつ上記吸引ポンプの吸引流量が調整可能に構成されているので、排気管内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管内やチャンバ内に堆積した粉塵を安全かつ容易に除去することが可能となる。
【0021】
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気手段は、上記吸引ポンプの吸引流量に応じて、上記空間内に供給する外気の流量を調整可能となっていることを特徴とするものである。
【0022】
この請求項7に記載の発明によれば、吸引ポンプの吸引流量に応じて、上記空間内に供給する外気の流量を調整可能となっているので、外気が過剰に供給されて排気管やチャンバ内の圧力が急激に上昇するのを防止することができる。
【0023】
請求項8に記載の発明は、請求項1〜7の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気手段には、上記空間内に送り込む外気中の粉塵を捕集するフィルタが設けられていることを特徴とするものである。
【0024】
この請求項8に記載の発明によれば、上記空間内に送り込む外気中の粉塵をフィルタで除去するようにしたので、外部から上記空間内に粉塵や雑菌等が侵入するのを防止することができる。
【0025】
請求項9に記載の発明は、請求項1〜8の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記遮蔽手段として、無帯電性の合成樹脂シートを用いたことを特徴とするものである。
【0026】
この請求項9に記載の発明によれば、遮蔽手段として無帯電性の合成樹脂シートを用いるようにしたので、遮蔽手段に粉塵が付着するのを防止することができ、遮蔽手段を撤去する際に粉塵がクリーンルーム内に飛散するのを防止することができる。
【0027】
請求項10に記載の本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去方法は、単結晶引上装置のチャンバ周囲を遮蔽手段で覆い、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給すると同時に、上記空間内の空気を吸引して外部に排出し、当該空気を外部に排出する過程で、当該空気中に含まれる粉塵をフィルタにより除去するようにしたことを特徴とするものである。
【0028】
この請求項10に記載の発明によれば、単結晶引上装置のチャンバ周囲を遮蔽手段で覆い、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給すると同時に、上記空間内の空気を吸引して外部に排出し、当該空気を外部に排出する過程で、当該空気中に含まれる粉塵をフィルタにより除去するようにしたので、チャンバ周囲の粉塵がクリーンルーム内に飛散するのを抑制することができる。
したがって、クリーンルーム内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【0029】
請求項11に記載の発明は、請求項10に記載の単結晶引上装置の粉塵除去方法において、上記単結晶引上装置の解体清掃を上記空間内で行うようにしたことを特徴とするものである。
【0030】
この請求項11に記載の発明によれば、単結晶引上装置の解体清掃を上記空間内で行うようにしたので、単結晶引上装置の解体清掃時にチャンバ内の粉塵がクリーンルーム内に飛散するのを抑制することができる。
【0031】
請求項12に記載の発明は、請求項11に記載の単結晶引上装置の粉塵除去方法において、上記チャンバ内の不活性ガスを排気する排気管内に外気を導入して、上記排気管内および上記チャンバ内の粉塵を燃焼させた後に、上記単結晶引上装置の解体清掃を行うようにしたことを特徴とするものである。
【0032】
この請求項12に記載の発明によれば、排気管内に外気を導入して、排気管およびチャンバ内の粉塵を燃焼させた後に、単結晶引上装置の解体清掃を行うようにしたので、排気管やチャンバ内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管内やチャンバ内に堆積した粉塵を安全に除去することができる。
【0033】
【発明の実施の形態】
図1および図2は、本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去装置の一実施形態を示すもので、図中符号10が単結晶引上装置のチャンバである。このチャンバ10は、所定の清浄度に保たれたクリーンルーム11内に設置され、このチャンバ10の解体清掃時等には、その周囲が無帯電性の合成樹脂シート(遮蔽手段)20によって覆われるようになっている。この合成樹脂シート20は、支持枠によって内側から支持され、不使用時には折り畳めるように構成されている。
【0034】
この合成樹脂シート20によって覆われた空間S内には、給気用ファン21が設置され、この給気用ファン21の吸引側には、HEPA(High Efficiency Particulate Air)フィルタ22を介して外気取り込み用のホース23が接続されている。この外気取り込み用のホース23は、合成樹脂シート20と床面11aとの間に形成される隙間、或いは合成樹脂シート20に予め設けられた開口部を通って上記空間Sの外側へと延び、その先端部に外気取込口23aを有している。給気用ファン21とHEPAフィルタ22は、図2に示すように、キャスタ付きの昇降台24上にそれぞれ載置されて、水平方向および鉛直方向の各々に移動可能な状態で保持されている。また、給気用ファン21の吐出口21a近傍には、整流用の溝部または突部が形成され、これら溝部または突部によって、吐出口21aから吐出される外気が全面ほぼ均一となるように構成されている。また、給気用ファン21は、吸引ポンプ17B(後述)の吸引流量に応じて、上記空間S内に供給する外気の流量を任意に調整可能となっている。これら給気用ファン21、HEPAフィルタ22および外気取り込み用のホース23等によって、上記空間S内に外気を供給する給気手段が構成されている。
【0035】
さらに、上記空間S内のチャンバ10近傍には、チャンバ10を挟んで給気用ファン21の吐出口21aと対向する位置に、上記空間S内の空気を吸引する吸込みフード26が配置されている。この吸込みフード26は、図2に示すように、キャスタ付きの昇降台27上に載置されて、水平方向および鉛直方向にそれぞれ移動可能な状態で保持されている。吸込みフード26は、その前端の吸引側から後端の吐出側に向けて内径が漸次小径となるように形成され、その前端周縁部には、外側または内側に折曲げ可能な風向調整板26aが取り付けられている。
【0036】
吸込みフード26の後端部には、図1に示すように、上記空間Sの内外に跨る状態で設けられたジャバラホース(可撓管)28の一端が接続され、このジャバラホース28の他端には、クリーンルーム11の床面11aを貫通する状態で設けられた中継管29の一端が管継手28aにより接続されている。
【0037】
一方、クリーンルーム11の床面11a下方のピット13内には、排気用ファン31が設置されている。この排気用ファン31の吸引側には、吸込みフード26より吸い込んだ上記空間S内の空気中に含まれる粉塵を捕集するHEPAフィルタ32を介して、ジャバラホース30の一端が接続され、このジャバラホース30の他端には、上記中継管29の他端が管継手29aにより接続されている。また、排気用ファン31とHEPAフィルタ32は、台車(図示省略)上にそれぞれ載置されて、水平方向に移動可能な状態で保持されている。これら排気用ファン31、HEPAフィルタ32、ジャバラホース28、30、中継管29および吸込みフード26等によって、上記空間S内の空気を外部に排出する排気手段が構成されている。
【0038】
他方、チャンバ10の上部には、チャンバ10内に不活性ガスを供給する給気設備の給気管(図示省略)が接続される一方、チャンバ10の下端部には、チャンバ10内の不活性ガスを排出する排気設備(図3)の排気管14の一端が接続されている。
排気管14の他端には、図3に示すように、この排気管14を介してチャンバ10内の不活性ガスを吸引する真空ポンプ15Aが接続され、この真空ポンプ15Aの吸引側には、ブースタ15Bが接続されている。また、排気管14の途中には、管内を流れる不活性ガスの流量を調整するための電動式のコントロール弁19aや、管を開閉するためのエア作動式のアングル弁19bなどが設けられる他、管内を流れる不活性ガス中の粉塵を分離する第1サイクロン16が設けられ、この第1サイクロン16下端のダストチャンバ16aには、クリーニング用の排気ライン18の一端が接続されている。この排気ライン18の他端側には図示省略のスクラバが設けられ、このスクラバと第1サイクロン16との間には、第2サイクロン(サイクロン)17Aと吸引ポンプ17Bとを直列に接続してなるクリーニングユニット17が設けられている。
【0039】
次に、上記構成からなる粉塵除去装置を用いた粉塵除去方法の一実施形態について説明する。
先ず、単結晶引上装置からシリコン単結晶を取り出した後、チャンバ10を大気開放した状態で、クリーニングユニット17の吸引ポンプ17Bを作動させることにより、チャンバ10内および排気管14内に外気を導入して、チャンバ10内および排気管14内の粉塵を徐々に燃焼させる。具体的には、チャンバ10内を大気に開放した後に、排気ライン18の一端を第1サイクロン16下端のダストチャンバ16aに接続し、この状態で吸引ポンプ17Bを駆動する。その際に、吸引ポンプ17Bによる吸引流量を段階的に又は徐々に大きくすることにより、排気管14内等に堆積した粉塵を徐々に燃焼させ、それら粉塵が完全に燃焼した後で、吸引ポンプ17Bによる吸引流量を増大させることにより排気管14内等から粉塵を剥離させて、これを第1および第2サイクロン16、17Aにより分離・捕集する。
【0040】
次いで、本実施形態の粉塵除去装置を設置する。すなわち、チャンバ10周囲を合成樹脂シート20によって覆い、この合成樹脂シート20によって覆われた空間S内に、給気用ファン21、HEPAフィルタ22および吸込みフード26を昇降台24、27に載せた状態のまま搬入し、給気用ファン21に外気取り込み用のホース23を、吸込みフード26にジャバラホース28をそれぞれ接続する。そして、排気用ファン31とHEPAフィルタ32を台車に載せた状態のままピット13内の所定位置に配置し、各ジャバラホース28、30を中継管29にそれぞれ接続する。
【0041】
次いで、吸込みフード26および給気用ファン21の水平位置や高さ、向き等を調整して、両者をチャンバ10の両側から対向配置させ、この状態で給気用ファン21および排気用ファン31を作動させる。これにより、外気取り込み用のホース23からHEPAフィルタ22を介して上記空間S内に清浄な外気が供給されるとともに、上記空間S内の空気が吸込みフード26からジャバラホース28、30および中継管29等を介して外部に排出され、当該空気が外部に排出される前段階で、当該空気中に含まれる粉塵がHEPAフィルタ32により除去されることとなる。したがって、この状態では、上記空間S内の粉塵を速やかに除去することができ、チャンバ10周囲の粉塵が外部(空間Sの外側)に飛散するのを抑制することができる。
【0042】
以上の準備が完了したら、単結晶引上装置の解体清掃作業を開始する。すなわち、メインチャンバ10Aとプルチャンバ10Bとを分離させて、チャンバ10内の各部材(ルツボ、ヒータ、熱遮蔽部材等)を取り出し、これら部材やチャンバ10の内壁面に付着した粉塵を除去する。これら部材等の清掃が完了したら、消耗部品の交換等を行いつつ各部材をチャンバ10内の元の位置に戻し、メインチャンバ10Aとプルチャンバ10Bとを再び結合させる。その後、所定時間経過してから給気用ファン21および排気用ファン31をそれぞれ停止させ、本実施形態の粉塵除去装置を撤去する。
【0043】
このように、本実施形態によれば、単結晶引上装置のチャンバ10周囲を合成樹脂シート20で覆い、この合成樹脂シート20によって覆われた空間S内に外気を供給すると同時に、上記空間S内の空気を吸引して外部に排出し、当該空気を外部に排出する過程で、当該空気中に含まれる粉塵をHEPAフィルタ32により除去するようにしたので、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ10周囲の粉塵がクリーンルーム11内に飛散するのを抑制することができる。
したがって、クリーンルーム11内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【0044】
また、チャンバ10内および排気管14内に外気を導入して、チャンバ10内および排気管14内の粉塵(SiO)を燃焼させた後に、単結晶引上装置の解体清掃を行うようにしたので、排気管14やチャンバ10内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管14内やチャンバ10内に堆積した粉塵を安全に除去することができる。
【0045】
また、上記空間S内に送り込む外気中の粉塵をHEPAフィルタ22で除去するようにしたので、外部から上記空間S内に粉塵や雑菌等が侵入するのを防止することができる。
さらに、給気用ファン21と吸込みフード26とをチャンバ10の近傍で対向配置させるようにしたので、チャンバ10近傍の粉塵を効率良く補集することができる。
【0046】
そして、給気用ファン21、排気用ファン31および吸込みフード26が何れも水平方向に移動自在な状態で保持されているので、各々を所望位置に設置するのが容易となる。また、複数の単結晶引上装置に対して、給気用ファン21、排気用ファン31および吸込みフード26の各々を共用することができる。
【0047】
また、本実施形態では、遮蔽手段として無帯電性の合成樹脂シート20を用いるようにしたので、合成樹脂シート20に粉塵が付着するのを防止することができ、合成樹脂シート20を撤去する際に粉塵がクリーンルーム11内に飛散するのを防止することができる。
また、本実施形態では、排気用ファン31をピット13内に配置するようにしたので、粉塵等の発生をさほど気にすることなく排気用ファン31の移動やメンテナンス作業等を行うことができ、その結果それら作業の効率を向上させることができる。
【0048】
なお、この実施形態では、単結晶引上装置の解体清掃時に粉塵除去装置を用いるようにしたが、これ以外のとき(例えば、単結晶引上装置の運転中や、チャンバ10周囲に浮遊粒子が急発生したときなど)に当該粉塵除去装置を用いることも可能である。また、この実施形態では、チャンバ10内および排気管14内に外気を導入した後に、当該粉塵除去装置を設置するようにしたが、外気導入前に設置しておくようにしてもよい。
また、この実施形態では、給気用ファン21、排気用ファン31および吸込みフード26等をそれぞれ1台ずつ設ける構成としたが、各々を複数設ける構成とすることも可能である。
【0049】
なお、本実施形態の効果を実際に検証したところ、単結晶引上装置の解体清掃時に粉塵除去装置を用いなかった場合には、クリーンルーム11内のパーティクル数が基準値(例えば、30,000個/m3 )以下となるのに約15分を要したのに対して、本実施形態の粉塵除去装置を用いた場合には、約9分間でクリーンルーム11内のパーティクル数を基準値以下とすることができた。すなわち、この実施形態の粉塵除去装置によれば、単結晶引上装置の解体清掃時にチャンバ10内の粉塵がクリーンルーム11内に飛散するのを効果的に抑制できることが確認された。
【0050】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ内の粉塵が外部に飛散するのを抑制することができる。
したがって、単結晶引上装置が設置されたクリーンルーム内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【図2】図1の単結晶引上装置のチャンバ周囲を拡大した図である。
【図3】単結晶引上装置の排気設備およびこれに設けられたクリーニング装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
10 チャンバ
14 排気管
15A 真空ポンプ
17A 第2サイクロン(サイクロン)
17B 吸引ポンプ
18 排気ライン
20 合成樹脂シート(遮蔽手段)
21 給気用ファン(給気手段)
22 HEPAフィルタ(フィルタ;給気手段)
23 外気取り込み用のホース(給気手段)
26 吸込みフード(排気手段)
28、30 ジャバラホース(可撓管;排気手段)
29 中継管(排気手段)
31 排気用ファン(排気手段)
32 HEPAフィルタ(フィルタ;排気手段)
【発明の属する技術分野】
本発明は、単結晶引上装置の解体清掃時等に用いて好適な粉塵除去装置および方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、単結晶引上装置のチャンバ内に供給された不活性ガス(Arガスなど)を排気する排気設備として、例えば図3に示すような排気設備が知られている。
この排気設備は、チャンバ10の下端部に接続された排気管14と、この排気管14を介してチャンバ10内の不活性ガスを吸引する真空ポンプ15Aとを備えている。チャンバ10は、所定の清浄度に保たれたクリーンルーム11内に設置される一方、真空ポンプ15Aは、クリーンルーム11と隣接するポンプ室12等に設置されている。
また、チャンバ10の上部には、チャンバ10内に不活性ガスを供給する給気設備の給気管(図示省略)が接続されており、この給気設備によりチャンバ10内に不活性ガスが供給されている状態において上記真空ポンプ15Aが作動することにより、チャンバ10内に、所定経路に沿った不活性ガスの流れが形成されるようになっている。
【0003】
一方、チャンバ10内には、シリコン融液が貯留された石英ルツボが配設されており、この石英ルツボ内の融液に種結晶を浸して、種結晶および石英ルツボを逆方向に回転させながら、種結晶を徐々に引き上げることにより、その下にシリコンの単結晶が育成されるようになっている。この単結晶の育成中には、石英ルツボに含まれる酸素とシリコン融液とが結合してシリコン酸化物(SiO、SiO2 )が生成され、このシリコン酸化物が気化して上記不活性ガスの流れに沿って進行する過程で冷却されることにより、粉塵となってチャンバ10の内壁面やチャンバ10内の各部材の表面、排気管14の内壁面等に付着し、これが時間の経過とともに徐々に堆積するようになっている。
【0004】
このため、上記のような不活性ガスの排気設備には、例えば図3に示すようなクリーニング装置が設けられている(例えば特許文献1参照)。
このクリーニング装置においては、上記排気管14の途中に、管内を流れる不活性ガス中の粉塵を分離する第1サイクロン16が設けられ、この第1サイクロン16下端のダストチャンバ16aには、クリーニング用の排気ライン18の一端が接続されている。この排気ライン18の他端側には図示省略のスクラバが設けられ、このスクラバと第1サイクロン16との間には、第2サイクロン17Aと吸引ポンプ17Bとを直列に接続してなるクリーニングユニット17が設けられている。
【0005】
上記構成からなるクリーニング装置において、上記排気管14のクリーニングを行う際には、チャンバ10内を大気に開放した後に、排気ライン18の一端を第1サイクロン16下端のダストチャンバ16aに接続し、この状態で吸引ポンプ17Bを駆動する。その際に、吸引ポンプ17Bによる吸引流量を段階的に又は徐々に大きくすることにより、排気管14内等に堆積した粉塵を徐々に燃焼させ、それら粉塵が完全に燃焼した後で、吸引ポンプ17Bによる吸引流量を増大させることにより排気管14内等から粉塵を剥離させて、これを第1および第2サイクロン16、17Aにより分離・捕集する。このため、上記構成からなるクリーニング装置によれば、排気管14内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管14内に堆積した粉塵の殆ど全てを短時間で容易かつ安全に除去することができる。すなわち、吸引ポンプ17Bによる吸引力が強い場合には、粉塵が急激に燃焼して排気管14内の温度および圧力が急激に上昇する虞があったが、上記構成からなるクリーニング装置によれば、このような現象の発生を防止することができる。
【0006】
【特許文献1】
特開2000−219591号公報(第4頁〜第6頁、図4)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のクリーニング装置は、主に排気管14内の粉塵を除去することを目的として設けられた装置であるため、当該装置だけでは、チャンバ10の内壁面やチャンバ10内の各部材等に付着した粉塵を完全に取り除くことができなかった。
このため、単結晶引上装置の解体清掃時には、チャンバ10内の粉塵が外部に飛散して、クリーンルーム11内の清浄度が悪化するとともに、上記外部に飛散した粉塵が当該単結晶引上装置のチャンバ10内やクリーンルーム11内の他の単結晶引上装置のチャンバ内に侵入して、単結晶の品質を低下させたり歩留まりを悪化させたりするなど、単結晶の製造に悪影響を及ぼす虞があった。
【0008】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ内の粉塵が外部に飛散するのを抑制することができる単結晶引上装置の粉塵除去装置および方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去装置は、単結晶引上装置のチャンバ周囲を覆う遮蔽手段と、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給する給気手段と、上記空間内の空気を外部に排出する排気手段とを備えてなり、上記排気手段には、上記空間内の空気を外部に排出する前段階で当該空気中に含まれる粉塵を捕集するフィルタが設けられていることを特徴とするものである。
【0010】
この請求項1に記載の発明によれば、単結晶引上装置のチャンバ周囲が遮蔽手段により覆われて、この遮蔽手段により覆われた空間内に給気手段により外気が供給されるとともに、排気手段により上記空間内の空気が外部に排出され、当該空気が外部に排出される前段階で、当該空気中に含まれる粉塵がフィルタにより除去されることとなるので、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ内の粉塵が外部に飛散するのを抑制することができる。
したがって、単結晶引上装置が設置されたクリーンルーム内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【0011】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記排気手段は、上記空間内の空気を吸引する吸込みフードを有し、この吸込みフードが上記チャンバの近傍に配置されていることを特徴とするものである。
【0012】
この請求項2に記載の発明によれば、吸込みフードがチャンバの近傍に配置されているので、チャンバ周囲の粉塵を容易かつ速やかに除去することができる。
【0013】
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記吸込みフードは、排気用ファンの吸引側に可撓管を介して接続されていることを特徴とするものである。
【0014】
この請求項3に記載の発明によれば、吸込みフードが排気用ファンの吸引側に可撓管を介して接続されているので、吸込みフードや排気用ファンの設置位置や向きを調整するのが容易となる。
【0015】
請求項4に記載の発明は、請求項2または3に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気手段は、上記空間内に外気を送り込む給気用ファンを有し、この給気用ファンの吐出口と上記吸込みフードとが上記空間内で上記チャンバを挟むように対向配置されていることを特徴とするものである。
【0016】
この請求項4に記載の発明によれば、給気用ファンの吐出口と吸込みフードとがチャンバを挟むように対向配置されているので、チャンバ近傍の粉塵を効率良く補集することができる。
【0017】
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気用ファン、上記排気用ファンおよび上記吸込みフードは、何れも水平方向に移動自在な状態で保持されていることを特徴とするものである。
【0018】
この請求項5に記載の発明によれば、給気用ファン、排気用ファンおよび吸込みフードが何れも水平方向に移動自在な状態で保持されているので、各々を所望位置に設置するのが容易となる。また、複数の単結晶引上装置に対して、給気用ファン、排気用ファンおよび吸込みフードの各々を共用することができる。
【0019】
請求項6に記載の発明は、請求項1〜5の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記単結晶引上装置には、そのチャンバ内に供給された不活性ガスを排気するための排気設備が備えられ、この排気設備は、上記チャンバに接続された排気管と、この排気管を介して上記チャンバ内の不活性ガスを吸引する真空ポンプとからなり、上記排気管の途中には、クリーニング用の排気ラインが接続され、この排気ライン上には、上記排気管内の気体を上記排気ラインに導入するための吸引ポンプが設けられるとともに、上記排気ラインを流れる気体中の粉塵を分離するサイクロンが設けられ、上記吸引ポンプの吸引流量が調整可能に構成されていることを特徴とするものである。
【0020】
この請求項6に記載の発明によれば、排気管の途中に、クリーニング用の排気ラインが接続され、この排気ライン上に、排気管内の気体を排気ラインに導入するための吸引ポンプが設けられるとともに、排気ラインを流れる気体中の粉塵を分離するサイクロンが設けられ、かつ上記吸引ポンプの吸引流量が調整可能に構成されているので、排気管内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管内やチャンバ内に堆積した粉塵を安全かつ容易に除去することが可能となる。
【0021】
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気手段は、上記吸引ポンプの吸引流量に応じて、上記空間内に供給する外気の流量を調整可能となっていることを特徴とするものである。
【0022】
この請求項7に記載の発明によれば、吸引ポンプの吸引流量に応じて、上記空間内に供給する外気の流量を調整可能となっているので、外気が過剰に供給されて排気管やチャンバ内の圧力が急激に上昇するのを防止することができる。
【0023】
請求項8に記載の発明は、請求項1〜7の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気手段には、上記空間内に送り込む外気中の粉塵を捕集するフィルタが設けられていることを特徴とするものである。
【0024】
この請求項8に記載の発明によれば、上記空間内に送り込む外気中の粉塵をフィルタで除去するようにしたので、外部から上記空間内に粉塵や雑菌等が侵入するのを防止することができる。
【0025】
請求項9に記載の発明は、請求項1〜8の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記遮蔽手段として、無帯電性の合成樹脂シートを用いたことを特徴とするものである。
【0026】
この請求項9に記載の発明によれば、遮蔽手段として無帯電性の合成樹脂シートを用いるようにしたので、遮蔽手段に粉塵が付着するのを防止することができ、遮蔽手段を撤去する際に粉塵がクリーンルーム内に飛散するのを防止することができる。
【0027】
請求項10に記載の本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去方法は、単結晶引上装置のチャンバ周囲を遮蔽手段で覆い、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給すると同時に、上記空間内の空気を吸引して外部に排出し、当該空気を外部に排出する過程で、当該空気中に含まれる粉塵をフィルタにより除去するようにしたことを特徴とするものである。
【0028】
この請求項10に記載の発明によれば、単結晶引上装置のチャンバ周囲を遮蔽手段で覆い、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給すると同時に、上記空間内の空気を吸引して外部に排出し、当該空気を外部に排出する過程で、当該空気中に含まれる粉塵をフィルタにより除去するようにしたので、チャンバ周囲の粉塵がクリーンルーム内に飛散するのを抑制することができる。
したがって、クリーンルーム内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【0029】
請求項11に記載の発明は、請求項10に記載の単結晶引上装置の粉塵除去方法において、上記単結晶引上装置の解体清掃を上記空間内で行うようにしたことを特徴とするものである。
【0030】
この請求項11に記載の発明によれば、単結晶引上装置の解体清掃を上記空間内で行うようにしたので、単結晶引上装置の解体清掃時にチャンバ内の粉塵がクリーンルーム内に飛散するのを抑制することができる。
【0031】
請求項12に記載の発明は、請求項11に記載の単結晶引上装置の粉塵除去方法において、上記チャンバ内の不活性ガスを排気する排気管内に外気を導入して、上記排気管内および上記チャンバ内の粉塵を燃焼させた後に、上記単結晶引上装置の解体清掃を行うようにしたことを特徴とするものである。
【0032】
この請求項12に記載の発明によれば、排気管内に外気を導入して、排気管およびチャンバ内の粉塵を燃焼させた後に、単結晶引上装置の解体清掃を行うようにしたので、排気管やチャンバ内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管内やチャンバ内に堆積した粉塵を安全に除去することができる。
【0033】
【発明の実施の形態】
図1および図2は、本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去装置の一実施形態を示すもので、図中符号10が単結晶引上装置のチャンバである。このチャンバ10は、所定の清浄度に保たれたクリーンルーム11内に設置され、このチャンバ10の解体清掃時等には、その周囲が無帯電性の合成樹脂シート(遮蔽手段)20によって覆われるようになっている。この合成樹脂シート20は、支持枠によって内側から支持され、不使用時には折り畳めるように構成されている。
【0034】
この合成樹脂シート20によって覆われた空間S内には、給気用ファン21が設置され、この給気用ファン21の吸引側には、HEPA(High Efficiency Particulate Air)フィルタ22を介して外気取り込み用のホース23が接続されている。この外気取り込み用のホース23は、合成樹脂シート20と床面11aとの間に形成される隙間、或いは合成樹脂シート20に予め設けられた開口部を通って上記空間Sの外側へと延び、その先端部に外気取込口23aを有している。給気用ファン21とHEPAフィルタ22は、図2に示すように、キャスタ付きの昇降台24上にそれぞれ載置されて、水平方向および鉛直方向の各々に移動可能な状態で保持されている。また、給気用ファン21の吐出口21a近傍には、整流用の溝部または突部が形成され、これら溝部または突部によって、吐出口21aから吐出される外気が全面ほぼ均一となるように構成されている。また、給気用ファン21は、吸引ポンプ17B(後述)の吸引流量に応じて、上記空間S内に供給する外気の流量を任意に調整可能となっている。これら給気用ファン21、HEPAフィルタ22および外気取り込み用のホース23等によって、上記空間S内に外気を供給する給気手段が構成されている。
【0035】
さらに、上記空間S内のチャンバ10近傍には、チャンバ10を挟んで給気用ファン21の吐出口21aと対向する位置に、上記空間S内の空気を吸引する吸込みフード26が配置されている。この吸込みフード26は、図2に示すように、キャスタ付きの昇降台27上に載置されて、水平方向および鉛直方向にそれぞれ移動可能な状態で保持されている。吸込みフード26は、その前端の吸引側から後端の吐出側に向けて内径が漸次小径となるように形成され、その前端周縁部には、外側または内側に折曲げ可能な風向調整板26aが取り付けられている。
【0036】
吸込みフード26の後端部には、図1に示すように、上記空間Sの内外に跨る状態で設けられたジャバラホース(可撓管)28の一端が接続され、このジャバラホース28の他端には、クリーンルーム11の床面11aを貫通する状態で設けられた中継管29の一端が管継手28aにより接続されている。
【0037】
一方、クリーンルーム11の床面11a下方のピット13内には、排気用ファン31が設置されている。この排気用ファン31の吸引側には、吸込みフード26より吸い込んだ上記空間S内の空気中に含まれる粉塵を捕集するHEPAフィルタ32を介して、ジャバラホース30の一端が接続され、このジャバラホース30の他端には、上記中継管29の他端が管継手29aにより接続されている。また、排気用ファン31とHEPAフィルタ32は、台車(図示省略)上にそれぞれ載置されて、水平方向に移動可能な状態で保持されている。これら排気用ファン31、HEPAフィルタ32、ジャバラホース28、30、中継管29および吸込みフード26等によって、上記空間S内の空気を外部に排出する排気手段が構成されている。
【0038】
他方、チャンバ10の上部には、チャンバ10内に不活性ガスを供給する給気設備の給気管(図示省略)が接続される一方、チャンバ10の下端部には、チャンバ10内の不活性ガスを排出する排気設備(図3)の排気管14の一端が接続されている。
排気管14の他端には、図3に示すように、この排気管14を介してチャンバ10内の不活性ガスを吸引する真空ポンプ15Aが接続され、この真空ポンプ15Aの吸引側には、ブースタ15Bが接続されている。また、排気管14の途中には、管内を流れる不活性ガスの流量を調整するための電動式のコントロール弁19aや、管を開閉するためのエア作動式のアングル弁19bなどが設けられる他、管内を流れる不活性ガス中の粉塵を分離する第1サイクロン16が設けられ、この第1サイクロン16下端のダストチャンバ16aには、クリーニング用の排気ライン18の一端が接続されている。この排気ライン18の他端側には図示省略のスクラバが設けられ、このスクラバと第1サイクロン16との間には、第2サイクロン(サイクロン)17Aと吸引ポンプ17Bとを直列に接続してなるクリーニングユニット17が設けられている。
【0039】
次に、上記構成からなる粉塵除去装置を用いた粉塵除去方法の一実施形態について説明する。
先ず、単結晶引上装置からシリコン単結晶を取り出した後、チャンバ10を大気開放した状態で、クリーニングユニット17の吸引ポンプ17Bを作動させることにより、チャンバ10内および排気管14内に外気を導入して、チャンバ10内および排気管14内の粉塵を徐々に燃焼させる。具体的には、チャンバ10内を大気に開放した後に、排気ライン18の一端を第1サイクロン16下端のダストチャンバ16aに接続し、この状態で吸引ポンプ17Bを駆動する。その際に、吸引ポンプ17Bによる吸引流量を段階的に又は徐々に大きくすることにより、排気管14内等に堆積した粉塵を徐々に燃焼させ、それら粉塵が完全に燃焼した後で、吸引ポンプ17Bによる吸引流量を増大させることにより排気管14内等から粉塵を剥離させて、これを第1および第2サイクロン16、17Aにより分離・捕集する。
【0040】
次いで、本実施形態の粉塵除去装置を設置する。すなわち、チャンバ10周囲を合成樹脂シート20によって覆い、この合成樹脂シート20によって覆われた空間S内に、給気用ファン21、HEPAフィルタ22および吸込みフード26を昇降台24、27に載せた状態のまま搬入し、給気用ファン21に外気取り込み用のホース23を、吸込みフード26にジャバラホース28をそれぞれ接続する。そして、排気用ファン31とHEPAフィルタ32を台車に載せた状態のままピット13内の所定位置に配置し、各ジャバラホース28、30を中継管29にそれぞれ接続する。
【0041】
次いで、吸込みフード26および給気用ファン21の水平位置や高さ、向き等を調整して、両者をチャンバ10の両側から対向配置させ、この状態で給気用ファン21および排気用ファン31を作動させる。これにより、外気取り込み用のホース23からHEPAフィルタ22を介して上記空間S内に清浄な外気が供給されるとともに、上記空間S内の空気が吸込みフード26からジャバラホース28、30および中継管29等を介して外部に排出され、当該空気が外部に排出される前段階で、当該空気中に含まれる粉塵がHEPAフィルタ32により除去されることとなる。したがって、この状態では、上記空間S内の粉塵を速やかに除去することができ、チャンバ10周囲の粉塵が外部(空間Sの外側)に飛散するのを抑制することができる。
【0042】
以上の準備が完了したら、単結晶引上装置の解体清掃作業を開始する。すなわち、メインチャンバ10Aとプルチャンバ10Bとを分離させて、チャンバ10内の各部材(ルツボ、ヒータ、熱遮蔽部材等)を取り出し、これら部材やチャンバ10の内壁面に付着した粉塵を除去する。これら部材等の清掃が完了したら、消耗部品の交換等を行いつつ各部材をチャンバ10内の元の位置に戻し、メインチャンバ10Aとプルチャンバ10Bとを再び結合させる。その後、所定時間経過してから給気用ファン21および排気用ファン31をそれぞれ停止させ、本実施形態の粉塵除去装置を撤去する。
【0043】
このように、本実施形態によれば、単結晶引上装置のチャンバ10周囲を合成樹脂シート20で覆い、この合成樹脂シート20によって覆われた空間S内に外気を供給すると同時に、上記空間S内の空気を吸引して外部に排出し、当該空気を外部に排出する過程で、当該空気中に含まれる粉塵をHEPAフィルタ32により除去するようにしたので、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ10周囲の粉塵がクリーンルーム11内に飛散するのを抑制することができる。
したがって、クリーンルーム11内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【0044】
また、チャンバ10内および排気管14内に外気を導入して、チャンバ10内および排気管14内の粉塵(SiO)を燃焼させた後に、単結晶引上装置の解体清掃を行うようにしたので、排気管14やチャンバ10内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管14内やチャンバ10内に堆積した粉塵を安全に除去することができる。
【0045】
また、上記空間S内に送り込む外気中の粉塵をHEPAフィルタ22で除去するようにしたので、外部から上記空間S内に粉塵や雑菌等が侵入するのを防止することができる。
さらに、給気用ファン21と吸込みフード26とをチャンバ10の近傍で対向配置させるようにしたので、チャンバ10近傍の粉塵を効率良く補集することができる。
【0046】
そして、給気用ファン21、排気用ファン31および吸込みフード26が何れも水平方向に移動自在な状態で保持されているので、各々を所望位置に設置するのが容易となる。また、複数の単結晶引上装置に対して、給気用ファン21、排気用ファン31および吸込みフード26の各々を共用することができる。
【0047】
また、本実施形態では、遮蔽手段として無帯電性の合成樹脂シート20を用いるようにしたので、合成樹脂シート20に粉塵が付着するのを防止することができ、合成樹脂シート20を撤去する際に粉塵がクリーンルーム11内に飛散するのを防止することができる。
また、本実施形態では、排気用ファン31をピット13内に配置するようにしたので、粉塵等の発生をさほど気にすることなく排気用ファン31の移動やメンテナンス作業等を行うことができ、その結果それら作業の効率を向上させることができる。
【0048】
なお、この実施形態では、単結晶引上装置の解体清掃時に粉塵除去装置を用いるようにしたが、これ以外のとき(例えば、単結晶引上装置の運転中や、チャンバ10周囲に浮遊粒子が急発生したときなど)に当該粉塵除去装置を用いることも可能である。また、この実施形態では、チャンバ10内および排気管14内に外気を導入した後に、当該粉塵除去装置を設置するようにしたが、外気導入前に設置しておくようにしてもよい。
また、この実施形態では、給気用ファン21、排気用ファン31および吸込みフード26等をそれぞれ1台ずつ設ける構成としたが、各々を複数設ける構成とすることも可能である。
【0049】
なお、本実施形態の効果を実際に検証したところ、単結晶引上装置の解体清掃時に粉塵除去装置を用いなかった場合には、クリーンルーム11内のパーティクル数が基準値(例えば、30,000個/m3 )以下となるのに約15分を要したのに対して、本実施形態の粉塵除去装置を用いた場合には、約9分間でクリーンルーム11内のパーティクル数を基準値以下とすることができた。すなわち、この実施形態の粉塵除去装置によれば、単結晶引上装置の解体清掃時にチャンバ10内の粉塵がクリーンルーム11内に飛散するのを効果的に抑制できることが確認された。
【0050】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ内の粉塵が外部に飛散するのを抑制することができる。
したがって、単結晶引上装置が設置されたクリーンルーム内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【図2】図1の単結晶引上装置のチャンバ周囲を拡大した図である。
【図3】単結晶引上装置の排気設備およびこれに設けられたクリーニング装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
10 チャンバ
14 排気管
15A 真空ポンプ
17A 第2サイクロン(サイクロン)
17B 吸引ポンプ
18 排気ライン
20 合成樹脂シート(遮蔽手段)
21 給気用ファン(給気手段)
22 HEPAフィルタ(フィルタ;給気手段)
23 外気取り込み用のホース(給気手段)
26 吸込みフード(排気手段)
28、30 ジャバラホース(可撓管;排気手段)
29 中継管(排気手段)
31 排気用ファン(排気手段)
32 HEPAフィルタ(フィルタ;排気手段)
Claims (12)
- 単結晶引上装置のチャンバ周囲を覆う遮蔽手段と、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給する給気手段と、上記空間内の空気を外部に排出する排気手段とを備えてなり、
上記排気手段には、上記空間内の空気を外部に排出する前段階で当該空気中に含まれる粉塵を捕集するフィルタが設けられていることを特徴とする単結晶引上装置の粉塵除去装置。 - 上記排気手段は、上記空間内の空気を吸引する吸込みフードを有し、この吸込みフードが上記チャンバの近傍に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
- 上記吸込みフードは、排気用ファンの吸引側に可撓管を介して接続されていることを特徴とする請求項2に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
- 上記給気手段は、上記空間内に外気を送り込む給気用ファンを有し、この給気用ファンの吐出口と上記吸込みフードとが上記空間内で上記チャンバを挟むように対向配置されていることを特徴とする請求項2または3に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
- 上記給気用ファン、上記排気用ファンおよび上記吸込みフードは、何れも水平方向に移動自在な状態で保持されていることを特徴とする請求項4に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
- 上記単結晶引上装置には、そのチャンバ内に供給された不活性ガスを排気するための排気設備が備えられ、
この排気設備は、上記チャンバに接続された排気管と、この排気管を介して上記チャンバ内の不活性ガスを吸引する真空ポンプとからなり、
上記排気管の途中には、クリーニング用の排気ラインが接続され、この排気ライン上には、上記排気管内の気体を上記排気ラインに導入するための吸引ポンプが設けられるとともに、上記排気ラインを流れる気体中の粉塵を分離するサイクロンが設けられ、上記吸引ポンプの吸引流量が調整可能に構成されていることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。 - 上記給気手段は、上記吸引ポンプの吸引流量に応じて、上記空間内に供給する外気の流量を調整可能となっていることを特徴とする請求項6に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
- 上記給気手段には、上記空間内に送り込む外気中の粉塵を捕集するフィルタが設けられていることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
- 上記遮蔽手段として、無帯電性の合成樹脂シートを用いたことを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
- 単結晶引上装置のチャンバ周囲を遮蔽手段で覆い、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給すると同時に、上記空間内の空気を吸引して外部に排出し、当該空気を外部に排出する過程で、当該空気中に含まれる粉塵をフィルタにより除去するようにしたことを特徴とする単結晶引上装置の粉塵除去方法。
- 上記単結晶引上装置の解体清掃を上記空間内で行うようにしたことを特徴とする請求項10に記載の単結晶引上装置の粉塵除去方法。
- 上記チャンバ内の不活性ガスを排気する排気管内に外気を導入して、上記排気管内および上記チャンバ内の粉塵を燃焼させた後に、上記単結晶引上装置の解体清掃を行うようにしたことを特徴とする請求項11に記載の単結晶引上装置の粉塵除去方法。
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JP2003011973A JP2004224606A (ja) | 2003-01-21 | 2003-01-21 | 単結晶引上装置の粉塵除去装置および方法 |
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JP2003011973A JP2004224606A (ja) | 2003-01-21 | 2003-01-21 | 単結晶引上装置の粉塵除去装置および方法 |
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-
2003
- 2003-01-21 JP JP2003011973A patent/JP2004224606A/ja not_active Withdrawn
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