JP2008266058A - 引上げ室 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも、上部にクリーンエアーの吹き出し口24を配置し、下部に吸い込み口25を配置し、内部に単結晶引上げ装置22を設置したクリーンルーム21と、該クリーンルームのエアーを調整し循環させるための空調システム36とを備えた引上げ室において、前記引上げ装置の回転巻上げ機構23を前記クリーンルームの外部に配置したことを特徴とする引上げ室。
【選択図】図1
Description
このように単結晶引上げ装置を複数台設置することで、クリーンルームを効率よく運転することができる。これによって、クリーンルームのランニングコストをより低減することができる。特に、近年大型化した単結晶引上げ装置を複数台設置する場合に、クリーンルームが著しく大型化するので、本発明はこれを縮小するのに有効である。
このように配設することで、比較的エアー量が少なくてもクリーンルーム内の全体を清浄に保つことができる。従って、空調システムのランニングコストを更に低減することができる。
このように配設することで、各単結晶引上げ装置まわりを確実に清浄化でき、またクリーンルームを循環させる清浄空気量をさらに低減することができるので、空調システムのランニングコストをより一層低減することができる。
前述のように、単結晶引上げ装置の大型化にかかわらず、少ない循環空気量で室内を高い清浄状態で保つことが可能で、クリーンルームのイニシャルコストおよびランニングコストの低減を図ることができる引上げ室の開発が待たれていた。
図1は、本発明における引上げ室の一例を示す概略図である。
このように、清浄空気中に配置する必要性がない回転巻上げ機構23は、クリーンルームの容積を縮小させるためにクリーンルーム21の外部に配置することとする。
さらに回転巻上げ機構は、従来まではクリーンルーム内に配置されていたため、発塵防止構造となっていたが、クリーンルーム外部に配置することによって、発塵防止構造が不要になるため、該機構にかかるコストを低減させることができる。その上、回転巻上げ機構からの発塵が完全にクリーンルーム内の清浄度に影響しないようにできるため、一層のクリーンルームの清浄度の向上に資する。
クリーンルーム21の下部に配置された吸い込み口25から吸い込まれた室内空気は、空調機33によって所定の温度・湿度に調整される。その後フィルター34を通過するときに清浄化される。そして、空調ダクト32を通り、吹き出し口24からクリーンルーム21に清浄空気として吹き出される。
Claims (4)
- 少なくとも、上部にクリーンエアーの吹き出し口を配置し、下部に吸い込み口を配置し、内部に単結晶引上げ装置を設置したクリーンルームと、該クリーンルームのエアーを調整し循環させるための空調システムとを備えた引上げ室において、前記引上げ装置の回転巻上げ機構を前記クリーンルームの外部に配置したことを特徴とする引上げ室。
- 前記引上げ室において、前記引上げ装置を複数台設置したことを特徴とする請求項1に記載の引上げ室。
- 前記クリーンルームにおいて、上部の天井にクリーンエアーの吹き出し口を、かつ下部の床に吸い込み口を配設したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の引上げ室。
- 前記天井に配置された吹き出し口と、前記床に配置された吸い込み口は、一つの単結晶引上げ装置を囲うように配設されていることを特徴とする請求項3に記載の引上げ室。
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2007
- 2007-04-18 JP JP2007109366A patent/JP2008266058A/ja active Pending
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