JP5057834B2 - ランタノイドアルミネート膜の製造方法 - Google Patents
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Description
装置真空度:1×10−8Pa
基板半径r:150mm
基板の表面と、第1および第2のターゲットの表面とのなす角度:90度
基板の重心をとおり基板の表面に垂直な線と、第1のターゲットの重心をとおり第1のターゲットの表面に垂直な線との間の最短距離s1:100mm
基板の重心をとおり基板の表面に垂直な線と、第2のターゲットの重心をとおり第2のターゲットの表面に垂直な線との間の最短距離をs2:100mm
第1のターゲットの半径R1:32mm
第2のターゲットの半径R2:27.5mm
スパッタリングガス:アルゴンガス、酸素ガス
スパッタリングガス全圧:1.0Pa
酸素分圧:1.0×10−3Pa
基板温度:600℃
ターゲットRF電力:第1のターゲット=50W、第2のターゲット=33W
成膜膜厚:22nm
成膜レート:0.025nm/秒
成膜時間:880秒
自転速度:0.3回/秒
公転速度:0回/秒
12 基板
14 回転機構
16 ヒータ
18 第1のターゲット
20 第1のスパッタカソード
22 第2のターゲット
24 第2のスパッタカソード
26 ガス導入管
28 排気ポンプ
Claims (15)
- 真空チャンバ内に、LnAlO3の第1のターゲットと、Al2O3の第2のターゲットを保持し、
前記真空チャンバ内に基板を搬送し、
前記真空チャンバ内に、スパッタリングガスを導入し、
前記第1のターゲットと、前記第2のターゲットをスパッタリングし、
前記基板上にランタノイドアルミネート膜を成膜することを特徴とするランタノイドアルミネート膜の製造方法。 - 前記ランタノイドアルミネート膜のAl/Ln(モル比)が0.98以上1.19以下であることを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。
- 前記ランタノイドアルミネート膜のAl/Ln(モル比)が0.98以上1.02以下であることを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。
- 前記基板の表面と前記第1のターゲットの表面とのなす角度が70度以上110度以下、
前記基板の表面と前記第2のターゲットの表面とのなす角度が70度以上110度以下であることを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。 - 前記スパッタリング中の前記基板の温度が500℃以上650℃以下であることを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。
- 前記スパッタリングガス中の酸素分圧が1.6×10−6Pa以上3.0×10−3Pa以下であることを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。
- 前記ランタノイドアルミネート膜の成膜レートが0.0003nm/秒以上0.04nm/秒以下であることを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。
- 前記ランタノイドアルミネートがランタンアルミネートであり、前記LnAlO3がLaAlO3であることを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。
- 前記基板の半径をr(mm)、
前記基板の重心をとおり前記基板の表面に垂直な線と、前記第1のターゲットの重心をとおり前記第1のターゲットの表面に垂直な線との間の最短距離をs1(mm)、
前記基板の重心をとおり前記基板の表面に垂直な線と、前記第2のターゲットの重心をとおり前記第2のターゲットの表面に垂直な線との間の最短距離をs2(mm)とした場合に、
r/2≦s1≦r+30、かつ、r/2≦s2≦r+30の関係を充足することを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。 - 前記スパッタリングガスの全圧が、0.1Pa以上2.0Pa以下であることを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。
- 前記スパッタリングガス導入前の、前記真空チャンバの真空度が2×10−8Pa以下であることを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。
- 前記スパッタリング中に、前記基板を回転させることを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。
- 前記回転において、自転速度をvs(回/秒)、公転速度をvo(回/秒)、前記ランタノイドアルミネート膜の成膜時間をt(秒)とした場合に、
1/t≦vs≦1082、または、1/t≦vo≦1082の関係を充足することを特徴とする請求項12記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。 - 前記スパッタリングガス中に、活性酸素生成装置からO3またはO(1D)を供給することを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。
- 前記スパッタリングガスが、アルゴンガスを主成分とすることを特徴とする請求項1記載のランタノイドアルミネート膜の製造方法。
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