JP5045048B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る、半導体装置の製造方法を説明するための工程別断面図であり、(a)はトレンチゲート形成工程、(b)はイオン注入工程、(c)は熱処理工程、(d)はソース領域形成工程を示している。なお、本実施形態においては、縦型MOSトランジスタとしてPチャネルMOSトランジスタを形成する例を示す。
次に、本発明の第2実施形態を、図2に基づいて説明する。図2は本実施形態に係る半導体装置100の製造方法のうち、非晶質領域形成工程を説明する図であり、(a)は溝部形成工程、(b)は埋設工程を示している。
次に、本発明の第3実施形態を、図3に基づいて説明する。図3は本実施形態に係る半導体装置100の製造方法を説明するための工程別断面図であり、(a)はトレンチゲート形成工程、(b)は不純物導入工程、(c)は熱処理工程、(d)はソース領域形成後を示している。
次に、本発明の第4実施形態を、図4に基づいて説明する。図4は本実施形態に係る半導体装置100の製造方法のうち、要部を示す工程別断面図であり、(a)はコンタクト用イオン注入工程、(b)はソース用イオン注入工程、(c)は熱処理工程を示している。
12・・・絶縁層
13・・・半導体層
14・・・(p型)拡散領域(ドレイン)
15・・・トレンチ分離領域
17・・・トレンチ
18・・・絶縁膜
19・・・ゲート電極
20・・・(イオン注入による)非晶質領域
21・・・Nウェル
22・・・(p+型)拡散領域(ソース)
24・・・溝部
25・・・(CVD法による)非晶質領域
50・・・PチャネルMOSトランジスタ
100・・・半導体装置
Claims (11)
- トレンチゲート構造の縦型MOSトランジスタを含む半導体装置の製造方法であって、
半導体基板のデバイス形成領域であって、前記トレンチゲートを構成するトレンチ形成領域の周辺に、導電型領域を形成すべく、前記導電型に対応する不純物が導入された状態で完全に非晶質化された非晶質領域を形成する非晶質領域形成工程と、
前記非晶質領域を熱処理して、結晶化された前記導電型領域とする熱処理工程と、を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記非晶質領域形成工程として、前記半導体基板のトレンチ形成領域の周辺に、少なくとも前記不純物を、注入領域が完全に非晶質状態となる臨界注入量以上にイオン注入して、完全に非晶質化された注入領域を形成するイオン注入工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記イオン注入工程において、前記不純物とともに、前記半導体基板を構成する元素をイオン注入することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記イオン注入工程において、前記不純物とともに0族元素をイオン注入することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記イオン注入工程において、前記不純物とともに前記半導体基板を構成する元素と同族の元素をイオン注入することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記非晶質領域形成工程として、前記半導体基板のトレンチ形成領域の周辺に、前記非晶質領域に対応して溝部を形成する溝部形成工程と、前記溝部内に前記半導体基板を構成する元素に前記不純物が混入された非晶質層を選択的に堆積させて埋める埋設工程と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記導電型領域として、第1の導電型のドレイン領域、前記ドレイン領域内に配置され、チャネルが構成される第1の導電型とは別の第2導電型のウェル領域、及び前記ウェル領域内に配置された前記第1の導電型のソース領域、の少なくとも1つを形成することを特徴とする請求項1〜6いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記導電型領域として、電極とのコンタクト領域を形成することを特徴とする請求項1〜7いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板は、SOI構造半導体基板を構成する一方のシリコン層であることを特徴とする請求項1〜8いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板に、素子分離領域としてのトレンチ分離領域を形成する工程を備えることを特徴とする請求項1〜9いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板はシリコンからなり、
前記導電型領域として、ボロンが導入されたP導電型領域内に、N導電型領域を形成することを特徴とする請求項1〜10いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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