JP5022352B2 - アクチュエータ用気体加圧カプセル封入体 - Google Patents
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- 239000002775 capsule Substances 0.000 title 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 34
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 claims description 18
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 18
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 12
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 11
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000013543 active substance Substances 0.000 claims description 10
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 150000004681 metal hydrides Chemical class 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052987 metal hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
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Description
気体をカプセル封入体の中へ導入することができるように、カプセル封入体には、気密シール可能な気体接続部が備られているのが望ましい。
化学的に活性な物質をカプセル封入体の内側に入れておいて、使用時に、この物質が化学的に水と結合して化合物を形成する様になっているのが望ましい。水蒸気を化学的に除去するために、カルシウム及び酸化カルシウムの様な金属又は金属酸化物を使用することもできる。
圧電アクチュエータ1は、細長い円筒形カプセル封入体5の中に配置され、加圧された気体6に取り巻かれている、圧電素子3を備えている。この好適な実施形態では、圧電アクチュエータ1は、単一ブロックの同時焼成セラミック及び電極層で形成されている一体構造のアクチュエータである。2つの電気的接続部7が、カプセル封入体5の上面9を貫通している。更に、気密シール可能な気体接続部11が上面9に設けられている。カプセル封入体5の中では、化学的に活性な物質15が、底面13上に設置されている。
カプセル封入体5は、ステンレス鋼で作られ、且つ波形部17が設けられており、全長をその長手方向軸に沿って膨張又は収縮できるようになっている。
気体接続部11は、気体がカプセル封入体5の中へ導入された後でカシメて閉じられ、次に、カシメた端部が溶接されたステンレス鋼管で形成されている。
カプセル封入体5は、加圧された酸素が充填されている。しかしながら、加圧酸素を充填する前に、カプセル封入体5は、可能な限り多くの量の水を除去するために、真空引きされ、及び/又は加熱される。カプセル封入体5は、加圧酸素が充填された後、気体接続部11が密閉される前又は後の何れかに、アクチュエータ1上の表面のあらゆる表面汚染物を酸化させるため、更に加熱される。
3 圧電素子
4 シール
5 カプセル封入体
6 加圧された気体
7 電気的接続部
9 上面
11 気体接続部
13 底面
15 化学的に活性な物質
17 波形部
Claims (13)
- 圧電アクチュエータ(1)において、カプセル封入体(5)の中にカプセル封入されている圧電素子(3)を備えており、前記カプセル封入体(5)の中では、少なくとも部分的には前記圧電素子(3)を取り巻いている気体(6)が存在しており、前記気体は、前記圧電素子(3)に接触しており、大気圧よりも高い圧力を有している、圧電アクチュエータ(1)。
- 前記カプセル封入体(5)の透過性は、低い、請求項1に記載の圧電アクチュエータ(1)。
- 前記カプセル封入体(5)は、可撓性を有している、請求項1又は請求項2に記載の圧電アクチュエータ(1)。
- 前記カプセル封入体(5)には、気密シール可能な気体接続部(11)が設けられている、請求項1、2、又は3の何れかに記載の、圧電アクチュエータ(1)。
- 前記気体接続部(11)には、永久的な気密シールが設けられている、請求項4に記載の圧電アクチュエータ(1)。
- 前記接続部(11)には、一時的な気密シールが設けられている、請求項4に記載の圧電アクチュエータ(1)。
- 化学的に活性な物質(15)が、前記カプセル封入体(5)の内側に設けられており、使用時には、前記物質(15)は、水と化学的に結合して化合物を形成する、上記請求項1から6の何れかに記載の圧電アクチュエータ(1)。
- 化学的に活性な物質(15)が、前記カプセル封入体(5)の内側に設けられており、使用時には、前記物質(15)は、化学的に水素と結合して化合物を形成する、上記請求項1から7の何れかに記載の圧電アクチュエータ(1)。
- 2つ又はそれ以上の異なる化学的に活性な物質(15)が、前記カプセル封入体(5)内の異なる場所に配置されていている、上記請求項1から8の何れかに記載の圧電アクチュエータ(1)。
- 前記気体は、酸素を含む気体の混合物である、上記請求項1から9の何れかに記載の圧電アクチュエータ(1)。
- 前記気体の混合物内の酸素の比率は、大気内の酸素の比率よりも高い、上記請求項1から10の何れかに記載の圧電アクチュエータ(1)。
- 前記気体(6)は、酸素である、請求項1から9の何れかに記載の圧電アクチュエータ(1)。
- 前記カプセル封入体(5)は、可撓性を有しており、
前記カプセル封入体(5)は、その全体に波形部(17)が設けられており、全長をその長手方向軸に沿って膨張又は収縮できるようになっている、請求項1から12に記載の圧電アクチュエータ(1)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP08100285.9 | 2008-01-09 | ||
EP08100285A EP2079113B1 (en) | 2008-01-09 | 2008-01-09 | Gas pressurised encapsulation for an actuator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009189233A JP2009189233A (ja) | 2009-08-20 |
JP5022352B2 true JP5022352B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=39363872
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008312856A Expired - Fee Related JP5022352B2 (ja) | 2008-01-09 | 2008-12-09 | アクチュエータ用気体加圧カプセル封入体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8193686B2 (ja) |
EP (1) | EP2079113B1 (ja) |
JP (1) | JP5022352B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5550378B2 (ja) * | 2010-02-18 | 2014-07-16 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータ |
US9130149B2 (en) * | 2010-08-26 | 2015-09-08 | Kyocera Corporation | Piezoelectric actuator for suppressing disconnection |
EP2426749B1 (en) | 2010-09-01 | 2015-04-22 | Delphi International Operations Luxembourg S.à r.l. | Actuator arrangement for use in a fuel injector |
KR101980806B1 (ko) * | 2012-01-11 | 2019-05-21 | 세람테크 게엠베하 | 하우징에 배치된 다중층 액추에이터 및 액추에이터 표면에서 계속해서 매우 낮은 누설 전류를 갖는 액추에이터 모듈 |
US9842981B1 (en) | 2016-11-28 | 2017-12-12 | Guzik Technical Enterprises | Hermetically sealed piezoelectric actuator assembly |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
MX143980A (es) * | 1974-10-03 | 1981-08-17 | Physics Int Co | Mejoras a aparato que emplea una pluralidad de discos piezoelectricos |
JPH0242457A (ja) | 1988-08-02 | 1990-02-13 | Minolta Camera Co Ltd | データ写し込み機能付複写機 |
DE3833109A1 (de) * | 1988-09-29 | 1990-04-05 | Siemens Ag | Piezoelektrisches stellglied |
US5113108A (en) * | 1988-11-04 | 1992-05-12 | Nec Corporation | Hermetically sealed electrostrictive actuator |
JPH04349675A (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-04 | Hitachi Metals Ltd | 圧電アクチュエータ |
DE10211107A1 (de) * | 2001-07-12 | 2003-02-13 | Ceramtec Ag | Monolithischer Vielschichtaktor in einem Gehäuse |
JP2003097418A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-04-03 | Denso Corp | 圧電体素子の変位伝達構造 |
JP3900918B2 (ja) * | 2001-12-10 | 2007-04-04 | 株式会社デンソー | 圧電アクチュエータ |
KR100559291B1 (ko) | 2003-06-25 | 2006-03-15 | 볼보 컨스트럭션 이키프먼트 홀딩 스웨덴 에이비 | 중장비 옵션장치용 유압회로 |
DE10356959A1 (de) * | 2003-12-05 | 2005-06-30 | Robert Bosch Gmbh | Aktormodul |
US7218037B2 (en) * | 2005-07-26 | 2007-05-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for improving the long-term stability of a piezoelectric actuator and a piezoelectric actuator |
ATE385612T1 (de) * | 2005-11-30 | 2008-02-15 | Delphi Tech Inc | Verbesserung der ferroelektrischen dauerhaftigkeit |
-
2008
- 2008-01-09 EP EP08100285A patent/EP2079113B1/en active Active
- 2008-12-09 JP JP2008312856A patent/JP5022352B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-01-09 US US12/319,574 patent/US8193686B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2079113A1 (en) | 2009-07-15 |
US8193686B2 (en) | 2012-06-05 |
EP2079113B1 (en) | 2013-03-13 |
US20090174290A1 (en) | 2009-07-09 |
JP2009189233A (ja) | 2009-08-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110708 |
|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120517 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120615 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150622 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |