JP5021510B2 - 計測機器 - Google Patents

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Description

この発明は、差圧発信器などの計測機器に関するものである。
従来より、流体の圧力差を検出し伝送する装置として、差圧発信器が用いられている(例えば、特許文献1参照)。この差圧発信器は、差圧センサと、A/D変換器と、処理装置とを備えており、差圧センサのセンサ部内には、圧力変形体である測定ダイヤフラムが設けられ、この測定ダイヤフラムの両面に圧力室Aと圧力室Bとが設けられている。
この差圧発信器では、圧力室Aに非圧縮性流体(シリコンオイル等)を介して流体圧力Paを導く一方、圧力室Bに非圧縮性流体(シリコンオイル等)を介して流体圧力Pbを導く。これにより、流体圧力の低い圧力室の側に測定ダイヤフラムが差圧|Pa−Pb|に応じて撓み、この測定ダイヤフラムの撓み具合をひずみゲージで検出し、更に変換器で差圧に応じた電気信号(アナログ信号)を発生させ、この発生した電気信号をA/D変換器に送り、デジタル信号に変換する。
処理装置は、A/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を所定のサンプリング周期毎にサンプリングし、このサンプリングしたA/D変換値にリニアライズ演算,開平演算,一次遅れ演算(ダンピング演算)などの様々な演算処理を施して差圧の計測値ΔPを求め、この求めた差圧の計測値ΔPを出力する。
また、この差圧発信器では、計測値ΔPの精度を高めるために、差圧センサが検出する圧力差に影響を与える環境の変化を示す物理量として静圧や温度を計測し、その計測した静圧や温度に基づいて差圧の計測値ΔPを補正するようにしている。この場合、特許文献1では、1つのA/D変換器を用い、差圧、静圧、温度をデジタル信号に変換し、そのデジタル信号に変換されたA/D変換値をサンプリングするようにしている。
但し、静圧や温度のサンプリング周期は、差圧のサンプリング周期よりも長周期でよい。すなわち、静圧や温度は差圧に比べて変化が緩やかであるので、差圧については短周期でサンプリングを行うが、静圧や温度は長周期でサンプリングを行うものとする。
特開平2−88921号公報
しかしながら、高速の差圧計測が要求されるアプリケーションでは、1つのA/D変換器で差圧、静圧、温度をサンプリングしていたのでは、高速化に対応することができない。
そこで、本出願人は、2つのA/D変換器を設け、一方のA/D変換器から短周期で差圧をサンプリングし、他方のA/D変換器から長周期で静圧および温度をサンプリングするようにして、差圧計測の高速化を実現することを考えた。図9にその一例を示す。
図9において、1は第1のA/D変換器、2は第2のA/D変換器、3は差圧センサ、4は静圧センサ、5は温度センサ、6は処理装置(MPU)であり、第1のA/D変換器1に差圧センサ3からの差圧に応じた電気信号(アナログ信号)を与え、第2のA/D変換器2に静圧センサ4からの静圧に応じた電気信号(アナログ信号)および温度センサ5からの温度に応じた電気信号(アナログ信号)を与えるようにしている。
第1のA/D変換器1は、差圧センサ3からの差圧に応じた電気信号をデジタル信号に変換する。第2のA/D変換器2は、静圧センサ4からの静圧に応じた電気信号および温度センサ5からの温度に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する。
処理装置6は、第1のA/D変換器1においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を短周期でサンプリングし、第2のA/D変換器2においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を長周期でサンプリングし、第1のA/D変換器1からサンプリングしたA/D変換値と第2のA/D変換器2からサンプリングしたA/D変換値とに基づいて差圧の計測値ΔPを求める。
この差圧発信器において、A/D変換器1および2には共通の電源電圧Vccを与えるようにし、A/D変換器1は常時動作状態(連続変換モード)とし、A/D変換器2は間欠動作状態(間欠変換モード)とする。すなわち、A/D変換器1は短周期でサンプリングが行われるので、常にA/D変換動作を行わせるものとする。これに対し、A/D変換器2は長周期でサンプリングが行われるので、消費電流の軽減を目的として、間欠的にA/D変換動作を行わせるものとし、A/D変換動作を行っていない場合には待機状態とする。
しかしながら、このような方式では、A/D変換器1が常時動作状態とされるのに対し、A/D変換器2が間欠動作状態とされるため、電源電圧Vccが変動し、安定したA/D変換値が得られないという問題が発生する。この問題について、図10に示すタイムチャートを参照して説明する。
図10(a)は第1のA/D変換器1の消費電流Ia1の変化、図10(b)は第2のA/D変換器2の消費電流Ia2の変化、図10(c)は第1のA/D変換器1の消費電流Ia1と第2のA/D変換器2の消費電流Ia2とを合わせたトータルの消費電流Iaの変化、図10(d)は第1のA/D変換器1のA/D変換値CNT1の変化、図10(e)は第2のA/D変換器2のA/D変換値CNT2の変化を示す。この例では、A/D変換器1,2のA/D変換動作中(動作状態にある時)の消費電流を1mA、A/D変換動作待機中(待機状態にある時)の消費電流を0.5mAとしている。
この場合、A/D変換器2のA/D変換動作中はトータルの消費電流Iaが2mA、A/D変換器2のA/D変換動作待機中はトータルの消費電流Iaが1.5mAとなり、電源電圧Vccが変動し、第1のA/D変換器1のA/D変換値CNT1が変動する。処理装置6は、A/D変換値CNT1を短周期(高速)でサンプリングするので、第1のA/D変換器1のA/D変換値CNT1の変動がそのまま取り込まれる。このため、安定したA/D変換値CNT1を得ることができない。
なお、第2のA/D変換器2のA/D変換値CNT2は、A/D変換終了付近の値が間欠的にサンプリングされるので、すなわちトータルの消費電流Iaが安定している時点でサンプリングされるので、処理装置6には安定したA/D変換値CNT2が取り込まれるものとなり、問題とはならない。
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、電源電圧を共通とし、一方のA/D変換器からは短周期で、他方のA/D変換器からは長周期でA/D変換値をサンプリングする場合、何れのA/D変換器からも安定したA/D変換値を得ることが可能な計測機器を提供することにある。
このような目的を達成するために、第1発明(請求項1に係る発明)は、電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換する第1のA/D変換器と、この第1のA/D変換器への電源電圧を共通の電源電圧とし、この共通の電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換する第2のA/D変換器と、第1のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期でサンプリングし、第2のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期よりも長い第2の周期でサンプリングする処理装置とを設けたものである。
この発明によれば、第1のA/D変換器と第2のA/D変換器がともに常時動作状態とされ、第1のA/D変換器の消費電流と第2のA/D変換器の消費電流とを合わせたトータルの消費電流が一定となる。これにより、電源電圧が安定し、第1のA/D変換器のA/D変換値のふらつきが低減され、何れのA/D変換器からも安定したA/D変換値を得ることができるようになる。
第2発明(請求項2に係る発明)は、流体の圧力差を検出する差圧センサと、この差圧センサが検出する圧力差に影響を与える環境の変化を示す物理量を検出する環境センサと、電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、差圧センサが検出する圧力差に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第1のA/D変換器と、この第1のA/D変換器への電源電圧を共通の電源電圧とし、この共通の電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、環境センサが検出する物理量に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第2のA/D変換器と、第1のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期でサンプリングし、第2のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期よりも長い第2の周期でサンプリングし、第1のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値と第2のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値とに基づいて差圧の計測値を求める処理装置とを設けたものである。
この発明によれば、第1のA/D変換器と第2のA/D変換器がともに常時動作状態とされ、第1のA/D変換器の消費電流と第2のA/D変換器の消費電流とを合わせたトータルの消費電流が一定となる。これにより、電源電圧が安定し、第1のA/D変換器のA/D変換値のふらつきが低減され、何れのA/D変換器からも安定したA/D変換値を得ることができるようになり、差圧センサによって検出される流体の圧力差をその検出される圧力差に影響を与える環境の変化を示す物理量で補正して、精度よくかつ安定して差圧の計測値を求めることができるようになる。
第3発明(請求項3に係る発明)は、流体の圧力差を検出する差圧センサと、この差圧センサが検出する圧力差に影響を与える環境の変化を示す物理量を検出する複数の環境センサと、電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、差圧センサが検出する圧力差に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第1のA/D変換器と、この第1のA/D変換器への電源電圧を共通の電源電圧とし、この共通の電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、複数の環境センサが検出する物理量に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第2のA/D変換器と、第1のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期でサンプリングし、第2のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期よりも長い第2の周期でサンプリングし、第1のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値と第2のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値とに基づいて差圧の計測値を求める処理装置とを設けたものである。
この発明によれば、第1のA/D変換器と第2のA/D変換器がともに常時動作状態とされ、第1のA/D変換器の消費電流と第2のA/D変換器の消費電流とを合わせたトータルの消費電流が一定となる。これにより、電源電圧が安定し、第1のA/D変換器のA/D変換値のふらつきが低減され、何れのA/D変換器からも安定したA/D変換値を得ることができるようになり、差圧センサによって検出される流体の圧力差をその検出される圧力差に影響を与える環境の変化を示す複数の物理量で補正して、精度よくかつ安定して差圧の計測値を求めることができるようになる。
第4発明(請求項4に係る発明)は、流体の圧力差を検出する差圧センサと、この差圧センサが検出する圧力差に影響を与える環境の変化を示す物理量を検出する複数の環境センサと、電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、差圧センサが検出する圧力差に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第1のA/D変換器と、この第1のA/D変換器への電源電圧を共通の電源電圧とし、この共通の電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、複数の環境センサが検出する物理量に応じたアナログ信号をそれぞれデジタル信号に変換する複数の第2のA/D変換器と、第1のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期でサンプリングし、複数の第2のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期よりも長い第2の周期でサンプリングし、第1のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値と複数の第2のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値とに基づいて差圧の計測値を求める処理装置とを設けたものである。
この発明によれば、第1のA/D変換器と複数の第2のA/D変換器がともに常時動作状態とされ、第1のA/D変換器の消費電流と複数の第2のA/D変換器の消費電流とを合わせたトータルの消費電流が一定となる。これにより、電源電圧が安定し、第1のA/D変換器のA/D変換値のふらつきが低減され、何れのA/D変換器からも安定したA/D変換値を得ることができるようになり、差圧センサによって検出される流体の圧力差をその検出される圧力差に影響を与える環境の変化を示す複数の物理量で補正して、精度よくかつ安定して差圧の計測値を求めることができるようになる。
第5発明(請求項5に係る発明)は、流体の圧力差を検出する差圧センサと、この差圧センサが検出する圧力差に影響を与える環境の変化を示す物理量を検出する複数の環境センサと、電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、差圧センサが検出する圧力差に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第1のA/D変換器と、この第1のA/D変換器への電源電圧を共通の電源電圧とし、この共通の電源電圧の供給を受けてその消費電流の合計値が一定値となるようにスケジュールを組んで間欠動作状態とされ、複数の環境センサが検出する物理量に応じたアナログ信号をそれぞれデジタル信号に変換する複数の第2のA/D変換器と、第1のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期でサンプリングし、複数の第2のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期よりも長い第2の周期でサンプリングし、第1のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値と複数の第2のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値とに基づいて差圧の計測値を求める処理装置とを設けたものである。
この発明によれば、第1のA/D変換器が常時動作状態とされ、複数の第2のA/D変換器がその消費電流の合計値が一定値となるようにスケジュールを組んで間欠動作状態とされ、第1のA/D変換器の消費電流と複数の第2のA/D変換器の消費電流とを合わせたトータルの消費電流が一定となる。これにより、電源電圧が安定し、第1のA/D変換器のA/D変換値のふらつきが低減され、何れのA/D変換器からも安定したA/D変換値を得ることができるようになり、差圧センサによって検出される流体の圧力差をその検出される圧力差に影響を与える環境の変化を示す複数の物理量で補正して、精度よくかつ安定して差圧の計測値を求めることができるようになる。
本発明によれば、第1のA/D変換器と第2のA/D変換器をともに常時動作状態としたり、第1のA/D変換器と複数の第2のA/D変換器をともに常時動作状態としたり、第1のA/D変換器を常時動作状態とし、複数の第2のA/D変換器をその消費電流の合計値が一定値となるようにスケジュールを組んで間欠動作状態としたりすることにより、第1のA/D変換器の消費電流と第2のA/D変換器(複数の第2のA/D変換器)の消費電流とを合わせたトータルの消費電流が一定となって電源電圧が安定し、短周期でサンプリングを行う第1のA/D変換器のA/D変換値のふらつきが低減され、何れのA/D変換器からも安定したA/D変換値を得ることができるようになる。
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。図1はこの発明に係る計測機器の一例として差圧発信器の要部を示す図である。同図において、図9と同一符号は図9を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。
図9に示した差圧発信器では、A/D変換器1を常時動作状態(連続変換モード)とし、A/D変換器2を間欠動作状態(間欠変換モード)としていたが、この実施の形態では、A/D変換器1とA/D変換器2をともに常時動作状態(連続変換モード)とする。
なお、A/D変換器1およびA/D変換器2への連続変換モードは、工場出荷段階で個別に設定しておくようにしてもよく、処理装置6から個別に指示を与えるようにしてもよい。
図2(a)に第1のA/D変換器1の消費電流Ia1の変化、図2(b)に第2のA/D変換器2の消費電流Ia2の変化、図2(c)に第1のA/D変換器1の消費電流Ia1と第2のA/D変換器2の消費電流Ia2とを合わせたトータルの消費電流Iaの変化、図2(d)に第1のA/D変換器1のA/D変換値CNT1の変化、図2(e)に第2のA/D変換器2のA/D変換値CNT2の変化を示す。この例では、A/D変換器1,2のA/D変換動作中(動作状態にある時)の消費電流を1mAとしている。
この場合、A/D変換器1とA/D変換器2がともに常時動作状態とされることから、A/D変換器1の消費電流Ia1とA/D変換器2の消費電流Ia2とを合わせたトータルの消費電流IaがIa=Ia1+Ia2=1mA+1mA=2mAとなり、常に一定となる。
これにより、電源電圧Vccが安定し、図2(d)に示すように、A/D変換器1のA/D変換値CNT1のふらつきが低減される。なお、この場合、図2(e)に示すように、A/D変換器2のA/D変換値CNT2も連続して得られるようになるが、この第2のA/D変換器2のA/D変換値CNT2にもふらつきは生じない。
処理装置6は、A/D変換値CNT1を短周期でサンプリングし、A/D変換値CNT2を長周期でサンプリングする。この場合、A/D変換器1のA/D変換値CNT1のふらつきが低減されているので、安定したA/D変換値CNT1が処理装置6に取り込まれるものとなる。また、A/D変換器2のA/D変換値CNT2にもふらつきが生じず、このA/D変換器2のA/D変換終了付近の値が間欠的にサンプリングされるので、安定したA/D変換値CNT2が処理装置6に取り込まれるものとなる。
このようにして、本実施の形態では、何れのA/D変換器からも安定したA/D変換値を得ることができるようになり、差圧センサ3によって検出される流体の圧力差を静圧センサ4からの静圧や温度センサ5からの温度で補正して、精度よくかつ安定して差圧の計測値ΔPを求めることができるようになる。
なお、この実施の形態では、静圧センサ4からの静圧に応じた電気信号と温度センサ5からの温度に応じた電気信号をA/D変換器2へ与えるようにしたが、静圧センサ4からの静圧に応じた電気信号のみをA/D変換器2へ与えるようにしてもよく、温度センサ5からの温度に応じた電気信号のみをA/D変換器2へ与えるようにしてもよい。すなわち、静圧のみで差圧を補正するようにしてもよく、温度のみで差圧を補正するようにしてもよい。
また、この実施の形態において、差圧センサ4が検出する圧力差に影響を与える環境の変化を示す物理量は、静圧や温度に限られるものではない。例えば、静圧や温度に加えて、湿度に応じた電気信号をA/D変換器2へ与えるようにしてもよい。
また、この実施の形態では、静圧センサ4からの静圧に応じた電気信号と温度センサ5からの温度に応じた電気信号を1つのA/D変換器2へ与えるようにしたが、図3に示すように、第2のA/D変換器をA/D変換器2−1とA/D変換器2−2の2つとし、A/D変換器2−1に静圧センサ4からの静圧に応じた電気信号を与えるようにし、A/D変換器2−2に温度センサ5からの温度に応じた電気信号を与えるようにしてもよい。
この場合、第1のA/D変換器1と第2のA/D変換器2−1および2−2を常時動作状態とすれば、第1のA/D変換器の消費電流Ia1と第2のA/D変換器2−1および2−2の消費電流Ia2およびIa3とを合わせたトータルの消費電流Iaを一定として(図4参照)、何れのA/D変換器からも安定したA/D変換値を得るようにすることができる。
なお、図3に示した例において、第1のA/D変換器1を常時動作状態とする一方、消費電流Ia2およびIa3の合計値が一定値となるようにスケジュールを組んで第2のA/D変換器2−1および2−2を間欠動作状態とし、第1のA/D変換器1の消費電流Ia1と第2のA/D変換器2−1および2−2の消費電流Ia2およびIa3とを合わせたトータルの消費電流Iaを一定とするようにしてもよい(図5参照)。
図6にスケジュールを組んで第2のA/D変換器2−1および2−2を間欠動作状態とした場合のタイムチャートを示す。この例では、その待機状態(消費電流=0.5mA)の期間と動作状態(消費電流=1mA)の期間とが重なるように、第2のA/D変換器2−1および2−2を待機状態から動作状態に間欠的に切り替えるようにしている。
なお、この場合のスケジュールは、処理装置6からA/D変換器2−1および2−2に対して行うようにしてもよいし、工場出荷段階でA/D変換器2−1および2−2に対して設定しておくようにしてもよい。
これにより、第1のA/D変換器の消費電流Ia1と第2のA/D変換器2−1および2−2の消費電流Ia2およびIa3とを合わせたトータルの消費電流Iaが2.5mAとなり、常に一定となる。
3つのA/D変換器を全て常時動作状態とするとトータルの消費電流Iaは3mAとなるが、この例ではトータルの消費電流Iaを2.5mAとすることができ、消費電流が軽減される。
図7に、第2のA/D変換器をA/D変換器2−1とA/D変換器2−2とA/D変換器2−3の3つとし、A/D変換器2−1に静圧センサ4からの静圧に応じた電気信号を与えるようにし、A/D変換器2−2に温度センサ5からの温度に応じた電気信号を与えるようにし、A/D変換器2−3に湿度センサ7からの湿度に応じた電気信号を与えるようにした例を示す。
このような例でも、第1のA/D変換器1を常時動作状態とする一方、消費電流Ia2,Ia3およびIa4の合計値が一定値となるようにスケジュールを組んで第2のA/D変換器2−1,2−2および2−3を間欠動作状態とし、第1のA/D変換器1の消費電流Ia1と第2のA/D変換器2−1,2−2および2−3の消費電流Ia2,Ia3およびIa4とを合わせたトータルの消費電流Iaを一定とすることができる。
図8にスケジュールを組んで第2のA/D変換器2−1,2−2および2−3を間欠動作状態とした場合のタイムチャートを示す。この例では、2つのA/D変換器の待機状態(消費電流=0.5mA)の期間と1つのA/D変換器の動作状態(消費電流=1mA)の期間とが重なるように、第2のA/D変換器2−1,2−2および2−3を待機状態から動作状態に間欠的に切り替えるようにしている。
なお、この場合のスケジュールについても、処理装置6からA/D変換器2−1,2−2および2−3に対して行うようにしてもよいし、工場出荷段階でA/D変換器2−1,2−2および2−3に対して設定しておくようにしてもよい。
これにより、第1のA/D変換器の消費電流Ia1と第2のA/D変換器2−1,2−2および2−3の消費電流Ia2,Ia3およびIa4とを合わせたトータルの消費電流Iaが3mAとなり、常に一定となる。
4つのA/D変換器を全て常時動作状態とするとトータルの消費電流Iaは4mAとなるが、この例ではトータルの消費電流Iaを3mAとすることができ、消費電流が軽減される。
なお、上述した実施の形態では、計測機器の一例として差圧発信器を例にとって説明したが、計測機器は差圧発信器に限られるものでなく、同様にして複数のA/D変換器を使用する各種の計測機器に適用することが可能である。
この発明に係る計測機器の一例として差圧発信器の要部を示す図である。 この差圧発信器において何れのA/D変換器からも安定したA/D変換値が得られる様子を説明するためのタイムチャートである。 第2のA/D変換器として2つのA/D変換器を設け第1のA/D変換器および第2のA/D変換器の何れも常時動作状態とした例を示す図である。 図3に示した差圧発信器においてトータルの消費電流Iaが一定となる様子を示すタイムチャートである。 第2のA/D変換器として2つのA/D変換器を設け第1のA/D変換器を常時動作状態とし第2のA/D変換器をスケジュールを組んで間欠動作状態とした例を示す図である。 図5に示した差圧発信器においてトータルの消費電流Iaが一定となる様子を示すタイムチャートである。 第2のA/D変換器として3つのA/D変換器を設け第1のA/D変換器を常時動作状態とし第2のA/D変換器をスケジュールを組んで間欠動作状態とした例を示す図である。 図7に示した差圧発信器においてトータルの消費電流Iaが一定となる様子を示すタイムチャートである。 本発明に至る前の前段技術として本出願人が考えた差圧発信器の要部を示す図である。 この差圧発信器において第1のA/D変換器から安定したA/D変換値が得られない様子を説明するためのタイムチャートである。
符号の説明
1…第1のA/D変換器、2(2−1〜2−3)…第2のA/D変換器、3…差圧センサ、4…静圧センサ、5…温度センサ、6…処理装置、7…湿度センサ。

Claims (5)

  1. 電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換する第1のA/D変換器と、
    この第1のA/D変換器への電源電圧を共通の電源電圧とし、この共通の電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、入力されるアナログ信号をデジタル信号に変換する第2のA/D変換器と、
    前記第1のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期でサンプリングし、前記第2のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を前記第1の周期よりも長い第2の周期でサンプリングする処理装置と
    を備えることを特徴とする計測機器。
  2. 流体の圧力差を検出する差圧センサと、
    この差圧センサが検出する圧力差に影響を与える環境の変化を示す物理量を検出する環境センサと、
    電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、前記差圧センサが検出する圧力差に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第1のA/D変換器と、
    この第1のA/D変換器への電源電圧を共通の電源電圧とし、この共通の電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、前記環境センサが検出する物理量に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第2のA/D変換器と、
    前記第1のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期でサンプリングし、前記第2のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を前記第1の周期よりも長い第2の周期でサンプリングし、前記第1のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値と前記第2のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値とに基づいて差圧の計測値を求める処理装置と
    を備えることを特徴とする計測機器。
  3. 流体の圧力差を検出する差圧センサと、
    この差圧センサが検出する圧力差に影響を与える環境の変化を示す物理量を検出する複数の環境センサと、
    電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、前記差圧センサが検出する圧力差に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第1のA/D変換器と、
    この第1のA/D変換器への電源電圧を共通の電源電圧とし、この共通の電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、前記複数の環境センサが検出する物理量に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第2のA/D変換器と、
    前記第1のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期でサンプリングし、前記第2のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を前記第1の周期よりも長い第2の周期でサンプリングし、前記第1のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値と前記第2のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値とに基づいて差圧の計測値を求める処理装置と
    を備えることを特徴とする計測機器。
  4. 流体の圧力差を検出する差圧センサと、
    この差圧センサが検出する圧力差に影響を与える環境の変化を示す物理量を検出する複数の環境センサと、
    電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、前記差圧センサが検出する圧力差に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第1のA/D変換器と、
    この第1のA/D変換器への電源電圧を共通の電源電圧とし、この共通の電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、前記複数の環境センサが検出する物理量に応じたアナログ信号をそれぞれデジタル信号に変換する複数の第2のA/D変換器と、
    前記第1のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期でサンプリングし、前記複数の第2のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を前記第1の周期よりも長い第2の周期でサンプリングし、前記第1のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値と前記複数の第2のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値とに基づいて差圧の計測値を求める処理装置と
    を備えることを特徴とする計測機器。
  5. 流体の圧力差を検出する差圧センサと、
    この差圧センサが検出する圧力差に影響を与える環境の変化を示す物理量を検出する複数の環境センサと、
    電源電圧の供給を受けて常時動作状態とされ、前記差圧センサが検出する圧力差に応じたアナログ信号をデジタル信号に変換する第1のA/D変換器と、
    この第1のA/D変換器への電源電圧を共通の電源電圧とし、この共通の電源電圧の供給を受けてその消費電流の合計値が一定値となるようにスケジュールを組んで間欠動作状態とされ、前記複数の環境センサが検出する物理量に応じたアナログ信号をそれぞれデジタル信号に変換する複数の第2のA/D変換器と、
    前記第1のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を第1の周期でサンプリングし、前記複数の第2のA/D変換器においてデジタル信号に変換されたA/D変換値を前記第1の周期よりも長い第2の周期でサンプリングし、前記第1のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値と前記複数の第2のA/D変換器からサンプリングしたA/D変換値とに基づいて差圧の計測値を求める処理装置と
    を備えることを特徴とする計測機器。
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