JP5017038B2 - 渦流検査装置及び渦流検査方法 - Google Patents
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すなわち、上記従来技術においては、パルス波形電圧のトップ部に一方の閾値電圧を設定し、パルス波形電圧のテール部に他方の閾値電圧を設定して、それらの閾値電圧でのパルス幅を求めるようになっている。そのため、広い検出範囲(ダイナミックレンジ)の検出センサを用いる必要があった。
2 検出センサ
4 被検体
8 対数変換部(対数変換手段、勾配演算手段)
9 近似直線演算部(近似直線演算手段、勾配演算手段)
10 記憶部(記憶手段)
11 特性演算部(特性演算手段)
12 表示部(表示手段)
17 変化率演算・判定部(変化率演算・判定手段、勾配演算手段)
Claims (3)
- パルス信号で励磁されて被検体に渦電流を誘起する励磁コイルと、前記被検体に誘起した渦電流の変化を検出する検出センサとを備えた渦流検査装置において、
前記検出センサの検出値を対数に変換する対数変換手段と、
前記対数変換手段で対数に変換された検出値に対し予め設定された時間間隔毎の変化率を演算するとともに、演算した変化率がほぼ一定になったかどうかを判定する変化率演算・判定手段と、
予め取得された変化率と前記被検体の特性との相関データを記憶した記憶手段と、
前記変化率演算・判定手段でほぼ一定になったと判定された変化率に対し、前記記憶手段で記憶された相関データに基づいて前記被検体の特性を演算する特性演算手段とを備えたことを特徴とする渦流検査装置。 - 請求項1記載の渦流検査装置において、
前記変化率演算・判定手段で演算された変化率の時間変化を表示するとともに、その変化率の時間変化においてほぼ一定になったと判定された範囲を強調表示し、さらに前記特性演算手段で演算された前記被検体の特性を表示する表示手段を備えたことを特徴とする渦流検査装置。 - パルス信号で励磁された励磁コイルによって被検体に渦電流を誘起し、前記被検体に誘起した渦電流の変化を検出センサで検出して前記被検体の特性を評価する渦流検査方法において、
前記検出センサの検出値を対数に変換する第1の手順と、
前記第1の手順で対数に変換された検出値に対し予め設定された時間間隔毎の変化率を演算するとともに、演算した変化率がほぼ一定になったかどうかを判定する第2の手順と、
前記第2の手順でほぼ一定になったと判定された変化率に対し、予め取得され記憶された変化率と前記被検体の特性との相関データに基づいて前記被検体の特性を演算する第3の手順とを有することを特徴とする渦流検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007248975A JP5017038B2 (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | 渦流検査装置及び渦流検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007248975A JP5017038B2 (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | 渦流検査装置及び渦流検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009079984A JP2009079984A (ja) | 2009-04-16 |
JP5017038B2 true JP5017038B2 (ja) | 2012-09-05 |
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ID=40654846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007248975A Expired - Fee Related JP5017038B2 (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | 渦流検査装置及び渦流検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5017038B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5188466B2 (ja) * | 2009-06-30 | 2013-04-24 | 株式会社日立製作所 | パルス励磁型渦電流探傷方法及びこれを用いたパルス励磁型渦電流探傷装置 |
ES2465999T3 (es) | 2011-09-29 | 2014-06-09 | Abb Technology Ag | Método y dispositivo para la detección de fisuras en un material metálico |
CN103760228A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-04-30 | 兰州空间技术物理研究所 | 便携式无损检测传感器及无损检测系统 |
CN103760226A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-04-30 | 兰州空间技术物理研究所 | 航天器无损检测方法 |
CN103760224A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-04-30 | 兰州空间技术物理研究所 | 航天器无损检测传感器及无损检测系统 |
CN103760227A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-04-30 | 兰州空间技术物理研究所 | 深空探测器无损检测方法 |
JP6271336B2 (ja) * | 2014-05-22 | 2018-01-31 | 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 | 渦電流検査装置及び渦電流検査方法 |
CN104090023A (zh) * | 2014-05-28 | 2014-10-08 | 国家电网公司 | 电网金属材料电磁脉冲涡流检测装置 |
JP6520837B2 (ja) * | 2016-06-17 | 2019-05-29 | 住友金属鉱山株式会社 | コンクリートパネル内に埋設された鉄筋の状態を測定する装置及び方法 |
TW201819107A (zh) * | 2016-08-26 | 2018-06-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 用於化學機械研磨的研磨墊厚度監測 |
KR102414470B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-06-30 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 연마 패드 마모율 모니터링을 위한 예측 필터 |
CN108195931B (zh) * | 2017-12-21 | 2019-01-08 | 西安交通大学 | 金属构件损伤检测的放置式探头及可视化定量评估方法 |
US11794305B2 (en) | 2020-09-28 | 2023-10-24 | Applied Materials, Inc. | Platen surface modification and high-performance pad conditioning to improve CMP performance |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4843319A (en) * | 1987-12-17 | 1989-06-27 | Atlantic Richfield Company | Transient electromagnetic method for detecting corrosion on conductive containers having variations in jacket thickness |
US6291992B1 (en) * | 1996-07-12 | 2001-09-18 | Shell Oil Company | Eddy current inspection technique |
JPH11326284A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-26 | Yonekura Seisakusho:Kk | パルス渦流探傷方法およびその装置 |
CN100400808C (zh) * | 2002-01-03 | 2008-07-09 | 斯平马思特有限公司 | 往复流体引擎 |
US6734670B2 (en) * | 2002-02-26 | 2004-05-11 | Shell Oil Company | Determining a surface profile of an object |
JP4394415B2 (ja) * | 2003-10-24 | 2010-01-06 | 非破壊検査株式会社 | 電磁波パルスによる板厚相対比較方法及び板厚相対比較装置 |
-
2007
- 2007-09-26 JP JP2007248975A patent/JP5017038B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009079984A (ja) | 2009-04-16 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090703 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120611 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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