JP2009002945A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. うず電流探触子（１）とテスト対象の導電性試料（２）の表面の間の分離の影響を補償するための方法であって、
   試料（２）内にうず電流を発生させるように励起（２３）を受けると共に既知の基準分離（２２）において試料内に生成されたうず電流によって発生した時間変動する基準信号を検知するうず電流探触子（１）を実質的に無欠陥エリアでかつ試料の表面から既知の基準分離で配置（２１）することによって少なくとも１つの基準データ組を取得し、かつ検知した時間変動する信号の傾斜値を決定（２４）する工程と、
   前記うず電流探触子を励起してうず電流を発生させるように該探触子を試料の表面から未知の基準分離に配置（３１）して後続のテスト信号に関する対応する傾斜値を決定（３３）することによって後続のテスト計測を実行する工程と、
   前記テスト信号のものと最も類似する傾斜ピークまたは最も近いピーク微分をもつ基準信号を特定し、特定された基準信号から前記テスト信号から差し引くことにより、テスト計測内のうず電流探触子と試料の表面の間の分離の影響を補償（３４）する工程と、
   を含む方法。
2. 各基準信号及びテスト信号の最大規模傾斜が決定されかつテスト信号に最も近い最大規模傾斜をもつ基準信号が補償に用いられる、請求項１に記載の方法。
3. 複数の基準信号及びテスト信号のそれぞれに関して１次微分ピークが取得され、かつテスト信号に最も近い１次微分ピークをもつ基準信号を用いて補償が実行される、請求項１に記載の方法。
4. テスト信号の微分と選択された基準信号のピーク振幅の比から補償パラメータが決定される、請求項１から３のいずれかに記載の方法。
5. 検知信号、微分、ピーク微分のうちの少なくとも１つが平滑化されている、請求項３に記載の方法。
6. 前記少なくとも１つの基準信号に関するデータは前記１つまたは複数の基準データ組から補間されている、請求項１から５のいずれかに記載の方法。
7. 請求項１から６のいずれかに記載の方法を実行するように配列させたうず電流探触子（１）及び処理手段（４２）を備えるうず電流検査デバイス。
8. その探触子が、コイルまたは電子センサを用いたシングル構成、マルチ構成またはアレイ構成とした、絶対探触子、微分探触子、反射探触子、非遮蔽探触子、遮蔽探触子、あるいはこれらの任意の組み合わせである、請求項７に記載のうず電流検査デバイス。