JP6271336B2 - 渦電流検査装置及び渦電流検査方法 - Google Patents
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Description
5 被検査体
6 検出センサ
11,11A,11B 演算部
12,12A,12B 特性取得部
13 記憶部
15 積分範囲設定部
16 相関データ作成部
Claims (8)
- パルス信号で励磁された励磁コイルによって被検査体に渦電流を誘起し、前記被検査体に誘起された渦電流の変化を検出センサで検出して、前記被検査体の特性を取得する渦電流検査装置において、
前記検出センサの検出信号に対し、ノイズ以外の変化があるとみなす時間範囲を含む第1の積分範囲にて第1の積分量を演算するとともに、ノイズ以外の変化がないとみなす時間範囲である第2の積分範囲にて第2の積分量を演算し、さらに前記第1の積分量と前記第2の積分量との差分若しくは比率を演算する演算部と、
前記第1の積分量と前記第2の積分量との差分若しくは比率に対し、相関データに基づいて前記被検査体の特性を取得する特性取得部とを備えたことを特徴とする渦電流検査装置。 - 請求項1記載の渦電流検査装置において、
前記演算部は、前記第1の積分範囲の長さと前記第2の積分範囲の長さが異なる場合に、前記第1の積分範囲の長さと前記第2の積分範囲の長さとの比率を乗じて前記第2の積分量を補正し、前記第1の積分量と前記補正後の第2の積分量との差分若しくは比率を演算することを特徴とする渦電流検査装置。 - 請求項1記載の渦電流検査装置において、
サンプルデータとして前記被検査体の特性毎に予め取得された前記検出センサの検出信号を記憶する記憶部と、
前記積分範囲を設定する積分範囲設定部と、
前記記憶部で記憶されたサンプルデータ及び前記積分範囲設定部で設定された積分範囲に基づき、前記相関データを作成する相関データ作成部とを備えたことを特徴とする渦電流検査装置。 - 請求項1記載の渦電流検査装置において、
前記特性取得部は、前記第1の積分量と前記第2の積分量との差分若しくは比率に対し、相関データに基づいて前記被検査体の厚さを取得することを特徴とする渦電流検査装置。 - パルス信号で励磁された励磁コイルによって被検査体に渦電流を誘起し、前記被検査体に誘起された渦電流の変化を検出センサで検出して、前記被検査体の特性を取得する渦電流検査方法において、
前記検出センサの検出信号に対し、ノイズ以外の変化があるとみなす時間範囲を含む第1の積分範囲にて第1の積分量を演算するとともに、ノイズ以外の変化がないとみなす時間範囲である第2の積分範囲にて第2の積分量を演算し、さらに前記第1の積分量と前記第2の積分量との差分若しくは比率を演算する第1の手順と、
前記第1の積分量と前記第2の積分量との差分若しくは比率に対し、相関データに基づいて前記被検査体の特性を取得する第2の手順とを有することを特徴とする渦電流検査方法。 - 請求項5記載の渦電流検査方法において、
前記第1の手順は、前記第1の積分範囲の長さと前記第2の積分範囲の長さが異なる場合に、前記第1の積分範囲の長さと前記第2の積分範囲の長さとの比率を乗じて前記第2の積分量を補正し、前記第1の積分量と前記補正後の第2の積分量との差分若しくは比率を演算することを特徴とする渦電流検査方法。 - 請求項5記載の渦電流検査方法において、
前記積分範囲を設定する第3の手順と、
サンプルデータとして前記被検査体の特性毎に予め取得された前記検出センサの検出信号と前記第3の手順で設定された積分範囲に基づき、前記相関データを作成する第4の手順とを有することを特徴とする渦電流検査方法。 - 請求項5記載の渦電流検査方法において、
前記第2の手順は、前記第1の積分量と前記第2の積分量との差分若しくは比率に対し、相関データに基づいて前記被検査体の厚さを取得することを特徴とする渦電流検査方法。
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JP2014106150A JP6271336B2 (ja) | 2014-05-22 | 2014-05-22 | 渦電流検査装置及び渦電流検査方法 |
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