JP2015222194A5 - - Google Patents

Description

積分範囲表示領域２０は、設定された積分範囲（詳細には、設定された積分開始時間Ｔ１及び積分終了時間Ｔ２）を表示しており、積分範囲設定部１５によって変更可能としている。具体的には、キーボードやマウス等の入力部の操作に応じて、積分範囲表示領域２０で表示された積分開始時間Ｔ１及び積分終了時間Ｔ２を変更して設定可能としている。検出信号表示領域１９は、記憶部１３から読み込んだ検出信号の時間変化を図示するとともに、設定された積分開始時間Ｔ１及び積分終了時間Ｔ２を図示している。これにより、検査者は、検出信号表示領域１９で表示された検出信号の時間変化を見ながら、積分範囲を設定変更可能としている。

そして、制御装置２の表示部１４は、検出信号、積分範囲、積分量、マスターカーブ、及び被検査体５の厚さを表示する。例えば表示部１４で表示された積分範囲を設定変更した場合には、ステップ１０６の判定が満たされ、制御装置２の相関データ作成部１６は、サンプルデータと設定変更された積分範囲に基づいてマスターカーブを新たに作成し、記憶部１３で更新させる（ステップ１０７）。また、演算部１１は、検出センサ６の検出信号に対し、設定変更された積分範囲にて積分量を新たに演算する（ステップ１０４）。特性取得部１２は、更新された積分量に対し、更新されたマスターカーブに基づいて被検査体５の厚さを新たに取得する（ステップ１０５）。表示部１４は、更新されたマスターカーブ、積分量、及び被検査体５の厚さを表示する。

そして、制御装置２の表示部１４は、検出信号、第１の積分範囲、第１の積分量、第２の積分範囲、第２の積分量、差分、マスターカーブ、及び被検査体５の厚さを表示する。例えば表示部１４で表示された第１の積分範囲及び第２の積分範囲のうちの少なくとも一方を設定変更した場合には、ステップ１０６の判定が満たされ、制御装置２の相関データ作成部１６は、サンプルデータと少なくとも一方が設定変更された第１の積分範囲及び第２の積分範囲に基づいてマスターカーブを新たに作成し、記憶部１３で更新させる（ステップ１０７）。また、演算部１１Ａは、検出センサ６の検出信号に対し、設定変更された第１の積分範囲及び第２の積分範囲のうちの少なくとも一方にて積分量を新たに演算し（ステップ１０４，１１０）、さらに第１の積分量と第２の積分量との差分（ＡＲ１−ＡＲ２）を新たに演算する（ステップ１１１）。特性取得部１２Ａは、更新された差分（ＡＲ１−ＡＲ２）に対し、更新されたマスターカーブに基づいて被検査体５の厚さを新たに取得する（ステップ１１２）。表示部１４は、更新された積分量、差分、マスターカーブ、及び被検査体５の厚さを表示する。

そして、制御装置２の表示部１４は、検出信号、第１の積分範囲、第１の積分量、第２の積分範囲、第２の積分量、比率、マスターカーブ、及び被検査体５の厚さを表示する。例えば表示部１４で表示された第１の積分範囲及び第２の積分範囲のうちの少なくとも一方を設定変更した場合には、ステップ１０６の判定が満たされ、制御装置２の相関データ作成部１６は、サンプルデータと少なくとも一方が設定変更された第１の積分範囲及び第２の積分範囲に基づいてマスターカーブを新たに作成し、記憶部１３で更新させる（ステップ１０７）。また、演算部１１Ｂは、検出センサ６の検出信号に対し、設定変更された第１の積分範囲及び第２の積分範囲のうちの少なくとも一方にて積分量を新たに演算し（ステップ１０４，１１０）、さらに第１の積分量と第２の積分量との比率ＡＲ１／ＡＲ２を新たに演算する（ステップ１１３）。特性取得部１２Ｂは、更新された比率ＡＲ１／ＡＲ２に対し、更新されたマスターカーブに基づいて被検査体５の厚さを新たに取得する（ステップ１１４）。表示部１４は、更新された積分量、比率、マスターカーブ、及び被検査体５の厚さを表示する。