JP5017025B2 - 光電変換装置の駆動方法 - Google Patents

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Description

本発明は、光電変換装置及びその駆動方法に関し、特に、複数の受光要素を有するセンサチップが配列される光電変換装置及びその駆動方法に関する。
従来、光電変換装置が利用されるリニアイメージセンサはファクシミリ、スキャナ等に読取り装置として多用されている。
これらのリニアイメージセンサは、シリコンウェハ上に作成されるため、そのセンサ長はウェハサイズにより制限を受ける。そのため、原稿と同一長さのリニアイメージセンサチップを作ることは困難であり、センサ長の短いものしか得られないことが多い。
このため、原稿からの反射光を、光学系を用いて縮小し、リニアイメージセンサ上に縮小投影して画像を読取っている。
しかし、このような縮小光学系を使用する読取り装置では、光学系のスペースを大きく取らねばならず、また、解像度も充分ではない。
そこで、これを解決するためにリニアイメージセンサを複数個直線上に並べたマルチチップ型イメージセンサが用いられている。
上記マルチチップ型イメージセンサの構成として、特許文献1に記載されているような構成が従来から知られている。
特許第2823578号公報
1枚のシリコンウェハから作れるチップ数を少しでも増やして製造コストを低減させるために、チップサイズを縮小(以下、シュリンクとも表記)させる試みが従来から行われている。
チップサイズをシュリンクさせる方法として、走査用のシフトレジスタや受光要素で発生した電気信号を一時的に記憶しておく容量素子などを複数の受光要素で共有する方法が一般的に知られている。
この方法では、シフトレジスタや容量素子といった比較的占有面積の大きい素子及び構成要素の数を削減することができるため、チップサイズのシュリンクが可能となる。
この方法により実現したイメージセンサチップの場合、複数の受光要素で一つのシフトレジスタや容量素子を共有しているため、一度の読み出し走査で、すべての受光要素で発生した電気信号を読み出すことはできない。
すべての受光要素の読み出し動作を行うためには、まず一部の受光要素で発生した電気信号について、シフトレジスタを走査して順次読み出し動作を行う。
次に、先の走査において読み出し動作を行っていない受光要素で発生した電気信号を、再度シフトレジスタで走査して順次読み出し動作を行う。
上記の読み出し走査をシフトレジスタや容量素子を共有している受光要素の数だけ繰り返すことで、すべての受光要素の読み出し動作が完了する。
しかしながら、上記の読み出し方式の場合、次回の読み出し走査のために他の受光要素への切り換えを行う期間は光信号を出力できないブランキング期間となる。そのため、走査を繰り返す数に比例して光信号出力期間中のブランキング期間が増大する。
特に、マルチチップ型イメージセンサの場合、各イメージセンサチップにおいて繰り返しの走査が必要となるため、イメージセンサチップを接続したチップ数と走査の繰り返し回数に比例してブランキング期間が増加する。結果として、光信号出力の高速な読み出しができないといったことがあった。
そこで、本発明は、所望の性能を確保した上でチップサイズをシュリンクしたマルチチップ型イメージセンサを提供することを目的とする。
本発明の1つの側面は、光電変換装置の駆動方法に係り、前記光電変換装置は、m個のセンサチップを有し、各センサチップがk個の単位ブロックを有し、各単位ブロックは、t個の受光要素と、t個の受光要素の信号を読み出すためにt個の受光要素にそれぞれ対応して設けられたt個の第1のスイッチと、t個の第1のスイッチのうち選択された第1のスイッチを介して対応する受光素子の信号を読み出すためにt個の第1のスイッチに対して共通に設けられた1つの第2のスイッチと、を含み、各センサチップは、t本の制御信号線を有し、i(i=1〜t)番目の制御信号線は、k個の単位ブロックのそれぞれのi番目の受光要素であるk個の受光素子に対応するk個の第1のスイッチを共通に制御する制御信号線であり、前記光電変換装置は、m個のセンサチップのそれぞれにおけるn(n=k×t)個の受光要素の信号が共通信号読み出し線を通して読み出されるように構成され、前記駆動方法は、m個のセンサチップのそれぞれのk個の単位ブロックのそれぞれのi番目の受光素子の信号を前記共通信号読み出し線を通して読み出した後に、m個のセンサチップのそれぞれのk個の単位ブロックのそれぞれの(i+1)番目の受光素子の信号を前記共通信号読み出し線を通して読み出す。
本発明によれば、例えば、チップサイズのシュリンクと高速化を同時に実現することができる。
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の実施の形態を説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態としての光電変換装置を構成するイメージセンサチップを配列したマルチチップ型イメージセンサの構成を示し、図2はタイミングチャートを示す図である。
図1において、1−1、1−2、・・・、1−mはそれぞれイメージセンサチップ(以下、センサチップ)であり、各々のセンサチップ1−1〜1−mが接続されて一つのマルチチップ型イメージセンサを構成している。
各センサチップにおいて、2−1−1〜2−1−n、2−2−1〜2−2−n及び2−m−1〜2−m−nは受光要素であり、入力される光信号を電気信号に変換する。
11−1−1〜11−m−nは第1のスイッチとしての第1のMOSスイッチである。3−1−1〜3−m−kは第2のMOSスイッチである。
第2のスイッチとしての第2のMOSスイッチ3はそれぞれt個の第1のMOSスイッチ11に対して一つ配置され、互いに接続されている。
14−1から14−mは選択回路であり、第1のMOSスイッチ11のオンオフを制御する。
4−1−1〜4−1−kは信号読み出しを行うシフトレジスタであり、第2のMOSスイッチ3−1−1〜3−m−kのオンオフを制御する。
4−1−i及び4−1−j〜4−m−i及び4−m−jは読み出しシフトレジスタ4−1−1〜4−1−kへのスタート信号を遅延させるためのプレシフトレジスタである。
5−1〜5−mは制御回路である。制御回路5の動作はプレシフトレジスタからの信号により制御される。
6−1〜6−mは受光要素で発生した電気信号を増幅する信号増幅回路である。信号増幅回路6−1〜6−mは制御回路5−1〜5−mにて動作状態と待機状態とが切り換えられる定電流回路(不図示)を含むものである。
受光要素2で光電変換された信号は、第1のMOSスイッチ11、第2のMOSスイッチ3を介して信号増幅回路6に出力される。
7は各センサチップの信号増幅回路6に接続された信号出力端子、8は入力部としてのスタート信号入力端子である。9はクロック信号入力端子であり、マルチチップ型イメージセンサの外部からクロック信号CLKが入力される。
10−1〜10−mはシフトレジスタ4のp段目(4−1−p、4−2−p、〜4−m−p)から出力された信号をセンサチップ外に出力するEND信号出力端子である。
1番目にある第1のセンサチップとしてのセンサチップのスタート信号入力端子8−1にはマルチチップ型イメージセンサの外部からスタート信号SP1が入力される。
2番目以降に配された、第2のセンサチップとしてのセンサチップのスタート信号入力端子8−2〜8−mにはそれぞれ前段のセンサチップから出力されたEND信号が入力される。
例えば、2番目のセンサチップのスタート信号入力端子8−2には、1番目のセンサチップのEND信号出力端子10−1からEND信号が入力される。
上記のkは一つのセンサチップ1内に配置されたシフトレジスタ4の段数及び第2のMOSスイッチ3の数、nは一つのセンサチップ1内に構成される受光要素2及び第1のMOSスイッチ11の数である。
mはマルチチップ型イメージセンサを構成するセンサチップ1の数である。
また、上記センサチップは、t個の受光要素と、それと同数の第1のMOSスイッチ11と、それが共通に接続した一つの第2のMOSスイッチ3とで構成された単位ブロックをk個含んでいる。
選択回路14は各単位ブロック中のt個の第1MOSスイッチ11から一つを選んでオン状態に制御することで単位ブロックから一つの受光要素2を選択して読み出し動作が可能な状態にするものである。
上記のk、n、m、tの変数を用いて上記の関係を整理すると、一つのセンサチップ1内に構成される受光要素2の数nはn=k×tの関係となる。
また、マルチチップ型イメージセンサにおけるすべての受光要素2の数はm×n個となる。
次に、本発明の第1の実施形態におけるマルチチップ型イメージセンサの読み出し動作について図1及び図2を用いて順を追って説明する。
光蓄積を行った後、クロック信号入力端子9に入力されたクロック信号CLKにて同期をとり、第1番目のセンサチップ1−1に対してスタート信号入力端子8からスタート信号SP1を入力することで読み出し動作を開始する。
このスタート信号SP1は、スタート信号SP1を一定期間遅らせるためのシフトレジスタ4−1−iを介して、次段のシフトレジスタ4−1−jに転送されるとともに制御回路5−1へと出力される。
制御回路5−1は、遅延用のプレシフトレジスタ4−1−iを介して一定期間遅れたスタート信号を受けると、信号増幅回路6−1内の定電流回路を動作状態にする制御信号を出力し信号増幅回路6−1を増幅動作可能な状態にする。
スタート信号は、さらに遅延用のプレシフトレジスタ4−1−jを介してシフトレジスタ4−1−1に入力される。
シフトレジスタ4−1−1がシフトレジスタ4−1−jからの信号を受けると、クロック信号CLKに同期して順次第2のMOSスイッチ3−1−1〜3−1−kを導通状態とする。
このとき選択回路14−1は、期間S−1に、各単位ブロックから一つずつ、合計k個の受光要素2について読み出し動作が可能なように第1のMOSスイッチ11−1−1〜11−1−nのうちk個を導通状態へと制御する。
本実施形態では、例えば第1のMOSスイッチ11−1−1、11−1−(t+1)、・・・11−1−(t×(x−1)+1)のMOSスイッチが選択されているとする。ここでxは1以上k以下の整数である。
これにより、第1のMOSスイッチ11−1−1、・・・11−1−(t×(k−1)+1)及び各第2のMOSスイッチ3−1−1〜3−1−kを介して接続されている受光要素2からの信号が信号増幅回路6−1により増幅される。そして、信号出力端子7に信号出力Voutとして出力される。
上記のマルチチップ型イメージセンサは、図2のタイミングチャートで示すごとく、信号出力Voutは各受光要素2−1−1、2−1−(t+1)、・・・2−m−(t×(k−1)+1)に対応するk×m個の信号を順次出力する。
このように、本実施形態のマルチチップ型イメージセンサは、受光要素2の配列順ではなく選択回路14−1によって選択された受光要素について順に読み出し動作を行うものである。
また、上記センサチップ1−1の一連の読み出し動作中において、シフトレジスタ4−1−pの出力信号が第2MOSスイッチ3−1−pをオンすると同時に、END信号出力端子10−1からEND信号が外部に出力される。
そして、次段のセンサチップ1−2のスタート信号入力端子8−2にスタート信号として入力される。
以下、次段のセンサチップ1−2でも上記したセンサチップ1−1と同様に、信号の読み出し動作及びEND信号の出力が行われる。
このように自身の読み出し動作を行いつつ、所定のタイミングで順次次段のセンサチップのスタート信号入力端子8に前段のEND信号を入力することにより、連続して信号の読み出し動作が実行される。
信号の読み出し動作が最終段のセンサチップ1−mまで実行されると、選択回路14−1〜14−mは、期間S−2に第1のMOSスイッチ11の状態を切り換える。
そして、再度初段のセンサチップ1−1から先ほど読み出した受光要素とは異なる受光要素2に対応する信号の読み出し動作を開始する。
選択回路14における第1のMOSスイッチ11の切り換え制御に関しては、以下にあげる方法で実現可能である。
一つは、選択回路14がセンサチップの外部からのトリガ信号を受けて切り換え制御を行う方法である。もう一つは、マルチチップ型イメージセンサの読み出し期間を予め内蔵カウンタへ記憶しておいて所定のタイミングで内蔵カウンタから選択回路14の切換制御を行う方法である。
本実施形態では、例えば、11−1−2、11−1−(t+2)、・・・、11−1−(t×(x−1)+2)のt個おきの第1のMOSスイッチ11が次に選択されることとする。ここではxは1以上k以下の整数である。
先の読み出し動作と同様に、第1番目のセンサチップ1−1に対してスタート信号入力端子8にスタート信号SP1が入力されることにより、動作が開始される。
このスタート信号SP1を受けて、シフトレジスタ4−1−1〜4−1−kは、クロック信号CLKに同期して順次MOSスイッチ3−1−1〜3−1−kを導通状態とする。
このとき、あらかじめ選択回路14−1によって第1のMOSスイッチ11のうちの、11−1−2、11−1−(t+2)、・・・、11−1−(t×(k−1)+2)が導通状態に設定されている。
そのため、選択された第1のMOSスイッチ11に接続されている受光要素2で光電変換により発生した信号は、第1のMOSスイッチ11、第2のMOSスイッチ3を介して信号増幅回路6−1により増幅される。そして、信号出力端子7に信号出力Voutとして出力される。
上記のように、選択回路による受光要素の切換制御と一連の読み出し動作をt回繰り返すことで、すべての受光要素について読み出し動作を実行する。
上記の本実施形態の動作説明では、初段のセンサチップ1−1のスタート信号入力端子8からスタート信号SP1を入力した場合の動作を一例として示した。
しかし、センサチップ1−1内の内部ロジック回路を介して制御回路5−1とシフトレジスタ4−1−1へスタート信号を入力する構成も一般的に多く実施され、本発明でも適用可能である。
以上説明したように、従来の構成であればマルチチップ型イメージセンサを構成するm個のセンサチップ一つ一つについて読み出し走査をt回繰り返すためt×m回必要であった受光要素を選択する期間を、t回に短縮ができる。そのため、光信号出力の高速読み出しが可能となった。また、高速読み出しとチップサイズの縮小(シュリンク)を両立できるようになった。
(第2の実施形態)
図3は、本発明の第2の実施形態による光電変換装置を構成するイメージセンサチップを配列したマルチチップ型イメージセンサの構成を示し、図4はタイミングチャートを示す図である。
図1及び図2と共通の構成については、同一の番号を付してその説明を省略する。
図3におけるの13−1〜13−mは切換信号入力端子であり、最終段センサチップ1−mのEND信号が入力される。15−1〜15−mは切換信号遅延回路であり、切換信号入力端子13−1〜13−mに入力された信号をある一定期間遅延させた後に選択回路14−1〜14−mへ出力する回路である。
また、図4におけるEND10−mは、最終段チップ1−mのEND信号出力端子10−mから出力されるEND信号である。
以下、本発明の第2の実施形態におけるマルチチップ型イメージセンサの動作について説明する。
本実施形態では、光蓄積した後、クロック信号入力端子9からのクロック信号CLKにより同期をとり、第1番目のセンサチップ1−1に対してスタート信号入力端子8からスタート信号SP1を入力することで、動作が開始される。
スタート信号SP1が入力されると、第1の実施形態と同様にセンサチップの信号読み出し動作が順次行われる。
図4のタイミングチャートで示すように、信号出力Voutは各受光要素2−1−1、2−1−(t+1)、・・・2−m−(t×(k−1)+1)に対応するk×m個の信号が信号増幅回路6によって増幅され順次出力する。
また、最終段センサチップ1−mの信号の読み出し動作中にEND信号出力端子10−mからEND信号の出力が行われる。
上記END信号10−mからのEND信号は、図4におけるEND10−mで示され、受光要素の切換信号としてすべてのセンサチップ1−1〜1−mの切換信号入力端子13−1〜13−mへ入力される。
切換信号入力端子13−1〜13−mへ入力されたEND信号10−mは、END信号10−mが出力されるタイミングからセンサチップ1−mの光信号出力が終了するまでの期間Tdだけ経過するように遅延される。それは、センサチップ1−1〜1−m内の切換信号遅延回路15−1〜15−mによって行われる。その後、センサチップ1−1〜1−m内の選択回路14−1〜14−mへ入力される。
これにより、センサチップ1−mの信号出力期間が終了したタイミングで、先程読み出した受光要素とは異なる受光要素2へ切り換えが行われる。
受光要素2の切り換えに関しては、第1の実施形態と同様の動作が行われる。
例えば、上記読み出し動作の場合は以下のように動作する。
まず、第1のMOSスイッチ11−1−1、11−1−(t+1)、・・・11−1−(t×(x−1)+1)のMOSスイッチがオン状態に制御されて読み出し動作が終了する。そして、今回の切り換え制御によって、第1のMOSスイッチ11−1−2、11−1−(t+2)、・・・、11−1−(t×(x−1)+2)のt個おきの第1MOSスイッチ11がオン状態となるように制御される。ここでは、xは1以上k以下の整数である。
上記の受光要素の切り換え制御の後、第1番目のセンサチップ1−1に対してスタート信号入力端子8からスタート信号SP1が入力されることにより、再度先の読み出し動作と同様の読み出し動作が開始される。
このように、選択回路による受光要素の切り換え制御と信号読み出し動作をt回繰り返すことで、m×n個のすべての受光要素について読み出し動作を実行する。
上記の本実施形態の動作説明では、初段のセンサチップ1−1のスタート信号入力端子8からスタート信号SP1を入力した場合の動作を一例として示した。
しかし、センサチップ1−1内の内部ロジック回路を介して制御回路5−1とシフトレジスタ4−1−1へスタート信号を入力する構成も一般的に多く実施され、本発明でも適用可能である。
また、上記実施形態の動作説明では、すべての受光要素の読み出し走査を行うために、スタート信号入力端子8へスタート信号SP1をt回入力する場合の動作を一例として示したが、本発明はこれに限らない。
例えば、センサチップ1−1内の選択回路14−1において、切換信号入力端子13−1から受光要素の切換信号を受けた場合に制御回路5−1とシフトレジスタ4−1−1へスタート信号を自動発生させる構成でもかまわない。
上記の動作の場合、スタート信号入力端子8へのスタート信号SP1は、1回の入力信号ですべての受光要素2−1−1〜2−m−nの読み出し走査が可能である。
以上説明したように、従来の構成であればマルチチップ型イメージセンサを構成するm個のセンサチップ一つ一つについて読み出し走査をt回繰り返すためt×m回必要であった受光要素を選択する期間をt回に短縮ができる。そのため、光信号出力の高速読み出しが可能となった。また、高速読み出しとチップサイズの縮小(シュリンク)を両立できるようになった。
また、本実施形態では、受光要素の切換制御のタイミングに最終段センサチップのEND信号を使用しているため、第1の実施形態のような内蔵カウンタや外部からの切換信号を必要としない。したがって、より簡略化した構成でマルチチップ型イメージセンサを実現できる。
(第3の実施形態)
図5は本発明の第3の実施形態による光電変換装置を構成するイメージセンサチップを配列したマルチチップ型イメージセンサの構成を示し、図6はタイミングチャートを示す図である。
図5において、1−1、1−2、・・・・1−mはそれぞれイメージセンサチップ(以下、センサチップ)であり、図1と同一部分には同一番号が付されている。
本実施形態のマルチチップ型イメージセンサの構成では、最終段センサチップ1−mのEND信号を第1番目センサチップ1−1のスタート信号入力端子8−1へ出力するように接続されている。
以下、本発明の第3の実施形態におけるマルチチップ型イメージセンサの動作について順を追って説明する。
本実施形態では、光蓄積の後、クロック信号入力端子9からのクロック信号CLKで同期を取り、第1番目のセンサチップ1−1に対してスタート信号入力端子8からスタート信号SP1を入力することで動作が開始する。
スタート信号SP1が入力されると、第1の実施形態の動作と同様に、センサチップ1−1の信号読み出し動作が順次行われる。
センサチップ1−1の読み出し動作が終了すると、センサチップ1−1内のシフトレジスタ4−1−kから読み出し走査終了の信号が選択回路14−1へ出力される。
選択回路14−1は、次回の読み出し動作を行うk個の受光要素を選択するために、第2のMOSスイッチ11−1−1〜11−1−mのオンオフ制御を切り換える。
受光要素2の切り換えに関しては第1の実施形態と同様の動作が行われる。
例としては、以下のようである。第1のMOSスイッチ11−1−1、11−1−(t+1)、・・・11−1−(t×(x−1)+1)のMOSスイッチがオン状態に制御されて読み出し動作が終了したとする。切り換え制御によって第1のMOSスイッチ11−1−2、11−1−(t+2)、・・・、11−1−(t×(x−1)+2)のt個おきの第1MOSスイッチ11がオン状態となるように制御される。ここではxは1以上k以下の整数である。
また、上記センサチップ1−1の一連の読み出し動作中においてシフトレジスタ4−1−pの出力信号がMOSスイッチ3−1−pをオンすると同時に、END信号出力端子10−1からEND信号が外部に出力される。
そして、次段のセンサチップ1−2のスタート信号入力端子8−2にスタート信号として入力される。
第2番目以降のセンサチップについても、上記したセンサチップ1−1と同様の動作が順次行われ、すべてのセンサチップに対して信号読み出し動作と受光要素の切り換え制御が順に実行されていく。
図6におけるEND10−mは、最終段センサチップ1−mのEND信号を示している。
最終段センサチップ1−mにおいて信号読み出し動作が開始されシフトレジスタの4−m−p段目の読み出しが行われる。これと同時に、2回目の読み出し走査を開始するための信号としてEND信号10−mがセンサチップ1−1のスタート信号入力端子8−1へ入力される。
上記のEND信号10−mが第1番目のセンサチップ1−1のスタート信号入力端子8−1に入力されると、先の読み出し動作と同様に2回目の読み出し走査が開始される。
このように、一連の信号読み出し動作と選択回路による受光要素の切り換え制御とをt回繰り返すことで、m×n個のすべての受光要素について読み出し動作を実行する。
ただし、本実施の形態においては、センサチップ1−1〜1−mのおのおのが読み出し走査を終了した後すぐに自身の受光要素の切り換え制御を行っている。
したがって、次回の読み出し動作開始前に受光要素の切り換えのための期間を設ける必要がない。そのため、信号出力Voutの2回目以降の読み出し走査について信号出力Vout中のブランクの期間(図2の期間S−2に相当する期間)を短縮することができる。
上記の本実施の形態の動作説明では、初段のセンサチップ1−1のスタート信号入力端子8からスタート信号SP1を入力した場合の動作を一例として示した。
しかし、センサチップ1−1内の内部ロジック回路を介して制御回路5−1とシフトレジスタ4−1−1へスタート信号を入力する構成も一般的に多く実施され、本発明でも適用可能である。
また、上記の説明では、最終段のセンサチップ1−mのEND信号出力端子10−mから出力される信号がセンサチップ1−1のスタート信号入力端子8−1へ直接入力される場合について説明しているが、本発明はこれに限らない。センサチップ1−1のスタート信号入力端子8−1へ接続する端子をマルチチップ型イメージセンサのスタート信号入力端子8とセンサチップ1−mのEND信号出力端子10−mとで切換可能なスイッチを設ける構成でもかまわない。
以上説明したように、従来の構成であればマルチチップ型イメージセンサを構成するm個のセンサチップ一つ一つについて読み出し走査をt回繰り返すためt×m回必要であった受光要素を選択する期間を最初の1回に短縮ができる。
したがって、光信号出力の高速読み出しとチップサイズの縮小(シュリンク)を両立できる。
また、受光要素の切換制御のタイミングに最終段チップのEND信号を使用しているため、マルチチップ型イメージセンサを構成するセンサチップの配列数が変更可能である。
本発明は、光電変換によりイメージ読取りを行うイメージセンサチップを配列したマルチチップ型の光電変換装置に適用可能である。
本発明の第1の実施形態としての光電変換装置を構成するイメージセンサチップを複数配列したマルチチップ型イメージセンサの構成を示す図である。 本発明の第1の実施形態としての光電変換装置の動作を説明するためのタイミングチャートである。 本発明の第2の実施形態としての光電変換装置を構成するイメージセンサチップを複数配列したマルチチップ型イメージセンサの構成を示す図である。 本発明の第2の実施形態としての光電変換装置の動作を説明するためのタイミングチャートである。 本発明の第3の実施形態としての光電変換装置を構成するイメージセンサチップを複数配列したマルチチップ型イメージセンサの構成を示す図である。 本発明の第3の実施形態としての光電変換装置の動作を説明するためのタイミングチャートである。
符号の説明
1−1〜1−m イメージセンサチップ
2−1−1〜2−m−n 受光要素
3−1−1〜3−m−n 第2のMOSスイッチ
4−1−1〜4−m−n シフトレジスタ
5−1〜5−m 制御回路
6−1〜6−m 信号増幅回路
7 信号出力端子
8−1〜8−m スタート信号入力端子
9 クロック信号入力端子
10−1〜10−m END信号出力端子
11−1−1〜11−m−n 第1のMOSスイッチ
13−1〜13−m 切換信号入力端子
14−1〜14−m 選択回路
15−1〜15−m 切換信号遅延回路

Claims (6)

  1. 光電変換装置の駆動方法であって、
    前記光電変換装置は、m個のセンサチップを有し、各センサチップがk個の単位ブロックを有し、
    各単位ブロックは、t個の受光要素と、t個の受光要素の信号を読み出すためにt個の受光要素にそれぞれ対応して設けられたt個の第1のスイッチと、t個の第1のスイッチのうち選択された第1のスイッチを介して対応する受光素子の信号を読み出すためにt個の第1のスイッチに対して共通に設けられた1つの第2のスイッチと、を含み、
    各センサチップは、t本の制御信号線を有し、i(i=1〜t)番目の制御信号線は、k個の単位ブロックのそれぞれのi番目の受光要素であるk個の受光素子に対応するk個の第1のスイッチを共通に制御する制御信号線であり、
    前記光電変換装置は、m個のセンサチップのそれぞれにおけるn(n=k×t)個の受光要素の信号が共通信号読み出し線を通して読み出されるように構成され、
    前記駆動方法は、
    m個のセンサチップのそれぞれのk個の単位ブロックのそれぞれのi番目の受光素子の信号を前記共通信号読み出し線を通して読み出した後に、m個のセンサチップのそれぞれのk個の単位ブロックのそれぞれの(i+1)番目の受光素子の信号を前記共通信号読み出し線を通して読み出す、ことを特徴とする光電変換装置の駆動方法。
  2. m個のセンサチップは、第1のセンサチップと前記第1のセンサチップの次段に配される第2のセンサチップとを有し、前記第2のセンサチップの単位ブロックに含まれる受光要素の信号読み出し、前記第1のセンサチップからの読み出しスタート信号に基づいて行うことを特徴とする請求項1記載の光電変換装置の駆動方法。
  3. m個のセンサチップのう初段のセンサチップの1つの単位ブロックに含まれる1つの受光要素の信号を読み出した後に、当該単位ブロックに含まれる受光要素のうち信号が読み出されていない受光要素の信号を読み出す際の読み出し、最終段のセンサチップからの読み出しスタート信号に基づいて開始することを特徴とする請求項1又は2記載の光電変換装置の駆動方法。
  4. m個のセンサチップのそれぞれ信号読み出しを開始するための信号が入力される入力部を有し、初段のセンサチップの前記入力部に、m個のセンサチップのうち最終段のセンサチップから出力される信号が入力されることを特徴とする請求項1又は2記載の光電変換装置の駆動方法
  5. 前記最終段のセンサチップからの出力信号が、当該最終段のセンサチップを除く全てのセンサチップに入力され、m個のセンサチップは、当該出力信号を遅延させるための遅延回路を有し、t本の制御信号線が前記遅延回路の出力に基づいて選択されることを特徴とする請求項4記載の光電変換装置の駆動方法
  6. 前記信号読み出し線を駆動する読み出し回路を備えることを特徴とする請求項4又は5記載の光電変換装置の駆動方法
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