JP5014382B2 - 光波距離計 - Google Patents

光波距離計 Download PDF

Info

Publication number
JP5014382B2
JP5014382B2 JP2009144488A JP2009144488A JP5014382B2 JP 5014382 B2 JP5014382 B2 JP 5014382B2 JP 2009144488 A JP2009144488 A JP 2009144488A JP 2009144488 A JP2009144488 A JP 2009144488A JP 5014382 B2 JP5014382 B2 JP 5014382B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
frequency
receiving element
light receiving
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2009144488A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011002302A (ja
Inventor
康俊 青木
Original Assignee
株式会社 ソキア・トプコン
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社 ソキア・トプコン filed Critical 株式会社 ソキア・トプコン
Priority to JP2009144488A priority Critical patent/JP5014382B2/ja
Priority to DE112010002587.8T priority patent/DE112010002587B4/de
Priority to PCT/JP2010/054586 priority patent/WO2010146906A1/ja
Priority to US13/258,744 priority patent/US8570494B2/en
Priority to CN2010800103243A priority patent/CN102341726B/zh
Publication of JP2011002302A publication Critical patent/JP2011002302A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5014382B2 publication Critical patent/JP5014382B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/08Systems determining position data of a target for measuring distance only
    • G01S17/32Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated
    • G01S17/36Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated with phase comparison between the received signal and the contemporaneously transmitted signal

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Description

本発明は、光波距離計に関し、さらに詳細には、発光素子から出射した光を測距光路(外部光路)と参照光路(内部光路)とに切換えるシャッターを省いた光波距離計に関する。
従来の光波距離計では、発光素子から出射した光をシャッターを移動させることによって、目標反射物(ターゲット、反射シート又はノンプリズムの物体)まで往復する測距光路と、光源から直ちに受光素子へ向かう参照光路とに交互に切換えて距離測定することによって、光波距離計の固有な誤差を補正していた。しかしながら、シャッターの移動を伴うため、距離測定に時間にかかるうえ、低温で動きが遅くなるという短所があった。そこで、測距光路と参照光路とに切換えるシャッターを用いない光波距離計が望まれていた。
このようなシャッターを用いない光波距離計としては、下記特許文献1に開示されたようなものが知られている。図9に、この光波距離計のブロック図を示す。
この光波距離計は、2つの発光素子1P、2Pを備える。発光素子1Pから出射された光30Pは、ビームスプリッタ3Pで2つに分けられ、一方は、測距光32Pとして目標反射物60Pまで往復する測距光路を経て受光素子5Pに入射し、他方は、参照光33Pとして光波距離計内部の参照光路を経て受光素子4Pに入射する。発光素子2Pから出射された光31Pは、参照光となり、ビームスプリッタ6Pで2つに分けられ、一方34Pは受光素子4Pに入射し、他方35Pは受光素子5Pに入射する。なお、受光素子4Pの手前には光を拡散させるデヒューザ51Pが配置されており、受光素子5Pの手前には光を散乱させるスキャッター11Pが配置されている。
発光素子1Pは、増幅器23Pを介してシンセサイザー21Pに接続されていて、周波数fで変調された光を出射する。発光素子2Pは、増幅器24Pを介してシンセサイザー22Pに接続されていて、周波数fで変調された光を出射する。両シンセサイザー21P、22Pは、共通の発振器20Pに接続されている。
受光素子4Pは増幅器9Pを介して周波数変換器7Pに接続されており、受光素子5Pは増幅器10Pを介して周波数変換器8Pに接続されている。両周波数変換器7P、8Pには局部発振器12Pから周波数fLOの局部発振信号が加えられている。両周波数変換器7P、8Pは、受光素子4P、5Pからの出力信号と局部発振信号の差に等しい周波数の中間周波信号fZF1、fZF2に変換される。
周波数変換器7Pに接続されたフィルタ13Pは、周波数fとfLOの差の周波数fZF1のみ通すようになっており、周波数fで変調された参照光33Pに係る中間周波信号、すなわち参照距離Dに係る中間周波信号のみを選別する。周波数変換器8Pに接続されたフィルタ14Pは、fとfLOの差の周波数fZF2のみを通すようになっており、周波数f2で変調された参照光35Pに係る中間周波信号、すなわち参照距離D+Dに係る中間周波信号のみを選別する。
次に、発光素子1Pから周波数fで変調された光を出射し、発光素子2Pから周波数f1で変調された光を出射するように、それぞれの変調周波数を変更する。すると、周波数変換器7Pに接続されたフィルタ13Pは、周波数fとfLOの差の周波数fZF1のみを通すようになっているから、周波数fで変調された参照光34Pに係る中間周波信号、すなわち参照距離Dに係る中間周波信号のみを選別する。周波数変換器8Pに接続されたフィルタ14Pは、周波数fとfLOの差の周波数fZF2のみを通すようになっており、周波数f2で変調された測距光32Pに係る中間周波信号、すなわち測距距離Dに係る中間周波信号のみを選別する。
こうして、両発光素子1P、2Pから出射する光の変調周波数f、fを交互に変えることにより、測距距離Dに係る中間周波信号、参照距離D、D、D+Dに係る各中間周波信号の合わせて4つの中間周波信号が得られる。
フィルタ13Pは、増幅器15Pを介してA/D変換器17Pに接続されている。フィルタ14Pは、増幅器16Pを介してA/D変換器18Pに接続されている。両A/D変換器17P、18Pは、デジタルフーリエ変換器19Pに接続されている。これで、4つの中間周波信号の初期位相を求めることにより、光波距離計に固有な誤差分を補正して、測定対象60Pまでの精確な距離を求めることができる。
特開2001−255369号公報
前記特許文献1に開示された光波距離計では、両発光素子1P、2Pから出射する光の変調周波数f、fを交互に切換えることが必要であるため、一度に4つの中間周波信号を得ることができず、なお距離測定に時間がかかるうえ、各中間周波信号を得た時刻の相違により、発光素子1P、2Pや受光素子4P、5P等の電気部品による温度位相ドリフトによっても誤差が出るという問題があった。
本発明は、前記問題に鑑みてなされたものであって、距離測定に要する時間を短縮するとともに、電気部品の温度位相ドリフトを低減させた光波距離計を提供することを課題とする。
前記課題を解決するため、請求項1に係る発明の光波距離計は、複数の主変調周波数(例えば、F、F)で変調された光を出射する第1の発光素子と、前記各主変調周波数それぞれに近接した複数の傍変調周波数(例えば、F−Δf、F−Δf)で変調された光を出射する第2の発光素子と、両発光素子から出射された光を受光する第1の受光素子及び第2の受光素子と、第1の受光素子に接続された第1の周波数変換器群と、第2の受光素子に接続された第2の周波数変換器群とを備え、第1の発光素子から出射された光は2つに分けられ、一方は測距光として目標反射物までを往復する測距光路を経て第1の受光素子に入射し、他方は参照光として第1の参照光路を経て第2の受光素子に入射し、第2の発光素子から出射された光は2つに分けられ、一方は参照光として第2の参照光路を経て第2の受光素子に入射し、他方は参照光として第3の参照光路を経て第1の受光素子に入射し、前記第1の周波数変換器群及び前記第2の周波数変換器群は、それぞれ、前記主変調周波数と同数の周波数変換器から構成され、各周波数変換器にはそれぞれ異なる周波数の局部発振信号が入力され、該局部発振信号の周波数は、それぞれ、各主変調周波数と各主変調周波数に近接した各傍変調周波数との両方に近接した周波数(例えば、F+Δf、F+Δf)とされ、前記各周波数変換器で発生させた中間周波信号を用いて目標反射物までの距離を算出するように構成されている。
請求項2に係る発明では、請求項1に係る発明の光波距離計において、前記各中間周波信号の周波数は、最も低いものに対して整数倍になっており、前記各中間周波信号はデジタル帯域フィルタによって分離されるように構成される。
請求項1に係る発明の光波距離計によれば、測距光と参照光とを切換えるのに、シャッターを使うことなく、また変調周波数を切換えることもなく、測距光路と参照光路に係る各中間周波信号の初期位相が同時に求まるため、従来よりも高速に距離測定を行うことができる。また、シャッターを省くことによるコストダウンが可能になる。さらに、本発明によれば、測距距離と参照距離の同時測定が可能になるため、温度位相ドリフトが打ち消し合って、電気部品の温度位相ドリフトを低減できる。このため、従来は、電気部品の温度位相ドリフトを少なくするため、連続測距中の発光素子を電源ONに保っていたが、本発明では測距毎に発光素子の電源をON/OFFすることが可能となって、節電を図ることができる。
請求項2に係る発明によれば、さらに、各中間周波信号の周波数は、最も低いものに対して整数倍になっており、前記各中間周波信号はデジタル帯域フィルタによって分離されるから、4つの周波数を確実に分離して、測定精度を上げることができる。
本発明の一実施例に係る光波距離計の主要部のブロック図である。 前記光波距離計の詳細なブロック図である。 前記光波距離計の主変調周波数、傍変調周波数、局部発振周波数及び中間周波数の例を示す表である。 本発明の第2の実施例に係る光波距離計のブロック図である。 本発明の第3の実施例に係る光波距離計のブロック図である。 本発明の第4の実施例に係る光波距離計のブロック図である。 前記第4の実施例に係る光波距離計によって、遠距離測定が可能なる理由を説明する図である。 本発明の第5の実施例に係る光波距離計のブロック図である。 従来の光波距離計のブロック図である。
以下に図1〜図3に基づいて、本発明の光波距離計の一実施例について詳細に説明する。
まず、この光波距離計の主要部について、図1に基づいて説明する。この光波距離計は、レーザダイオード等の発光素子13、14を2つ備え、第1の発光素子13からは周波数F及びF(以下、主変調周波数と呼ぶ。)で変調された光を出射し、第2の発光素子14からは、主変調周波数F及びFそれぞれに近接した周波数F−Δf及びF−Δf(以下、傍変調周波数と呼ぶ。)で変調された光を出射する。第1の発光素子13から出射された光は、2つに分けられ、一方は測距光として、目標反射物22までを往復する測距光路23を経て第1の受光素子40に入射し、他方は参照光として、第1の参照光路26を経て第2の受光素子48に入射する。第2の発光素子14から出射された光は、2つに分けられ、一方は参照光として、第2の参照光路31を経て第2の受光素子48に入射し、他方は参照光として、第3の参照光路29を経て第1の受光素子40に入射する。
第1の受光素子40は第1の周波数変換群42、44に接続され、第2の受光素子48は第2の周波数変換群50、52に接続される。すなわち、第1の受光素子40の出力は主変調周波数F及びFの個数と同数の2つに分けられ、一方は第1の周波数変換器42に入力され、他方は第2の周波数変換器44に入力される。第2の受光素子48の出力も主変調周波数F及びFの個数と同数の2つに分けられ、一方は第3の周波数変換器50に入力され、他方は第4の周波数変換器52に入力される。
第1の周波数変換器42は、主変調周波数Fで変調されて測距光路23を経た測距光から得られた信号に、前述した主変調周波数F及び傍変調周波数F−Δfそれぞれと近接した周波数F+Δfの局部発振信号を乗算して、周波数Δfの中間周波信号を発生させる。また、第1の周波数変換器42は、傍変調周波数F−Δfで変調されて第3の参照光路29を経た参照光から得られた信号に周波数F+Δfの局部発振信号を乗算して、周波数2Δfの中間周波信号を発生させる。
第2の周波数変換器44は、主変調周波数Fで変調されて測距光路23を経た測距光から得られた信号に、前述した主変調周波数F及び傍変調周波数F−Δfそれぞれと近接した周波数F+Δfの局部発振信号を乗算して、周波数Δfの中間周波信号を発生させる。また、第2の周波数変換器44は、傍変調周波数F−Δfで変調されて第3の参照光路29を経た参照光から得られた信号に周波数F+Δfの局部発振信号を乗算して、周波数2Δfの中間周波信号を発生させる。
第3の周波数変換器50は、主変調周波数Fで変調されて第1の参照光路26を経た参照光から得られた信号に周波数F+Δfの局部発振信号を乗算して、周波数Δfの中間周波信号を発生させる。また、第3の周波数変換器50は、傍変調周波数F−Δfで変調されて第2の参照光路31を経た参照光から得られた信号に周波数F+Δfの局部発振信号を乗算して、周波数2Δfの中間周波信号を発生させる。
第4の周波数変換器52は、主変調周波数Fで変調されて第1の参照光路26を経た参照光から得られた信号に周波数F+Δfの局部発振信号を乗算して、周波数Δfの中間周波信号を発生させる。また、第4の周波数変換器52は、傍変調周波数F−Δfで変調されて第2の参照光路31を経た参照光から得られた信号に周波数F+Δfの局部発振信号を乗算して、周波数2Δfの中間周波信号を発生させる。
こうして同時に、測距光路23に係る周波数Δf及びΔfの中間周波信号、第1の参照光路26に係る周波数Δf及びΔfの中間周波信号、第2の参照光路31に係る周波数2Δf及び2Δfの中間周波信号、第3の参照光路29に係る周波数2Δf及び2Δfの中間周波信号の合わせて8つの中間周波信号が一度に得られる。8つの中間周波信号をフィルタやフーリエ変換器等の適当な手段で分離し、各中間周波信号の初期位相を求めれば、ターゲット22までの距離が光波距離計内部で発生する誤差を補正して算出される。
この光波距離計について、図2のブロック図に基づいて、さらに詳細に説明する。
まず、発振器1で主変調周波数Fの信号を発生させる。この主変調周波数Fの信号は、分周部2に入力されるとともに、PLL9,10を介して、発振器5、11に入力される。PLL9、10は、発振器5、11を傍変調周波数F−Δf、局部発振周波数F+Δfで正確に発振させるために使用する。
分周部2は、主変調周波数Fの信号を分周して、主変調周波数F2の信号を発生する。この主変調周波数F2及びFの信号とは、周波数重畳回路3を経て駆動回路4へ入力される。第1の発光素子13は、駆動回路4によって駆動され、主変調周波数F及びFで変調された光を出射する。
発振器5は、傍変調周波数F−Δfの信号を発生する。この傍変調周波数F−Δfの信号は、さらに分周部6で周波数を分周されて、傍変調周波数F−Δfの信号となる。傍変調周波数F−Δf及びF−Δfの信号とは、周波数重畳回路7を経て駆動回路8へ入力される。第2の発光素子14は、駆動回路8によって駆動され、傍変調周波数F−Δf及びF−Δfで変調された光を出射する。
発振器11は、周波数F+Δfの局部発振信号を発生する。この周波数F+Δfの局部発振信号からは、周波数生成回路12で周波数F+Δfの局部発振信号も生成される。これらの周波数F+Δf、F+Δfの局部発振信号は、後述するように、周波数変換器42、44、50、52へ入力される。
第1の発光素子13から出射された光は、ビームスプリッタ20で2つに分けられ、一方は図示しない送光光学系から測距光として出射され、目標反射物22までを往復する測距光路23を経て第1の受光素子40に入射し、他方は参照光として、第1の参照光路26を経て第2の受光素子48に入射する。測距光路23には、受光素子40の前に、光量調整用の濃度フィルタ24と受光光学系25が配置されている。第1の参照光路26にも、受光素子48の前に光量調整用の濃度フィルタ27が配置されている。
第2の発光素子14から出射された光は、ビームスプリッタ28で2つに分けられ、一方は参照光として、第2の参照光路31を経て第2の受光素子48に入射し、他方は参照光として、第3の参照光路29を経て第1の受光素子40に入射する。第2の参照光路31にも、受光素子48の前に光量調整用の濃度フィルタ32が配置されており、第3の参照光路29にも、受光素子40の前に光量調整用の濃度フィルタ30が配置されている。
第1の受光素子40の出力は、増幅器41を経て2つに分けられ、一方は第1の周波数変換器42に入力され、他方は第2の周波数変換器44に入力される。第2の受光素子48の出力も、増幅器49を経て2つに分けられ、一方は第3の周波数変換器50に入力され、他方は第4の周波数変換器52に入力される。
第1〜第4の各周波数変換器42、44、50、52から、合計8つの中間周波信号が得られることは、前述したとおりである。各周波数変換器42、44、50、52から出力された中間周波信号は、それぞれ、低域フィルタ43、45、51、53によって高周波成分が除去される。
低域フィルタ43及び低域フィルタ45の出力は、加算器46で加算された後にA/D変換器47に入力される。すなわち、A/D変換器47には、測距光路23に係る周波数Δf及びΔfの2つの中間周波信号と、第3の参照光路29に係る周波数2Δf、2Δfの2つの中間周波信号が入力される。これらの中間周波信号は、A/D変換された後に、図示しないデジタル帯域フィルタによって分離され、さらに各中間周波信号の初期位相及び振幅が求められる。
低域フィルタ51及び低域フィルタ53の出力は、加算器54で加算された後にA/D変換器55に入力される。すなわち、A/D変換器55には、第1の参照光路26に係る周波数Δf、Δfの2つの中間周波信号と、第2の参照光路31に係る周波数2Δf、及び2Δfの2つの中間周波信号が入力される。これらの中間周波信号は、A/D変換された後に、図示しないデジタル帯域フィルタによって分離され、さらに各中間周波信号の初期位相及び振幅が求められる。
8つの中間周波信号の初期位相が求まると、目標反射物22までの距離が光波距離計内部で発生する誤差を補正して算出される。また、各中間周波信号の振幅も求まると、これらの振幅は各濃度フィルタ24、27、30、32による光量調節に利用される。
ところで、中間周波信号に関しては、周波数Δfの整数倍が周波数2Δf、Δf、2Δfとなっている。これにより、デジタル帯域フィルタによって確実に4つの周波数を分離することができる。また、各中間周波信号は、A/D変換器47、55に入力するとき、1信号だけのときの1/4の信号レベルにする。これは、4信号が合成されたとき、入力レベルが飽和しないようにするためである。もちろん、A/D変換器47、55への入力レベルが飽和しなければ、各中間周波信号レベルを1信号だけのときの1/4以上の信号レベルにしてもよい。
本実施例によれば、測距光と参照光とを切換えるのに、シャッターを使うことなく、また周波数を切換えることもなく、測距光路と参照光路に係る各中間周波信号の初期位相が同時に求まるため、従来よりも高速に距離測定を行うことができる。また、シャッターを省くことによるコストダウンが可能になる。さらに、従来は、温度位相ドリフトを少なくするため、連続測距中の発光素子を電源ONに保っていた。しかし、本実施例によれば、測距光路と参照光路の同時測距が可能になるため、温度位相ドリフトが打ち消し合うので、測距毎に発光素子の電源をON/OFFでき、節電を図ることができる。
ここで、温度位相ドリフトが打ち消し合う理由について説明する。温度位相ドリフトは、周波数F及びFの両方で起きるが、同じ理由であるから、ここでは周波数Fについて説明する。第1の発光素子13に印加される電気信号の周波数をF=(1+0)F1、第2の発光素子14に印加される電気信号の周波数をF−Δf=(1+b)F、受光素子40、48に接続された周波数変換器42、50に印加される局部発振周波数Flo=(1+a)Fとし、かつ、a>0>bの条件で考える。
受光素子40の出力の波形yは、次式のようになる。
=ypd1,ld1cos{2πFt+ψld1(F)+ψpd1(F)−2πF(2D/c)}
+ypd1,ld2cos{2π(1+b)Ft+ψld2((1+b)F)+ψpd1((1+b)F)−2π(1+b)F(2D/c)} (1)
受光素子48の出力の波形yは、次式のようになる。
=ypd2,ld1cos{2πFt+ψld1(F)+ψpd2(F)−2πF(2D/c)}
+ypd2,ld2cos{2π(1+b)Ft+ψld2((1+b)F)+ψpd2((1+b)F)−2π(1+b)F(2D/c)} (2)
ただし、各記号は、次のように定義される。
pd1,ld1:第1の発光素子13と第1の受光素子40間の信号の振幅
pd1,ld2:第2の発光素子14と第1の受光素子40間の信号の振幅
pd2,ld1:第1の発光素子13と第2の受光素子48間の信号の振幅
pd2,ld2:第2の発光素子14と第2の受光素子48間の信号の振幅
ψld1:第1の発光素子13の温度位相ドリフト
ψld2:第2の発光素子14の温度位相ドリフト
ψpd1:第1の受光素子40の温度位相ドリフト
ψpd2:第2の受光素子48の温度位相ドリフト
2D:光波距離計から目標反射物までの往復距離
2D:第1の参照光路26の光路長
2D:第2の参照光路31の光路長
2D:第3の参照光路29の光路長
c:光速
次に、周波数変換器42、50に入力される局部発振信号の波形yは、局部発振信号の振幅をylo、局部発振信号の初期位相をφとすると、次式のようになる。
=ylocos{2π(1+a)Ft+φ} (3)
周波数変換器42、50に接続された低域フィルタ43、51からの出力波形y、yは、それぞれy×y、y×yに低域フィルタ43、51の温度位相ドリフトψf1、ψf2を加えて、次式のようになる。
=(ypd1,ld1lo/2)cos{2πaFt−ψld1(F)−ψpd1(F)+ψf1(aF)+2πF(2D/c)+φ}
+(ypd1,ld2lo/2)cos{2π(a−b)Ft−ψld2((1+b)F)−ψpd1((1+b)F)+ψf1((a−b)F)+2π(1+b)F(2D/c)+φ} (4)
=(ypd2,ld1lo/2)cos{2πaFt−ψld1(F)−ψpd2(F)+ψf2(aF)+2πF(2D/c)+φ}
+(ypd2,ld2lo/2)cos{2π(a−b)Ft−ψld2((1+b)F)−ψpd2((1+b)F)+ψf2((a−b)F)+2π(1+b)F(2D/c)+φ} (5)
測距値dは、中間周波信号の初期位相をθとすると、d=θc/(2πF)と求まるから(ただし、Fは変調周波数)、測距光路23に係るyの第1項の位相成分から求まる測距値をd、第3の参照光絽29に係るyの第2項の位相成分から求まる測距値をd、第1の参照光絽26に係るyの第1項の位相成分から求まる測距値をd、第2の参照光絽31に係るyの第2項の位相成分から求まる測距値をdとすると、d、d、d、dは、それぞれ次のように求まる。但し、F1=75MHzとする。
=2D+{4/(2π)}{−ψld1(F)−ψpd1(F)+ψf1(aF)+φ}
=2D+{4/(2π(1+b)){−ψld2((1+b)F)−ψpd1((1+b)F)+ψf1((a−b)F)+φ}
=2D+{4/(2π)}{−ψld1(F)−ψpd2(F)+ψf2(aF)+φ}
=2D+{4/(2π(1+b))}{−ψld2((1+b)F)−ψpd2((1+b)F)+ψf2((a−b)F)+φ} (6)
測距値d、d、d、dを次のように加減算を行う。
(d−d)−(d−d)=d−d+d−d
=2D−2D+2D−2D
+{4/(2π)}{ψPd2(F)−ψpd1(F)−ψf2(aF)+ψf1(aF)}
−{4/(2π(1+b))}{ψPd2((1+b)F)−ψpd1((1+b)F)−ψf2((a−b)F)+ψf1((a−b)F)} (7)
ここで、各周波数F、F−Δf、Floは近接しているので、次のように近似する。
{4/(2π)}{ψPd2(F)≒{4/(2π(1+b))}{ψPd2((1+b)F)} (8)
{4/(2π)}{−ψPd1(F)≒{4/(2π(1+b))}{−ψPd1((1+b)F)} (9)
すると、(7)式は、次式のように書ける。
(d−d)−(d−d)≒2D−2D+2D−2D
+[{4/(2π)}{ψf1(aF)}−{4/(2π(1+b))}{ψf1((a−b)F)}]
−[{4/(2π)}{ψf2(aF)}−{4/(2π(1+b))}{ψf2((a−b)F)}] (10)
(10)式からは、発光素子13、14の温度位相ドリフトψld1、ψld2、受光素子40、48の温度位相ドリフトψPd1、ψPd2が無くなっているうえ、(10)式の第2行及び第3行では、それぞれ前後の項が打ち消し合い、さらに(10)式の第2行と第3行も打ち消し合うことから、低域フィルタ43、51の温度位相ドリフトψf1、ψf2も低減されていることが分かる。
また、低域フィルタ43、51の温度位相ドリフト低減効果を奏するためには、a>0>bの他に、a>b>0、b>0>a、0>b>aの条件でもよいことも分かる。このような条件を持たす周波数の例を図3に示す。なお、b>a>0、0>a>bの場合は、温度位相ドリフト低減効果は少ない。
ここで、本実施例のデジタル帯域フィルタの原理についても、簡単に説明する。周期関数yは、定数項を省略すると、次式のようなフーリエ級数で表すことができる。
y=asinωt+asin2ωt+asin3ωt+・・・・+asin(nωt)+・・・・・
+bcosωt+bcos2ωt+bcos3ωt+・・・・bcos(nωt)+・・・・ (11)
ただし、a=(1/π)∫ 2πysin(nωt)dt (12)
=(1/π)∫ 2πycos(nωt)dt (13)
前記(12)式及び(13)式から、周期関数yに対して基本波(最も周波数が低いもの)asinωt+bcosωtと同じ周期のsin波を乗じたものを基本波の1周期にわたって積分するとaが求まり、周期関数yに対して基本波のn倍波のsin波を乗じたものを基本波の1周期にわたって積分するとaが求まる。また、周期関数yに対して基本波asinωt+bcosωtと同じ周期のcos波を乗じたものを基本波の1周期にわたって積分するとbが求まり、周期関数yに対して基本波のn倍波のcos波を乗じたものを基本波の1周期にわたって積分するとbが求まる。これから、n倍波(n=1の場合は基本波)の振幅Anと初期位相φnは次式から求まる。
An=√(a +b ) (14)
φn=tan−1(b/a) (15)
前記実施例において、各中間周波信号の周波数は、最も低いものがΔfで、その他のものはΔfの整数倍で2Δf、Δf、2Δfとなっている。したがって、4つの中間周波信号を加算した全中間周波信号は、周波数Δfを基本波asinωt+bcosωtとする周期関数yとなり、前記(11)〜(13)式で表すことができる。
そこで、4つの中間周波信号を加算した全中間周波信号yを基本波の1周期について適宜回数(例えば320回)サンプリングして基本波と同じ周期のsin波を乗じたものを合計するとaが求まる。全中間周波信号yを基本波の1周期について適宜回数サンプリングして基本波と同じ周期のcos波を乗じたものを合計するとbが求まる。これから、(14)式及び(15)式を用いると、周波数Δfの中間周波信号の振幅Aと初期位相φが求まる。
次に、全中間周波信号yを基本波の1周期について適宜回数サンプリングして基本波の2倍波のsin波を乗じたものを合計するとaが求まる。全中間周波信号yを基本波の1周期について適宜回数サンプリングして基本波の2倍波のcos波を乗じたものを合計すると、bが求まる。これから、(14)式及び(15)式を用いると、周波数2Δfで2倍波である中間周波信号の振幅Aと初期位相φが求まる。
以下同様に、全中間周波信号yを基本波の1周期について適宜回数サンプリングして基本波のn倍波のsin波を乗じたものを合計するとaが求まる。全中間周波信号yを基本波の1周期について適宜回数サンプリングして基本波のn倍波のcos波を乗じたものを合計するとbが求まる。これから、(14)及び(15)式を用いると、n倍波である中間周波信号の振幅Aと初期位相φが求まる。例えば、各中間周波信号の周波数比が、1:2:20:40であったとすると、周波数Δf、2Δfの中間周波数についても、それぞれの振幅A20、A40と、それぞれの初期位相φ20、φ40を求めることができる。なお、この周波数比の場合、A、A、A20、A40及びφ、φ、φ20、φ40以外については計算する必要はない。
ところで、本発明は、前記実施例に限るものではなく、種々の変形が可能である。たとえば、図4に示したように、低域フィルタ43、45、51、53の後に、それぞれ増幅器60、61、62、63を配置して、加算器46、54に入力される信号レベルを調節してもよい。また、図5に示したように、増幅器41、49の後に分波回路70、71を配置し、各周波数変換器42、44、50、52それぞれに適切な信号のみが入力されるようにしてもよい。
さらに、図6に示したように、低域フィルタ45に続く増幅器61の出力が加算器54に入力され、低域フィルタ53に続く増幅器63の出力が加算器46に入力されるように変更してもよい。この場合は、いずれのA/D変換器47、55にも参照光路に係わる信号レベルの大きな3つの中間周波信号と測距光路に係わる信号レベルの小さな中間周波信号が入力される。すると、図2〜5に示した実施例のようにA/D変換器55に参照光路に係わる4つの中間周波信号が入力され、A/D変換器47に参照光路に係わる2つの中間周波信号と測距光路に係わる2つの中間周波信号とが入力される場合に比べて、増幅器62、63の増幅度を下げて、A/D変換器47への入力信号を飽和し難くできる。逆に増幅器60、61の増幅度を上げることができるので、いっそうの遠距離測定が可能となる。
増幅器60、61の増幅度を上げると、遠距離測定が可能となる理由を図7に基づいて説明する。図7は、測定距離と増幅器60、61の出力の関係を示している。遠距離ほど受光素子40、48の受光量が小さくなるので、増幅器60、61の増幅器60、61の出力は右下がりになる。増幅度が小さい場合、A/D変換器47、55への入力に必要な最小レベルVmin以上になるのは、距離Lよりも近距離の場合である。増幅器60、61の増幅度が大きくなると、さらに遠距離の距離L’でも、増幅器60、61の出力をA/D変換器47、55への入力に必要な最小レベルVminにまで増幅できるので、いっそうの遠距離測定が可能となる。
さらに、図8に示したように、分周部2で発生させる主変調周波数に周波数Fを追加し、分周部6で発生させる傍変調周波数に周波数F−Δfを追加し、両発光素子13、14をそれぞれ3つの周波数で変調するとともに、2つの周波数変換器70、72と、2つの低域フィルタ71、73を追加し、両周波数変換器70、72に、それぞれ周波数F+Δfの局部発振信号を入力して、周波数両低域フィルタ71、73から、それぞれ周波数Δf及び2Δfの中間周波信号を得て、全部で12の中間周波信号が得られるようにしてもよい。こうして、変調周波数が増えた分だけ測定レンジを増えるので、測定レンジをいっそう広くすることができる。
この場合、中間周波信号の周波数Δf及び2Δfが低すぎて、増幅器やフィルタ等で扱いづらい場合は、局部発振周波数をF+δf+Δfと変更して、周波数δf+Δf、δf+2Δfの中間周波信号を発生させるようにしてもよい。ただし、デジタル帯域フィルタで確実に各中間周波信号を分離できるように、全ての中間周波信号の周波数は、最も低い周波数δf+Δfの整数倍にする必要がある。
さらに、本発明は、前記実施例に限るものではなく、例えば、本発明は、光波距離計だけでなく、光波距離計を内蔵した測量機、例えばトータルステーションや、その他の距離測定装置等にも広く利用できる。
13、14 発光素子
22 目標反射物
23 測距光路
26、29、31 参照光路
40、48 受光素子
42、44、50、52 周波数変換器
、F、F 主変調周波数
−Δf、F−Δf、F−Δf 傍変調周波数
+Δf、F+Δf、F+Δf 局部発振周波数

Claims (2)

  1. 複数の主変調周波数で変調された光を出射する第1の発光素子と、前記各主変調周波数それぞれに近接した複数の傍変調周波数で変調された光を出射する第2の発光素子と、両発光素子から出射された光を受光する第1の受光素子及び第2の受光素子と、第1の受光素子に接続された第1の周波数変換器群と、第2の受光素子に接続された第2の周波数変換器群とを備え、
    第1の発光素子から出射された光は2つに分けられ、一方は測距光として目標反射物までを往復する測距光路を経て第1の受光素子に入射し、他方は参照光として第1の参照光路を経て第2の受光素子に入射し、第2の発光素子から出射された光は2つに分けられ、一方は参照光として第2の参照光路を経て第2の受光素子に入射し、他方は参照光として第3の参照光路を経て第1の受光素子に入射し、
    前記第1の周波数変換器群及び前記第2の周波数変換器群は、それぞれ、前記主変調周波数と同数の周波数変換器から構成され、各周波数変換器にはそれぞれ異なる周波数の局部発振信号が入力され、該局部発振信号の周波数は、それぞれ、各主変調周波数と各主変調周波数に近接した各傍変調周波数との両方に近接した周波数とされ、
    前記各周波数変換器で発生させた中間周波信号を用いて目標反射物までの距離を算出する光波距離計。
  2. 前記各中間周波信号の周波数は、最も低いものに対して整数倍になっており、前記各中間周波信号はデジタル帯域フィルタによって分離される請求項1に記載の光波距離計。
JP2009144488A 2009-06-17 2009-06-17 光波距離計 Active JP5014382B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009144488A JP5014382B2 (ja) 2009-06-17 2009-06-17 光波距離計
DE112010002587.8T DE112010002587B4 (de) 2009-06-17 2010-03-17 Elektrooptischer Abstandsmesser
PCT/JP2010/054586 WO2010146906A1 (ja) 2009-06-17 2010-03-17 光波距離計
US13/258,744 US8570494B2 (en) 2009-06-17 2010-03-17 Electro-optical distance meter
CN2010800103243A CN102341726B (zh) 2009-06-17 2010-03-17 光波距离计

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009144488A JP5014382B2 (ja) 2009-06-17 2009-06-17 光波距離計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011002302A JP2011002302A (ja) 2011-01-06
JP5014382B2 true JP5014382B2 (ja) 2012-08-29

Family

ID=43356236

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009144488A Active JP5014382B2 (ja) 2009-06-17 2009-06-17 光波距離計

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8570494B2 (ja)
JP (1) JP5014382B2 (ja)
CN (1) CN102341726B (ja)
DE (1) DE112010002587B4 (ja)
WO (1) WO2010146906A1 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI478382B (zh) 2012-06-26 2015-03-21 Lextar Electronics Corp 發光二極體及其製造方法
US9484447B2 (en) 2012-06-29 2016-11-01 Intel Corporation Integration methods to fabricate internal spacers for nanowire devices
RU2610514C2 (ru) * 2015-02-11 2017-02-13 Открытое Акционерное общество "Ростовский оптико-механический завод" Лазерный фазовый дальномер
JP6991034B2 (ja) * 2017-10-19 2022-01-12 株式会社トプコン 光波距離計及びフィードバック信号の変調周波数決定方法
DE102018125253B3 (de) * 2018-10-12 2019-12-24 Pepperl+Fuchs Gmbh Optischer Sensor nach dem Laufzeitprinzip zum Nachweis von Objekten in einem Überwachungsbereich
JP2023142441A (ja) * 2022-03-25 2023-10-05 株式会社トプコン 光波距離計

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5838880A (ja) 1981-08-31 1983-03-07 Tokyo Optical Co Ltd 光波距離計
JPH0666516A (ja) * 1992-08-21 1994-03-08 Idec Izumi Corp レーザ干渉測長装置
US5745437A (en) 1996-08-05 1998-04-28 Wachter; Eric A. Method and apparatus for coherent burst ranging
DE10006493C2 (de) * 2000-02-14 2002-02-07 Hilti Ag Verfahren und Vorrichtung zur optoelektronischen Entfernungsmessung
WO2002016964A1 (de) 2000-08-25 2002-02-28 Kurt Giger Verfahren und vorrichtung zur entfernungsmessung
JP4104991B2 (ja) * 2003-01-16 2008-06-18 株式会社トプコン 光波距離計
JP2005221330A (ja) * 2004-02-04 2005-08-18 Hokuyo Automatic Co レンジセンサの距離較正方法
JP4707363B2 (ja) 2004-10-20 2011-06-22 株式会社 ソキア・トプコン 光波距離計
JP2007057251A (ja) * 2005-08-22 2007-03-08 Anritsu Corp 光干渉計型位相検出装置
JP4855749B2 (ja) * 2005-09-30 2012-01-18 株式会社トプコン 距離測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2011002302A (ja) 2011-01-06
US8570494B2 (en) 2013-10-29
CN102341726B (zh) 2013-12-11
CN102341726A (zh) 2012-02-01
WO2010146906A1 (ja) 2010-12-23
DE112010002587B4 (de) 2021-07-22
DE112010002587T5 (de) 2012-10-11
US20120013888A1 (en) 2012-01-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5014382B2 (ja) 光波距離計
Eliyahu et al. Phase noise of a high performance OEO and an ultra low noise floor cross-correlation microwave photonic homodyne system
CN111512182A (zh) 激光雷达装置
JPH0419512B2 (ja)
JP6019360B2 (ja) 光ヘテロダイン距離計
EP4249947A1 (en) Electro-optical distance meter
JP4828245B2 (ja) 光波距離計
US11105926B2 (en) Phase difference frequency generating method, phase difference frequency generating device and electronic distance meter
JP5475349B2 (ja) 光波距離計
JP6902902B2 (ja) 光波距離計
JP5674117B2 (ja) 光波距離計
JP2007155660A (ja) 光波距離計
WO2022162987A1 (ja) 光コム発生装置
JP7115738B2 (ja) 距離計及び距離測定方法並びに光学的三次元形状測定機
JP2019078531A (ja) 光波距離計及びフィードバック信号の変調周波数決定方法
JP5730094B2 (ja) 光波距離計
JP5234653B2 (ja) 光波距離計
JP5535599B2 (ja) 光波距離計
JP2020159824A (ja) 光波距離計
JP7498497B2 (ja) 光コム発生装置及び光コム距離計測装置
JP7448964B2 (ja) 光コム距離計測方法及び光コム距離計測装置
CN109375233B (zh) 一种基于光轨道角动量空间复用的激光测距仪
JP5450181B2 (ja) 光波距離計
JP2010286240A (ja) 光波距離計
JP2004264112A (ja) 光波距離計

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120529

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120605

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150615

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5014382

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150615

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150615

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150615

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250