JP5008618B2 - 基板の周辺端部に付着した異物検出方法、装置及び記憶媒体 - Google Patents
基板の周辺端部に付着した異物検出方法、装置及び記憶媒体 Download PDFInfo
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Description
18 周辺端部検査装置
19 搬送アーム機構
34 収容室
35 ウエハステージ(載置台)
42 収容室
43 ウエハステージ(載置台)
45 レーザ光照射部
47 散乱光受光部(コリメータ)
48 光電変換部
51 水蒸気
52 凝縮水
53 氷の結晶
55 窒素ガス貯蔵タンク
57 加湿器
58 恒温槽
60 ペルティエ素子
Claims (7)
- 基板の周辺端部に付着した異物を検出する異物検出方法であって、
前記基板を冷却して前記基板の周辺端部に付着した異物の周りに水分を凝縮させた後、凝縮した水分を氷らせて氷の結晶を成長させる冷却ステップと、
前記氷の結晶によって強調された前記基板の周辺端部に付着した異物を検出する周辺端部検査ステップと、
を有することを特徴とする基板の周辺端部に付着した異物検出方法。 - 前記冷却ステップは、前記基板の周辺端部を−15℃以下とし、前記基板の周辺端部を取り巻く雰囲気中の23℃における相対湿度を10%以下とするステップであることを特徴とする請求項1記載の基板の周辺端部に付着した異物検出方法。
- 前記冷却ステップにおいて、前記水分を過冷却状態に維持し、前記基板の周辺端部を取り巻く雰囲気中の水蒸気圧を、前記基板の周辺端部に異物の付着がなくても気相中の水分が前記基板の周辺端部に凝縮する飽和蒸気圧以下であって、前記基板の周辺端部に異物の付着がある場合に気相中の水分が前記異物の周りに凝縮する飽和蒸気圧以上とすることを特徴とする請求項1記載の基板の周辺端部に付着した異物検出方法。
- 前記氷の結晶は、気相成長することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板の周辺端部に付着した異物検出方法。
- 前記周辺端部検査ステップの前に、前記氷の結晶に、水分子と反応して固化する成分を作用させて前記氷の結晶を固定化させる結晶固定化ステップを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板の周辺端部に付着した異物検出方法。
- 基板の周辺端部に付着した異物を検出する異物検出装置であって、
前記基板を収容する収容室を備え、前記基板の周辺端部に前処理を施す周辺端部処理装置と、
前記前処理が施された前記基板の周辺端部を検査する周辺端部検査装置と、を有し、
前記周辺端部処理装置は、前記基板の周辺端部を−15℃〜−30℃に冷却する冷却部と、
前記収容室内の水蒸気圧を、前記基板の周辺端部に異物の付着がなくても気相中の水分が前記基板の周辺端部に凝縮する飽和蒸気圧以下であって、前記基板の周辺端部に異物の付着がある場合に気相中の水分が前記異物の周りに凝縮する飽和蒸気圧以上となるように調整する湿度調整部と、
を有することを特徴とする基板の周辺端部に付着した異物検出装置。 - 基板の周辺端部に付着した異物を検出する異物検出方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータで読み取り可能な記憶媒体において、
前記基板の周辺端部に付着した異物を検出する異物検出方法は、
前記基板を冷却して前記基板の周辺端部に付着した異物の周りに水分を凝縮させた後、凝縮した水分を氷らせて氷の結晶を成長させる冷却ステップと、
前記氷の結晶によって強調された前記基板の周辺端部に付着した異物を検出する周辺端部検査ステップと、を有することを特徴とする記憶媒体。
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