JP5008590B2 - 画像形成方法、並びにカラーフィルタ及び表示装置 - Google Patents
画像形成方法、並びにカラーフィルタ及び表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5008590B2 JP5008590B2 JP2008057730A JP2008057730A JP5008590B2 JP 5008590 B2 JP5008590 B2 JP 5008590B2 JP 2008057730 A JP2008057730 A JP 2008057730A JP 2008057730 A JP2008057730 A JP 2008057730A JP 5008590 B2 JP5008590 B2 JP 5008590B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- resin layer
- photosensitive resin
- color filter
- image forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
また、熱可塑性樹脂層の除去後には、感光性樹脂層の非露光部(非画像部)を現像除去してパターンを顕在化するために、更にアルカリ現像液を用いた現像処理が行なわれており(以下、この工程を「CD工程」ということがある。)、そのアルカリ現像液として、例えば、炭酸塩と陰イオン界面活性剤とを含むアルカリ現像液が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
<1> 基板に形成された感光性樹脂層を露光後にアルカリ溶液により現像して画像を形成する画像形成工程と、画像が形成された基板の前記画像形成面に残存するアルカリ溶液を、噴射ノズルと基板面との距離を50〜250mmとして水温5〜40℃の純水でノズル噴射圧0.5MPa以下にて置換することにより洗浄する第1の洗浄工程と、前記洗浄後の前記基板の画像形成面に、さらに噴射ノズルと基板面との距離を50〜150mmとして水温5〜40℃の純水をノズル噴射圧3〜24MPaにて噴射して残渣を除去することにより洗浄する第2の洗浄工程と、を有する画像形成方法である。
本発明によれば、現像残渣及びムラが低減された高品質のカラーフィルタ及び表示装置を提供することができる。
本発明においては、特に、感光性樹脂層の形成を感光性転写材料を用いて転写により行なう場合に、現像後の仕上がり向上(基板上の現像除去された非画素部等での残渣やムラの低減)を図り、洗浄時に用いる回転ブラシの精度管理を厳しく行なわなくても、高い品質の画像(カラーフィルタ含む)を得ることができる。
本発明の画像形成方法は、基板に形成された感光性樹脂層を露光後にアルカリ溶液により現像して画像を形成する画像形成工程と、画像が形成された基板の画像形成面に残存するアルカリ溶液を、噴射ノズルと基板面との距離を50〜250mmとして水温5〜40℃の純水でノズル噴射圧0.5MPa以下にて置換することにより洗浄する第1の洗浄工程と、前記洗浄後の基板の画像形成面に、さらに噴射ノズルと基板面との距離を50〜150mmとして水温5〜40℃の純水をノズル噴射圧3〜24MPaにて噴射して残渣を除去することにより洗浄する第2の洗浄工程とを設けて構成されたものであり、必要に応じて、更に他の工程を有していてもよい。
なお、本発明にいうアルカリ溶液は、熱可塑性樹脂層の除去(前記PD工程)用のアルカリ現像液、感光性樹脂層の除去(前記CD工程)用のアルカリ現像液、及び現像後の残渣除去(前記SD工程)用の洗浄液を含むものである。
[画像形成工程]
画像形成工程は、基板に形成された感光性樹脂層を露光後にアルカリ溶液(以下、単に現像液ともいう。)により現像して画像を形成する。本工程では、後述するように基板に形成された感光性樹脂層を露光した後、露光で硬化されていない領域を現像除去して、所望の露光パターンを顕在化する。
シャワー型処理槽におけるノズルとしては、フラットノズル、コーン型ノズル、間接噴射などを挙げることができる。特に、フラット型ノズルを用いることで、シャワーの衝突力により、未露光の感光性樹脂が脱膜的に効率よく除去することができる。
前記炭酸塩は、ナトリウム塩及び/又カリウム塩を含有することが好ましい。炭酸塩がナトリウム塩及び/又はカリウム塩であることで、必要なpH領域での緩衝液を得ることができる。また、感光性樹脂層の現像に際して低残渣効果を得ることができる。炭酸塩の陽イオンとしては、ナトリウムイオン及びカリウムイオン以外の他の陽イオンを含有してもよい。他の陽イオンとしては、リチウムイオン、アルカリ土類金属イオン、アンモニウムイオンを挙げることができる。このように炭酸塩中にナトリウムイオンとカリウムイオン以外の陽イオンが含有される場合、ナトリウムイオンとカリウムイオンの含有量の和は、炭酸塩中の全陽イオンに対して、60質量%〜100質量%であることが好ましく、90質量%〜100質量%であることがより好ましい。炭酸塩は、例えばリチウム塩のみ又はアンモニウム塩のみではなく、ナトリウム塩及び/又はカリウム塩を含むと、必要なpH領域で良好な緩衝力を得ることができ、また、良好な低残渣効果が得られる。
前記ナフタレンスルホン酸誘導体塩としては、ナフタレンスルホン酸の塩及び少なくとも1つのアルキル基を有するアルキルナフタレンスルホン酸の塩から選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。アルキルナフタレンスルホン酸のアルキル基としては、炭素数1〜6の置換基を有していてもよいアルキル基が好ましく、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基がより好ましく、ブチル基が更に好ましい。アルキルナフタレンスルホン酸のアルキル基の置換基数としては、1〜6が好ましく、1〜3がより好ましい。ナフタレンスルホン酸誘導体の具体例としては、ナフタレンスルホン酸、ブチルナフタレンスルホン酸、ジブチルナフタレンスルホン酸、トリブチルナフタレンスルホン酸を挙げることができる。
前記ナフタレンスルホン酸誘導体塩は、それぞれ1種単独で、又は2種以上を併用してもよいが、2種以上を併用することが好ましい。また、ナフタレンスルホン酸誘導体塩としては、ナトリウム塩及び/又はカリウム塩が好ましい。
水と混和性の有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドンを挙げることができる。水と混和性の有機溶剤の現像液中の濃度は、0.1〜40質量%が一般的である。
PD工程に用いる現像液であるアルカリ溶液は、アルカノールアミンを含む溶液が好ましく、トリエタノールアミンおよび/またはジエタノールアミンを含む溶液が特に好ましい。
現像残渣除去用のアルカリ洗浄液としては、アセチレン系界面活性剤、アルキルエーテル系界面活性剤、フェノキシオキシアルキレン系界面活性剤、ナフタレン系界面活性剤から選択される少なくとも一種の界面活性剤を含有するアルカリ性溶液が好ましい。
感光性転写材料、及び感光性樹脂層形成用の塗布液の各成分の詳細は後述する。
また、形成されたカラーフィルタの上には、感光性転写材料を用いて、更にカラーフィルタとこれに対向配置される基板との距離を所定の間隔に保つためのスペーサ材が形成されることが好ましい。
上記において、塗布液の塗布は、公知の塗布法により行なうことができ、例えば、スピナー法、ロールコーター法、インクジェット法、スリットコーター法、スリット・スピン法などが挙げられる。これらの塗布法の中で、液ロス減の観点から、スリットコーターを用いる塗布法がより好ましい。該方法としては、特開2006−23696号公報の段落番号[0023]に記載のスリット状ノズルを用いた方法を参照することができる。塗布法によって形成される感光性樹脂層の層厚は、基板上の遮光パターンの厚みに対応させて設定される。
本発明の画像形成方法においては、高圧噴射装置により残渣除去する後述の第2の洗浄工程の前に、前記画像形成工程で画像形成された基板の画像形成面に残存するアルカリ溶液を、噴射ノズルと基板面との距離を50〜250mmとして水温5〜40℃の純水でノズル噴射圧0.5MPa以下にて置換することにより洗浄(以下、水洗リンスともいう。)を行なう第1の洗浄工程を設ける。第1の洗浄工程での洗浄は、後述の第2の洗浄工程のように現像後に基板上に残存する残渣を除去するには適さない圧力で、純水を基板の画像形成面に供給して行なうものである。
第2の洗浄工程は、前記第1の洗浄工程で洗浄が終了した後の基板の画像形成面に、更に、第1の洗浄工程での洗浄時における水圧より高い圧力、具体的にはノズル噴射圧3〜24MPaにて、噴射ノズルと基板面との距離を50〜150mmとして水温5〜40℃の純水を噴射して残渣を除去することにより洗浄を行なう。
次に、感光性樹脂層の形成に用いる感光性転写材料について略説する。
感光性転写材料は、仮支持体上に該仮支持体側から順に、熱可塑性樹脂層、中間層、及び感光性樹脂層が設けられたものが好ましい。感光性転写材料の製造は、例えば、特開2005−3861号公報の段落番号[0064]〜[0066]に記載の工程を設けることによって行なえる。
感光性転写材料における仮支持体としては、可撓性を有し、加圧、若しくは加圧及び加熱下においても著しい変形、収縮若しくは伸びを生じないことが好ましい。そのような仮支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等を挙げることができ、中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
感光性転写材料における熱可塑性樹脂層は、被転写体である基板の表面に凹凸が存在する場合に凹凸に追従するようにクッション性を持たせるものである。
この熱可塑性樹脂層を構成する成分としては、特開平5−72724号公報に記載の有機高分子物質が好ましく、ヴイカーVicat法(具体的には、アメリカ材料試験法エーエステーエムデーASTMD1235によるポリマー軟化点測定法)による軟化点が約80℃以下の有機高分子物質より選ばれることが特に好ましい。
感光性転写材料には、複数の塗布層の塗布時及び塗布後の保存時における成分の混合を防止する目的から、中間層を設けることが好ましい。中間層としては、特開平5−72724号公報に「分離層」として記載の、酸素遮断機能のある酸素遮断層が好ましい。この場合、露光時の感度が向上し、露光機の時間負荷が減り、生産性が向上する。
前記酸素遮断層としては、低い酸素透過性を示し、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらのうち、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとを組み合わせて含む層である。
感光性樹脂層は、ブラックマトリクスなどの遮光性が求められる場合は、特開2005−3861号公報に記載の感光性黒色樹脂層や、特開2004−240039号公報に記載の着色組成物からなる層などと同様にして形成することができる。また、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)などの着色パターン(例えばカラーフィルタを構成する着色画素など)を形成する場合は、特開2006−23696号公報に記載の着色感光性樹脂組成物からなる層と同様にして形成することができる。
着色剤は、RGB等の着色画素の色相に応じて任意の顔料、染料等が選択される。着色剤としては、赤色、緑色、青色、黄色、紫色、マゼンタ色、シアン色の公知の顔料及び染料を使用することができる。好ましい例としては、ビクトリア・ピュアーブルーBO(C.I.42595)、オーラミン(C.I.41000)、モノライト・エローGT(C.I.ピグメント・エロー12)、パーマネント・エローGR(C.I.ピグメント・エロー17)、パーマネント・エローHR(C.I.ピグメント・エロー83)、パーマネント・カーミンFBB(C.I.ピグメント・レッド146)、ホスターバームレッドESB(C.I.ピグメント・バイオレット19)、パーマネント・ルビーFBH(C.I.ピグメント・レッド11)、ファステル・ピンクBスプラ(C.I.ピグメント・レッド81)、及びモナストラル・ファースト・ブルー(C.I.ピグメント・ブルー15)を挙げることができる。また、カラーフィルタの形成に特に好適な顔料として、C.I.ピグメント・レッド97、C.I.ピグメント・レッド122、C.I.ピグメント・レッド149、C.I.ピグメント・レッド168、C.I.ピグメント・レッド177、C.I.ピグメント・レッド180、C.I.ピグメント・レッド192、C.I.ピグメント・レッド215、C.I.ピグメント・グリーン7、C.I.ピグメント・グリーン36、C.I.ピグメント・ブルー15:1、C.I.ピグメント・ブルー15:4、C.I.ピグメント・ブルー15:6、C.I.ピグメント・ブルー22、C.I.ピグメント・ブルー60、C.I.ピグメント・ブルー64、C.I.ピグメント・イエロー139、C.I.ピグメント・イエロー83、C.I.ピグメント・バイオレット23等を挙げることができる。
前記顔料及び染料は、一般に5μm以下の平均粒径を有するものが好ましく、1μm以下が好ましい。カラーフィルタを形成する場合、好ましい平均粒径は0.5μm以下である。
仮支持体上の感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために、薄い保護フィルムを設けることが好ましい。保護フィルムは、仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂層から容易に分離できるものが用いられる。
保護フィルムに用いる材料としては、例えば、シリコーン紙、ポリオレフィンシートもしくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。
基板としては、特に制限はなく、ガラス板、樹脂製のシートやフィルム、樹脂被覆紙などの公知の基材から所望により選択することができる。中でも、透明性の基板が好適であり、例えば、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、あるいはプラスチックフィルム等を挙げることができる。
また、基板の膜厚としては、特に限定されるものではないが、700〜1200μmが一般に好ましく、500〜1100μmが特に好ましい。
本発明のカラーフィルタは、既述の本発明の画像形成方法により形成されたものであり、着色された画像パターンを有し、該画像パターン上にスペーサーが設けられたものでもよい。本発明のカラーフィルタは、本発明の画像形成方法によって既述のように、純水を高圧噴射する第2の洗浄工程前に基板上のアルカリ溶液を予め純水で置換する第1の洗浄工程を設ける2段階洗浄を行なって形成されるので、残渣、画像中のムラや画素欠陥及びスペーサーでは高さバラツキが低減された高品質を有している。
本発明の表示装置は、既述の本発明のカラーフィルタを備えたものであり、それ以外は特に制限はなく、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、EL表示装置、CRT表示装置などの表示装置などが含まれる。
本発明の表示装置は、本発明のカラーフィルタを備えていることにより、テレビ、モニターに搭載したときに表示ムラが防止され、広い色再現域と高コントラストを発揮でき、ノートパソコン用ディスプレイやテレビモニター等の大画面の表示装置等にも好適に用いることができる。
[カラーフィルタの作製]
<1.感光性濃色組成物の調製>
−カーボンブラック分散液(K−1)の調製−
下記の各成分を3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて8時間微分散処理を施し、カーボンブラック分散液(K−1)を得た。
<組成>
・カーボンブラック(デグッサ社製,カラーブラックFW2) ・・・26.7部
・分散剤(楠本化成製ディスパロンDA7500 酸価26 アミン価40)
・・・3.3部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(=72/28[モル比])共重合体
(分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの50質量%溶液) ・・・10部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・60部
・樹脂溶液C−2:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(=85/15モル比)共重合体、(Mw10000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの50wt%溶液)
・UV硬化性樹脂C−3:商品名サイクロマーP ACA−250 ダイセル化学工業(株)製〔側鎖に脂環、COOH基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)〕
・重合性化合物C−5:商品名 TO−1382 東亞合成(株)製
(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートの末端OH基の一部をCOOH基に置換した5官能のアクリロイル基を有するモノマーが主成分。)
・開始剤C−7:商品名「OXE−02」 チバ・スペシャルテイ・ケミカルズ社製
・界面活性剤C−8:商品名「メガファックR30」 大日本インキ化学工業(株)製
・溶剤:PGMEA=プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
EEP=3−エトキシエチルプロピオネート
−感光性濃色組成物層の形成−
得られた感光性濃色組成物CK−1を、ガラス基板(コーニング社製ミレニアム 0.7mm厚)にスリットコーター(型番HC6000、平田機工株式会社製)を用いて、ポストベーク後の膜厚が1.2μmとなるようにスリットとガラス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度120mm/秒で塗布した。
次いで、ホットプレートを用いて、90℃で120秒間加熱(プリベーク処理)を行なった後、ミラープロジェクション方式露光機(型番MPA−8000、キヤノン株式会社社製)を用いて、100mJ/cm2で露光した。
その後、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1.0%現像液(CDK−1を1部、純水を99部の希釈した液、25℃)でシャワー圧を0.20MPaに設定して60秒間現像した。その後、25℃の純水を20秒間、フラット型ノズル(圧力0.05MPa、噴射角110°)にてシャワーで、該ノズルから基板面まで150mm離れたカラーフィルタ基板の画素形成面に吹きかけ、カラーフィルタ基板上の現像液及び洗浄液を純水で洗い流すように置換した。その後、超高圧マイクロジェット(ジェット精密洗浄システムAFシリーズ AF6200SW(旭サナック(株)製))を用いて、4MPaの圧力で25℃の純水をカラーフィルタ基板の基板面から100mmの距離を離して15秒間、高圧噴射してカラーフィルタ基板の画素形成面に残っている残渣を除去することにより、ブラックマトリクスパターンを得た。
次いで、220℃のクリーンオーブンで40分間ポストベーク処理し、着色画素形成領域の開口が90μm×200μmで、ブラックマトリックスの厚みが1.2μmで、ブラックマトリックスの線幅が約25μmの格子状ブラックマトリクス基板を形成した。X-Rite 361T(V)(サカタインクスエンジニアリング(株)製)を用いて、形成されたブラックマトリックスの光学濃度(OD)を測定したところ、4.2であった。
−3−1.赤色(R)用感光性着色組成物CR−1の調製−
下記組成の各成分を3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いてビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し、赤色(R)用分散液(R−1)を得た。
<組成>
・Pigment Red 254(SEM観察での平均粒子径43nm) ・・・11部
・Pigment Red 177(SEM観察での平均粒子径58nm) ・・・4部
・下記分散樹脂A−3 ・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk−161、ビックケミー社製)
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの30%溶液)・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
〔=75/25[モル比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)〕 ・・・9部
・溶剤B:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・68部
<組成>
・前記赤色(R)用分散液(R−1) ・・・100部
・エポキシ樹脂(商品名:EHPE3150、ダイセル化学工業社製) ・・・2部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート ・・・8部
・重合開始剤:4−(o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノ−フェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン ・・・1部
・重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1 ・・・1部
・重合開始剤:ジエチルチオキサントン ・・・0.5部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール ・・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R30、大日本インキ化学工業社製)・・・0.01部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:テトロニックR150,ADEKA社製) ・・・0.2部
・溶剤:プロピレングリコールn−ブチルエーテルアセテート ・・・30部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・100部
下記組成の各成分を3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて8時間微分散処理を施し、緑色(G)用分散液(G−1)を得た。
・Pigment Green 36(SEM観察での平均粒子径47nm) ・・・11部
・Pigment Yellow150(SEM観察での平均粒子径39nm)・・・7部
・下記分散樹脂A−3 ・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk-161、ビックケミー社製、30%溶液) ・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(=85/15[モル比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%)) ・・・11部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・70部
・前記緑色(G)用分散液(G−1) ・・・100部
・エポキシ樹脂:(商品名)EHPE3150(ダイセル化学工業社製) ・・・2部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート ・・・8部
・重合性化合物:ペンタエリスリトールのテトラ(エトキシアクリレート) ・・・2部
・重合開始剤:1,3−ビストリハロメチル−5−ベンゾオキソラントリアジン ・・・2部
・重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1 ・・・1部
・重合開始剤:ジエチルチオキサントン ・・・0.5部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール ・・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R08、大日本インキ化学工業社製) ・・・0.02部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:エマルゲンA−60、花王社製) ・・・0.5部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・120部
・溶剤:プロピレングリコールn−プロピルエーテルアセテート ・・・30部
下記組成の各成分を3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて1時間撹拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いてビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施し、青色(B)用分散液(B−1)を得た。
<組成>
・Pigment Blue 15:6(SEM観察での平均粒子径55nm ・・・14部
・Pigment Violet 23(SEM観察での平均粒子径61nm)・・・1部
・下記分散樹脂A−3 ・・・5部
・分散剤(商品名:Disperbyk-161、ビックケミー社製、30%溶液) ・・・3部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 ・・・4部
(=80/20[モル比]共重合体、分子量30,000、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%))
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・73部
<組成>
・前記青色(B)用分散液(B−1) ・・・100部
・アルカリ可溶性樹脂:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 ・・・7部
(=80/20[モル比]共重合体、分子量30,000)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%))
・エポキシ樹脂:セロキサイド2080(商品名;ダイセル化学工業社製)・・・2部
・UV硬化性樹脂:サイクロマーPACA−250(商品名;ダイセル化学工業社製)
(側鎖に脂環、COOH基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分:50質量%) ・・・4部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート ・・・12部
・重合開始剤:1−(9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾル−3−イル)−1−(o−アセチルオキシム)エタノン ・・・3部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール ・・・0.001部
・フッ素系界面活性剤(商品名:Megafac R08、大日本インキ化学工業社製) ・・・0.02部
・ノニオン系界面活性剤(商品名:エマルゲンA−60、花王社製) ・・・1.0部
・溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル ・・・20部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・150部
(1.連鎖移動剤A3の合成)
ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)〔DPMP;堺化学工業(株)製〕(下記化合物(33))7.83部、及び吸着部位を有し、かつ炭素−炭素二重結合を有する下記化合物(m−6)4.55部を、プロピレングリコールモノメチルエーテル28.90部に溶解させ、窒素気流下、70℃に加熱した。これに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)〔V−65、和光純薬工業(株)製〕0.04部を加えて3時間加熱した。更に、V−65を0.04部加え、窒素気流下、70℃で3時間反応させた。室温まで冷却することで、以下に示すメルカプタン化合物(連鎖移動剤A3)の30%溶液を得た。
前記のようにして得られた連鎖移動剤A3の30%溶液4.99部、メタクリル酸メチル19.0部、メタクリル酸1.0部、及びプロピレングリコールモノメチルエーテル4.66部の混合溶液を、窒素気流下、90℃に加熱した。この混合溶液を攪拌しながら、2,2’−アゾビスイソ酪酸ジメチル〔V−601、和光純薬工業(株)製〕0.139部、プロピレングリコールモノメチルエーテル5.36部、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート9.40部の混合溶液を2.5時間かけて滴下した。滴下終了してから、90℃で2.5時間反応させた後、2,2’−アゾビスイソ酪酸ジメチル0.046部、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート4.00部の混合溶液を投入し、更に2時間反応させた。反応液にプロピレングリコールモノメチルエーテル1.52部、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート21.7部を加え、室温まで冷却することで特定分散樹脂A−3(ポリスチレン換算の重量平均分子量24000)の溶液(特定分散樹脂30質量%、プロピレングリコールモノメチルエーテル21質量%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート49質量%)を得た。
この特定分散樹脂A−3の酸価は48mg/gであった。分散樹脂A−3の構造を以下に示す。
−感光性着色組成物層の形成−
得られた赤色(R)用感光性着色組成物CR−1を、前記ブラックマトリックス基板のブラックマトリックス形成面側に、塗布した。具体的には、感光性濃色組成物層を形成する場合と同様に、ポストベーク後の感光性着色組成物層の層厚が約2.1μmとなるようにスリットとブラックマトリックス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度120mm/秒で塗布した。
次いで、ホットプレートを用いて、100℃で120秒間加熱(プリベーク処理)を行なった後、ミラープロジェクション方式露光機(型番MPA−8000、キヤノン株式会社製)を用いて、90mJ/cm2で露光した。また、露光パターンと、ブラックマトリックスとの重なり(露光重なり量)が8.0μmとなるようにマスクパターンと露光機を設定した。
その後、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1.0質量%現像液(CDK−1を1部、純水を99部の希釈した液、25℃)でシャワー圧を0.2MPaに設定して、45秒現像した。その後、25℃の純水を20秒間、フラット型ノズル(圧力0.05MPa、噴射角110°)にてシャワーで、該ノズルから基板面まで150mm離れたカラーフィルタ基板の画素形成面に吹きかけ、カラーフィルタ基板上の現像液及び洗浄液を純水で洗い流すように置換した。その後、超高圧マイクロジェット(ジェット精密洗浄システムAFシリーズ,AF6200SW(旭サナック(株)製))を用いて、4MPaの圧力で25℃の純水をカラーフィルタ基板の基板面から100mmの距離を離して15秒間、高圧噴射してカラーフィルタ基板の画素形成面に残っている残渣を除去した。次いで、220℃のクリーンオーブンで30分間ポストベーク処理し、熱処理済みの赤色画素を形成した。
<スペーサー用感光性転写フィルムの作製>
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体(PET仮支持体)上に、下記処方Aからなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥層厚16.5μmの熱可塑性樹脂層を形成した。
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(=55/11.7/4.5/28.8[モル比]、重量平均分子量90,000)共重合体 ・・・25.0部
・スチレン/アクリル酸(=63/37[モル比]、重量平均分子量8,000)共重合体 ・・・58.4部
・2,2−ビス〔4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル〕プロパン ・・・39.0部
・下記界面活性剤1 ・・・10.0部
・メタノール ・・・90.0部
・1−メトキシ−2−プロパノール ・・・51.0部
・メチルエチルケトン ・・・700部
・下記構造物1 ・・・30%
・メチルエチルケトン ・・・70%
〔中間層用塗布液の処方B〕
・ポリビニルアルコール ・・・3.22部
(PVA−205、鹸化率80%、(株)クラレ製)
・ポリビニルピロリドン ・・・1.49部
(PVP K−30、アイエスピー・ジャパン(株)製)
・メタノール ・・・42.3部
・蒸留水 ・・・524部
*顔料
・シリカゾルの30%メチルイソブチルケトン分散物(商品名:MIBK−ST,日産化学工業(株)製)
*バインダー1
・メタクリル酸/アリルメタクリレート共重合体(=20/80[モル比]、質量平均分子量36000)
*DPHA液(重合性モノマー)
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ・・・76部
(商品名:KAYARAD DPHA、日本化薬(株)製)
・プロピレングリコールモノメチルエーテル ・・・24部
*消色染料
・ビクトリアピュアブルーBOH−M(保土ヶ谷化学(株)製)
*界面活性剤2
・C6F13CH2CH2OCOCH=CH2(40部)とH(O(CH3)CHCH2)7OCOCH=CH2(55部)とH(OCH2CH2)7OCOCH=CH2(5部)との共重合体〔重量平均分子量:3万〕・・・30部
・メチルエチルケトン ・・・70部
得られたスペーサー用感光性転写フィルムのカバーフィルムを剥離し、露出した感光性樹脂層の表面を、上記で作製したITO膜がスパッタ形成されたカラーフィルタ基板のITO膜上に重ね合わせ、ラミネーターLamicII型〔(株)日立インダストリイズ製〕を用いて、線圧100N/cm、130℃の加圧・加熱条件下で搬送速度2m/分にて貼り合わせた。その後、PET仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離除去し、感光性樹脂層を熱可塑性樹脂層及び中間層と共に転写した。
引き続き、炭酸Na系現像液(0.38モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47モル/リットルの炭酸ナトリウム、5%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有;商品名:T−CD1(富士フイルム(株)製)を純水で10倍に希釈した液)を用いて29℃で30秒間、フラット型ノズル噴射圧0.15MPaでシャワー現像し、スペーサーのパターン像を得た(CD工程)。
次いで、洗浄剤〔ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有;商品名:T−SD3(富士フイルム(株)製)〕を純水で10倍に希釈した液を用いて33℃で20秒間、フラット型ノズル噴射圧0.02MPaにてシャワーで吹きかけ、形成されたパターン像の周辺の残渣除去を行なった(SD工程)。
スペーサーが形成されたカラーフィルタ基板を用い、カラーフィルタの着色画素群の周囲を取り囲むように設けられたブラックマトリックス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、MVAモード用液晶を滴下して対向基板と貼り合わせ、貼り合わされた基板をUV照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして液晶セルを作製した。この液晶セルの両面に(株)サンリッツ製の偏光板HLC2−2518を貼り付け、次いで冷陰極管のバックライトを構成して偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置とした。
実施例1の「スペーサーの作製」において、T−SD3を純水で10倍に希釈した液を用いて残渣の除去を行なう際に、ナイロン毛を有する回転ブラシを用いてスペーサーパターンを擦って残渣除去を行なうようにしたこと以外は、実施例1と同様にして、スペーサーを形成し、さらに液晶表示装置を作製した。
実施例1の「スペーサーの作製」において、T−SD3を純水で10倍に希釈した液を用いてパターン像の周辺の残渣除去を終了した後、基板上の現像液及び洗浄液を純水で置換せずに純水を高圧噴射し、カラーフィルタ基板上の残渣を除去したこと以外は、実施例1と同様にして、スペーサーを形成し、さらに液晶表示装置を作製した。
実施例2の「スペーサーの作製」において、T−SD3を純水で10倍に希釈した液を用いて残渣の除去を終了した後、基板上の現像液及び洗浄液を純水で置換せずに純水を高圧噴射し、カラーフィルタ基板上の残渣を除去したこと以外は、実施例2と同様にして、スペーサーを形成し、さらに液晶表示装置を作製した。
上記の実施例及び比較例でのスペーサーの作製において、現像時に発生した現像ムラの発生状況を目視検査で観察すると共に、スペーサー周辺部の残渣、画素の欠陥(欠けやガタツキ)の発生状況を光学顕微鏡により観察し、下記の評価基準にしたがって評価した。評価結果は下記表3に示す。
<評価基準>
◎ :残渣、画素欠陥の発生が全く見られなかった。
○ :残渣、画素欠陥の発生が微かに見られた。
△ :残渣、画素欠陥の発生が僅かに見られた。
△△:残渣、画素欠陥の発生が比較的多く見られた。
× :残渣、画素欠陥の発生が画素のいたるところに見られた。
実施例1〜2及び比較例1〜2で作製した液晶表示装置を用い、比較例の液晶表示装置と比較することにより実施例の液晶表示装置を評価したところ、良好な表示特性を示すことが確認された。
Claims (5)
- 基板に形成された感光性樹脂層を露光後にアルカリ溶液により現像して画像を形成する画像形成工程と、
画像が形成された基板の前記画像形成面に残存するアルカリ溶液を、噴射ノズルと基板面との距離を50〜250mmとして水温5〜40℃の純水でノズル噴射圧0.5MPa以下にて置換することにより洗浄する第1の洗浄工程と、
前記洗浄後の前記基板の画像形成面に、さらに噴射ノズルと基板面との距離を50〜150mmとして水温5〜40℃の純水をノズル噴射圧3〜24MPaにて噴射して残渣を除去することにより洗浄する第2の洗浄工程と、
を有する画像形成方法。 - 前記感光性樹脂層が着色剤を含み、前記画像として着色された画像パターンを形成することにより、前記画像パターンで構成されたカラーフィルタを形成することを特徴とする請求項1に記載の画像形成方法。
- 前記画像形成工程は、仮支持体上に少なくとも感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いて前記基板上に感光性樹脂層を転写形成する転写工程を含み、基板上に転写形成された感光性樹脂層を露光後にアルカリ溶液により現像することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の画像形成方法。
- 請求項2又は請求項3に記載の画像形成方法を用いて形成されたカラーフィルタ。
- 請求項4に記載のカラーフィルタを備えた表示装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008057730A JP5008590B2 (ja) | 2008-03-07 | 2008-03-07 | 画像形成方法、並びにカラーフィルタ及び表示装置 |
KR1020090018019A KR20090096327A (ko) | 2008-03-07 | 2009-03-03 | 화상 형성 방법, 컬러 필터 및 표시 장치 |
CN2009101185786A CN101526761B (zh) | 2008-03-07 | 2009-03-04 | 图像形成方法、以及滤色片和显示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008057730A JP5008590B2 (ja) | 2008-03-07 | 2008-03-07 | 画像形成方法、並びにカラーフィルタ及び表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009216779A JP2009216779A (ja) | 2009-09-24 |
JP5008590B2 true JP5008590B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=41094672
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008057730A Expired - Fee Related JP5008590B2 (ja) | 2008-03-07 | 2008-03-07 | 画像形成方法、並びにカラーフィルタ及び表示装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5008590B2 (ja) |
KR (1) | KR20090096327A (ja) |
CN (1) | CN101526761B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5989376B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-09-07 | Hoya株式会社 | 欠陥評価用マスクブランクの製造方法、並びに欠陥評価方法 |
US10197912B2 (en) | 2013-05-24 | 2019-02-05 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Method for manufacturing color photoresist pattern in color filter |
CN103293881B (zh) * | 2013-05-24 | 2015-11-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显影液组成物在制备彩色滤光片中的应用 |
JP6329380B2 (ja) * | 2014-02-07 | 2018-05-23 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置の製造方法および製造装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01214863A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-29 | Toshiba Corp | 現像装置 |
JPH04196519A (ja) * | 1990-11-28 | 1992-07-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板のシャワーリンス装置 |
JPH09179312A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-07-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板現像処理装置 |
JP2000137335A (ja) * | 1998-11-04 | 2000-05-16 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ製造用現像装置 |
JP4196519B2 (ja) * | 2000-04-18 | 2008-12-17 | トヨタ自動車株式会社 | 内燃機関の高圧燃料供給装置 |
JP2006171543A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラーフィルターの製造法 |
-
2008
- 2008-03-07 JP JP2008057730A patent/JP5008590B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-03-03 KR KR1020090018019A patent/KR20090096327A/ko not_active Application Discontinuation
- 2009-03-04 CN CN2009101185786A patent/CN101526761B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009216779A (ja) | 2009-09-24 |
CN101526761B (zh) | 2013-05-08 |
CN101526761A (zh) | 2009-09-09 |
KR20090096327A (ko) | 2009-09-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5383288B2 (ja) | 感光性組成物、感光性樹脂転写フイルム、樹脂パターン及び樹脂パターンの製造方法、並びに液晶表示装置用基板及び液晶表示装置 | |
US8040470B2 (en) | Method for producing partition wall for color filter, substrate with partition wall for color filter, color filter for display element, and display device | |
JP5371245B2 (ja) | 感光性転写材料、表示装置用部材及びその製造方法、ブラックマトリクス、カラーフィルタ及びその製造方法、表示装置用基板、並びに表示装置 | |
JP4913750B2 (ja) | 感光性転写材料、隔壁及びその形成方法、光学素子及びその製造方法、並びに表示装置 | |
JP2011095716A (ja) | 着色感光性樹脂組成物、着色樹脂パターンの製造方法、カラーフィルター、および液晶表示装置 | |
JP2009237362A (ja) | 重合性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 | |
KR101608762B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 감광성 수지 전사 재료, 포토 스페이서와 그 제조 방법, 표시 장치용 기판, 및 표시 장치 | |
JP5159608B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性転写材料、隔壁及びその形成方法、光学素子及びその製造方法、並びに表示装置 | |
JP5008590B2 (ja) | 画像形成方法、並びにカラーフィルタ及び表示装置 | |
JP2007304209A (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法並びに表示装置 | |
JP2009069589A (ja) | 画像形成方法 | |
JP5013913B2 (ja) | 離画壁用感光性樹脂膜の形成方法、感光性転写材料、離画壁付基板、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置 | |
JP2006208796A (ja) | 着色感光性樹脂組成物、着色感光性樹脂膜、感光性樹脂転写材料、遮光膜及びその形成方法、感光性樹脂層の形成方法、カラーフィルター、並びに画像表示装置 | |
JP2007304534A (ja) | 感光性転写材料、隔壁及びその形成方法、光学素子及びその製造方法、並びに表示装置 | |
JP2008107779A (ja) | 感光性転写材料、隔壁及びその形成方法、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置 | |
JP2006259138A (ja) | 感光性転写材料、カラーフィルタ及びその製造方法、液晶表示装置 | |
WO2007105381A1 (ja) | フォトスペーサー用感光性樹脂組成物及びフォトスペーサーの製造方法並びに液晶表示装置用基板、液晶表示素子及び液晶表示装置 | |
JP2010060841A (ja) | 感光性転写材料、樹脂パターンの形成方法、樹脂パターン付き基板、表示装置及び液晶表示装置 | |
JP2007293231A (ja) | 感光性転写材料、隔壁及びその形成方法、光学素子及びその製造方法、並びに表示装置 | |
JP4792321B2 (ja) | 感光性樹脂転写材料、カラーフィルターおよびその製造方法、ならびに画像表示装置 | |
JP2010039022A (ja) | パターン構造物の製造方法、パターン構造物付き基板及び液晶表示装置 | |
JP2007279467A (ja) | 感光性樹脂転写材料、カラーフィルターおよびその製造方法、ならびに画像表示装置 | |
KR20090123848A (ko) | 감광성 수지 조성물, 감광성 전사 재료, 화소 분리벽 및 그형성방법, 화소 분리벽을 가진 기판, 컬러필터 및 그 제조방법, 그리고 표시장치 | |
JP2008064960A (ja) | カラーフィルタ及び表示装置 | |
JP2008250102A (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性転写材料、離画壁及びその形成方法、離画壁付き基板、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100715 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120312 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120508 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120529 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5008590 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |