JP5008300B2 - Separation wall and manufacturing method thereof, color filter and manufacturing method thereof, and liquid crystal display device - Google Patents
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Description
本発明は、離画壁及びその製造方法、カラーフィルタ及びその製造方法並びに液晶表示装置に関する。 The present invention relates to a separation wall and a manufacturing method thereof, a color filter, a manufacturing method thereof, and a liquid crystal display device.
表示装置用カラーフィルタは、ガラス等の基板上に赤色、緑色、青色のドット状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、その境界をブラックマトリックス等の離画壁で区分した構造である。このようなカラーフィルタの製造方法としては、従来、支持体としてガラス等の基板を用い、1)染色法、2)印刷法、3)着色した感光性樹脂液の塗布と露光及び現像の繰り返しによる着色感光性樹脂液法(着色レジスト法)(例えば、特許文献1、2及び3参照。)、4)仮支持体上に形成した画像を順次、最終又は仮の支持体上に転写する方法(例えば、特許文献4、5及び6参照。)、5)予め着色した感光性樹脂液を仮支持体上に塗布することにより着色層を形成し、順次直接、基板上にこの感光性着色層を転写し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法等により多色画像を形成する方法(転写方式)(例えば、特許文献7参照。)が知られている。またインクジェット法を用いる方法(例えば、特許文献8参照。)も知られている。 The color filter for a display device has a structure in which red, green, and blue dot images are arranged in a matrix on a substrate such as glass, and the boundary is divided by a separation wall such as a black matrix. As a manufacturing method of such a color filter, conventionally, a substrate such as glass is used as a support, 1) a dyeing method, 2) a printing method, 3) application of a colored photosensitive resin solution, and repeated exposure and development. Colored photosensitive resin liquid method (colored resist method) (see, for example, Patent Documents 1, 2, and 3), 4) A method of sequentially transferring an image formed on a temporary support onto a final or temporary support ( For example, see Patent Documents 4, 5 and 6.) 5) A colored layer is formed by coating a preliminarily colored photosensitive resin solution on a temporary support, and this photosensitive colored layer is formed directly on the substrate in sequence. A method of forming a multicolor image (transfer method) (for example, see Patent Document 7) by a method of repeating transfer, exposure and development by the number of colors is known. A method using an ink jet method (for example, see Patent Document 8) is also known.
これらの方法のうち、着色レジスト法は位置精度高くカラーフィルタを作製できるものの、感光層樹脂液の塗布にロスが多くコスト的には有利とは言えない。一方インクジェット法は樹脂液のロスが少なくコスト的に有利ではあるものの、画素の位置精度が悪いという問題がある。これらを克服すべく、ブラックマトリックスを着色レジスト法で形成し、RGB画素をインクジェット法で作製するカラーフィルタ製造法も提案されているが、作成されたブラックマトリックスの断面形状を観察すると、上端やそのエッジが丸くなっており、後に打滴された各色インクがブラックマトリックスをのり越えやすいために、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどが起こる恐れがある。これを防ぐ為、ブラックマトリックスとインクとの間に、お互いはじきあう性質を持たせたり、ブラックマトリックス間隙部のインクの濡れ性を高めたりする方法が開示されている(例えば、特許文献9、10及び11参照)が、これらの方法では、ブラックマトリックス用着色レジストやインクに特殊な素材が必要であったり、ブラックマトリックス間隙部の表面エネルギーを高める工程(表面改質処理)が必要であり、コスト的な問題がなお残されている。
また、プラズマ処理により離画壁を撥インク処理する方法が知られている(例えば、特許文献12参照。)。
In addition, a method of performing ink repellent treatment on a separation wall by plasma treatment is known (for example, see Patent Document 12).
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、位置精度よく混色等のない画素を形成可能な離画壁及びその製造方法、低コスト及び高効率なカラーフィルタの製造方法及びその方法により得られたカラーフィルタ並びにこのカラーフィルタを有する液晶表示装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and a separation wall capable of forming pixels with no positional color accuracy and a color separation method, a manufacturing method thereof, a low-cost and high-efficiency color filter manufacturing method, and It is an object of the present invention to provide a color filter obtained by the method and a liquid crystal display device having the color filter.
即ち、本発明は、
<1> 基板上に形成された離画壁用感光性組成物を貧酸素雰囲気下にて露光する工程と、その後現像して離画壁を形成する工程と、得られた離画壁の上表面に撥インク性化合物を下記(4)および(6)から選ばれる1種の方法により設ける工程と、を含む離画壁の製造方法であって、撥インク性化合物を設ける工程後の前記離画壁の断面において、前記離画壁の前記基板からの高さが最も高い点における前記基板からの高さをhと、前記基板から0.8hの位置に前記基板と平行な線をL1と、L1と前記離画壁表面が交わる点における接線をL2と、hの位置に基板と平行な線をL3としたとき、L2とL3との交点から前記離画壁までの距離dをhで除した値d/hが0.04以下であることを特徴とする離画壁の製造方法である。
(4)前記上表面に撥インク性化合物を塗布する方法
(6)重合性基を有する撥インク性化合物に接触させて露光する方法
That is, the present invention
<1> A step of exposing the photosensitive composition for a separation wall formed on the substrate in an oxygen-poor atmosphere, a step of developing the photosensitive composition after that to form a separation wall, and a top of the obtained separation wall under Symbol ink-repellent compound in the surface (4) and a step of providing the one method selected from (6), a Hanarega wall production method including the following steps providing an ink repellent compound In the cross section of the separation wall, the height from the substrate at the highest point of the separation wall from the substrate is h, and a line parallel to the substrate is L at a position 0.8 h from the substrate. 1, a tangent line at a point where L 1 and the Hanarega wall surface intersects the L 2, when the substrate and a line parallel with the L 3 to the position of h, the Hanarega wall from the intersection of the L 2 and L 3 A value d / h obtained by dividing the distance d by h by 0.04 or less is 0.04 or less. .
( 4) A method of applying an ink repellent compound to the upper surface
( 6) Method of exposure by contacting with an ink repellent compound having a polymerizable group
<2> 前記貧酸素雰囲気下にて露光する工程が、不活性ガス雰囲気下で露光する工程、減圧下で露光する工程、及び酸素を遮断しうる保護層を設けて露光する工程から選ばれる1又は2以上の工程である<1>に記載の離画壁の製造方法である。 < 2 > The step of exposing in an oxygen-poor atmosphere is selected from a step of exposing in an inert gas atmosphere , a step of exposing under reduced pressure , and a step of exposing by providing a protective layer capable of blocking oxygen. Or it is a manufacturing method of the image separation wall as described in < 1 > which is two or more processes .
<3> 前記現像する工程の後に再露光を行うことによって前記離画壁の形状を固定化することを特徴とする<1>又は<2>に記載の離画壁の製造方法である。 < 3 > The method for producing a separation wall according to < 1 > or < 2 >, wherein the shape of the separation wall is fixed by performing re-exposure after the developing step .
<4> 前記再露光における露光量が500mJ/cm2以上であることを特徴とする<3>に記載の離画壁の製造方法である。 <4> The Ru manufacturing method der of Hanarega wall according to <3>, wherein the exposure amount is 500 mJ / cm 2 or more at re-exposed.
<5> <1>乃至<4>のいずれか1つに記載の製造方法で製造された離画壁と、前記離画壁間に設けられた複数の画素と、を有するカラーフィルタである。 < 5 > A color filter having a separation wall manufactured by the manufacturing method according to any one of <1> to < 4 >, and a plurality of pixels provided between the separation walls.
<6> <1>乃至<4>のいずれか1つに記載の製造方法で製造された離画壁と、前記離画壁間に設けられた複数の画素と、を有するカラーフィルタの製造方法であって、前記離画壁間に着色液体組成物による液滴をインクジェット法で付与する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 < 6 > A method for producing a color filter, comprising: a separation wall produced by the production method according to any one of <1> to < 4 >, and a plurality of pixels provided between the separation walls. A method for producing a color filter comprising a step of applying droplets of a colored liquid composition between the separation walls by an ink jet method.
<7> <5>に記載のカラーフィルタを有する液晶表示装置である。 < 7 > A liquid crystal display device having the color filter according to < 5 >.
本発明によれば、位置精度よく混色等のない画素を形成可能な離画壁及びその製造方法、低コスト及び高効率なカラーフィルタの製造方法及びその方法により得られたカラーフィルタ並びにこのカラーフィルタを有する液晶表示装置を提供することができる。 According to the present invention, a separation wall capable of forming a pixel without color mixing with high positional accuracy, a method for manufacturing the same, a method for manufacturing a low-cost and high-efficiency color filter, a color filter obtained by the method, and the color filter A liquid crystal display device having the above can be provided.
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の離画壁の製造方法は、基板上に形成された離画壁用感光性組成物を貧酸素雰囲気下にて露光する工程と、その後現像して離画壁を形成する工程と、得られた離画壁の上表面に撥インク性化合物を下記(4)および(6)から選ばれる1種の方法により設ける工程と、を含む離画壁の製造方法であって、撥インク性化合物を設ける工程後の前記離画壁の断面において、前記離画壁の前記基板からの高さが最も高い点における前記基板からの高さをhと、前記基板から0.8hの位置に前記基板と平行な線をL1と、L1と前記離画壁表面が交わる点における接線をL2と、hの位置に基板と平行な線をL3としたとき、L2とL3との交点から前記離画壁までの距離dをhで除した値d/hが0.04以下であることを特徴とする。
(4)前記上表面に撥インク性化合物を塗布する方法
(6)重合性基を有する撥インク性化合物に接触させて露光する方法
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The method for producing a separation wall according to the present invention includes a step of exposing a photosensitive composition for a separation wall formed on a substrate in an oxygen-poor atmosphere, and then developing to form a separation wall. a step resulting Hanarega ink repellent compound on the upper surface of the wall provided by one of the methods selected from the following SL (4) and (6), a Hanarega wall production method of containing, ink repellent In the cross section of the separation wall after the step of providing the functional compound, the height from the substrate at the highest height of the separation wall from the substrate is h, and the position is 0.8 h from the substrate. When L 1 is a line parallel to the substrate, L 2 is a tangent line at a point where L 1 and the surface of the separation wall intersect, and L 3 is a line parallel to the substrate at the position h, L 2 and L 3 A value d / h obtained by dividing the distance d from the intersection with the separation wall by h is 0.04 or less. .
( 4) A method of applying an ink repellent compound to the upper surface
( 6) Method of exposure by contacting with an ink repellent compound having a polymerizable group
本発明の離画壁を図面を用いて説明する。図1は、本発明の離画壁を説明するための模式断面図である。離画壁1は基板2上に形成されている。本発明の離画壁は、離画壁1の基板2からの高さが最も高い点における基板2からの高さをhと、基板2から0.8hの位置に基板2と平行な線をL1と、L1と離画壁1が交わる点における接線をL2と、hの位置に基板2と平行な線をL3としたとき、L2とL3との交点から離画壁1までの距離dをhで除した値d/hが0.04以下のものである。
また、本発明において上表面とは、離画壁の表面であって該表面の接線と基板表面とのなす角度が10°以下の範囲をいう。
The image separation wall of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view for explaining a separation wall according to the present invention. The separation wall 1 is formed on the substrate 2. In the separation wall of the present invention, the height from the substrate 2 at the highest point of the separation wall 1 from the substrate 2 is h, and a line parallel to the substrate 2 is placed at a position 0.8 h from the substrate 2. and L 1, the tangent at the L 1 and Hanarega wall 1 Majiwa that point and L 2, when a line parallel to the substrate 2 in the position of h was L 3, from the intersection of the L 2 and L 3 Hanarega A value d / h obtained by dividing the distance d to the wall 1 by h is 0.04 or less.
In the present invention, the upper surface refers to a surface of the separation wall, and an angle formed between a tangent to the surface and the substrate surface is 10 ° or less.
図2は、離画壁の好ましくない断面形状を説明するための模式断面図である。
d/h値が0.04よりも大きいと、後述するインクジェット法によりカラーフィルタを製造する際に着色液体組成物(インク)のはみ出し、混色又は境界乱れなどが起こりやすくなり好ましくない。d/h値の好ましい範囲は0.03以下であり、さらに好ましくは0.025以下である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view for explaining an undesirable cross-sectional shape of the separation wall.
If the d / h value is larger than 0.04, the color liquid composition (ink) tends to protrude, mix colors, or disturb the boundary when producing a color filter by the ink jet method described later, which is not preferable. A preferable range of the d / h value is 0.03 or less, and more preferably 0.025 or less.
本発明の離画壁においては、前記上表面に撥インク性化合物が存在する。離画壁の上表面に撥インク性化合物が存在しないと、インクの混色が生じることがあるため好ましくない。 In the separation wall of the present invention, an ink repellent compound is present on the upper surface. If the ink repellent compound is not present on the upper surface of the separation wall, ink color mixing may occur, which is not preferable.
離画壁の上表面の表面粗さは、50nm以下が好ましく、30nm以下がより好ましく、20nm以下がさらに好ましく、特に10nm以下が好ましい。表面粗さが50nm以下であれば、インクのはみ出しや混色などの障害の発生を防ぐことができる。
なお、本発明における表面粗さは接触式表面粗さ計P−10(TENCOR社製)を用いて測定したRaの値である。
The surface roughness of the upper surface of the separation wall is preferably 50 nm or less, more preferably 30 nm or less, further preferably 20 nm or less, and particularly preferably 10 nm or less. If the surface roughness is 50 nm or less, it is possible to prevent the occurrence of troubles such as ink protrusion and color mixing.
In addition, the surface roughness in this invention is the value of Ra measured using the contact-type surface roughness meter P-10 (made by TENCOR).
本発明の離画壁は、離画壁用組成物から形成される。この離画壁用組成物から形成される本発明の離画壁の光学濃度は、2.5〜6.0が好ましく、3.1〜6.0がより好ましく、3.5〜4.5が最も好ましい。2.5以下では遮光性不足で表示性能が低下することがある。6.0以上ではパターン形成性が悪くなる場合がある。組成物中の濃色体は有機物(染料、顔料などの各種色素)であっても、また各形態の炭素であっても、これらの組み合わせからなるものであってもよい。かかる濃色体は、特に限定されないが、黒色体がもっとも多く使用される。 The separation wall of the present invention is formed from the composition for the separation wall. The optical density of the separation wall of the present invention formed from the composition for the separation wall is preferably 2.5 to 6.0, more preferably 3.1 to 6.0, and 3.5 to 4.5. Is most preferred. Below 2.5, the display performance may deteriorate due to insufficient light shielding. If it is 6.0 or more, pattern formability may deteriorate. The dark colored substance in the composition may be an organic substance (various dyes such as dyes and pigments), carbon in various forms, or a combination thereof. Such a dark body is not particularly limited, but a black body is most often used.
本発明に用いる濃色体としては、具体的には、特開2005−17716号公報[0038]〜[0054]に記載の顔料及び染料や、特開2004−361447号公報[0068]〜[0072]に記載の顔料や、特開2005−17521号公報[0080]〜[0088]に記載の着色剤を好適に用いることができる。
本発明の離画壁用組成物には、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、離画壁に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、4酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができる。公知の着色剤(染料、顔料)を使用することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、離画壁用組成物中に均一に分散されていることが好ましい。
Specific examples of the dark color used in the present invention include pigments and dyes described in JP-A-2005-17716 [0038] to [0054], and JP-A-2004-361447 [0068] to [0072]. And the colorants described in JP-A-2005-17521 [0080] to [0088] can be suitably used.
For the separation wall composition of the present invention, organic pigments, inorganic pigments, dyes, and the like can be suitably used. When the separation wall is required to have a light-shielding property, carbon black, titanium oxide, tetraoxide In addition to light-shielding agents such as metal oxide powder such as iron, metal sulfide powder, and metal powder, a mixture of pigments such as red, blue, and green can be used. Known colorants (dyes and pigments) can be used. In the case of using a pigment among the known colorants, it is preferable that the pigment is uniformly dispersed in the separating wall composition.
離画壁用組成物の固形分中の濃色体の比率は、十分に現像時間を短縮する観点から、30〜70質量%であることが好ましく、40〜60質量%であることがより好ましく、50〜55質量%であることが更に好ましい。
黒色濃色体として、更に例示すると、カーボンブラック、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン、黒鉛などが挙げられ、中でも、カーボンブラックが好ましい。
上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、有機溶媒(又はビヒクル)に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビヒクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分(バインダー)と、これを溶解希釈する成分(有機溶媒)とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、2000年、438項に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献310項記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
From the viewpoint of sufficiently shortening the development time, the ratio of the dark color body in the solid content of the separating wall composition is preferably 30 to 70% by mass, and more preferably 40 to 60% by mass. More preferably, it is 50-55 mass%.
Further examples of the dark black color body include carbon black, titanium carbon, iron oxide, titanium oxide, and graphite. Among these, carbon black is preferable.
The pigment is desirably used as a dispersion. This dispersion can be prepared by adding and dispersing a composition obtained by previously mixing the pigment and the pigment dispersant in an organic solvent (or vehicle). The vehicle refers to a portion of a medium in which a pigment is dispersed when the paint is in a liquid state, and is a liquid portion that binds to the pigment and hardens the coating film (binder), and a component that dissolves and dilutes the portion. (Organic solvent). The disperser used for dispersing the pigment is not particularly limited. For example, the kneader described in Kazuzo Asakura, “Encyclopedia of Pigments”, first edition, Asakura Shoten, 2000, 438, Known dispersing machines such as a roll mill, an atrider, a super mill, a dissolver, a homomixer, and a sand mill can be used. Further, fine grinding may be performed using frictional force by mechanical grinding described in Item 310 of the document.
本発明で用いる濃色体(顔料)は、分散安定性の観点から、数平均粒径0.001〜0.1μmのものが好ましく、更に0.01〜0.08μmのものが好ましい。尚、ここで言う「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言い、また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この100個平均値をいう。 The dark color body (pigment) used in the present invention preferably has a number average particle diameter of 0.001 to 0.1 μm, more preferably 0.01 to 0.08 μm, from the viewpoint of dispersion stability. The “particle diameter” as used herein refers to the diameter when the electron micrograph image of the particle is a circle of the same area, and the “number average particle diameter” is the above-mentioned particle diameter for a number of particles, This 100 average value is said.
離画壁用組成物はかかる濃色体以外に、重合開始剤、及び多官能性モノマーを少なくとも含んでなることが好ましい。また、必要に応じて更に公知の添加剤、例えば、可塑剤、充填剤、安定化剤、重合禁止剤、界面活性剤、溶剤、密着促進剤等を含有させることができる。さらに離画壁用組成物は少なくとも150℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。かかる観点からは、相溶性の可塑剤を添加することで改質することができる。 The separating wall composition preferably comprises at least a polymerization initiator and a polyfunctional monomer in addition to the dark color body. Further, if necessary, a known additive such as a plasticizer, a filler, a stabilizer, a polymerization inhibitor, a surfactant, a solvent, an adhesion promoter, and the like can be further contained. Further, the separating wall composition is preferably softened or tacky at a temperature of at least 150 ° C., and is preferably thermoplastic. From such a viewpoint, it can be modified by adding a compatible plasticizer.
離画壁用組成物を硬化させる方法としては、熱開始剤を用いる熱開始系や光開始剤を用いる光開始系が一般的であるが、本発明では硬化後の離画壁を前述した形状とすることが重要であることから、光開始系を用いることが好ましい。以下、本発明において光開始系の離画壁用組成物を離画壁用感光性組成物と称する。 As a method of curing the composition for the separation wall, a heat initiation system using a thermal initiator and a photoinitiation system using a photoinitiator are common, but in the present invention, the separation wall after curing has the shape described above. Therefore, it is preferable to use a photoinitiating system. Hereinafter, in the present invention, the photoinitiating composition for the separating wall is referred to as a photosensitive composition for the separating wall.
離画壁用感光性組成物で用いられる光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の照射(露光ともいう)により、後述の多官能性モノマーの重合を開始する活性種を発生し得る化合物であり、公知の光重合開始剤若しくは光重合開始剤系の中から適宜選択することができる。 The photopolymerization initiator used in the photosensitive composition for the separation wall is a polymerization of a polyfunctional monomer described later by irradiation (also referred to as exposure) of radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, and X-ray. Is a compound capable of generating an active species that initiates the reaction, and can be appropriately selected from known photopolymerization initiators or photopolymerization initiator systems.
例えば、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、等を挙げることができる。 For example, trihalomethyl group-containing compounds, acridine compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, diazo compounds Compound, etc. can be mentioned.
具体的には、特開2001−117230公報に記載の、トリハロメチル基が置換したトリハロメチルオキサゾール誘導体又はs−トリアジン誘導体、米国特許第4239850号明細書に記載のトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第4212976号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾール化合物などのトリハロメチル基含有化合物; Specifically, a trihalomethyl group-substituted trihalomethyloxazole derivative or s-triazine derivative described in JP-A No. 2001-117230, a trihalomethyl-s-triazine compound described in US Pat. No. 4,239,850, A trihalomethyl group-containing compound such as the trihalomethyloxadiazole compound described in Japanese Patent No. 4221976;
9−フェニルアクリジン、9−ピリジルアクリジン、9−ピラジニルアクリジン、1,2−ビス(9−アクリジニル)エタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパン、1,4−ビス(9−アクリジニル)ブタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,6−ビス(9−アクリジニル)ヘキサン、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン、1,8−ビス(9−アクリジニル)オクタン、1,9−ビス(9−アクリジニル)ノナン、1,10−ビス(9−アクリジニル)デカン、1,11−ビス(9−アクリジニル)ウンデカン、1,12−ビス(9−アクリジニル)ドデカン等のビス(9−アクリジニル)アルカン、などのアクリジン系化合物; 9-phenylacridine, 9-pyridylacridine, 9-pyrazinylacridine, 1,2-bis (9-acridinyl) ethane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, 1,4-bis (9-acridinyl) ) Butane, 1,5-bis (9-acridinyl) pentane, 1,6-bis (9-acridinyl) hexane, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,8-bis (9-acridinyl) octane 1,9-bis (9-acridinyl) nonane, 1,10-bis (9-acridinyl) decane, 1,11-bis (9-acridinyl) undecane, 1,12-bis (9-acridinyl) dodecane, etc. Acridine compounds such as bis (9-acridinyl) alkane;
6−(p−メトキシフェニル)−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、6−〔p−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンなどのトリアジン系化合物;その他、9,10−ジメチルベンズフェナジン、ミヒラーズケトン、ベンゾフェノン/ミヒラーズケトン、ヘキサアリールビイミダゾール/メルカプトベンズイミダゾール、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン/アミン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールなどが挙げられる。 6- (p-methoxyphenyl) -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis ( Triazine compounds such as trichloromethyl) -s-triazine; 9,10-dimethylbenzphenazine, Michler's ketone, benzophenone / Michler's ketone, hexaarylbiimidazole / mercaptobenzimidazole, benzyldimethyl ketal, thioxanthone / amine, 2,2 ′ -Bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like.
上記のうち、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物から選択される少なくとも一種が好ましく、特に、トリハロメチル基含有化合物及びアクリジン系化合物から選択される少なくとも一種を含有することが好ましい。トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物は、汎用性でかつ安価である点でも有用である。 Among the above, at least one selected from a trihalomethyl group-containing compound, an acridine compound, an acetophenone compound, a biimidazole compound, and a triazine compound is preferable, and particularly selected from a trihalomethyl group-containing compound and an acridine compound. It is preferable to contain at least one kind. Trihalomethyl group-containing compounds and acridine compounds are also useful in that they are versatile and inexpensive.
特に好ましいのは、トリハロメチル基含有化合物としては、2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾールであり、アクリジン系化合物としては、9−フェニルアクリジンであり、更に、6−〔p−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−ブトキシスチリル)−5−トリクロロメチル−1,3,4−オキサジアゾールなどのトリハロメチル基含有化合物、及びミヒラーズケトン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールである。 Particularly preferred as the trihalomethyl group-containing compound is 2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole, and as the acridine compound, 9-phenylacridine is preferred. Further, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-butoxystyryl) -5 Trihalomethyl group-containing compounds such as trichloromethyl-1,3,4-oxadiazole, and Michler's ketone, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl- 1,2'-biimidazole.
前記光重合開始剤は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤の離画壁用感光性組成物における総量としては、離画壁用感光性組成物の全固形分(質量)の0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜10質量%が特に好ましい。前記総量が、0.1質量%未満であると、組成物の光硬化の効率が低く露光に長時間を要することがあり、20質量%を超えると、現像する際に、形成された画像パターンが欠落したり、パターン表面に荒れが生じやすくなることがある。 The said photoinitiator may be used independently and may use 2 or more types together. The total amount of the photopolymerization initiator in the photosensitive composition for the separation wall is preferably 0.1 to 20% by mass of the total solid content (mass) of the photosensitive composition for the separation wall, and is preferably 0.5 to 10%. Mass% is particularly preferred. When the total amount is less than 0.1% by mass, the photocuring efficiency of the composition is low and exposure may take a long time. When it exceeds 20% by mass, an image pattern formed during development is formed. May be lost or the pattern surface may be rough.
前記光重合開始剤は、水素供与体を併用して構成されてもよい。該水素供与体としては、感度をより良化することができる点で、以下で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。ここでの「水素供与体」とは、露光により前記光重合開始剤から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物をいう。 The photopolymerization initiator may be configured using a hydrogen donor in combination. The hydrogen donor is preferably a mercaptan compound or an amine compound as defined below from the viewpoint that sensitivity can be further improved. The “hydrogen donor” herein refers to a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from the photopolymerization initiator by exposure.
前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、更に好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「メルカプタン系水素供与体」という)である。また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、更に好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「アミン系水素供与体」という)である。尚、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有していてもよい。 The mercaptan-based compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having one or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2, mercapto groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “ A mercaptan-based hydrogen donor). The amine compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having 1 or more, preferably 1 to 3, and more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “the amine compound”). , Referred to as “amine-based hydrogen donor”). These hydrogen donors may have a mercapto group and an amino group at the same time.
上記のメルカプタン系水素供与体の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン、等が挙げられる。これらのうち、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。 Specific examples of the mercaptan-based hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto-2. , 5-dimethylaminopyridine, and the like. Of these, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.
上記のアミン系水素供与体の具体例としては、4、4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4、4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げられる。これらのうち、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく、特に4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。 Specific examples of the amine-based hydrogen donor include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, ethyl. Examples include -4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile and the like. Of these, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone are preferable, and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable.
前記水素供与体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができ、形成された画像が現像時に永久支持体上から脱落し難く、かつ強度及び感度も向上させ得る点で、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組合せて使用することが好ましい。 The hydrogen donor can be used alone or in admixture of two or more, and the formed image is difficult to drop off from the permanent support during development, and can be improved in strength and sensitivity. It is preferable to use a combination of one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors.
前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組合せの具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられる。より好ましい組合せは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンであり、特に好ましい組合せは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである。 Specific examples of the combination of the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-. Examples thereof include bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone. More preferred combinations are 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and a particularly preferred combination is 2-mercaptobenzobenzone. Thiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone.
前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体とを組合せた場合の、メルカプタン系水素供与体(M)とアミン系水素供与体(A)との質量比(M:A)は、通常1:1〜1:4が好ましく、1:1〜1:3がより好ましい。前記水素供与体の離画壁用感光性組成物における総量としては、離画壁用感光性組成物の全固形分(質量)の0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜10質量%が特に好ましい。 When the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor are combined, the mass ratio (M: A) of the mercaptan hydrogen donor (M) to the amine hydrogen donor (A) is usually 1: 1-1: 4 is preferable, and 1: 1-1: 3 is more preferable. The total amount of the hydrogen donor in the photosensitive composition for the separation wall is preferably 0.1 to 20% by mass, and preferably 0.5 to 10% by mass based on the total solid content (mass) of the photosensitive composition for the separation wall. % Is particularly preferred.
離画壁用感光性組成物の多官能性モノマーとしては、下記化合物を単独で又は他のモノマーと組み合わせて使用することができる。具体的には、t−ブチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、2−エチル−2−ブチル−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、1,4−ジイソプロペニルベンゼン、1,4−ジヒドロキシベンゼンジ(メタ)アクリレート、デカメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、スチレン、ジアリルフマレート、トリメリット酸トリアリル、ラウリル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、キシリレンビス(メタ)アクリルアミド、等が挙げられる。 As the polyfunctional monomer of the photosensitive composition for the separating wall, the following compounds can be used alone or in combination with other monomers. Specifically, t-butyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, 2- Ethyl-2-butyl-propanediol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, polyoxy Ethylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tris (2- (meth) acryloyloxyethyl) isocyanurate, 1,4-diisopropenylbenzene, 1,4-dihydroxy Nzenji (meth) acrylate, decamethylene glycol di (meth) acrylate, styrene, diallyl fumarate, triallyl trimellitate, lauryl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, xylylenebis (meth) acrylamide, and the like.
また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート等のヒドロキシル基を有する化合物とヘキサメチレンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート等のジイソシアネートとの反応物も使用できる。
これらのうち、特に好ましいのは、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリス(2−アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレートである。
Reaction of compounds having hydroxyl groups such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate and polyethylene glycol mono (meth) acrylate with diisocyanates such as hexamethylene diisocyanate, toluene diisocyanate and xylene diisocyanate Things can also be used.
Of these, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, and tris (2-acryloyloxyethyl) isocyanurate are particularly preferable.
多官能性モノマーの離画壁用感光性組成物における含有量としては、離画壁用感光性組成物の全固形分(質量)に対して、5〜80質量%が好ましく、10〜70質量%が特に好ましい。前記含有量が、5質量%未満であると、組成物の露光部でのアルカリ現像液への耐性が劣ることがあり、80質量%を越えると、離画壁用感光性組成物としたときのタッキネスが増加してしまい、取扱い性に劣ることがある。 As content in the photosensitive composition for separating walls of a polyfunctional monomer, 5-80 mass% is preferable with respect to the total solid (mass) of the photosensitive composition for separating walls, and 10-70 mass. % Is particularly preferred. When the content is less than 5% by mass, the resistance to the alkali developer at the exposed portion of the composition may be inferior. When the content exceeds 80% by mass, the photosensitive composition for the separation wall is obtained. The tackiness increases and the handleability may be poor.
本発明の離画壁は、離画壁用感光性組成物を貧酸素雰囲気下にて露光し、その後現像することにより形成する。
かかる離画壁用感光性組成物を光硬化させる際の貧酸素雰囲気下とは、不活性ガス下、減圧下、酸素を遮断しうる保護層下から選ばれる1又は2以上のことを指しており、これらは詳しくは以下の通りである。
Hanarega wall of the present invention, the Hanarega wall photosensitive composition exposed under anoxic atmosphere, formed by subsequent development.
Under an oxygen-poor atmosphere when photocuring the photosensitive composition for a separating wall is one or more selected from an inert gas, a reduced pressure, and a protective layer capable of blocking oxygen. The details are as follows.
不活性ガスとは、N2、H2、CO2、などの一般的な気体や、He、Ne、Arなどの希ガス類をいう。この中でも、安全性や入手の容易さ、コストの問題から、N2が好適に利用される。 The inert gas refers to a general gas such as N 2 , H 2 or CO 2 or a rare gas such as He, Ne or Ar. Among these, N 2 is preferably used because of safety, availability, and cost.
減圧下とは500hPa以下、好ましくは100hPa以下の状態を指す。 Under reduced pressure refers to a state of 500 hPa or less, preferably 100 hPa or less.
酸素を遮断しうる保護層とは、例えば、特開昭46−2121号や特公昭56−40824号の各公報に記載の、ポリビニルエーテル/無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポリアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性塩、スチレン/マレイン酸の共重合体、マレイネート樹脂、及びこれらの二種以上の組合せ等が挙げられる。 Examples of the protective layer capable of blocking oxygen include, for example, polyvinyl ether / maleic anhydride polymers, water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose described in JP-A Nos. 46-2121 and 56-40824. Water-soluble cellulose ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, various polyacrylamides, various water-soluble polyamides, water-soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, ethylene oxide polymers, various starches And a group of water-soluble salts thereof, styrene / maleic acid copolymers, maleate resins, and combinations of two or more thereof.
これらの中でも特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンの組合せである。ポリビニルアルコールは鹸化率が80%以上であるものが好ましく、ポリビニルピロリドンの含有量はアルカリ可溶な樹脂層固形分の1〜75質量%が好ましく、より好ましくは1〜50質量%、更に好ましくは10〜40質量%である。 Among these, a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone is particularly preferable. The polyvinyl alcohol preferably has a saponification rate of 80% or more, and the content of polyvinyl pyrrolidone is preferably 1 to 75% by mass, more preferably 1 to 50% by mass, and still more preferably the alkali-soluble resin layer solid content. It is 10-40 mass%.
また、酸素を遮断しうる層としては各種フィルムを用いることもでき、たとえばPETをはじめとするポリエステル類、ナイロンをはじめとするポリアミド類、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA類)も好適に用いることができる。これらフィルムは必要に応じて延伸されたものでもよく、厚みは5〜300μmが適当であり、好ましくは20〜150μmである。また、離画壁を転写材料を用いて作製する場合、下記に記載の仮支持体を酸素を遮断しうる層として好適に用いることが可能である。 In addition, various films can be used as the layer capable of blocking oxygen. For example, polyesters such as PET, polyamides such as nylon, and ethylene-vinyl acetate copolymers (EVAs) are also preferably used. be able to. These films may be stretched as necessary, and the thickness is suitably 5 to 300 μm, preferably 20 to 150 μm. When the separation wall is produced using a transfer material, the temporary support described below can be suitably used as a layer capable of blocking oxygen.
このようにして作製された酸素を遮断しうる保護層の酸素透過係数は2000cm3/(m2・day・atm)以下が好ましいが、100cm3/(m2・day・atm)以下であることがより好ましく、もっとも好ましくは50cm3/(m2・day・atm)以下である。
酸素透過率が2000cm3/(m2・day・atm)より多い場合は効率的に酸素を遮断することができないため、離画壁を所望の形状にすることが困難となることがある。
The oxygen permeability coefficient of the protective layer capable of blocking oxygen produced in this way is preferably 2000 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less, but 100 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less. Is more preferably 50 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less.
When the oxygen permeability is higher than 2000 cm 3 / (m 2 · day · atm), oxygen cannot be effectively blocked, and it may be difficult to make the separation wall into a desired shape.
基板上において、上記で説明したような離画壁用感光性組成物を、同じく上記で説明した貧酸素雰囲気下で光重合した場合、組成物自身の吸収により組成物表面から基板方向への露光量は減衰するため、結果として表面の硬化がより進む。さらに、貧酸素雰囲気下であるために組成物表面での重合阻害が抑制され、こちらも結果として表面の硬化がより進む。これら二つの寄与により、基板上に形成された離画壁の断面におけるd/h値を0.04以下とすることができる。
これらの値は、実際には基板上に形成された離画壁を、基板ごと垂直にカットして断面を露出させ、顕微鏡等で直接観察することで測定する。こうして得られた離画壁形状を固定化する工程を経ることで、一旦その空隙に打滴されたインクは離画壁を乗り越えにくくなり、その結果、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどを防いで良好なカラーフィルタを得ることができる。
On the substrate, when the photosensitive composition for the separation wall as described above is photopolymerized under the poor oxygen atmosphere as described above, exposure from the surface of the composition toward the substrate by absorption of the composition itself. As the amount decays, the result is more surface hardening. Furthermore, since it is under an oxygen-poor atmosphere, inhibition of polymerization on the surface of the composition is suppressed, and as a result, the surface is further cured. Due to these two contributions, the d / h value in the cross section of the separation wall formed on the substrate can be made 0.04 or less.
These values are measured by actually observing the separation wall formed on the substrate vertically by cutting the entire substrate vertically to expose the cross section. By passing through the process of fixing the image separation wall shape obtained in this way, once the ink has been ejected into the gap, it becomes difficult to get over the image separation wall, and as a result, bleeding, protrusion, color mixture with adjacent pixels, and white A good color filter can be obtained while preventing omission.
本発明の離画壁を容易且つ低コストで実現するものとして、仮支持体上に少なくとも酸素を遮断しうる保護層(以下、酸素遮断層と称することがある。)と、離画壁用感光性組成物からなる層(離画壁用感光性組成物層)とを、この順に有してなる感光性転写材料を使用するという手法がある。このような材料を用いた場合、離画壁用感光性組成物層は酸素遮断層に保護されるため自動的に貧酸素雰囲気下となる。そのため露光工程を不活性ガス下や減圧下で行う必要がなく、現状の工程をそのまま利用できる利点がある。感光性転写材料における酸素遮断層及び離画壁用感光性組成物層を構成する材料は上述の通りである。
また、仮支持体上に少なくとも離画壁用感光性組成物層を有する感光性転写材料を用い、該仮支持体を「酸素を遮断しうる保護層」として用いてもよい。この場合は、上記酸素遮断層を設ける必要がなく、工程数を削減することが可能である。
In order to realize the separation wall of the present invention easily and at low cost, a protective layer capable of blocking at least oxygen (hereinafter sometimes referred to as an oxygen blocking layer) on the temporary support, and a photosensitive for the separation wall. There is a technique of using a photosensitive transfer material having a layer composed of a photosensitive composition (photosensitive composition layer for separation wall) in this order. When such a material is used, since the photosensitive composition layer for the separation wall is protected by the oxygen blocking layer, it automatically becomes in an oxygen-poor atmosphere. Therefore, it is not necessary to perform the exposure process under an inert gas or under reduced pressure, and there is an advantage that the current process can be used as it is. The materials constituting the oxygen blocking layer and the photosensitive composition layer for the separation wall in the photosensitive transfer material are as described above.
Alternatively, a photosensitive transfer material having at least a separation wall photosensitive composition layer on a temporary support may be used, and the temporary support may be used as a “protective layer capable of blocking oxygen”. In this case, it is not necessary to provide the oxygen barrier layer, and the number of steps can be reduced.
上記の感光性転写材料は、必要に応じて仮支持体と酸素遮断層との間に熱可塑性樹脂層を有していてもよい。かかる熱可塑性樹脂層とは、アルカリ可溶性であって、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、該樹脂成分としては、実質的な軟化点が80℃以下であることが好ましい。このような熱可塑性樹脂層が設けられることにより、離画壁の永久支持体との良好な密着性を発揮することができる。 The photosensitive transfer material may have a thermoplastic resin layer between the temporary support and the oxygen barrier layer as necessary. Such a thermoplastic resin layer is alkali-soluble and includes at least a resin component, and the resin component preferably has a substantial softening point of 80 ° C. or less. By providing such a thermoplastic resin layer, it is possible to exhibit good adhesion between the separation wall and the permanent support.
軟化点が80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、等が挙げられる。 Examples of alkali-soluble thermoplastic resins having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and acrylate copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylate copolymers, vinyltoluene and (meth) acrylic. Examples thereof include saponification products of acid ester copolymers, saponification products such as poly (meth) acrylic acid esters, and (meth) acrylic acid ester copolymers such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate.
熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に「プラスチック性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発行)による、軟化点が約80℃以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。 For the thermoplastic resin layer, at least one of the above-mentioned thermoplastic resins can be appropriately selected and used. Further, “Plastic Performance Handbook” (edited by the Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Industry Federation, published by the Industrial Research Council, Of those organic polymers having a softening point of about 80 ° C. or lower, issued on October 25, 1968), those soluble in an alkaline aqueous solution can be used.
また、軟化点が80℃以上の有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を80℃以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が80℃を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離型剤、等を加えることもできる。 In addition, for an organic polymer substance having a softening point of 80 ° C. or higher, by adding various plasticizers compatible with the polymer substance to the organic polymer substance, the substantial softening point is 80 ° C. or lower. It can also be used by lowering. In addition, these organic polymer substances include various polymers, supercooling substances, adhesion improvers or interfaces within the range where the substantial softening point does not exceed 80 ° C. for the purpose of adjusting the adhesive force with the temporary support. Activators, mold release agents, etc. can also be added.
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェートを挙げることができる。 Specific examples of preferable plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, and biphenyl diphenyl phosphate.
上記の感光性転写材料における仮支持体としては、化学的及び熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン(登録商標)、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル等、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましい。前記仮支持体の厚みとしては、5〜300μmが適当であり、好ましくは20〜150μmである。この厚みが5μm未満では、仮支持体を剥離する際に破れやすくなる傾向があり、また、仮支持体を介して露光する場合は、300μmを超えると解像度が低下する傾向がある。上記具体例の中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。 The temporary support in the above photosensitive transfer material can be appropriately selected from those that are chemically and thermally stable and composed of a flexible substance. Specifically, a thin sheet such as Teflon (registered trademark), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, polyester, or a laminate thereof is preferable. As thickness of the said temporary support body, 5-300 micrometers is suitable, Preferably it is 20-150 micrometers. If the thickness is less than 5 μm, the temporary support tends to be easily broken when peeled off, and if the exposure is performed via the temporary support, the resolution tends to be lowered if the thickness exceeds 300 μm. Among the above specific examples, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.
離画壁用感光性組成物層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄いカバーシートを設けることが好ましい。カバーシートは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、離画壁用感光性組成物層から容易に分離されねばならない。カバーシート材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。尚、カバーシートの厚さは、4〜40μmが一般的であり、5〜30μmが好ましく、10〜25μmが特に好ましい。 It is preferable to provide a thin cover sheet on the photosensitive composition layer for the separating wall in order to protect it from contamination and damage during storage. The cover sheet may be made of the same or similar material as the temporary support, but it must be easily separated from the release wall photosensitive composition layer. As the cover sheet material, for example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable. The thickness of the cover sheet is generally 4 to 40 μm, preferably 5 to 30 μm, particularly preferably 10 to 25 μm.
(基板)
カラーフィルタを構成する基板(永久支持体)、即ち離画壁が形成される基板としては、金属性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性で寸度安定性の良好なガラスや合成樹脂フィルムが挙げられる。
(substrate)
As the substrate (permanent support) constituting the color filter, that is, the substrate on which the separation wall is formed, a metallic support, a metal bonded support, glass, ceramic, a synthetic resin film, or the like can be used. Particularly preferred are transparent glass and synthetic resin film having good dimensional stability.
以下、感光性転写材料を用いて、離画壁を形成する場合を説明する。仮支持体上に、酸素遮断層、離画壁用感光性組成物層、更に該離画壁用感光性組成物層上にカバーシートが設けられた感光性転写材料を用意する。まず、カバーシートを剥離除去した後、露出した離画壁用感光性組成物層の表面を永久支持体(基板)上に貼り合わせ、ラミネータ等を通して加熱、加圧して積層する(積層体)。ラミネータには、従来公知のラミネータ、真空ラミネータ等の中から適宜選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。 Hereinafter, a case where a separation wall is formed using a photosensitive transfer material will be described. A photosensitive transfer material is prepared in which an oxygen-blocking layer, a separating wall photosensitive composition layer, and a cover sheet are provided on the separating wall photosensitive composition layer on a temporary support. First, the cover sheet is peeled and removed, and then the exposed surface of the separation wall photosensitive composition layer is bonded onto a permanent support (substrate) and laminated by heating and pressing through a laminator or the like (laminate). As the laminator, those appropriately selected from conventionally known laminators, vacuum laminators and the like can be used, and an auto-cut laminator can also be used in order to further increase the productivity.
次いで、仮支持体を酸素遮断層との間で剥離し、仮支持体を除去する。続いて、仮支持体除去後の除去面の上方に所望のフォトマスク(例えば、石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該酸素遮断層の間の距離を適宜(例えば、200μm)に設定し、露光する。次いで、照射後所定の処理液を用いて現像処理して、パターニング画像を得て、引き続き必要に応じて、水洗処理して、離画壁を得る。
また、仮支持体を酸素を遮断しうる保護層として用いる場合は、仮支持体を残したまま(剥離せずに)、該仮支持体の上方に所望のフォトマスク(例えば、石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該仮支持体の間の距離を適宜(例えば、200μm)に設定し、露光する。次いで、仮支持体を除去し、照射後所定の処理液を用いて現像処理して、パターニング画像を得て、引き続き必要に応じて、水洗処理して、離画壁を得る。
Next, the temporary support is peeled from the oxygen barrier layer, and the temporary support is removed. Subsequently, in a state where a desired photomask (for example, quartz exposure mask) is vertically set above the removal surface after the temporary support is removed, an appropriate distance between the exposure mask surface and the oxygen blocking layer (for example, 200 μm) for exposure. Next, after the irradiation, development processing is performed using a predetermined processing solution to obtain a patterning image, and subsequently, washing treatment is performed as necessary to obtain a separation wall.
When the temporary support is used as a protective layer capable of blocking oxygen, a desired photomask (for example, a quartz exposure mask) is provided above the temporary support while leaving the temporary support (without peeling). In a state in which is vertically set, the distance between the exposure mask surface and the temporary support is appropriately set (for example, 200 μm) and exposed. Next, the temporary support is removed, and after irradiation, development processing is performed using a predetermined processing liquid to obtain a patterning image. Subsequently, if necessary, washing treatment is performed to obtain a separation wall.
該露光としては、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(例えば、日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)等で行い、露光量としては適宜(例えば、300mJ/cm2)選択することができる。
照射後所定の処理液を用いて現像処理する。現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。光照射に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。
The exposure is performed, for example, with a proximity type exposure machine (for example, manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultrahigh pressure mercury lamp, and the exposure amount may be appropriately selected (for example, 300 mJ / cm 2 ). it can.
After the irradiation, development processing is performed using a predetermined processing solution. As the developer used in the development process, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is used, but it may be further added with a small amount of an organic solvent miscible with water. Examples of the light source used for the light irradiation include medium to ultrahigh pressure mercury lamps, xenon lamps, metal halide lamps, and the like.
前記現像の前には、純水をシャワーノズル等にて噴霧して、該離画壁用感光性組成物層の表面を均一に湿らせることが好ましい。前記現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。 Prior to the development, it is preferable to spray the pure water with a shower nozzle or the like to uniformly wet the surface of the photosensitive composition layer for the separating wall. As the developer used in the development process, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is used, but it may be further added with a small amount of an organic solvent miscible with water.
適当なアルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類(例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩類(例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。アルカリ性物質の濃度は、0.01〜30質量%が好ましく、pHは8〜14が好ましい。 Suitable alkaline substances include alkali metal hydroxides (eg, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (eg, sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (eg, sodium bicarbonate). , Potassium bicarbonate), alkali metal silicates (eg, sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (eg, sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, Examples include morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (for example, tetramethylammonium hydroxide), trisodium phosphate, and the like. The concentration of the alkaline substance is preferably 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably 8 to 14.
前記「水と混和性の有機溶剤」としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。水と混和性の有機溶剤の濃度は0.1〜30質量%が好ましい。更に、公知の界面活性剤を添加することもでき、該界面活性剤の濃度としては0.01〜10質量%が好ましい。 Examples of the “water-miscible organic solvent” include, for example, methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether. Benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like are preferable. . The concentration of the organic solvent miscible with water is preferably 0.1 to 30% by mass. Furthermore, a known surfactant can be added, and the concentration of the surfactant is preferably 0.01 to 10% by mass.
前記現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。離画壁用感光性組成物層の未硬化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤スポンジで擦るなどの方法を組み合わせることができる。現像液の液温度は、通常室温付近から40℃が好ましい。現像時間は、離画壁用感光性組成物の組成、現像液のアルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類と濃度、等に依るが、通常10秒〜2分程度である。短すぎると非露光部の現像が不充分となると同時に紫外線の吸光度も不充分となることがあり、長すぎると露光部もエッチングされることがある。いずれの場合にも、離画壁形状を好適なものとすることが困難となる。現像処理の後に水洗工程を入れることも可能である。この現像工程にて、離画壁形状は前述のごとく形成される。 The developer can be used as a bath solution or a spray solution. When removing the uncured part of the photosensitive composition layer for the separating wall, methods such as rubbing with a rotating brush or a wet sponge in the developer can be combined. The liquid temperature of the developer is usually preferably from about room temperature to 40 ° C. The development time is usually about 10 seconds to 2 minutes, although it depends on the composition of the photosensitive composition for the separating wall, the alkalinity and temperature of the developer, and the type and concentration when an organic solvent is added. If it is too short, the development of the non-exposed area may be insufficient, and the absorbance of ultraviolet rays may be insufficient, and if it is too long, the exposed area may be etched. In either case, it is difficult to make the separation wall shape suitable. It is also possible to put a water washing step after the development processing. In this developing step, the separating wall shape is formed as described above.
本発明の離画壁の上表面には、撥インク性化合物が存在する。本発明では、離画壁に撥インク処理を施す事で該離画壁の上表面が撥インク性を帯びた状態(撥インク性化合物が存在する状態)とすることが好ましい。これにより、インクジェットなどの方法でインクを該離画壁間に付与した時に、インクが該離画壁を乗り越えて、隣の色と混色するなどの不都合を無くすことができる。
本発明におけるインクとは、離画壁形成後に該離画壁の凹部(画素部分)に付与される液体のことで特に制限は無い。該インクには、顔料を分散させることや、熱で硬化あるいは光で硬化したりする仕組みを組み込むことなどで着色液体組成物とすることが好ましい。
本発明における撥インク性化合物とは、離画壁上面に存在させた場合に該離画壁上面が上記インクを弾く性質をもつようになる化合物のことであり、それ以外に特に制限は無い。フッ素原子やケイ素原子を含むことが好ましい。
該撥インク処理として、(4)離画壁上表面に撥インク性化合物を塗布する方法や、(6)重合性基を有する撥インク性化合物に接触させて露光する方法が挙げられる。
An ink repellent compound is present on the upper surface of the separation wall of the present invention. In the present invention, it is preferable that an ink repellent treatment is performed on the separation wall so that the upper surface of the separation wall has an ink repellency (a state where an ink repellent compound exists). Thereby, when ink is applied between the separation walls by a method such as inkjet, it is possible to eliminate the inconvenience that the ink gets over the separation wall and mixes with the adjacent color.
The ink in the present invention is a liquid applied to the concave portion (pixel portion) of the separation wall after the separation wall is formed, and is not particularly limited. The ink is preferably made into a colored liquid composition by dispersing a pigment or incorporating a mechanism for curing by heat or curing by light.
The ink repellent compound in the present invention is a compound that, when present on the upper surface of the separation wall, has a property of repelling the ink, and there is no particular limitation. It preferably contains a fluorine atom or a silicon atom.
Examples of the ink repellent treatment include (4) a method of applying an ink repellent compound to the surface of the separation wall, and ( 6) a method of exposing to contact with an ink repellent compound having a polymerizable group.
以下に、撥インク処理について詳細に説明する。
(1)<撥インク性化合物を離隔壁に練りこむ方法>
「混色」を防ぐ手段として、上述した離画壁用感光性組成物に含フッ素樹脂(A)を含有させる方法がある。
Hereinafter, the ink repellent process will be described in detail.
(1) <Method of kneading the ink repellent compound into the separation wall>
As a means for preventing “color mixing”, there is a method of containing the fluororesin (A) in the above-described photosensitive composition for separation wall.
含フッ素樹脂は、エチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体に基づく単量体単位と、エチレン性二重結合と酸性基(b)とを有する単量体に基づく単量体単位とを含む共重合体であって、酸価が1〜300mgKOH/gであるものが好ましい。エチレン性二重結合としては、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、アリル基が挙げられる。 The fluorine-containing resin includes a monomer unit based on a monomer having an ethylenic double bond and an Rf group (a), and a single unit based on a monomer having an ethylenic double bond and an acidic group (b). A copolymer containing a monomer unit and having an acid value of 1 to 300 mgKOH / g is preferable. Examples of the ethylenic double bond include a (meth) acryloyl group, a vinyl group, and an allyl group.
エチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体としては、
CH2=CR1COOQ2Rf、CH2=CR1OCOQ1Rf、CH2=CR1OQ1Rf、CH2=CR1CH2OQ1Rf、CH2=CR1COOQ2NR1SO2Rf、CH2=CR1COOQ2NR1CORf、CH2=CR1COOQ2NR1COOQ2Rf、CH2=CR1COOQ2OQ1Rf等が挙げられる。ただし、R1は水素原子又はメチル基を、Q1は単結合又は炭素数1〜6の2価有機基を、Q2は炭素数1〜6の2価有機基を、それぞれ示す。Q1、Q2は環状構造を有していてもよい。
As a monomer having an ethylenic double bond and an Rf group (a),
CH 2 = CR 1 COOQ 2 Rf, CH 2 = CR 1 OCOQ 1 Rf, CH 2 = CR 1 OQ 1 Rf, CH 2 = CR 1 CH 2 OQ 1 Rf, CH 2 = CR 1 COOQ 2 NR 1 SO 2 Rf CH 2 = CR 1 COOQ 2 NR 1 CORf, CH 2 = CR 1 COOQ 2 NR 1 COOQ 2 Rf, CH 2 = CR 1 COOQ 2 OQ 1 Rf, and the like. However, R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, Q 1 represents a single bond or a divalent organic group having 1 to 6 carbon atoms, and Q 2 represents a divalent organic group having 1 to 6 carbon atoms. Q 1 and Q 2 may have a cyclic structure.
Q1、Q2の具体例としては、
−CH2−、−CH2CH2−、−CH(CH3)−、−CH2CH2CH2−、−C(CH3)2−、−CH(CH2CH3)−、−CH2CH2CH2CH2−、−CH(CH2CH2CH3)−、−CH2(CH2)3CH2−、−CH(CH2CH(CH3)2)−、−CH2CH(OH)CH2−、−CH2CH2NHCOOCH2−、−CH2CH(OH)CH2OCH2−等が挙げられる。Q1は単結合であってもよい。
合成の容易さの観点から、−CH2−、−CH2CH2−、−CH2CH(OH)CH2−が好ましい。
As specific examples of Q 1 and Q 2 ,
-CH 2 -, - CH 2 CH 2 -, - CH (CH 3) -, - CH 2 CH 2 CH 2 -, - C (CH 3) 2 -, - CH (CH 2 CH 3) -, - CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 —, —CH (CH 2 CH 2 CH 3 ) —, —CH 2 (CH 2 ) 3 CH 2 —, —CH (CH 2 CH (CH 3 ) 2 ) —, —CH 2 CH (OH) CH 2 -, - CH 2 CH 2 NHCOOCH 2 -, - CH 2 CH (OH) CH 2 OCH 2 - and the like. Q 1 may be a single bond.
From the viewpoint of ease of synthesis, -CH 2 -, - CH 2 CH 2 -, - CH 2 CH (OH) CH 2 - are preferred.
エチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体として具体的には以下のものが挙げられる。
CH2=CHCOOCH2CF2O(CF2CF2O)n−1CF3 (nは3〜9)、CH2=CHCOOCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n−1C6F13 (nは2〜6)、CH2=CHCOOCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n−1C3F7 (nは2〜6)。
Specific examples of the monomer having an ethylenic double bond and an Rf group (a) include the following.
CH 2 = CHCOOCH 2 CF 2 O (CF 2 CF 2 O) n-1 CF 3 (n is 3~9), CH 2 = CHCOOCH 2 CF (CF 3) O (CF 2 CF (CF 3) O) n -1 C 6 F 13 (n is 2~6), CH 2 = CHCOOCH 2 CF (CF 3) O (CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 3 F 7 (n is 2-6).
CH2=C(CH3)COOCH2CH2NHCOOCH2CF2O(CF2CF2O)n−1CF3 (nは3〜9)、CH2=C(CH3)COOCH2CH2NHCOOCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n−1C3F7 (nは2〜6)、CH2=C(CH3)COOCH2CH2NHCOOCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n−1C6F13 (nは2〜6)。 CH 2 = C (CH 3) COOCH 2 CH 2 NHCOOCH 2 CF 2 O (CF 2 CF 2 O) n-1 CF 3 (n is 3~9), CH 2 = C ( CH 3) COOCH 2 CH 2 NHCOOCH 2 CF (CF 3) O ( CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 3 F 7 (n is 2~6), CH 2 = C ( CH 3) COOCH 2 CH 2 NHCOOCH 2 CF (CF 3 ) O (CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 6 F 13 (n is 2-6).
CH2=C(CH3)COOCH2CH(OH)CH2OCH2CF2O(CF2CF2O)n−1CF3 (nは3〜9)、CH2=C(CH3)COOCH2CH(OH)CH2OCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n−1C6F13 (nは2〜6)、CH2=C(CH3)COOCH2CH(OH)CH2OCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n−1C3F7 (nは2〜6)。 CH 2 = C (CH 3) COOCH 2 CH (OH) CH 2 OCH 2 CF 2 O (CF 2 CF 2 O) n-1 CF 3 (n is 3~9), CH 2 = C ( CH 3) COOCH 2 CH (OH) CH 2 OCH 2 CF (CF 3) O (CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 6 F 13 (n is 2~6), CH 2 = C ( CH 3) COOCH 2 CH (OH) CH 2 OCH 2 CF (CF 3) O (CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 3 F 7 (n is 2-6).
含フッ素樹脂におけるエチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体に基づく単量体単位の含有量は、1〜95%等が好ましく、5〜80%がより好ましく、20〜60%がさらに好ましい。当該範囲であると含フッ素樹脂は良好な撥インク性を奏し、離画壁用感光性組成物の現像性が良好となる。 The content of the monomer unit based on the monomer having an ethylenic double bond and Rf group (a) in the fluororesin is preferably 1 to 95%, more preferably 5 to 80%, and more preferably 20 to 20%. 60% is more preferable. Within such a range, the fluororesin exhibits good ink repellency, and the developability of the photosensitive composition for the separating wall becomes good.
酸性基(b)を有する単量体として、カルボキシル基を有する単量体、フェノール性水酸基を有する単量体、スルホン酸基、水酸基を有する単量体が挙げられる。 Examples of the monomer having an acidic group (b) include a monomer having a carboxyl group, a monomer having a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, and a monomer having a hydroxyl group.
カルボキシル基を有する単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸、もしくはそれらの塩が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。 Examples of the monomer having a carboxyl group include acrylic acid, methacrylic acid, vinyl acetic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, cinnamic acid, and salts thereof. These may be used alone or in combination of two or more.
フェノール性水酸基を有する単量体としては、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン等が挙げられる。またこれらのベンゼン環の1個以上の水素原子が、メチル基、エチル基、n−ブチル基等のアルキル基、メトキシ基、エトキシ基、n−ブトキシ基等のアルコキシ基、ハロゲン原子、アルキル基の1個以上の水素原子がハロゲン原子に置換されたハロアルキル基、ニトロ基、シアノ基、アミド基に置換された化合物等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。 Examples of the monomer having a phenolic hydroxyl group include o-hydroxystyrene, m-hydroxystyrene, and p-hydroxystyrene. In addition, one or more hydrogen atoms of these benzene rings are an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group or an n-butyl group, an alkoxy group such as a methoxy group, an ethoxy group or an n-butoxy group, a halogen atom or an alkyl group. Examples thereof include compounds in which one or more hydrogen atoms are substituted with a halogen atom, a haloalkyl group, a nitro group, a cyano group, or an amide group. These may be used alone or in combination of two or more.
スルホン酸基を有する単量体としては、ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、(メタ)アリルスルホン酸、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アリルオキシプロパンスルホン酸、(メタ)アクリル酸−2−スルホエチル、(メタ)アクリル酸−2−スルホプロピル、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロキシプロパンスルホン酸、2−(メタ)アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、もしくはそれらの塩等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。 Examples of the monomer having a sulfonic acid group include vinyl sulfonic acid, styrene sulfonic acid, (meth) allyl sulfonic acid, 2-hydroxy-3- (meth) allyloxypropane sulfonic acid, and (meth) acrylic acid-2-sulfoethyl. , (Meth) acrylic acid-2-sulfopropyl, 2-hydroxy-3- (meth) acryloxypropanesulfonic acid, 2- (meth) acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid, or salts thereof. These may be used alone or in combination of two or more.
水酸基を有する単量体の具体例としては、ビニルフェノール、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、5−ヒドロキシペンチル(メタ)アクリレート、6−ヒドロキシヘキシル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ(メタ)アクリレート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチルビニルエーテル、4−ヒドロキシブチルビニルエーテル、シクロヘキサンジオールモノビニルエーテル、2−ヒドロキシエチルアリルエーテル、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ビス(ヒドロキシメチル)等が挙げられる。 Specific examples of the monomer having a hydroxyl group include vinylphenol, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, and 4-hydroxybutyl (meth) acrylate. 5-hydroxypentyl (meth) acrylate, 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate, 4-hydroxycyclohexyl (meth) acrylate, neopentyl glycol mono (meth) acrylate, 3-chloro-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, Glycerin mono (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl vinyl ether, 4-hydroxybutyl vinyl ether, cyclohexanediol monovinyl ether, 2-hydroxyethyl allyl ether, N-hydro Shimechiru (meth) acrylamide, N, N-bis (hydroxymethyl), and the like.
さらに、水酸基を有する単量体としては、末端が水酸基であるポリオキシアルキレン鎖を有する単量体であってもよい。例えば、CH2=CHOCH2C6H10CH2O(C2H4O)gH(ここで、gは1〜100の整数、以下同じ。)、CH2=CHOC4H8O(C2H4O)gH、CH2=CHCOOC2H4O(C2H4O)gH、CH2=C(CH3)COOC2H4O(C2H4O)gH、CH2=CHCOOC2H4O(C2H4O)h(C3H6O)kH(ここで、hは0又は1〜100の整数であり、kは1〜100の整数であり、h+kは1〜100である。以下同じ。)、CH2=C(CH3)COOC2H4O(C2H4O)h(C3H6O)kH等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。 Furthermore, the monomer having a hydroxyl group may be a monomer having a polyoxyalkylene chain whose terminal is a hydroxyl group. For example, CH 2 = CHOCH 2 C 6 H 10 CH 2 O (C 2 H 4 O) g H (where g is an integer of 1 to 100, the same shall apply hereinafter), CH 2 = CHOC 4 H 8 O (C 2 H 4 O) g H, CH 2 = CHCOOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) g H, CH 2 = C (CH 3) COOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) g H, CH 2 = CHCOOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) h (C 3 H 6 O) k H (where h is 0 or an integer from 1 to 100, k is an integer from 1 to 100, h + k is from 1 to 100. hereinafter the same.), CH 2 = C ( CH 3) COOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) h (C 3 H 6 O) k H and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
含フッ素樹脂における酸性基(b)を有する単量体に基づく単量体単位の含有量は、0.1〜40%等が好ましく、0.5〜30%がより好ましく、1〜20%がさらに好ましい。当該範囲であると含フッ素樹脂は良好な撥インク性を奏し、離画壁用感光性組成物の現像性が良好となる。 The content of the monomer unit based on the monomer having an acidic group (b) in the fluororesin is preferably 0.1 to 40%, more preferably 0.5 to 30%, and 1 to 20%. Further preferred. Within such a range, the fluororesin exhibits good ink repellency, and the developability of the photosensitive composition for the separating wall becomes good.
含フッ素樹脂がエチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体に基づく単量体単位と、エチレン性二重結合と酸性基(b)とを有する単量体に基づく単量体単位とを有する共重合体である場合、Rf基(a)及び酸性基(b)を有しない単量体(以下、「その他の単量体」という。)に基づく単量体単位を有していてもよい。 Monomer based on monomer unit based on monomer having fluorine-containing resin having ethylenic double bond and Rf group (a), and monomer having ethylenic double bond and acidic group (b) In the case of a copolymer having a body unit, it has a monomer unit based on a monomer having no Rf group (a) and acidic group (b) (hereinafter referred to as “other monomer”). You may do it.
その他の単量体としては、炭化水素系オレフィン類、ビニルエーテル類、イソプロペニルエーテル類、アリルエーテル類、ビニルエステル類、アリルエステル類、(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリルアミド類、芳香族ビニル化合物、クロロオレフィン類、フルオロオレフィン類、共役ジエン類が挙げられる。これらの化合物には、官能基が含まれていてもよく、例えば水酸基、カルボニル基、アルコキシ基、アミド基等が挙げられる。またポリシロキサン構造を有する基を有していてもよい。ただし、これらのその他の単量体に基づく単量体単位は、Rf基(a)及び酸性基(b)を有しない。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。特に(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリルアミド類が、離画壁用感光性組成物から形成される塗膜の耐熱性に優れるので好ましい。 Other monomers include hydrocarbon olefins, vinyl ethers, isopropenyl ethers, allyl ethers, vinyl esters, allyl esters, (meth) acrylic esters, (meth) acrylamides, aromatic Examples include vinyl compounds, chloroolefins, fluoroolefins, and conjugated dienes. These compounds may contain a functional group, and examples thereof include a hydroxyl group, a carbonyl group, an alkoxy group, and an amide group. Moreover, you may have group which has a polysiloxane structure. However, monomer units based on these other monomers do not have an Rf group (a) and an acidic group (b). These may be used alone or in combination of two or more. In particular, (meth) acrylic acid esters and (meth) acrylamides are preferable because they are excellent in the heat resistance of the coating film formed from the photosensitive composition for the separation wall.
含フッ素樹脂において、その他の単量体に基づく単量体単位の割合は80%以下が好ましく、70%以下がより好ましい。当該範囲であると離画壁用感光性組成物の現像性が良好となる。 In the fluororesin, the proportion of monomer units based on other monomers is preferably 80% or less, and more preferably 70% or less. Within this range, the developability of the photosensitive composition for the separating wall is improved.
本発明における含フッ素樹脂は、上記のエチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体に基づく単量体単位と、エチレン性二重結合と酸性基(b)とを有する単量体に基づく単量体単位とを含む共重合体を合成することによって得られるほか、反応部位を有する重合体にRf基(a)を有する化合物及び/又は酸性基(b)を有する化合物を反応させる各種変性方法によっても得られる。 The fluororesin in the present invention is a monomer unit based on a monomer having the above ethylenic double bond and Rf group (a), and a single unit having an ethylenic double bond and an acidic group (b). In addition to being obtained by synthesizing a copolymer containing monomer units based on a monomer, a compound having an Rf group (a) and / or a compound having an acidic group (b) in a polymer having a reactive site It can also be obtained by various modification methods to be reacted.
反応部位を有する重合体にRf基(a)を有する化合物を反応させる各種変性方法としては、例えば、エポキシ基を有する単量体をあらかじめ共重合させ、後にRf基(a)とカルボキシル基を有する化合物を反応させる方法、エポキシ基を有する単量体をあらかじめ共重合させ、後にRf基(a)とヒドロキシル基を有する化合物を反応させる方法が挙げられる。 As various modification methods for reacting a compound having an Rf group (a) with a polymer having a reactive site, for example, a monomer having an epoxy group is copolymerized in advance, and then an Rf group (a) and a carboxyl group are later included. Examples thereof include a method of reacting a compound and a method of previously copolymerizing an epoxy group-containing monomer and then reacting a compound having an Rf group (a) and a hydroxyl group.
エポキシ基を有する単量体の具体例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレートが挙げられる。 Specific examples of the monomer having an epoxy group include glycidyl (meth) acrylate and 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate.
Rf基(a)とカルボキシル基を有する化合物としては、下記式3で表される化合物が挙げられる。
HOOC−Cp−1F2(p−1)−O−(CpF2p−O)n−1−CqF2q+1 式3
式3中、pは2又は3の整数、qは1〜20の整数、nは2〜50の整数を示す。
Examples of the compound having an Rf group (a) and a carboxyl group include compounds represented by the following formula 3.
HOOC-C p-1 F 2 (p-1) -O- (C p F 2p -O) n-1 -C q F 2q + 1 Equation 3
In Formula 3, p is an integer of 2 or 3, q is an integer of 1 to 20, and n is an integer of 2 to 50.
Rf基(a)とヒドロキシル基を有する化合物としては、下記式4で表される化合物が挙げられる。
HOCH2−Cp−1F2(p−1)−O−(CpF2p−O)n−1−CqF2q+1 式4
式4中、pは2又は3の整数、qは1〜20の整数、nは2〜50の整数を示す。
Examples of the compound having an Rf group (a) and a hydroxyl group include compounds represented by the following formula 4.
HOCH 2 -C p-1 F 2 (p-1) -O- (C p F 2p -O) n-1 -C q F 2q + 1 Equation 4
In Formula 4, p represents an integer of 2 or 3, q represents an integer of 1 to 20, and n represents an integer of 2 to 50.
反応部位を有する重合体に酸性基(b)を有する化合物を反応させる各種変性方法としては、例えば、水酸基を有する単量体をあらかじめ共重合させ、後に酸無水物を反応させる方法が挙げられる。また、エチレン性二重結合を有する酸無水物をあらかじめ共重合させ、後に水酸基を有する化合物を反応させる方法が挙げられる。 Examples of various modification methods for reacting a polymer having a reactive site with a compound having an acidic group (b) include a method in which a monomer having a hydroxyl group is copolymerized in advance and then an acid anhydride is reacted. Moreover, the method of making the acid anhydride which has an ethylenic double bond copolymerize previously, and making the compound which has a hydroxyl group react later is mentioned.
水酸基を有する単量体の具体例としては、ビニルフェノール、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、5−ヒドロキシペンチル(メタ)アクリレート、6−ヒドロキシヘキシル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ(メタ)アクリレート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチルビニルエーテル、4−ヒドロキシブチルビニルエーテル、シクロヘキサンジオールモノビニルエーテル、2−ヒドロキシエチルアリルエーテル、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ビス(ヒドロキシメチル)等が挙げられる。 Specific examples of the monomer having a hydroxyl group include vinylphenol, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, and 4-hydroxybutyl (meth) acrylate. 5-hydroxypentyl (meth) acrylate, 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate, 4-hydroxycyclohexyl (meth) acrylate, neopentyl glycol mono (meth) acrylate, 3-chloro-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, Glycerin mono (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl vinyl ether, 4-hydroxybutyl vinyl ether, cyclohexanediol monovinyl ether, 2-hydroxyethyl allyl ether, N-hydro Shimechiru (meth) acrylamide, N, N-bis (hydroxymethyl), and the like.
さらに、水酸基を有する単量体としては、末端が水酸基であるポリオキシアルキレン鎖を有する単量体であってもよい。例えば、CH2=CHOCH2C6H10CH2O(C2H4O)gH(ここで、gは1〜100の整数、以下同じ。)、CH2=CHOC4H8O(C2H4O)gH、CH2=CHCOOC2H4O(C2H4O)gH、CH2=C(CH3)COOC2H4O(C2H4O)gH、CH2=CHCOOC2H4O(C2H4O)h(C3H6O)kH(ここで、hは0又は1〜100の整数であり、kは1〜100の整数であり、h+kは1〜100である。以下同じ。)、CH2=C(CH3)COOC2H4O(C2H4O)h(C3H6O)kH等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。 Furthermore, the monomer having a hydroxyl group may be a monomer having a polyoxyalkylene chain whose terminal is a hydroxyl group. For example, CH 2 = CHOCH 2 C 6 H 10 CH 2 O (C 2 H 4 O) g H (where g is an integer of 1 to 100, the same shall apply hereinafter), CH 2 = CHOC 4 H 8 O (C 2 H 4 O) g H, CH 2 = CHCOOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) g H, CH 2 = C (CH 3) COOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) g H, CH 2 = CHCOOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) h (C 3 H 6 O) k H (where h is 0 or an integer from 1 to 100, k is an integer from 1 to 100, h + k is from 1 to 100. hereinafter the same.), CH 2 = C ( CH 3) COOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) h (C 3 H 6 O) k H and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
酸無水物の具体例としては、無水フタル酸、無水3−メチルフタル酸、無水トリメリット酸等が挙げられる。 Specific examples of the acid anhydride include phthalic anhydride, 3-methylphthalic anhydride, trimellitic anhydride, and the like.
エチレン性二重結合を有する酸無水物の具体例としては、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水メチル−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、無水3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸、無水cis−1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸、2−ブテン−1−イルスシニックアンハイドライド等が挙げられる。 Specific examples of the acid anhydride having an ethylenic double bond include maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, methyl-5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride, 3,4,5,6 anhydride -Tetrahydrophthalic acid, cis-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, 2-buten-1-yl succinic anhydride, etc. are mentioned.
水酸基を有する化合物としては、1つ以上の水酸基を有している化合物であれば良く、前記に示した水酸基を有する単量体の具体例や、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、1−ブタノール、エチレングリコール等のアルコール類、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、2−ブトキシエタノール等のセルソルブ類、2−(2−メトキシエトキシ)エタノール、2−(2−エトキシエトキシ)エタノール、2−(2−ブトキシエトキシ)エタノール等のカルビトール類等が挙げられる。分子内に1個の水酸基を有する化合物が好ましい。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。 The compound having a hydroxyl group may be a compound having one or more hydroxyl groups. Specific examples of the monomer having a hydroxyl group shown above, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, 1- Alcohols such as butanol and ethylene glycol; cellsolves such as 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol and 2-butoxyethanol; 2- (2-methoxyethoxy) ethanol; 2- (2-ethoxyethoxy) ethanol; And carbitols such as (2-butoxyethoxy) ethanol. A compound having one hydroxyl group in the molecule is preferred. These may be used alone or in combination of two or more.
含フッ素樹脂あるいは含フッ素樹脂の前駆体となる前記反応部位を有する重合体は、単量体を必要に応じて連鎖移動剤と共に、溶媒に溶解して加熱し、重合開始剤を加えて反応させる方法によって合成できる。 The polymer having the reactive site, which is a fluorine-containing resin or a precursor of the fluorine-containing resin, is reacted by dissolving the monomer in a solvent together with a chain transfer agent as necessary and heating, and adding a polymerization initiator. It can be synthesized by the method.
含フッ素樹脂の酸価は、1〜300mgKOH/gが好ましく、5〜200mgKOH/gがより好ましく、10〜150mgKOH/gが特に好ましい。この範囲であると離画壁用感光性組成物の現像性が良好となる。なお、酸価は樹脂1gを中和するのに必要な水酸化カリウムの質量(単位mg)であり、本明細書においては単位をmgKOH/gと記載する。 The acid value of the fluororesin is preferably 1 to 300 mgKOH / g, more preferably 5 to 200 mgKOH / g, and particularly preferably 10 to 150 mgKOH / g. Within this range, the developability of the photosensitive composition for the separating wall is improved. In addition, an acid value is the mass (unit mg) of potassium hydroxide required in order to neutralize 1 g of resin, and a unit is described in this specification as mgKOH / g.
含フッ素樹脂の数平均分子量は、500以上20000未満が好ましく、2000以上15000未満がより好ましい。当該範囲であると離画壁用感光性組成物の現像性が良好である。数平均分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィー法によりポリスチレンを標準物質として測定される。 The number average molecular weight of the fluororesin is preferably 500 or more and less than 20000, and more preferably 2000 or more and less than 15000. Within this range, the developability of the photosensitive composition for the separating wall is good. The number average molecular weight is measured using polystyrene as a standard substance by gel permeation chromatography.
含フッ素樹脂(A)の配合量は、離画壁用感光性組成物中の固形分に対し、0.01〜50%が好ましく、0.1〜30%がより好ましく、0.2〜10%が特に好ましい。当該範囲であると離画壁用感光性組成物は良好な撥インク性、インク転落性を奏し、現像性が良好となる。 The blending amount of the fluorine-containing resin (A) is preferably from 0.01 to 50%, more preferably from 0.1 to 30%, more preferably from 0.2 to 10 based on the solid content in the photosensitive composition for the separation wall. % Is particularly preferred. Within this range, the photosensitive composition for the separating wall exhibits good ink repellency and ink falling properties, and developability becomes good.
上記の以外に、特開平7−35915号公報の段落番号0007〜0044に記載の撥水性物質を離画壁に練りこむ方法でも撥インク処理を達成できる。 In addition to the above, the ink repellent treatment can also be achieved by a method of kneading a water repellent substance described in paragraphs 0007 to 0044 of JP-A-7-35915 into a separation wall.
(3)<プラズマ処理により撥インク性を付与する方法>
「混色」を防ぐ手段として、離画壁を形成した基板に、プラズマによる撥インク化処理をする方法がある。
(3) <Method of imparting ink repellency by plasma treatment>
As a means for preventing “color mixing”, there is a method of performing an ink repellency treatment by plasma on a substrate on which a separation wall is formed.
本工程において導入する、少なくともフッ素原子を含有するガスとしては、CF4、CHF3、C2F6、SF6、C3F8、C5F8から選択されるハロゲンガスを1種以上用いることが好ましい。特に、C5F8(オクタフルオロシクロペンテン)は、オゾン破壊能が0であると同時に、大気寿命が従来のガスに比べて(CF4:5万年、C4F8:3200年)0.98年と非常に短い。従って、地球温暖化係数が90(CO2=2とした100年積算値)と、従来のガスに比べて(CF4:6500、C4F8:8700)非常に小さく、オゾン層や地球環境保護に極めて有効であり、本発明で使用する上で望ましい。 As the gas containing at least fluorine atoms introduced in this step, one or more halogen gases selected from CF 4 , CHF 3 , C 2 F 6 , SF 6 , C 3 F 8 , and C 5 F 8 are used. It is preferable. In particular, C 5 F 8 (octafluorocyclopentene) has an ozone depletion ability of 0, and at the same time, has an atmospheric life (CF 4 : 50,000 years, C 4 F 8 : 3200 years) as compared with conventional gases. It is very short with 98 years. Therefore, the global warming potential is 90 (100-year integrated value assuming CO 2 = 2), which is very small (CF 4 : 6500, C 4 F 8 : 8700) compared to conventional gases, and the ozone layer and the global environment It is extremely effective for protection and is desirable for use in the present invention.
さらに、導入ガスとしては、必要に応じて酸素、アルゴン、ヘリウム等のガスを併用しても良い。本工程においては、上記CF4、CHF3、C2F6、SF6、C3F8、C5F8から選択されるハロゲンガスを1種以上とO2との混合ガスを用いると、本工程において処理される離画壁表面の撥インク性の程度を制御することが可能になる。但し、当該混合ガスにおいて、O2の混合比率が30%を超えるとO2による酸化反応が支配的になり、撥インク性向上効果が妨げられるため、また、O2混合比率が30%を超えると樹脂に対するダメージが顕著になるため、当該混合ガスを用いる場合にはO2の混合比率が30%以下の範囲で使用する必要がある。 Further, as the introduced gas, a gas such as oxygen, argon, helium or the like may be used in combination as necessary. In this step, when a mixed gas of at least one halogen gas selected from CF 4 , CHF 3 , C 2 F 6 , SF 6 , C 3 F 8 , and C 5 F 8 and O 2 is used, It is possible to control the degree of ink repellency on the surface of the image separation wall processed in this step. However, in the mixed gas, the oxidation reaction mixture ratio by O 2 exceeds 30% of O 2 is dominant, because the ink repellency enhancing effect is prevented, also, O 2 mixing ratio is more than 30% When the mixed gas is used, it is necessary to use O 2 in a range of 30% or less.
また、プラズマの発生方法としては、低周波放電、高周波放電、マイクロ波放電等の方式を用いることができ、プラズマ処理の際の圧力、ガス流量、放電周波数、処理時間等の条件は任意に設定することができる。 In addition, plasma generation methods such as low frequency discharge, high frequency discharge, and microwave discharge can be used. Conditions such as pressure, gas flow rate, discharge frequency, and processing time during plasma processing are arbitrarily set. can do.
(4)<離画壁上表面に撥インク性化合物を塗布する方法>
「混色」を防ぐ手段として、離画壁を形成した基板に、撥インク性を有する材料を全面に塗布する方法がある。
撥インク性を有する材料としてはポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂、シリコーンゴム、パーフルオロアルキルアクリレート、ハイドロカーボンアクリレート、メチルシロキサン等、一般に撥インク材料と考えられるもので着色液体組成物に対する接触角が50°以上のものであれば特に限定されるものではない。
(4) <method of applying the ink-repellent compound Hanarega wall upper table surface>
As a means for preventing “color mixing”, there is a method in which an ink-repellent material is applied to the entire surface of a substrate on which a separation wall is formed.
Materials having ink repellency include fluorine resin such as polytetrafluoroethylene, silicone rubber, perfluoroalkyl acrylate, hydrocarbon acrylate, methyl siloxane, etc., which are generally considered ink repellent materials, and have a contact angle with a colored liquid composition. If it is a thing of 50 degrees or more, it will not specifically limit.
撥インク材料の塗布の方法としては基板、離画壁などに影響を及ぼさない方法であれば、スリットコート、スピンコート、ディップコート、ロールコート等各材料に最適の方法を選択することが可能である。 As a method for applying the ink repellent material, it is possible to select an optimum method for each material such as slit coat, spin coat, dip coat, roll coat, etc., as long as it does not affect the substrate, the separation wall, etc. is there.
次に、基板裏面側から離画壁を介してUVO3処理を行い、離画壁以外の部分の撥インク膜を選択的に除去または親インク化処理(着色剤に対する接触角が処理前後で30°以上の開きがある)する。 Next, UVO 3 treatment is performed from the back side of the substrate through the separation wall to selectively remove the ink repellent film at portions other than the separation wall or to make the ink affinity (the contact angle with the colorant is 30 before and after the treatment). There is an opening of more than °).
撥インク材料を除去または親水化処理することが可能ならば、パターニングの方法はレーザーアブレーション、プラズマアッシング、コロナ放電処理等のドライ処理およびアルカリを用いたウェット処理等材料に応じて最適の方法を選択することが可能である。また、離画壁上に撥インク材料をパターン形成することが可能であればリフトオフ法等も有効である。 If the ink repellent material can be removed or hydrophilized, the patterning method can be selected according to the material, such as laser ablation, plasma ashing, dry treatment such as corona discharge treatment, and wet treatment using alkali. Is possible. Further, if it is possible to pattern an ink repellent material on the image separation wall, a lift-off method or the like is also effective.
(5)<仮支持体上に撥インク性化合物を含む隣接層と離画壁用感光性組成物層とをこの順に有してなる感光性転写材料を用いて前記離画壁を形成する方法>
「混色」を防ぐ手段として、仮支持体上に少なくとも隣接層と離画壁用感光性組成物層をこの順で有してなる感光性転写材料(以下、撥インク処理用多層フィルムと称することがある。)を用いることにより本発明の離画壁を形成する方法がある。熱可塑性樹脂層を仮支持体と隣接層間に設けることが、圧着時の密着性をよくする点で好ましい。撥インク処理用多層フィルムを用いて離画壁を形成することで、離画壁の上表面のみに撥インク性を付与することが可能である。
(5) to form said Hanarega wall using <temporary on a support comprising a ink-repellent compound and including the adjacent layer and Hanarega wall photosensitive composition layer in this order photosensitive transfer material Method>
As a means for preventing “color mixing”, a photosensitive transfer material (hereinafter referred to as a multilayer film for ink repellent treatment) comprising at least an adjacent layer and a photosensitive composition layer for a separating wall in this order on a temporary support. There is a method for forming the separation wall of the present invention. It is preferable to provide the thermoplastic resin layer between the temporary support and the adjacent layer from the viewpoint of improving the adhesion at the time of pressure bonding. By forming the separation wall using the multilayer film for ink repellent treatment, it is possible to impart ink repellency only to the upper surface of the separation wall.
撥インク処理用多層フィルムにおいては、複数の塗布層の塗布時、及び塗布後の保存時における成分の混合の防止と、離画壁上表面への撥インク処理をする目的から、重合性基を有する撥インク性化合物を含有させている隣接層を設けることが好ましい。該隣接層は、離画壁用感光性組成物層との塗り分けの観点で、水系(溶媒の25%以上が水)が好ましい。 In the multilayer film for ink repellent treatment, a polymerizable group is used for the purpose of preventing mixing of components at the time of application of a plurality of application layers and storage after application, and for the purpose of ink repellent treatment on the surface of the separation wall. It is preferable to provide an adjacent layer containing the ink repellent compound. The adjacent layer is preferably water-based (25% or more of the solvent is water) from the viewpoint of coating with the photosensitive composition layer for the separating wall.
隣接層の塗布液に重合性基を有するフッ素化合物を含ませて塗布することにより、該重合性基を有するフッ素化合物を空気界面に密集させ、この上に離画壁用感光性組成物層を形成して、該隣接層中の離画壁用感光性組成物層側の界面に重合性基を有するフッ素化合物をより多く含有させることができる。この重合性基含有フッ素化合物と離画壁用感光性組成物層中の開始剤により、離画壁用感光性組成物層(=離画壁)の上面のみに撥インク性を付与することができる。
好ましい、重合性基を有するフッ素化合物として、下記のものが挙げられる。
By coating the coating solution of the adjacent layer with a fluorine compound having a polymerizable group, the fluorine compound having a polymerizable group is concentrated at the air interface, and a photosensitive composition layer for a separation wall is formed thereon. It can form and can contain more fluorine compounds which have a polymeric group in the interface by the side of the photosensitive composition layer for image separation walls in this adjacent layer. With this polymerizable group-containing fluorine compound and the initiator in the release wall photosensitive composition layer, ink repellency can be imparted only to the upper surface of the release wall photosensitive composition layer (= release wall). it can.
The following are mentioned as a preferable fluorine compound which has a polymeric group.
<フッ素原子と重合性不飽和二重結合とアルカリ可溶性基/水溶性基を有する高分子化合物>
フッ素原子と重合性不飽和二重結合を有する高分子化合物。さらに、このポリマーは、アルカリ水溶液に可溶とすることが好ましく、その場合、現像工程で未反応の高分子化合物を除去することが可能となり、手間が少なく、環境適合性に優れたプロセスを提供することが可能となる。さらに隣接層の塗布溶液に溶解するために水溶性基を含有することが好ましい。
このような本発明で使用される高分子化合物は、フッ素モノマー部と二重結合含有部との共重合体であり、さらに親水性モノマー部を含むことが好ましい。
該高分子化合物は以下のようにして合成することができる。
<High molecular compound having fluorine atom, polymerizable unsaturated double bond and alkali-soluble group / water-soluble group>
A polymer compound having a fluorine atom and a polymerizable unsaturated double bond. Furthermore, it is preferable that this polymer is soluble in an alkaline aqueous solution, in which case it is possible to remove unreacted polymer compounds in the development step, providing a process with less labor and excellent environmental compatibility. It becomes possible to do. Furthermore, it is preferable to contain a water-soluble group in order to dissolve in the coating solution of the adjacent layer.
Such a polymer compound used in the present invention is a copolymer of a fluorine monomer part and a double bond-containing part, and preferably further contains a hydrophilic monomer part.
The polymer compound can be synthesized as follows.
合成方法としては、まず、フッ素モノマーなどの撥油性モノマーを使用し、(a)フッ素モノマー、親水性モノマーおよび側鎖にエチレン付加重合性不飽和基を有するモノマーを共重合する方法、(b)フッ素モノマー、親水性モノマーと二重結合前駆体を有するモノマーを共重合させ、次に塩基などの処理により二重結合を導入する方法、(c)カルボン酸などの親水性官能基を有するフッ素ポリマーとエチレン付加重合性不飽和基を有する化合物とを反応させる方法、が挙げられる。これらの中でも、特に好ましいのは、合成適性の観点から、(a)フッ素モノマー、親水性モノマーとエチレン付加重合性不飽和基を有するモノマーとを反応させる方法である。 As a synthesis method, first, an oil repellent monomer such as a fluorine monomer is used, and (a) a method of copolymerizing a fluorine monomer, a hydrophilic monomer, and a monomer having an ethylene addition polymerizable unsaturated group in the side chain, (b) A method in which a fluorine monomer, a hydrophilic monomer and a monomer having a double bond precursor are copolymerized, and then a double bond is introduced by treatment with a base or the like; (c) a fluoropolymer having a hydrophilic functional group such as a carboxylic acid And a method of reacting a compound having an ethylene addition polymerizable unsaturated group. Among these, from the viewpoint of synthesis suitability, (a) a method of reacting a fluorine monomer, a hydrophilic monomer and a monomer having an ethylene addition polymerizable unsaturated group is particularly preferable.
(a)の方法でラジカル重合性基含有含フッ素高分子化合物を合成する際、共重合するエチレン付加重合性不飽和基を有するモノマーとしては、例えば、アリル基含有モノマーがあり、具体的には、アリル(メタ)アクリレート、2−アリルオキシエチルメタクリレートが挙げられる。
また(b)の方法に用いる、二重結合前駆体を有するモノマーとしては、例えば2−(3−クロロ−1−オキソプロポキシ)エチルメタクリレー卜、2−(2−ブロモ−2−メチル−1−オキソプロポキシ)エチルメタクリレー卜が挙げられる。
尚、「塩基などの処理により二重結合を導入」する方法をより詳細に説明すると、塩基を作用させることにより、フッ素含有モノマー、親水性モノマー及び二重結合前駆体を有するモノマーの共重合体から脱酸反応を促進し、二重結合前駆体を二重結合に変換する方法である。ここで、前記塩基としては無機・有機塩基を用いることができ、有機塩基が好ましく、特に、トリエチルアミン、ジイソプロピルエチルアミン、ジアザビシクロウンデセン、ジアザビシクロノネンなどの3級アルキルアミン類等を用いることができる。
更に、(c)の方法で含フッ素高分子化合物を合成する際、フッ素ポリマー中のカルボキシル基、アミノ基若しくはそれらの塩と、水酸基及びエポキシ基などの官能基と、の反応を利用して不飽和基を導入するために用いられる付加重合性不飽和基を有するモノマーとしては、(メタ)アクリル酸、グリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレートなど挙げられる。
一般に、エチレン付加重合性不飽和基を有するモノマーとしては、撥インク化反応の高感度化という観点から、反応性のより高いエチレン付加重合性不飽和基を有するモノマーや、より長鎖のモノマーが好ましい。
When the radically polymerizable group-containing fluorine-containing polymer compound is synthesized by the method (a), examples of the monomer having an ethylene addition polymerizable unsaturated group to be copolymerized include an allyl group-containing monomer, specifically, , Allyl (meth) acrylate, and 2-allyloxyethyl methacrylate.
Examples of the monomer having a double bond precursor used in the method (b) include 2- (3-chloro-1-oxopropoxy) ethyl methacrylate and 2- (2-bromo-2-methyl-1). -Oxopropoxy) ethyl methacrylate.
The method of “introducing a double bond by treatment with a base” will be described in more detail. A copolymer of a monomer having a fluorine-containing monomer, a hydrophilic monomer, and a double bond precursor by acting a base. In this method, the deoxidation reaction is promoted to convert the double bond precursor into a double bond. Here, inorganic and organic bases can be used as the base, and organic bases are preferable. In particular, tertiary alkylamines such as triethylamine, diisopropylethylamine, diazabicycloundecene, diazabicyclononene, and the like are used. Can do.
Further, when the fluorine-containing polymer compound is synthesized by the method (c), the reaction is not performed by utilizing the reaction between a carboxyl group, an amino group or a salt thereof in the fluoropolymer and a functional group such as a hydroxyl group and an epoxy group. Examples of the monomer having an addition-polymerizable unsaturated group used for introducing a saturated group include (meth) acrylic acid, glycidyl (meth) acrylate, allyl glycidyl ether, 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate, and the like.
In general, as a monomer having an ethylene addition polymerizable unsaturated group, from the viewpoint of increasing the sensitivity of the ink repellent reaction, a monomer having a more reactive ethylene addition polymerizable unsaturated group or a longer chain monomer may be used. preferable.
上記、含フッ素高分子化合物の合成方法についてさらに詳しく述べる。
(フッ素含有モノマー)
フッ素ポリマーの原料として使用されるフッ素含有モノマーとしては、下記一般式(I)、(II)、(III)、(IV)及び(V)よりなる群から選ばれた少なくとも1種のフッ素含有モノマーが挙げられる。
CH2=CR1COOR2Rf・・・(I)
〔式中、R1は水素原子又はメチル基、R2は−CpH2p−、−C(CpH2p+1)H−、−CH2C(CpH2p+1)H−又は−CH2CH2O−、Rfは−CnF2n+1、−(CF2)nH、−(CF2)pOCnH2nCiF2i+1、−(CF2)pOCmH2mCiF2iH、−N(CpH2p+1)COCnF2n+1、又は−N(CpH2p+1)SO2CnF2n+1である。但し、pはそれぞれ独立に1〜10の整数を表し、nは1〜16、mは0〜10、iは0〜16の整数である。〕
The method for synthesizing the fluorine-containing polymer compound will be described in more detail.
(Fluorine-containing monomer)
The fluorine-containing monomer used as a raw material for the fluoropolymer is at least one fluorine-containing monomer selected from the group consisting of the following general formulas (I), (II), (III), (IV) and (V) Is mentioned.
CH 2 = CR 1 COOR 2 R f (I)
Wherein, R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2 is -C p H 2p -, - C (C p H 2p + 1) H -, - CH 2 C (C p H 2p + 1) H- or -CH 2 CH 2 O-, the R f -C n F 2n + 1 , - (CF 2) n H, - (CF 2) p OC n H 2n C i F 2i + 1, - (CF 2) p OC m H 2m C i F 2i H, -N (C p H 2p + 1) COC n F 2n + 1, or -N (C p H 2p + 1 ) is SO 2 C n F 2n + 1 . However, p represents the integer of 1-10 each independently , n is 1-16, m is 0-10, i is an integer of 0-16. ]
CF2=CFORg ・・・(II)
(式中Rgは炭素数1〜20のフルオロアルキル基を表わす。)
CH2=CHRg・・・(III)
(式中Rgは炭素数1〜20のフルオロアルキル基を表わす。)
CH2=CR3COOR5RjR6OCOCR4=CH2 ・・・(IV)
〔式中、R3、R4は水素原子又はメチル基、R5、R6は−CqH2q−、−C(CqH2q+1)H−、−CH2C(CqH2q+1)H−又は−CH2CH2O−、Rjは−CtF2tである。但し、qは1〜10、tは1〜16の整数である。〕
CH2=CHR7COOCH2(CH2Rk)CHOCOCR8=CH2・・・(V)
(式中、R7、R8は水素原子又はメチル基、Rkは−CyF2y+1である。但し、yは1〜16の整数である。)
CF 2 = CFOR g (II)
(Wherein R g represents a fluoroalkyl group having 1 to 20 carbon atoms.)
CH 2 = CHR g (III)
(Wherein R g represents a fluoroalkyl group having 1 to 20 carbon atoms.)
CH 2 = CR 3 COOR 5 R j R 6 OCOCR 4 = CH 2 ··· (IV)
Wherein, R 3, R 4 is a hydrogen atom or a methyl group, R 5, R 6 is -C q H 2q -, - C (C q H 2q + 1) H -, - CH 2 C (C q H 2q + 1) H- or -CH 2 CH 2 O-, the R j is -C t F 2t. However, q is an integer of 1 to 10, and t is an integer of 1 to 16. ]
CH 2 = CHR 7 COOCH 2 (CH 2 R k ) CHOCOCR 8 = CH 2 (V)
(Wherein, R 7, R 8 represents a hydrogen atom or a methyl group, the R k is -C y F 2y + 1. However, y is 1 to 16 integer.)
以下、本発明に用いうるフッ素含有モノマーの具体例を挙げるが、本発明はこれに制限されるものではない。
一般式(I)で示されるモノマーとしては、例えば、CF3(CF2)7CH2CH2OCOCH=CH2、CF3CH2OCOCH=CH2、CF3(CF2)4CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、C7F15CON(C2H5)CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)CH2CH2OCOCH=CH2、CF3(CF2)7SO2N(C3H7)CH2CH2OCOCH=CH2、C2F5SO2N(C3H7)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、(CF3)2CF(CF2)6(CH2)3OCOCH=CH2、(CF3)2CF(CF2)10(CH2)3OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)4CH(CH3)OCOC(CH3)=CH2、CF3CH2OCH2CH2OCOCH=CH2、C2F5(CH2CH2O)2CH2OCOCH=CH2、(CF3)2CFO(CH2)5OCOCH=CH2、CF3(CF2)4OCH2CH2OCOC(CH3)=CH2、C2F5CON(C2H5)CH2OCOCH=CH2、CF3(CF2)2CON(CH3)CH(CH3)CH2OCOCH=CH2、H(CF2)6C(C2H5)OCOC(CH3)=CH2、H(CF2)8CH2OCOCH=CH2、H(CF2)4CH2OCOCH=CH2、H(CF2)CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)(CH2)10OCOCH=CH2、C2F5SO2N(C2H5)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)(CH2)4OCOCH=CH2、C2F5SO2N(C2H5)C(C2H5)HCH2OCOCH=CH2等が挙げられる。
Hereinafter, although the specific example of the fluorine-containing monomer which can be used for this invention is given, this invention is not restrict | limited to this.
Examples of the monomer represented by the general formula (I) include CF 3 (CF 2 ) 7 CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 4 CH 2 CH 2. OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , C 7 F 15 CON (C 2 H 5 ) CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3 ) CH 2 CH 2 OCOCH ═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , C 2 F 5 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) = CH 2 , (CF 3 ) 2 CF (CF 2 ) 6 (CH 2 ) 3 OCOCH═CH 2 , (CF 3 ) 2 CF (CF 2 ) 10 (CH 2 ) 3 OCOC (CH 3 ) = CH 2, CF 3 (CF 2) 4 CH (CH 3) OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 CH 2 OCH 2 CH 2 OCOCH = CH 2, C 2 F 5 (CH 2 CH 2 O) 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , (CF 3 ) 2 CFO (CH 2 ) 5 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 4 OCH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , C 2 F 5 CON (C 2 H 5) CH 2 OCOCH = CH 2 , CF 3 (CF 2) 2 CON (CH 3) CH (CH 3) CH 2 OCOCH = CH 2, H (CF 2) 6 C (C 2 H 5) OCOC (CH 3 ) = CH 2, H (CF 2) 8 CH 2 OCOCH = CH 2, H (CF 2) 4 CH 2 OCOCH = CH 2, H (CF 2) CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, C 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) (CH 2) 10 OCOCH = CH 2, C 2 F 5 SO 2 N ( C 2 H 5) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) (CH 2) 4 OCOCH = CH 2, C 2 F 5 SO 2 N ( C 2 H 5) C (C 2 H 5) HCH 2 OCOCH = CH 2 and the like.
また、一般式(II)及び(III)で表わされるフルオロアルキル化オレフィンとしては、例えばC3F7CH=CH2、C4F9CH=CH2、C10F21CH=CH2、C3F7OCF=CF2、C7F15OCF=CF2及びC8F17OCF=CF2などが挙げられる。 Examples of the fluoroalkylated olefin represented by the general formulas (II) and (III) include C 3 F 7 CH═CH 2 , C 4 F 9 CH═CH 2 , C 10 F 21 CH═CH 2 , C such as 3 F 7 OCF = CF 2, C 7 F 15 OCF = CF 2 and C 8 F 17 OCF = CF 2 and the like.
一般式(IV)及び(V)で表わされるモノマーとしては例えば、CH2=CHCOOCH2(CF2)3CH2OCOCH=CH2、CH2=CHCOOCH2CH(CH2C8F17)OCOCH=CH2などが挙げられる。
撥インク能を上げるという観点から、パーフルオロ基の主鎖炭素原子数は多いほうが好ましい。6個以上が特に有効である。具体的には、CF3(CF2)7CH2CH2OCOCH=CH2、C7F15CON(C2H5)CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)CH2CH2OCOCH=CH2、CF3(CF2)7SO2N(C3H7)CH2CH2OCOCH=CH2、(CF3)2CF(CF2)6(CH2)3OCOCH=CH2、(CF3)2CF(CF2)10(CH2)3OCOC(CH3)=CH2、H(CF2)6C(C2H5)OCOC(CH3)=CH2、H(CF2)8CH2OCOCH=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)(CH2)10OCOCH=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)(CH2)4OCOCH=CH2、C10F21CH=CH2、C7F15OCF=CF2及びC8F17OCF=CF2、CH2=CHCOOCH2CH(CH2C8F17)OCOCH=CH2などが挙げられる。
The monomer represented by the general formula (IV) and (V) for example, CH 2 = CHCOOCH 2 (CF 2) 3 CH 2 OCOCH = CH 2, CH 2 = CHCOOCH 2 CH (CH 2 C 8 F 17) OCOCH = CH 2 and the like can be mentioned.
From the viewpoint of increasing the ink repellency, it is preferable that the number of main chain carbon atoms of the perfluoro group is large. Six or more are particularly effective. Specifically, CF 3 (CF 2) 7 CH 2 CH 2 OCOCH = CH 2, C 7 F 15 CON (C 2 H 5) CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3 ) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , (CF 3 ) 2 CF (CF 2 ) 6 (CH 2 ) 3 OCOCH═CH 2 , (CF 3 ) 2 CF (CF 2 ) 10 (CH 2 ) 3 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , H (CF 2 ) 6 C (C 2 H 5 ) OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , H (CF 2 ) 8 CH 2 OCOCH═CH 2, CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3 ) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , CF 3 (CF 2 7 SO 2 N (CH 3) (CH 2) 10 OCOCH = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) (CH 2) 4 OCOCH = CH 2, C 10 F 21 CH = CH 2 C 7 F 15 OCF═CF 2 and C 8 F 17 OCF═CF 2 , CH 2 ═CHCOOCH 2 CH (CH 2 C 8 F 17 ) OCOCH═CH 2 and the like.
また、パーフルオロ基の末端がフッ素原子であることも好ましい。具体的には一般式(I)で示されるモノマーとしては、例えば、CF3(CF2)7CH2CH2OCOCH=CH2、CF3CH2OCOCH=CH2、CF3(CF2)4CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、C7F15CON(C2H5)CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)CH2CH2OCOCH=CH2、CF3(CF2)7SO2N(C3H7)CH2CH2OCOCH=CH2、C2F5SO2N(C3H7)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、(CF3)2CF(CF2)6(CH2)3OCOCH=CH2、(CF3)2CF(CF2)10(CH2)3OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)4CH(CH3)OCOC(CH3)=CH2、CF3CH2OCH2CH2OCOCH=CH2、C2F5(CH2CH2O)2CH2OCOCH=CH2、(CF3)2CFO(CH2)5OCOCH=CH2、CF3(CF2)4OCH2CH2OCOC(CH3)=CH2、C2F5CON(C2H5)CH2OCOCH=CH2、CF3(CF2)2CON(CH3)CH(CH3)CH2OCOCH=CH2、H(CF2)6C(C2H5)OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)(CH2)10OCOCH=CH2、C2F5SO2N(C2H5)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)(CH2)4OCOCH=CH2、C2F5SO2N(C2H5)C(C2H5)HCH2OCOCH=CH2、C3F7CH=CH2、C4F9CH=CH2、C10F21CH=CH2、C3F7OCF=CF2、C7F15OCF=CF2、C8F17OCF=CF2などが挙げられる。 Moreover, it is also preferable that the terminal of a perfluoro group is a fluorine atom. Specifically, as the monomer represented by the general formula (I), for example, CF 3 (CF 2 ) 7 CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 4 CH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) = CH 2, C 7 F 15 CON (C 2 H 5) CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , C 2 F 5 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2 , (CF 3) 2 CF (CF 2) 6 (CH 2) 3 OCOCH = CH 2, (CF 3) 2 CF (CF 2) 10 (CH 2) 3 OCOC (CH ) = CH 2, CF 3 ( CF 2) 4 CH (CH 3) OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 CH 2 OCH 2 CH 2 OCOCH = CH 2, C 2 F 5 (CH 2 CH 2 O) 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , (CF 3 ) 2 CFO (CH 2 ) 5 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 4 OCH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , C 2 F 5 CON ( C 2 H 5) CH 2 OCOCH = CH 2, CF 3 (CF 2) 2 CON (CH 3) CH (CH 3) CH 2 OCOCH = CH 2, H (CF 2) 6 C (C 2 H 5) OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3 ) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3 ) ( C H 2 ) 10 OCOCH═CH 2 , C 2 F 5 SO 2 N (C 2 H 5 ) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3 ) ( CH 2) 4 OCOCH = CH 2 , C 2 F 5 SO 2 N (C 2 H 5) C (C 2 H 5) HCH 2 OCOCH = CH 2, C 3 F 7 CH = CH 2, C 4 F 9 CH ═CH 2 , C 10 F 21 CH═CH 2 , C 3 F 7 OCF═CF 2 , C 7 F 15 OCF═CF 2 , C 8 F 17 OCF═CF 2 and the like.
このほか、隣接層中の他の成分との相溶性がよいという観点から、SやNなどを含むことも好ましい。具体的にはC7F15CON(C2H5)CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)CH2CH2OCOCH=CH2、CF3(CF2)7SO2N(C3H7)CH2CH2OCOCH=CH2、C2F5SO2N(C3H7)、C2F5CON(C2H5)CH2OCOCH=CH2、CF3(CF2)2CON(CH3)CH(CH3)CH2OCOCH=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)(CH2)10OCOCH=CH2、C2F5SO2N(C2H5)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF2)7SO2N(CH3)(CH2)4OCOCH=CH2、C2F5SO2N(C2H5)C(C2H5)HCH2OCOCH=CH2等が挙げられる。 In addition, from the viewpoint of good compatibility with other components in the adjacent layer, it is also preferable to contain S, N, and the like. Specifically C 7 F 15 CON (C 2 H 5) CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) CH 2 CH 2 OCOCH = CH 2, CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , C 2 F 5 SO 2 N (C 3 H 7 ), C 2 F 5 CON (C 2 H 5 ) CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 2 CON (CH 3 ) CH (CH 3 ) CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3 ) CH 2 CH 2 OCOC ( CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) (CH 2) 10 OCOCH = CH 2, C 2 F 5 SO 2 N (C 2 H 5) CH 2 CH 2 OCOC ( CH 3) = CH , CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) (CH 2) 4 OCOCH = CH 2, C 2 F 5 SO 2 N (C 2 H 5) C (C 2 H 5) HCH 2 OCOCH = CH 2 etc. are mentioned.
(親水性モノマー)
本発明の撥油及び撥インク性の官能基と重合性不飽和二重結合を有し、且つアルカリ水、もしくは水に膨潤可能な高分子化合物を合成する際に使用される親水性モノマーとしては次のモノマーを挙げることができる。
本発明で有用な親水性モノマーとは、アンモニウム、ホスホニウムなどの正の荷電を有するモノマー、若しくは、スルホン酸基、カルボキシル基、リン酸基、ホスホン酸基などの負の荷電を有するか負の荷電に解離し得る酸性基を有するモノマーが挙げられるが、その他にも、例えば、水酸基、アミド基、スルホンアミド基、アルコキシ基、シアノ基、エチレンオキシド基などの非イオン性の基を有する親水性モノマーを用いることもできる。
(Hydrophilic monomer)
As the hydrophilic monomer used in the synthesis of the polymer compound having the oil-repellent and ink-repellent functional groups of the present invention and a polymerizable unsaturated double bond and capable of swelling in alkaline water or water, The following monomers can be mentioned.
The hydrophilic monomer useful in the present invention is a monomer having a positive charge such as ammonium or phosphonium, or a negative charge or a negative charge such as a sulfonic acid group, a carboxyl group, a phosphoric acid group or a phosphonic acid group. Other examples include monomers having nonionic groups such as hydroxyl groups, amide groups, sulfonamido groups, alkoxy groups, cyano groups, and ethylene oxide groups. It can also be used.
本発明において、特に有用な親水性モノマーの具体例としては、次のモノマーを挙げることができる。例えば、(メタ)アクリル酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、イタコン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン酸塩、アリルアミン若しくはそのハロゲン化水素酸塩、3−ビニルプロピオン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、ビニルスルホン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、スチレンスルホン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、2−スルホエチレン(メタ)アクリレート、3−スルホプロピレン(メタ)アクリレート若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、アシッドホスホオキシポリオキシエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート若しくはそれらの塩、2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート若しくはそのハロゲン化水素酸塩、3−トリメチルアンモニウムプロピル(メタ)アクリレート、3−トリメチルアンモニウムプロピル(メタ)アクリルアミド、N、N、N−トリメチル−N−(2−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシプロピル)アンモニウムクロライド、などを使用することができる。また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−モノメチロール(メタ)アクリルアミド、N−ジメチロール(メタ)アクリルアミド、N−ビニルピロリドン、N−ビニルアセトアミド、ポリオキシエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートなども有用である。
このうち非イオン性のものが液晶層への不純物混入の懸念が少ない点でより好ましい。
具体的には、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−モノメチロール(メタ)アクリルアミド、N−ジメチロール(メタ)アクリルアミド、N−ビニルピロリドン、N−ビニルアセトアミド、ポリオキシエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートをあげることができる。
In the present invention, specific examples of particularly useful hydrophilic monomers include the following monomers. For example, (meth) acrylic acid or its alkali metal salt and amine salt, itaconic acid or its alkali metal salt and amine salt, allylamine or its hydrohalide salt, 3-vinylpropionic acid or its alkali metal salt and amine salt Vinyl sulfonic acid or its alkali metal salt and amine salt, styrene sulfonic acid or its alkali metal salt and amine salt, 2-sulfoethylene (meth) acrylate, 3-sulfopropylene (meth) acrylate or its alkali metal salt and amine salt 2-acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid or its alkali metal salts and amine salts, acid phosphooxypolyoxyethylene glycol mono (meth) acrylate or their salts, 2-dimethylaminoethyl (medium) ) Acrylate or its hydrohalide, 3-trimethylammoniumpropyl (meth) acrylate, 3-trimethylammoniumpropyl (meth) acrylamide, N, N, N-trimethyl-N- (2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyl) ) Ammonium chloride, etc. can be used. In addition, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, N-monomethylol (meth) acrylamide, N-dimethylol (meth) acrylamide, N-vinylpyrrolidone, N-vinylacetamide, polyoxyethylene glycol mono (meth) ) Acrylate is also useful.
Of these, nonionic ones are more preferable because they are less likely to be mixed with impurities into the liquid crystal layer.
Specifically, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, N-monomethylol (meth) acrylamide, N-dimethylol (meth) acrylamide, N-vinylpyrrolidone, N-vinylacetamide, polyoxyethylene glycol A mono (meth) acrylate can be mentioned.
(その他のモノマー)
本発明のフッ素原子と重合性不飽和二重結合を有する高分子化合物は構成要素としてフッ素原子、および重合性不飽和二重結合基の他にも他のモノマーが共重合されていても良い。これらのモノマーは本発明の高分子化合物の溶剤溶解性などを上げるのに使用される。このような目的で使用されるモノマーとしては、特に限定されないが、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸メトキシエチルエステル、などのアクリル酸エステルを使用することができる。
また、本発明のフッ素原子と重合性不飽和二重結合を有する高分子化合物は、そのTgが低い方が、撥インク化が進行しやすくなるため、そのようなモノマーが共重合されていることも好ましい。アルキル(炭素数3以上)アクリレートを使用することができる。
(Other monomers)
The polymer compound having a fluorine atom and a polymerizable unsaturated double bond of the present invention may be copolymerized with other monomers in addition to the fluorine atom and the polymerizable unsaturated double bond group. These monomers are used to increase the solvent solubility of the polymer compound of the present invention. Although it does not specifically limit as a monomer used for such a purpose, Acrylic acid ester, such as (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid methoxyethyl ester, is used. be able to.
In addition, the polymer compound having a fluorine atom and a polymerizable unsaturated double bond according to the present invention has a lower Tg, so that ink repellency is more likely to proceed. Is also preferable. Alkyl (3 or more carbon atoms) acrylates can be used.
以下に本発明で使用されるフッ素原子と重合性不飽和二重結合を側鎖に有する高分子化合物の例〔例示化合物(1)〜(15)〕を示す。ただし、本発明はこれらに限定するものではない。 Examples of the polymer compound having the fluorine atom and polymerizable unsaturated double bond in the side chain used in the present invention [Exemplary compounds (1) to (15)] are shown below. However, the present invention is not limited to these.
本発明に使用しうるフッ素原子と重合性不飽和二重結合を有する高分子化合物の分子量(Mw)としては0.1万から100万の範囲が好ましく、2000から10万の範囲がより好ましく、2000から4万が最も好ましい。この分子量の範囲において、優れた撥インク性効果と、溶液に対する溶解性を達成し得る。分子量が1000未満では撥インク性と溶解性の両立が困難となり好ましくない。100万より大きいと溶解性が劣り、好ましくない。 The molecular weight (Mw) of the polymer compound having a fluorine atom and a polymerizable unsaturated double bond that can be used in the present invention is preferably in the range of 10,000 to 1,000,000, more preferably in the range of 2,000 to 100,000. Most preferred is 2000 to 40,000. Within this molecular weight range, an excellent ink repellency effect and solubility in a solution can be achieved. If the molecular weight is less than 1000, it is difficult to achieve both ink repellency and solubility. If it is larger than 1,000,000, the solubility is poor, which is not preferable.
(6)<重合性基を有する撥インク性化合物に接触させて露光する>
「混色」を防ぐ手段として、パターン形成後の離画壁を、重合性基を有する撥インク性化合物に接触させ、接触させた状態で基板表面側から離画壁上表面を露光する方法がある。露光することにより、重合性基を有する撥インク性化合物を離画壁上表面に固定することができる。
(6) <Exposure by contacting with an ink repellent compound having a polymerizable group>
As means for preventing the "color mixture", the Hanarega wall after pattern formation, a method of contacting the ink repellent compound, exposing the Hanarega wall upper table surface from the substrate surface side being in contact with a polymerizable group is there. By exposing the ink-repellent compound having a polymerizable group capable of fixing the Hanarega wall upper table surface.
〔重合性基を有する撥インク性化合物〕
本工程において、パターンを形成した基材に接触させる撥インク性化合物は、重合性基と、撥インク性の官能基を有する化合物であれば、如何なるものも用いることができるが、それらは、モノマー、マクロマー、オリゴマーなどのいずれの形態を有するものであってよい。
[Ink-repellent compound having a polymerizable group]
In this step, as the ink repellent compound to be brought into contact with the substrate on which the pattern is formed, any compound can be used as long as it has a polymerizable group and an ink repellent functional group. , Macromers, oligomers and the like.
上記の要件を満足するような重合性撥インク性化合物としては、前述のフッ素含有モノマーや下記のシリコーン系モノマーを挙げることができる
(シリコーン系モノマー)
本発明に用いうるシリコーン系モノマーとしては、Si−CH3基もしくは−O−Si
−CH3基を有するシリコーン系モノマーを挙げることが出来る。具体的にはシリコンアク
リレートまたはシリコンメタクリレートであり、一般式(CH3O)nSi(CH3)4−n−R3−O−CO−CR4=CH2 (ここで、nは1〜10の整数である。)で表されるものであり、R3は連結基であり、R4はメチルもしくは水素である。その他、例えば、特開2003−335984公報の段落番号〔0025〕に記載されるシリコーン系モノマーもまた、好適なものとして挙げることができる。
Examples of the polymerizable ink repellent compound that satisfies the above requirements include the aforementioned fluorine-containing monomers and the following silicone monomers (silicone monomers).
Examples of silicone monomers that can be used in the present invention include Si—CH 3 groups or —O—Si.
Mention may be made of silicone monomers having a —CH 3 group. Specifically, it is silicon acrylate or silicon methacrylate, and has the general formula (CH 3 O) n Si (CH 3 ) 4 —n—R 3 —O—CO—CR 4 ═CH 2 (where n is 1 to 10). R 3 is a linking group, and R 4 is methyl or hydrogen. In addition, for example, silicone monomers described in paragraph No. [0025] of JP-A No. 2003-335984 can also be cited as suitable.
フッ素含有モノマー、シリコーン含有モノマーなどの重合性撥インク性化合物を、離画壁上面に固定する方法について説明する。
離画壁上面に重合性撥インク性化合物を接触させ、露光すればよい。このとき、重合性撥インク性化合物を単独で付与するいわゆる無溶媒で実施してもよいが、他の溶剤や添加剤を含有する組成物として接触させてもよい。ハンドリング性の観点から、このような重合性撥インク性化合物が溶解するような溶媒で希釈することもできる。ここで用いる溶媒には特に制限はないが、メタノール、アセトン、メチルエチルケトン、エタノール、プロパノール、等が好ましい。
離画壁上面に重合性撥インク性化合物を接触させる方法としてはパターン形成後の離画壁基板を重合性撥インク性化合物の液(溶液)に浸すのが簡便である。この場合、露光後、基板の洗浄を行うことが好ましい。
A method for fixing a polymerizable ink repellent compound such as a fluorine-containing monomer or a silicone-containing monomer on the upper surface of the separation wall will be described.
A polymerizable ink repellent compound may be brought into contact with the upper surface of the separation wall and exposed. At this time, it may be carried out in the so-called solvent-free state in which the polymerizable ink repellent compound is provided alone, but may be brought into contact as a composition containing another solvent or additive. From the viewpoint of handling properties, it can be diluted with a solvent in which such a polymerizable ink repellent compound is dissolved. Although there is no restriction | limiting in particular in the solvent used here, Methanol, acetone, methyl ethyl ketone, ethanol, propanol, etc. are preferable.
As a method of bringing the polymerizable ink repellent compound into contact with the upper surface of the separation wall, it is simple to immerse the separation wall substrate after the pattern formation in a liquid (solution) of the polymerizable ink repellent compound. In this case, it is preferable to clean the substrate after exposure.
本発明の離画壁においては、撥インク性化合物が含フッ素化合物及び/又は含ケイ素化合物であることが好ましい。
撥インク性化合物として含フッ素化合物を用いる場合、炭素数4以上10以下のパーフルオロアルキル基を含む化合物を含フッ素化合物として用いることが好ましい。この場合、ESCAで測定した離画壁の上表面のフッ素原子数/炭素原子数は0.10以上であることが好ましく、0.30以上であることがさらに好ましい。
In the separation wall of the present invention, the ink repellent compound is preferably a fluorine-containing compound and / or a silicon-containing compound.
When a fluorine-containing compound is used as the ink repellent compound, a compound containing a perfluoroalkyl group having 4 to 10 carbon atoms is preferably used as the fluorine-containing compound. In this case, the number of fluorine atoms / number of carbon atoms on the upper surface of the separation wall measured by ESCA is preferably 0.10 or more, and more preferably 0.30 or more.
撥インク性化合物として含ケイ素化合物を用いる場合、シリコーンを含ケイ素化合物として用いることが好ましい。この場合ESCAで測定した離画壁の上表面のケイ素原子数/炭素原子数は0.10以上であることが好ましく、0.30以上であることがさらに好ましい。 When using a silicon-containing compound as the ink repellent compound, it is preferable to use silicone as the silicon-containing compound. In this case, the number of silicon atoms / number of carbon atoms on the upper surface of the separation wall measured by ESCA is preferably 0.10 or more, and more preferably 0.30 or more.
上記(1)、(2)、および(4)〜(6)の撥インク処理方法の中でも、「工程の簡便さ」という観点では(1)と(5)が、撥インク性に異方性を持たせるという観点では(5)が、強力な撥インク性という観点では(6)がそれぞれ好ましい。 Among the ink repellent treatment methods (1) , (2), and (4) to (6), (1) and (5) are anisotropic in ink repellency from the viewpoint of “simpleness of the process”. (5) is preferable from the viewpoint of imparting water, and (6) is preferable from the viewpoint of strong ink repellency.
本発明のカラーフィルタは、本発明の離画壁と該離画壁間に設けられた複数の画素とを有する。本発明のカラーフィルタの製造方法は特に限定されるものではなく上記現像工程にて形成された離画壁の空隙に対し、RGB各画素を形成する為の着色液体組成物をその空隙に侵入させる工程を有するものであれば特に限定されるものではない。この着色液体組成物を離画壁空隙に侵入させる方法としては、インクジェット法やストライプギーサー塗布法など公知のものを使用することができ、インクジェット法がコスト的に好ましい。即ち、本発明のカラーフィルタの製造方法は、離画壁間に着色液体組成物による液滴をインクジェット法で付与する工程を含むことが好ましい。 The color filter of the present invention includes the separation wall of the present invention and a plurality of pixels provided between the separation walls. The method for producing the color filter of the present invention is not particularly limited, and the colored liquid composition for forming RGB pixels is allowed to enter the gaps in the separation wall gaps formed in the development step. If it has a process, it will not specifically limit. As a method for causing the colored liquid composition to enter the separation wall gap, a known method such as an ink jet method or a stripe Geyser coating method can be used, and the ink jet method is preferable in terms of cost. That is, it is preferable that the method for producing a color filter of the present invention includes a step of applying droplets of the colored liquid composition between the separation walls by an inkjet method.
また、このように各画素を形成する前に、離画壁の形状を固定化してもよく、その手段は特に限定されないが以下のようなものが挙げられる。すなわち、1)現像後、再露光を行う(ポスト露光と呼ぶことがある)2)現像後、加熱処理を行う等である。ここで言う加熱処理とは離画壁を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射するということをさす。 Further, the shape of the separation wall may be fixed before forming each pixel in this way, and the means is not particularly limited, and examples thereof include the following. That is, 1) re-exposure after development (sometimes referred to as post-exposure) 2) heat treatment after development, etc. The heat treatment here refers to heating a substrate having a separation wall in an electric furnace, a dryer or the like, or irradiating an infrared lamp.
ここで、上記1)を行う場合の露光量は、500mJ/cm2以上が好ましく1000mJ/cm2以上がより好ましく3000mJ/cm2以上が最も好ましい。500mJ/cm2以下では形状が丸くなって、インクはみだしや混色、画素境界乱れが起こりやすくなり好ましくない。再露光を行う際の露光量に上限は無いが、露光量が多いと露光に時間がかかりすぎるという点で10000mJ/cm2以下とすることが好ましい。貧酸素雰囲気下である場合にはそれより低い露光量で露光することも可能である。
また、同じく2)を行う場合の加熱温度は100〜250℃、好ましくは120〜240℃程度であり、その加熱時間は、10〜20分程度である。温度が100℃より低い場合には離画壁の硬化が進まない懸念があり、250℃より大きい場合には離画壁形状が崩れてしまう懸念がある。
Here, the exposure amount in the case of performing 1) above, 500 mJ / cm 2 or more preferably 1000 mJ / cm 2 or more, more preferably 3000 mJ / cm 2 or more is most preferable. If it is 500 mJ / cm 2 or less, the shape becomes round, and ink is likely to protrude, color mixing, and pixel boundary disturbance, which is not preferable. Although there is no upper limit to the exposure amount when performing re-exposure, it is preferable to set it to 10000 mJ / cm 2 or less from the viewpoint that it takes too much time for exposure when the exposure amount is large. In the case of an oxygen-poor atmosphere, exposure can be performed with a lower exposure amount.
Similarly, the heating temperature in the case of 2) is 100 to 250 ° C., preferably about 120 to 240 ° C., and the heating time is about 10 to 20 minutes. When the temperature is lower than 100 ° C., there is a concern that the separation wall does not cure, and when it is higher than 250 ° C., there is a concern that the shape of the separation wall may be destroyed.
各画素形成のために用いるインクジェット法に関しては、インクを熱硬化させる方法、光硬化させる方法、あらかじめ基板上に透明な受像層を形成しておいてから打滴する方法など、公知の方法を用いることができる。 Regarding the ink jet method used for forming each pixel, a known method such as a method of thermally curing ink, a method of photocuring, or a method of performing droplet ejection after forming a transparent image receiving layer on a substrate in advance is used. be able to.
好ましくは、各画素を形成した後、加熱処理(いわゆるベーク処理)する加熱工程を設ける。即ち、画素形成後の基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射する。加熱の温度及び時間は、離画壁用感光性組成物の組成や形成された層の厚みに依存するが、一般に充分な耐溶剤性、強度を獲得する観点から、約120℃〜約250℃で約10分〜約120分間加熱することが好ましい。 Preferably, after each pixel is formed, a heating step of performing a heat treatment (so-called baking treatment) is provided. That is, the substrate after pixel formation is heated in an electric furnace, a dryer or the like, or irradiated with an infrared lamp. The temperature and time of heating depend on the composition of the photosensitive composition for the separating wall and the thickness of the formed layer, but generally from about 120 ° C. to about 250 ° C. from the viewpoint of obtaining sufficient solvent resistance and strength. It is preferable to heat at about 10 minutes to about 120 minutes.
このようにして形成されたカラーフィルタのパターン形状は特に限定されるものではなく、図3に示すような一般的なデルタ配列であっても(図3(A))格子構造もしくはストライプ構造であっても(図3(B))よい。 The pattern shape of the color filter formed in this way is not particularly limited, and even with a general delta arrangement as shown in FIG. 3 (FIG. 3A), it has a lattice structure or a stripe structure. (FIG. 3B) may be used.
本発明に用いるインクジェット方式としては、帯電したインクを連続的に噴射し電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。
用いるインクは油性、水性であっても使用できる。また、そのインクに含まれる着色材は染料、顔料ともに使用でき、耐久性の面からは顔料の使用がより好ましい。また、公知のカラーフィルタ作製に用いる、塗布方式の着色インク(着色樹脂組成物、例えば、特開2005−3861号公報[0034]〜[0063]記載)や、特開平10−195358号公報[0009]〜[0026]に記載のインクジェット用組成物を使用することもできる。
本発明におけるインクには、着色後の工程を考慮し、加熱によって硬化する、又は紫外線などのエネルギー線によって硬化する成分を添加することもできる。加熱によって硬化する成分としては各種の熱硬化性樹脂が広く用いられ、またエネルギー線によって硬化する成分としては例えばアクリレート誘導体又はメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものを例示できる。特に耐熱性を考慮してアクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は水溶性のものが好ましく使用でき、水に難溶性のものでもエマルション化するなどして使用できる。
この場合、顔料などの着色剤を含有させた離画壁用感光性組成物を、好適なものとして用いることができる。
The ink jet system used in the present invention includes a method in which charged ink is continuously ejected and controlled by an electric field, a method in which ink is ejected intermittently using a piezoelectric element, and an ink is intermittently heated by using its foam. Various methods such as a method of injecting the ink can be employed.
The ink used may be oily or water-based. The coloring material contained in the ink can be used for both dyes and pigments, and the use of pigments is more preferable from the viewpoint of durability. In addition, a coating-type colored ink (colored resin composition, for example, described in JP-A No. 2005-3861 [0034] to [0063]) or JP-A No. 10-195358 [0009] is used for producing a known color filter. ]-[0026] The inkjet composition as described above can also be used.
In consideration of the process after coloring, a component that is cured by heating or that is cured by energy rays such as ultraviolet rays can be added to the ink in the present invention. Various thermosetting resins are widely used as components that are cured by heating, and examples of components that are cured by energy rays include those obtained by adding a photoinitiator to an acrylate derivative or a methacrylate derivative. In particular, in view of heat resistance, those having a plurality of acryloyl groups and methacryloyl groups in the molecule are more preferable. These acrylate derivatives and methacrylate derivatives are preferably water-soluble, and even those that are sparingly soluble in water can be used after being emulsified.
In this case, a photosensitive composition for a separating wall containing a colorant such as a pigment can be suitably used.
また、本発明において用いることができるインクとしては、少なくともバインダー、及び、2官能乃至3官能のエポキシ基含有モノマーを含有するカラーフィルタ用熱硬化性インクも好適なものとして用いることができる。 Further, as the ink that can be used in the present invention, a thermosetting ink for a color filter containing at least a binder and a bifunctional to trifunctional epoxy group-containing monomer can also be used as a suitable ink.
本発明におけるカラーフィルタは、インクジェット方式で画素形成されたカラーフィルタであることが好ましく、RGB3色のインクを吹き付けて3色のカラーフィルタを形成することが好ましい。
このカラーフィルタは、液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロクロミック表示素子、PLZT等と組合せて表示素子として用いられる。カラーカメラやその他のカラーフィルタを用いる用途にも使用できる。
The color filter in the present invention is preferably a color filter in which pixels are formed by an inkjet method, and it is preferable to form three color filters by spraying RGB three color inks.
This color filter is used as a display element in combination with a liquid crystal display element, an electrophoretic display element, an electrochromic display element, PLZT, or the like. It can also be used for applications using color cameras and other color filters.
カラーフィルタ作製後、全面に耐性向上のためにオーバーコート層を設ける場合がある。オーバーコート層は、インクR,G,Bの固化層を保護するとともに、表面を平坦にすることができるが、工程数が増えるという観点から、設けないことが好ましい。 After the color filter is manufactured, an overcoat layer may be provided on the entire surface to improve resistance. The overcoat layer can protect the solidified layers of the inks R, G, and B and can flatten the surface, but it is preferably not provided from the viewpoint of increasing the number of steps.
オーバーコート層を形成する樹脂(OC剤)としては、アクリル系樹脂組成物、エポキシ樹脂組成物、ポリイミド樹脂組成物などが挙げられる。中でも、可視光領域での透明性で優れており、また、カラーフィルタ用光硬化性組成物の樹脂成分が通常アクリル系樹脂を主成分としており、密着性に優れていることからアクリル系樹脂組成物が望ましい。
オーバーコート層の例として、特開2003−287618号公報の段落番号0018〜0028に記載のものや、オーバーコート剤の市販品として、JSR社製「オプトマーSS6699G」)が挙げられる。
Examples of the resin (OC agent) that forms the overcoat layer include an acrylic resin composition, an epoxy resin composition, and a polyimide resin composition. Above all, it is excellent in transparency in the visible light region, and the resin component of the photocurable composition for color filters usually has an acrylic resin as the main component, so that the acrylic resin composition is excellent in adhesion. Things are desirable.
Examples of the overcoat layer include those described in paragraphs 0018 to 0028 of JP-A No. 2003-287618, and commercially available overcoat agents such as “Optomer SS6699G” manufactured by JSR.
本発明の表示装置としては液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、EL表示装置、CRT表示装置などの表示装置などが挙げられる。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。
本発明の表示装置のうち、液晶表示装置は特に好ましい。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はもちろんIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページに記載されている。
Examples of the display device of the present invention include display devices such as a liquid crystal display device, a plasma display display device, an EL display device, and a CRT display device. For the definition of display devices and explanation of each display device, refer to “Electronic Display Devices (Akio Sasaki, published by Industrial Research Institute 1990)”, “Display Devices (Junaki Ibuki, Industrial Books Co., Ltd.) Issue)).
Among the display devices of the present invention, a liquid crystal display device is particularly preferable. The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Kenkyukai 1994)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to various types of liquid crystal display devices described in, for example, the “next generation liquid crystal display technology”. Among these, the present invention is particularly effective for a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Further, the present invention can be applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA. These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends-(issued in 2001 by Toray Research Center Research Division)".
液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明の離画壁はこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行 )」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉 (株)富士キメラ総研 2003年発行)」に記載されている。 In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle guarantee film. The image separation wall of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members. For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials and Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC 1994)” and “2003 Liquid Crystal Related Markets Current Status and Future Prospects (Volume 2)” (Table Yoshiyoshi) Fuji Chimera Research Institute, published in 2003) ”.
本発明のカラーフィルタはテレビ、パーソナルコンピュータ、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビなどの用途に特に制限なく適用できる。 The color filter of the present invention can be applied to applications such as televisions, personal computers, liquid crystal projectors, game machines, mobile terminals such as mobile phones, digital cameras, car navigation systems, and the like without any particular limitation.
以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、試薬、割合、機器、操作等は本発明の精神から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、以下の実施例において、特に断りのない限り「%」および「部」は、「質量%」および「質量部」を表し、分子量とは重量平均分子量のことを示す。 The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, reagents, ratios, equipment, operations, and the like shown in the following examples can be appropriately changed without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below. In the following examples, “%” and “parts” represent “mass%” and “parts by mass” unless otherwise specified, and the molecular weight indicates the weight average molecular weight.
[離画壁用組成物の製法]
離画壁用組成物K1は、まず表1に記載の量のK顔料分散物1、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150RPM10分間攪拌し、次いで、表1に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー1、ハイドロキノンモノメチルエーテル、DPHA液、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4−(N,N−ジエトキシカルボニルメチル)アミノ−3−ブロモフェニル]−s−トリアジン、界面活性剤1をはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150RPM30分間攪拌することによって得られる。なお、表1に記載の量は質量部であり、詳しくは以下の組成となっている。
[Production method of separation wall composition]
For the separating wall composition K1, first, K pigment dispersion 1 and propylene glycol monomethyl ether acetate in the amounts shown in Table 1 were weighed, mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.), stirred at 150 RPM for 10 minutes, and then Methyl ethyl ketone, binder 1, hydroquinone monomethyl ether, DPHA solution, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4- (N, N-diethoxycarbonylmethyl) amino-3-bromo in the amounts shown in Table 1 Phenyl] -s-triazine and Surfactant 1 are weighed out, added in this order at a temperature of 25 ° C. (± 2 ° C.), and stirred at a temperature of 40 ° C. (± 2 ° C.) for 150 RPM for 30 minutes. In addition, the quantity of Table 1 is a mass part, and has the following composition in detail.
<K顔料分散物1の組成>、
・カーボンブラック(デグッサ社製 Nipex35) 13.1%
・下記分散剤 0.65%
<Composition of K pigment dispersion 1>
・ Carbon black (Nippex 35 manufactured by Degussa) 13.1%
・ The following dispersant 0.65%
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物、分子量3.7万) 6.72%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.53%
-Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio random copolymer, molecular weight 37,000) 6.72%
Propylene glycol monomethyl ether acetate 79.53%
<バインダー1>
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比
のランダム共重合物、分子量3.8万) 27%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73%
<Binder 1>
・ Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio random copolymer, molecular weight 38,000) 27%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 73%
<DPHA液>
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(重合禁止剤MEHQ 500ppm含有、日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) 76%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 24%
<DPHA solution>
Dipentaerythritol hexaacrylate (containing polymerization inhibitor MEHQ 500 ppm, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: KAYARAD DPHA) 76%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 24%
<界面活性剤1>
・下記構造物1 30%
<Surfactant 1>
・ The following structure 1 30%
・メチルエチルケトン 70% ・ Methyl ethyl ketone 70%
上記表1及び2に記載の処方に変更した以外は、上記離画壁用組成物K1の調製方法と同様の方法で、離画壁用組成物K2〜K7を調整した。 Except having changed into the prescription of the said Table 1 and 2, the composition K2-K7 for a separation wall was adjusted with the method similar to the preparation method of the said composition K1 for a separation wall.
<K顔料分散液2の組成>
・C.I.P.R.177(商品名:Cromophtal Red A2B、
チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製) 18部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28
モル比のランダム共重合物、重量平均分子量3.7万) 12部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 70部
<Composition of K pigment dispersion 2>
・ C. I. P. R. 177 (Product name: Chromophthal Red A2B,
Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 18 parts Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28
Random copolymer of molar ratio, weight average molecular weight 37,000) 12 parts, 70 parts propylene glycol monomethyl ether acetate
<K顔料分散液3の組成>
・C.I.P.B15:6 18部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体[共重合組成比(モル比)=72/28 重量平均分子量=30000の40%プロピレングリコールモノメチルアセテート溶液] 15部
・シクロヘキサノン 50部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート 17部
<Composition of K pigment dispersion 3>
・ C. I. P. B15: 6 18 parts benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer [copolymerization composition ratio (molar ratio) = 72/28 40% propylene glycol monomethyl acetate solution having a weight average molecular weight of 30000] 15 parts / cyclohexanone 50 parts / propylene glycol 17 parts of monomethyl acetate
<K顔料分散液4の組成>
・C.I.P.Y139 18部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体[共重合組成比(モル比)=72/28 重量平均分子量=30000の40%プロピレングリコールモノメチルアセテート溶液] 15部
・シクロヘキサノン 50部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート 17部
<Composition of K pigment dispersion 4>
・ C. I. P. Y139 18 parts benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer [copolymerization composition ratio (molar ratio) = 72/28 40% propylene glycol monomethyl acetate solution with weight average molecular weight = 30,000] 15 parts cyclohexanone 50 parts propylene glycol monomethyl acetate 17 copies
<K顔料分散液5の組成>
・C.I.P.V23 12部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体[共重合組成比(モル比)=72/28 重量平均分子量=30000の40%プロピレングリコールモノメチルアセテート溶液] 18部
・シクロヘキサノン 60部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート 10部
<Composition of K pigment dispersion 5>
・ C. I. P. V23 12 parts benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer [copolymerization composition ratio (molar ratio) = 72/28 40% propylene glycol monomethyl acetate solution with weight average molecular weight = 30000] 18 parts cyclohexanone 60 parts propylene glycol monomethyl acetate 10 copies
<K顔料分散液6の組成>
・カーボンブラック(デグッサ社製、商品名Special Black 250)
15部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体[共重合組成比(モル比)=72/28 重量平均分子量=30000の40%プロピレングリコールモノメチルアセテート溶液] 23部
・シクロヘキサノン 60部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート 10部
<Composition of K pigment dispersion 6>
・ Carbon black (Degussa, trade name Special Black 250)
15 parts benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer [copolymerization composition ratio (molar ratio) = 72/28 40% propylene glycol monomethyl acetate solution with weight average molecular weight = 30000] 23 parts cyclohexanone 60 parts propylene glycol monomethyl acetate 10 Part
<K顔料分散物7の調製>
棒状銀微粒子(長軸長さL:400nm、幅b:30nm、厚さt:25nm、b/t=1.2)73.5gと、分散剤(商品名:ソルスパース20000、アビシア(株)製)1.05gと、メチルエチルケトン16.4gと、を混合した。これを、超音波分散機(商品名:Ultrasonic generator model US−6000 ccvp、nissei社製)を用いて分散し、棒状銀微粒子分散液(K顔料分散物6)を得た。
尚、本実施例における各種形状の棒状銀微粒子は、Materials Chemistry and Physics 2004,84,P197−204に記載されている微粒子の調製方法により、銀塩還元時のpH、反応温度を変化させることにより、各種形状の棒状銀微粒子の分散液として調製した。
<Preparation of K pigment dispersion 7>
73.5 g of rod-shaped silver fine particles (major axis length L: 400 nm, width b: 30 nm, thickness t: 25 nm, b / t = 1.2) and a dispersant (trade name: Solsperse 20000, manufactured by Avicia Co., Ltd.) ) 1.05 g and methyl ethyl ketone 16.4 g were mixed. This was dispersed using an ultrasonic disperser (trade name: Ultrasonic generator model US-6000 ccvp, manufactured by nissei) to obtain a rod-shaped silver fine particle dispersion (K pigment dispersion 6).
In addition, the rod-shaped silver fine particles of various shapes in this example are obtained by changing the pH and reaction temperature during silver salt reduction by the fine particle preparation method described in Materials Chemistry and Physics 2004, 84, P197-204. These were prepared as dispersions of rod-shaped silver fine particles having various shapes.
<銀錫合金部を有する金属粒子の分散液(K顔料分散物8)の調製>
純水1000mlに、酢酸銀(I)23.1g、酢酸スズ(II)65.1g、グルコン酸54g、ピロリン酸ナトリウム45g、ポリエチレングリコール(分子量3,000)2g、及びE735(アイエスピー・ジャパン(株)製;ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー)5gを溶解し、溶液1を得た。 別途、純水500mlにヒドロキシアセトン36.1gを溶解して、溶液2を得た。
<Preparation of dispersion of metal particles having silver-tin alloy part (K pigment dispersion 8)>
In 1000 ml of pure water, 23.1 g of silver (I) acetate, 65.1 g of tin (II) acetate, 54 g of gluconic acid, 45 g of sodium pyrophosphate, 2 g of polyethylene glycol (molecular weight 3,000), and E735 (IS Japan ( Co., Ltd .; vinyl pyrrolidone / vinyl acetate copolymer) 5 g was dissolved to obtain solution 1. Separately, 36.1 g of hydroxyacetone was dissolved in 500 ml of pure water to obtain a solution 2.
上記より得た溶液1を25℃に保ちつつ激しく攪拌しながら、これに上記の溶液2を2分間かけて添加し、緩やかに6時間攪拌を継続した。すると、混合液が黒色に変化し、銀錫合金部を有する金属粒子(以下、「銀錫合金部含有粒子」ということがある。)を得た。次いで、(A)の操作により銀錫合金部含有粒子を分散した。
(A)操作
前記金属粒子を含有する液を遠心分離して銀錫合金部含有粒子を沈殿させた。遠心分離は、150mlの液量に小分けして、卓上遠心分離機H−103n((株)コクサン製)により回転数2,000r.p.m.で30分間行なった。そして、上澄みを捨て全液量を150mlにし、これに純水1350mlを加え、15分間攪拌して銀錫合金部含有粒子を再び分散させた。この操作(A)を2回繰り返して水相の可溶性物質を除去した。
While the solution 1 obtained above was vigorously stirred while maintaining at 25 ° C., the above solution 2 was added thereto over 2 minutes, and the stirring was continued gently for 6 hours. Then, the liquid mixture turned black, and metal particles having a silver-tin alloy part (hereinafter sometimes referred to as “silver-tin alloy part-containing particles”) were obtained. Subsequently, the silver tin alloy part containing particle | grains were disperse | distributed by operation of (A).
(A) Operation The liquid containing the metal particles was centrifuged to precipitate silver-tin alloy part-containing particles. Centrifugation is subdivided into a volume of 150 ml, and a rotational speed of 2,000 r.m. using a desktop centrifuge H-103n (manufactured by Kokusan Co., Ltd.) p. m. For 30 minutes. Then, the supernatant was discarded and the total liquid volume was made 150 ml. To this, 1350 ml of pure water was added and stirred for 15 minutes to re-disperse the silver-tin alloy part-containing particles. This operation (A) was repeated twice to remove soluble substances in the aqueous phase.
その後、この液に対して更に遠心分離を行ない、銀錫合金部含有粒子を再び沈殿させた。遠心分離は前記同様の条件にて行なった。遠心分離した後、前記同様に上澄みを捨て全液量を150mlにし、これに純水850ml及びアセトン500mlを加え、さらに15分間攪拌して銀錫合金部含有粒子を再び分散させた。 Thereafter, the liquid was further centrifuged to precipitate silver tin alloy part-containing particles again. Centrifugation was performed under the same conditions as described above. After centrifuging, the supernatant was discarded as described above, the total liquid volume was made 150 ml, 850 ml of pure water and 500 ml of acetone were added thereto, and the mixture was further stirred for 15 minutes to disperse the silver-tin alloy part-containing particles again.
再び前記同様にして遠心分離を行ない、銀錫合金部含有粒子を沈殿させた後、前記同様に上澄みを捨て液量を150mlにし、これに純水150ml及びアセトン1200mlを加えて更に15分間攪拌し、銀錫合金部含有粒子を再び分散させた。そして再び、遠心分離を行なった。このときの遠心分離の条件は、時間を90分に延ばした以外は前記同様である。その後、上澄みを捨て全液量を70mlにし、これにアセトン30mlを加えた。これをアイガーミル(アイガーミルM−50型(メディア:直径0.65mmジルコニアビーズ130g、アイガー・ジャパン(株)製)を用いて6時間分散し、銀錫合金部含有粒子の分散液(K顔料分散物8)を得た。
この銀錫合金部含有粒子は、AgSn合金(2θ=39.5°)とSn金属(2θ=30.5°)とからなる複合体であることがX線散乱により確認された。ここで、カッコ内の数字はそれぞれの(III)面の散乱角である。この微粒子分散液を透過型電子顕微鏡で観察した結果、分散平均粒径は数平均粒子サイズで約40nmであった。
Centrifugation was performed again in the same manner as described above to precipitate the silver-tin alloy part-containing particles. Then, the supernatant was discarded as described above to a liquid volume of 150 ml, 150 ml of pure water and 1200 ml of acetone were added thereto, and the mixture was stirred for 15 minutes. Then, the silver tin alloy part-containing particles were dispersed again. Again, centrifugation was performed. The centrifugation conditions at this time are the same as described above except that the time is extended to 90 minutes. Thereafter, the supernatant was discarded to make the total liquid volume 70 ml, and 30 ml of acetone was added thereto. This was dispersed for 6 hours using an Eiger mill (Eiger mill M-50 type (media: diameter 0.65 mm zirconia beads 130 g, manufactured by Eiger Japan Co., Ltd.)), and a dispersion of silver-tin alloy part-containing particles (K pigment dispersion) 8) was obtained.
It was confirmed by X-ray scattering that the silver-tin alloy part-containing particles were a composite composed of an AgSn alloy (2θ = 39.5 °) and a Sn metal (2θ = 30.5 °). Here, the numbers in parentheses are the scattering angles of the respective (III) planes. As a result of observing the fine particle dispersion with a transmission electron microscope, the dispersion average particle size was about 40 nm in terms of number average particle size.
前記数平均粒子サイズの測定は、透過型電子顕微鏡JEM−2010(日本電子(株)製)により得た写真を用いて以下のようにして行なった。
粒子100個を選び、それぞれの粒子像と同じ面積の円の直径を粒子径とし、100個の粒子の粒子径の平均を数平均粒子サイズとした。このとき、写真は、倍率10万倍、加速電圧200kVで撮影したものを用いた。
The number average particle size was measured using a photograph obtained with a transmission electron microscope JEM-2010 (manufactured by JEOL Ltd.) as follows.
100 particles were selected, the diameter of a circle having the same area as each particle image was defined as the particle diameter, and the average of the particle diameters of 100 particles was defined as the number average particle size. At this time, a photograph taken at a magnification of 100,000 times and an acceleration voltage of 200 kV was used.
[実施例1](転写法)
[感光性転写材料K1の製法]
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方H1からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方P1から成る酸素遮断層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、前記離画壁用組成物K1を塗布、乾燥させた。このようにして仮支持体の上に乾燥膜厚が14.6μmの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が1.6μmの酸素遮断層と、離画壁用感光性組成物層を設け、最後に保護フイルム(厚さ12μmポリプロピレンフィルム)を圧着した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と酸素遮断層とブラック(K)の離画壁用感光性組成物層とが一体となった感光性転写材料を作製し、サンプル名を感光性転写材料K1とした。
[Example 1] (Transfer method)
[Production Method of Photosensitive Transfer Material K1]
On a 75 μm thick polyethylene terephthalate film temporary support, a coating solution for a thermoplastic resin layer having the following formulation H1 was applied and dried using a slit nozzle. Next, an oxygen barrier layer coating solution having the following formulation P1 was applied and dried. Further, the separation wall composition K1 was applied and dried. In this way, a thermoplastic resin layer having a dry film thickness of 14.6 μm, an oxygen barrier layer having a dry film thickness of 1.6 μm, and a photosensitive composition layer for a separation wall were provided on the temporary support. A protective film (thickness 12 μm polypropylene film) was pressure-bonded to the film.
In this way, a photosensitive transfer material in which the temporary support, the thermoplastic resin layer, the oxygen barrier layer, and the black (K) separation wall photosensitive composition layer are integrated is prepared, and the sample name is the photosensitive transfer material K1. It was.
<熱可塑性樹脂層用塗布液:処方H1>
・メタノール 11.1部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 6.36部
・メチルエチルケトン 52.4部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート
/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)
=55/11.7/4.5/28.8、分子量=10万、Tg≒70℃)
5.83部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)
=63/37、平均分子量=1万、Tg≒100℃) 13.6部
・2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン(新中村化学工業(株)製) 9.1部
・フッ素系ポリマー(C6F13CH2CH2OCOCH=CH2 40部と
H(OCH(CH3)CH2)7OCOCH=CH2 55部と
H(OCHCH2)7OCOCH=CH2 5部との共重合体、平均分子量3万、メチルエチルケトン30%溶液、大日本インキ化学工業製、商品名:メガファックF780F) 0.54部
<Coating liquid for thermoplastic resin layer: Formulation H1>
・ Methanol 11.1 parts ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 6.36 parts ・ Methyl ethyl ketone 52.4 parts ・ Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio))
= 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8, molecular weight = 100,000, Tg≈70 ° C.)
5.83 parts styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio))
= 63/37, average molecular weight = 10,000, Tg≈100 ° C.) 13.6 parts · 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) 1 part fluoropolymer (C 6 F 13 CH 2 CH 2 OCOCH = CH 2 40 parts of H (OCH (CH 3) CH 2) 7 OCOCH = CH 2 55 parts of H (OCHCH 2) 7 OCOCH = CH 2 Copolymer with 5 parts, average molecular weight 30,000, methyl ethyl ketone 30% solution, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc., trade name: Megafac F780F) 0.54 parts
<酸素遮断層用塗布液:処方P1>
・PVA205(ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、鹸化度=88%、重合度550) 32.2部
・ポリビニルピロリドン(アイエスピー・ジャパン社製、K−30) 14.9部
・蒸留水 524部
・メタノール 429部
<Coating liquid for oxygen barrier layer: prescription P1>
PVA205 (polyvinyl alcohol, manufactured by Kuraray Co., Ltd., degree of saponification = 88%, degree of polymerization 550) 32.2 partsPolyvinylpyrrolidone (APS Japan, K-30) 14.9 partsDistilled water 524 parts・ 429 parts of methanol
無アルカリガラス基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。
得られたシランカップリング処理ガラス基板に、上記の製法にて作製された感光性転写材料からカバーフィルムを除去し、除去後に露出した離画壁用感光性組成物層の表面と前記シランカップリング処理ガラス基板の表面とが接するように重ね合わせ、ラミネータ(株式会社日立インダストリイズ製(LamicII型))を用いて、前記100℃で2分間加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。続いてポリエチレンテレフタレートの仮支持体を、熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去した。仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と熱可塑性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量70mJ/cm2でパターン露光した。
The alkali-free glass substrate was washed with a rotating brush having nylon hair while spraying a glass detergent solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds by showering, and after washing with pure water shower, silane coupling solution (N-β (aminoethyl)) A 0.3% aqueous solution of γ-aminopropyltrimethoxysilane, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating apparatus.
The surface of the photosensitive composition layer for the separation wall exposed after removing the cover film from the photosensitive transfer material produced by the above-described manufacturing method on the obtained silane coupling treated glass substrate and the silane coupling The substrates are laminated so as to be in contact with the surface of the treated glass substrate, and a rubber roller temperature of 130 ° C. and linear pressure are applied to the substrate heated at 100 ° C. for 2 minutes using a laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)). Lamination was performed at 100 N / cm and a conveyance speed of 2.2 m / min. Subsequently, the polyethylene terephthalate temporary support was peeled off at the interface with the thermoplastic resin layer to remove the temporary support. After peeling off the temporary support, exposure is performed with a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing vertically. The distance between the mask surface and the thermoplastic resin layer was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 70 mJ / cm 2 .
次いで、0.5%KOH水溶液にて現像して、離画壁用感光性組成物層の未露光部分及びその下の酸素遮断層、熱可塑性樹脂層を除去しガラス基板上にブラックマトリックスパターン様離画壁を得た。次に、基板の表から露光量3100mJ/cm2で全面露光した(ポスト露光)。つづいて、220℃で10分間熱処理し、光学濃度4.0の離画壁を得た。 Next, development is performed with a 0.5% KOH aqueous solution to remove the unexposed portion of the photosensitive composition layer for the separation wall, the oxygen blocking layer and the thermoplastic resin layer thereunder, and a black matrix pattern on the glass substrate. A separation wall was obtained. Next, the entire surface was exposed from the surface of the substrate at an exposure amount of 3100 mJ / cm 2 (post exposure). Subsequently, heat treatment was performed at 220 ° C. for 10 minutes to obtain a separation wall having an optical density of 4.0.
次いで、下記の方法により撥インク処理を行った。
フッ素系モノマー2−(パーフルオロオクチル)−エチルメタクリレート(『CHEMINOX FAMAC−8』、ユニマテック製)をプロパノールに溶かして5%の溶液とした。
離画壁基板に上記FAMAC−8/プロパノール溶液を落とし上から石英板をかぶせて均一な液膜とした。 この状態で、超高圧水銀灯を有す露光機(ウシオ電機(株)製)で、全面露光した。露光量は3000mJ/cm2とした。
露光後に石英版をはずし、離画壁基板をプロパノールで洗浄した。
その結果、離画壁上表面だけにフッ素化合物が存在する離画壁を形成することができた。
Next, an ink repellent treatment was performed by the following method.
The fluorine-based monomer 2- (perfluorooctyl) -ethyl methacrylate (“CHEMINOX FAMAC-8”, manufactured by Unimatec) was dissolved in propanol to obtain a 5% solution.
The FAMAC-8 / propanol solution was dropped on the separation wall substrate and covered with a quartz plate from above to form a uniform liquid film. In this state, the entire surface was exposed with an exposure machine (USHIO INC.) Having an ultra-high pressure mercury lamp. The exposure amount was 3000 mJ / cm 2 .
After the exposure, the quartz plate was removed, and the separation wall substrate was washed with propanol.
As a result, it was possible to form a separation wall having a fluorine compound only on the upper surface of the separation wall.
−画素用着色インクの調製−
下記の成分のうち、先ず、顔料、高分子分散剤及び溶剤を混合し、3本ロールとビーズミルを用いて顔料分散液を得た。その顔料分散液をディソルバー等で十分攪拌しながら、その他の材料を少量ずつ添加し、赤色(R)画素用着色インク組成物を調製した。
〈赤色画素用着色インク組成物の組成〉
・顔料(C.I.ピグメントレッド254) 5部
・高分子分散剤(AVECIA社製ソルスパース24000) 1部
・バインダー(グリシジルメタクリレート−スチレン共重合体) 3部
・第一エポキシ樹脂(ノボラック型エポキシ樹脂、
油化シェル社製エピコート154) 2部
・第二エポキシ樹脂(ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル) 5部
・硬化剤(トリメリット酸) 4部
・溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル 80部
-Preparation of colored ink for pixels-
Among the following components, first, a pigment, a polymer dispersant, and a solvent were mixed, and a pigment dispersion was obtained using a three roll and bead mill. While sufficiently stirring the pigment dispersion with a dissolver or the like, other materials were added little by little to prepare a colored ink composition for red (R) pixels.
<Composition of colored ink composition for red pixel>
・ Pigment (CI Pigment Red 254) 5 parts ・ Polymer dispersant (Solsperse 24000 manufactured by AVECIA) 1 part ・ Binder (glycidyl methacrylate-styrene copolymer) 3 parts ・ First epoxy resin (novolak type epoxy resin) ,
Epicoat 154 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.) 2 parts, second epoxy resin (neopentyl glycol diglycidyl ether) 5 parts, curing agent (trimellitic acid) 4 parts, solvent: ethyl 3-ethoxypropionate 80 parts
さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントグリーン36を同量用いるほかは赤色画素部着色インク組成物の場合と同様にして緑色(G)画素用着色インク組成物を調製した。
さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントブルー15:6を同量用いるほかは赤色画素用着色インク組成物の場合と同様にして青色(B)画素用着色インク組成物を調製した。
Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A colored ink composition for green (G) pixels was prepared in the same manner as in the red pixel portion colored ink composition except that the same amount of pigment green 36 was used.
Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A blue (B) pixel colored ink composition was prepared in the same manner as the red pixel colored ink composition except that the same amount of CI Pigment Blue 15: 6 was used.
次に上記記載のR、G、Bの画素用着色インクを用いて、上記で得られたカラーフィルタ基板の離画壁で区分された領域内(凸部で囲まれた凹部)に、インクジェット方式の記録装置を用いて所望の濃度になるまでインク組成物の吐出を行い、R、G、Bのパターンからなるカラーフィルタを作製した。画像着色後のカラーフィルタを230℃オーブン中で30分ベークすることでブラックマトリックス、各画素ともに完全に硬化させた。 Next, using the color inks for R, G, and B pixels described above, an ink jet method is used in a region (a concave portion surrounded by a convex portion) partitioned by a separation wall of the color filter substrate obtained above. Was used to discharge the ink composition until the desired concentration was obtained, and a color filter composed of R, G, and B patterns was produced. The color filter after image coloring was baked in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to completely cure the black matrix and each pixel.
こうして得られたカラーフィルタの、各画素を構成するインクは離画壁間隙にぴったり収まり、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。
上記より得たカラーフィルタ基板のR画素、G画素、及びB画素並びにブラックマトリクスの上に更に、ITO(Indium Tin Oxide)の透明電極をスパッタリングにより形成した。別途、対向基板としてガラス基板を用意し、カラーフィルタ基板の透明電極上及び対向基板上にそれぞれPVAモード用にパターニングを施した。
このカラーフィルタのITO抵抗を測定した(三菱化学(株)製「ロレスタ」;四探針法でシート抵抗を測定)ところ、12Ω/□という非常に低い値を示した。これは、本発明を用いることで予期せずブラックマトリックス表面の平坦性が高まったためと考えられる。
In the color filter thus obtained, the ink constituting each pixel fits exactly in the gap between the image separation walls, and no defects such as bleeding, protrusion, color mixture with adjacent pixels and white spots were found.
A transparent electrode made of ITO (Indium Tin Oxide) was further formed on the R pixel, G pixel, B pixel and black matrix of the color filter substrate obtained above by sputtering. Separately, a glass substrate was prepared as a counter substrate, and patterning was performed for the PVA mode on the transparent electrode and the counter substrate of the color filter substrate, respectively.
When the ITO resistance of this color filter was measured ("Loresta" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; sheet resistance was measured by the four-probe method), it showed a very low value of 12Ω / □. This is presumably because the flatness of the black matrix surface was unexpectedly increased by using the present invention.
前記ITOの透明電極上の離画壁の上部に相当する部分にフォトスペーサを設け、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
その後、カラーフィルタの画素群を取り囲むように周囲に設けられたブラックマトリックス外枠に相当する位置にエポキシ樹脂のシール剤を印刷すると共に、PVAモード用液晶を滴下し、対向基板と貼り合わせた後、貼り合わされた基板を熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして得た液晶セルの両面に、(株)サンリツ製の偏光板HLC2−2518を貼り付けた。次いで、冷陰極管のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置とした。
A photospacer was provided in a portion corresponding to the upper part of the separation wall on the ITO transparent electrode, and an alignment film made of polyimide was further provided thereon.
Then, after printing an epoxy resin sealant at a position corresponding to the outer periphery of the black matrix provided around the pixel group of the color filter and dropping the PVA mode liquid crystal and bonding it to the counter substrate The bonded substrate was heat treated to cure the sealant. A polarizing plate HLC2-2518 manufactured by Sanritsu Co., Ltd. was attached to both surfaces of the liquid crystal cell thus obtained. Next, a backlight of a cold cathode tube was constructed and placed on the back side of the liquid crystal cell provided with the polarizing plate to obtain a liquid crystal display device.
[参考例2]
実施例1の離画壁の作製において、ポスト露光をせずに、撥インク処理を以下の方法に変更した以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
〔プラズマ撥インク化処理〕
離画壁を形成した基板に、特開2003−344640号公報の図5に記載のプラズマ処理装置と同等のものを用いて、以下の条件にてプラズマ撥インク化処理を行った。
使用ガス :CF4 ガス流量 :350sccm
圧力 :50Pa
RFパワー :800W
処理時間 :90sec
[ Reference Example 2]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except that the ink repellent treatment was changed to the following method without performing post-exposure in the production of the separation wall in Example 1.
[Plasma ink repellent treatment]
The substrate on which the separation wall was formed was subjected to plasma ink repellent treatment under the following conditions using a plasma processing apparatus equivalent to that shown in FIG. 5 of JP-A-2003-344640.
Gas used: CF 4 gas flow rate: 350 sccm
Pressure: 50Pa
RF power: 800W
Processing time: 90 sec
[参考例3]
実施例1の離画壁の作製において、ポスト露光を520mJ/cm2、撥インク処理を参考例2の方法に変更した以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[ Reference Example 3]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except that in the production of the separation wall in Example 1, the post-exposure was changed to 520 mJ / cm 2 and the ink repellent treatment was changed to the method of Reference Example 2.
[参考例4]
実施例1の離画壁の作製において、ポスト露光を1050mJ/cm2、撥インク処理を以下の方法に変更した以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
〔プラズマ撥インク化処理2〕
離画壁を形成した基板に、特開2003−344640号公報の図5に記載のプラズマ処理装置と同等のものを用いて、以下の条件にてプラズマ撥インク化処理を行った。
使用ガス :C5F8 ガス流量 :350sccm
圧力 :50Pa
RFパワー :800W
処理時間 :90sec
[ Reference Example 4]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except that the post-exposure was changed to 1050 mJ / cm 2 and the ink repellent treatment was changed to the following method in the production of the separation wall in Example 1.
[Plasma ink repellent treatment 2]
The substrate on which the separation wall was formed was subjected to plasma ink repellent treatment under the following conditions using a plasma processing apparatus equivalent to that shown in FIG. 5 of JP-A-2003-344640.
Gas used: C 5 F 8 gas flow rate: 350 sccm
Pressure: 50Pa
RF power: 800W
Processing time: 90 sec
[参考例5]
実施例1の離画壁の作製において、撥インク処理を参考例2の方法に変更した以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[ Reference Example 5]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except that the ink repellent treatment was changed to the method in Reference Example 2 in the production of the separation wall in Example 1.
[参考例6]
実施例1の離画壁の作製において、露光量300mJ/cm2でパターン露光し、ポスト露光を1050mJ/cm2、酸素遮断層用塗布液:処方P1を酸素遮断層用塗布液:処方P2に変更した以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
<酸素遮断層用塗布液:処方P2>
・PVA205(ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、鹸化度=88%、重合度550) 32.2部
・ポリビニルピロリドン(アイエスピー・ジャパン社製、K−30) 14.9部
・蒸留水 524部
・メタノール 429部
・重合性Fポリマーa 5.2部
[ Reference Example 6]
In the production of the separation wall of Example 1, pattern exposure was performed at an exposure amount of 300 mJ / cm 2 , post-exposure was 1050 mJ / cm 2 , oxygen barrier layer coating solution: prescription P1 was changed to oxygen barrier layer coating solution: prescription P2. A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except for the change.
<Coating liquid for oxygen barrier layer: prescription P2>
PVA205 (polyvinyl alcohol, manufactured by Kuraray Co., Ltd., degree of saponification = 88%, degree of polymerization 550) 32.2 partsPolyvinylpyrrolidone (APS Japan, K-30) 14.9 partsDistilled water 524 parts -Methanol 429 parts-Polymerizable F polymer a 5.2 parts
<合成例>
フッ素含有ポリマーの合成例 重合性Fポリマーa
冷却管および温度計を設置した1000mlの三口フラスコに、アクリル酸(東京化成社製)50.0g(0.694mol)、N, N−ジメチルアクリルアミド(東京化成社製)70.0g(0.71mol)、2−(パーフルオロオクチル)−エチルメタクリレート(ユニマテック社製)80.0g(0.16mol)、n−プロパノール400.0g、n−ドデシルメルカプタン(東京化成社製)9.47g(46.8×10−3mol)を入れ、撹拌した。この反応液をオイルバスで加熱し、内温を70度とした。2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル(和光純薬社製)0.359g(1.56×10−3mol)をn−プロパノール2.0gに溶かし、反応液中に滴下した。2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル(和光純薬社製)の滴下後、反応液の温度が96度まで達した。反応液の入った三口フラスコを一度オイルバスから引き上げ、空気中で冷まして70度で安定させた。2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル(和光純薬社製)を滴下してから2.5時間後、再びn−プロパノール2.0gに溶かした2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル(和光純薬社製)0.359g(1.56×10−3mol)を反応液中に滴下した。さらにその1.5時間後に、同様にn−プロパノール2.0gに溶かした2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル(和光純薬社製)0.359g(1.56×10−3mol)を反応液中に滴下した。その後、内温を80度に上げて、5.3時間重合反応をさせた。
この反応液を室温に戻し、2,5−ジ−アミルハイドロキノン0.059g(n−プロパノール2.0gに溶かしたグリシジルメタクリレート(東京化成社製)59.2g(0.42mol)、n−プロパノール100g、n−プロパノール12.4gに溶かした2−エチル−4−メチルイミダゾール(和光純薬社製)0.92g(8.32×10−3mol)を加えて撹拌し、均一な溶液とした。この反応液をオイルバスで加熱し、内温を70度とした。14時間後に過熱を止めて室温に戻し、反応を終了させた。
GPC(ポリスチレン換算,テトラヒドロフラン溶媒)にて分子量を測定したところ重量平均分子量3500であった。またNMR(ブルッカー社製 300MHz)にて組成を測定したところ,カルボキシル基含有モノマー単位:グリシジル基含有モノマー単位:アミド基含有モノマー単位:パーフルオロ基含有モノマー単位=18:27:45:10の比率(モル比)にて導入されていることが判明した。
<Synthesis example>
Synthesis example of fluorine-containing polymer Polymerizable F polymer a
In a 1000 ml three-necked flask equipped with a condenser and a thermometer, 50.0 g (0.694 mol) of acrylic acid (manufactured by Tokyo Chemical Industry), 70.0 g (0.71 mol) of N, N-dimethylacrylamide (manufactured by Tokyo Chemical Industry) ), 2- (perfluorooctyl) -ethyl methacrylate (Unimatec) 80.0 g (0.16 mol), n-propanol 400.0 g, n-dodecyl mercaptan (Tokyo Chemical Industry) 9.47 g (46.8) × 10 −3 mol) was added and stirred. This reaction solution was heated in an oil bath to adjust the internal temperature to 70 degrees. 0.32 g (1.56 × 10 −3 mol) of 2,2′-azobis (isobutyric acid) dimethyl (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was dissolved in 2.0 g of n-propanol and dropped into the reaction solution. After the dropwise addition of 2,2′-azobis (isobutyric acid) dimethyl (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), the temperature of the reaction solution reached 96 degrees. The three-necked flask containing the reaction solution was once lifted from the oil bath and cooled in air to stabilize at 70 degrees. 2,2′-azobis (isobutyric acid) dimethyl (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was added dropwise 2.5 hours later, and 2,2′-azobis (isobutyric acid) dimethyl dissolved in 2.0 g of n-propanol again. 0.359 g (1.56 × 10 −3 mol) (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was dropped into the reaction solution. Further 1.5 hours later, 0.359 g (1.56 × 10 −3 mol) of 2,2′-azobis (isobutyric acid) dimethyl (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) similarly dissolved in 2.0 g of n-propanol was used. Was dropped into the reaction solution. Thereafter, the internal temperature was raised to 80 ° C., and the polymerization reaction was carried out for 5.3 hours.
This reaction liquid was returned to room temperature, 0.059 g of 2,5-diamylhydroquinone (glycidyl methacrylate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) dissolved in 2.0 g of n-propanol), 59.2 g (0.42 mol), and 100 g of n-propanol. Then, 0.92 g (8.32 × 10 −3 mol) of 2-ethyl-4-methylimidazole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) dissolved in 12.4 g of n-propanol was added and stirred to obtain a uniform solution. This reaction solution was heated in an oil bath to an internal temperature of 70 ° C. After 14 hours, the overheating was stopped and the temperature was returned to room temperature to complete the reaction.
When the molecular weight was measured by GPC (polystyrene conversion, tetrahydrofuran solvent), the weight average molecular weight was 3,500. Further, the composition was measured by NMR (Brucker 300 MHz), and the ratio of carboxyl group-containing monomer unit: glycidyl group-containing monomer unit: amide group-containing monomer unit: perfluoro group-containing monomer unit = 18: 27: 45: 10 It was found that it was introduced at (molar ratio).
[参考例7]
参考例6の離画壁の作製において、ポスト露光を3100mJ/cm2に変更した以外は、参考例6と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[ Reference Example 7]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Reference Example 6 except that the post-exposure was changed to 3100 mJ / cm 2 in the production of the separation wall in Reference Example 6.
[参考例8]
参考例7の離画壁の作製において、離画壁用組成物K1を離画壁用組成物K2に変更した以外は、参考例7と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[ Reference Example 8]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Reference Example 7 except that the separation wall composition K1 was changed to the separation wall composition K2 in the production of the separation wall of Reference Example 7.
[参考例9]
参考例7の離画壁の作製において、離画壁用組成物K1を離画壁用組成物K3に変更した以外は、参考例7と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[ Reference Example 9]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Reference Example 7 except that the separation wall composition K1 was changed to the separation wall composition K3 in the production of the separation wall of Reference Example 7.
[参考例10]
参考例7の離画壁の作製において、離画壁用組成物K1を離画壁用組成物K4に変更した以外は、参考例7と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[ Reference Example 10]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Reference Example 7 except that the separation wall composition K1 was changed to the separation wall composition K4 in the production of the separation wall in Reference Example 7.
[参考例11]
参考例7の離画壁の作製において、離画壁用組成物K1を離画壁用組成物K5に変更した以外は、参考例7と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[ Reference Example 11]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Reference Example 7 except that the separation wall composition K1 was changed to the separation wall composition K5 in the production of the separation wall of Reference Example 7.
[参考例12]
参考例7の離画壁の作製において、離画壁用組成物K1を離画壁用組成物K6に変更した以外は、参考例7と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[ Reference Example 12]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Reference Example 7 except that the separation wall composition K1 was changed to the separation wall composition K6 in the production of the separation wall of Reference Example 7.
[参考例13](塗布法)
無アルカリガラス基板を、UV洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。基板を120℃3分熱処理して表面状態を安定化させた。
基板を冷却し23℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター(エフ・エー・エス・アジア社製、商品名:MH−1600)にて、上表に記載の組成よりなる離画壁用組成物K7を塗布した。引き続きVCD(真空乾燥装置、東京応化工業社製)で30秒間、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性を無くした後、EBR(エッジ・ビード・リムーバー)にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、120℃3分間プリベークして離画壁用感光性組成物層K7を得た。
超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と離画壁用感光性組成物層K7の間の距離を200μmに設定し、窒素雰囲気下、露光量300mJ/cm2でパターン露光した。
[ Reference Example 13] (Coating method)
The alkali-free glass substrate was cleaned with a UV cleaning apparatus, then brush-cleaned with a cleaning agent, and further ultrasonically cleaned with ultrapure water. The substrate was heat-treated at 120 ° C. for 3 minutes to stabilize the surface state.
After cooling the substrate and adjusting the temperature to 23 ° C., a glass substrate coater (manufactured by FS Asia Co., Ltd., trade name: MH-1600) having a slit-like nozzle has the composition described in the above table. The separation wall composition K7 was applied. Subsequently, after a part of the solvent was dried by VCD (vacuum drying device, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) for 30 seconds to eliminate the fluidity of the coating layer, the EBR (edge bead remover) was unnecessary around the substrate. The coating solution was removed, and prebaked at 120 ° C. for 3 minutes to obtain a photosensitive composition layer K7 for a separating wall.
With a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) with an ultra-high pressure mercury lamp, with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing vertically, the exposure mask surface and the separation wall The distance between the photosensitive composition layers K7 was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 300 mJ / cm 2 in a nitrogen atmosphere.
次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、離画壁用感光性組成物層K7の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を100倍希釈したものにて23℃80秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で噴射して残渣除去を行い、大気下にて露光量1050mJ/cm2にてポスト露光を行って光学濃度4.0の離画壁を得た。 Next, pure water is sprayed with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the photosensitive composition layer K7 for the separation wall, and then a KOH developer (KOH, containing a nonionic surfactant, trade name: CDK-1, Fujifilm Electronics Materials Co., Ltd.) diluted 100 times was subjected to shower development at 23 ° C. for 80 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to obtain a patterning image. Subsequently, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultra-high pressure cleaning nozzle to remove the residue, and post exposure was performed at an exposure amount of 1050 mJ / cm 2 in the atmosphere to obtain an optical density of 4.0. A separation wall was obtained.
[参考例14]
参考例13の離画壁の作製において、離画壁用組成物K7を離画壁用組成物K8に変更した以外は、参考例13と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[ Reference Example 14]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Reference Example 13 except that the separation wall composition K7 was changed to the separation wall composition K8 in the production of the separation wall of Reference Example 13.
[参考例15]
参考例13の離画壁の作製において、離画壁用組成物K7を離画壁用組成物K9に変更した以外は、参考例13と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[ Reference Example 15]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Reference Example 13 except that the separation wall composition K7 was changed to the separation wall composition K9 in the production of the separation wall of Reference Example 13.
[参考例16]
参考例13の離画壁の作製において、離画壁用組成物K7を離画壁用組成物K10に変更した以外は、参考例13と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[ Reference Example 16]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Reference Example 13 except that the separation wall composition K7 was changed to the separation wall composition K10 in the production of the separation wall of Reference Example 13.
[比較例1]
実施例1の離画壁の作製において、ポスト露光と撥インク処理をしない方法に変更した以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[Comparative Example 1]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except that the separation wall in Example 1 was changed to a method in which post exposure and ink repellent treatment were not performed.
[比較例2]
実施例13の離画壁の作製において、パターン露光を大気圧下で行い、ポスト露光と撥インク処理をしない方法に変更した以外は、実施例13と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[Comparative Example 2]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 13 except that in the production of the separation wall in Example 13, the pattern exposure was performed under atmospheric pressure and the post exposure and the ink repellent treatment were not performed.
[比較例3]
実施例15の離画壁の作製において、パターン露光を大気圧下で行い、ポスト露光をしない方法に変更した以外は、実施例15と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[Comparative Example 3]
A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 15 except that the separation wall in Example 15 was changed to a method in which pattern exposure was performed under atmospheric pressure and no post-exposure was performed.
評価
(離画壁の形状の評価)
得られた離画壁付き基板を、基板ごと垂直にカットして断面を露出させ、顕微鏡等で直接観察した。離画壁の基板からの高さが最も高い点での離画壁高さをhと、0.8hの位置に基板と平行な線をL1と、L1と離画壁表面の接点における接線をL2と、hの位置に基板と平行な線をL3としたとき、L2とL3との交点から離画壁までの距離dと定義した。
Evaluation (evaluation of the shape of the separation wall)
The obtained substrate with a separating wall was cut vertically with the substrate to expose the cross section, and directly observed with a microscope or the like. And h the Hanarega wall height at the highest point height from the substrate of Hanarega wall, the substrate and a line parallel to L 1 at a position of 0.8 h, at the contact point of L 1 and Hanarega wall surface tangential and L 2, when the substrate and a line parallel with the L 3 to the position of h, was defined as a distance d from the intersection of the L 2 and L 3 to Hanarega wall.
(画素間の混色評価)
得られたカラーフィルタを200倍の光学顕微鏡で目視観察して画素間の混色の有無を調べた。500画素観察して下記のランクに分けた。結果を表3に示す。
(Evaluation of color mixture between pixels)
The obtained color filter was visually observed with a 200 × optical microscope to examine the presence or absence of color mixture between pixels. 500 pixels were observed and divided into the following ranks. The results are shown in Table 3.
(画素境界の評価)
得られたカラーフィルタを200倍の光学顕微鏡で観察してはみ出しと画素境界を調べた。
(Evaluation of pixel boundary)
The obtained color filter was observed with a 200 × optical microscope, and the protrusion and the pixel boundary were examined.
(光学濃度の評価)
離画壁の光学濃度は以下の方法で測定した。
まず、離画壁作製前のガラス基板上に塗設された離画壁用感光性組成物層に前記超高圧水銀灯を用いて塗布面側から500mJ/cm2の露光を行った。次いでこの光学濃度(O.D.)をマクベス濃度計(商品名:TD−904、マクベス社製)を用いて測定し、更に240℃120分ベークを行った後に光学濃度(O.D.)を測定した。別途、ガラス基板の光学濃度(OD0)を同様の方法で測定し、前記O.D.からOD0を差し引いて、ベーク前及び後における膜の光学濃度とした。表にはベーク後の値を示した。
(Evaluation of optical density)
The optical density of the separation wall was measured by the following method.
First, the photosensitive wall layer for the separation wall coated on the glass substrate before the separation wall was prepared was exposed to 500 mJ / cm 2 from the coated surface side using the ultrahigh pressure mercury lamp. Next, the optical density (OD) was measured using a Macbeth densitometer (trade name: TD-904, manufactured by Macbeth), and further baked at 240 ° C. for 120 minutes, and then the optical density (OD). Was measured. Separately, the optical density (OD 0 ) of the glass substrate was measured by the same method. D. OD 0 was subtracted from this to obtain the optical density of the film before and after baking. The table shows the values after baking.
(表示装置の評価)
表示装置 : 表示の良/難有り
(Evaluation of display device)
Display device: Display good / bad
(撥インク性化合物の検出)
ESCAで測定した。
各実施例/比較例において、パターン露光を同じ露光量でベタ露光とした測定用ベタサンプルを作製し、その表面の原子数比をESCA(アルバック−ファイ製、PHI−5300、検出角度45°)で測定した。実施例16においては、(ケイ素原子数/炭素原子数)、それ以外は(フッ素原子数/炭素原子数)を測定した。
(Detection of ink repellent compounds)
Measured with ESCA.
In each of the examples / comparative examples, a solid sample for measurement with a pattern exposure of the same exposure and a solid exposure was prepared, and the atomic ratio of the surface was ESCA (manufactured by ULVAC-PHI, PHI-5300, detection angle 45 °). Measured with In Example 16, (number of silicon atoms / number of carbon atoms) was measured, and (number of fluorine atoms / number of carbon atoms) was measured otherwise.
(表面粗さ)
離画壁上表面の表面粗さは下記方法により測定した。表面粗さは接触式表面粗さ計P−10(TENCOR社製)を用いて測定したRaの値である。
(Surface roughness)
The surface roughness of the upper surface of the separation wall was measured by the following method. The surface roughness is a value of Ra measured using a contact-type surface roughness meter P-10 (manufactured by TENCOR).
実施例のカラーフィルタは混色が無かった。撥インク性化合物が角張った離画壁の上表面にある効果である。
また僅かなインクはみだしも観察されず、RGB画素の境界はきわめてはっきりとした直線(マスクどおり)であった。
比較例のカラーフィルタは、混色が数多くあった。たとえ撥インク性化合物がBMの上表面にあっても、断面形状が角張っていないものはRGB画素の境界がやや乱れて、表示装置の表示ムラの原因となった。
このように、断面形状が角張っているBMの上面に撥インク性化合物があることで、特異的に、極めて優れたカラーフィルタを作製することが可能となった。角張った離画壁を形成するには貧酸素雰囲気下で離画壁をパターン露光することが有効であることも分かった。
The color filter of the example had no color mixture. This is an effect that the ink repellent compound is present on the upper surface of the separation wall that is angular.
Further, a slight amount of ink was not observed, and the boundary between the RGB pixels was a very clear straight line (as in the mask).
The color filter of the comparative example had many mixed colors. Even if the ink repellent compound is on the upper surface of the BM, the one having a non-square cross-sectional shape slightly disturbed the boundary of the RGB pixels, causing display unevenness of the display device.
Thus, the presence of the ink repellent compound on the upper surface of the BM having an angular cross-sectional shape makes it possible to produce a particularly excellent color filter. It was also found that it is effective to pattern-expose the separation wall in an oxygen-poor atmosphere to form an angular separation wall.
本発明によれば、各画素を形成するとき、各色インクのにじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良が防止でき、良好なカラーフィルタを得ることが可能となる。 According to the present invention, when forming each pixel, it is possible to prevent defects that cause defects such as bleeding and protrusion of each color ink, color mixture with adjacent pixels, and white spots, and a good color filter can be obtained.
1 離画壁
2 基板
1 separation wall 2 substrate
Claims (7)
撥インク性化合物を設ける工程後の前記離画壁の断面において、前記離画壁の前記基板からの高さが最も高い点における前記基板からの高さをhと、前記基板から0.8hの位置に前記基板と平行な線をL1と、L1と前記離画壁表面が交わる点における接線をL2と、hの位置に基板と平行な線をL3としたとき、L2とL3との交点から前記離画壁までの距離dをhで除した値d/hが0.04以下であることを特徴とする離画壁の製造方法。
(4)前記上表面に撥インク性化合物を塗布する方法
(6)重合性基を有する撥インク性化合物に接触させて露光する方法 A step of exposing the photosensitive composition for the separation wall formed on the substrate in an oxygen-poor atmosphere, a step of developing it thereafter to form the separation wall, and a repelling effect on the upper surface of the obtained separation wall. under Symbol ink compound (4) and a step of providing the one method selected from (6), a Hanarega wall production method, including,
In the cross section of the separation wall after the step of providing the ink repellent compound, the height from the substrate at the highest height of the separation wall from the substrate is h, and 0.8 h from the substrate. said substrate and a line parallel to L 1 at a position, a tangent line at a point where L 1 and the Hanarega wall surface intersects the L 2, when the substrate and a line parallel to the L 3 to the position of h, and L 2 Hanarega wall production method wherein the value d / h to the distance d divided by h from the intersection of the L 3 to the Hanarega wall is 0.04 or less.
( 4) A method of applying an ink repellent compound to the upper surface
( 6) Method of exposure by contacting with an ink repellent compound having a polymerizable group
前記離画壁間に着色液体組成物による液滴をインクジェット法で付与する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 And Hanarega wall produced by the production method according to any one of claims 1 to 4, a method of producing a color filter having a plurality of pixels provided in the Hanarega walls,
A method for producing a color filter, comprising a step of applying droplets of a colored liquid composition between the separation walls by an ink jet method.
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