JP2008208253A - Resin composition, photosensitive transfer material, partition wall and its forming method, color filter and method for producing the same, and display device - Google Patents

Resin composition, photosensitive transfer material, partition wall and its forming method, color filter and method for producing the same, and display device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition capable of keeping well the adhesion between a pattern image and a substrate while retaining both the water repellency and ink repellency of the surface of the pattern image formed. <P>SOLUTION: The resin composition comprises (1) an initiator, (2) a binder and (3) an ethylenically unsaturated compound, and also a fluorine-containing compound composed of (a) recurring units each having ≥3 fluorine atoms and (b) recurring units each represented by general formula (B) (wherein, R<SP>21</SP>and R<SP>22</SP>are each H or a 1-5C alkyl; L<SP>21</SP>is a single bond or bivalent organic linkage group; X is a chlorine atom, bromine atom or iodine atom; and Y is an arylene group, bivalent heterocyclic group or carbonyl group). <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、樹脂組成物、感光性転写材料、離画壁及びその形成方法、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置に関する。   The present invention relates to a resin composition, a photosensitive transfer material, a separation wall and a method for forming the same, a color filter and a method for manufacturing the same, and a display device.

近年、パーソナルコンピュータ用液晶ディスプレイ、液晶カラーテレビの需要が増加する傾向にあり、このようなディスプレイに不可欠のカラーフィルタの特性向上とコストダウンに対する要求が高まっている。
従来、カラーフィルタの製造方法としては、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法などが実施されている。
例えば、染色法は、透明基板上に染色用の材料である水溶性の高分子材料層を形成し、これをフォトリソグラフィ工程により所望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る。この工程を3回繰り返すことにより、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色の着色部からなる着色層を形成する方法である。
また、顔料分散法は、近年盛んに行われおり、透明基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングすることにより、単色のパターンを得る。この工程を3回繰り返すことにより、R、G、Bの3色の着色部からなる着色層を形成する方法である。
In recent years, the demand for liquid crystal displays for personal computers and liquid crystal color televisions has been increasing, and there has been an increasing demand for improved characteristics and cost reduction of color filters essential for such displays.
Conventionally, as a method for producing a color filter, a dyeing method, a pigment dispersion method, an electrodeposition method, a printing method, and the like have been performed.
For example, in the dyeing method, a water-soluble polymer material layer, which is a dyeing material, is formed on a transparent substrate, patterned into a desired shape by a photolithography process, and then the obtained pattern is immersed in a dyeing bath. To obtain a colored pattern. By repeating this step three times, a colored layer comprising three colored portions of R (red), G (green), and B (blue) is formed.
In addition, the pigment dispersion method has been actively performed in recent years, and a monochromatic pattern is obtained by forming a photosensitive resin layer in which a pigment is dispersed on a transparent substrate and patterning the same. By repeating this process three times, a colored layer composed of colored portions of R, G, and B is formed.

電着法は、透明基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第一の色を電着する。この工程を3回繰り返して、R、G、Bの3色の着色部からなる着色層を形成し、最後に焼成するものである。
印刷法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散し、印刷を3回繰り返すことにより、R、G、Bを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより、着色層を形成するものである。
これらの方法に共通している点は、赤色、緑色、青色の3色画素を形成するために、同一の工程を3回繰り返す必要があり、コスト高になることである。さらに、工程数が多いため、歩留まりが低下しやすいという問題も有している。
In the electrodeposition method, a transparent electrode is patterned on a transparent substrate and immersed in an electrodeposition coating solution containing a pigment, a resin, an electrolytic solution, etc., and the first color is electrodeposited. This process is repeated three times to form a colored layer composed of three colored portions of R, G, and B, and finally fired.
In the printing method, a pigment is dispersed in a thermosetting resin, printing is repeated three times, R, G, and B are separately applied, and then the resin is thermally cured to form a colored layer. .
The point common to these methods is that it is necessary to repeat the same process three times in order to form red, green and blue three-color pixels, resulting in high costs. In addition, since the number of processes is large, there is a problem that the yield is likely to decrease.

これらを克服すべく、近年、ブラックマトリックス(離画壁)を顔料分散法で形成し、RGB画素をインクジェット法で作製するカラーフィルタ製造法が検討されている。このインクジェット方式は、ブラックマトリックス(離画壁)の凹部にR、G、B各色を順次付与して画素を形成する。インクジェット方式を利用した方法は、製造プロセスが簡略で、低コストであるという利点がある。
また、インクジェット方式はカラーフィルタの製造に限らず、エレクトロルミネッセンス素子など、他の光学素子の製造にも応用が可能である。
In order to overcome these problems, in recent years, a color filter manufacturing method in which a black matrix (separation wall) is formed by a pigment dispersion method and RGB pixels are manufactured by an ink jet method has been studied. In this ink jet method, pixels are formed by sequentially applying R, G, and B colors to the recesses of the black matrix (separation wall). The method using the ink jet method has an advantage that the manufacturing process is simple and the cost is low.
In addition, the inkjet method is not limited to the manufacture of color filters, but can also be applied to the manufacture of other optical elements such as electroluminescence elements.

前記インクジェット方式においては、隣り合う画素領域間におけるインクの混色等の発生や、所定の領域以外の部分にITO溶液や金属溶液が固まりこびりつく現象を防ぐ必要がある。したがって、隔壁(離画壁)は、インクジェットの塗出液を構成する水や有機溶剤等をはじく性質、いわゆる撥水撥油性を有することが要求されている。   In the inkjet method, it is necessary to prevent the occurrence of ink color mixing between adjacent pixel regions and the phenomenon that the ITO solution or the metal solution clumps and sticks to a portion other than a predetermined region. Therefore, the partition wall (separation wall) is required to have a property of repelling water, an organic solvent, and the like constituting the ink-jet coating liquid, so-called water and oil repellency.

このような隔壁(離画壁)を形成する樹脂として、フルオロアルキル基を有するビニル系単量体を含有する単量体組成物を重合して得られるビニル系重合体、感光性樹脂及び有機溶剤を含有するコーティング用組成物が開示されており、前記ビニル系重合体はフッ素原子を0.1〜5質量%含有する重合体である(例えば、特許文献1参照)。   As a resin for forming such a partition wall (release wall), a vinyl polymer, a photosensitive resin and an organic solvent obtained by polymerizing a monomer composition containing a vinyl monomer having a fluoroalkyl group A coating composition containing a fluorine atom is disclosed, and the vinyl polymer is a polymer containing 0.1 to 5% by mass of fluorine atoms (see, for example, Patent Document 1).

また、炭素数4〜6のフルオロアルキル基を有するビニル系単量体を含有する単量体組成物を重合して得られるビニル系重合体、感光体を含有するレジスト組成物が開示されており、前記ビニル系重合体はフッ素原子含有率が7〜35質量%である(例えば、特許文献2参照)。   Also disclosed are a vinyl polymer obtained by polymerizing a monomer composition containing a vinyl monomer having a C 4-6 fluoroalkyl group, and a resist composition containing a photoreceptor. The vinyl polymer has a fluorine atom content of 7 to 35% by mass (see, for example, Patent Document 2).

一方、αブロモ酢酸ユニットを持つ樹脂に3級アミンを付加した水溶性感光性樹脂の例が開示されている(例えば、特許文献3参照)。
特開平9−54432号公報 特開2005−315984号公報 特開昭61−174202号公報
On the other hand, an example of a water-soluble photosensitive resin obtained by adding a tertiary amine to a resin having an α-bromoacetic acid unit is disclosed (for example, see Patent Document 3).
JP-A-9-54432 JP 2005-315984 A JP 61-174202 A

しかしながら、また、特許文献1に記載の共重合体の配合割合からなる組成物では、それにより形成される塗膜の撥水撥油性が不足する傾向があった。さらに、特許文献2に記載のビニル系重合体では、現像液耐性及び現像時の密着性が不足する傾向があった。   However, in the composition comprising the blending ratio of the copolymer described in Patent Document 1, there is a tendency that the water / oil repellency of the coating film formed thereby is insufficient. Furthermore, the vinyl polymer described in Patent Document 2 has a tendency that the developer resistance and the adhesion during development tend to be insufficient.

本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、下記目的を達成することを課題とする。本発明は、パターン画像(例えば、離画壁)とした際に該パターン画像上面(基板と接する面と反対側の露出面)の撥水性及び撥インク性を保持しつつ、該パターン画像と該パターン画像が形成される基板との密着性を良好に保つことができる樹脂組成物を提供することを目的とする。
また、本発明は、転写形成されたパターン画像(例えば、離画壁)の上面の撥水性及び撥インク性を保持しつつ、該パターン画像と該パターン画像が形成される基板との密着性を良好に保つことができ、塗布時の弾き(ハジキ)の発生が抑えられた均一な感光性樹脂層を有する感光性転写材料を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、上面の撥水性及び撥インク性に優れ、打滴されたインクの離画壁上への乗り上げを防ぎ、なおかつ基板との密着も良好な離画壁及びその製造方法を提供すること、混色、白抜け、色むら等の発生が抑制された高品位なカラーフィルタ及びその簡易な製造方法を提供すること、並びに、表示ムラの発生が抑制され、高品位な画像の表示が可能な表示装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and an object thereof is to achieve the following object. The present invention maintains the water repellency and ink repellency of the upper surface of the pattern image (exposed surface opposite to the surface in contact with the substrate) when forming a pattern image (for example, a separation wall), It aims at providing the resin composition which can maintain favorable adhesiveness with the board | substrate with which a pattern image is formed.
In addition, the present invention maintains adhesion between the pattern image and the substrate on which the pattern image is formed while maintaining the water repellency and ink repellency of the upper surface of the transferred pattern image (for example, a separation wall). It is an object of the present invention to provide a photosensitive transfer material having a uniform photosensitive resin layer that can be kept in good condition and suppressed generation of repelling during application.
Furthermore, the present invention provides a separation wall that is excellent in water repellency and ink repellency on the upper surface, prevents the ink that has been ejected from riding on the separation wall, and has good adhesion to the substrate, and a method for producing the same. Providing a high-quality color filter in which the occurrence of mixed colors, white spots, color unevenness, and the like is suppressed, and a simple manufacturing method thereof, and the generation of display unevenness is suppressed, so that a high-quality image can be displayed. An object is to provide a display device that can be used.

本発明者等は鋭意検討の結果、フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位と、特定のハロゲン化アルキル構造を有する繰り返し単位とを有する含フッ素化合物を含有する樹脂組成物を用いてパターン画像(例えば、離画壁)を形成することが、パターン画像と基板との密着性、良好な現像性、撥水性及び撥インク性、塗布時のハジキの発生、及び打滴の際の画素部のインクハジキを抑えるために有効であることを見出した。該含フッ素化合物を用いた組成物を用いることで、フッ素プラズマ処理することなく、良好な撥水性、撥水性が得られ、高品位なカラーフィルタを作製できることを見出し、本発明を完成した。
即ち、上記課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
<1> (a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位と、(b)下記一般式(B)で表される繰り返し単位とを有する含フッ素化合物を含む樹脂組成物。
As a result of intensive studies, the present inventors have made a pattern image (for example, using a resin composition containing a fluorine-containing compound having a repeating unit having 3 or more fluorine atoms and a repeating unit having a specific halogenated alkyl structure (for example, Forming a separation wall) reduces adhesion between the pattern image and the substrate, good developability, water and ink repellency, occurrence of repellency during application, and ink repellency at the time of droplet ejection. It was found that it is effective to suppress. It has been found that by using a composition containing the fluorine-containing compound, good water repellency and water repellency can be obtained without fluorine plasma treatment, and a high-quality color filter can be produced, and the present invention has been completed.
That is, specific means for solving the above problems are as follows.
<1> A resin composition comprising a fluorine-containing compound having (a) a repeating unit having 3 or more fluorine atoms and (b) a repeating unit represented by the following general formula (B).

Figure 2008208253
Figure 2008208253

一般式(B)中、R21は水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表し、R22は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基又は炭素数2〜5のアルカノイル基を表し、L21は単結合又は2価の有機連結基を表し、Xは塩素原子、臭素原子又は沃素原子を表し、Yはアリーレン基、2価のヘテロ環残基又はカルボニル基を表す。 In the general formula (B), R 21 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and R 22 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, or a carbon number. 2 to 5 alkanoyl groups, L 21 represents a single bond or a divalent organic linking group, X represents a chlorine atom, a bromine atom or an iodine atom, Y represents an arylene group, a divalent heterocyclic residue or Represents a carbonyl group.

<2> 前記(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位は、炭素数4〜炭素数7のフルオロアルキル基を有する繰り返し単位であることを特徴とする前記<1>に記載の樹脂組成物。
<3> 前記一般式(B)におけるL21は、エステル結合及び/又はアミド結合を含む2価の有機連結基であることを特徴とする前記<1>又は<2>に記載の樹脂組成物。
<4> 前記一般式(B)におけるL21は、単結合、アリーレン基又は2価のヘテロ環残基であることを特徴とする前記<1>又は<2>に記載の樹脂組成物。
<5> 前記含フッ素化合物は、(c)酸性基を有する繰り返し単位を更に有することを特徴とする前記<1>〜<4>のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
<2> The resin composition according to <1>, wherein the repeating unit (a) having 3 or more fluorine atoms is a repeating unit having a fluoroalkyl group having 4 to 7 carbon atoms. .
<3> The resin composition according to <1> or <2>, wherein L 21 in the general formula (B) is a divalent organic linking group containing an ester bond and / or an amide bond. .
<4> The resin composition according to <1> or <2>, wherein L 21 in the general formula (B) is a single bond, an arylene group, or a divalent heterocyclic residue.
<5> The resin composition according to any one of <1> to <4>, wherein the fluorine-containing compound further includes (c) a repeating unit having an acidic group.

<6> 1)開始剤と、2)バインダーと、3)エチレン性不飽和化合物とを更に含み、感光性を有することを特徴とする、前記<1>〜<5>のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
<7> 前記含フッ素化合物の、固形分中における含有量が0.1質量%〜10質量%であることを特徴とする前記<1>〜<6>のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
<8> カラーフィルタの作製に用いられることを特徴とする前記<1>〜<7>のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
<9> 仮支持体上に、前記<6>〜<8>のいずれか1項に記載の樹脂組成物からなる感光性樹脂層を有する感光性転写材料。
<6> In any one of the above items <1> to <5>, further comprising 1) an initiator, 2) a binder, and 3) an ethylenically unsaturated compound, and having photosensitivity. The resin composition as described.
<7> The resin composition according to any one of <1> to <6>, wherein a content of the fluorine-containing compound in a solid content is 0.1% by mass to 10% by mass. object.
<8> The resin composition according to any one of <1> to <7>, which is used for producing a color filter.
<9> A photosensitive transfer material having a photosensitive resin layer comprising the resin composition according to any one of <6> to <8> on a temporary support.

<10> 基板の少なくとも一方の面に、前記<6>〜<8>のいずれか1項に記載の樹脂組成物、又は、前記<9>に記載の感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂層を現像して前記基板上にパターン画像を形成する現像工程と、前記パターン画像を加熱処理する加熱処理工程と、
を少なくとも有する離画壁の形成方法。
<11> 前記<10>に記載の離画壁の形成方法より形成された離画壁。
<10> A photosensitive resin using the resin composition according to any one of <6> to <8> or the photosensitive transfer material according to <9> on at least one surface of a substrate. A photosensitive resin layer forming step for forming a layer; an exposure step for exposing the photosensitive resin layer; a developing step for developing the exposed photosensitive resin layer to form a pattern image on the substrate; A heat treatment process for heat-treating the pattern image;
A separation wall having at least
<11> A separation wall formed by the method for forming a separation wall according to <10>.

<12> 前記<11>に記載の離画壁により、区画された基板上の凹部に、着色液体組成物を付与する工程を有するカラーフィルタの製造方法。
<13> 前記着色液体組成物を付与する工程は、着色液体組成物の液滴をインクジェット法により付与して着色領域を形成する着色領域形成工程であることを特徴とする前記<12>に記載のカラーフィルタの製造方法。
<12> A method for producing a color filter, comprising a step of applying a colored liquid composition to the concave portions on the partitioned substrate by the separation wall according to <11>.
<13> The step of applying the colored liquid composition is a colored region forming step of forming a colored region by applying a droplet of the colored liquid composition by an ink jet method. Manufacturing method of color filter.

<14> 前記<12>又は<13>に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。
<15> 前記<14>に記載のカラーフィルタを備えた表示装置。
<14> A color filter manufactured by the method for manufacturing a color filter according to <12> or <13>.
<15> A display device comprising the color filter according to <14>.

本発明によれば、パターン画像(例えば、離画壁)とした際に該パターン画像上面(基板と接する面の反対側の露出面)の撥水性及び撥インク性を保持しつつ、該パターン画像と該パターン画像が形成される基板との密着性を良好に保つことができる感光性樹脂組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、前記感光性樹脂組成物を構成することができる樹脂組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、転写形成されたパターン画像(例えば、離画壁)の上面の撥水性及び撥インク性を保持しつつ、該パターン画像と該パターン画像が形成される基板との密着性を良好に保つことができ、塗布時の弾き(ハジキ)の発生が抑えられた均一な感光性樹脂層を有する感光性転写材料を提供することができる。
さらに、本発明によれば、上面の撥水性及び撥インク性に優れ、インク打適時の離画壁上へのインク乗り上げを防ぎ、なおかつ基板との密着も良好な離画壁を提供すること、該離画壁を容易に形成しうる離画壁の製造方法を提供すること、混色、白抜け、色むら等の発生が抑制された高品位なカラーフィルタ及びその簡易な製造方法を提供すること、並びに、表示ムラの発生が抑制された高品位な画像の表示が可能な表示装置を提供することができる。
According to the present invention, when a pattern image (for example, a separation wall) is used, the pattern image is maintained while maintaining the water repellency and ink repellency of the upper surface of the pattern image (exposed surface opposite to the surface in contact with the substrate). The photosensitive resin composition which can maintain favorable adhesiveness with the board | substrate with which this pattern image is formed can be provided.
Moreover, according to this invention, the resin composition which can comprise the said photosensitive resin composition can be provided.
In addition, according to the present invention, the pattern image and the substrate on which the pattern image is formed are adhered while maintaining the water repellency and ink repellency of the upper surface of the transferred pattern image (for example, the image separation wall). Therefore, it is possible to provide a photosensitive transfer material having a uniform photosensitive resin layer that can maintain good properties and suppress the occurrence of repelling during application.
Furthermore, according to the present invention, the separation wall is excellent in water repellency and ink repellency on the upper surface, prevents the ink from running on the separation wall at the time of ink hitting, and provides a separation wall with good adhesion to the substrate. To provide a method for producing a separation wall capable of easily forming the separation wall, and to provide a high-quality color filter in which the occurrence of mixed colors, white spots, color unevenness, etc. is suppressed, and a simple production method thereof. In addition, it is possible to provide a display device capable of displaying a high-quality image in which the occurrence of display unevenness is suppressed.

以下本発明について詳細に説明する。
<樹脂組成物>
本発明の樹脂組成物は、(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位と、(b)下記一般式(B)で表される繰り返し単位と、を有する含フッ素化合物の少なくとも1種を、少なくとも含むことを特徴とする。前記含フッ素化合物が上記構成であることによって、前記含フッ素化合物を含む本発明の樹脂組成物を用いて、基板上にパターン画像(例えば、離画壁)を形成した際に、該パターン画像上面(基板と接する面の反対側の露出面)の撥水性及び撥インク性を保持しつつ、該パターン画像と前記基板との密着性を良好に保つことができる。
The present invention will be described in detail below.
<Resin composition>
The resin composition of the present invention comprises (a) at least one fluorine-containing compound having a repeating unit having 3 or more fluorine atoms and (b) a repeating unit represented by the following general formula (B). It is characterized by including at least. When the fluorine-containing compound has the above-described configuration, when a pattern image (for example, a separation wall) is formed on a substrate using the resin composition of the present invention containing the fluorine-containing compound, the upper surface of the pattern image It is possible to maintain good adhesion between the pattern image and the substrate while maintaining the water repellency and ink repellency (exposed surface opposite to the surface in contact with the substrate).

Figure 2008208253
Figure 2008208253

一般式(B)中、R21は水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表し、R2221は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基又は炭素数2〜5のアルカノイル基を表し、単結L21は単結合又は2価の有機連結基を表し、Xは塩素原子、臭素原子又は沃素原子を表し、Yはアリーレン基、2価のヘテロ環残基又はカルボニル基を表す。 In General Formula (B), R 21 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and R 22 R 21 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, or An alkanoyl group having 2 to 5 carbon atoms; a single bond L 21 represents a single bond or a divalent organic linking group; X represents a chlorine atom, a bromine atom or an iodine atom; Y represents an arylene group; Represents a ring residue or a carbonyl group.

[含フッ素化合物]
本発明における含フッ素化合物は、(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位の少なくとも1種と、(b)上記一般式(B)で表される繰り返し単位の少なくとも1種とを、少なくとも有することを特徴とする。
前記含フッ素化合物は、(c)酸性基を有する繰り返し単位の少なくとも1種を、更に有することが好ましい。これにより、前記含フッ素化合物を含む感光性樹脂組成物を用いて形成した感光性樹脂層の現像性をより向上させることができる。
[Fluorine-containing compounds]
The fluorine-containing compound in the present invention has (a) at least one repeating unit having three or more fluorine atoms and (b) at least one repeating unit represented by the general formula (B). It is characterized by that.
The fluorine-containing compound preferably further includes (c) at least one repeating unit having an acidic group. Thereby, the developability of the photosensitive resin layer formed using the photosensitive resin composition containing the said fluorine-containing compound can be improved more.

(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位
本発明におけるフッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位は、フッ素原子を3つ以上含む側鎖を有する繰り返し単位であることが好ましい。前記フッ素原子を3つ以上含む側鎖は、総炭素数2〜8のフルオロアルキル基を含むことが好ましく、総炭素数4〜7のフルオロアルキル基を含むことがより好ましい。フルオロアルキル基の総炭素数が前記範囲内であることによって、フッ素官能基としての性能を保持しつつ、環境に対する負荷を低減することができる。前記フルオロアルキル基は、直鎖でも分岐鎖でもよい。
本発明における(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位は、下記一般式(A)で表される繰り返し単位であることが好ましい。
(A) Repeating unit having 3 or more fluorine atoms The repeating unit having 3 or more fluorine atoms in the present invention is preferably a repeating unit having a side chain containing 3 or more fluorine atoms. The side chain containing three or more fluorine atoms preferably contains a fluoroalkyl group having 2 to 8 carbon atoms in total, more preferably a fluoroalkyl group having 4 to 7 carbon atoms in total. When the total number of carbon atoms of the fluoroalkyl group is within the above range, the load on the environment can be reduced while maintaining the performance as a fluorine functional group. The fluoroalkyl group may be linear or branched.
In the present invention, the repeating unit (a) having 3 or more fluorine atoms is preferably a repeating unit represented by the following general formula (A).

Figure 2008208253
Figure 2008208253

上記一般式(A)中、R11は、水素原子、又は炭素数1〜5のアルキル基を表す。本発明において、R11は水素原子又はメチル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。 In the general formula (A), R 11 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. In the present invention, R 11 is preferably a hydrogen atom or a methyl group, and more preferably a hydrogen atom.

上記一般式(A)中、L11は単結合又は2価の有機連結基を表す。本発明においてL11は2価の有機連結基であることが好ましい。前記有機連結基は、アルキレン基、アリーレン基、エステル結合、アミド結合及び2価のヘテロ環残基からなる群から選ばれる単独の有機連結基又はそれらの組合せからなる有機連結基であることが好ましい。 In the general formula (A), L 11 represents a single bond or a divalent organic linking group. In the present invention, L 11 is preferably a divalent organic linking group. The organic linking group is preferably an organic linking group consisting of a single organic linking group selected from the group consisting of an alkylene group, an arylene group, an ester bond, an amide bond and a divalent heterocyclic residue, or a combination thereof. .

前記アルキレン基としては、総炭素数1〜10のアルキレン基が好ましく、さらに好ましくは総炭素数1〜6のアルキレン基である。具体的には、メチレン基、エチレン基、ブチレン基、ヘプチレン基、ヘキシレン基、ドデシレン基などが挙げられる。   As said alkylene group, a C1-C10 alkylene group is preferable, More preferably, it is a C1-C6 alkylene group. Specific examples include a methylene group, an ethylene group, a butylene group, a heptylene group, a hexylene group, and a dodecylene group.

前記アリーレン基としては、総炭素数6〜15のアリーレン基が好ましく、さらに好ましくは総炭素数6〜10のアリーレン基が好ましい。具体的には、フェニレン基、ナフチレン基、アントラセニレン基、ビフェニレン基、ジアルキルフェニレン基などが挙げられ、これらはo−、p−、m−置換でもよい。   The arylene group is preferably an arylene group having 6 to 15 carbon atoms, and more preferably an arylene group having 6 to 10 carbon atoms. Specific examples include a phenylene group, a naphthylene group, an anthracenylene group, a biphenylene group, and a dialkylphenylene group, and these may be o-, p-, and m-substituted.

前記エステル結合としては、カルボン酸エステル結合、スルホン酸エステル結合、リン酸エステル結合などが好ましく、カルボン酸エステル結合がさらに好ましい。
前記アミド結合としては、カルボン酸アミド結合、スルホン酸アミド結合、リン酸アミド結合などが好ましく、カルボン酸アミド結合がさらに好ましい。
As the ester bond, a carboxylic acid ester bond, a sulfonic acid ester bond, a phosphoric acid ester bond and the like are preferable, and a carboxylic acid ester bond is more preferable.
As the amide bond, a carboxylic acid amide bond, a sulfonic acid amide bond, a phosphoric acid amide bond and the like are preferable, and a carboxylic acid amide bond is more preferable.

前記2価のヘテロ環残基としては、例えば、窒素原子又は酸素原子を環の構成員として含む5員環、又は6員環に由来する2価のヘテロ環残基が好ましく、ピリジン環、ピリミジン環、ピラジン環、チアゾール環、ベンゾチアゾール環、オキサゾール環、ベンゾオキサゾール環、イソオキサゾール環、ピラゾール環、イミダゾール環、キノリン環又はチアジアゾール環等に由来する2価のヘテロ環残基がより好ましく、ピリジン環又はチアジアゾール環に由来する2価のヘテロ環残基が更に好ましい。   The divalent heterocyclic residue is preferably, for example, a 5-membered ring containing a nitrogen atom or an oxygen atom as a ring member, or a divalent heterocyclic residue derived from a 6-membered ring, such as a pyridine ring or pyrimidine. A divalent heterocyclic residue derived from a ring, a pyrazine ring, a thiazole ring, a benzothiazole ring, an oxazole ring, a benzoxazole ring, an isoxazole ring, a pyrazole ring, an imidazole ring, a quinoline ring, a thiadiazole ring, or the like; More preferred are divalent heterocyclic residues derived from a ring or a thiadiazole ring.

上記一般式(A)中、Rfはフッ素原子を3つ以上有するフルオロアルキル基を表す。本発明におけるRfは総炭素数2〜8のフルオロアルキル基であることが好ましく、総炭素数4〜7のフルオロアルキル基であることがより好ましい。前記Rfは、直鎖でも分岐鎖であってもよい。更に好ましくは、下記一般式(A−1)〜(A−3)のいずれかで表されるフルオロアルキル基である。   In the general formula (A), Rf represents a fluoroalkyl group having 3 or more fluorine atoms. Rf in the present invention is preferably a fluoroalkyl group having 2 to 8 carbon atoms, and more preferably a fluoroalkyl group having 4 to 7 carbon atoms. Rf may be linear or branched. More preferably, it is a fluoroalkyl group represented by any one of the following general formulas (A-1) to (A-3).

Figure 2008208253
Figure 2008208253

式中、mは4〜8の整数を表し、好ましくは4〜7の整数である。
以下に、一般式(A)で表される繰り返し単位の具体例として、繰り返し単位(a-1)〜(a-34)を挙げるが、本発明にはこれらに限定されるものではない。
尚、下記具体例中、Rは水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表す。
In formula, m represents the integer of 4-8, Preferably it is an integer of 4-7.
The repeating units (a-1) to (a-34) are listed below as specific examples of the repeating unit represented by the general formula (A), but the present invention is not limited thereto.
In the following specific examples, R represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

Figure 2008208253
Figure 2008208253

Figure 2008208253
Figure 2008208253

Figure 2008208253
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本発明における一般式(A)で表されるフッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位としては、R11が水素原子又はメチル基であって、L11がカルボン酸エステル結合、エーテル結合、アリーレン基及びアルキレン基からなる群より選ばれる単独または複数の組み合わせからなる2価の有機連結基であって、Rfが炭素数4〜炭素数7のパーフルオロアルキル基(C〜C15)であることが好ましく、R11が水素原子であって、L11がカルボン酸エステル結合とアルキレン基の組み合わせからなる2価の有機連結基であって、Rfが炭素数4〜炭素数6のパーフルオロアルキル基(C〜C13)であることがより好ましい。 As the repeating unit having three or more fluorine atoms represented by formula (A) in the present invention, R 11 is a hydrogen atom or a methyl group, and L 11 is a carboxylic acid ester bond, an ether bond, an arylene group, and A divalent organic linking group consisting of a single or a plurality of combinations selected from the group consisting of alkylene groups, wherein Rf is a C 4 to C 7 perfluoroalkyl group (C 4 F 9 to C 7 F 15 ). R 11 is a hydrogen atom, L 11 is a divalent organic linking group comprising a combination of a carboxylic ester bond and an alkylene group, and Rf is a C 4 to C 6 carbon atom. It is more preferably a fluoroalkyl group (C 4 F 9 to C 6 F 13 ).

(b)一般式(B)で表される繰り返し単位
本発明における含フッ素化合物は、下記一般式(B)で表される繰り返し単位を含む。
この繰り返し単位を含むことにより、前記含フッ素化合物を含む感光性樹脂組成物を用いて基板上に形成した感光性樹脂層の表面の撥水・撥インク性、混色・色抜けの抑制、基板への密着性、がより良好になる。
(B) Repeating unit represented by general formula (B) The fluorine-containing compound in the present invention includes a repeating unit represented by the following general formula (B).
By including this repeating unit, the surface of the photosensitive resin layer formed on the substrate using the photosensitive resin composition containing the fluorine-containing compound has water / ink repellency, suppression of color mixing / color loss, to the substrate. Better adhesion.

Figure 2008208253
Figure 2008208253

一般式(B)中、R21は、水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表す。R21は、水素原子又はメチル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。またR22は、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基又は炭素数2〜5のアルカノイル基を表すが、水素原子、メチル基、フェニル基又はアセチル基であることが好ましい。
Xは、塩素原子、臭素原子又は沃素原子を表す。中でも、液晶保持電圧の安定性、色抜けの抑制、入手性の点で、塩素原子又は臭素原子であることが好ましく、塩素原子であることがより好ましい。
In the general formula (B), R 21 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. R 21 is preferably a hydrogen atom or a methyl group, and more preferably a hydrogen atom. R 22 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms or an alkanoyl group having 2 to 5 carbon atoms, and is a hydrogen atom, a methyl group, a phenyl group or an acetyl group. Preferably there is.
X represents a chlorine atom, a bromine atom or an iodine atom. Among these, a chlorine atom or a bromine atom is preferable and a chlorine atom is more preferable in terms of stability of liquid crystal holding voltage, suppression of color loss, and availability.

Yは、アリーレン基、2価のヘテロ環残基又はカルボニル基表す。前記アリーレン基及び2価のヘテロ環残基としては、一般式(A)におけるアリーレン基及び2価のヘテロ環残基と同様のものを好ましく挙げることができる。本発明において、Yは、フェニレン基、ナフチレン基又はカルボニル基であることが好ましい。   Y represents an arylene group, a divalent heterocyclic residue or a carbonyl group. Preferred examples of the arylene group and divalent heterocyclic residue include those similar to the arylene group and divalent heterocyclic residue in formula (A). In the present invention, Y is preferably a phenylene group, a naphthylene group or a carbonyl group.

上記一般式(B)中、L21は単結合又は2価の有機連結基を表す。L21で表される2価の有機連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、エステル結合、エーテル結合、アミド結合及び2価のヘテロ環残基からなる群から選ばれる単独の有機連結基又はそれらの組合せからなる有機連結基であることが好ましい
本発明においては、L21は、繰り返し単位の重合性、重合体の溶解性やコストの観点から、エステル結合及び/又はアミド結合を含む2価の有機連結基であることが好ましい。また、L21は、繰り返し単位の重合性、重合体の耐熱性やコストの観点から、単結合、アリーレン基又は2価のヘテロ環残基であることも好ましい。
In the general formula (B), L 21 represents a single bond or a divalent organic linking group. The divalent organic linking group represented by L 21 is a single organic linking group selected from the group consisting of an alkylene group, an arylene group, an ester bond, an ether bond, an amide bond, and a divalent heterocyclic residue, or those In the present invention, L 21 is preferably a divalent group containing an ester bond and / or an amide bond from the viewpoint of polymerizability of repeating units, polymer solubility and cost. An organic linking group is preferred. L 21 is also preferably a single bond, an arylene group or a divalent heterocyclic residue from the viewpoint of polymerizability of repeating units, heat resistance of the polymer and cost.

21で表される2価の有機連結基におけるアルキレン基としては、総炭素数1〜10のアルキレン基が好ましく、さらに好ましくは総炭素数1〜6のアルキレン基が好ましい。具体的には、メチレン基、エチレン基、ブチレン基、ヘプチレン基、ヘキシレン基、ドデシレン基などが挙げられる。 The alkylene group in the divalent organic linking group represented by L 21 is preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and more preferably an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. Specific examples include a methylene group, an ethylene group, a butylene group, a heptylene group, a hexylene group, and a dodecylene group.

21で表される2価の有機連結基におけるアリーレン基としては、総炭素数6〜15のアリーレン基が好ましく、さらに好ましくは総炭素数6〜10のアリーレン基が好ましい。具体的には、フェニレン基、ナフチレン基、アントラセニレン基、ビフェニレン基、ジアルキルフェニレン基などが挙げられ、これらはo−、p−、m−置換でもよい。 The arylene group in the divalent organic linking group represented by L 21 is preferably an arylene group having 6 to 15 carbon atoms, and more preferably an arylene group having 6 to 10 carbon atoms. Specific examples include a phenylene group, a naphthylene group, an anthracenylene group, a biphenylene group, and a dialkylphenylene group, and these may be o-, p-, and m-substituted.

21で表される2価の有機連結基におけるエステル基としては、カルボン酸エステル基、スルホン酸エステル基、リン酸エステル基などが好ましく、カルボン酸エステル基がさらに好ましい。
21で表される有機連結基におけるアミド基としては、カルボン酸アミド基、スルホン酸アミド基、リン酸アミド基などが好ましく、カルボン酸アミド基がさらに好ましい。
21で表される有機連結基におけるエーテル基としては、オキソエーテル基、チオエーテル基などが好ましく、オキソエーテル基がさらに好ましい。
The ester group in the divalent organic linking group represented by L 21 is preferably a carboxylic acid ester group, a sulfonic acid ester group, or a phosphoric acid ester group, and more preferably a carboxylic acid ester group.
The amide group in the organic linking group represented by L 21 is preferably a carboxylic acid amide group, a sulfonic acid amide group, a phosphoric acid amide group, and more preferably a carboxylic acid amide group.
The ether group in the organic linking group represented by L 21 is preferably an oxoether group, a thioether group, and more preferably an oxoether group.

21で表される2価の有機連結基における2価のヘテロ環残基としては、例えば、窒素原子又は酸素原子を環の構成員として含む5員環、又は6員環に由来する2価のヘテロ環残基が好ましく、ピリジン環、ピリミジン環、ピラジン環、チアゾール環、ベンゾチアゾール環、オキサゾール環、ベンゾオキサゾール環、イソオキサゾール環、ピラゾール環、イミダゾール環、キノリン環、チアジアゾール環等に由来する2価のヘテロ環残基がより好ましく、ピリジン環、チアジアゾール環に由来する2価のヘテロ環残基がより好ましい。 As the divalent heterocyclic residue in the divalent organic linking group represented by L 21 , for example, a 5-valent ring containing a nitrogen atom or an oxygen atom as a member of the ring, or a divalent derived from a 6-membered ring And preferably derived from a pyridine ring, pyrimidine ring, pyrazine ring, thiazole ring, benzothiazole ring, oxazole ring, benzoxazole ring, isoxazole ring, pyrazole ring, imidazole ring, quinoline ring, thiadiazole ring, etc. A divalent heterocyclic residue is more preferable, and a divalent heterocyclic residue derived from a pyridine ring or a thiadiazole ring is more preferable.

上記一般式(B)で表される繰り返し単位を形成することができるビニル化合物の市販品としては、セイミケミカル(株)製:CMS-Pシリーズなどが挙げられる。
以下に、一般式(B)で表される繰り返し単位の具体例として、繰り返し単位(h−1)〜(h−37)を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
尚、下記具体例中、Rは水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表す。
Examples of commercially available vinyl compounds that can form the repeating unit represented by the general formula (B) include CMS-P series manufactured by Seimi Chemical Co., Ltd.
Hereinafter, as specific examples of the repeating unit represented by the general formula (B), repeating units (h-1) to (h-37) are shown, but the present invention is not limited thereto.
In the following specific examples, R represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

Figure 2008208253
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Figure 2008208253
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Figure 2008208253
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本発明における上記一般式(B)で表される繰り返し単位としては、R21が水素原子又はメチル基であって、R22が水素原子、メチル基又はフェニル基であって、Xが塩素原子又は臭素原子であって、Yが炭素数6〜10のアリーレン基又はカルボニル基であって、L21が単結合、アリーレン基、2価のヘテロ環残基又はエステル結合及び/又はアミド結合を含む2価の有機連結基であることが好ましく、
21が水素原子であって、R22が水素原子であって、Xが塩素原子であって、Yがカルボニル基であって、L21がエステル結合であることがより好ましい。
As the repeating unit represented by the general formula (B) in the present invention, R 21 is a hydrogen atom or a methyl group, R 22 is a hydrogen atom, a methyl group or a phenyl group, and X is a chlorine atom or 2 which is a bromine atom, Y is an arylene group or carbonyl group having 6 to 10 carbon atoms, and L 21 contains a single bond, an arylene group, a divalent heterocyclic residue or an ester bond and / or an amide bond. A valent organic linking group,
More preferably, R 21 is a hydrogen atom, R 22 is a hydrogen atom, X is a chlorine atom, Y is a carbonyl group, and L 21 is an ester bond.

(c)酸性基を有する繰り返し単位
本発明における含フッ素化合物としては、上記(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位、及び、(b)上記一般式(B)で表される繰り返し単位に加えて、更に(c)酸性基を有する繰り返し単位を有することが好ましい。
前記酸性基を有する繰り返し単位は、酸性基を側鎖に有していることが好ましい。前記酸性基としては、カルボキシ基、スルホン酸基、スルフィン酸基、ホスホン酸基、ホスフィン酸基、リン酸基を挙げることができる。本発明における酸性基は、カルボキシ基であることが好ましい。
(C) Repeating unit having acidic group Examples of the fluorine-containing compound in the present invention include (a) a repeating unit having three or more fluorine atoms, and (b) a repeating unit represented by the above general formula (B). In addition, it is preferable to further have (c) a repeating unit having an acidic group.
The repeating unit having an acidic group preferably has an acidic group in the side chain. Examples of the acidic group include a carboxy group, a sulfonic acid group, a sulfinic acid group, a phosphonic acid group, a phosphinic acid group, and a phosphoric acid group. The acidic group in the present invention is preferably a carboxy group.

カルボキシ基を側鎖に有する繰り返し単位を形成することができるモノマーとしては、特に制限はなく、公知のモノマーの中から適宜選択することができる。公知のモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、α−シアノ桂皮酸、アクリル酸ダイマー、水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物、ω−カルボキシ−ポリヘキサノラクトンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは、適宜製造したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。   There is no restriction | limiting in particular as a monomer which can form the repeating unit which has a carboxy group in a side chain, It can select suitably from well-known monomers. Known monomers include, for example, (meth) acrylic acid, vinyl benzoic acid, maleic acid, maleic acid monoalkyl ester, fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, α-cyanocinnamic acid, acrylic acid Examples thereof include dimer, addition reaction product of a monomer having a hydroxyl group and a cyclic acid anhydride, and ω-carboxy-polyhexanolactone mono (meth) acrylate. As these, those produced as appropriate may be used, or commercially available products may be used.

前記水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物に用いられる水酸基を有する単量体としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。前記環状酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水フタル酸、シクロヘキサンジカルボン酸無水物等が挙げられる。   Examples of the monomer having a hydroxyl group used in the addition reaction product of the monomer having a hydroxyl group and a cyclic acid anhydride include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. Examples of the cyclic acid anhydride include maleic anhydride, phthalic anhydride, and cyclohexanedicarboxylic anhydride.

前記市販品としては、東亜合成化学工業(株)製:アロニックスM−5300、アロニックスM−5400、アロニックスM−5500、アロニックスM−5600、新中村化学工業(株)製:NKエステルCB−1、NKエステルCBX−1、共栄社油脂化学工業(株)製:HOA−MP、HOA−MS、大阪有機化学工業(株)製:ビスコート#2100等が挙げられる。これらの中でも、現像性に優れ、低コストである点で、(メタ)アクリル酸等が好ましい。   As said commercial item, Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd .: Aronix M-5300, Aronix M-5400, Aronix M-5500, Aronix M-5600, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd .: NK Ester CB-1, NK ester CBX-1, manufactured by Kyoeisha Oil Chemical Co., Ltd .: HOA-MP, HOA-MS, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd .: Biscote # 2100, and the like. Among these, (meth) acrylic acid and the like are preferable in terms of excellent developability and low cost.

本発明における含フッ素化合物は、上記(a)及び(b)の繰り返し単位に加えて、(c)の繰り返し単位以外の他の繰り返し単位を更に有していてもよい。他の繰り返し単位を形成しうるモノマーとしては、(a)及び(b)の繰り返し単位と共重合体を形成可能なものであればよく、例えば、(メタ)アクリレート類、スチレン類、ビニルアルカノエート類、などが挙げられる。   The fluorine-containing compound in the present invention may further have another repeating unit other than the repeating unit (c) in addition to the repeating units (a) and (b). The monomer that can form other repeating units may be any monomer that can form a copolymer with the repeating units (a) and (b), such as (meth) acrylates, styrenes, vinyl alkanoates. And the like.

上記共重合可能な(メタ)アクリレート類としては、置換基を有していてもよい炭素数1〜50のアルキルメタアクリレート、置換基を有していてもよい炭素数6〜30のアリール(メタ)アクリレート、炭素数2〜50のポリオキシアルキレン(メタ)が好ましい。さらに好ましくは、炭素数1〜40のアルキル(メタ)アクリレート、炭素数10〜50のポリアルキレンが好ましく、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性(メタ)アクリレート、ポリエチレンオキサイド(メタ)アクリレート、ポリプロピレンオキサイド(メタ)アクリレートなどが好ましい。   Examples of the copolymerizable (meth) acrylates include optionally substituted alkyl methacrylate having 1 to 50 carbon atoms, optionally substituted aryl having 6 to 30 carbon atoms (meta ) Acrylate and polyoxyalkylene (meth) having 2 to 50 carbon atoms are preferred. More preferably, an alkyl (meth) acrylate having 1 to 40 carbon atoms and a polyalkylene having 10 to 50 carbon atoms are preferable. For example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) ) Acrylate, octyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, caprolactone-modified (meth) acrylate, polyethylene oxide (meth) acrylate, polypropylene oxide (meth) acrylate and the like are preferable.

上記共重合可能なスチレン類としては、炭素数6〜20のフェニル基にビニル基が置換したもの、炭素数10〜20ナフチル基にビニル基が置換したもの、炭素数14〜20アントラニル基にビニル基が置換したもの、が好ましく、ビニル基以外の置換基を有していてもよい。さらに好ましくは、炭素数6〜10のフェニル基にビニル基が置換したもの、炭素数10〜15ナフチル基にビニル基が置換したもの、炭素数14〜18のアントラニル基にビニル基が置換したもの、が好ましく、例えば、スチレン、ブチルスチレン、メトキシスチレン、αメチルスチレン、ビニルナフタレン、ビニルアントラセンが好ましい。   Examples of the copolymerizable styrenes include those having a vinyl group substituted for a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, those having a vinyl group substituted for a naphthyl group having 10 to 20 carbon atoms, and vinyl having a 14 to 20 anthranyl group having carbon atoms. What substituted the group is preferable and may have substituents other than a vinyl group. More preferably, a vinyl group substituted on a phenyl group having 6 to 10 carbon atoms, a vinyl group substituted on a naphthyl group having 10 to 15 carbon atoms, or a vinyl group substituted on an anthranyl group having 14 to 18 carbon atoms For example, styrene, butyl styrene, methoxy styrene, α-methyl styrene, vinyl naphthalene, and vinyl anthracene are preferable.

上記共重合可能なビニルアルカノエート類としては、炭素数4〜20のアルキルビニルエステル、炭素数9〜20のアリールビニルエステル、が好ましい。さらに好ましくは、炭素数4〜10のアルキルビニルエステル、炭素数9〜15のアリールビニルエステル、が好ましく、例えば、酢酸ビニル、酪酸ビニル、ドデカン酸ビニル、安息香酸ビニルなどが好ましい。   As the copolymerizable vinyl alkanoates, alkyl vinyl esters having 4 to 20 carbon atoms and aryl vinyl esters having 9 to 20 carbon atoms are preferable. More preferably, an alkyl vinyl ester having 4 to 10 carbon atoms and an aryl vinyl ester having 9 to 15 carbon atoms are preferable. For example, vinyl acetate, vinyl butyrate, vinyl dodecanoate, vinyl benzoate and the like are preferable.

本発明における含フッ素化合物中の、(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位の含有量は、20〜85質量%が好ましく、40〜85質量%がより好ましく、50〜80質量%が最も好ましい。   The content of the repeating unit (a) having 3 or more fluorine atoms in the fluorine-containing compound in the present invention is preferably 20 to 85% by mass, more preferably 40 to 85% by mass, and most preferably 50 to 80% by mass. preferable.

また、本発明における含フッ素化合物中の、(b)上記一般式(B)で表される繰り返し単位の含有量は、20〜80質量%が好ましく、20〜75質量%がより好ましく、40〜70質量%が最も好ましい。   Moreover, 20-80 mass% is preferable in the content of the repeating unit represented by (b) said general formula (B) in the fluorine-containing compound in this invention, 20-75 mass% is more preferable, 40- 70% by mass is most preferred.

本発明の含フッ素化合物が、(c)酸性基を有する繰り返し単位を含む場合、その含有量は、0.1〜50質量%が好ましく、1〜40質量%がより好ましく、1〜30質量%が最も好ましい。   When the fluorine-containing compound of the present invention includes (c) a repeating unit having an acidic group, the content is preferably 0.1 to 50% by mass, more preferably 1 to 40% by mass, and 1 to 30% by mass. Is most preferred.

本発明の含フッ素化合物の分子量(ゲルパーミッションクロマトグラフィ(GPC)によるポリスチレン換算の質量平均分子量)としては、撥インク性、樹脂組成物への相溶性の観点から、1,000〜40,000が好ましく、2,000〜20,000がより好ましい。   The molecular weight of the fluorine-containing compound of the present invention (mass average molecular weight in terms of polystyrene by gel permeation chromatography (GPC)) is preferably 1,000 to 40,000 from the viewpoint of ink repellency and compatibility with the resin composition. 2,000 to 20,000 is more preferable.

また、本発明の感光性樹脂組成物における、上記含フッ素化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対し0.01〜30質量%が好ましく、より好ましくは0.05〜20質量%であり、0.1〜10質量%が最も好ましい。含フッ素化合物の含有量が、0.01質量%以上であることにより、画素部形成のためのインク打適時に離画壁上へのインク乗り上げ発生を効果的に抑制することができる。また、30質量%以下であることにより、塗布密着性や離画壁濃度を向上させることができ、望みの離画壁の作製がより容易になる。   Moreover, 0.01-30 mass% is preferable with respect to the total solid of the photosensitive resin composition, and, as for content of the said fluorine-containing compound in the photosensitive resin composition of this invention, More preferably, it is 0.05-20. It is mass%, and 0.1-10 mass% is the most preferable. When the content of the fluorine-containing compound is 0.01% by mass or more, it is possible to effectively suppress the occurrence of ink running on the separation wall when ink is applied for forming the pixel portion. Moreover, by being 30 mass% or less, application | coating adhesiveness and a separation wall density | concentration can be improved, and preparation of the desired separation wall becomes easier.

本発明における含フッ素化合物としては、(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位が、前記繰り返し単位(a-1)、(a-2)、(a-6)、(a-9)、(a-10)又は(a-15)であって、(b)上記一般式(B)で表される繰り返し単位が、前記繰り返し単位(h-1)、(h-5)、(h-10)、(h-11)、(h-15)又は(h-21)であって、(c)酸性基を有する繰り返し単位が、アクリル酸であることが好ましい。   As the fluorine-containing compound in the present invention, (a) the repeating unit having 3 or more fluorine atoms is the repeating unit (a-1), (a-2), (a-6), (a-9), (a-10) or (a-15), wherein (b) the repeating unit represented by the general formula (B) is the repeating unit (h-1), (h-5), (h- 10), (h-11), (h-15) or (h-21), and (c) the repeating unit having an acidic group is preferably acrylic acid.

また、本発明における含フッ素化合物としては、(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位の含有量が、30〜70質量%であって、(b)上記一般式(B)で表される繰り返し単位の含有量が、1〜30質量%であって、(c)酸性基を有する繰り返し単位の含有量が、0〜30質量%であることが好ましい。   Moreover, as a fluorine-containing compound in this invention, content of the repeating unit which has (a) 3 or more fluorine atoms is 30-70 mass%, (b) It represents with the said General formula (B) The content of the repeating unit is preferably 1 to 30% by mass, and (c) the content of the repeating unit having an acidic group is preferably 0 to 30% by mass.

以下、本発明に係る含フッ素化合物の具体例を示す。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。なお、各成分の組成比については、前記好ましい組成比の範囲で選択することができる。   Specific examples of the fluorine-containing compound according to the present invention are shown below. However, the present invention is not limited to these. In addition, about the composition ratio of each component, it can select in the range of the said preferable composition ratio.

Figure 2008208253
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本発明における含フッ素化合物は、(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位を形成しうるモノマーと、(b)上記一般式(B)で表される繰り返し単位を形成しうるモノマーと、必要に応じて、(c)酸性基を有する繰り返し単位を形成しうるモノマー及び/又はその他のモノマーとを、所望の混合比率で混合し、公知の方法によって重合することで調製することができる。   The fluorine-containing compound in the present invention includes (a) a monomer capable of forming a repeating unit having 3 or more fluorine atoms, (b) a monomer capable of forming a repeating unit represented by the general formula (B), and Depending on the above, (c) a monomer capable of forming a repeating unit having an acidic group and / or other monomer may be mixed at a desired mixing ratio and polymerized by a known method.

上記含フッ素化合物を含有する本発明の樹脂組成物は、上記含フッ素化合物を含有していればよく、他の公知の成分を更に含有していてもよい。他の公知の成分としては後述する溶媒、界面活性剤、熱重合防止剤、紫外線吸収剤等を挙げることができる。   The resin composition of this invention containing the said fluorine-containing compound should just contain the said fluorine-containing compound, and may further contain the other well-known component. Examples of other known components include a solvent, a surfactant, a thermal polymerization inhibitor, and an ultraviolet absorber described later.

本発明の樹脂組成物は、上記の含フッ素化合物と加えて、更に1)開始剤と、2)バインダーと、3)エチレン性不飽和化合物とを、少なくとも用いて、感光性に構成することができる。以下、感光性を有する本発明の樹脂組成物を「感光性樹脂組成物」ということがある。   In addition to the above fluorine-containing compound, the resin composition of the present invention may be configured to be photosensitive using at least 1) an initiator, 2) a binder, and 3) an ethylenically unsaturated compound. it can. Hereinafter, the resin composition of the present invention having photosensitivity may be referred to as “photosensitive resin composition”.

1)開始剤
本発明の感光性樹脂組成物は、開始剤の少なくとも1種を用いて構成することができる。
感光性樹脂組成物を硬化させる方法としては、熱開始剤を用いる熱開始系や光開始剤を用いる光開始系が一般的であるが、本発明では硬化後の離画壁を後述するような形状とすることが重要であることから、光開始系を用いることが好ましい。ここで用いる光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の照射(露光ともいう)により、後述の多官能性モノマーの重合を開始する活性種を発生し得る化合物であり、公知の光重合開始剤若しくは光重合開始剤系の中から適宜選択することができる。
例えば、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、等を挙げることができる。
1) Initiator The photosensitive resin composition of this invention can be comprised using at least 1 sort (s) of an initiator.
As a method for curing the photosensitive resin composition, a heat initiation system using a thermal initiator and a photoinitiation system using a photoinitiator are generally used. In the present invention, a separation wall after curing will be described later. Since it is important to use a shape, it is preferable to use a photoinitiating system. The photopolymerization initiator used here generates an active species that initiates polymerization of a polyfunctional monomer, which will be described later, upon irradiation with radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, or X-ray (also referred to as exposure). It is a compound to be obtained and can be appropriately selected from known photopolymerization initiators or photopolymerization initiator systems.
For example, trihalomethyl group-containing compounds, acridine compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, diazo compounds Compound, etc. can be mentioned.

具体的には、特開2001−117230号公報に記載の、トリハロメチル基が置換したトリハロメチルオキサゾール誘導体又はs−トリアジン誘導体、米国特許第4239850号明細書に記載のトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第4212976号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾール化合物などのトリハロメチル基含有化合物;   Specifically, a trihalomethyloxazole derivative or s-triazine derivative substituted with a trihalomethyl group described in JP-A No. 2001-117230, a trihalomethyl-s-triazine compound described in US Pat. No. 4,239,850, Trihalomethyl group-containing compounds such as the trihalomethyloxadiazole compounds described in US Pat. No. 4,221,976;

9−フェニルアクリジン、9−ピリジルアクリジン、9−ピラジニルアクリジン、1,2−ビス(9−アクリジニル)エタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパン、1,4−ビス(9−アクリジニル)ブタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,6−ビス(9−アクリジニル)ヘキサン、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン、1,8−ビス(9−アクリジニル)オクタン、1,9−ビス(9−アクリジニル)ノナン、1,10−ビス(9−アクリジニル)デカン、1,11−ビス(9−アクリジニル)ウンデカン、1,12−ビス(9−アクリジニル)ドデカン等のビス(9−アクリジニル)アルカン、などのアクリジン系化合物; 9-phenylacridine, 9-pyridylacridine, 9-pyrazinylacridine, 1,2-bis (9-acridinyl) ethane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, 1,4-bis (9-acridinyl) ) Butane, 1,5-bis (9-acridinyl) pentane, 1,6-bis (9-acridinyl) hexane, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,8-bis (9-acridinyl) octane 1,9-bis (9-acridinyl) nonane, 1,10-bis (9-acridinyl) decane, 1,11-bis (9-acridinyl) undecane, 1,12-bis (9-acridinyl) dodecane, etc. Acridine compounds such as bis (9-acridinyl) alkane;

6−(p−メトキシフェニル)−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、6−〔p−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、6−〔4’−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)−3’−フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンなどのトリアジン系化合物;その他、9,10−ジメチルベンズフェナジン、ミヒラーズケトン、ベンゾフェノン/ミヒラーズケトン、ヘキサアリールビイミダゾール/メルカプトベンズイミダゾール、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン/アミン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールなどが挙げられる。 6- (p-methoxyphenyl) -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis ( Triazines such as trichloromethyl) -s-triazine, 6- [4 ′-(N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) -3′-phenyl] -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine Other compounds: 9,10-dimethylbenzphenazine, Michler's ketone, benzophenone / Michler's ketone, hexaarylbiimidazole / mercaptobenzimidazole, benzyldimethyl ketal, thioxanthone / amine, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl)- 4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole And the like.

上記のうち、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物から選択される少なくとも一種が好ましく、特に、トリハロメチル基含有化合物及びアクリジン系化合物から選択される少なくとも一種を含有することが好ましい。トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物は、汎用性でかつ安価である点でも有用である。
特に好ましいのは、トリハロメチル基含有化合物としては、2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾールであり、アクリジン系化合物としては、9−フェニルアクリジンであり、更に、6−〔p−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、6−〔4’−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)−3’−フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−ブトキシスチリル)−5−トリクロロメチル−1,3,4−オキサジアゾールなどのトリハロメチル基含有化合物、及びミヒラーズケトン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールである。
Among the above, at least one selected from a trihalomethyl group-containing compound, an acridine compound, an acetophenone compound, a biimidazole compound, and a triazine compound is preferable, and particularly selected from a trihalomethyl group-containing compound and an acridine compound. It is preferable to contain at least one kind. Trihalomethyl group-containing compounds and acridine compounds are also useful in that they are versatile and inexpensive.
Particularly preferred as the trihalomethyl group-containing compound is 2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole, and as the acridine compound, 9-phenylacridine is preferred. Further, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 6- [4 ′-(N, N— Bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) -3'-phenyl] -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-butoxystyryl) -5-trichloromethyl-1,3,4-oxa Trihalomethyl group-containing compounds such as diazole, and Michler's ketone, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrapheny 1,2' is a bi-imidazole.

前記光重合開始剤は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤の感光性樹脂組成物における総量としては、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)の0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜10質量%が特に好ましい。前記総量を、0.1質量%以上とすることで、組成物の光硬化の効率を高め露光時間を短くすることができる、また20質量%以下とすることで、現像する際に、形成された画像パターンの欠落や、パターン表面の荒れの発生を抑制することができる。
なお、本発明において、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)とは、感光性樹脂組成物中の、溶剤を除いた全成分を意味する。
The said photoinitiator may be used independently and may use 2 or more types together. As a total amount in the photosensitive resin composition of the said photoinitiator, 0.1-20 mass% of the total solid (mass) of the photosensitive resin composition is preferable, and 0.5-10 mass% is especially preferable. When the total amount is 0.1% by mass or more, the photocuring efficiency of the composition can be increased and the exposure time can be shortened. When the total amount is 20% by mass or less, it is formed during development. Occurrence of missing image patterns and roughness of the pattern surface can be suppressed.
In the present invention, the total solid content (mass) of the photosensitive resin composition means all components excluding the solvent in the photosensitive resin composition.

前記光重合開始剤は、水素供与体を併用して構成されてもよい。該水素供与体としては、感度をより良化することができる点で、以下で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。ここでの「水素供与体」とは、露光により前記光重合開始剤から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物をいう。   The photopolymerization initiator may be configured using a hydrogen donor in combination. The hydrogen donor is preferably a mercaptan compound or an amine compound as defined below from the viewpoint that sensitivity can be further improved. The “hydrogen donor” herein refers to a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from the photopolymerization initiator by exposure.

前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、更に好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「メルカプタン系水素供与体」という)である。また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、更に好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「アミン系水素供与体」という)である。尚、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有していてもよい。   The mercaptan-based compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having one or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2, mercapto groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “ A mercaptan-based hydrogen donor). The amine compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having 1 or more, preferably 1 to 3, and more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “the amine compound”). , Referred to as “amine-based hydrogen donor”). These hydrogen donors may have a mercapto group and an amino group at the same time.

上記のメルカプタン系水素供与体の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン、等が挙げられる。これらのうち、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。   Specific examples of the mercaptan hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto-2. , 5-dimethylaminopyridine, and the like. Of these, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.

上記のアミン系水素供与体の具体例としては、4、4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4、4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げられる。これらのうち、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく、特に4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。   Specific examples of the amine-based hydrogen donor include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, ethyl. Examples include -4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile and the like. Of these, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone are preferable, and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable.

前記水素供与体は、単独で又は2種以上を混合して使用することができ、形成された画像が現像時に永久支持体上から脱落し難く、かつ強度及び感度も向上させ得る点で、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組合せて使用することが好ましい。   The hydrogen donor can be used alone or in admixture of two or more, and the formed image is less likely to fall off from the permanent support during development, and can be improved in strength and sensitivity. It is preferable to use a combination of one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors.

前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組合せの具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられる。より好ましい組合せは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンであり、特に好ましい組合せは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである。   Specific examples of the combination of the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-. Examples thereof include bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone. More preferred combinations are 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and a particularly preferred combination is 2-mercaptobenzobenzone. Thiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone.

前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体とを組合せた場合の、メルカプタン系水素供与体(M)とアミン系水素供与体(A)との質量比(M:A)は、通常1:1〜1:4が好ましく、1:1〜1:3がより好ましい。前記水素供与体の感光性樹脂組成物における総量としては、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)の0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜10質量%が特に好ましい。   When the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor are combined, the mass ratio (M: A) of the mercaptan hydrogen donor (M) to the amine hydrogen donor (A) is usually 1: 1-1: 4 is preferable, and 1: 1-1: 3 is more preferable. As a total amount in the photosensitive resin composition of the said hydrogen donor, 0.1-20 mass% of the total solid (mass) of the photosensitive resin composition is preferable, and 0.5-10 mass% is especially preferable.

2)バインダー
本発明の感光性樹脂組成物は、バインダーの少なくとも1種を用いて構成することができる。
本発明におけるバインダーとしては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−53836号公報及び特開昭59−71048号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、またこの他にも、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸との共重合体や、ベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよく、感光性樹脂組成物の全固形分に対する含有量は20〜50質量%が一般的であり、25〜45質量%が好ましい。
2) Binder The photosensitive resin composition of this invention can be comprised using at least 1 sort (s) of a binder.
The binder in the present invention is preferably a polymer having a polar group such as a carboxylic acid group or a carboxylic acid group in the side chain. Examples thereof include JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, JP-B-54-25957, JP-A-59-53836, and JP-A-57-36. A methacrylic acid copolymer, an acrylic acid copolymer, an itaconic acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid copolymer, a partially esterified maleic acid copolymer as described in JP-A-59-71048 Etc. Moreover, the cellulose derivative which has a carboxylic acid group in a side chain can also be mentioned, In addition to this, what added the cyclic acid anhydride to the polymer which has a hydroxyl group can also be used preferably. Further, as particularly preferred examples, copolymers of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid described in US Pat. No. 4,139,391, benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and other monomers And a multi-component copolymer. The binder polymer having these polar groups may be used alone, or may be used in the state of a composition used in combination with a normal film-forming polymer, and contained in the total solid content of the photosensitive resin composition. The amount is generally 20 to 50% by mass, and preferably 25 to 45% by mass.

3)エチレン性不飽和化合物
本発明の感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和化合物の少なくとも1種を用いて構成することができる。
エチレン性不飽和化合物としては、下記化合物を単独で又は他のモノマーと組合せて使用することができる。具体的には、t−ブチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、2−エチル−2−ブチル−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、1,4−ジイソプロペニルベンゼン、1,4−ジヒドロキシベンゼンジ(メタ)アクリレート、デカメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、スチレン、ジアリルフマレート、トリメリット酸トリアリル、ラウリル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、キシリレンビス(メタ)アクリルアミド、等が挙げられる。
3) Ethylenically unsaturated compound The photosensitive resin composition of this invention can be comprised using at least 1 sort (s) of an ethylenically unsaturated compound.
As the ethylenically unsaturated compound, the following compounds can be used alone or in combination with other monomers. Specifically, t-butyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, 2- Ethyl-2-butyl-propanediol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, polyoxy Ethylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tris (2- (meth) acryloyloxyethyl) isocyanurate, 1,4-diisopropenylbenzene, 1,4-dihydroxy Nzenji (meth) acrylate, decamethylene glycol di (meth) acrylate, styrene, diallyl fumarate, triallyl trimellitate, lauryl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, xylylenebis (meth) acrylamide, and the like.

また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート等のヒドロキシル基を有する化合物とヘキサメチレンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート等のジイソシアネートとの反応物も使用できる。
これらのうち、特に好ましいのは、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリス(2−アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレートである。
Moreover, reaction of a compound having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate and polyethylene glycol mono (meth) acrylate with a diisocyanate such as hexamethylene diisocyanate, toluene diisocyanate and xylene diisocyanate. Things can also be used.
Of these, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, and tris (2-acryloyloxyethyl) isocyanurate are particularly preferable.

エチレン性不飽和化合物の感光性樹脂組成物における含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)に対して、5〜80質量%が好ましく、10〜70質量%が特に好ましい。前記含有量を、5質量%以上とすることで、組成物の露光部でのアルカリ現像液への耐性をより向上させることができる。また80質量%以下とすることで、感光性樹脂組成物としたときのタッキネスの増加を抑制し、取扱い性がより向上する。   As content in the photosensitive resin composition of an ethylenically unsaturated compound, 5-80 mass% is preferable with respect to the total solid (mass) of the photosensitive resin composition, and 10-70 mass% is especially preferable. By setting the content to 5% by mass or more, it is possible to further improve the resistance to the alkaline developer at the exposed portion of the composition. Moreover, by setting it as 80 mass% or less, the increase in tackiness when it is set as the photosensitive resin composition is suppressed, and the handleability is further improved.

4)色材
本発明の(感光性)樹脂組成物は、色材を少なくとも1種含有することができる。色材を含有することで、本発明の(感光性)樹脂組成物を、例えば、カラーフィルタの作製に好適に用いることができる。
本発明に用いる色材としては、具体的には、特開2005−17716号公報[0038]〜[0054]に記載の顔料及び染料や、特開2004−361447号公報[0068]〜[0072]に記載の顔料や、特開2005−17521号公報[0080]〜[0088]に記載の着色剤を好適に用いることができる。
4) Colorant The (photosensitive) resin composition of the present invention may contain at least one colorant. By containing a color material, the (photosensitive) resin composition of the present invention can be suitably used for, for example, production of a color filter.
Specific examples of the color material used in the present invention include pigments and dyes described in JP-A-2005-17716 [0038] to [0054], and JP-A-2004-361447 [0068] to [0072]. And the colorants described in JP-A-2005-17521 [0080] to [0088] can be suitably used.

本発明の感光性樹脂組成物には、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、離画壁に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、四酸化三鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができ、中でも、カーボンブラックが好ましい。公知の着色剤(染料、顔料)を使用することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが好ましい。
前記感光性樹脂組成物の全固形分中の色材の比率は、十分に現像時間を短縮する観点から、30〜70質量%であることが好ましく、40〜60質量%であることがより好ましく、50〜55質量%であることが更に好ましい。
In the photosensitive resin composition of the present invention, organic pigments, inorganic pigments, dyes, and the like can be suitably used. When the light-shielding property is required for the separation wall, carbon black, titanium oxide, three-tetraoxide. In addition to light-shielding agents such as metal oxide powder such as iron, metal sulfide powder, and metal powder, a mixture of pigments such as red, blue, and green can be used, and among these, carbon black is preferable. Known colorants (dyes and pigments) can be used. When using a pigment among the known colorants, it is preferable that the pigment is uniformly dispersed in the photosensitive resin composition.
The ratio of the coloring material in the total solid content of the photosensitive resin composition is preferably 30 to 70% by mass and more preferably 40 to 60% by mass from the viewpoint of sufficiently shortening the development time. More preferably, it is 50-55 mass%.

上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、有機溶媒(又はビヒクル)に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビヒクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分(バインダー)と、これを溶解希釈する成分(有機溶媒)とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、2000年、438頁に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献310頁記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
本発明で用いる色材(顔料)は、分散安定性の観点から、数平均粒径0.001〜0.1μmのものが好ましく、更に0.01〜0.08μmのものが好ましい。尚、ここでいう「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径をいい、また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この100個平均値をいう。
The pigment is desirably used as a dispersion. This dispersion can be prepared by adding and dispersing a composition obtained by previously mixing the pigment and the pigment dispersant in an organic solvent (or vehicle). The vehicle refers to a portion of a medium in which a pigment is dispersed when the paint is in a liquid state, and is a liquid portion that binds to the pigment and hardens the coating film (binder), and a component that dissolves and dilutes the portion. (Organic solvent). The disperser used for dispersing the pigment is not particularly limited. For example, a kneader described in Kazuzo Asakura, “Encyclopedia of Pigments”, first edition, Asakura Shoten, 2000, page 438, Known dispersing machines such as a roll mill, an atrider, a super mill, a dissolver, a homomixer, and a sand mill can be used. Further, fine grinding may be performed using frictional force by mechanical grinding described on page 310 of the document.
The color material (pigment) used in the present invention preferably has a number average particle size of 0.001 to 0.1 μm, more preferably 0.01 to 0.08 μm, from the viewpoint of dispersion stability. The “particle size” here means the diameter when the electron micrograph image of the particle is a circle of the same area, and the “number average particle size” is the above-mentioned particle size for many particles, This 100 average value is said.

前記感光性樹脂組成物には、上記1)〜3)の成分及び前記含フッ素化合物の他に、下記の溶媒、界面活性剤、熱重合防止剤、紫外線吸収剤等を添加することができる。また、その他にも、特開平11−133600号公報に記載の「接着助剤」や、その他の添加剤等を含有させることができる。   In addition to the components 1) to 3) and the fluorine-containing compound, the following solvent, surfactant, thermal polymerization inhibitor, ultraviolet absorber, and the like can be added to the photosensitive resin composition. In addition, “adhesion aid” described in JP-A-11-133600, other additives, and the like can be contained.

−溶媒−
本発明における感光性樹脂組成物においては、上記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
-Solvent-
In the photosensitive resin composition in the present invention, an organic solvent may be further used in addition to the above components. Examples of the organic solvent include methyl ethyl ketone, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclohexanone, cyclohexanol, methyl isobutyl ketone, ethyl lactate, methyl lactate, caprolactam and the like.

−界面活性剤−
本発明の感光性樹脂組成物においては、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラを効果的に防止するという観点から、該感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。
上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
-Surfactant-
In the photosensitive resin composition of the present invention, it is preferable to contain an appropriate surfactant in the photosensitive resin composition from the viewpoint of being able to control to a uniform film thickness and effectively preventing coating unevenness. .
Preferred examples of the surfactant include surfactants disclosed in JP-A Nos. 2003-337424 and 11-133600.

−熱重合防止剤−
本発明における感光性樹脂組成物は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
-Thermal polymerization inhibitor-
The photosensitive resin composition in the present invention preferably contains a thermal polymerization inhibitor. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl). -6-t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, phenothiazine and the like.

−紫外線吸収剤−
本発明における感光性樹脂組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平5−72724号公報記載の化合物のほか、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3’,5’−ジ−t−4’−ヒドロキシベンゾエート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’−t−ブチル−5’−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、エチル−2−シアノ−3,3−ジフェニルアクリレート、2,2’−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピリジン)−セバケート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリデニル)−エステル、2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール、7−{[4−クロロ−6−(ジエチルアミノ)−5−トリアジン−2−イル]アミノ}−3−フェニルクマリン等が挙げられる。
-UV absorber-
The photosensitive resin composition in the present invention may contain an ultraviolet absorber as necessary. Examples of the UV absorber include salicylate-based, benzophenone-based, benzotriazole-based, cyanoacrylate-based, nickel chelate-based, hindered amine-based compounds, etc., in addition to the compounds described in JP-A-5-72724.
Specifically, phenyl salicylate, 4-t-butylphenyl salicylate, 2,4-di-t-butylphenyl-3 ′, 5′-di-t-4′-hydroxybenzoate, 4-t-butylphenyl salicylate 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2 '-Hydroxy-3'-t-butyl-5'-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, ethyl-2-cyano-3,3-diphenyl acrylate, 2,2'-hydroxy-4-methoxybenzophenone, nickel Dibutyldithiocarbamate, bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-pyridine) -Sebakei 4-t-butylphenyl salicylate, phenyl salicylate, 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine condensate, succinic acid-bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidenyl ) -Ester, 2- [2-hydroxy-3,5-bis (α, α-dimethylbenzyl) phenyl] -2H-benzotriazole, 7-{[4-chloro-6- (diethylamino) -5-triazine- 2-yl] amino} -3-phenylcoumarin and the like.

<離画壁及びその形成方法>
本発明に係る離画壁は、上記感光性樹脂組成物から形成される。離画壁は、2以上の画素群を離画するものであり、一般には黒(濃色)であることが多いが、黒に限定されるものではない。濃色とする着色物は、有機物(染料、顔料などの各種色素、炭素材料)、無機物(黒色金属などの各種濃色金属及びその塩)が好ましい。
<Separation wall and its formation method>
The image separation wall according to the present invention is formed from the photosensitive resin composition. The image separation wall separates two or more pixel groups and is generally black (dark color) in many cases, but is not limited to black. The dark colored product is preferably an organic substance (various dyes such as dyes and pigments, carbon materials) and an inorganic substance (various dark metals such as black metal and salts thereof).

−離画壁の形成方法−
本発明の離画壁の形成方法は、後述の基板の少なくとも一方の面に(以下、単に「基板上に」ともいう)、前記感光性樹脂組成物、もしくは後述の感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂層を現像して、前記基板上にパターン画像を形成する現像工程と、前記パターン画像を加熱処理する加熱処理工程と、を少なくとも有して構成される。
-Method of forming separation wall-
In the method for forming a separation wall according to the present invention, the photosensitive resin composition or the photosensitive transfer material described below is used on at least one surface of a substrate described later (hereinafter also simply referred to as “on the substrate”). A photosensitive resin layer forming step for forming a photosensitive resin layer, an exposure step for exposing the photosensitive resin layer, and development for developing a pattern image on the substrate by developing the exposed photosensitive resin layer And at least a heat treatment step for heat-treating the pattern image.

(感光性樹脂層形成工程)
感光性樹脂層形成工程においては、基板の少なくとも一方の面に、前述の感光性樹脂組成物を用いて、もしくは後述の感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を形成する。
感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂層を形成する方法としては、特に限定はないが、例えば、スリット塗布等の公知の塗布方法により、基板上に前記感光性樹脂組成物を塗布することにより形成することができる。必要に応じて、塗布後にプリベークを行ってもよい。
感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を形成する方法としては、特に限定はないが、例えば、以下のようにして形成することができる。
(Photosensitive resin layer forming step)
In the photosensitive resin layer forming step, a photosensitive resin layer is formed on at least one surface of the substrate using the above-described photosensitive resin composition or using a photosensitive transfer material described later.
The method for forming the photosensitive resin layer using the photosensitive resin composition is not particularly limited. For example, the photosensitive resin composition is applied onto the substrate by a known coating method such as slit coating. Can be formed. As needed, you may pre-bake after application | coating.
The method for forming the photosensitive resin layer using the photosensitive transfer material is not particularly limited, and for example, it can be formed as follows.

仮支持体上に、酸素遮断層と、感光性樹脂層と、更に該感光性樹脂層上にカバーシートが設けられた感光性転写材料を用意する。まず、カバーシートを剥離除去した後、露出した感光性樹脂層の表面を永久支持体(基板)上に貼り合わせ、ラミネータ等を通して加熱、加圧して積層する(積層体)。ラミネータには、従来公知のラミネータ、真空ラミネータ等の中から適宜選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。
次いで、仮支持体と酸素遮断層との間で剥離し、前記積層体から仮支持体を除去することにより、基板上に感光性樹脂層と酸素遮断層とをこの順に形成することができる。
A photosensitive transfer material in which an oxygen blocking layer, a photosensitive resin layer, and a cover sheet is provided on the photosensitive resin layer is prepared on a temporary support. First, after removing and removing the cover sheet, the exposed surface of the photosensitive resin layer is bonded onto a permanent support (substrate) and laminated by heating and pressing through a laminator or the like (laminate). As the laminator, those appropriately selected from conventionally known laminators, vacuum laminators and the like can be used, and an auto-cut laminator can also be used in order to further increase the productivity.
Next, the photosensitive resin layer and the oxygen blocking layer can be formed in this order on the substrate by peeling between the temporary support and the oxygen blocking layer and removing the temporary support from the laminate.

感光性樹脂層は、好ましくは光開始系で硬化させる為、露光波長(一般には紫外域)に対する光学濃度も重要である。すなわち、その値は2.0〜10.0が好ましく、更には2.5〜6.0がより好ましく、3.0〜5.0が特に好ましい。前記好ましい範囲であると、離画壁形状が望みのものにすることができる。   Since the photosensitive resin layer is preferably cured by a photoinitiating system, the optical density with respect to the exposure wavelength (generally the ultraviolet region) is also important. That is, the value is preferably 2.0 to 10.0, more preferably 2.5 to 6.0, and particularly preferably 3.0 to 5.0. If it is in the preferred range, the shape of the separation wall can be as desired.

−感光性転写材料−
かかる離画壁を容易且つ低コストで実現するものとして、仮支持体上に少なくとも前述の感光性樹脂組成物からなる層(以下、「感光性樹脂層」又は「感光性樹脂組成物層」と称することがある)を、有してなる感光性転写材料を使用するという手法がある。更に必要に応じて仮支持体と感光性樹脂組成物層との間に酸素を遮断しうる保護層(以下、「酸素遮断層」と称することがある。)を設けてもよく、このような材料を用いた場合、感光性樹脂組成物層は酸素遮断層に保護されるため自動的に貧酸素雰囲気下となる。そのため露光工程を不活性ガス下や減圧下で行う必要がなく、現状の工程をそのまま利用できる利点がある。感光性転写材料における感光性樹脂組成物層を構成する材料は上述の通りである。また酸素遮断層を構成する材料については後述する。
また、該仮支持体を「酸素を遮断しうる保護層」として用いてもよい。この場合は、上記酸素遮断層を設ける必要がなく、工程数を削減することが可能である。
-Photosensitive transfer material-
In order to realize such a separation wall easily and at low cost, a layer made of at least the above-mentioned photosensitive resin composition (hereinafter referred to as “photosensitive resin layer” or “photosensitive resin composition layer”) on a temporary support. There is a technique of using a photosensitive transfer material having the above. Further, a protective layer capable of blocking oxygen (hereinafter sometimes referred to as “oxygen blocking layer”) may be provided between the temporary support and the photosensitive resin composition layer as necessary. When the material is used, since the photosensitive resin composition layer is protected by the oxygen blocking layer, it automatically becomes an oxygen-poor atmosphere. Therefore, it is not necessary to perform the exposure process under an inert gas or under reduced pressure, and there is an advantage that the current process can be used as it is. The material constituting the photosensitive resin composition layer in the photosensitive transfer material is as described above. The material constituting the oxygen barrier layer will be described later.
Further, the temporary support may be used as “a protective layer capable of blocking oxygen”. In this case, it is not necessary to provide the oxygen barrier layer, and the number of steps can be reduced.

上記の感光性転写材料は、必要に応じて仮支持体と感光性樹脂組成物層との間(前記酸素遮断層を設ける場合には、仮支持体と該酸素遮断層との間)に熱可塑性樹脂層を有していてもよい。かかる熱可塑性樹脂層とは、アルカリ可溶性であって、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、該樹脂成分としては、実質的な軟化点が80℃以下であることが好ましい。このような熱可塑性樹脂層が設けられることにより、永久支持体との良好な密着性を発揮することができる。   The photosensitive transfer material may be heated between the temporary support and the photosensitive resin composition layer as necessary (between the temporary support and the oxygen barrier layer when the oxygen barrier layer is provided). You may have a plastic resin layer. Such a thermoplastic resin layer is alkali-soluble and includes at least a resin component, and the resin component preferably has a substantial softening point of 80 ° C. or less. By providing such a thermoplastic resin layer, good adhesion to the permanent support can be exhibited.

軟化点が80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、等が挙げられる。   Examples of alkali-soluble thermoplastic resins having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and acrylate copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylate copolymers, vinyltoluene and (meth) acrylic. Examples thereof include saponification products of acid ester copolymers, saponification products such as poly (meth) acrylic acid esters, and (meth) acrylic acid ester copolymers such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate.

熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に「プラスチック性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発行)による、軟化点が約80℃以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。   For the thermoplastic resin layer, at least one of the above-mentioned thermoplastic resins can be appropriately selected and used. Further, “Plastic Performance Handbook” (edited by the Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Industry Federation, published by the Industrial Research Council, Of those organic polymers having a softening point of about 80 ° C. or lower, issued on October 25, 1968), those soluble in an alkaline aqueous solution can be used.

また、軟化点が80℃以上の有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を80℃以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が80℃を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離型剤、等を加えることもできる。   In addition, for an organic polymer substance having a softening point of 80 ° C. or higher, by adding various plasticizers compatible with the polymer substance to the organic polymer substance, the substantial softening point is 80 ° C. or lower. It can also be used by lowering. In addition, these organic polymer substances include various polymers, supercooling substances, adhesion improvers or interfaces within the range where the substantial softening point does not exceed 80 ° C. for the purpose of adjusting the adhesive force with the temporary support. Activators, mold release agents, etc. can also be added.

好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェートを挙げることができる。   Specific examples of preferable plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, and biphenyl diphenyl phosphate.

上記の感光性転写材料における仮支持体としては、化学的及び熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン(登録商標)、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル等、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましい。前記仮支持体の厚みとしては、5〜300μmが適当であり、好ましくは20〜150μmである。この厚みが5μm未満では、仮支持体を剥離する際に破れやすくなる傾向があり、また、仮支持体を介して露光する場合は、300μmを超えると解像度が低下する傾向がある。
上記具体例の中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
The temporary support in the above photosensitive transfer material can be appropriately selected from those that are chemically and thermally stable and composed of a flexible substance. Specifically, a thin sheet such as Teflon (registered trademark), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, polyester, or a laminate thereof is preferable. The thickness of the temporary support is suitably 5 to 300 μm, preferably 20 to 150 μm. If the thickness is less than 5 μm, the temporary support tends to be easily broken when peeled off, and if the exposure is performed via the temporary support, the resolution tends to be lowered if the thickness exceeds 300 μm.
Among the above specific examples, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.

感光性樹脂組成物層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄いカバーシートを設けることが好ましい。カバーシートは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂組成物層から容易に分離されねばならない。カバーシート材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。尚、カバーシートの厚さは、4〜40μmが一般的であり、5〜30μmが好ましく、10〜25μmが特に好ましい。   A thin cover sheet is preferably provided on the photosensitive resin composition layer in order to protect it from contamination and damage during storage. The cover sheet may be made of the same or similar material as the temporary support, but it should be easily separated from the photosensitive resin composition layer. As the cover sheet material, for example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable. The thickness of the cover sheet is generally 4 to 40 μm, preferably 5 to 30 μm, particularly preferably 10 to 25 μm.

−基板−
本発明において、基板(永久支持体)としては、ガラス、セラミック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性で寸度安定性の良好なガラスや合成樹脂フィルムが挙げられる。
-Board-
In the present invention, as the substrate (permanent support), glass, ceramic, synthetic resin film or the like can be used. Particularly preferred are transparent glass and synthetic resin film having good dimensional stability.

(露光工程及び現像工程)
露光工程では、前記積層体の仮支持体除去後の除去面(酸素遮断層面)と、所望のフォトマスク(例えば、石英露光マスク)とが向き合うように配置し、例えば、該積層体とフォトマスクとを垂直に立てた状態で、マスク面と該酸素遮断層の間の距離を適宜(例えば、200μm)に設定し、露光することができる。
(Exposure process and development process)
In the exposure process, the removal surface (oxygen blocking layer surface) after removal of the temporary support of the laminate is arranged so that a desired photomask (for example, quartz exposure mask) faces each other, for example, the laminate and the photomask. Can be exposed by setting the distance between the mask surface and the oxygen blocking layer as appropriate (for example, 200 μm).

離画壁は、感光性樹脂組成物を貧酸素雰囲気下にて露光し、その後現像することにより形成することが好ましい。
かかる感光性樹脂組成物を光硬化させる際の貧酸素雰囲気下とは、不活性ガス下、減圧下、酸素を遮断しうる保護層下のことを指しており、これらは詳しくは以下の通りである。
The image separation wall is preferably formed by exposing the photosensitive resin composition to an oxygen-poor atmosphere and then developing the photosensitive resin composition.
Under an oxygen-poor atmosphere when photo-curing such a photosensitive resin composition refers to an inert gas, a reduced pressure, and a protective layer that can block oxygen, and these are described in detail below. is there.

不活性ガスとは、N、H、CO、などの一般的な気体や、He、Ne、Arなどの希ガス類をいう。この中でも、安全性や入手の容易さ、コストの問題から、Nが好適に利用される。 The inert gas refers to a general gas such as N 2 , H 2 or CO 2 or a rare gas such as He, Ne or Ar. Among these, N 2 is preferably used because of safety, availability, and cost.

減圧下とは500hPa以下、好ましくは100hPa以下の状態を指す。   Under reduced pressure refers to a state of 500 hPa or less, preferably 100 hPa or less.

酸素を遮断しうる保護層とは、例えば、特開昭46−2121号や特公昭56−40824号の各公報に記載の、ポリビニルエーテル/無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポリアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性塩、スチレン/マレイン酸の共重合体、マレイネート樹脂、及びこれらの二種以上の組合せ等が挙げられる。これらの中でも特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンの組合せである。ポリビニルアルコールは鹸化率が80%以上であるものが好ましく、ポリビニルピロリドンの含有量はアルカリ可溶な樹脂層固形分の1〜75質量%が好ましく、より好ましくは1〜50質量%、更に好ましくは10〜40質量%である。
また、酸素を遮断しうる層としては各種フィルムを用いることもでき、たとえばPETをはじめとするポリエステル類、ナイロンをはじめとするポリアミド類、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA類)も好適に用いることができる。これらフィルムは必要に応じて延伸されたものでもよく、厚みは5〜300μmが適当であり、好ましくは20〜150μmである。また、離画壁を転写材料を用いて作製する場合、下記に記載の仮支持体を酸素を遮断しうる層として好適に用いることが可能である。
Examples of the protective layer capable of blocking oxygen include, for example, polyvinyl ether / maleic anhydride polymers, water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose described in JP-A Nos. 46-2121 and 56-40824. Water-soluble cellulose ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, various polyacrylamides, various water-soluble polyamides, water-soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, ethylene oxide polymers, various starches And a group of water-soluble salts thereof, styrene / maleic acid copolymers, maleate resins, and combinations of two or more thereof. Among these, a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone is particularly preferable. The polyvinyl alcohol preferably has a saponification rate of 80% or more, and the content of polyvinyl pyrrolidone is preferably 1 to 75% by mass, more preferably 1 to 50% by mass, and still more preferably the alkali-soluble resin layer solid content. It is 10-40 mass%.
In addition, various films can be used as the layer capable of blocking oxygen. For example, polyesters such as PET, polyamides such as nylon, and ethylene-vinyl acetate copolymers (EVAs) are also preferably used. be able to. These films may be stretched as necessary, and the thickness is suitably 5 to 300 μm, preferably 20 to 150 μm. When the separation wall is produced using a transfer material, the temporary support described below can be suitably used as a layer capable of blocking oxygen.

このようにして作製された酸素を遮断しうる保護層の酸素透過係数は2000cm/(m・day・atm)以下が好ましいが、100cm/(m・day・atm)以下であることがより好ましく、もっとも好ましくは50cm/(m・day・atm)以下である。
酸素透過率が2000cm/(m・day・atm)より多い場合は効率的に酸素を遮断することができないため、離画壁を所望の形状にすることが困難となることがある。
次いで、照射後所定の処理液を用いて現像処理を行い(現像工程)、引き続き必要に応じて、水洗処理して、パターン画像(離画壁パターン)を得る。
The oxygen permeability coefficient of the protective layer capable of blocking oxygen produced in this way is preferably 2000 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less, but 100 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less. Is more preferably 50 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less.
When the oxygen permeability is higher than 2000 cm 3 / (m 2 · day · atm), oxygen cannot be effectively blocked, and it may be difficult to make the separation wall into a desired shape.
Subsequently, after the irradiation, development processing is performed using a predetermined processing solution (development process), and then, if necessary, washing treatment is performed to obtain a pattern image (separated wall pattern).

また、前記感光性転写材料を用い、仮支持体を、酸素を遮断しうる保護層として用いる場合は、仮支持体を残したまま(剥離せずに)、該仮支持体と所望のフォトマスク(例えば、石英露光マスク)とが向き合うように配置し、積層体とフォトマスクとを垂直に立てた状態で、マスク面と該仮支持体の間の距離を適宜(例えば、200μm)に設定し、露光する。次いで、仮支持体を除去し、照射後所定の処理液を用いて現像処理して、引き続き必要に応じて、水洗処理して、パターン画像(離画壁パターン)を得る。   When the photosensitive transfer material is used and the temporary support is used as a protective layer capable of blocking oxygen, the temporary support and the desired photomask are left with the temporary support remaining (without peeling). (For example, a quartz exposure mask) is arranged so as to face each other, and the distance between the mask surface and the temporary support is appropriately set (for example, 200 μm) in a state where the stacked body and the photomask are set up vertically. , Expose. Next, the temporary support is removed, and after irradiation, development processing is performed using a predetermined processing solution, followed by washing with water as necessary to obtain a pattern image (separation wall pattern).

該露光としては、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(例えば、日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)等で行い、露光量としては適宜(例えば、300mJ/cm)選択することができる。
照射後所定の処理液を用いて現像処理する。現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。光照射に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。
前記現像の前には、純水をシャワーノズル等にて噴霧して、感光性樹脂組成物層又は酸素遮断層の表面を均一に湿らせることが好ましい。前記現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。
The exposure is performed, for example, with a proximity type exposure machine (for example, manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultrahigh pressure mercury lamp, and the exposure amount may be appropriately selected (for example, 300 mJ / cm 2 ). it can.
After the irradiation, development processing is performed using a predetermined processing solution. As the developer used in the development process, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is used, but it may be further added with a small amount of an organic solvent miscible with water. Examples of the light source used for the light irradiation include medium to ultrahigh pressure mercury lamps, xenon lamps, metal halide lamps, and the like.
Prior to the development, it is preferable to spray pure water with a shower nozzle or the like to uniformly wet the surface of the photosensitive resin composition layer or the oxygen barrier layer. As the developer used in the development process, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is used, but it may be further added with a small amount of an organic solvent miscible with water.

適当なアルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類(例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩類(例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。アルカリ性物質の濃度は、0.01〜30質量%が好ましく、pHは8〜14が好ましい。   Suitable alkaline substances include alkali metal hydroxides (eg, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (eg, sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (eg, sodium bicarbonate). , Potassium bicarbonate), alkali metal silicates (eg, sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (eg, sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, Examples include morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (for example, tetramethylammonium hydroxide), trisodium phosphate, and the like. The concentration of the alkaline substance is preferably 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably 8 to 14.

前記「水と混和性の有機溶剤」としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。水と混和性の有機溶剤の濃度は0.1〜30質量%が好ましい。更に、公知の界面活性剤を添加することもでき、該界面活性剤の濃度としては0.01〜10質量%が好ましい。   Examples of the “water-miscible organic solvent” include, for example, methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether. Benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like are preferable. . The concentration of the organic solvent miscible with water is preferably 0.1 to 30% by mass. Furthermore, a known surfactant can be added, and the concentration of the surfactant is preferably 0.01 to 10% by mass.

前記現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性樹脂組成物層の未硬化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤スポンジで擦るなどの方法を組合わせることができる。現像液の液温度は、通常室温(20℃)付近から40℃が好ましい。現像時間は、感光性樹脂組成物層の組成、現像液のアルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類と濃度、等に依るが、通常10秒〜2分程度である。短すぎると非硬化部(ネガ型の場合は非露光部)の現像が不充分となると同時に紫外線の吸光度も不充分となることがあり、長すぎると硬化部(ネガ型の場合は露光部)もエッチングされることがある。いずれの場合にも、離画壁形状を好適なものとすることが困難となる。現像処理の後に水洗工程を入れることも可能である。この現像工程にて、離画壁形状は前述のごとく形成される。   The developer can be used as a bath solution or a spray solution. When removing the uncured portion of the photosensitive resin composition layer, methods such as rubbing with a rotating brush or a wet sponge in the developer can be combined. The liquid temperature of the developer is usually preferably from about room temperature (20 ° C.) to 40 ° C. The development time is usually about 10 seconds to 2 minutes, although depending on the composition of the photosensitive resin composition layer, the alkalinity and temperature of the developer, and the type and concentration when an organic solvent is added. If the length is too short, the development of the non-cured portion (non-exposed portion in the case of the negative type) may be insufficient, and at the same time, the absorbance of the ultraviolet rays may be insufficient. May also be etched. In either case, it is difficult to make the separation wall shape suitable. It is also possible to put a water washing step after the development processing. In this developing step, the separating wall shape is formed as described above.

(加熱処理工程)
前記現像工程によって得られた感光性樹脂層からなるパターン画像(離画壁パターン)を加熱処理(ベーク処理ともいう)することにより、本発明の離画壁を得ることができる。
加熱処理は、露光及び現像により形成されたパターン画像(離画壁パターン)を加熱して硬化させると共に、熱で表面にフッ素官能基が並ぶので、含フッ素化合物による撥水撥インク性をより効果的に発揮させることができる。
(Heat treatment process)
The image separation wall of the present invention can be obtained by subjecting a pattern image (image separation wall pattern) made of the photosensitive resin layer obtained by the development step to heat treatment (also referred to as baking treatment).
The heat treatment heats and cures the pattern image (separation wall pattern) formed by exposure and development, and since the fluorine functional groups are arranged on the surface by heat, the water repellency and ink repellency by the fluorine-containing compound is more effective. Can be demonstrated.

加熱処理の方法としては、従来公知の種々の方法を用いることができる。すなわち、例えば、複数枚の基板をカセットに収納してコンベクションオーブンで処理する方法、ホットプレートで1枚ずつ処理する方法、赤外線ヒーターで処理する方法、等である。   As a heat treatment method, various conventionally known methods can be used. That is, for example, a method of storing a plurality of substrates in a cassette and processing them with a convection oven, a method of processing one by one with a hot plate, a method of processing with an infrared heater, and the like.

また、ベーク温度(加熱温度)としては、通常150〜280℃であり、好ましくは180〜250℃である。加熱時間は、前記ベーク温度によって変動するが、ベーク温度を240℃とした場合には、10〜120分が好ましく、30〜90分がより好ましい。   Moreover, as baking temperature (heating temperature), it is 150-280 degreeC normally, Preferably it is 180-250 degreeC. The heating time varies depending on the baking temperature. When the baking temperature is 240 ° C., the heating time is preferably 10 to 120 minutes, and more preferably 30 to 90 minutes.

また、離画壁の形成方法における加熱処理工程においては、前記露光、現像工程によって形成された離画壁パターンを、不均一な膜減りを防止し、感光性樹脂層に含まれるUV吸収剤等の成分の析出を防止する観点から、加熱処理前にポスト露光を行なうようにしてもよい。加熱処理を施す前にポスト露光を行なうと、ラミネート時にかみこんだ微小な異物が膨れて欠陥となるのを効果的に防止することができる。   Further, in the heat treatment step in the method for forming the separation wall, the separation wall pattern formed by the exposure and development steps can be prevented from uneven film loss, UV absorbers contained in the photosensitive resin layer, etc. From the viewpoint of preventing the deposition of these components, post-exposure may be performed before the heat treatment. When post-exposure is performed before the heat treatment, it is possible to effectively prevent the minute foreign matter swelled during lamination from causing defects.

(ポスト露光)
ここで、前記ポスト露光について略説する。
ポスト露光に用いる光源としては、感光性樹脂層を硬化し得る波長領域の光(例えば、365nm、405nm)を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。
具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。
露光量としては、前記露光を補う露光量であればよく、通常は50〜5000mJ/cm2であり、好ましくは200〜2000mJ/cm2、更に好ましくは500〜1000mJ/cm2である。
(Post exposure)
Here, the post-exposure will be briefly described.
As the light source used for the post-exposure, any light source capable of irradiating light in a wavelength region capable of curing the photosensitive resin layer (for example, 365 nm, 405 nm) can be appropriately selected and used.
Specifically, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, etc. are mentioned.
The exposure may be an exposure to compensate for the exposure, is usually in the 50 to 5000 mJ / cm 2, preferably not 200~2000mJ / cm 2, more preferably a 500~1000mJ / cm 2.

−離画壁−
上記形成方法によって、本発明の離画壁を形成することができる。
尚、本発明の離画壁は、555nmにおいて高い光学濃度を有することが好ましく、更にその値は2.5以上が好ましく、2.5〜10.0がより好ましく、2.5〜6.0が更に好ましく、3.0〜5.0が特に好ましい。
また、上記のごとく形成される、本発明の離画壁の幅および高さは、幅(即ちカラーフィルタを形成した場合における画素と画素との間隔)が15〜100μmであることが好ましく、また高さ(即ち基板から離画壁の頂点までの距離)が1.0〜5.0μmであることが好ましい。
該離画壁の形状は、特開2006−154804号公報の段落番号[0054]〜[0055]に記載の形状が、本発明においても好適である。
-Separation wall-
The separation wall of the present invention can be formed by the above forming method.
The separation wall of the present invention preferably has a high optical density at 555 nm, more preferably 2.5 or more, more preferably 2.5 to 10.0, and 2.5 to 6.0. Is more preferable, and 3.0 to 5.0 is particularly preferable.
The width and height of the separation wall of the present invention formed as described above are preferably 15 to 100 μm in width (that is, the interval between pixels when a color filter is formed). The height (that is, the distance from the substrate to the top of the separation wall) is preferably 1.0 to 5.0 μm.
As the shape of the separation wall, the shapes described in paragraph numbers [0054] to [0055] of JP-A No. 2006-154804 are also suitable in the present invention.

(パターン画像上面の接触角測定)
本発明では、加熱処理(ベーク処理ともいう)前後のパターン画像(例えば、離画壁)の水接触角変化が重要となる。ここでの接触角の測定方法は、財団法人・日本規格協会によるJIS規格に準拠した方法であり、具体的にはJIS R3257「基板ガラス表面のぬれ性試験方法」内の「6.静滴法」に記載された方法である。より具体的には、接触角測定器(協和界面科学(株)製の接触角計(CA−A))を使い、20メモリの大きさの水滴をつくり、針先から水滴を出して、パターン画像上面に接触させることにより、パターン画像上面に水滴を形成し、10秒静置後、接触角計の覗き穴から水滴の形状を観察し、25℃における接触角θを求めた。さらに、ここでいう「加熱処理後」とは240℃50分加熱後、1時間室温にて放冷した後のことを指している。
(Measurement of contact angle on the upper surface of the pattern image)
In the present invention, the water contact angle change of pattern images (for example, separation walls) before and after heat treatment (also referred to as baking treatment) is important. The contact angle measurement method here is a method compliant with the JIS standard by the Japan Standards Association, and specifically, “6. Still-drop method” in JIS R3257 “Test method for wettability of substrate glass surface”. It is the method described in the above. More specifically, using a contact angle measuring device (contact angle meter (CA-A) manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) By contacting the upper surface of the image, water droplets were formed on the upper surface of the pattern image, and after standing for 10 seconds, the shape of the water droplets was observed from the viewing hole of the contact angle meter, and the contact angle θ at 25 ° C. was determined. Further, “after heat treatment” as used herein refers to after heating at 240 ° C. for 50 minutes and then allowing to cool at room temperature for 1 hour.

ここで、離画壁の上面について図1を用いて説明する。
離画壁の上面とは、離画壁の表面のうち、基板と接する面に対し反対側の露出面をいう(図1に示す上面4)。
なお、離画壁の側面とは、離画壁の表面のうち、前記離画壁上面以外の表面をいう(図1に示す側面5)。また、基板上の凹部とは、離画壁で取り囲まれ、離画壁側面と離画壁が形成されていない基板面とからなる凹部をいう(図1に示す凹部3)。
Here, the upper surface of the separation wall will be described with reference to FIG.
The upper surface of the separation wall refers to the exposed surface on the opposite side of the surface of the separation wall that is in contact with the substrate (upper surface 4 shown in FIG. 1).
The side surface of the separation wall refers to the surface of the separation wall other than the top surface of the separation wall (side surface 5 shown in FIG. 1). Further, the concave portion on the substrate refers to a concave portion that is surrounded by a separation wall and includes a side surface of the separation wall and a substrate surface on which the separation wall is not formed (recess portion 3 shown in FIG. 1).

(接触角値)
本発明の感光性樹脂組成物は、該感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン画像(例えば、離画壁)上面の水接触角を、上記方法により測定した場合であって、加熱処理を施す前のパターン画像(例えば、加熱処理前の離画壁パターン)上面の水接触角をA°、240℃で50分加熱し、1時間放冷した後のパターン画像(例えば、離画壁)上面の水接触角をB°としたとき、接触角差B°−A°が、20°以上となることが必要である。
前記接触角差B°−A°としては、30°以上がより好ましく、40°以上が最も好ましい。
(Contact angle value)
The photosensitive resin composition of the present invention is a case where the water contact angle on the upper surface of a pattern image (for example, a separation wall) formed using the photosensitive resin composition is measured by the above method, and the heat treatment Pattern image (for example, separation wall before heating) The water contact angle on the upper surface of the pattern image (for example, separation wall pattern before heat treatment) is heated at A ° and 240 ° C. for 50 minutes and allowed to cool for 1 hour. ) When the water contact angle on the upper surface is B °, the contact angle difference B ° −A ° needs to be 20 ° or more.
The contact angle difference B ° −A ° is more preferably 30 ° or more, and most preferably 40 ° or more.

また、A°としては、離画壁と基板との密着性をより向上させる観点から、0〜60°が好ましく、0〜55°がより好ましく、0〜50°が特に好ましい。
また、B°としては、カラーフィルタを作製した際の混色をより効果的に抑制する観点から、65〜180°が好ましく、80〜180°がより好ましく、90〜180°が特に好ましい。
A ° is preferably 0 to 60 °, more preferably 0 to 55 °, and particularly preferably 0 to 50 ° from the viewpoint of further improving the adhesion between the separation wall and the substrate.
B ° is preferably 65 ° to 180 °, more preferably 80 ° to 180 °, and particularly preferably 90 ° to 180 ° from the viewpoint of more effectively suppressing color mixing when a color filter is produced.

<カラーフィルタ及びその製造方法>
本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記離画壁を有する基板を用い、該離画壁によって区画された基板上の凹部(画素形成用の領域)に(好ましくは2色以上の)着色液体組成物を付与し、(好ましくは2色以上の)着色画素(例えば赤、緑、青、白、紫など)からなる着色画素群を形成することを特徴とする。上記着色感光性樹脂組成物を付与する方法としては、特に限定されるものではなくインクジェット法やスリットコート法やトライプギーサー塗布法など公知の方法を適宜用いることができるが、特に本発明においては、インクジェット法を用いることが好ましい。前記ストライプギーサー塗布法は、細かな液滴吐出用の穴が開いたギーサーを用いて液滴を基板上に付与し、ストライプ状の画素を形成する方法である。
<Color filter and manufacturing method thereof>
The color filter manufacturing method of the present invention uses a substrate having the separation wall, and a colored liquid (preferably of two or more colors) in a recess (pixel formation region) on the substrate partitioned by the separation wall. A composition is applied to form a colored pixel group composed of colored pixels (preferably two or more colors) (for example, red, green, blue, white, purple, etc.). The method for applying the colored photosensitive resin composition is not particularly limited, and a known method such as an ink-jet method, a slit coating method, or a trypgicer coating method can be used as appropriate. It is preferable to use an inkjet method. The stripe Geyser coating method is a method of forming stripe-like pixels by applying droplets onto a substrate using a Geyser having fine droplet ejection holes.

−インクジェット方式−
本発明に用いるインクジェット方式としては、帯電したインクを連続的に噴射し電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。
用いるインクは油性、水性であっても使用できる。また、そのインクに含まれる着色剤は染料、顔料ともに使用でき、耐久性の面からは顔料の使用がより好ましい。また、公知のカラーフィルタ作製に用いる、塗布方式の着色インク(着色樹脂組成物、例えば、特開2005−3861号公報[0034]〜[0063]記載)や、特開2004−325736号公報に記載の着色インクや、特開2002−372613号公報に記載のインクなど公知のインクを使用することもできる。
インクジェット方式に用いるインクには、着色後の工程を考慮し、加熱によって硬化する、又は紫外線などのエネルギー線によって硬化する成分を添加することもできる。加熱によって硬化する成分としては各種の熱硬化性樹脂が広く用いられ、またエネルギー線によって硬化する成分としては例えばアクリレート誘導体又はメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものを例示できる。特に耐熱性を考慮してアクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は水溶性のものが好ましく使用でき、水に難溶性のものでもエマルション化するなどして使用できる。
この場合、前記の感光性樹脂組成物で挙げた、顔料などの着色剤を含有させた感光性樹脂組成物を、好適なものとして用いることができる。
-Inkjet system-
As an ink jet system used in the present invention, a method in which charged ink is continuously ejected and controlled by an electric field, a method in which ink is ejected intermittently using a piezoelectric element, and an ink is intermittently heated by using its foaming. Various methods such as a method of injecting the liquid can be employed.
The ink used may be oily or water-based. Further, the colorant contained in the ink can be used for both dyes and pigments, and the use of pigments is more preferable from the viewpoint of durability. In addition, a coating-type colored ink (colored resin composition, for example, described in JP-A-2005-3861 [0034] to [0063]) or JP-A-2004-325736, which is used for producing a known color filter. Also known inks such as those described in JP-A-2002-372613 may be used.
In consideration of a process after coloring, a component that is cured by heating or that is cured by energy rays such as ultraviolet rays can be added to the ink used in the inkjet method. Various thermosetting resins are widely used as components that are cured by heating, and examples of components that are cured by energy rays include those obtained by adding a photoinitiator to an acrylate derivative or a methacrylate derivative. In particular, in view of heat resistance, those having a plurality of acryloyl groups and methacryloyl groups in the molecule are more preferable. These acrylate derivatives and methacrylate derivatives are preferably water-soluble, and even those that are sparingly soluble in water can be used after being emulsified.
In this case, the photosensitive resin composition containing a colorant such as a pigment described in the above-described photosensitive resin composition can be preferably used.

本発明におけるカラーフィルタは、インクジェット方式で画素形成されたカラーフィルタであることが好ましく、少なくともRGB3色のインクを吹き付けて少なくとも3色のカラーフィルタを形成することが好ましい。このようにして形成されたカラーフィルタのパターン形状は特に限定されるものではなく、一般的なブラックマトリックス形状であるストライプ状であっても、格子状であっても、さらにはデルタ配列状であってもよい。   The color filter in the present invention is preferably a color filter in which pixels are formed by an inkjet method, and it is preferable that at least three color filters are formed by spraying at least RGB three color inks. The pattern shape of the color filter thus formed is not particularly limited, and may be a general black matrix shape such as a stripe shape, a lattice shape, or a delta arrangement. May be.

(オーバーコート層)
カラーフィルタ作製後、全面に耐性向上のためにオーバーコート層を設ける場合がある。オーバーコート層は、インクR,G,Bの着色画素を保護するとともに、表面を平坦にすることができるが、工程数が増えるという観点から、設けないことが好ましい。
オーバーコート層を形成する樹脂(OC剤)としては、アクリル系樹脂組成物、エポキシ樹脂組成物、ポリイミド樹脂組成物などが挙げられる。中でも、可視光領域での透明性で優れており、また、カラーフィルタ用光硬化性組成物の樹脂成分が通常アクリル系樹脂を主成分としており、密着性に優れていることからアクリル系樹脂組成物が望ましい。
オーバーコート層の例として、特開2003−287618号公報の段落番号0018〜0028に記載のものや、オーバーコート剤の市販品として、JSR社製「オプトマーSS6699G」)が挙げられる。
(Overcoat layer)
After the color filter is manufactured, an overcoat layer may be provided on the entire surface to improve resistance. The overcoat layer can protect the colored pixels of the inks R, G, and B and can flatten the surface, but it is preferably not provided from the viewpoint of increasing the number of steps.
Examples of the resin (OC agent) forming the overcoat layer include an acrylic resin composition, an epoxy resin composition, and a polyimide resin composition. Above all, it is excellent in transparency in the visible light region, and the resin component of the photocurable composition for color filters is usually mainly composed of an acrylic resin, so that the acrylic resin composition is excellent in adhesion. Things are desirable.
Examples of the overcoat layer include those described in JP-A No. 2003-287618, paragraphs 0018 to 0028, and commercially available overcoat agents such as “Optomer SS6699G” manufactured by JSR.

着色画素層上には、必要に応じて透明電極、配向膜等を設けてもよい。透明電極の具体例としては、例えば、ITOが挙げられる。また、配向膜の具体例としては、ポリイミドが挙げられる。   A transparent electrode, an alignment film, and the like may be provided on the colored pixel layer as necessary. Specific examples of the transparent electrode include, for example, ITO. A specific example of the alignment film is polyimide.

<表示装置>
上記の方法によって得られるカラーフィルタは、液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロクロミック表示素子、PLZT等と組合せて表示素子として用いられる。カラーカメラやその他のカラーフィルタを用いる用途にも使用できる。
当該表示装置としては、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、EL表示装置、CRT表示装置などの表示装置などが挙げられる。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。
本発明のカラーフィルタを備えた表示装置のうち、液晶表示装置は特に好ましい。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はもちろんIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページに記載されている。
<Display device>
The color filter obtained by the above method is used as a display element in combination with a liquid crystal display element, an electrophoretic display element, an electrochromic display element, PLZT, or the like. It can also be used for applications using color cameras and other color filters.
Examples of the display device include display devices such as a liquid crystal display device, a plasma display display device, an EL display device, and a CRT display device. For the definition of display devices and explanation of each display device, refer to “Electronic Display Devices (Akio Sasaki, published by Industrial Research Institute 1990)”, “Display Devices (Junaki Ibuki, Industrial Books Co., Ltd.) Issue)).
Of the display devices provided with the color filter of the present invention, a liquid crystal display device is particularly preferable. The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Kenkyukai 1994)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to various types of liquid crystal display devices described in, for example, the “next generation liquid crystal display technology”. Among these, the present invention is particularly effective for a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Further, the present invention can be applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA. These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends-(issued in 2001 by Toray Research Center Research Division)".

液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明のカラーフィルタはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉 (株)富士キメラ総研 2003年発行)」に記載されている。   In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle compensation film. The color filter of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members. For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials and Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC Co., Ltd., 1994)”, “2003 Liquid Crystal Related Market Status and Future Prospects (Volume 2)” (Table Yoshiyoshi) Fuji Chimera Research Institute, published in 2003) ”.

尚、対象用途としては、テレビジョンシステム、パーソナルコンピュータ、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビションシステムなどの用途に特に制限なく適用できる。   In addition, as a target use, it can apply without a restriction | limiting in particular to uses, such as portable terminals, such as a television system, a personal computer, a liquid crystal projector, a game machine, a mobile phone, a digital camera, and a car navigation system.

以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、試薬、割合、機器、操作等は本発明の趣旨から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、「部」及び「%」は質量基準である。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, reagents, ratios, equipment, operations, and the like shown in the following examples can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below. Unless otherwise specified, “part” and “%” are based on mass.

<合成例>
以下に、(b)一般式(B)で表される繰り返し単位を形成することができるビニル化合物(以下、ハライドモノマーということがある)の合成法を示す。
<ハライドモノマー(1)の合成方法>
滴下漏斗を付した300mlの三つ口フラスコに、エチルメチルケトン〔MEK、和光純薬工業(株)製〕50g、ヒドロキシエチルメタクリレート〔HEMA、東京化成工業(株)製〕26.1gを入れ、氷入りのウォーターバスで内温が5℃まで冷却した。これに、ピリジン〔Py、東京化成工業(株)製〕16.2gを入れ、攪拌した。滴下漏斗よりクロロアセチルクロリド〔CAC、和光純薬工業(株)製〕22.6gを、フラスコ内温が10℃を越えないように滴下した。NMRにより反応を追跡し、HEMAの消失を確認した後、室温で2時間攪拌した。2Lの蒸留水に反応物を攪拌下添加し、ジエチルエーテルにより抽出した。抽出した有機層を重層水、飽和塩水で洗浄し、有機層を硫酸マグネシウムにて乾燥、濾過により不溶物を除去した。得られた濾液を濃縮し、減圧蒸留することにより、ハライドモノマー(1)を35.4g(収率;86%)で得た。
<Synthesis example>
Below, the synthesis | combining method of the vinyl compound (henceforth a halide monomer) which can form the repeating unit represented by (b) general formula (B) is shown.
<Synthesis Method of Halide Monomer (1)>
In a 300 ml three-necked flask equipped with a dropping funnel, 50 g of ethyl methyl ketone [MEK, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.] and 26.1 g of hydroxyethyl methacrylate [HEMA, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.] The internal temperature was cooled to 5 ° C. with an ice bath. To this, 16.2 g of pyridine [Py, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.] was added and stirred. 22.6 g of chloroacetyl chloride [CAC, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.] was added dropwise from the dropping funnel so that the temperature inside the flask did not exceed 10 ° C. The reaction was monitored by NMR, and disappearance of HEMA was confirmed, followed by stirring at room temperature for 2 hours. The reaction was added to 2 L of distilled water with stirring and extracted with diethyl ether. The extracted organic layer was washed with layered water and saturated brine, the organic layer was dried over magnesium sulfate, and insolubles were removed by filtration. The obtained filtrate was concentrated and distilled under reduced pressure to obtain 35.4 g (yield: 86%) of the halide monomer (1).

<ハライドモノマー(2)の合成方法>
ハライドモノマー(1)の合成方法において、HEMAをヒドロキシエチルアクリレート〔HEA、東京化成工業(株)製〕に変更した以外は、ハライドモノマー(1)の合成方法に従い、ハライドモノマー(2)を合成した。収率88%。
<Method for synthesizing halide monomer (2)>
In the synthesis method of the halide monomer (1), the halide monomer (2) was synthesized according to the synthesis method of the halide monomer (1) except that HEMA was changed to hydroxyethyl acrylate [HEA, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]. . Yield 88%.

<ハライドモノマー(3)の合成方法>
ハライドモノマー(1)の合成方法において、CACをブロモアセチルブロミド〔BAB、東京化成工業(株)製〕に変更した以外は、ハライドモノマー(1)の合成方法に従い、ハライドモノマー(3)を合成した。収率79%。
<Method for synthesizing halide monomer (3)>
In the method for synthesizing the halide monomer (1), the halide monomer (3) was synthesized according to the method for synthesizing the halide monomer (1) except that CAC was changed to bromoacetyl bromide [BAB, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]. . Yield 79%.

<ハライドモノマー(4)の合成方法>
ハライドモノマー(1)の合成方法において、HEMAをアロニックスM152〔AX−M152、東亞合成(株)製〕に変更した以外は、ハライドモノマー(1)の合成方法に従い、ハライドモノマー(4)を合成した。収率88%。
<Synthesis Method of Halide Monomer (4)>
In the method for synthesizing the halide monomer (1), the halide monomer (4) was synthesized according to the method for synthesizing the halide monomer (1) except that HEMA was changed to Aronix M152 (AX-M152, manufactured by Toagosei Co., Ltd.). . Yield 88%.

<ハライドモノマー(5)の合成方法>
ハライドモノマー(1)の合成方法において、HEMAをアロニックスM154〔AX−M154、東亞合成(株)製〕に変更した以外は、ハライドモノマー(1)の合成方法に従い、ハライドモノマー(5)を合成した。収率87%。
<Method for synthesizing halide monomer (5)>
In the method for synthesizing the halide monomer (1), the halide monomer (5) was synthesized according to the method for synthesizing the halide monomer (1) except that HEMA was changed to Aronix M154 (AX-M154, manufactured by Toagosei Co., Ltd.). . Yield 87%.

<ハライドモノマー(6)の合成方法>
ハライドモノマー(1)の合成方法において、HEMAをブレンマーPE200〔BL−PE200、日本油脂(株)製〕に変更した以外は、ハライドモノマー(1)の合成方法に従い、ハライドモノマー(6)を合成した。収率90%。
<Synthesis Method of Halide Monomer (6)>
In the method for synthesizing the halide monomer (1), the halide monomer (6) was synthesized according to the method for synthesizing the halide monomer (1) except that HEMA was changed to Bremer PE200 [BL-PE200, manufactured by NOF Corporation]. . Yield 90%.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、含フッ素化合物の分子量は、ゲルパーミッションクロマトグラフィ(GPC)によるポリスチレン換算の質量平均分子量を表す。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. In addition, the molecular weight of a fluorine-containing compound represents the mass mean molecular weight of polystyrene conversion by gel permeation chromatography (GPC).

<含フッ素化合物(1)の合成方法>
窒素気流下、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〔MMPG-Ac、ダイセル化学工業(株)製〕25gを、冷却管を設置した300mlの三つ口フラスコに入れ、パラフィン入りのウォーターバスで内温が70℃まで加熱した。これに、MMPG-Ac40gにメタクリル酸〔MAA、東京化成工業(株)製〕2.5gと2−(パーフルオロヘキシル)−エチルメタクリレート〔FAMAC6、NOK(株)製〕25gとポリエチレングリコールモノマー〔M90G、新中村化学(株)製〕17.5gと前記ハライドモノマー(1)5.0gと2−エチルヘキシルメルカプトプロピオン酸〔EHMP、東京化成工業(株)製〕0.88gとを溶解させた溶液及び、MMPG−Ac10gに2,2'−アゾビス(イソバレロニトリル)〔V65、和光純薬工業(株)製〕0.334gを溶解させた溶液をそれぞれプランジャーポンプで2時間かけて滴下した。滴下終了後、5時間攪拌し、H−NMRにより残存モノマーの消失を確認した。
以上のようにして、(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位を形成しうる含フッ素モノマーである2−(パーフルオロヘキシル)−エチルメタクリレート〔FAMAC6〕と、(c)酸性基を有する繰り返し単位を形成しうる酸性基を有するモノマーであるメタクリル酸〔MAA〕と、その他の繰り返し単位を形成しうるモノマーであるポリエチレングリコールモノマー〔M90G〕と、(b)上記一般式(B)で表される繰り返し単位を形成しうるハライドモノマー(1)とを共重合させて、FAMAC6/MAA/M90G/(1)=50/5/35/10(質量比)の含フッ素化合物(1)を合成した。質量平均分子量は、1.6万であった。
モノマーが消失しており、かつ高分子量成分の生成から、エステル鎖を6つ持つ側鎖を有する含フッ素樹脂の合成を確認した。
<Method for synthesizing fluorine-containing compound (1)>
In a nitrogen stream, 25 g of propylene glycol monomethyl ether acetate [MMPG-Ac, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.] is placed in a 300 ml three-necked flask equipped with a condenser, and the internal temperature is 70 ° C. in a water bath containing paraffin. Until heated. To this, 40 g of MMPG-Ac, 2.5 g of methacrylic acid [MAA, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.], 25 g of 2- (perfluorohexyl) -ethyl methacrylate [FAMAC6, manufactured by NOK Corporation], and polyethylene glycol monomer [M90G , Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.] 17.5 g, the above halide monomer (1) 5.0 g, and 2-ethylhexyl mercaptopropionic acid [EHMP, Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.] 0.88 g A solution in which 0.334 g of 2,2′-azobis (isovaleronitrile) [V65, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.] was dissolved in 10 g of MMPG-Ac was added dropwise over 2 hours with a plunger pump. After completion of dropping, the mixture was stirred for 5 hours, and disappearance of the residual monomer was confirmed by 1 H-NMR.
As described above, (a) 2- (perfluorohexyl) -ethyl methacrylate [FAMAC6], which is a fluorine-containing monomer capable of forming a repeating unit having 3 or more fluorine atoms, and (c) a repeating group having an acidic group Methacrylic acid [MAA] which is a monomer having an acidic group capable of forming a unit, polyethylene glycol monomer [M90G] which is a monomer which can form another repeating unit, and (b) the general formula (B). The fluorine-containing compound (1) of FAMAC6 / MAA / M90G / (1) = 50/5/35/10 (mass ratio) was synthesized by copolymerizing with a halide monomer (1) capable of forming a repeating unit. . The mass average molecular weight was 16,000.
The synthesis of a fluororesin having side chains having six ester chains was confirmed from the disappearance of the monomers and the generation of high molecular weight components.

<含フッ素化合物(2)〜(14)の合成方法>
前記含フッ素化合物(1)の合成例に従い、他の含フッ素化合物(2)〜(14)の合成を行った。それぞれの共重合成分及び組成比に関しては、以下のとおりである。
含フッ素化合物(2) FAAC6/AA/AM230G/ハライドモノマー(2)=50/5/43/2(質量比)
含フッ素化合物(3) FAAC6/AA/AM230G/ハライドモノマー(2)=50/5/40/5(質量比)
含フッ素化合物(4) FAAC6/AA/AM230G/ハライドモノマー(2)=40/5/35/20(質量比)
含フッ素化合物(5) FAAC6/AA/AM230G/ハライドモノマー(2)=30/5/55/10(質量比)
含フッ素化合物(6) FAAC6/AA/AM230G/ハライドモノマー(2)=50/5/35/10(質量比)
含フッ素化合物(7) FAAC6/AA/FA5/ハライドモノマー(2)=40/5/45/10(質量比)
含フッ素化合物(8) FAAC6/AA/FA5/CMS−P=40/5/45/10(質量比)
含フッ素化合物(9) FAAC6/AA/AM230G/CMS−P=40/5/45/10(質量比)
含フッ素化合物(10) FAAC6/AA/AM230G/ハライドモノマー(3)=50/5/35/10(質量比)
含フッ素化合物(11) FAAC6/AA/AM230G/ハライドモノマー(4)=50/5/35/10(質量比)
含フッ素化合物(12) FAAC6/AA/AM230G/ハライドモノマー(5)=50/5/35/10(質量比)
含フッ素化合物(13) FAMAC6/MAA/M230G/ハライドモノマー(6)=50/5/35/10(質量比)
含フッ素化合物(14) FAAC6/AM230G/ハライドモノマー(2)=50/40/10(質量比)
<Method for synthesizing fluorine-containing compounds (2) to (14)>
According to the synthesis example of the fluorine-containing compound (1), other fluorine-containing compounds (2) to (14) were synthesized. The respective copolymerization components and composition ratios are as follows.
Fluorine-containing compound (2) FAAC6 / AA / AM230G / halide monomer (2) = 50/5/43/2 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (3) FAAC6 / AA / AM230G / halide monomer (2) = 50/5/40/5 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (4) FAAC6 / AA / AM230G / halide monomer (2) = 40/5/35/20 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (5) FAAC6 / AA / AM230G / halide monomer (2) = 30/5/55/10 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (6) FAAC6 / AA / AM230G / halide monomer (2) = 50/5/35/10 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (7) FAAC6 / AA / FA5 / halide monomer (2) = 40/5/45/10 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (8) FAAC6 / AA / FA5 / CMS-P = 40/5/45/10 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (9) FAAC6 / AA / AM230G / CMS-P = 40/5/45/10 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (10) FAAC6 / AA / AM230G / halide monomer (3) = 50/5/35/10 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (11) FAAC6 / AA / AM230G / halide monomer (4) = 50/5/35/10 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (12) FAAC6 / AA / AM230G / halide monomer (5) = 50/5/35/10 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (13) FAMAC6 / MAA / M230G / halide monomer (6) = 50/5/35/10 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (14) FAAC6 / AM230G / halide monomer (2) = 50/40/10 (mass ratio)

<含フッ素化合物(15)〜(16)の合成方法>
前記含フッ素化合物(1)の合成例に従い、含フッ素化合物(15)〜(16)の合成を行った。それぞれの共重合成分及び組成比に関しては、以下のとおりである。
含フッ素化合物(15) TFA/AA/AM130G/ハライドモノマー(2)=50/5/35/10(質量比)
含フッ素化合物(16) FAAC6/AA/V#160=50/5/45(質量比)
<Method for synthesizing fluorine-containing compounds (15) to (16)>
According to the synthesis example of the fluorine-containing compound (1), the fluorine-containing compounds (15) to (16) were synthesized. The respective copolymerization components and composition ratios are as follows.
Fluorine-containing compound (15) TFA / AA / AM130G / halide monomer (2) = 50/5/35/10 (mass ratio)
Fluorine-containing compound (16) FAAC6 / AA / V # 160 = 50/5/45 (mass ratio)

上記合成例において、含フッ素モノマー及びその他のモノマーの略号は以下の通りである。
<含フッ素モノマー>
FAAC6 ; 2−(パーフルオロヘキシル)−エチルアクリレート〔NOK(株)製〕
FAMAC6 ; 2−(パーフルオロヘキシル)−エチルメタクリレート〔NOK(株)製〕
R1420 ; 2−(パーフルオロブチル)−エチルアクリレート〔ダイキン工業(株)製〕
<ハライドモノマー>
CMS−P ; クロロメチルスチレン〔セイミケミカル(株)製〕
<そのほかのモノマー>
AA ; アクリル酸〔東京化成工業(株)製〕
MAA ; メタクリル酸〔東京化成工業(株)製〕
TFA ; トリフルオロエチルアクリレート〔東京化成工業(株)製〕
AM130G ; ポリエチレングリコール(13量体)のモノメチルアクリレート〔新中村化学(株)製〕
M90G ; ポリエチレングリコール(9量体)のモノメチルメタクリレート〔新中村化学(株)製〕
AM230G ; ポリエチレングリコール(23量体)のモノメチルアクリレート〔新中村化学(株)製〕
FA5 ; ポリカプロラクトン(5量体)のモノエチルアクリレート〔ダイセル化学工業(株)製〕
V#160 ; ベンジルアクリレート〔大阪有機化学工業(株)製〕
In the above synthesis examples, the abbreviations of the fluorine-containing monomer and other monomers are as follows.
<Fluorine-containing monomer>
FAAC6; 2- (perfluorohexyl) -ethyl acrylate [manufactured by NOK Corporation]
FAMAC6; 2- (perfluorohexyl) -ethyl methacrylate [manufactured by NOK Corporation]
R1420; 2- (perfluorobutyl) -ethyl acrylate [manufactured by Daikin Industries, Ltd.]
<Halide monomer>
CMS-P; chloromethylstyrene [manufactured by Seimi Chemical Co., Ltd.]
<Other monomers>
AA: Acrylic acid [manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]
MAA; methacrylic acid [manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]
TFA: trifluoroethyl acrylate [manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]
AM130G; monomethyl acrylate of polyethylene glycol (13-mer) [manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.]
M90G: Monomethyl methacrylate of polyethylene glycol (9-mer) [manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.]
AM230G: Polyethylene glycol (23-mer) monomethyl acrylate [manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.]
FA5: monoethyl acrylate of polycaprolactone (pentamer) [manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.]
V # 160; benzyl acrylate [manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.]

上記で合成したそれぞれの含フッ素化合物(1)〜(16)における、共重合成分、共重合比率、質量平均分子量に関しては、下記表1のとおりである。また、各含フッ素化合物の固形分濃度が25%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して調整している。   Regarding each of the fluorine-containing compounds (1) to (16) synthesized above, the copolymerization component, the copolymerization ratio, and the mass average molecular weight are as shown in Table 1 below. Further, propylene glycol monomethyl ether acetate is added and adjusted so that the solid content concentration of each fluorine-containing compound is 25%.

Figure 2008208253
Figure 2008208253

(実施例1)
−感光性樹脂組成物の調製−
まず、下記表2に記載の量のK顔料分散物1、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150rpmにて10分間攪拌し、次いで表2に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー2、ハイドロキノンモノメチルエーテル、DPHA液、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ジエトキシカルボニルメチルアミノ)−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン、界面活性剤1、及び上記で得た含フッ素化合物(1)をはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150rpmにて30分間攪拌することにより、感光性樹脂組成物K1を調製した。
このとき、含フッ素化合物(1)の感光性樹脂組成物K1中における固形分質量に対する割合は5%であった。なお、表2に記載の量は質量部であり、詳しくは以下の組成となっている。
(Example 1)
-Preparation of photosensitive resin composition-
First, K pigment dispersion 1 and propylene glycol monomethyl ether acetate in the amounts shown in Table 2 below are weighed, mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.), stirred at 150 rpm for 10 minutes, and then listed in Table 2. Methyl ethyl ketone, binder 2, hydroquinone monomethyl ether, DPHA solution, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N-diethoxycarbonylmethylamino) -3'-bromophenyl]- s-Triazine, surfactant 1, and fluorine-containing compound (1) obtained above are weighed out and added in this order at a temperature of 25 ° C. (± 2 ° C.) and adjusted to 150 rpm at a temperature of 40 ° C. (± 2 ° C.). The mixture was stirred for 30 minutes to prepare a photosensitive resin composition K1.
At this time, the ratio of the fluorine-containing compound (1) to the solid content mass in the photosensitive resin composition K1 was 5%. In addition, the quantity of Table 2 is a mass part, and has the following composition in detail.

<K顔料分散物1>
・カーボンブラック(デグッサ社製 Nipex35) ・・・13.1%
・下記分散剤1 ・・・ 0.65%
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、分子量3.7万) ・・・ 6.72%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・79.53%
<K pigment dispersion 1>
・ Carbon black (Nexex 35 manufactured by Degussa) ... 13.1%
・ The following dispersant 1 ... 0.65%
-Polymer (Random copolymer of benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio, molecular weight 37,000) ... 6.72%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate: 79.53%

Figure 2008208253
Figure 2008208253

<バインダー2>
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(=78/22[モル比])のランダム共重合物、分子量3.8万) ・・・ 27%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・ 73%
<Binder 2>
・ Random copolymer of polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid (= 78/22 [molar ratio]), molecular weight 38,000) 27%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 73%

<DPHA液>
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合禁止剤MEHQ 500ppm含有、日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) ・・・ 76%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・ 24%
<DPHA solution>
-Dipentaerythritol hexaacrylate (containing 500 ppm of polymerization inhibitor MEHQ, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: KAYARAD DPHA) 76%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 24%

<界面活性剤1>
・下記構造物1 ・・・ 30%
・メチルエチルケトン ・・・ 70%
<Surfactant 1>
・ The following structure 1 ・ ・ ・ 30%
・ Methyl ethyl ketone 70%

Figure 2008208253
Figure 2008208253

Figure 2008208253
Figure 2008208253

−離画壁の形成−
無アルカリガラス基板を、UV洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。基板を120℃3分熱処理して表面状態を安定化させた。
このガラス基板を冷却し23℃に温調した後、スリット状ノズルを有するガラス基板用コーター(エフ・エー・エス・アジア社製、商品名:MH−1600)にて、前記感光性樹脂組成物K1を塗布した。引き続き、VCD(真空乾燥装置、東京応化工業社製)で30秒間、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性を無くした後、120℃3分間プリベークして膜厚2.3μmの感光性樹脂組成物層K1を得た(感光性樹脂層形成工程)。
次に、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と感光性樹脂組成物層K1の間の距離を200μmに設定し、窒素雰囲気下、露光量300mJ/cmでパターン露光した(露光工程)。
-Formation of separation wall-
The alkali-free glass substrate was cleaned with a UV cleaning apparatus, then brush-cleaned with a cleaning agent, and further ultrasonically cleaned with ultrapure water. The substrate was heat-treated at 120 ° C. for 3 minutes to stabilize the surface state.
After cooling the glass substrate and adjusting the temperature to 23 ° C., the photosensitive resin composition was coated with a glass substrate coater (manufactured by FS Asia Co., Ltd., trade name: MH-1600) having a slit-like nozzle. K1 was applied. Subsequently, a portion of the solvent was dried with a VCD (vacuum drying apparatus, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) for 30 seconds to eliminate the fluidity of the coating layer, and then pre-baked at 120 ° C. for 3 minutes to give a film thickness of 2.3 μm. Photosensitive resin composition layer K1 was obtained (photosensitive resin layer forming step).
Next, with a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp, with the substrate and mask (quartz exposure mask having an image pattern) standing vertically, The distance between the photosensitive resin composition layers K1 was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 300 mJ / cm 2 in a nitrogen atmosphere (exposure process).

次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、感光性樹脂組成物層K1の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を100倍に希釈したものにて23℃で80秒間、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像しパターニング画像を得た(現像工程)。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で噴射して残渣除去を行ない、大気下にて露光量2000mJ/cmにてポスト露光した。続いて、240℃で50分間ポストベーク処理を行ない(加熱処理工程)、膜厚2.0μm、光学濃度4.0、100μm幅の開口部を有するストライプ状の離画壁(離画壁付き基板)を得た。
なお、離画壁の基板密着性及び離隔壁の撥水・撥インク性については後述する。
Next, pure water is sprayed with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the photosensitive resin composition layer K1, and then a KOH developer (KOH, containing a nonionic surfactant, product name: CDK-1). , Manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.) was diluted 100 times, and shower development was performed at 23 ° C. for 80 seconds with a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to obtain a patterning image (development process). Subsequently, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultra-high pressure cleaning nozzle to remove the residue, and post-exposure was performed at an exposure amount of 2000 mJ / cm 2 in the atmosphere. Subsequently, post-baking is performed at 240 ° C. for 50 minutes (heat treatment step), and striped separation walls having a film thickness of 2.0 μm, an optical density of 4.0, and a width of 100 μm (a substrate with a separation wall) )
The substrate adhesion of the separation wall and the water / ink repellency of the separation wall will be described later.

−カラーフィルタの作製−
(1)画素用着色インク組成物の調製
下記の組成のうち、まず顔料、高分子分散剤、及び溶剤を混合し、3本ロールとビーズミルを用いて顔料分散液を得た。その顔料分散液をディソルバー等で充分に攪拌しながら、その他の材料を少量ずつ添加し、赤色(R)画素用着色インク組成物を調製した。
〈赤色(R)画素用着色インク組成物の組成〉
・顔料(C.I.ピグメントレッド254) ・・・ 5部
・ソルスパース24000(日本ルーブリゾール社製;高分子分散剤)・・・ 1部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(=72/28[モル比])のランダム共重合物(分子量:3.7万、バインダー) ・・・ 3部
・エピコート154(油化シェル社製;ノボラック型エポキシ樹脂、)・・・ 2部
・ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル(エポキシ樹脂) ・・・ 5部
・トリメリット酸(硬化剤) ・・・ 4部
・3−エトキシプロピオン酸エチル(溶剤) ・・・80部
-Fabrication of color filter-
(1) Preparation of Colored Ink Composition for Pixel Among the following compositions, first, a pigment, a polymer dispersant, and a solvent were mixed, and a pigment dispersion was obtained using a three roll and bead mill. While sufficiently stirring the pigment dispersion with a dissolver or the like, other materials were added little by little to prepare a colored ink composition for red (R) pixels.
<Composition of colored ink composition for red (R) pixel>
Pigment (CI Pigment Red 254) 5 parts Solsperse 24000 (manufactured by Nihon Lubrizol; polymer dispersant) 1 part Benzyl methacrylate / methacrylic acid (= 72/28 [molar ratio] ]) Random copolymer (molecular weight: 37,000, binder) 3 parts Epicoat 154 (manufactured by Yuka Shell; Novolac epoxy resin) 2 parts Neopentyl glycol diglycidyl ether (Epoxy resin) ··· 5 parts · Trimellitic acid (curing agent) · · · 4 parts · Ethyl 3-ethoxypropionate (solvent) · · · 80 parts

さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントグリーン36を同量用いる以外は、R画素用着色インク組成物の場合と同様にして、緑色(G)画素用着色インク組成物を調製した。また、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントブルー15:6を同量用いる以外は、R画素用着色インク組成物の場合と同様にして、青色(B)画素用着色インク組成物を調製した。   Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A green (G) pixel colored ink composition was prepared in the same manner as in the R pixel colored ink composition except that the same amount of Pigment Green 36 was used. In the above composition, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A blue (B) pixel colored ink composition was prepared in the same manner as in the R pixel colored ink composition except that the same amount of Pigment Blue 15: 6 was used.

(2)着色画素の形成
次に、前記R、G、Bの各画素用着色インク組成物を用いて、上記で得られた離画壁付き基板の離画壁で区画された領域内(離画壁で取り囲まれた凹部)に、インクジェット方式の記録装置を用いて所望の濃度になるまでインク組成物の吐出を行ない、R、G、Bのパターン(着色画素)からなるカラーフィルタを作製した。続いて、このカラーフィルタを230℃オーブン中で30分間ベークし、離画壁及び各画素がともに完全に硬化されたカラーフィルタ基板を得た。
(2) Formation of Colored Pixels Next, using the colored ink composition for each of the R, G, and B pixels, the region (separated by the separation wall of the substrate with the separation wall obtained above). The ink composition was discharged into the concave portion surrounded by the image wall using an ink jet recording apparatus until a desired density was obtained, and a color filter composed of R, G, and B patterns (colored pixels) was produced. . Subsequently, this color filter was baked in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a color filter substrate in which both the separation wall and each pixel were completely cured.

−カラーフィルタの混色評価−
得られたカラーフィルタ基板を下記のように評価した。評価結果は下記表3に示す。
カラーフィルタの画素が形成された側と反対側から200倍の光学顕微鏡で目視観察し、画素間の混色の有無を観察した。評価は、1000画素を観察して下記ランクに分けて行なった。許容範囲は、Aランク及びBランクである。
・Aランク:混色は全くなかった。
・Bランク:混色は1〜2箇所であった。
・Cランク:混色は3〜10箇所であった。
・Dランク:混色は11箇所以上であった。
-Color mixing evaluation of color filters-
The obtained color filter substrate was evaluated as follows. The evaluation results are shown in Table 3 below.
Visual observation was performed with a 200 × optical microscope from the side opposite to the side where the pixels of the color filter were formed, and the presence or absence of color mixing between the pixels was observed. The evaluation was performed by observing 1000 pixels and dividing them into the following ranks. The allowable ranges are A rank and B rank.
-Rank A: There was no color mixing.
-B rank: The color mixture was 1-2 places.
-C rank: The color mixture was 3-10 places.
-D rank: The color mixture was 11 or more places.

−液晶表示装置の作製−
上記より得たカラーフィルタ基板のR画素、G画素、及びB画素並びに離画壁の上に、更にITO(Indium Tin Oxide)の透明電極をスパッタリングにより形成した。このITOの抵抗を測定(三菱化学(株)製の「ロレスタ」を用いて四探針法でシート抵抗を測定)したところ12Ω/□であり、非常に低い値を示した。
-Production of liquid crystal display device-
A transparent electrode of ITO (Indium Tin Oxide) was further formed by sputtering on the R pixel, G pixel, B pixel, and separation wall of the color filter substrate obtained above. When the resistance of this ITO was measured (sheet resistance was measured by a four-probe method using a “Loresta” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), it was 12Ω / □, indicating a very low value.

−柱状スペーサパターンの形成−
スペーサパターン形成用の下記感光性樹脂層用塗布液を、上記と同様のスリットコーターにより前記カラーフィルタのITO上に塗布し、乾燥させて、感光性樹脂層SP1を形成した。
〈感光性樹脂層用塗布液の処方SP1〉
・メタクリル酸/アリルメタクリレート共重合体(モル比=20/80、分子量40000;高分子物質) ・・・108部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ・・・ 64.7部
(重合性モノマー)
・2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔4’−(N,N−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ)−3’−ブロモフェニル〕−s−トリアジン・・・ 6.24部
・ハイドロキノンモノメチルエーテル ・・・ 0.0336部
・ビクトリアピュアブルーBOHM(保土ヶ谷化学社製) ・・・ 0.874部
・メガファックF780F(大日本インキ化学工業(株)製;界面活性剤) ・・・ 0.856部
・メチルエチルケトン ・・・328部
・1−メトキシ−2−プロピルアセテート ・・・475部
・メタノール ・・・ 16.6部
-Formation of columnar spacer pattern-
The following photosensitive resin layer coating solution for forming a spacer pattern was applied onto the ITO of the color filter by a slit coater similar to the above, and dried to form a photosensitive resin layer SP1.
<Prescription SP1 of coating solution for photosensitive resin layer>
・ Methacrylic acid / allyl methacrylate copolymer (molar ratio = 20/80, molecular weight 40000; high molecular weight substance) 108 parts ・ Dipentaerythritol hexaacrylate 64.7 parts (polymerizable monomer)
2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N-bisethoxycarbonylmethylamino) -3'-bromophenyl] -s-triazine ... 6.24 parts hydroquinone monomethyl ether・ ・ ・ 0.0336 parts ・ Victoria Pure Blue BOHM (Hodogaya Chemical Co., Ltd.) ・ ・ ・ 0.874 parts ・ Megafac F780F (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd .; surfactant) ・ ・ ・ 0.856 Methyl ethyl ketone 328 parts 1-methoxy-2-propyl acetate 475 parts Methanol 16.6 parts

次に、所定のフォトマスクを介して超高圧水銀灯により300mJ/cmでプロキシミティー露光した。露光後、KOH現像液〔CDK−1(商品名)の100倍希釈液(pH=11.8)、富士フイルム(株)製〕を用いて未露光部の感光性樹脂層を溶解除去した。
続いて、230℃で30分間ベークし、ガラス基板上のITO膜の上の離画壁の上部に位置する部分に直径16μm、平均高さ3.7μmの柱状スペーサパターンを形成した。その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
Next, proximity exposure was performed at 300 mJ / cm 2 with an ultrahigh pressure mercury lamp through a predetermined photomask. After the exposure, the unexposed portion of the photosensitive resin layer was dissolved and removed using a KOH developer [CDK-1 (trade name) 100-fold diluted solution (pH = 11.8), manufactured by Fuji Film Co., Ltd.].
Subsequently, baking was performed at 230 ° C. for 30 minutes, and a columnar spacer pattern having a diameter of 16 μm and an average height of 3.7 μm was formed on a portion located on the upper part of the separation wall on the ITO film on the glass substrate. An alignment film made of polyimide was further provided thereon.

−液晶配向分割用突起の形成−
下記の突起用感光性樹脂層用塗布液を、上記と同様のスリットコーターにより前記カラーフィルタ基板のITO上に塗布し、乾燥させて突起用感光性樹脂層を形成した。次に、突起用感光性樹脂層上に下記処方P1から中間層用塗布液を塗布し、乾燥膜厚1.6μmの中間層を設けた。
-Formation of liquid crystal alignment split projections-
The following coating liquid for photosensitive resin layer for protrusions was applied onto the ITO of the color filter substrate by a slit coater similar to the above, and dried to form a photosensitive resin layer for protrusions. Next, an intermediate layer coating solution was applied from the following formulation P1 on the protrusion photosensitive resin layer to provide an intermediate layer having a dry film thickness of 1.6 μm.

〈突起用感光性樹脂層用塗布液の処方A〉
・ポジ型レジスト液 ・・・53.3部
(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製、FH−2413F)
・メチルエチルケトン ・・・46.7部
・前記界面活性剤1 ・・・ 0.04部
<Prescription A of coating liquid for photosensitive resin layer for protrusion>
-Positive resist solution 53.3 parts (FH-2413F, manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.)
-Methyl ethyl ketone-46.7 parts-Surfactant 1-0.04 parts

〈中間層用塗布液の処方P1〉
・PVA205(ポリビニルアルコール、クラレ(株)製、鹸化度=88%、重合度550) ・・・32.2部
・ポリビニルピロリドン ・・・14.9部
(アイエスピー・ジャパン(株)製、K−30)
・蒸留水 ・・・524部
・メタノール ・・・429部
<Prescription P1 of coating solution for intermediate layer>
PVA205 (polyvinyl alcohol, manufactured by Kuraray Co., Ltd., degree of saponification = 88%, degree of polymerization 550)... 32.2 parts Polyvinylpyrrolidone. -30)
・ Distilled water: 524 parts ・ Methanol: 429 parts

次に、フォトマスクが突起用感光性樹脂層の表面から100μmの距離となるようにプロキシミティー露光機を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー150mJ/cmでプロキシミティー露光した。その後、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて33℃で30秒間基板に噴霧しながら現像し、突起用感光性樹脂層の不要部(露光部)を現像除去した。すると、前記カラーフィルタ基板のITO膜上のR、G、Bの画素の上部に位置する部分に、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる突起が形成された。次いで、該突起が形成されたカラーフィルタ基板を240℃下で50分間ベークすることにより、カラーフィルタ基板上に高さ1.5μm、縦断面形状が蒲鉾様の配向分割用突起を形成した。 Next, a proximity exposure machine is arranged so that the photomask is at a distance of 100 μm from the surface of the photosensitive resin layer for protrusions, and the proximity exposure is performed through the photomask with an irradiation energy of 150 mJ / cm 2 by an ultrahigh pressure mercury lamp. did. Thereafter, a 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution was developed while spraying on the substrate at 33 ° C. for 30 seconds with a shower type developing device, and unnecessary portions (exposed portions) of the photosensitive resin layer for protrusion were developed and removed. . As a result, a protrusion made of a photosensitive resin layer patterned in a desired shape was formed on a portion of the color filter substrate on the ITO film located above the R, G, and B pixels. Next, the color filter substrate on which the protrusions were formed was baked at 240 ° C. for 50 minutes to form alignment dividing protrusions having a height of 1.5 μm and a vertical cross-sectional shape on the color filter substrate.

更に、得られたカラーフィルタ基板に対して、駆動側基板及び液晶材料を組合せることによって配向分割垂直配向型液晶表示素子を作製した。具体的には、駆動側基板としてTFTと画素電極(導電層)とが配列形成されたTFT基板を準備し、このTFT基板及び上記より得たカラーフィルタ基板を、TFT基板の画素電極等が設けられた側の表面とカラーフィルタ基板の配向分割用突起等が形成された側の表面とが対向するように配置し、スペーサ分の間隙を設けて固定した。この間隙に液晶材料を封入することにより画像表示を担う液晶層を設け、液晶セルを得た。このようにして得た液晶セルの両面に(株)サンリッツ製の偏光板HLC2−2518を貼り付けた。次いで、冷陰極管のバックライトを構成し、これを液晶セルの偏光板が設けられた側と反対側(背面側)に配置し、配向分割垂直配向型液晶表示装置とした。   Further, an alignment-divided vertical alignment type liquid crystal display element was manufactured by combining the obtained color filter substrate with a driving side substrate and a liquid crystal material. Specifically, a TFT substrate on which TFTs and pixel electrodes (conductive layers) are arrayed is prepared as a driving side substrate, and the TFT substrate pixel electrode and the like are provided on the TFT substrate and the color filter substrate obtained from the above. The surface on the side and the surface on the side of the color filter substrate on which the alignment dividing projections and the like are formed are arranged to face each other, and are fixed with a gap corresponding to the spacer. A liquid crystal layer responsible for image display was provided by enclosing a liquid crystal material in the gap to obtain a liquid crystal cell. A polarizing plate HLC2-2518 manufactured by Sanlitz Co., Ltd. was attached to both surfaces of the liquid crystal cell thus obtained. Next, a backlight of a cold cathode tube was constructed, and this was disposed on the side (back side) opposite to the side where the polarizing plate of the liquid crystal cell was provided, thereby obtaining an alignment-divided vertical alignment type liquid crystal display device.

−評価−
(1)離画壁の撥水・撥インク性
上記と同様にして形成した感光性樹脂組成物層K1に対し、マスクを使用しない以外は上記と同様の方法で露光し、その後ポストベーク処理(加熱処理工程)までの操作を同様の条件で行なってテスト用感光性樹脂組成物層を得た。そして、このテスト用感光性樹脂組成物層をポストベーク処理後1時間室温にて放冷した後、接触角測定器(協和界面科学(株)製の接触角計CA−A)を用いて、前記R画素用着色インク組成物を20メモリの大きさの液体試料(インク試料)として針先から出し、テスト用感光性樹脂組成物層に接触させることにより、テスト用感光性樹脂組成物層上にR画素用着色インク組成物の液滴(インク滴)を形成した。そして、このインク滴の形状を接触角計の覗き穴から観察し、25℃下、着滴から10秒放置後のインク滴のインク接触角θを求めた。
その後、このテスト用感光性樹脂組成物層を上記と同条件にてポストベークを施した後、再び同様にしてR画素用着色インク組成物のインク滴を形成し、インク接触角θを測定した。
また、接触角を測定したインク滴を水滴に変更し、同様の手順でポストベーク前の水接触角θ、ポストベーク後の水接触角θを測定した。
ポストベーク後の値を撥水・撥インク性を評価する指標とし、下記評価基準にしたがって評価した。許容範囲は、Aランク及びBランクである。評価結果は下記表3に示す。
〈評価基準〉
・Aランク:インク接触角≧50°、水接触角≧100°
・Bランク:インク接触角≧40°、水接触角≧90°
・Cランク:インク接触角≧35°、水接触角≧80°
・Dランク:インク接触角<35°、水接触角<80
-Evaluation-
(1) Water-repellent / ink-repellent property of separation wall The photosensitive resin composition layer K1 formed in the same manner as described above is exposed by the same method as described above except that a mask is not used, and then post-baked ( The operation up to the heat treatment step) was performed under the same conditions to obtain a photosensitive resin composition layer for testing. And after leaving this photosensitive resin composition layer for a test to cool at room temperature for 1 hour after the post-baking treatment, using a contact angle measuring device (contact angle meter CA-A manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) The colored ink composition for R pixel is taken out from the needle tip as a liquid sample (ink sample) having a size of 20 memories, and is brought into contact with the photosensitive resin composition layer for testing. A droplet (ink droplet) of a colored ink composition for an R pixel was formed on. Then, the shape of the ink droplet was observed from the viewing hole of the contact angle meter, and the ink contact angle θ 0 of the ink droplet after standing for 10 seconds after landing at 25 ° C. was determined.
Thereafter, the test photosensitive resin composition layer was post-baked under the same conditions as described above, and ink droplets of the R pixel colored ink composition were again formed in the same manner, and the ink contact angle θ 1 was measured. did.
Further, the ink droplet whose contact angle was measured was changed to a water droplet, and the water contact angle θ 2 before post-baking and the water contact angle θ 3 after post-baking were measured in the same procedure.
The value after post-baking was used as an index for evaluating water repellency and ink repellency, and evaluated according to the following evaluation criteria. The allowable ranges are A rank and B rank. The evaluation results are shown in Table 3 below.
<Evaluation criteria>
Rank A: ink contact angle ≧ 50 °, water contact angle ≧ 100 °
Rank B: Ink contact angle ≧ 40 °, water contact angle ≧ 90 °
C rank: ink contact angle ≧ 35 °, water contact angle ≧ 80 °
D rank: ink contact angle <35 °, water contact angle <80

(2)離画壁の基板密着性
上記「離画壁の形成」において同条件で露光工程までを終了したガラス基板3枚を用意し、現像時間を90秒、100秒、110秒と長くして処理を行なったこと以外は同様の現像条件にて現像処理し、それぞれの現像時間での離画壁の欠けの発生の有無を、1000画素分目視により下記評価基準にしたがって評価した。許容範囲は、Aランク及びBランクである。評価結果は下記表3に示す。
〈評価基準〉
・Aランク:離画壁欠けは全くなかった。
・Bランク:離画壁欠けは1〜2箇所であった。
・Cランク:離画壁欠けは3〜10箇所であった。
・Dランク:離画壁欠けは11箇所以上であった。
(2) Substrate Adhesion of Separation Wall Prepare three glass substrates that have been subjected to the exposure process under the same conditions in “Formation of Separation Wall”, and increase the development time to 90 seconds, 100 seconds, and 110 seconds. Except for the above processing, development was performed under the same development conditions, and the presence or absence of chipping of the separation wall at each development time was evaluated according to the following evaluation criteria by visual observation for 1000 pixels. The allowable ranges are A rank and B rank. The evaluation results are shown in Table 3 below.
<Evaluation criteria>
-Rank A: No separation wall was missing.
-B rank: The image separation wall chip was 1-2 places.
-C rank: The image separation wall chip was 3-10 places.
-D rank: There were 11 or more image separation wall defects.

(3)液晶表示装置の表示ムラ
上記で作製した液晶表示装置について、グレイのテスト信号を入力させたときのグレイ表示を目視にて観察し、表示ムラの発生の有無を下記評価基準にしたがって評価した。
〈評価基準〉
・Aランク:表示ムラはなく、非常に良好な表示画像が得られた。
・Bランク:ガラス基板のふち部分に微かにムラがあったものの、表示部への影響はなく表示画像は良好であった。
・Cランク:表示部に微かにムラがみられたが、実用上許容範囲内であった。
・Dランク:表示部にムラがみられた。
(3) Display unevenness of liquid crystal display device For the liquid crystal display device produced above, the gray display when a gray test signal is inputted is visually observed, and the presence or absence of display unevenness is evaluated according to the following evaluation criteria. did.
<Evaluation criteria>
A rank: There was no display unevenness and a very good display image was obtained.
Rank B: Although the edge of the glass substrate was slightly uneven, there was no effect on the display part and the display image was good.
-C rank: Although the display portion was slightly uneven, it was within a practically acceptable range.
-D rank: The display part was uneven.

(実施例2)
実施例1において、含フッ素化合物(1)の含有量を5%から1%に変更したこと以外、実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物K2を調製し、カラーフィルタ、液晶表示装置を作製すると共に、同様の評価を行なった。評価結果は下記表3に示す。
(Example 2)
A photosensitive resin composition K2 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the content of the fluorine-containing compound (1) was changed from 5% to 1% in Example 1, and a color filter and a liquid crystal display device were prepared. And the same evaluation was performed. The evaluation results are shown in Table 3 below.

(実施例3)
実施例1において、含フッ素化合物(1)の含有量を5%から0.1%に変更したこと以外、実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物K3を調製し、カラーフィルタ、液晶表示装置を作製すると共に、同様の評価を行なった。評価結果は下記表3に示す。
(Example 3)
A photosensitive resin composition K3 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the content of the fluorine-containing compound (1) was changed from 5% to 0.1% in Example 1, and a color filter, liquid crystal A display device was fabricated and the same evaluation was performed. The evaluation results are shown in Table 3 below.

(実施例4〜16)
実施例2において、含フッ素化合物(1)を、上記より得た本発明の含フッ素化合物(2)〜(14)〔本発明の含フッ素化合物〕に代えたこと以外、実施例2と同様にして、感光性樹脂組成物K4〜K16を調製し、カラーフィルタ、液晶表示装置を作製すると共に、同様の評価を行なった。評価結果は下記表3に示す。
(Examples 4 to 16)
Example 2 was the same as Example 2 except that the fluorine-containing compound (1) was replaced with the fluorine-containing compounds (2) to (14) of the present invention obtained above (the fluorine-containing compound of the present invention). Photosensitive resin compositions K4 to K16 were prepared to produce color filters and liquid crystal display devices, and the same evaluation was performed. The evaluation results are shown in Table 3 below.

(比較例1)
実施例2において、含フッ素化合物(1)を、前記比較用の含フッ素化合物(15)に代えたこと以外、実施例2と同様にして、感光性樹脂組成物K17を調製し、カラーフィルタ、液晶表示装置を作製すると共に、同様の評価を行なった。評価結果は下記表3に示す。
(Comparative Example 1)
In Example 2, a photosensitive resin composition K17 was prepared in the same manner as in Example 2 except that the fluorine-containing compound (1) was replaced with the comparative fluorine-containing compound (15), and a color filter, A liquid crystal display device was produced and the same evaluation was performed. The evaluation results are shown in Table 3 below.

(比較例2)
実施例2において、含フッ素化合物(1)を、前記比較用の含フッ素化合物(16)に代えたこと以外、実施例2と同様にして、感光性樹脂組成物K18を調製し、カラーフィルタ、液晶表示装置を作製すると共に、同様の評価を行なった。評価結果は下記表3に示す。
(Comparative Example 2)
In Example 2, a photosensitive resin composition K18 was prepared in the same manner as in Example 2 except that the fluorine-containing compound (1) was replaced with the comparative fluorine-containing compound (16), and a color filter, A liquid crystal display device was produced and the same evaluation was performed. The evaluation results are shown in Table 3 below.

Figure 2008208253
Figure 2008208253

前記表3に示すように、実施例では、加熱処理後の離隔壁上の撥水・撥インク性に優れており、混色の発生がなく、基板密着性も良好であった。また、液晶表示装置を作製して表示した際の表示ムラの発生も効果的に抑えられ、表示特性に優れた画像が得られた。
これに対し、比較例では、加熱処理後の離隔壁上の撥水・撥インク性に劣り、混色防止効果が不充分であり、また、基板密着性にも劣っていた。そのため、液晶表示装置では、表示ムラの発生のない画像表示が困難であった。
As shown in Table 3, in the examples, the water and ink repellency on the partition walls after the heat treatment was excellent, no color mixing occurred, and the substrate adhesion was good. In addition, the occurrence of display unevenness when a liquid crystal display device was produced and displayed was effectively suppressed, and an image having excellent display characteristics was obtained.
On the other hand, the comparative example was inferior in water and ink repellency on the partition wall after the heat treatment, had insufficient color mixing prevention effect, and inferior in substrate adhesion. For this reason, it has been difficult for the liquid crystal display device to display an image without display unevenness.

(実施例17)
無アルカリガラス基板(以下、単に「ガラス基板」という。)を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、さらに純水シャワーにより洗浄した。洗浄後、このガラス基板を基板予備加熱装置により100℃で2分間加熱した。
(Example 17)
An alkali-free glass substrate (hereinafter, simply referred to as “glass substrate”) was washed with a rotating brush having nylon hair while spraying a glass detergent solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds with a shower. Coupling solution (N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane 0.3% aqueous solution, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower, and further washed with a pure water shower. did. After cleaning, the glass substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating device.

シランカップリング処理後のガラス基板に、下記の感光性転写材料K1からカバーフィルムを除去して露出した感光性樹脂組成物層の表面を、該ガラス基板の表面と接するように重ね合わせ、ラミネータ(LamicII型、株式会社日立インダストリイズ製)を用いて、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。続いて、PET仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離して除去した。仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)を用いて、ガラス基板とマスク(画像パターンを有する石英露光マスク)とを垂直に立てた状態で、露光マスク面と感光性樹脂組成物層との間の距離を200μmに設定し、露光量70mJ/cmでパターン露光した。 On the glass substrate after the silane coupling treatment, the surface of the photosensitive resin composition layer exposed by removing the cover film from the photosensitive transfer material K1 described below is superposed so as to be in contact with the surface of the glass substrate, and a laminator ( Using a Lamic II type (manufactured by Hitachi Industries, Ltd.), lamination was performed at a rubber roller temperature of 130 ° C., a linear pressure of 100 N / cm, and a conveyance speed of 2.2 m / min. Subsequently, the PET temporary support was peeled and removed at the interface with the thermoplastic resin layer. After peeling off the temporary support, the glass substrate and the mask (quartz exposure mask having an image pattern) are set up vertically using a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp. Then, the distance between the exposure mask surface and the photosensitive resin composition layer was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 70 mJ / cm 2 .

次いで、KOH現像液〔富士フイルム(株)製のCDK−1(商品名)の100倍希釈液(pH=11.8)〕にて現像して、感光性樹脂組成物層の未露光部分及びその下の中間層、熱可塑性樹脂層を除去し、ガラス基板上にパターンを形成した。続いて、大気下アライナーにてガラス基板のパターン形成面側からガラス基板の全面を2000mJ/cmでポスト露光し、240℃で50分間ポストベークを行なった。以上により、光学濃度4.0の離画壁(ブラックマトリックス)を得た。 Subsequently, development was performed with a KOH developer (100-fold diluted solution (pH = 11.8) of CDK-1 (trade name) manufactured by FUJIFILM Corporation), and unexposed portions of the photosensitive resin composition layer and The underlying intermediate layer and the thermoplastic resin layer were removed, and a pattern was formed on the glass substrate. Subsequently, the entire surface of the glass substrate was post-exposed at 2000 mJ / cm 2 from the pattern forming surface side of the glass substrate with an aligner in the atmosphere, and post-baked at 240 ° C. for 50 minutes. Thus, a separation wall (black matrix) having an optical density of 4.0 was obtained.

その後、実施例1と同様にして、カラーフィルタ、液晶表示装置を作製すると共に、実施例1と同様の評価を行なった。評価結果は下記表4に示す。   Thereafter, in the same manner as in Example 1, a color filter and a liquid crystal display device were produced, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The evaluation results are shown in Table 4 below.

<感光性転写材料K1の作製>
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(PET仮支持体)上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方H1からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させて熱可塑性樹脂層を形成した。次に、形成された熱可塑性樹脂層上に、下記処方P1からなる中間層用塗布液を塗布、乾燥させて中間層(酸素遮断膜)を積層した。更に、この中間層上に実施例5で調製した感光性樹脂組成物K5を塗布、乾燥させ、ブラック(K)の感光性樹脂組成物層K5を積層した。このとき、感光性樹脂組成物K5中における含フッ素化合物(3)の固形分質量に対する割合は1.0%である。
このようにして、PET仮支持体の上に、乾燥膜厚が14.6μmの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が1.6μmの中間層と、乾燥膜厚が2.3μmの感光性樹脂組成物層とを積層し、さらに感光性樹脂組成物層の表面に保護フィルム(厚さ12μmポリプロピレンフィルム)を圧着することにより、仮支持体/熱可塑性樹脂層/中間層/感光性樹脂組成物層K2とが一体となった感光性転写材料K1を作製した。
<Preparation of photosensitive transfer material K1>
On a polyethylene terephthalate film (PET temporary support) having a thickness of 75 μm, using a slit nozzle, a coating solution for a thermoplastic resin layer having the following formulation H1 was applied and dried to form a thermoplastic resin layer. Next, on the formed thermoplastic resin layer, an intermediate layer coating solution having the following formulation P1 was applied and dried to laminate an intermediate layer (oxygen barrier film). Further, the photosensitive resin composition K5 prepared in Example 5 was applied on the intermediate layer and dried to laminate a black (K) photosensitive resin composition layer K5. At this time, the ratio with respect to solid content mass of the fluorine-containing compound (3) in the photosensitive resin composition K5 is 1.0%.
Thus, a thermoplastic resin layer having a dry film thickness of 14.6 μm, an intermediate layer having a dry film thickness of 1.6 μm, and a photosensitive resin having a dry film thickness of 2.3 μm on the PET temporary support. A temporary support / thermoplastic resin layer / intermediate layer / photosensitive resin composition is laminated by laminating the composition layer and further pressure-bonding a protective film (thickness 12 μm polypropylene film) to the surface of the photosensitive resin composition layer. A photosensitive transfer material K1 integrated with the layer K2 was produced.

(熱可塑性樹脂層用塗布液の処方H1)
・メタノール ・・・ 11.1部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・ 6.36部
・メチルエチルケトン ・・・ 52.4部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=55/11.7/4.5/28.8、分子量=10万、Tg≒70℃) ・・・ 5.83部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=63/37、平均分子量=1万、Tg≒100℃) ・・・ 13.6部
・2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン(新中村化学工業(株)製) ・・・ 9.1部
・前記界面活性剤1 ・・・ 0.54部
(Prescription H1 of coating solution for thermoplastic resin layer)
Methanol: 11.1 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate: 6.36 parts Methyl ethyl ketone: 52.4 parts Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (co-polymer) Polymerization composition ratio (molar ratio) = 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8, molecular weight = 100,000, Tg≈70 ° C.) 5.83 parts Styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization) Composition ratio (molar ratio) = 63/37, average molecular weight = 10,000, Tg≈100 ° C.) 13.6 parts 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane (Shin Nakamura) Chemical Industry Co., Ltd.) ... 9.1 parts-Surfactant 1 ... 0.54 parts

(中間層用塗布液の処方P1)
・ PVA205 ・・・ 32.2部
(ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、鹸化度=88%、重合度550)
・ポリビニルピロリドン ・・・ 14.9部
(アイエスピー・ジャパン社製、K−30)
・蒸留水 ・・・524部
・メタノール ・・・429部
(Prescription P1 of coating solution for intermediate layer)
-PVA205 ... 32.2 parts (polyvinyl alcohol, manufactured by Kuraray Co., Ltd., saponification degree = 88%, polymerization degree 550)
Polyvinylpyrrolidone: 14.9 parts (APS Japan, K-30)
・ Distilled water: 524 parts ・ Methanol: 429 parts

(実施例18〜20)
実施例17の感光性転写材料の作製において、含フッ素化合物(3)含む感光性樹脂組成物K2の代わりに、本発明における含フッ素化合物(7)、(9)、(11)をそれぞれ含む感光性樹脂組成物K9、K11、K13を用いた以外は実施例17と同様にして、感光性転写材料K2〜4を作製し、さらにカラーフィルタ、液晶表示装置を作製した。また、実施例1と同様の評価を行ない、その評価結果を下記表4に示した。
(Examples 18 to 20)
In the production of the photosensitive transfer material of Example 17, photosensitive materials each containing the fluorine-containing compounds (7), (9) and (11) in the present invention instead of the photosensitive resin composition K2 containing the fluorine-containing compound (3). Photosensitive transfer materials K2 to 4 were prepared in the same manner as in Example 17 except that the photosensitive resin compositions K9, K11, and K13 were used, and further, a color filter and a liquid crystal display device were manufactured. Further, the same evaluation as in Example 1 was performed, and the evaluation results are shown in Table 4 below.

Figure 2008208253
Figure 2008208253

前記表4に示すように、実施例では、加熱処理後の離隔壁上の撥水・撥インク性に優れており、混色の発生がなく、基板密着性も良好であった。また、液晶表示装置を作製して表示した際の表示ムラの発生も効果的に抑えられ、表示特性に優れた画像が得られた。   As shown in Table 4, in the examples, the water and ink repellency on the separation wall after the heat treatment was excellent, no color mixing occurred, and the substrate adhesion was good. In addition, the occurrence of display unevenness when a liquid crystal display device was produced and displayed was effectively suppressed, and an image having excellent display characteristics was obtained.

本発明において、離画壁上面、離画壁側面、基板上の凹部等を説明するためのカラーフィルタの断面図である。In the present invention, it is a cross-sectional view of a color filter for explaining a separation wall upper surface, a separation wall side surface, a concave portion on a substrate, and the like.

符号の説明Explanation of symbols

1 ・・・離画壁
2 ・・・着色画素(着色領域)
3 ・・・凹部
4 ・・・離画壁上面
5 ・・・離画壁側面
6 ・・・基板
1 ... image separation wall 2 ... colored pixels (colored areas)
3... Recessed portion 4... Separation wall upper surface 5... Separation wall side surface 6.

Claims (15)

(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位と、(b)下記一般式(B)で表される繰り返し単位とを有する含フッ素化合物を含む樹脂組成物。
Figure 2008208253

一般式(B)中、R21水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表し、R22は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基又は炭素数2〜5のアルカノイル基を表し、L21は単結合又は2価の有機連結基を表し、Xは塩素原子、臭素原子又は沃素原子を表し、Yはアリーレン基、2価のヘテロ環残基又はカルボニル基を表す。
(A) A resin composition comprising a fluorine-containing compound having a repeating unit having three or more fluorine atoms and (b) a repeating unit represented by the following general formula (B).
Figure 2008208253

In General Formula (B), R 21 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and R 22 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, or 2 carbon atoms. -5 represents an alkanoyl group, L 21 represents a single bond or a divalent organic linking group, X represents a chlorine atom, a bromine atom or an iodine atom, Y represents an arylene group, a divalent heterocyclic residue or a carbonyl group Represents a group.
前記(a)フッ素原子を3つ以上有する繰り返し単位は、炭素数4〜炭素数7のフルオロアルキル基を有する繰り返し単位であることを特徴とする請求項1に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the repeating unit (a) having 3 or more fluorine atoms is a repeating unit having a fluoroalkyl group having 4 to 7 carbon atoms. 前記一般式(B)におけるL21は、エステル結合及び/又はアミド結合を含む2価の有機連結基であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to claim 1 or 2, wherein L 21 in the general formula (B) is a divalent organic linking group containing an ester bond and / or an amide bond. 前記一般式(B)におけるL21は、単結合、アリーレン基又は2価のヘテロ環残基であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の樹脂組成物。 L 21 in the said general formula (B) is a single bond, an arylene group, or a bivalent heterocyclic residue, The resin composition of Claim 1 or Claim 2 characterized by the above-mentioned. 前記含フッ素化合物は、(c)酸性基を有する繰り返し単位を更に有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The said fluorine-containing compound further has a repeating unit which has (c) acidic group, The resin composition of any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned. 1)開始剤と、2)バインダーと、3)エチレン性不飽和化合物とを更に含み、感光性を有することを特徴とする、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 5, further comprising 1) an initiator, 2) a binder, and 3) an ethylenically unsaturated compound, and having photosensitivity. object. 前記含フッ素化合物の、固形分中における含有量が0.1質量%〜10質量%であることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   Content of the said fluorine-containing compound in solid content is 0.1 mass%-10 mass%, The resin composition of any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned. カラーフィルタの作製に用いられることを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   It is used for preparation of a color filter, The resin composition of any one of Claims 1-7 characterized by the above-mentioned. 仮支持体上に、請求項6〜請求項8のいずれか1項に記載の樹脂組成物からなる感光性樹脂層を有する感光性転写材料。   The photosensitive transfer material which has the photosensitive resin layer which consists of a resin composition of any one of Claims 6-8 on a temporary support body. 基板の少なくとも一方の面に、請求項6〜請求項8のいずれか1項に記載の樹脂組成物、又は、請求項9に記載の感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、
前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、
露光された前記感光性樹脂層を現像して前記基板上にパターン画像を形成する現像工程と、
前記パターン画像を加熱処理する加熱処理工程と、
を少なくとも有する離画壁の形成方法。
Photosensitivity which forms the photosensitive resin layer in the at least one surface of a board | substrate using the resin composition of any one of Claims 6-8, or the photosensitive transfer material of Claim 9. A functional resin layer forming step;
An exposure step of exposing the photosensitive resin layer;
A developing step of developing the exposed photosensitive resin layer to form a pattern image on the substrate;
A heat treatment step of heat-treating the pattern image;
A separation wall having at least
請求項10に記載の離画壁の形成方法より形成された離画壁。   A separation wall formed by the method for forming a separation wall according to claim 10. 請求項11に記載の離画壁により区画された基板上の凹部に、着色液体組成物を付与する工程を有するカラーフィルタの製造方法。   The manufacturing method of the color filter which has the process of providing a colored liquid composition to the recessed part on the board | substrate divided by the separation wall of Claim 11. 前記着色液体組成物を付与する工程は、着色液体組成物の液滴をインクジェット法により付与して着色領域を形成する着色領域形成工程であることを特徴とする請求項12に記載のカラーフィルタの製造方法。   The step of applying the colored liquid composition is a colored region forming step of forming a colored region by applying a droplet of the colored liquid composition by an inkjet method. Production method. 請求項12又は13に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。   A color filter manufactured by the method for manufacturing a color filter according to claim 12. 請求項14に記載のカラーフィルタを備えた表示装置。   A display device comprising the color filter according to claim 14.
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