JP2008033229A - Photosensitive resin composition, photosensitive transfer material, partition wall and method for producing the same, color filter and method for manufacturing the same, and display device - Google Patents

Photosensitive resin composition, photosensitive transfer material, partition wall and method for producing the same, color filter and method for manufacturing the same, and display device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition capable of keeping good adhesion between a pattern image (e.g., a partition wall) formed therefrom and a substrate on which the pattern image is formed, while keeping the water- and ink-shedding properties of an upper surface of the pattern image (an exposed surface opposite to a surface being in contact with the substrate). <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition is characterized in that when a water contact angle of an upper surface of a pattern image formed using the photosensitive resin composition is measured in conformity to a method described in JIS R3257, a contact angle difference B°-A° is ≥20°, wherein A° is a water contact angle of the upper surface of the pattern image before heat treatment, and B° is a water contact angle of the upper surface of the pattern image after heating at 240°C for 50 min and standing to cool for 1 h. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、感光性転写材料、離画壁及びその製造方法、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a photosensitive transfer material, a separation wall and a manufacturing method thereof, a color filter and a manufacturing method thereof, and a display device.

近年、パーソナルコンピュータ用液晶ディスプレイ、液晶カラーテレビの需要が増加する傾向にあり、このようなディスプレイに不可欠のカラーフィルタの特性向上とコストダウンに対する要求が高まっている。
従来、カラーフィルタの製造方法としては、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法などが実施されている。
例えば、染色法は、透明基板上に染色用の材料である水溶性の高分子材料層を形成し、これをフォトリソグラフィ工程により所望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る。この工程を3回繰り返すことにより、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色の着色部からなる着色層を形成する方法である。
また、顔料分散法は、近年盛んに行われおり、透明基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングすることにより、単色のパターンを得る。この工程を3回繰り返すことにより、R、G、Bの3色の着色部からなる着色層を形成する方法である。
In recent years, the demand for liquid crystal displays for personal computers and liquid crystal color televisions has been increasing, and there has been an increasing demand for improved characteristics and cost reduction of color filters essential for such displays.
Conventionally, as a method for producing a color filter, a dyeing method, a pigment dispersion method, an electrodeposition method, a printing method, and the like have been performed.
For example, in the dyeing method, a water-soluble polymer material layer, which is a dyeing material, is formed on a transparent substrate, patterned into a desired shape by a photolithography process, and then the obtained pattern is immersed in a dyeing bath. To obtain a colored pattern. By repeating this step three times, a colored layer comprising three colored portions of R (red), G (green), and B (blue) is formed.
In addition, the pigment dispersion method has been actively performed in recent years, and a monochromatic pattern is obtained by forming a photosensitive resin layer in which a pigment is dispersed on a transparent substrate and patterning the same. By repeating this process three times, a colored layer composed of colored portions of R, G, and B is formed.

電着法は、透明基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第一の色を電着する。この工程を3回繰り返して、R、G、Bの3色の着色部からなる着色層を形成し、最後に焼成するものである。
印刷法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散し、印刷を3回繰り返すことにより、R、G、Bを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより、着色層を形成するものである。
これらのいずれの製造方法を用いた場合でも、得られた着色層の上に保護層を形成するのが一般的である。
これらの方法に共通している点は、赤色、緑色、青色の3色画素を形成するために、同一の工程を3回繰り返す必要があり、コスト高になることである。さらに、工程数が多いため、歩留まりが低下しやすいという問題も有している。
In the electrodeposition method, a transparent electrode is patterned on a transparent substrate and immersed in an electrodeposition coating solution containing a pigment, a resin, an electrolytic solution, etc., and the first color is electrodeposited. This process is repeated three times to form a colored layer composed of three colored portions of R, G, and B, and finally fired.
In the printing method, a pigment is dispersed in a thermosetting resin, printing is repeated three times, R, G, and B are separately applied, and then the resin is thermally cured to form a colored layer. .
In any of these production methods, a protective layer is generally formed on the obtained colored layer.
The point common to these methods is that it is necessary to repeat the same process three times in order to form red, green and blue three-color pixels, resulting in high costs. In addition, since the number of processes is large, there is a problem that the yield is likely to decrease.

これらを克服すべく、近年、ブラックマトリックス(離画壁)を顔料分散法で形成し、RGB画素をインクジェット法で作製するカラーフィルタ製造法が検討されている。このインクジェット方式は、ブラックマトリックス(離画壁)の凹部にR、G、B各色を順次付与して画素を形成する。インクジェット方式を利用した方法は、製造プロセスが簡略で、低コストであるという利点がある。
また、インクジェット方式はカラーフィルタの製造に限らず、エレクトロルミネッセンス素子など、他の光学素子の製造にも応用が可能である。
In order to overcome these problems, in recent years, a color filter manufacturing method in which a black matrix (separation wall) is formed by a pigment dispersion method and RGB pixels are manufactured by an ink jet method has been studied. In this ink jet method, pixels are formed by sequentially applying R, G, and B colors to the recesses of the black matrix (separation wall). The method using the ink jet method has an advantage that the manufacturing process is simple and the cost is low.
In addition, the inkjet method is not limited to the manufacture of color filters, but can also be applied to the manufacture of other optical elements such as electroluminescence elements.

前記インクジェット法において、隣り合う画素領域間におけるインクの混色等の発生や、所定の領域以外の部分にITO溶液や金属溶液が固まりこびりつく現象を防ぐ必要がある。したがって、隔壁(離画壁)は、インクジェットの塗出液である水や有機溶剤等をはじく性質、いわゆる撥水撥油性を有することが要求されている。   In the ink jet method, it is necessary to prevent the occurrence of ink color mixing between adjacent pixel regions and the phenomenon that the ITO solution or the metal solution clumps and sticks to portions other than the predetermined region. Therefore, the partition wall (separation wall) is required to have a property of repelling water or an organic solvent which is an ink-jet coating liquid, so-called water and oil repellency.

特許文献1には、フルオロアルキル基含有(メタ)アクリレート単量体とシリコーン鎖含有エチレン性不飽和単量体との共重合体を含有するフォトレジスト組成物が開示されており、前記共重合体の添加量はフォトレジスト組成物固形分に対して0.001〜0.05質量%である。   Patent Document 1 discloses a photoresist composition containing a copolymer of a fluoroalkyl group-containing (meth) acrylate monomer and a silicone chain-containing ethylenically unsaturated monomer, and the copolymer Is added in an amount of 0.001 to 0.05 mass% with respect to the solid content of the photoresist composition.

特許文献2には、フルオロアルキル基を有するビニル系単量体を含有する単量体組成物を重合して得られるビニル系重合体、感光性樹脂及び有機溶剤を含有するコーティング用組成物が開示されており、前記ビニル系重合体はフッ素原子を0.1〜5質量%含有する重合体であり、かつ、前記ビニル系重合体及び前記感光性樹脂の合計質量に対する前記ビニル系重合体の割合は0.25〜2.0質量%である。   Patent Document 2 discloses a coating composition containing a vinyl polymer obtained by polymerizing a monomer composition containing a vinyl monomer having a fluoroalkyl group, a photosensitive resin, and an organic solvent. The vinyl polymer is a polymer containing 0.1 to 5% by mass of fluorine atoms, and the ratio of the vinyl polymer to the total mass of the vinyl polymer and the photosensitive resin. Is 0.25 to 2.0 mass%.

特許文献3には、炭素数4〜6のフルオロアルキル基を有するビニル系単量体を含有する単量体組成物を重合して得られるビニル系重合体、感光体を含有するレジスト組成物が開示されており、前記ビニル系重合体はフッ素原子含有率が7〜35質量%であり、かつ、組成物の全固形分に対する含フッ素樹脂の割合は0.1〜30質量%である。さらに、共重合成分として末端封止型ポリエーテル構造についての記述は無い。   Patent Document 3 discloses a resist composition containing a vinyl polymer obtained by polymerizing a monomer composition containing a vinyl monomer having a C 4-6 fluoroalkyl group, and a photoreceptor. The vinyl polymer has a fluorine atom content of 7 to 35% by mass, and the ratio of the fluorine-containing resin to the total solid content of the composition is 0.1 to 30% by mass. Furthermore, there is no description about the end-capped polyether structure as a copolymerization component.

しかし、特許文献1に記載の共重合体の配合割合からなる組成物、特許文献2に記載のビニル系重合体の配合割合からなる組成物より形成される塗膜は、撥水撥油性が不足する。
さらに、特許文献3に記載のビニル系重合体では、現像液耐性及び現像時の密着性が不足する。
However, the coating film formed from the composition consisting of the blending ratio of the copolymer described in Patent Document 1 and the composition consisting of the blending ratio of the vinyl polymer described in Patent Document 2 is insufficient in water and oil repellency. To do.
Furthermore, the vinyl polymer described in Patent Document 3 lacks developer resistance and adhesion during development.

特開平9−54432号公報JP-A-9-54432 特開2004−2733号公報JP 2004-2733 A 特開2005−315984号公報JP 2005-315984 A

本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、パターン画像(例えば、離画壁)とした際に該パターン画像上面(基板と接する面の反対側の露出面)の撥水性及び撥インク性を保持しつつ、該パターン画像と該パターン画像が形成される基板との密着性を良好に保つことができる感光性樹脂組成物を提供することを目的とし該目的を達成することを課題とする。
また、本発明は、転写形成されたパターン画像(例えば、離画壁)の上面の撥水性及び撥インク性を保持しつつ、該パターン画像と該パターン画像が形成される基板との密着性を良好に保つことができ、塗布時の弾き(ハジキ)の発生が抑えられた均一な感光性樹脂層を有する感光性転写材料を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
さらに、本発明は、上面の撥水性及び撥インク性に優れ、インク打適時の離画壁上へのインク乗り上げを防ぎ、なおかつ基板との密着も良好な離画壁を提供すること、該離画壁を容易に形成しうる離画壁の製造方法を提供すること、混色、色むら等の発生が抑制された高品位なカラーフィルタ及びその簡易な製造方法を提供すること、並びに、表示ムラの発生が抑制された高品位な画像の表示が可能な表示装置を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems. When a pattern image (for example, a separation wall) is used, the upper surface of the pattern image (exposed surface opposite to the surface in contact with the substrate) has water repellency and The objective is to provide a photosensitive resin composition capable of maintaining good adhesion between the pattern image and the substrate on which the pattern image is formed while maintaining ink repellency. Let it be an issue.
In addition, the present invention maintains adhesion between the pattern image and the substrate on which the pattern image is formed while maintaining the water repellency and ink repellency of the upper surface of the transferred pattern image (for example, a separation wall). An object of the present invention is to provide a photosensitive transfer material having a uniform photosensitive resin layer that can be kept in good condition and suppressed generation of repelling at the time of application, and to achieve the object. .
Furthermore, the present invention provides a separation wall that is excellent in water repellency and ink repellency on the top surface, prevents ink from running on the separation wall when ink is suitable, and has good adhesion to the substrate. To provide a separation wall manufacturing method capable of easily forming an image wall, to provide a high-quality color filter in which the occurrence of color mixing and color unevenness is suppressed, a simple manufacturing method thereof, and display unevenness An object of the present invention is to provide a display device capable of displaying a high-quality image in which the occurrence of the above is suppressed, and to achieve the object.

本発明者等は鋭意検討の結果、フッ素プラズマ処理なしに離画壁上面と側面に撥インク性を付与するためには、ポストベーク前後で表面エネルギーが大きく上昇する組成物を用いることが有効であることを見出した。具体的には、特定の含フッ素化合物を用いた組成物を用いることで、フッ素プラズマ処理することなく上記課題を解決し、高品位なカラーフィルタを作製できることを見出し、本発明を完成した。
即ち、上記課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
As a result of intensive studies, the present inventors have found that it is effective to use a composition that greatly increases the surface energy before and after post-baking in order to impart ink repellency to the upper and side surfaces of the separation wall without fluorine plasma treatment. I found out. Specifically, the inventors have found that by using a composition using a specific fluorine-containing compound, the above-mentioned problems can be solved without fluorine plasma treatment, and a high-quality color filter can be produced, and the present invention has been completed.
That is, specific means for solving the above problems are as follows.

<1> 感光性樹脂組成物であって、該感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン画像上面の水接触角を、JIS R3257に記載の方法に準拠し測定した際、加熱処理を施す前のパターン画像上面の水接触角をA°、240℃で50分加熱処理し、1時間放冷した後のパターン画像上面の水接触角をB°としたとき、接触角差B°−A°が、20°以上であることを特徴とする感光性樹脂組成物である。 <1> A photosensitive resin composition, which is subjected to heat treatment when the water contact angle on the upper surface of a pattern image formed using the photosensitive resin composition is measured according to the method described in JIS R3257. When the water contact angle on the upper surface of the previous pattern image is A °, heat treatment at 240 ° C. for 50 minutes, and the water contact angle on the upper surface of the pattern image after allowing to cool for 1 hour is B °, the contact angle difference B ° −A The photosensitive resin composition is characterized in that the angle is 20 ° or more.

<2> 少なくとも、1)開始剤、2)バインダー、3)エチレン性不飽和化合物、4)色材、および5)含フッ素化合物を含む感光性樹脂組成物であって、該含フッ素化合物が、少なくともフッ素原子を側鎖に有する繰り返し単位を含み、該含フッ素化合物中のフッ素原子含有率が36〜70質量%であることを特徴とする感光性樹脂組成物である。 <2> A photosensitive resin composition containing at least 1) an initiator, 2) a binder, 3) an ethylenically unsaturated compound, 4) a coloring material, and 5) a fluorine-containing compound, wherein the fluorine-containing compound is: A photosensitive resin composition comprising a repeating unit having at least a fluorine atom in a side chain, wherein a fluorine atom content in the fluorine-containing compound is from 36 to 70% by mass.

<3> 前記含フッ素化合物が、(a)少なくともフッ素原子を側鎖に有する繰り返し単位と、(b)ポリエーテル構造を側鎖に有する繰り返し単位と、を含むことを特徴とする<2>に記載の感光性樹脂組成物である。
<4> 前記含フッ素化合物が、(a)少なくともフッ素原子を側鎖に有する繰り返し単位と、(b)ポリエーテル構造を側鎖に有する繰り返し単位と、(c)カルボン酸基を側鎖に有する繰り返し単位と、を含むことを特徴とする<2>又は<3>に記載の感光性樹脂組成物である。
<5> 前記(b)ポリエーテル構造を側鎖に有する繰り返し単位が、末端封止型のポリエーテル構造を持つことを特徴とする<3>又は<4>に記載の感光性樹脂組成物である。
<3> The <2> characterized in that the fluorine-containing compound includes (a) a repeating unit having at least a fluorine atom in a side chain and (b) a repeating unit having a polyether structure in a side chain. It is the photosensitive resin composition of description.
<4> The fluorine-containing compound has (a) a repeating unit having at least a fluorine atom in the side chain, (b) a repeating unit having a polyether structure in the side chain, and (c) a carboxylic acid group in the side chain. It is a photosensitive resin composition as described in <2> or <3> characterized by including a repeating unit.
<5> The photosensitive resin composition according to <3> or <4>, wherein the repeating unit (b) having a polyether structure in a side chain has an end-capped polyether structure. is there.

<6> 仮支持体上に、<1>〜<5>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を有する感光性転写材料である。
<7> 基板の少なくとも一方の面に、<1>〜<5>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物、もしくは<6>に記載の感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、
前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、
露光された前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、
前記現像して得られた感光性樹脂層からなるパターン画像を加熱処理する加熱処理工程と、
を少なくとも有することを特徴とする離画壁の製造方法である。
<8> <7>に記載の離画壁の製造方法より形成されたことを特徴とする離画壁である。
<6> A photosensitive transfer material having a photosensitive resin layer comprising the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <5> on a temporary support.
<7> A photosensitive resin layer on at least one surface of the substrate using the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <5> or the photosensitive transfer material according to <6>. Forming a photosensitive resin layer,
An exposure step of exposing the photosensitive resin layer;
A development step of developing the exposed photosensitive resin layer;
A heat treatment step of heat-treating a pattern image formed of the photosensitive resin layer obtained by the development;
It is a manufacturing method of the separation wall characterized by having at least.
<8> A separation wall formed by the method for producing a separation wall according to <7>.

<9> <8>に記載の離画壁が基板上を区画し、区画された基板上の凹部に、着色液体組成物を付与することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
<10> <9>に記載の着色液体組成物を付与する方法が、着色液体組成物の液滴をインクジェット法により付与して画素を形成する画素形成方法であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
<11> <9>又は<10>に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタである。
<12> <11>に記載のカラーフィルタを有する表示装置である。
<9> A method for producing a color filter, wherein the separation wall according to <8> partitions the substrate, and a colored liquid composition is applied to the recessed portion on the partitioned substrate.
<10> The method for applying a colored liquid composition according to <9> is a pixel forming method in which droplets of the colored liquid composition are applied by an inkjet method to form a pixel. It is a manufacturing method.
<11> A color filter manufactured by the method for manufacturing a color filter according to <9> or <10>.
<12> A display device having the color filter according to <11>.

本発明によれば、パターン画像(例えば、離画壁)とした際に該パターン画像上面(基板と接する面の反対側の露出面)の撥水性及び撥インク性を保持しつつ、該パターン画像と該パターン画像が形成される基板との密着性を良好に保つことができる感光性樹脂組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、転写形成されたパターン画像(例えば、離画壁)の上面の撥水性及び撥インク性を保持しつつ、該パターン画像と該パターン画像が形成される基板との密着性を良好に保つことができ、塗布時の弾き(ハジキ)の発生が抑えられた均一な感光性樹脂層を有する感光性転写材料を提供することができる。
さらに、本発明によれば、上面の撥水性及び撥インク性に優れ、インク打適時の離画壁上へのインク乗り上げを防ぎ、なおかつ基板との密着も良好な離画壁を提供すること、該離画壁を容易に形成しうる離画壁の製造方法を提供すること、混色、色むら等の発生が抑制された高品位なカラーフィルタ及びその簡易な製造方法を提供すること、並びに、表示ムラの発生が抑制された高品位な画像の表示が可能な表示装置を提供することができる。
According to the present invention, when a pattern image (for example, a separation wall) is used, the pattern image is maintained while maintaining the water repellency and ink repellency of the upper surface of the pattern image (exposed surface opposite to the surface in contact with the substrate). The photosensitive resin composition which can maintain favorable adhesiveness with the board | substrate with which this pattern image is formed can be provided.
In addition, according to the present invention, the pattern image and the substrate on which the pattern image is formed are adhered while maintaining the water repellency and ink repellency of the upper surface of the transferred pattern image (for example, the image separation wall). Therefore, it is possible to provide a photosensitive transfer material having a uniform photosensitive resin layer that can maintain good properties and suppress the occurrence of repelling during application.
Furthermore, according to the present invention, the separation wall is excellent in water repellency and ink repellency on the upper surface, prevents the ink from running on the separation wall at the time of ink hitting, and provides a separation wall with good adhesion to the substrate. Providing a method for producing a separation wall that can easily form the separation wall, providing a high-quality color filter in which the occurrence of color mixing, color unevenness, etc. is suppressed, and a simple production method thereof, and It is possible to provide a display device capable of displaying a high-quality image in which the occurrence of display unevenness is suppressed.

以下、本発明について詳細に説明する。
≪感光性樹脂組成物≫
本発明の感光性樹脂組成物は、少なくとも、1)開始剤、2)バインダー、3)エチレン性不飽和化合物、4)色材、および5)含フッ素化合物を含む感光性樹脂組成物であって、該含フッ素化合物が、少なくともフッ素原子を側鎖に有する繰り返し単位を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物であり、該含フッ素化合物中のフッ素原子含有率が36〜70質量%である。
本発明の感光性樹脂組成物は、上記構成としたことにより、該感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン画像上面の水接触角をJIS R3257に記載の方法に準拠し測定した場合であって、加熱処理を施す前のパターン画像上面の水接触角をA°、240℃50分の条件で加熱処理し、1時間放冷した後のパターン画像上面の水接触角をB°としたときの、接触角差B°−A°を20°以上とすることができる。
その結果、前記感光性樹脂組成物を用いて形成された離画壁上面の撥水性及び撥インク性を保持しつつ、該離画壁と該離画壁が形成された基板との密着性を良好に保つことができる。さらには、該離画壁を用いてカラーフィルタを作製することにより、混色、色むら等の発生を抑制することができる。
水接触角の詳細については後述する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
≪Photosensitive resin composition≫
The photosensitive resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition containing at least 1) an initiator, 2) a binder, 3) an ethylenically unsaturated compound, 4) a coloring material, and 5) a fluorine-containing compound. The fluorine-containing compound is a photosensitive resin composition comprising a repeating unit having at least a fluorine atom in a side chain, and the fluorine atom content in the fluorine-containing compound is 36 to 70% by mass. .
Since the photosensitive resin composition of the present invention is configured as described above, the water contact angle on the upper surface of the pattern image formed using the photosensitive resin composition is measured according to the method described in JIS R3257. Then, the water contact angle on the upper surface of the pattern image before the heat treatment is A °, 240 ° C. for 50 minutes, and the water contact angle on the upper surface of the pattern image after cooling for 1 hour is B °. The contact angle difference B ° -A ° can be 20 ° or more.
As a result, while maintaining the water repellency and ink repellency of the upper surface of the separation wall formed using the photosensitive resin composition, adhesion between the separation wall and the substrate on which the separation wall is formed is improved. Can keep good. Furthermore, by producing a color filter using the separation wall, it is possible to suppress the occurrence of color mixing and color unevenness.
Details of the water contact angle will be described later.

1)開始剤
本発明の感光性樹脂組成物は、開始剤を少なくとも1種含有する。
感光性樹脂組成物を硬化させる方法としては、熱開始剤を用いる熱開始系や光開始剤を用いる光開始系が一般的であるが、本発明では硬化後の離画壁を後述するような形状とすることが重要であることから、光開始系を用いることが好ましい。ここで用いる光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の照射(露光ともいう)により、後述の多官能性モノマーの重合を開始する活性種を発生し得る化合物であり、公知の光重合開始剤若しくは光重合開始剤系の中から適宜選択することができる。
例えば、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、等を挙げることができる。
1) Initiator The photosensitive resin composition of the present invention contains at least one initiator.
As a method for curing the photosensitive resin composition, a heat initiation system using a thermal initiator and a photoinitiation system using a photoinitiator are generally used. In the present invention, a separation wall after curing will be described later. Since it is important to use a shape, it is preferable to use a photoinitiating system. The photopolymerization initiator used here generates an active species that initiates polymerization of a polyfunctional monomer, which will be described later, upon irradiation with radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, or X-ray (also referred to as exposure). It is a compound to be obtained and can be appropriately selected from known photopolymerization initiators or photopolymerization initiator systems.
For example, trihalomethyl group-containing compounds, acridine compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, diazo compounds Compound, etc. can be mentioned.

具体的には、特開2001−117230公報に記載の、トリハロメチル基が置換したトリハロメチルオキサゾール誘導体又はs−トリアジン誘導体、米国特許第4239850号明細書に記載のトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第4212976号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾール化合物などのトリハロメチル基含有化合物;   Specifically, a trihalomethyl group-substituted trihalomethyloxazole derivative or s-triazine derivative described in JP-A No. 2001-117230, a trihalomethyl-s-triazine compound described in US Pat. No. 4,239,850, A trihalomethyl group-containing compound such as the trihalomethyloxadiazole compound described in Japanese Patent No. 4221976;

9−フェニルアクリジン、9−ピリジルアクリジン、9−ピラジニルアクリジン、1,2−ビス(9−アクリジニル)エタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパン、1,4−ビス(9−アクリジニル)ブタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,6−ビス(9−アクリジニル)ヘキサン、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン、1,8−ビス(9−アクリジニル)オクタン、1,9−ビス(9−アクリジニル)ノナン、1,10−ビス(9−アクリジニル)デカン、1,11−ビス(9−アクリジニル)ウンデカン、1,12−ビス(9−アクリジニル)ドデカン等のビス(9−アクリジニル)アルカン、などのアクリジン系化合物; 9-phenylacridine, 9-pyridylacridine, 9-pyrazinylacridine, 1,2-bis (9-acridinyl) ethane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, 1,4-bis (9-acridinyl) ) Butane, 1,5-bis (9-acridinyl) pentane, 1,6-bis (9-acridinyl) hexane, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,8-bis (9-acridinyl) octane 1,9-bis (9-acridinyl) nonane, 1,10-bis (9-acridinyl) decane, 1,11-bis (9-acridinyl) undecane, 1,12-bis (9-acridinyl) dodecane, etc. Acridine compounds such as bis (9-acridinyl) alkane;

6−(p−メトキシフェニル)−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、6−〔p−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンなどのトリアジン系化合物;その他、9,10−ジメチルベンズフェナジン、ミヒラーズケトン、ベンゾフェノン/ミヒラーズケトン、ヘキサアリールビイミダゾール/メルカプトベンズイミダゾール、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン/アミン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールなどが挙げられる。 6- (p-methoxyphenyl) -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis ( Triazine compounds such as trichloromethyl) -s-triazine; 9,10-dimethylbenzphenazine, Michler's ketone, benzophenone / Michler's ketone, hexaarylbiimidazole / mercaptobenzimidazole, benzyldimethyl ketal, thioxanthone / amine, 2,2 ′ -Bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like.

上記のうち、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物から選択される少なくとも一種が好ましく、特に、トリハロメチル基含有化合物及びアクリジン系化合物から選択される少なくとも一種を含有することが好ましい。トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物は、汎用性でかつ安価である点でも有用である。
特に好ましいのは、トリハロメチル基含有化合物としては、2−トリクロロメチル−5−(4−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾールであり、アクリジン系化合物としては、9−フェニルアクリジンであり、更に、6−〔4−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、6−〔4’−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)−3’−ブロモフェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−ブトキシスチリル)−5−トリクロロメチル−1,3,4−オキサジアゾールなどのトリハロメチル基含有化合物、及びミヒラーズケトン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールである。
Among the above, at least one selected from a trihalomethyl group-containing compound, an acridine compound, an acetophenone compound, a biimidazole compound, and a triazine compound is preferable, and particularly selected from a trihalomethyl group-containing compound and an acridine compound. It is preferable to contain at least one kind. Trihalomethyl group-containing compounds and acridine compounds are also useful in that they are versatile and inexpensive.
Particularly preferable as the trihalomethyl group-containing compound is 2-trichloromethyl-5- (4-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole, and as the acridine compound, 9-phenylacridine is preferable. Further, 6- [4- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 6- [4 ′-(N, N— Bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) -3'-bromophenyl] -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-butoxystyryl) -5-trichloromethyl-1,3,4 Trihalomethyl group-containing compounds such as oxadiazole, and Michler's ketone, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra Eniru 1,2' is a bi-imidazole.

前記光重合開始剤は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤の感光性樹脂組成物における総量としては、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)の0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜10質量%が特に好ましい。前記総量が、0.1質量%未満であると、組成物の光硬化の効率が低く露光に長時間を要することがあり、20質量%を超えると、現像する際に、形成された画像パターンが欠落したり、パターン表面に荒れが生じやすくなることがある。
なお、本発明において、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)とは、感光性樹脂組成物中の、溶剤を除いた全成分を意味する。
The said photoinitiator may be used independently and may use 2 or more types together. As a total amount in the photosensitive resin composition of the said photoinitiator, 0.1-20 mass% of the total solid (mass) of the photosensitive resin composition is preferable, and 0.5-10 mass% is especially preferable. When the total amount is less than 0.1% by mass, the photocuring efficiency of the composition is low and exposure may take a long time. When it exceeds 20% by mass, an image pattern formed during development is formed. May be lost or the pattern surface may be rough.
In the present invention, the total solid content (mass) of the photosensitive resin composition means all components excluding the solvent in the photosensitive resin composition.

前記光重合開始剤は、水素供与体を併用して構成されてもよい。該水素供与体としては、感度をより良化することができる点で、以下で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。ここでの「水素供与体」とは、露光により前記光重合開始剤から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物をいう。   The photopolymerization initiator may be configured using a hydrogen donor in combination. The hydrogen donor is preferably a mercaptan compound or an amine compound as defined below from the viewpoint that sensitivity can be further improved. The “hydrogen donor” herein refers to a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from the photopolymerization initiator by exposure.

前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、更に好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「メルカプタン系水素供与体」という)である。また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、更に好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「アミン系水素供与体」という)である。尚、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有していてもよい。   The mercaptan-based compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having one or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2, mercapto groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “ A mercaptan-based hydrogen donor). The amine compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having 1 or more, preferably 1 to 3, and more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “the amine compound”). , Referred to as “amine-based hydrogen donor”). These hydrogen donors may have a mercapto group and an amino group at the same time.

上記のメルカプタン系水素供与体の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン、等が挙げられる。これらのうち、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。   Specific examples of the mercaptan hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto-2. , 5-dimethylaminopyridine, and the like. Of these, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.

上記のアミン系水素供与体の具体例としては、4、4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4、4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げられる。これらのうち、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく、特に4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。   Specific examples of the amine-based hydrogen donor include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, ethyl. Examples include -4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile and the like. Of these, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone are preferable, and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable.

前記水素供与体は、単独で又は2種以上を混合して使用することができ、形成された画像が現像時に永久支持体上から脱落し難く、かつ強度及び感度も向上させ得る点で、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組合せて使用することが好ましい。   The hydrogen donor can be used alone or in admixture of two or more, and the formed image is less likely to fall off from the permanent support during development, and can be improved in strength and sensitivity. It is preferable to use a combination of one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors.

前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組合せの具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられる。より好ましい組合せは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンであり、特に好ましい組合せは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである。   Specific examples of the combination of the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-. Examples thereof include bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone. More preferred combinations are 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and a particularly preferred combination is 2-mercaptobenzobenzone. Thiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone.

前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体とを組合せた場合の、メルカプタン系水素供与体(M)とアミン系水素供与体(A)との質量比(M:A)は、通常1:1〜1:4が好ましく、1:1〜1:3がより好ましい。前記水素供与体の感光性樹脂組成物における総量としては、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)の0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜10質量%が特に好ましい。   When the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor are combined, the mass ratio (M: A) of the mercaptan hydrogen donor (M) to the amine hydrogen donor (A) is usually 1: 1-1: 4 is preferable, and 1: 1-1: 3 is more preferable. As a total amount in the photosensitive resin composition of the said hydrogen donor, 0.1-20 mass% of the total solid (mass) of the photosensitive resin composition is preferable, and 0.5-10 mass% is especially preferable.

2)バインダー
本発明の感光性樹脂組成物は、バインダーを少なくとも1種含有する。
本発明におけるバインダーとしては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−53836号公報及び特開昭59−71048号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、またこの他にも、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸との共重合体や、ベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよく、感光性樹脂組成物の全固形分に対する含有量は20〜50質量%が一般的であり、25〜45質量%が好ましい。
2) Binder The photosensitive resin composition of the present invention contains at least one binder.
The binder in the present invention is preferably a polymer having a polar group such as a carboxylic acid group or a carboxylic acid group in the side chain. Examples thereof include JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, JP-B-54-25957, JP-A-59-53836, and JP-A-57-36. A methacrylic acid copolymer, an acrylic acid copolymer, an itaconic acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid copolymer, a partially esterified maleic acid copolymer as described in JP-A-59-71048 Etc. Moreover, the cellulose derivative which has a carboxylic acid group in a side chain can also be mentioned, In addition to this, what added the cyclic acid anhydride to the polymer which has a hydroxyl group can also be used preferably. Further, as particularly preferred examples, copolymers of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid described in US Pat. No. 4,139,391, benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and other monomers And a multi-component copolymer. The binder polymer having these polar groups may be used alone, or may be used in the state of a composition used in combination with a normal film-forming polymer, and contained in the total solid content of the photosensitive resin composition. The amount is generally 20 to 50% by mass, and preferably 25 to 45% by mass.

3)エチレン性不飽和化合物
本発明の感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和化合物を少なくとも1種含有する。
エチレン性不飽和化合物としては、下記化合物を単独で又は他のモノマーとの組合わせて使用することができる。具体的には、t−ブチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、2−エチル−2−ブチル−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、1,4−ジイソプロペニルベンゼン、1,4−ジヒドロキシベンゼンジ(メタ)アクリレート、デカメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、スチレン、ジアリルフマレート、トリメリット酸トリアリル、ラウリル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、キシリレンビス(メタ)アクリルアミド、等が挙げられる。
3) Ethylenically unsaturated compound The photosensitive resin composition of the present invention contains at least one ethylenically unsaturated compound.
As the ethylenically unsaturated compound, the following compounds may be used alone or in combination with other monomers. Specifically, t-butyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, 2- Ethyl-2-butyl-propanediol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, polyoxy Ethylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tris (2- (meth) acryloyloxyethyl) isocyanurate, 1,4-diisopropenylbenzene, 1,4-dihydroxy Nzenji (meth) acrylate, decamethylene glycol di (meth) acrylate, styrene, diallyl fumarate, triallyl trimellitate, lauryl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, xylylenebis (meth) acrylamide, and the like.

また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート等のヒドロキシル基を有する化合物とヘキサメチレンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート等のジイソシアネートとの反応物も使用できる。
これらのうち、特に好ましいのは、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリス(2−アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレートである。
Moreover, reaction of a compound having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate and polyethylene glycol mono (meth) acrylate with a diisocyanate such as hexamethylene diisocyanate, toluene diisocyanate and xylene diisocyanate. Things can also be used.
Of these, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, and tris (2-acryloyloxyethyl) isocyanurate are particularly preferable.

エチレン性不飽和化合物の感光性樹脂組成物における含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)に対して、5〜80質量%が好ましく、10〜70質量%が特に好ましい。前記含有量が、5質量%未満であると、組成物の露光部でのアルカリ現像液への耐性が劣ることがあり、80質量%を越えると、感光性樹脂組成物としたときのタッキネスが増加してしまい、取扱い性に劣ることがある。   As content in the photosensitive resin composition of an ethylenically unsaturated compound, 5-80 mass% is preferable with respect to the total solid (mass) of the photosensitive resin composition, and 10-70 mass% is especially preferable. When the content is less than 5% by mass, the resistance to an alkali developer at the exposed portion of the composition may be inferior, and when it exceeds 80% by mass, the tackiness when a photosensitive resin composition is obtained. It may increase and may be inferior in handleability.

4)色材
本発明の感光性樹脂組成物は、色材を少なくとも1種含有する。
本発明に用いる色材としては、具体的には、特開2005−17716号公報[0038]〜[0054]に記載の顔料及び染料や、特開2004−361447号公報[0068]〜[0072]に記載の顔料や、特開2005−17521号公報[0080]〜[0088]に記載の着色剤を好適に用いることができる。
4) Coloring material The photosensitive resin composition of the present invention contains at least one coloring material.
Specific examples of the color material used in the present invention include pigments and dyes described in JP-A-2005-17716 [0038] to [0054], and JP-A-2004-361447 [0068] to [0072]. And the colorants described in JP-A-2005-17521 [0080] to [0088] can be suitably used.

本発明の感光性樹脂組成物には、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、離画壁に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、4酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができ、中でも、カーボンブラックが好ましい。公知の着色剤(染料、顔料)を使用することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが好ましい。
前記感光性樹脂組成物の全固形分中の色材の比率は、十分に現像時間を短縮する観点から、30〜70質量%であることが好ましく、40〜60質量%であることがより好ましく、50〜55質量%であることが更に好ましい。
For the photosensitive resin composition of the present invention, organic pigments, inorganic pigments, dyes, and the like can be suitably used. When the light-shielding property is required for the separation wall, carbon black, titanium oxide, and iron oxide. In addition to light-shielding agents such as metal oxide powders, metal sulfide powders, and metal powders, a mixture of pigments such as red, blue, and green can be used. Among these, carbon black is preferable. Known colorants (dyes and pigments) can be used. When using a pigment among the known colorants, it is preferable that the pigment is uniformly dispersed in the photosensitive resin composition.
The ratio of the coloring material in the total solid content of the photosensitive resin composition is preferably 30 to 70% by mass and more preferably 40 to 60% by mass from the viewpoint of sufficiently shortening the development time. More preferably, it is 50-55 mass%.

上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、有機溶媒(又はビヒクル)に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビヒクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分(バインダー)と、これを溶解希釈する成分(有機溶媒)とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、2000年、438頁に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献310頁記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
本発明で用いる色材(顔料)は、分散安定性の観点から、数平均粒径0.001〜0.1μmのものが好ましく、更に0.01〜0.08μmのものが好ましい。尚、ここでいう「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径をいい、また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この100個平均値をいう。
The pigment is desirably used as a dispersion. This dispersion can be prepared by adding and dispersing a composition obtained by previously mixing the pigment and the pigment dispersant in an organic solvent (or vehicle). The vehicle refers to a portion of a medium in which a pigment is dispersed when the paint is in a liquid state, and is a liquid portion that binds to the pigment and hardens the coating film (binder), and a component that dissolves and dilutes the portion. (Organic solvent). The disperser used for dispersing the pigment is not particularly limited. For example, a kneader described in Kazuzo Asakura, “Encyclopedia of Pigments”, first edition, Asakura Shoten, 2000, page 438, Known dispersing machines such as a roll mill, an atrider, a super mill, a dissolver, a homomixer, and a sand mill can be used. Further, fine grinding may be performed using frictional force by mechanical grinding described on page 310 of the document.
The color material (pigment) used in the present invention preferably has a number average particle size of 0.001 to 0.1 μm, more preferably 0.01 to 0.08 μm, from the viewpoint of dispersion stability. The “particle size” here means the diameter when the electron micrograph image of the particle is a circle of the same area, and the “number average particle size” is the above-mentioned particle size for many particles, This 100 average value is said.

5)含フッ素化合物
本発明の感光性樹脂組成物は、含フッ素化合物を少なくとも1種含有する。
〜(a)少なくともフッ素原子を側鎖に有する繰り返し単位〜
本発明における含フッ素化合物は、(a)少なくともフッ素原子を側鎖に有する繰り返し単位を含む。少なくともフッ素原子を側鎖に有する繰り返し単位としては、総炭素数4〜8のフッ化アルキル基が好ましく、直鎖でも分岐鎖でもよい。さらに好ましくは、下記構造式(A)が挙げられる。
5) Fluorine-containing compound The photosensitive resin composition of the present invention contains at least one fluorine-containing compound.
-(A) Repeating unit having at least fluorine atom in side chain-
The fluorine-containing compound in the present invention includes (a) a repeating unit having at least a fluorine atom in a side chain. The repeating unit having at least a fluorine atom in the side chain is preferably a fluorinated alkyl group having 4 to 8 carbon atoms, and may be linear or branched. More preferably, the following structural formula (A) is mentioned.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

上記構造式(A)中、Rは、水素原子、又は炭素数1〜5のアルキル基を表す。
上記構造式(A)中、aは、含フッ素化合物の全質量中に占める構造式(A)の質量の比率(質量%)を表す。aの具体的な範囲については後述する。
上記構造式(A)中、Xは、エーテル基、エステル基、アミド基、アリーレン基、又はヘテロ環残基を表す。
で表されるアリーレン基としては、総炭素数6〜20のアリーレン基が好ましく、例えば、フェニレン、ナフチレン、アントラセニレン、ビフェニレンが挙げられ、これらはo−、p−、m−置換でもよい。中でも、炭素数6〜12のアリーレン基がより好ましく、フェニレン、ビフェニレンは特に好ましい。
で表されるヘテロ環残基としては、例えば、窒素原子又は酸素原子を環の構成員として含む5員環、又は6員環が好ましく、ピリジン環、ピリミジン環、ピラジン環、チアゾール環、ベンゾチアゾール環、オキサゾール環、ベンゾオキサゾール環、イソオキサゾール環、ピラゾール環、イミダゾール環、キノリン環、チアジアゾール環等が好適であり、ピリジン環、チアジアゾール環がより好ましい。
上記のうち、Xとしては、下記連結基又は下記構造を有する連結基が好ましい。
In the structural formula (A), R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.
In the structural formula (A), a represents a mass ratio (mass%) of the structural formula (A) in the total mass of the fluorine-containing compound. A specific range of a will be described later.
In the structural formula (A), X 1 represents an ether group, an ester group, an amide group, an arylene group, or a heterocyclic residue.
The arylene group represented by X 1 is preferably an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, and examples thereof include phenylene, naphthylene, anthracenylene, and biphenylene, which may be o-, p-, or m-substituted. Among these, an arylene group having 6 to 12 carbon atoms is more preferable, and phenylene and biphenylene are particularly preferable.
The heterocyclic residue represented by X 1, for example, 5-membered ring, or a 6-membered ring is preferred containing a nitrogen atom or an oxygen atom as a member of the ring, a pyridine ring, a pyrimidine ring, a pyrazine ring, a thiazole ring, A benzothiazole ring, an oxazole ring, a benzoxazole ring, an isoxazole ring, a pyrazole ring, an imidazole ring, a quinoline ring, a thiadiazole ring, and the like are preferable, and a pyridine ring and a thiadiazole ring are more preferable.
Among the above, X 1 is preferably a linking group having the following linking group or the following structure.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

ここで、Rは、水素原子、総炭素数1〜12のアルキル基、又は総炭素数6〜20のアリール基を表す。
で表される総炭素数1〜12のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、ドデシル基などの無置換アルキル基、並びに、エーテル基、チオエーテル基、エステル基、アミド基、アミノ基、ウレタン基、ヒドロキシ基などの置換基を有する置換アルキル基が挙げられる。中でも、総炭素数1〜8のアルキル基が好ましく、メチル基、ブチル基、オクチル基はより好ましい。
で表される総炭素数6〜20のアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、メチルフェニル基、メトキシフェニル基、ノニルフェニル基が挙げられる。中でも、総炭素数6〜15のアリール基が好ましく、フェニル基、ノニルフェニル基はより好ましい。
Here, R X represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms in total, or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms in total.
The alkyl group having a total carbon number of 1 to 12 represented by R X, for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a hexyl group, an octyl group, an unsubstituted alkyl group such as a dodecyl group, and an ether And a substituted alkyl group having a substituent such as a group, a thioether group, an ester group, an amide group, an amino group, a urethane group and a hydroxy group. Among them, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms is preferable, and a methyl group, a butyl group, and an octyl group are more preferable.
The aryl group having a total carbon number of 6 to 20 represented by R X, for example, a phenyl group, a naphthyl group, methylphenyl group, methoxyphenyl group, nonyl phenyl group. Among them, an aryl group having 6 to 15 carbon atoms is preferable, and a phenyl group and a nonylphenyl group are more preferable.

上記構造式(A)中、Lとしては、下記連結基又は下記構造を有する連結基が好ましい。 In the structural formula (A), L 1 is preferably the following linking group or a linking group having the following structure.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

は、水素原子、メチル基を表す。
Yは、単結合、下記連結基、又は下記構造を有する連結基であることがより好ましい。
R Y represents a hydrogen atom or a methyl group.
Y is more preferably a single bond, the following linking group, or a linking group having the following structure.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

nは2〜20の整数を表し、好ましくは4〜12の整数を表す。
は、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基を表す。Rは、水素原子が好ましい。
n represents an integer of 2 to 20, preferably an integer of 4 to 12.
R 3 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. R 3 is preferably a hydrogen atom.

上記構造式(A)中、Rfは、フッ素を含む置換基を表す。さらに、下記含フッ素置換基、又は下記構造を有する含フッ素置換基であることが好ましい。   In the structural formula (A), Rf represents a substituent containing fluorine. Furthermore, a fluorine-containing substituent having the following structure or a fluorine-containing substituent having the following structure is preferable.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

mは1〜20の整数を表し、好ましくは、4〜12の整数を表す。   m represents an integer of 1 to 20, and preferably represents an integer of 4 to 12.

〜(b)ポリエーテル構造を側鎖に有する繰り返し単位〜
本発明における含フッ素化合物は、さらに、(b)ポリエーテル構造を側鎖に有する繰り返し単位を含んでもよい。ポリエーテル構造を側鎖に有する繰り返し単位としては、ポリエチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイド、ポリテトラヒドロフランなどが挙げられ、これらは複数組み合わされていてもよい。
さらに好ましくは、以下構造式(B)が挙げられる。
-(B) Repeating unit having polyether structure in side chain-
The fluorine-containing compound in the present invention may further contain (b) a repeating unit having a polyether structure in the side chain. Examples of the repeating unit having a polyether structure in the side chain include polyethylene oxide, polypropylene oxide, and polytetrahydrofuran, and a plurality of these may be combined.
More preferably, structural formula (B) is mentioned below.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

上記構造式(B)中、Rは、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基を表す。好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基をあらわす。
上記構造式(B)中、nは4〜40が好ましく、9〜30がより好ましい。さらに12〜24が特に好ましい。
上記構造式(B)中、bは、含フッ素化合物の全質量中に占める構造式(B)の質量の比率(質量%)を表す。bの具体的な範囲については後述する。
In the structural formula (B), R 2 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. Preferably, it represents a hydrogen atom, a methyl group or a hydroxymethyl group.
In the structural formula (B), n is preferably 4 to 40, and more preferably 9 to 30. Furthermore, 12-24 are especially preferable.
In the above structural formula (B), b represents the ratio (% by mass) of the mass of the structural formula (B) in the total mass of the fluorine-containing compound. A specific range of b will be described later.

上記構造式(B)中、Lは、単結合、二価の連結基が好ましい。二価の連結基としてさらに好ましくは、以下の構造式が好ましい。 In the structural formula (B), L 2 is preferably a single bond or a divalent linking group. The following structural formula is more preferable as the divalent linking group.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

としては、単結合が好ましい。 L 2 is preferably a single bond.

上記構造式(B)中、Mは、ポリエチレンオキサイドの繰り返し単位、ポリプロピレンオキサイドの繰り返し単位、ポリテトラヒドロフランの繰り返し単位をあらわす。さらに、Mとしては、以下の構造を有する基がより好ましい。   In the above structural formula (B), M represents a polyethylene oxide repeating unit, a polypropylene oxide repeating unit, and a polytetrahydrofuran repeating unit. Further, as M, a group having the following structure is more preferable.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

は、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基を表す。lは2〜20の整数を表し、より好ましくは、4〜12の整数を表す。
Mとして好ましくは、エチレンオキサイド鎖であり、Rは水素原子が好ましい。
R 5 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. l represents an integer of 2 to 20, more preferably an integer of 4 to 12.
M is preferably an ethylene oxide chain, and R 5 is preferably a hydrogen atom.

上記構造式(B)中、Rは、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、6〜15のアリール基を表す。
は、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、6〜15のアリール基を表し、アルキル基、アリール基は置換基を有していてもよい。
のアルキル基として好ましくは、メチル基、エチル基、プロピル基、ヘキシル基、オクチル基、オクタデシル基があげられ、好ましくは、メチル基、オクチル基が好ましい。
のアリール基として好ましくは、フェニル基、メチルフェニル基、ノニルフェニル基、メトキシフェニル基などが挙げられ、好ましくは、フェニル基、ノニルフェニル基が好ましい。
として好ましくは、アルキル基、アリール基であるものが好ましい。これらは末端封止型のポリエーテル構造と呼ばれ、この構造がもっとも好ましい。Rとしてさらに好ましくは、メチル基、フェニル基がもっとも好ましい。
In the structural formula (B), R 4 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 15 carbon atoms.
R 4 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 15 carbon atoms, and the alkyl group and aryl group may have a substituent.
Preferred examples of the alkyl group for R 4 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a hexyl group, an octyl group, and an octadecyl group, and a methyl group and an octyl group are preferred.
Preferred examples of the aryl group for R 4 include a phenyl group, a methylphenyl group, a nonylphenyl group, and a methoxyphenyl group, and a phenyl group and a nonylphenyl group are preferable.
R 4 is preferably an alkyl group or an aryl group. These are called end-capped polyether structures, and this structure is most preferred. R 4 is more preferably a methyl group or a phenyl group.

前記ポリエーテル構造を持つビニル化合物の市販品としては、日本油脂(株)製:ブレンマーPME200、PME550、PME1000、50POEP−800P、ALE800、PE1300、ANE1300、PSE−1300、PMEP−1200B041MA、PE350、PP800、新中村化学(株)製:NKエステルAM130G、M230G、M90G、M40G、AMP−60G、OC−18E、A−SAL−9E、A−CMP−5E、共栄社(株)製:ライトエステル041MAなどが挙げられる。   As a commercial item of the vinyl compound which has the said polyether structure, Nippon Oil & Fats Co., Ltd. product: BLEMMER PME200, PME550, PME1000, 50POEP-800P, ALE800, PE1300, ENE1300, PSE-1300, PMEP-1200B041MA, PE350, PP800, New Nakamura Chemical Co., Ltd .: NK Esters AM130G, M230G, M90G, M40G, AMP-60G, OC-18E, A-SAL-9E, A-CMP-5E, Kyoeisha Co., Ltd .: Light Ester 041MA It is done.

〜(c)カルボン酸基を側鎖に有する繰り返し単位〜
また、本発明における含フッ素化合物は、さらに、(c)カルボン酸基を側鎖に有する繰り返し単位を含んでもよい。カルボン酸基を側鎖に有する繰り返し単位としては、特に制限はなく、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、α−シアノ桂皮酸、アクリル酸ダイマー、水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは、適宜製造したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。
-(C) Repeating unit having a carboxylic acid group in the side chain-
Moreover, the fluorine-containing compound in the present invention may further contain (c) a repeating unit having a carboxylic acid group in the side chain. The repeating unit having a carboxylic acid group in the side chain is not particularly limited and may be appropriately selected from known ones. For example, (meth) acrylic acid, vinylbenzoic acid, maleic acid, maleic acid monoalkyl ester , Fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, α-cyanocinnamic acid, acrylic acid dimer, addition reaction product of hydroxyl group-containing monomer and cyclic acid anhydride, ω-carboxy-polycaprolactone mono (Meth) acrylate etc. are mentioned. As these, those produced as appropriate may be used, or commercially available products may be used.

前記水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物に用いられる水酸基を有する単量体としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。前記環状酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水フタル酸、シクロヘキサンジカルボン酸無水物等が挙げられる。   Examples of the monomer having a hydroxyl group used in the addition reaction product of the monomer having a hydroxyl group and a cyclic acid anhydride include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. Examples of the cyclic acid anhydride include maleic anhydride, phthalic anhydride, and cyclohexanedicarboxylic anhydride.

前記市販品としては、東亜合成化学工業(株)製:アロニックスM−5300、アロニックスM−5400、アロニックスM−5500、アロニックスM−5600、新中村化学工業(株)製:NKエステルCB−1、NKエステルCBX−1、共栄社油脂化学工業(株)製:HOA−MP、HOA−MS、大阪有機化学工業(株)製:ビスコート#2100等が挙げられる。これらの中でも、現像性に優れ、低コストである点で、下記構造式(C)で表される繰り返し単位、(メタ)アクリル酸等が好ましい。   As said commercial item, Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd .: Aronix M-5300, Aronix M-5400, Aronix M-5500, Aronix M-5600, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd .: NK Ester CB-1, NK ester CBX-1, manufactured by Kyoeisha Oil Chemical Co., Ltd .: HOA-MP, HOA-MS, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd .: Biscote # 2100, and the like. Among these, a repeating unit represented by the following structural formula (C), (meth) acrylic acid, and the like are preferable in terms of excellent developability and low cost.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

但し、前記構造式(C)中、Rは、水素原子、又はメチル基を表す。
上記構造式(C)中、cは、含フッ素化合物の全質量中に占める構造式(C)の質量の比率(質量%)を表す。cの具体的な範囲については後述する。
However, in the structural formula (C), R 6 represents a hydrogen atom or a methyl group.
In the structural formula (C), c represents a mass ratio (mass%) of the structural formula (C) in the total mass of the fluorine-containing compound. A specific range of c will be described later.

本発明の含フッ素化合物が、上記構造式(A)を含む場合、構造式(A)中のaの具体的な範囲としては、40〜85質量%が好ましく、50〜85質量%がより好ましく、50〜80質量%が最も好ましい。
本発明の含フッ素化合物が、上記構造式(B)を含む場合、構造式(B)中のbの具体的な範囲としては、10〜50質量%が好ましく、15〜50質量%がより好ましく、20〜50質量%が最も好ましい。
本発明の含フッ素化合物が、上記構造式(C)を含む場合、構造式(C)中のcの具体的な範囲としては、0.1〜50質量%が好ましく、1〜40質量%がより好ましく、1〜30質量%が最も好ましい。
When the fluorine-containing compound of the present invention contains the above structural formula (A), the specific range of a in the structural formula (A) is preferably 40 to 85 mass%, more preferably 50 to 85 mass%. 50 to 80% by mass is most preferable.
When the fluorine-containing compound of the present invention contains the above structural formula (B), the specific range of b in the structural formula (B) is preferably 10 to 50% by mass, and more preferably 15 to 50% by mass. 20-50 mass% is the most preferable.
When the fluorine-containing compound of the present invention contains the above structural formula (C), the specific range of c in the structural formula (C) is preferably 0.1 to 50% by mass, and 1 to 40% by mass. More preferably, 1-30 mass% is the most preferable.

上記含フッ素化合物中のフッ素原子含有率は36〜70質量%が必須であり、より好ましくは36〜65質量%であり、36〜60質量%が最も好ましい。含フッ素化合物中のフッ素原子含有率が36質量%より低い場合、画素部形成のためのインク打適時に離画壁上へのインク乗り上げが発生する懸念があり、70質量%より高い場合には、合成時に含フッ素化合物が析出したり、樹脂の組成物への溶解が困難になる場合がある。   The fluorine atom content in the fluorine-containing compound is essentially 36 to 70% by mass, more preferably 36 to 65% by mass, and most preferably 36 to 60% by mass. When the fluorine atom content in the fluorine-containing compound is lower than 36% by mass, there is a concern that ink may run on the separation wall when ink is applied for forming the pixel portion. In some cases, the fluorine-containing compound may be precipitated during the synthesis or it may be difficult to dissolve the resin in the composition.

また、上記含フッ素化合物の添加量は、感光性樹脂組成物中の全固形分に対し0.01〜30質量%が好ましく、より好ましくは0.05〜20質量%であり、0.1〜10質量%が最も好ましい。含フッ素化合物の添加量が、感光性樹脂固形分に対し0.01質量%より低い場合、画素部形成のためのインク打適時に離画壁上へのインク乗り上げが発生する懸念があり、30質量%より高い場合には、塗布密着性や離画壁濃度が低くなり、望みの離画壁を作製できない場合がある。   The amount of the fluorine-containing compound added is preferably 0.01 to 30% by mass, more preferably 0.05 to 20% by mass with respect to the total solid content in the photosensitive resin composition. 10% by mass is most preferred. When the addition amount of the fluorine-containing compound is lower than 0.01% by mass with respect to the solid content of the photosensitive resin, there is a concern that ink may run on the separation wall when ink is applied for forming the pixel portion. When the content is higher than mass%, the coating adhesion and the separation wall concentration are lowered, and the desired separation wall may not be produced.

以下、本発明に係る含フッ素化合物の具体例〔例示化合物(1)〜(36)〕を示す。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。なお、各成分の組成比(a、b、c)については、前記好ましい組成比の範囲で選択することができる。   Specific examples of the fluorine-containing compound according to the present invention [Exemplary compounds (1) to (36)] are shown below. However, the present invention is not limited to these. In addition, about the composition ratio (a, b, c) of each component, it can select within the range of the said preferable composition ratio.

Figure 2008033229
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Figure 2008033229
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Figure 2008033229
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前記感光性樹脂組成物には、上記1)〜5)の成分の他に、下記の溶媒、界面活性剤、熱重合防止剤、紫外線吸収剤等を添加することができる。また、その他にも、特開平11−133600号公報に記載の「接着助剤」や、その他の添加剤等を含有させることができる。   In addition to the components 1) to 5) described above, the following solvents, surfactants, thermal polymerization inhibitors, ultraviolet absorbers and the like can be added to the photosensitive resin composition. In addition, “adhesion aid” described in JP-A-11-133600, other additives, and the like can be contained.

−溶媒−
本発明における感光性樹脂組成物においては、上記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
-Solvent-
In the photosensitive resin composition in the present invention, an organic solvent may be further used in addition to the above components. Examples of the organic solvent include methyl ethyl ketone, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclohexanone, cyclohexanol, methyl isobutyl ketone, ethyl lactate, methyl lactate, caprolactam and the like.

−界面活性剤−
本発明の感光性樹脂組成物においては、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラを効果的に防止するという観点から、該感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。
上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
-Surfactant-
In the photosensitive resin composition of the present invention, it is preferable to contain an appropriate surfactant in the photosensitive resin composition from the viewpoint of being able to control to a uniform film thickness and effectively preventing coating unevenness. .
Preferred examples of the surfactant include surfactants disclosed in JP-A Nos. 2003-337424 and 11-133600.

−熱重合防止剤−
本発明における感光性樹脂組成物は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
-Thermal polymerization inhibitor-
The photosensitive resin composition in the present invention preferably contains a thermal polymerization inhibitor. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl). -6-t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, phenothiazine and the like.

−紫外線吸収剤−
本発明における感光性樹脂組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平5−72724号公報記載の化合物のほか、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3’,5’−ジ−t−4’−ヒドロキシベンゾエート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’−t−ブチル−5’−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、エチル−2−シアノ−3,3−ジフェニルアクリレート、2,2’−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピリジン)−セバケート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリデニル)−エステル、2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール、7−{[4−クロロ−6−(ジエチルアミノ)−5−トリアジン−2−イル]アミノ}−3−フェニルクマリン等が挙げられる。
-UV absorber-
The photosensitive resin composition in the present invention may contain an ultraviolet absorber as necessary. Examples of the UV absorber include salicylate-based, benzophenone-based, benzotriazole-based, cyanoacrylate-based, nickel chelate-based, hindered amine-based compounds, etc., in addition to the compounds described in JP-A-5-72724.
Specifically, phenyl salicylate, 4-t-butylphenyl salicylate, 2,4-di-t-butylphenyl-3 ′, 5′-di-t-4′-hydroxybenzoate, 4-t-butylphenyl salicylate 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2 '-Hydroxy-3'-t-butyl-5'-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, ethyl-2-cyano-3,3-diphenyl acrylate, 2,2'-hydroxy-4-methoxybenzophenone, nickel Dibutyldithiocarbamate, bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-pyridine) -Sebakei 4-t-butylphenyl salicylate, phenyl salicylate, 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine condensate, succinic acid-bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidenyl ) -Ester, 2- [2-hydroxy-3,5-bis (α, α-dimethylbenzyl) phenyl] -2H-benzotriazole, 7-{[4-chloro-6- (diethylamino) -5-triazine- 2-yl] amino} -3-phenylcoumarin and the like.

≪離画壁及びその製造方法≫
本発明に係る離画壁は、上記感光性樹脂組成物から形成される。離画壁は、2以上の画素群を離画するものであり、一般には黒(濃色)であることが多いが、黒に限定されるものではない。濃色とする着色物は、有機物(染料、顔料などの各種色素)が好ましい。
離画壁は、感光性樹脂組成物を貧酸素雰囲気下にて露光し、その後現像することにより形成することが好ましい。
かかる感光性樹脂組成物を光硬化させる際の貧酸素雰囲気下とは、不活性ガス下、減圧下、酸素を遮断しうる保護層下のことを指しており、これらは詳しくは以下の通りである。
≪Isolated wall and its manufacturing method≫
The image separation wall according to the present invention is formed from the photosensitive resin composition. The image separation wall separates two or more pixel groups and is generally black (dark color) in many cases, but is not limited to black. The dark colored product is preferably an organic material (various dyes such as dyes and pigments).
The image separation wall is preferably formed by exposing the photosensitive resin composition to an oxygen-poor atmosphere and then developing the photosensitive resin composition.
Under an oxygen-poor atmosphere when photo-curing such a photosensitive resin composition refers to an inert gas, a reduced pressure, and a protective layer that can block oxygen, and these are described in detail below. is there.

不活性ガスとは、N、H、CO、などの一般的な気体や、He、Ne、Arなどの希ガス類をいう。この中でも、安全性や入手の容易さ、コストの問題から、Nが好適に利用される。 The inert gas refers to a general gas such as N 2 , H 2 or CO 2 or a rare gas such as He, Ne or Ar. Among these, N 2 is preferably used because of safety, availability, and cost.

減圧下とは500hPa以下、好ましくは100hPa以下の状態を指す。   Under reduced pressure refers to a state of 500 hPa or less, preferably 100 hPa or less.

酸素を遮断しうる保護層とは、例えば、特開昭46−2121号や特公昭56−40824号の各公報に記載の、ポリビニルエーテル/無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポリアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性塩、スチレン/マレイン酸の共重合体、マレイネート樹脂、及びこれらの二種以上の組合せ等が挙げられる。これらの中でも特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンの組合せである。ポリビニルアルコールは鹸化率が80%以上であるものが好ましく、ポリビニルピロリドンの含有量はアルカリ可溶な樹脂層固形分の1〜75質量%が好ましく、より好ましくは1〜50質量%、更に好ましくは10〜40質量%である。
また、酸素を遮断しうる層としては各種フィルムを用いることもでき、たとえばPETをはじめとするポリエステル類、ナイロンをはじめとするポリアミド類、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA類)も好適に用いることができる。これらフィルムは必要に応じて延伸されたものでもよく、厚みは5〜300μmが適当であり、好ましくは20〜150μmである。また、離画壁を転写材料を用いて作製する場合、下記に記載の仮支持体を酸素を遮断しうる層として好適に用いることが可能である。
Examples of the protective layer capable of blocking oxygen include, for example, polyvinyl ether / maleic anhydride polymers, water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose described in JP-A Nos. 46-2121 and 56-40824. Water-soluble cellulose ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, various polyacrylamides, various water-soluble polyamides, water-soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, ethylene oxide polymers, various starches And a group of water-soluble salts thereof, styrene / maleic acid copolymers, maleate resins, and combinations of two or more thereof. Among these, a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone is particularly preferable. The polyvinyl alcohol preferably has a saponification rate of 80% or more, and the content of polyvinyl pyrrolidone is preferably 1 to 75% by mass, more preferably 1 to 50% by mass, and still more preferably the alkali-soluble resin layer solid content. It is 10-40 mass%.
In addition, various films can be used as the layer capable of blocking oxygen. For example, polyesters such as PET, polyamides such as nylon, and ethylene-vinyl acetate copolymers (EVAs) are also preferably used. be able to. These films may be stretched as necessary, and the thickness is suitably 5 to 300 μm, preferably 20 to 150 μm. When the separation wall is produced using a transfer material, the temporary support described below can be suitably used as a layer capable of blocking oxygen.

このようにして作製された酸素を遮断しうる保護層の酸素透過係数は2000cm/(m・day・atm)以下が好ましいが、100cm/(m・day・atm)以下であることがより好ましく、もっとも好ましくは50cm/(m・day・atm)以下である。
酸素透過率が2000cm/(m・day・atm)より多い場合は効率的に酸素を遮断することができないため、離画壁を所望の形状にすることが困難となることがある。
The oxygen permeability coefficient of the protective layer capable of blocking oxygen produced in this way is preferably 2000 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less, but 100 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less. Is more preferably 50 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less.
When the oxygen permeability is higher than 2000 cm 3 / (m 2 · day · atm), oxygen cannot be effectively blocked, and it may be difficult to make the separation wall into a desired shape.

<感光性転写材料>
かかる離画壁を容易且つ低コストで実現するものとして、仮支持体上に少なくとも前述の感光性樹脂組成物からなる層(以下、「感光性樹脂層」又は「感光性樹脂組成物層」と称することがある)を、有してなる感光性転写材料を使用するという手法がある。更に必要に応じて仮支持体と感光性樹脂組成物層との間に酸素を遮断しうる保護層(以下、「酸素遮断層」と称することがある。)を設けてもよく、このような材料を用いた場合、感光性樹脂組成物層は酸素遮断層に保護されるため自動的に貧酸素雰囲気下となる。そのため露光工程を不活性ガス下や減圧下で行う必要がなく、現状の工程をそのまま利用できる利点がある。感光性転写材料における酸素遮断層及び感光性樹脂組成物層を構成する材料は上述の通りである。
また、該仮支持体を「酸素を遮断しうる保護層」として用いてもよい。この場合は、上記酸素遮断層を設ける必要がなく、工程数を削減することが可能である。
<Photosensitive transfer material>
In order to realize such a separation wall easily and at low cost, a layer made of at least the above-mentioned photosensitive resin composition (hereinafter referred to as “photosensitive resin layer” or “photosensitive resin composition layer”) on a temporary support. There is a technique of using a photosensitive transfer material having the above. Further, a protective layer capable of blocking oxygen (hereinafter sometimes referred to as “oxygen blocking layer”) may be provided between the temporary support and the photosensitive resin composition layer as necessary. When the material is used, since the photosensitive resin composition layer is protected by the oxygen blocking layer, it automatically becomes an oxygen-poor atmosphere. Therefore, it is not necessary to perform the exposure process under an inert gas or under reduced pressure, and there is an advantage that the current process can be used as it is. The materials constituting the oxygen blocking layer and the photosensitive resin composition layer in the photosensitive transfer material are as described above.
Further, the temporary support may be used as “a protective layer capable of blocking oxygen”. In this case, it is not necessary to provide the oxygen barrier layer, and the number of steps can be reduced.

上記の感光性転写材料は、必要に応じて仮支持体と感光性樹脂組成物層との間(前記酸素遮断層を設ける場合には、仮支持体と該酸素遮断層との間)に熱可塑性樹脂層を有していてもよい。かかる熱可塑性樹脂層とは、アルカリ可溶性であって、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、該樹脂成分としては、実質的な軟化点が80℃以下であることが好ましい。このような熱可塑性樹脂層が設けられることにより、永久支持体との良好な密着性を発揮することができる。   The photosensitive transfer material may be heated between the temporary support and the photosensitive resin composition layer as necessary (between the temporary support and the oxygen barrier layer when the oxygen barrier layer is provided). You may have a plastic resin layer. Such a thermoplastic resin layer is alkali-soluble and includes at least a resin component, and the resin component preferably has a substantial softening point of 80 ° C. or less. By providing such a thermoplastic resin layer, good adhesion to the permanent support can be exhibited.

軟化点が80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、等が挙げられる。   Examples of alkali-soluble thermoplastic resins having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and acrylate copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylate copolymers, vinyltoluene and (meth) acrylic. Examples thereof include saponification products of acid ester copolymers, saponification products such as poly (meth) acrylic acid esters, and (meth) acrylic acid ester copolymers such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate.

熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に「プラスチック性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発行)による、軟化点が約80℃以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。   For the thermoplastic resin layer, at least one of the above-mentioned thermoplastic resins can be appropriately selected and used. Further, “Plastic Performance Handbook” (edited by the Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Industry Federation, published by the Industrial Research Council, Of those organic polymers having a softening point of about 80 ° C. or lower, issued on October 25, 1968), those soluble in an alkaline aqueous solution can be used.

また、軟化点が80℃以上の有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を80℃以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が80℃を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離型剤、等を加えることもできる。   In addition, for an organic polymer substance having a softening point of 80 ° C. or higher, by adding various plasticizers compatible with the polymer substance to the organic polymer substance, the substantial softening point is 80 ° C. or lower. It can also be used by lowering. In addition, these organic polymer substances include various polymers, supercooling substances, adhesion improvers or interfaces within the range where the substantial softening point does not exceed 80 ° C. for the purpose of adjusting the adhesive force with the temporary support. Activators, mold release agents, etc. can also be added.

好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェートを挙げることができる。   Specific examples of preferable plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, and biphenyl diphenyl phosphate.

上記の感光性転写材料における仮支持体としては、化学的及び熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン(登録商標)、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル等、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましい。前記仮支持体の厚みとしては、5〜300μmが適当であり、好ましくは20〜150μmである。この厚みが5μm未満では、仮支持体を剥離する際に破れやすくなる傾向があり、また、仮支持体を介して露光する場合は、300μmを超えると解像度が低下する傾向がある。
上記具体例の中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
The temporary support in the above photosensitive transfer material can be appropriately selected from those that are chemically and thermally stable and composed of a flexible substance. Specifically, a thin sheet such as Teflon (registered trademark), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, polyester, or a laminate thereof is preferable. As thickness of the said temporary support body, 5-300 micrometers is suitable, Preferably it is 20-150 micrometers. If the thickness is less than 5 μm, the temporary support tends to be easily broken when peeled off, and if the exposure is performed via the temporary support, the resolution tends to be lowered if the thickness exceeds 300 μm.
Among the above specific examples, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.

感光性樹脂組成物層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄いカバーシートを設けることが好ましい。カバーシートは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂組成物層から容易に分離されねばならない。カバーシート材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。尚、カバーシートの厚さは、4〜40μmが一般的であり、5〜30μmが好ましく、10〜25μmが特に好ましい。   A thin cover sheet is preferably provided on the photosensitive resin composition layer in order to protect it from contamination and damage during storage. The cover sheet may be made of the same or similar material as the temporary support, but it should be easily separated from the photosensitive resin composition layer. As the cover sheet material, for example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable. The thickness of the cover sheet is generally 4 to 40 μm, preferably 5 to 30 μm, particularly preferably 10 to 25 μm.

<基板>
本発明において、基板(永久支持体)としては、ガラス、セラミック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性で寸度安定性の良好なガラスや合成樹脂フィルムが挙げられる。
<Board>
In the present invention, as the substrate (permanent support), glass, ceramic, synthetic resin film or the like can be used. Particularly preferred are transparent glass and synthetic resin film having good dimensional stability.

<離画壁の製造方法>
本発明の離画壁の製造方法は、前記基板の少なくとも一方の面に(以下、単に「基板上に」ともいう)、前記感光性樹脂組成物、もしくは前記感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、前記現像して得られた感光性樹脂層からなるパターン画像を加熱処理する加熱処理工程と、を少なくとも有して構成される。
<Method for manufacturing separation wall>
The method for producing a separation wall according to the present invention is characterized in that the photosensitive resin composition or the photosensitive transfer material is used on at least one surface of the substrate (hereinafter also simply referred to as “on the substrate”). A photosensitive resin layer forming step for forming a resin layer; an exposure step for exposing the photosensitive resin layer; a developing step for developing the exposed photosensitive resin layer; and a photosensitive resin obtained by the development. A heat treatment step of heat-treating a pattern image formed of layers.

(感光性樹脂層形成工程)
感光性樹脂層形成工程においては、基板の少なくとも一方の面に、前述の感光性樹脂組成物を用いて、もしくは前記感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を形成する。
感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂層を形成する方法としては、特に限定はないが、例えば、スリット塗布等の公知の塗布方法により、基板上に前記感光性樹脂組成物を塗布することにより形成することができる。必要に応じて、塗布後にプリベークを行ってもよい。
感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を形成する方法としては、特に限定はないが、例えば、以下のようにして形成することができる。
(Photosensitive resin layer forming step)
In the photosensitive resin layer forming step, the photosensitive resin layer is formed on at least one surface of the substrate using the above-described photosensitive resin composition or the above-described photosensitive transfer material.
The method for forming the photosensitive resin layer using the photosensitive resin composition is not particularly limited. For example, the photosensitive resin composition is applied onto the substrate by a known coating method such as slit coating. Can be formed. As needed, you may pre-bake after application | coating.
The method for forming the photosensitive resin layer using the photosensitive transfer material is not particularly limited, and for example, it can be formed as follows.

仮支持体上に、酸素遮断層と、感光性樹脂層と、更に該感光性樹脂層上にカバーシートが設けられた感光性転写材料を用意する。まず、カバーシートを剥離除去した後、露出した感光性樹脂層の表面を永久支持体(基板)上に貼り合わせ、ラミネータ等を通して加熱、加圧して積層する(積層体)。ラミネータには、従来公知のラミネータ、真空ラミネータ等の中から適宜選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。
次いで、仮支持体と酸素遮断層との間で剥離し、前記積層体から仮支持体を除去することにより、基板上に感光性樹脂層と酸素遮断層とをこの順に形成することができる。
A photosensitive transfer material in which an oxygen blocking layer, a photosensitive resin layer, and a cover sheet is provided on the photosensitive resin layer is prepared on a temporary support. First, after removing and removing the cover sheet, the exposed surface of the photosensitive resin layer is bonded onto a permanent support (substrate) and laminated by heating and pressing through a laminator or the like (laminate). As the laminator, those appropriately selected from conventionally known laminators, vacuum laminators and the like can be used, and an auto-cut laminator can also be used in order to further increase the productivity.
Next, the photosensitive resin layer and the oxygen blocking layer can be formed in this order on the substrate by peeling between the temporary support and the oxygen blocking layer and removing the temporary support from the laminate.

(露光工程及び現像工程)
露光工程では、前記積層体の仮支持体除去後の除去面(酸素遮断層面)と、所望のフォトマスク(例えば、石英露光マスク)とが向き合うように配置し、該積層体とフォトマスクとを垂直に立てた状態で、露光マスク面と該酸素遮断層の間の距離を適宜(例えば、200μm)に設定し、露光する。
次いで、照射後所定の処理液を用いて現像処理を行い(現像工程)、引き続き必要に応じて、水洗処理して、パターン画像(離画壁パターン)を得る。
(Exposure process and development process)
In the exposure step, the removal surface (oxygen blocking layer surface) after removal of the temporary support of the laminate is arranged so that a desired photomask (for example, a quartz exposure mask) faces each other, and the laminate and the photomask are arranged. In the state of being set up vertically, the exposure mask surface and the distance between the oxygen blocking layer are appropriately set (for example, 200 μm) and exposed.
Subsequently, after the irradiation, development processing is performed using a predetermined processing solution (development process), and then, if necessary, washing treatment is performed to obtain a pattern image (separated wall pattern).

また、仮支持体を、酸素を遮断しうる保護層として用いる場合は、仮支持体を残したまま(剥離せずに)、該仮支持体と所望のフォトマスク(例えば、石英露光マスク)とが向き合うように配置し、積層体とフォトマスクとを垂直に立てた状態で、露光マスク面と該仮支持体の間の距離を適宜(例えば、200μm)に設定し、露光する。次いで、仮支持体を除去し、照射後所定の処理液を用いて現像処理して、引き続き必要に応じて、水洗処理して、パターン画像(離画壁パターン)を得る。   When the temporary support is used as a protective layer capable of blocking oxygen, the temporary support and a desired photomask (for example, a quartz exposure mask) are left with the temporary support remaining (without peeling). In a state where the laminated body and the photomask are set up vertically, the distance between the exposure mask surface and the temporary support is appropriately set (for example, 200 μm) and exposed. Next, the temporary support is removed, and after irradiation, development processing is performed using a predetermined processing solution, followed by washing with water as necessary to obtain a pattern image (separation wall pattern).

該露光としては、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(例えば、日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)等で行い、露光量としては適宜(例えば、300mJ/cm)選択することができる。
照射後所定の処理液を用いて現像処理する。現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。光照射に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。
前記現像の前には、純水をシャワーノズル等にて噴霧して、感光性樹脂組成物層又は酸素遮断層の表面を均一に湿らせることが好ましい。前記現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。
The exposure is performed, for example, with a proximity type exposure machine (for example, manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultrahigh pressure mercury lamp, and the exposure amount may be appropriately selected (for example, 300 mJ / cm 2 ). it can.
After the irradiation, development processing is performed using a predetermined processing solution. As the developer used in the development process, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is used, but it may be further added with a small amount of an organic solvent miscible with water. Examples of the light source used for the light irradiation include medium to ultrahigh pressure mercury lamps, xenon lamps, metal halide lamps, and the like.
Prior to the development, it is preferable to spray pure water with a shower nozzle or the like to uniformly wet the surface of the photosensitive resin composition layer or the oxygen barrier layer. As the developer used in the development process, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is used, but it may be further added with a small amount of an organic solvent miscible with water.

適当なアルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類(例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩類(例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。アルカリ性物質の濃度は、0.01〜30質量%が好ましく、pHは8〜14が好ましい。   Suitable alkaline substances include alkali metal hydroxides (eg, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (eg, sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (eg, sodium bicarbonate). , Potassium bicarbonate), alkali metal silicates (eg, sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (eg, sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, Examples include morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (for example, tetramethylammonium hydroxide), trisodium phosphate, and the like. The concentration of the alkaline substance is preferably 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably 8 to 14.

前記「水と混和性の有機溶剤」としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。水と混和性の有機溶剤の濃度は0.1〜30質量%が好ましい。更に、公知の界面活性剤を添加することもでき、該界面活性剤の濃度としては0.01〜10質量%が好ましい。   Examples of the “water-miscible organic solvent” include, for example, methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether. Benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like are preferable. . The concentration of the organic solvent miscible with water is preferably 0.1 to 30% by mass. Furthermore, a known surfactant can be added, and the concentration of the surfactant is preferably 0.01 to 10% by mass.

前記現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性樹脂組成物層の未硬化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤スポンジで擦るなどの方法を組合わせることができる。現像液の液温度は、通常室温(20℃)付近から40℃が好ましい。現像時間は、感光性樹脂組成物層の組成、現像液のアルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類と濃度、等に依るが、通常10秒〜2分程度である。短すぎると非硬化部(ネガ型の場合は非露光部)の現像が不充分となると同時に紫外線の吸光度も不充分となることがあり、長すぎると硬化部(ネガ型の場合は露光部)もエッチングされることがある。いずれの場合にも、離画壁形状を好適なものとすることが困難となる。現像処理の後に水洗工程を入れることも可能である。この現像工程にて、離画壁形状は前述のごとく形成される。   The developer can be used as a bath solution or a spray solution. When removing the uncured portion of the photosensitive resin composition layer, methods such as rubbing with a rotating brush or a wet sponge in the developer can be combined. The liquid temperature of the developer is usually preferably from about room temperature (20 ° C.) to 40 ° C. The development time is usually about 10 seconds to 2 minutes, although depending on the composition of the photosensitive resin composition layer, the alkalinity and temperature of the developer, and the type and concentration when an organic solvent is added. If the length is too short, the development of the non-cured portion (non-exposed portion in the case of the negative type) may be insufficient, and at the same time, the absorbance of the ultraviolet rays may be insufficient. May also be etched. In either case, it is difficult to make the separation wall shape suitable. It is also possible to put a water washing step after the development processing. In this developing step, the separating wall shape is formed as described above.

(加熱処理工程)
前記現像工程によって得られた感光性樹脂層からなるパターン画像(離画壁パターン)を加熱処理(ベーク処理ともいう)することにより、本発明の離画壁を得ることができる。
加熱処理は、露光及び現像により形成されたパターン画像(離画壁パターン)を加熱して硬化させるものである。
(Heat treatment process)
The image separation wall of the present invention can be obtained by subjecting a pattern image (image separation wall pattern) made of the photosensitive resin layer obtained by the development step to heat treatment (also referred to as baking treatment).
In the heat treatment, a pattern image (separation wall pattern) formed by exposure and development is heated and cured.

加熱処理の方法としては、従来公知の種々の方法を用いることができる。すなわち、例えば、複数枚の基板をカセットに収納してコンベクションオーブンで処理する方法、ホットプレートで1枚ずつ処理する方法、赤外線ヒーターで処理する方法、等である。   As a heat treatment method, various conventionally known methods can be used. That is, for example, a method of storing a plurality of substrates in a cassette and processing them with a convection oven, a method of processing one by one with a hot plate, a method of processing with an infrared heater, and the like.

また、ベーク温度(加熱温度)としては、通常150〜280℃であり、好ましくは180〜250℃である。加熱時間は、前記ベーク温度によって変動するが、ベーク温度を240℃とした場合には、10〜120分が好ましく、30〜90分がより好ましい。   Moreover, as baking temperature (heating temperature), it is 150-280 degreeC normally, Preferably it is 180-250 degreeC. The heating time varies depending on the baking temperature. When the baking temperature is 240 ° C., the heating time is preferably 10 to 120 minutes, and more preferably 30 to 90 minutes.

また、離画壁の形成方法における加熱処理工程においては、前記露光、現像工程によって形成された離画壁パターンを、不均一な膜減りを防止し、感光性樹脂層に含まれるUV吸収剤等の成分の析出を防止する観点から、加熱処理前にポスト露光を行なうようにしてもよい。加熱処理を施す前にポスト露光を行なうと、ラミネート時にかみこんだ微小な異物が膨れて欠陥となるのを効果的に防止することができる。   Further, in the heat treatment step in the method for forming the separation wall, the separation wall pattern formed by the exposure and development steps can be prevented from uneven film loss, UV absorbers contained in the photosensitive resin layer, etc. From the viewpoint of preventing the deposition of these components, post-exposure may be performed before the heat treatment. When post-exposure is performed before the heat treatment, it is possible to effectively prevent the minute foreign matter swelled during lamination from causing defects.

−ポスト露光−
ここで、前記ポスト露光について略説する。
ポスト露光に用いる光源としては、感光性樹脂層を硬化し得る波長領域の光(例えば、365nm、405nm)を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。
具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。
露光量としては、前記露光を補う露光量であればよく、通常は50〜5000mJ/cm2であり、好ましくは200〜2000mJ/cm2、更に好ましくは500〜1000mJ/cm2である。
-Post exposure-
Here, the post-exposure will be briefly described.
As the light source used for the post-exposure, any light source capable of irradiating light in a wavelength region capable of curing the photosensitive resin layer (for example, 365 nm, 405 nm) can be appropriately selected and used.
Specifically, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, etc. are mentioned.
The exposure may be an exposure to compensate for the exposure, is usually in the 50 to 5000 mJ / cm 2, preferably not 200~2000mJ / cm 2, more preferably a 500~1000mJ / cm 2.

<離画壁>
上記製造方法によって、本発明の離画壁を製造することができる。
尚、本発明の離画壁は、555nmにおいて高い光学濃度を有することが好ましく、更にその値は2.5以上が好ましく、2.5〜10.0がより好ましく、2.5〜6.0が更に好ましく、3.0〜5.0が特に好ましい。また、感光性樹脂組成物層は、好ましくは光開始系で硬化させる為、露光波長(一般には紫外域)に対する光学濃度も重要である。すなわち、その値は2.0〜10.0が好ましく、更には2.5〜6.0がより好ましく、3.0〜5.0が特に好ましい。前記好ましい範囲であると、離画壁形状が望みのものにすることができる。
また、上記のごとく形成される、本発明の離画壁の幅および高さは、幅(即ちカラーフィルタを形成した場合における画素と画素との間隔)が15〜100μmであることが好ましく、また高さ(即ち基板から離画壁の頂点までの距離)が1.0〜5.0μmであることが好ましい。
該離画壁の形状は、特開2006−154804号公報の段落番号[0054]〜[0055]に記載の形状が、本発明においても好適である。
<Illustrated wall>
The separation wall of the present invention can be manufactured by the above manufacturing method.
The separation wall of the present invention preferably has a high optical density at 555 nm, more preferably 2.5 or more, more preferably 2.5 to 10.0, and 2.5 to 6.0. Is more preferable, and 3.0 to 5.0 is particularly preferable. Further, since the photosensitive resin composition layer is preferably cured by a photoinitiating system, the optical density with respect to the exposure wavelength (generally the ultraviolet region) is also important. That is, the value is preferably 2.0 to 10.0, more preferably 2.5 to 6.0, and particularly preferably 3.0 to 5.0. If it is in the preferred range, the shape of the separation wall can be as desired.
The width and height of the separation wall of the present invention formed as described above are preferably 15 to 100 μm in width (that is, the interval between pixels when a color filter is formed). The height (that is, the distance from the substrate to the top of the separation wall) is preferably 1.0 to 5.0 μm.
As the shape of the separation wall, the shapes described in paragraph numbers [0054] to [0055] of JP-A No. 2006-154804 are also suitable in the present invention.

<パターン画像上面の接触角測定>
本発明では、加熱処理(ベーク処理ともいう)前後のパターン画像(例えば、離画壁)の水接触角変化が重要となる。ここでの接触角の測定方法は、財団法人・日本規格協会によるJIS規格に準拠した方法であり、具体的にはJIS R3257「基板ガラス表面のぬれ性試験方法」内の「6.静滴法」に記載された方法である。より具体的には、接触角測定器(協和界面科学(株)製の接触角計(CA−A))を使い、20メモリの大きさの水滴をつくり、針先から水滴を出して、パターン画像上面に接触させることにより、パターン画像上面に水滴を形成し、10秒静置後、接触角計の覗き穴から水滴の形状を観察し、25℃における接触角θを求めた。さらに、ここでいう「加熱処理後」とは240℃50分加熱後、1時間室温にて放冷した後のことを指している。
<Measurement of contact angle on top of pattern image>
In the present invention, the water contact angle change of pattern images (for example, separation walls) before and after heat treatment (also referred to as baking treatment) is important. The contact angle measurement method here is a method compliant with the JIS standard by the Japan Standards Association, and specifically, “6. Still-drop method” in JIS R3257 “Test method for wettability of substrate glass surface”. It is the method described in the above. More specifically, using a contact angle measuring device (contact angle meter (CA-A) manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) By contacting the upper surface of the image, water droplets were formed on the upper surface of the pattern image, and after standing for 10 seconds, the shape of the water droplets was observed from the viewing hole of the contact angle meter, and the contact angle θ at 25 ° C. was determined. Further, “after heat treatment” as used herein refers to after heating at 240 ° C. for 50 minutes and then allowing to cool at room temperature for 1 hour.

ここで、パターン画像上面について、離画壁の場合を例として図1を用いて説明する。
離画壁の上面とは、離画壁の表面のうち、基板と接する面に対し反対側の露出面をいう(図1に示す上面4)。
なお、離画壁の側面とは、離画壁の表面のうち、前記離画壁上面以外の表面をいう(図1に示す側面5)。また、基板上の凹部とは、離画壁側面と基板上の離画壁非形成面とからなる凹部をいう(図1に示す凹部3)。
Here, the upper surface of the pattern image will be described with reference to FIG.
The upper surface of the separation wall refers to the exposed surface on the opposite side of the surface of the separation wall that is in contact with the substrate (upper surface 4 shown in FIG. 1).
The side surface of the separation wall refers to the surface of the separation wall other than the top surface of the separation wall (side surface 5 shown in FIG. 1). Further, the concave portion on the substrate refers to a concave portion composed of a separation wall side surface and a separation wall non-forming surface on the substrate (the concave portion 3 shown in FIG. 1).

<接触角値>
本発明の感光性樹脂組成物は、該感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン画像(例えば、離画壁)上面の水接触角を、上記方法により測定した場合であって、加熱処理を施す前のパターン画像(例えば、加熱処理前の離画壁パターン)上面の水接触角をA°、240℃で50分加熱し、1時間放冷した後のパターン画像(例えば、離画壁)上面の水接触角をB°としたとき、接触角差B°−A°が、20°以上となることが必要である。
前記接触角差B°−A°としては、30°以上がより好ましく、40°以上が最も好ましい。
<Contact angle value>
The photosensitive resin composition of the present invention is a case where the water contact angle on the upper surface of a pattern image (for example, a separation wall) formed using the photosensitive resin composition is measured by the above method, and the heat treatment Pattern image (for example, separation wall before heating) The water contact angle on the upper surface of the pattern image (for example, separation wall pattern before heat treatment) is heated at A ° and 240 ° C. for 50 minutes and allowed to cool for 1 hour. ) When the water contact angle on the upper surface is B °, the contact angle difference B ° −A ° needs to be 20 ° or more.
The contact angle difference B ° −A ° is more preferably 30 ° or more, and most preferably 40 ° or more.

また、A°としては、離画壁と基板との密着性をより向上させる観点から、0〜60°が好ましく、0〜55°がより好ましく、0〜50°が特に好ましい。
また、B°としては、カラーフィルタを作製した際の混色をより効果的に抑制する観点から、65〜180°が好ましく、80〜180°がより好ましく、90〜180°が特に好ましい。
A ° is preferably 0 to 60 °, more preferably 0 to 55 °, and particularly preferably 0 to 50 ° from the viewpoint of further improving the adhesion between the separation wall and the substrate.
B ° is preferably 65 ° to 180 °, more preferably 80 ° to 180 °, and particularly preferably 90 ° to 180 ° from the viewpoint of more effectively suppressing color mixing when a color filter is produced.

≪カラーフィルタ及びその製造方法≫
本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記離画壁を有する基板を用い、該離画壁によって区画された基板上の凹部(画素形成用の領域)に2色以上の着色液体組成物を付与し、2色以上の複数の着色画素(例えば赤、緑、青、白、紫など)からなる着色画素群を形成することを特徴とする。上記着色感光性樹脂組成物を付与する方法としては、特に限定されるものではなくインクジェット法やスリットコート法やトライプギーサー塗布法など公知の方法を適宜用いることができるが、特に本発明においては、インクジェット法を用いることが好ましい。前記ストライプギーサー塗布法は、細かな液滴吐出用の穴が開いたギーサーを用いて液滴を基板上に付与し、ストライプ状の画素を形成する方法である。
≪Color filter and its manufacturing method≫
The method for producing a color filter of the present invention uses a substrate having the separation wall, and applies a colored liquid composition of two or more colors to a recess (pixel formation region) on the substrate partitioned by the separation wall. In addition, a colored pixel group including a plurality of colored pixels of two or more colors (for example, red, green, blue, white, purple, etc.) is formed. The method for applying the colored photosensitive resin composition is not particularly limited, and a known method such as an ink-jet method, a slit coating method, or a trypgicer coating method can be used as appropriate. It is preferable to use an inkjet method. The stripe Geyser coating method is a method of forming stripe-like pixels by applying droplets onto a substrate using a Geyser having fine droplet ejection holes.

−インクジェット方式−
本発明に用いるインクジェット方式としては、帯電したインクを連続的に噴射し電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。
用いるインクは油性、水性であっても使用できる。また、そのインクに含まれる着色剤は染料、顔料ともに使用でき、耐久性の面からは顔料の使用がより好ましい。また、公知のカラーフィルタ作製に用いる、塗布方式の着色インク(着色樹脂組成物、例えば、特開2005−3861号公報[0034]〜[0063]記載)や、特開2004−325736号公報に記載の着色インクや、特開2002−372613号公報に記載のインクなど公知のインクを使用することもできる。
インクジェット方式に用いるインクには、着色後の工程を考慮し、加熱によって硬化する、又は紫外線などのエネルギー線によって硬化する成分を添加することもできる。加熱によって硬化する成分としては各種の熱硬化性樹脂が広く用いられ、またエネルギー線によって硬化する成分としては例えばアクリレート誘導体又はメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものを例示できる。特に耐熱性を考慮してアクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は水溶性のものが好ましく使用でき、水に難溶性のものでもエマルション化するなどして使用できる。
この場合、前記の感光性樹脂組成物で挙げた、顔料などの着色剤を含有させた感光性樹脂組成物を、好適なものとして用いることができる。
-Inkjet system-
The ink jet system used in the present invention includes a method in which charged ink is continuously ejected and controlled by an electric field, a method in which ink is ejected intermittently using a piezoelectric element, and an ink is intermittently heated by using its foam. Various methods such as a method of injecting the ink can be employed.
The ink used may be oily or water-based. Further, the colorant contained in the ink can be used for both dyes and pigments, and the use of pigments is more preferable from the viewpoint of durability. In addition, a coating-type colored ink (colored resin composition, for example, described in JP-A-2005-3861 [0034] to [0063]) or JP-A-2004-325736, which is used for producing a known color filter. Also known inks such as those described in JP-A-2002-372613 may be used.
In consideration of a process after coloring, a component that is cured by heating or that is cured by energy rays such as ultraviolet rays can be added to the ink used in the inkjet method. Various thermosetting resins are widely used as components that are cured by heating, and examples of components that are cured by energy rays include those obtained by adding a photoinitiator to an acrylate derivative or a methacrylate derivative. In particular, in view of heat resistance, those having a plurality of acryloyl groups and methacryloyl groups in the molecule are more preferable. These acrylate derivatives and methacrylate derivatives are preferably water-soluble, and even those that are sparingly soluble in water can be used after being emulsified.
In this case, the photosensitive resin composition containing a colorant such as a pigment described in the above-described photosensitive resin composition can be preferably used.

本発明におけるカラーフィルタは、インクジェット方式で画素形成されたカラーフィルタであることが好ましく、少なくともRGB3色のインクを吹き付けて少なくとも3色のカラーフィルタを形成することが好ましい。このようにして形成されたカラーフィルタのパターン形状は特に限定されるものではなく、一般的なブラックマトリックス形状であるストライプ状であっても、格子状であっても、さらにはデルタ配列状であってもよい。   The color filter in the present invention is preferably a color filter in which pixels are formed by an inkjet method, and it is preferable that at least three color filters are formed by spraying at least RGB three color inks. The pattern shape of the color filter thus formed is not particularly limited, and may be a general black matrix shape such as a stripe shape, a lattice shape, or a delta arrangement. May be.

(オーバーコート層)
カラーフィルタ作製後、全面に耐性向上のためにオーバーコート層を設ける場合がある。オーバーコート層は、インクR,G,Bの着色画素を保護するとともに、表面を平坦にすることができるが、工程数が増えるという観点から、設けないことが好ましい。
オーバーコート層を形成する樹脂(OC剤)としては、アクリル系樹脂組成物、エポキシ樹脂組成物、ポリイミド樹脂組成物などが挙げられる。中でも、可視光領域での透明性で優れており、また、カラーフィルタ用光硬化性組成物の樹脂成分が通常アクリル系樹脂を主成分としており、密着性に優れていることからアクリル系樹脂組成物が望ましい。
オーバーコート層の例として、特開2003−287618号公報の段落番号0018〜0028に記載のものや、オーバーコート剤の市販品として、JSR社製「オプトマーSS6699G」)が挙げられる。
(Overcoat layer)
After the color filter is manufactured, an overcoat layer may be provided on the entire surface to improve resistance. The overcoat layer can protect the colored pixels of the inks R, G, and B and can flatten the surface, but it is preferably not provided from the viewpoint of increasing the number of steps.
Examples of the resin (OC agent) forming the overcoat layer include an acrylic resin composition, an epoxy resin composition, and a polyimide resin composition. Above all, it is excellent in transparency in the visible light region, and the resin component of the photocurable composition for color filters is usually mainly composed of an acrylic resin, so that the acrylic resin composition is excellent in adhesion. Things are desirable.
Examples of the overcoat layer include those described in JP-A No. 2003-287618, paragraphs 0018 to 0028, and commercially available overcoat agents such as “Optomer SS6699G” manufactured by JSR.

着色画素層上には、必要に応じて透明電極、配向膜等を設けてもよい。透明電極の具体例としては、例えば、ITOが挙げられる。また、配向膜の具体例としては、ポリイミドが挙げられる。   A transparent electrode, an alignment film, and the like may be provided on the colored pixel layer as necessary. Specific examples of the transparent electrode include, for example, ITO. A specific example of the alignment film is polyimide.

≪表示装置≫
上記の方法によって得られるカラーフィルタは、液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロクロミック表示素子、PLZT等と組合せて表示素子として用いられる。カラーカメラやその他のカラーフィルタを用いる用途にも使用できる。
当該表示装置としては、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、EL表示装置、CRT表示装置などの表示装置などが挙げられる。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。
本発明のカラーフィルタを備えた表示装置のうち、液晶表示装置は特に好ましい。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はもちろんIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページに記載されている。
≪Display device≫
The color filter obtained by the above method is used as a display element in combination with a liquid crystal display element, an electrophoretic display element, an electrochromic display element, PLZT, or the like. It can also be used for applications using color cameras and other color filters.
Examples of the display device include display devices such as a liquid crystal display device, a plasma display display device, an EL display device, and a CRT display device. For the definition of display devices and explanation of each display device, refer to “Electronic Display Devices (Akio Sasaki, published by Industrial Research Institute 1990)”, “Display Devices (Junaki Ibuki, Industrial Books Co., Ltd.) Issue)).
Of the display devices provided with the color filter of the present invention, a liquid crystal display device is particularly preferable. The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Kenkyukai 1994)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to various types of liquid crystal display devices described in, for example, the “next generation liquid crystal display technology”. Among these, the present invention is particularly effective for a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Further, the present invention can be applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA. These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends-(issued in 2001 by Toray Research Center Research Division)".

液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明のカラーフィルタはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉 (株)富士キメラ総研 2003年発行)」に記載されている。   In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle compensation film. The color filter of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members. For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials and Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC Co., Ltd., 1994)”, “2003 Liquid Crystal Related Market Status and Future Prospects (Volume 2)” (Table Yoshiyoshi) Fuji Chimera Research Institute, published in 2003) ”.

尚、対象用途としては、テレビ、パーソナルコンピュータ、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビなどの用途に特に制限なく適用できる。   In addition, as a target use, it can apply without a restriction | limiting in particular to uses, such as portable terminals, such as a television, a personal computer, a liquid crystal projector, a game machine, a mobile phone, a digital camera, and a car navigation system.

以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、試薬、割合、機器、操作等は本発明の精神から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, reagents, ratios, equipment, operations, and the like shown in the following examples can be appropriately changed without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below.

≪含フッ素化合物の合成例≫
本発明における含フッ素化合物の例示化合物のうち、具体的な含フッ素化合物を例に合成例を示す。なお、例示化合物以外の本発明に係る含フッ素化合物についても同様の方法により合成することが可能である。
特にことわりのない限り、数値は質量部、質量%での表記である。また、分子量はゲルパーミッションクロマトグラフィ(GPC)によるポリスチレン換算の重量平均分子量であり、含フッ素化合物中のフッ素原子含有率は、構造式から想定されるフッ素量を表す。
≪Synthesis example of fluorine-containing compound≫
Of the exemplified compounds of the fluorine-containing compound in the present invention, a synthesis example will be shown by taking a specific fluorine-containing compound as an example. In addition, it is possible to synthesize the fluorine-containing compounds according to the present invention other than the exemplified compounds by the same method.
Unless otherwise specified, the numerical values are expressed in parts by mass and mass%. The molecular weight is a polystyrene-equivalent weight average molecular weight determined by gel permeation chromatography (GPC), and the fluorine atom content in the fluorine-containing compound represents the amount of fluorine assumed from the structural formula.

<含フッ素化合物(1)の合成例>
窒素気流下、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〔MMPG−Ac、ダイセル(株)製〕30gを、冷却管を設置した300mlの三つ口フラスコに入れ、パラフィン入りのウォーターバスで70℃まで加熱した。これに、MMPG−Ac35gにアクリル酸〔AA、東京化成工業(株)製〕2.5gと2−(パーフルオロヘキシル)−エチルアクリレート〔FAAC6、NOK(株)製〕25gと末端メチルポリエチレンオキシドモノマー〔PME1000、日本油脂(株)製、PEOの繰り返し数(23)末端Me〕22.5gとラウリルメルカプタン〔LM、東京化成工業(株)製〕0.70gとを溶解させた溶液及び、MMPG−Ac10gに2,2’−アゾビス(イソバレロニトリル)〔V65、和光純薬工業(株)製〕0.285gを溶解させた溶液をそれぞれプランジャーポンプで2時間かけて滴下した。滴下終了後、5時間攪拌した。
以上のようにして、2−(パーフルオロヘキシル)−エチルアクリレート〔FAAC6〕、アクリル酸〔AA〕、及びポリエチレンオキシドモノマー〔PME1000〕を共重合させて、FAAC6/AA/PME1000=50/5/45(質量比)の含フッ素化合物(1)を合成した。重量平均分子量は、1.3万であった。含フッ素化合物(1)中のフッ素原子含有率は、36質量%であった。
なお、含フッ素化合物(1)は、前述の例示化合物(1)に属する化合物である。
<Synthesis example of fluorine-containing compound (1)>
Under a nitrogen stream, 30 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (MMPG-Ac, manufactured by Daicel Corporation) was placed in a 300 ml three-necked flask equipped with a cooling tube and heated to 70 ° C. in a water bath containing paraffin. To this, 35 g of MMPG-Ac, 2.5 g of acrylic acid [AA, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.], 25 g of 2- (perfluorohexyl) -ethyl acrylate [FAAC6, manufactured by NOK Co., Ltd.], and terminal methyl polyethylene oxide monomer [PME1000, manufactured by NOF Corporation, PEO repeat number (23) terminal Me] 22.5 g and lauryl mercaptan [LM, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.] 0.70 g, and MMPG- A solution in which 0.285 g of 2,2′-azobis (isovaleronitrile) [V65, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.] was dissolved in 10 g of Ac was added dropwise over 2 hours with a plunger pump. After completion of dropping, the mixture was stirred for 5 hours.
As described above, 2- (perfluorohexyl) -ethyl acrylate [FAAC6], acrylic acid [AA], and polyethylene oxide monomer [PME1000] are copolymerized, and FAAC6 / AA / PME1000 = 50/5/45. A fluorine-containing compound (1) having a (mass ratio) was synthesized. The weight average molecular weight was 13,000. The fluorine atom content in the fluorine-containing compound (1) was 36% by mass.
The fluorine-containing compound (1) is a compound belonging to the above-described exemplary compound (1).

<含フッ素化合物(2)、(3)、(8)、(9)の合成例>
前記含フッ素化合物(1)の合成例に従い、含フッ素化合物(2)FAAC6/AA/PME1000=65/5/25(質量比)、含フッ素化合物(3)FAAC6/AA/PME1000=80/5/15(質量比)、含フッ素化合物(8)FAAC6/AA/PME1000=36/5/59(質量比)、含フッ素化合物(9)FAAC6/AA/PME1000=90/5/5(質量比)の合成を行った。それぞれの共重合成分、含フッ素化合物(2)、(3)、(8)、(9)中のフッ素原子含有率に関しては、表1のとおりである。
ただし、含フッ素化合物(9)に関しては、樹脂の溶解性が不足した為合成時に析出し、評価ができなかった。
なお、上記含フッ素化合物(2)、(3)は、前述の例示化合物(1)に属する化合物である。上記含フッ素化合物(8)、(9)は、例示化合物(1)と同様の構造を有するが、フッ素原子含有率が36〜70質量%の範囲外であるため、前述の例示化合物(1)には属しない。
<Synthesis example of fluorine-containing compound (2), (3), (8), (9)>
According to the synthesis example of the fluorine-containing compound (1), the fluorine-containing compound (2) FAAC6 / AA / PME1000 = 65/5/25 (mass ratio), the fluorine-containing compound (3) FAAC6 / AA / PME1000 = 80/5 / 15 (mass ratio), fluorine-containing compound (8) FAAC6 / AA / PME1000 = 36/5/59 (mass ratio), fluorine-containing compound (9) FAAC6 / AA / PME1000 = 90/5/5 (mass ratio) Synthesis was performed. The fluorine atom content in each copolymer component and fluorine-containing compound (2), (3), (8), (9) is as shown in Table 1.
However, regarding the fluorine-containing compound (9), since the solubility of the resin was insufficient, it was deposited at the time of synthesis and could not be evaluated.
The fluorine-containing compounds (2) and (3) are compounds belonging to the above-described exemplary compound (1). Although the said fluorine-containing compound (8), (9) has a structure similar to exemplary compound (1), since a fluorine atom content rate is outside the range of 36-70 mass%, the above-mentioned exemplary compound (1) Does not belong to.

<含フッ素化合物(4)の合成例>
前記含フッ素化合物(1)の合成例において、末端メチルポリエチレンオキシドモノマー〔PME1000、日本油脂(株)製、PEOの繰り返し数(23)末端Me〕を日本油脂(株)製のブレンマーANE1300、PEOの繰り返し数(30)末端ノニルPhに変更し、その他の成分を表1に記載の添加量に変更した以外は、前記含フッ素化合物(1)の合成例に従い、含フッ素化合物(4)FAAC6/AA/ANE1300=50/5/45(質量比)の合成を行った。
なお、含フッ素化合物(4)は、前述の例示化合物(21)に属する化合物である。
<Synthesis example of fluorine-containing compound (4)>
In the synthesis example of the fluorine-containing compound (1), terminal methylpolyethylene oxide monomer [PME1000, manufactured by NOF Corporation, PEO repeat number (23) terminal Me] was determined by Bremer ANE 1300, PEO manufactured by NOF Corporation. Fluorine-containing compound (4) FAAC6 / AA according to the synthesis example of fluorine-containing compound (1) except that the number of repetitions (30) was changed to terminal nonyl Ph and other components were changed to the addition amounts shown in Table 1. / ANE1300 = 50/5/45 (mass ratio) was synthesized.
In addition, a fluorine-containing compound (4) is a compound which belongs to the above-mentioned exemplary compound (21).

<含フッ素化合物(5)の合成例>
前記含フッ素化合物(1)の合成例において、末端メチルポリエチレンオキシドモノマー〔PME1000、日本油脂(株)製、PEOの繰り返し数(23)末端Me〕を新中村化学(株)製のNK−エステルM90G、PEOの繰り返し数(9)末端Meに変更し、その他の成分を表1に記載の添加量に変更した以外は、前記含フッ素化合物(1)の合成例に従い、含フッ素化合物(5)FAAC6/AA/M90G=50/5/45(質量比)の合成を行った。
なお、含フッ素化合物(5)は、前述の例示化合物(2)に属する化合物である。
<Synthesis example of fluorine-containing compound (5)>
In the synthesis example of the fluorine-containing compound (1), terminal methyl polyethylene oxide monomer [PME1000, manufactured by NOF Corporation, PEO repeat number (23) terminal Me] was changed to NK-ester M90G manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. , Fluorine-containing compound (5) FAAC6 according to the synthesis example of fluorine-containing compound (1) except that the number of repetitions of PEO (9) is changed to terminal Me and other components are changed to the addition amounts shown in Table 1. / AA / M90G = 50/5/45 (mass ratio) was synthesized.
In addition, a fluorine-containing compound (5) is a compound which belongs to the above-mentioned exemplary compound (2).

<含フッ素化合物(6)の合成例>
前記含フッ素化合物(1)の合成例において、アクリル酸〔AA、東京化成工業(株)製〕2.5gを添加しない以外は、前記含フッ素化合物(1)の合成例に従い、含フッ素化合物(6)FAAC6/PME1000=50/50(質量比)の合成を行った。
なお、含フッ素化合物(6)は、前述の例示化合物(25)に属する化合物である。
<Synthesis example of fluorine-containing compound (6)>
In the synthesis example of the fluorine-containing compound (1), except that 2.5 g of acrylic acid [AA, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.] is not added, the fluorine-containing compound ( 6) Synthesis of FAAC6 / PME1000 = 50/50 (mass ratio) was performed.
In addition, a fluorine-containing compound (6) is a compound which belongs to the above-mentioned exemplary compound (25).

<含フッ素化合物(7)の合成例>
前記含フッ素化合物(1)の合成例において、末端メチルポリエチレンオキシドモノマー〔PME1000、日本油脂(株)製、PEOの繰り返し数(23)末端Me〕を日本油脂(株)製のブレンマーPE350、PEOの繰り返し数(8)末端Hに変更し、その他の成分を表1に記載の添加量に変更した以外は、前記含フッ素化合物(1)の合成例に従い、含フッ素化合物(7)FAAC6/AA/PE350=50/5/45(質量比)の合成を行った。
なお、含フッ素化合物(7)は、前述の例示化合物(36)に属する化合物である。
<Synthesis example of fluorine-containing compound (7)>
In the synthesis example of the fluorine-containing compound (1), the terminal methyl polyethylene oxide monomer [PME1000, manufactured by NOF Corporation, PEO repeat number (23) terminal Me] was changed to that of Bremer PE350, PEO manufactured by NOF Corporation. Fluorine-containing compound (7) FAAC6 / AA / According to the synthesis example of fluorine-containing compound (1) except that the number of repetitions (8) was changed to terminal H and other components were changed to the addition amounts shown in Table 1. The synthesis of PE350 = 50/5/45 (mass ratio) was performed.
In addition, a fluorine-containing compound (7) is a compound which belongs to the above-mentioned exemplary compound (36).

<含フッ素化合物(10)の合成例>
前記含フッ素化合物(1)の合成例において、2−(パーフルオロヘキシル)−エチルアクリレート〔FAAC6、NOK(株)製〕を、3−(パーフルオロヘキシル)−2−ヒドロキシ−プロピルアクリレート〔R1633、ダイキン工業(株)製〕に変更し、末端メチルポリエチレンオキシドモノマー〔PME1000、日本油脂(株)製、PEOの繰り返し数(23)末端Me〕を、新中村化学(株)製のNKエステルAM230G、PEOの繰り返し数(23)末端メチルに変更した以外は、前記含フッ素化合物(1)の合成例に従い、含フッ素化合物(10)R1633/AA/AM230G=50/5/45(質量比)の合成を行った。
なお、含フッ素化合物(10)は、前述の例示化合物(27)に属する化合物である。
<Synthesis example of fluorine-containing compound (10)>
In the synthesis example of the fluorine-containing compound (1), 2- (perfluorohexyl) -ethyl acrylate [FAAC6, manufactured by NOK Co., Ltd.] was converted to 3- (perfluorohexyl) -2-hydroxy-propyl acrylate [R1633, Daikin Kogyo Co., Ltd.], terminal methyl polyethylene oxide monomer [PME1000, manufactured by NOF Corporation, PEO repeat number (23) terminal Me], NK ester AM230G manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. Synthesis of fluorine-containing compound (10) R1633 / AA / AM230G = 50/5/45 (mass ratio) according to the synthesis example of fluorine-containing compound (1) except that the number of PEO repeats (23) is changed to terminal methyl. Went.
In addition, a fluorine-containing compound (10) is a compound which belongs to the above-mentioned exemplary compound (27).

<含フッ素化合物(11)の合成例>
前記含フッ素化合物(1)の合成例において、末端メチルポリエチレンオキシドモノマー〔PME1000、日本油脂(株)製、PEOの繰り返し数(23)末端Me〕を、新中村化学(株)製のNKエステルAM130G、PEOの繰り返し数(13)末端メチルに変更し、その他の成分を表2に記載の添加量に変更した以外は、前記含フッ素化合物(1)の合成例に従い、含フッ素化合物(11)FAAC6/AA/AM130G=65/5/30(質量比)の合成を行った。
なお、含フッ素化合物(11)は、前述の例示化合物(15)に属する化合物である。
<Synthesis example of fluorine-containing compound (11)>
In the synthesis example of the fluorine-containing compound (1), terminal methylpolyethylene oxide monomer [PME1000, manufactured by NOF Corporation, PEO repeat number (23) terminal Me] was changed to NK ester AM130G manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. , Fluorine-containing compound (11) FAAC6 according to the synthesis example of fluorine-containing compound (1) except that the number of repeating PEO (13) is changed to terminal methyl and other components are changed to the addition amounts shown in Table 2. / AA / AM130G = 65/5/30 (mass ratio) was synthesized.
In addition, a fluorine-containing compound (11) is a compound which belongs to the above-mentioned exemplary compound (15).

<含フッ素化合物(12)の合成例>
前記含フッ素化合物(1)の合成例において、末端メチルポリエチレンオキシドモノマー〔PME1000、日本油脂(株)製、PEOの繰り返し数(23)末端Me〕を、新中村化学(株)製のNKエステルAM230G、PEOの繰り返し数(23)末端メチルに変更し、その他の成分を表2に記載の添加量に変更した以外は、前記含フッ素化合物(1)の合成例に従い、含フッ素化合物(12)FAAC6/AA/AM230G=50/5/45(質量比)の合成を行った。
なお、含フッ素化合物(12)は、前述の例示化合物(16)に属する化合物である。
<Synthesis example of fluorine-containing compound (12)>
In the synthesis example of the fluorine-containing compound (1), the terminal methyl polyethylene oxide monomer [PME1000, manufactured by NOF Corporation, PEO repeat number (23) terminal Me] is changed to NK ester AM230G manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. , Fluorine-containing compound (12) FAAC6 according to the synthesis example of fluorine-containing compound (1) except that the number of PEO repeats (23) was changed to terminal methyl and other components were changed to the addition amounts shown in Table 2. / AA / AM230G = 50/5/45 (mass ratio) was synthesized.
In addition, a fluorine-containing compound (12) is a compound which belongs to the above-mentioned exemplary compound (16).

<含フッ素化合物(13)の合成例>
前記含フッ素化合物(1)の合成例において、末端メチルポリエチレンオキシドモノマー〔PME1000、日本油脂(株)製、PEOの繰り返し数(23)末端Me〕を、新中村化学(株)製のNKエステルAM230G、PEOの繰り返し数(23)末端メチルに変更し、2−(パーフルオロヘキシル)−エチルアクリレート〔FAAC6、NOK(株)製〕を、下記合成例に従って合成した化合物M−1(2−(パーフルオロヘキシル)−エチルオキシカルバモイル−エチルアクリレート)に変更し、その他の成分を表2に記載の添加量に変更した以外は、前記含フッ素化合物(1)の合成例に従い、含フッ素化合物(13)M−1/AA/AM230G=50/5/45(質量比)の合成を行った。
なお、含フッ素化合物(13)は、前述の例示化合物(33)に属する化合物である。
<Synthesis example of fluorine-containing compound (13)>
In the synthesis example of the fluorine-containing compound (1), the terminal methyl polyethylene oxide monomer [PME1000, manufactured by NOF Corporation, PEO repeat number (23) terminal Me] is changed to NK ester AM230G manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. The compound M-1 (2- (perfluorohexyl) -ethyl acrylate [FAAC6, manufactured by NOK Co., Ltd.]) synthesized according to the following synthesis example Fluorinated compound (13) according to the synthesis example of the fluorinated compound (1) except that it was changed to fluorohexyl) -ethyloxycarbamoyl-ethyl acrylate) and other components were changed to the addition amounts shown in Table 2. Synthesis of M-1 / AA / AM230G = 50/5/45 (mass ratio) was performed.
In addition, a fluorine-containing compound (13) is a compound which belongs to the above-mentioned exemplary compound (33).

〜化合物M−1の合成例〜
窒素気流下、脱水テトラヒドロフラン〔anhydTHF、関東化学(株)製〕150g、パーフルオロヘキシルエタノール〔FA6、NOK(株)製〕182.1gを、アクリロイルオキシエチルイソシアネート〔AOI、昭和電工(株)製〕70.6gの入った滴下漏斗、冷却管を設置した1000mlの三つ口フラスコに入れ、氷冷したウォーターバスに浸した。内温が5℃以下となるように、滴下漏斗からAOIを滴下した。滴下後、室温まで昇温し、1時間攪拌した。攪拌後、50℃で4時間過熱する事で反応を完結した。反応液をジエチルエーテル/蒸留水で分液し、飽和食塩水で洗浄した後、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥した。硫酸マグネシウムを濾過にて取り除き、濾取した濾液を2,5−ジ−t−オクチルハイドロキノン100mgを添加して減圧濃縮する事で、化合物M−1の粗生成物を得た。これをヘキサン/酢酸エチル20/1のシリカゲルカラムクロマトグラフィにて精製することで、化合物M−1を234g(93%)で得た。
~ Synthesis Example of Compound M-1 ~
Under a nitrogen stream, 150 g of dehydrated tetrahydrofuran (anhydTHF, manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd.), 182.1 g of perfluorohexylethanol (FA6, manufactured by NOK Co., Ltd.), and acryloyloxyethyl isocyanate (AOI, manufactured by Showa Denko Co., Ltd.) It was put into a 1000 ml three-necked flask equipped with a dropping funnel and a condenser tube containing 70.6 g, and immersed in an ice-cooled water bath. AOI was dropped from the dropping funnel so that the internal temperature was 5 ° C. or lower. After dropping, the temperature was raised to room temperature and stirred for 1 hour. After stirring, the reaction was completed by heating at 50 ° C. for 4 hours. The reaction mixture was partitioned with diethyl ether / distilled water, washed with saturated brine, and the organic layer was dried over magnesium sulfate. Magnesium sulfate was removed by filtration, and 100 mg of 2,5-di-t-octylhydroquinone was added to the filtrate collected by filtration and concentrated under reduced pressure to obtain a crude product of compound M-1. This was purified by silica gel column chromatography with hexane / ethyl acetate 20/1 to obtain 234 g (93%) of Compound M-1.

前記で合成したそれぞれの共重合成分、含フッ素化合物(1)〜(13)中のフッ素原子含有率に関しては、表1及び表2のとおりである。また、各含フッ素化合物の固形分濃度は25%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加し調整している。   Table 1 and Table 2 show the fluorine atom content in each copolymer component and fluorine-containing compounds (1) to (13) synthesized above. Further, propylene glycol monomethyl ether acetate is added and adjusted so that the solid content concentration of each fluorine-containing compound is 25%.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

Figure 2008033229
Figure 2008033229

(表1及び表2中の記号の説明)
・PME1000: ブレンマーPME1000、PEOの繰り返し数(23)末端Me〔日本油脂(株)製〕
・AA : アクリル酸〔東京化成工業(株)製〕
・FAAC6 : 2−(パーフルオロヘキシル)−エチルアクリレート〔NOK(株)製〕
・M90G : NK−エステルM90G、PEOの繰り返し数(9)末端Me〔新中村化学(株)製〕
・ANE1300: ブレンマーANE1300、PEOの繰り返し数(30)末端ノニルPh〔日本油脂(株)製〕
・PE350 : ブレンマーPE350、PEOの繰り返し数(8)末端H〔日本油脂(株)製〕
・R1633 : 3−(パーフルオロヘキシル)−2−ヒドロキシ−プロピルアクリレート〔ダイキン工業(株)製〕
・M−1 : 2−(パーフルオロヘキシル)−エチルオキシカルバモイル−エチルアクリレート〔前記合成例による合成品〕
・AM130G : NK−エステルAM130G、PEOの繰り返し数(13)末端Me〔新中村化学(株)製〕
・AM230G : NK−エステルAM230G、PEOの繰り返し数(23)末端Me〔新中村化学(株)製〕
・V65 : 2,2’−アゾビス(イソバレロニトリル)〔和光純薬工業(株)製〕
・LM : ラウリルメルカプタン〔東京化成工業(株)製〕
・MMPG−Ac: プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〔ダイセル(株)製〕
(Explanation of symbols in Table 1 and Table 2)
PME1000: Bremer PME1000, PEO repeat number (23) Terminal Me [manufactured by NOF Corporation]
AA: Acrylic acid [manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]
FAAC6: 2- (perfluorohexyl) -ethyl acrylate [manufactured by NOK Corporation]
M90G: NK-ester M90G, PEO repeat number (9) Terminal Me [manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.]
ANE1300: Bremer ANE1300, PEO repeat number (30) Terminal nonyl Ph [manufactured by NOF Corporation]
PE350: Bremer PE350, PEO repeat number (8) Terminal H [manufactured by NOF Corporation]
R1633: 3- (perfluorohexyl) -2-hydroxy-propyl acrylate [manufactured by Daikin Industries, Ltd.]
M-1: 2- (perfluorohexyl) -ethyloxycarbamoyl-ethyl acrylate [synthetic product according to the above synthesis example]
AM130G: NK-ester AM130G, PEO repeat number (13) Terminal Me [manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.]
AM230G: NK-ester AM230G, PEO repeat number (23) Terminal Me [manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.]
V65: 2,2′-azobis (isovaleronitrile) [manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.]
・ LM: Lauryl mercaptan [manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]
MMPG-Ac: Propylene glycol monomethyl ether acetate (manufactured by Daicel Corporation)

≪感光性樹脂組成物の調製≫
感光性樹脂組成物K1は、まず表3に記載の量のK顔料分散物1、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150RPM10分間攪拌し、次いで、表3に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー2、ハイドロキノンモノメチルエーテル、DPHA液、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン、界面活性剤1、含フッ素化合物(1)をはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150RPM30分間攪拌することによって得られる。なお、表3に記載の量は質量部であり、詳しくは以下の組成となっている。
<< Preparation of photosensitive resin composition >>
The photosensitive resin composition K1 was first weighed in the amount of K pigment dispersion 1 and propylene glycol monomethyl ether acetate listed in Table 3, mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.) and stirred at 150 RPM for 10 minutes, and then Methyl ethyl ketone, binder 2, hydroquinone monomethyl ether, DPHA solution, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) -3 in the amounts shown in Table 3 '-Bromophenyl] -s-triazine, surfactant 1, and fluorine-containing compound (1) are weighed and added in this order at a temperature of 25 ° C. (± 2 ° C.), and 150 RPM30 at a temperature of 40 ° C. (± 2 ° C.). Obtained by stirring for a minute. In addition, the quantity of Table 3 is a mass part, and has the following composition in detail.

<K顔料分散物1>
・カーボンブラック(デグッサ社製 Nipex35) ・・・ 13.1%
・分散剤1 ・・・ 0.65%
<K pigment dispersion 1>
・ Carbon black (Nexex 35 manufactured by Degussa) ... 13.1%
Dispersant 1 ... 0.65%

Figure 2008033229
Figure 2008033229

・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、分子量3.7万) ・・・ 6.72%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・ 79.53%
-Polymer (Random copolymer of benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio, molecular weight 37,000) ... 6.72%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate ... 79.53%

<バインダー2>
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比のランダム共重合物、分子量3.8万) ・・・ 27%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・ 73%
<Binder 2>
・ Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio random copolymer, molecular weight 38,000) 27%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 73%

<DPHA液>
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合禁止剤MEHQ 500ppm含有、日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) ・・・ 76%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・ 24%
<DPHA solution>
-Dipentaerythritol hexaacrylate (containing 500 ppm of polymerization inhibitor MEHQ, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: KAYARAD DPHA) 76%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 24%

<界面活性剤1>
・下記構造物1 ・・・ 30%
・メチルエチルケトン ・・・ 70%
<Surfactant 1>
・ The following structure 1 ・ ・ ・ 30%
・ Methyl ethyl ketone 70%

Figure 2008033229
Figure 2008033229

Figure 2008033229
Figure 2008033229

[実施例1]
≪離画壁の形成≫
無アルカリガラス基板を、UV洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。基板を120℃3分熱処理して表面状態を安定化させた。
基板を冷却し23℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター(エフ・エー・エス・アジア社製、商品名:MH−1600)にて、上表に記載の組成よりなる感光性樹脂組成物K1を塗布した。引き続きVCD(真空乾燥装置、東京応化工業社製)で30秒間、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性を無くした後、120℃3分間プリベークして膜厚2.3μmの感光性樹脂組成物層K1を得た。
超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と感光性樹脂組成物層K1の間の距離を200μmに設定し、窒素雰囲気下、露光量300mJ/cmでパターン露光した。
[Example 1]
≪Formation of separation wall≫
The alkali-free glass substrate was cleaned with a UV cleaning apparatus, then brush-cleaned with a cleaning agent, and further ultrasonically cleaned with ultrapure water. The substrate was heat-treated at 120 ° C. for 3 minutes to stabilize the surface state.
After cooling the substrate and adjusting the temperature to 23 ° C., a glass substrate coater (manufactured by FS Asia Co., Ltd., trade name: MH-1600) having a slit-like nozzle has the composition described in the above table. Photosensitive resin composition K1 was applied. Subsequently, a part of the solvent was dried with a VCD (vacuum dryer, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) for 30 seconds to eliminate the fluidity of the coating layer, and then pre-baked at 120 ° C. for 3 minutes to obtain a photosensitive film thickness of 2.3 μm. A resin composition layer K1 was obtained.
With a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) with an ultra-high pressure mercury lamp, with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing vertically, the exposure mask surface and photosensitive resin The distance between the composition layers K1 was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 300 mJ / cm 2 in a nitrogen atmosphere.

次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、感光性樹脂組成物層K1の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を100倍に希釈したものにて23℃80秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で噴射して残渣除去を行い、大気下にて露光量2000mJ/cmにてポスト露光、続いて240℃50分にてポストベーク(加熱処理)を行って、膜厚2.0μm、光学濃度4.0、100μm幅の開口部を有するストライプ状の離画壁(離画壁付き基板)を得た。 Next, pure water is sprayed with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the photosensitive resin composition layer K1, and then a KOH developer (KOH, containing a nonionic surfactant, product name: CDK-1). , Manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.) was subjected to shower development at 23 ° C. for 80 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to obtain a patterning image. Subsequently, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultrahigh pressure washing nozzle to remove the residue, followed by post-exposure at an exposure amount of 2000 mJ / cm 2 in the atmosphere, followed by 240 ° C. for 50 minutes. Post-baking (heat treatment) was performed to obtain a striped separation wall (substrate with a separation wall) having an opening having a thickness of 2.0 μm, an optical density of 4.0, and a width of 100 μm.

≪カラーフィルタの作製≫
<画素用着色インク組成物の調製>
下記の成分のうち、先ず、顔料、高分子分散剤及び溶剤を混合し、3本ロールとビーズミルを用いて顔料分散液を得た。その顔料分散液をディソルバー等で十分攪拌しながら、その他の材料を少量ずつ添加し、赤色(R)画素用着色インク組成物を調製した。
≪Preparation of color filter≫
<Preparation of colored ink composition for pixels>
Among the following components, first, a pigment, a polymer dispersant, and a solvent were mixed, and a pigment dispersion was obtained using a three roll and bead mill. While sufficiently stirring the pigment dispersion with a dissolver or the like, other materials were added little by little to prepare a colored ink composition for red (R) pixels.

(赤色画素用着色インク組成物の組成)
・顔料(C.I.ピグメントレッド254) ・・・ 5部
・高分子分散剤(AVECIA社製ソルスパース24000) ・・・ 1部
・バインダー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、分子量3.7万) ・・・ 3部
・第一エポキシ樹脂(ノボラック型エポキシ樹脂、油化シェル社製エピコート154) ・・・ 2部
・第二エポキシ樹脂(ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル)・・・ 5部
・硬化剤(トリメリット酸) ・・・ 4部
・溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル ・・・ 80部
(Composition of colored ink composition for red pixel)
-Pigment (CI Pigment Red 254)-5 parts-Polymer dispersing agent (Solsperse 24000 manufactured by AVECIA)-1 part-Binder (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio random combination) Polymer, molecular weight 37,000) ... 3 parts, first epoxy resin (Novolac type epoxy resin, Epicoat 154 manufactured by Yuka Shell) ... 2 parts, second epoxy resin (neopentyl glycol diglycidyl ether) ) ... 5 parts ・ Curing agent (trimellitic acid) ・ ・ ・ 4 parts ・ Solvent: Ethyl 3-ethoxypropionate ・ ・ ・ 80 parts

さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントグリーン36を同量用いるほかは赤色画素用着色インク組成物の場合と同様にして緑色(G)画素用着色インク組成物を調製した。
さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントブルー15:6を同量用いるほかは赤色画素用着色インク組成物の場合と同様にして青色(B)画素用着色インク組成物を調製した。
Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A green (G) pixel colored ink composition was prepared in the same manner as the red pixel colored ink composition except that the same amount of pigment green 36 was used.
Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A blue (B) pixel colored ink composition was prepared in the same manner as the red pixel colored ink composition except that the same amount of CI Pigment Blue 15: 6 was used.

次に上記記載のR、G、Bの画素用着色インク組成物を用いて、上記で得られた離画壁付き基板の離画壁で区分された領域内(凸部で囲まれた凹部)に、インクジェット方式の記録装置を用いて所望の濃度になるまでインク組成物の吐出を行い、R、G、Bのパターンからなるカラーフィルタを作製した。画像着色後のカラーフィルタを230℃オーブン中で30分ベークすることで離画壁、各画素ともに完全に硬化させてカラーフィルタ基板を得た。   Next, in the region separated by the separation wall of the substrate with the separation wall obtained above using the colored ink composition for R, G, and B pixels described above (concave part surrounded by the convex part) Further, an ink composition was discharged using an ink jet recording apparatus until a desired concentration was obtained, and a color filter composed of R, G, and B patterns was produced. The color filter after image coloring was baked in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to completely cure the separation wall and each pixel, thereby obtaining a color filter substrate.

こうして得られたカラーフィルタを下記のごとく評価した。
(カラーフィルタの混色評価)
得られたカラーフィルタを画素を形成した側とは反対側から200倍の光学顕微鏡で目視観察して画素間の混色の有無を調べた。1000画素観察して下記のランクに分けた。結果を表10に示す。許容されるのはAランク、Bランク及びCランクのものである。
Aランク:混色が全くないもの
Bランク:混色が1〜2箇所のもの
Cランク:混色が3〜10箇所のもの
Dランク:混色が11箇所以上のもの
The color filter thus obtained was evaluated as follows.
(Evaluation of color mixing of color filters)
The obtained color filter was visually observed with a 200-fold optical microscope from the side opposite to the side on which the pixels were formed to check for color mixing between the pixels. 1000 pixels were observed and divided into the following ranks. The results are shown in Table 10. Allowed are those of A rank, B rank and C rank.
Rank A: No color mixing B Rank: Color mixing 1-2 places C Rank: Color mixing 3-10 places D Rank: Color mixing 11 places or more

≪液晶表示装置の作製≫
上記より得たカラーフィルタ基板のR画素、G画素、及びB画素並びに離画壁の上に更に、ITO(Indium Tin Oxide)の透明電極をスパッタリングにより形成した。
≪Production of liquid crystal display device≫
A transparent electrode of ITO (Indium Tin Oxide) was further formed by sputtering on the R pixel, G pixel, B pixel and separation wall of the color filter substrate obtained above.

このカラーフィルタのITO抵抗を測定した(三菱化学(株)製「ロレスタ」;四探針法でシート抵抗を測定)ところ、12Ω/□という非常に低い値を示した。   When the ITO resistance of this color filter was measured ("Loresta" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; sheet resistance was measured by the four-probe method), it showed a very low value of 12Ω / □.

<柱状スペーサパターンの形成>
下記のスペーサ用の感光性樹脂層用塗布液の処方SP1を、上記と同様のスリットコーターにより前記カラーフィルタのITO上に塗布し、乾燥して感光性樹脂層SP1を形成した。
(感光性樹脂層用塗布液の処方SP1)
・メタクリル酸/アリルメタクリレート共重合体(モル比=20/80、重量平均分子量40000;高分子物質) ・・・ 108部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合性モノマー)・・・ 64.7部
・2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔4’−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)−3’−ブロモフェニル〕−s−トリアジン ・・・ 6.24部
・ハイドロキノンモノメチルエーテル ・・・ 0.0336部
・ビクトリアピュアブルーBOHM(保土ヶ谷化学社製) ・・・ 0.874部
・メガファックF780F(大日本インキ化学工業(株)製;界面活性剤) ・・・ 0.856部
・メチルエチルケトン ・・・ 328部
・1−メトキシ−2−プロピルアセテート ・・・ 475部
・メタノール ・・・ 16.6部
<Formation of columnar spacer pattern>
The following coating SP1 for the photosensitive resin layer coating solution for spacers was applied onto the ITO of the color filter by the same slit coater as described above, and dried to form a photosensitive resin layer SP1.
(Prescription SP1 of coating solution for photosensitive resin layer)
・ Methacrylic acid / allyl methacrylate copolymer (molar ratio = 20/80, weight average molecular weight 40000; polymer substance) 108 parts dipentaerythritol hexaacrylate (polymerizable monomer) 64.7 parts 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) -3'-bromophenyl] -s-triazine ... 6.24 parts hydroquinone monomethyl Ether: 0.0336 parts, Victoria Pure Blue BOHM (Hodogaya Chemical Co., Ltd.): 0.874 parts, MegaFuck F780F (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd .; surfactant) 856 parts · Methyl ethyl ketone · · · 328 parts · 1-methoxy-2-propyl acetate · · · 475 parts · Methanol · - 16.6 parts

次に、所定のフォトマスクを介して超高圧水銀灯により300mJ/cmでプロキシミティー露光した。露光後、KOH現像液〔CDK−1(商品名)の100倍希釈液(pH=11.8)、富士写真フイルム(株)製〕を用いて未露光部の感光性樹脂層を溶解除去した。
続いて、230℃で30分間ベークし、ガラス基板上のITO膜の上の離画壁の上部に位置する部分に直径16μm、平均高さ3.7μmの柱状スペーサパターンを形成した。その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
Next, proximity exposure was performed at 300 mJ / cm 2 with an ultrahigh pressure mercury lamp through a predetermined photomask. After the exposure, the unexposed portion of the photosensitive resin layer was dissolved and removed using a KOH developer [CDK-1 (trade name) 100-fold diluted solution (pH = 11.8), manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.]. .
Subsequently, baking was performed at 230 ° C. for 30 minutes, and a columnar spacer pattern having a diameter of 16 μm and an average height of 3.7 μm was formed on a portion located on the upper part of the separation wall on the ITO film on the glass substrate. An alignment film made of polyimide was further provided thereon.

<液晶配向分割用突起の形成>
下記の突起用感光性樹脂層用塗布液の処方Aを、上記と同様のスリットコーターにより前記カラーフィルタ基板のITO上に塗布し、乾燥して突起用感光性樹脂層を形成した。
次に、突起用感光性樹脂層上に下記処方P1の中間層用塗布液を用いて、乾燥膜厚が1.6μmの中間層を設けた。
<Formation of protrusions for dividing liquid crystal alignment>
Prescription A of the following coating liquid for photosensitive resin layer for protrusions was applied onto the ITO of the color filter substrate by a slit coater similar to the above, and dried to form a photosensitive resin layer for protrusions.
Next, an intermediate layer having a dry film thickness of 1.6 μm was provided on the protrusion photosensitive resin layer using an intermediate layer coating solution of the following formulation P1.

(突起用感光性樹脂層用塗布液:処方A)
・ポジ型レジスト液 53.3部
(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製、FH−2413F)
・メチルエチルケトン 46.7部
・前記界面活性剤1 0.04部
(Coating liquid for photosensitive resin layer for protrusions: prescription A)
・ Positive resist solution 53.3 parts (FH-2413F, manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.)
・ Methyl ethyl ketone 46.7 parts ・ Surfactant 1 0.04 parts

(中間層用塗布液:処方P1)
・PVA205(ポリビニルアルコール、クラレ(株)製、
鹸化度=88%、重合度550) 32.2部
・ポリビニルピロリドン(アイエスピー・ジャパン(株)製、K−30 14.9部
・蒸留水 524部
・メタノール 429部
(Coating liquid for intermediate layer: prescription P1)
・ PVA205 (polyvinyl alcohol, manufactured by Kuraray Co., Ltd.,
Degree of saponification = 88%, degree of polymerization 550) 32.2 parts · Polyvinylpyrrolidone (manufactured by ASP Japan, K-30 14.9 parts · Distilled water 524 parts · Methanol 429 parts

次に、フォトマスクが突起用感光性樹脂層の表面から100μmの距離となるようにプロキシミティー露光機を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー150mJ/cmでプロキシミティー露光した。その後、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて33℃で30秒間基板に噴霧しながら現像し、突起用感光性樹脂層の不要部(露光部)を現像除去した。すると、前記カラーフィルタ基板のITO膜の上のR、G、Bの画素の上部に位置する部分に、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる突起が形成された。次いで、該突起が形成されたカラーフィルタ基板を240℃下で50分ベークすることにより、カラーフィルタ基板上に高さ1.5μm、縦断面形状が蒲鉾様の配向分割用突起を形成することができた。 Next, a proximity exposure machine is arranged so that the photomask is at a distance of 100 μm from the surface of the photosensitive resin layer for protrusions, and the proximity exposure is performed through the photomask with an irradiation energy of 150 mJ / cm 2 by an ultrahigh pressure mercury lamp. did. Thereafter, a 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution was developed while spraying on the substrate at 33 ° C. for 30 seconds with a shower type developing device, and unnecessary portions (exposed portions) of the photosensitive resin layer for protrusion were developed and removed. . As a result, a protrusion made of a photosensitive resin layer patterned in a desired shape was formed on a portion of the color filter substrate located on the ITO film and above the R, G, and B pixels. Next, the color filter substrate on which the protrusions are formed is baked at 240 ° C. for 50 minutes to form alignment splitting protrusions having a height of 1.5 μm and a vertical cross-sectional shape on the color filter substrate. did it.

更に、前記より得られたカラーフィルタ基板に対して、駆動側基板及び液晶材料を組合せることによって配向分割垂直配向型液晶表示素子を作製した。即ち、駆動側基板として、TFTと画素電極(導電層)とが配列形成されたTFT基板を準備し、該TFT基板の画素電極等が設けられた側の表面と、前記より得た、カラーフィルタ基板の配向分割用突起が形成された側の表面とが対向するように配置し、前記で形成したスペーサによる間隙を設けて固定した。この間隙に液晶材料を封入し、画像表示を担う液晶層を設けた。このようにして得た液晶セルの両面に、(株)サンリッツ製の偏光板HLC2−2518を貼り付けた。次いで、冷陰極管のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、配向分割垂直配向型液晶表示装置とした。   Further, an alignment-divided vertical alignment type liquid crystal display element was produced by combining the drive side substrate and the liquid crystal material with the color filter substrate obtained above. That is, a TFT substrate in which TFTs and pixel electrodes (conductive layers) are arrayed is prepared as a drive side substrate, the surface of the TFT substrate on which the pixel electrodes and the like are provided, and the color filter obtained from the above. The substrate was arranged so as to face the surface on the side where the alignment dividing projections were formed, and fixed with a gap formed by the spacers formed above. A liquid crystal material was sealed in the gap to provide a liquid crystal layer for image display. Polarizing plates HLC2-2518 manufactured by Sanlitz Co., Ltd. were attached to both surfaces of the liquid crystal cell thus obtained. Next, a backlight of a cold cathode tube was constructed and arranged on the side that would be the back side of the liquid crystal cell provided with the polarizing plate, thereby obtaining an alignment-divided vertical alignment type liquid crystal display device.

≪測定及び評価≫
<離画壁上親/疎水性評価>
上記実施例1と同様に作製した感光性樹脂組成物層K1を、マスクを使用せずに露光する以外は実施例1と同様の方法で露光を行い、その後ポスト露光まで同様の条件で行ってテスト用感光性樹脂組成物層を得た。得られたテスト用感光性樹脂組成物層に対し、実施例1で調製した赤色(R)画素用インクを接触角測定器(協和界面科学(株)製の接触角計(CA−A))を使い、20メモリの大きさの液体試料(インク試料)をつくり、針先から該インク試料を出して、前記のテスト用感光性樹脂組成物層に接触させることにより、テスト用感光性樹脂組成物層上に赤色(R)画素用インク滴を形成し、接触角計の覗き穴からインク滴の形状を観察し、25℃における接触角θを求めた。10秒放置後のインク接触角は10°であった。その後、かかるテスト用感光性樹脂組成物層を実施例1と同様の条件にてポストベークを行った後、再び赤色(R)画素用インクの接触角を測定したところ、37°まで向上した。また、上記接触角測定のインク滴を水滴に変更し、同様の手順でベーク前後の水接触角を測定したところ、ベーク前は48°、ベーク後は92°であった。
≪Measurement and evaluation≫
<Parent wall separation / hydrophobicity evaluation>
Except that the photosensitive resin composition layer K1 produced in the same manner as in Example 1 above is exposed without using a mask, the exposure is performed in the same manner as in Example 1, and then under the same conditions until post-exposure. A photosensitive resin composition layer for testing was obtained. The red (R) pixel ink prepared in Example 1 was contact angle measuring device (contact angle meter (CA-A) manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) with respect to the obtained photosensitive resin composition layer for testing. A photosensitive resin composition for testing is prepared by making a liquid sample (ink sample) having a size of 20 memories, taking out the ink sample from the tip of the needle, and bringing it into contact with the photosensitive resin composition layer for testing. Red (R) pixel ink droplets were formed on the physical layer, the shape of the ink droplets was observed from the viewing hole of the contact angle meter, and the contact angle θ at 25 ° C. was determined. The ink contact angle after standing for 10 seconds was 10 °. Thereafter, the test photosensitive resin composition layer was post-baked under the same conditions as in Example 1, and the contact angle of the red (R) pixel ink was measured again. As a result, the contact angle was improved to 37 °. Further, the ink droplet for the contact angle measurement was changed to a water droplet, and the water contact angle before and after baking was measured in the same procedure. As a result, it was 48 ° before baking and 92 ° after baking.

<離画壁−基板密着評価>
上記離画壁の形成と同様の条件にてパターン露光する工程まで行った基板を3枚用意し、現像時間を90秒、100秒、110秒と長くして処理を行った以外は同様の現像条件にて処理し、それぞれの現像時間での離画壁の欠けを1000画素分、目視で下記のごとく評価したところ、Bランクであった。なお、許容されるのはAランク、Bランク、及びCランクである。
(評価基準)
離画壁欠けが全く無い ・・・Aランク
離画壁欠けが1〜2箇所 ・・・Bランク
離画壁欠けが3〜10箇所 ・・・Cランク
離画壁欠けが11箇所以上 ・・・Dランク
<Evaluation of adhesion between separation wall and substrate>
The same development except that three substrates prepared up to the pattern exposure process under the same conditions as the above-mentioned separation wall formation were prepared and the development time was increased to 90 seconds, 100 seconds, and 110 seconds. The film was processed under the conditions, and the chipping of the separation wall at each development time was visually evaluated as follows for 1000 pixels. In addition, what is permitted is A rank, B rank, and C rank.
(Evaluation criteria)
No separation wall chipping ・ ・ ・ A rank 1 to 2 separation wall chippings ・ ・ ・ B rank 3 to 10 separation wall chipping ・ ・ ・ C rank 11 or more separation wall chippings ・ ・・ D rank

<液晶表示装置の評価>
上記実施例1で作製した液晶表示装置を、下記のごとく評価した。
液晶表示装置の各々について、グレイのテスト信号を入力させたときのグレイ表示を目視にて観察し、表示ムラの発生の有無を下記評価基準にしたがって評価した。評価結果を表10に示す。
(評価基準1)
A:まったくムラがみられない(非常に良い)
B:ガラス基板の縁部分にかすかにムラが見られるが、表示部に問題なし(良い)
C:表示部にかすかにムラが見られるが実用レベル(普通)
D:表示部にムラがある(やや悪い)
E:表示部に強いムラがある(非常に悪い)
<Evaluation of liquid crystal display device>
The liquid crystal display device produced in Example 1 was evaluated as follows.
For each liquid crystal display device, the gray display when a gray test signal was input was visually observed, and the presence or absence of display unevenness was evaluated according to the following evaluation criteria. Table 10 shows the evaluation results.
(Evaluation criteria 1)
A: No unevenness at all (very good)
B: Slight unevenness is observed on the edge of the glass substrate, but there is no problem in the display (good)
C: Slight unevenness on the display, but practical level (normal)
D: Display is uneven (somewhat bad)
E: Strong unevenness in display (very bad)

[実施例2]
≪感光性転写材料K1の製法≫
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方H1からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方P1から成る中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、前記感光性樹脂組成物K1を塗布、乾燥させた。このようにして仮支持体の上に乾燥膜厚が14.6μmの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が1.6μmの中間層と、乾燥膜厚が2.3μmの感光性樹脂組成物層を設け、最後に保護フイルム(厚さ12μmポリプロピレンフィルム)を圧着した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層(酸素遮断膜)とブラック(K)の感光性樹脂組成物層とが一体となった感光性転写材料を作製し、サンプル名を感光性転写材料K1とした。
[Example 2]
≪Method for producing photosensitive transfer material K1≫
On a 75 μm thick polyethylene terephthalate film temporary support, a coating solution for a thermoplastic resin layer having the following formulation H1 was applied and dried using a slit nozzle. Next, an intermediate layer coating solution having the following formulation P1 was applied and dried. Further, the photosensitive resin composition K1 was applied and dried. Thus, a thermoplastic resin layer having a dry film thickness of 14.6 μm, an intermediate layer having a dry film thickness of 1.6 μm, and a photosensitive resin composition layer having a dry film thickness of 2.3 μm on the temporary support. Finally, a protective film (12 μm thick polypropylene film) was pressure-bonded.
In this way, a photosensitive transfer material in which the temporary support, the thermoplastic resin layer, the intermediate layer (oxygen barrier film), and the photosensitive resin composition layer of black (K) are integrated is prepared, and the sample name is the photosensitive transfer material. It was set as K1.

<熱可塑性樹脂層用塗布液:処方H1>
・メタノール ・・・ 11.1部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・ 6.36部
・メチルエチルケトン ・・・ 52.4部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=55/11.7/4.5/28.8、分子量=10万、Tg≒70℃) ・・・ 5.83部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=63/37、平均分子量=1万、Tg≒100℃) ・・・ 13.6部
・2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン(新中村化学工業(株)製) ・・・ 9.1部
・前記界面活性剤1 ・・・ 0.54部
<Coating liquid for thermoplastic resin layer: Formulation H1>
Methanol: 11.1 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate: 6.36 parts Methyl ethyl ketone: 52.4 parts Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (co-polymer) Polymerization composition ratio (molar ratio) = 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8, molecular weight = 100,000, Tg≈70 ° C.) 5.83 parts styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization) Composition ratio (molar ratio) = 63/37, average molecular weight = 10,000, Tg≈100 ° C.) 13.6 parts · 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane (Shin Nakamura) Chemical Industry Co., Ltd.) 9.1 parts / surfactant 1 0.54 parts

<中間層用塗布液:処方P1>
・PVA205(ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、鹸化度=88%、重合度550) ・・・ 32.2部
・ポリビニルピロリドン(アイエスピー・ジャパン社製、K−30)・・・14.9部
・蒸留水 ・・・ 524部
・メタノール ・・・ 429部
<Intermediate layer coating solution: Formulation P1>
PVA205 (polyvinyl alcohol, manufactured by Kuraray Co., Ltd., degree of saponification = 88%, degree of polymerization 550) 32.2 parts Polyvinylpyrrolidone (APS Japan, K-30) 14.9 Parts ・ Distilled water ・ ・ ・ 524 parts ・ Methanol ・ ・ ・ 429 parts

≪離画壁の形成≫
無アルカリガラス基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。
得られたシランカップリング処理ガラス基板に、上記の製法にて作製された感光性転写材料K1からカバーフィルムを除去し、除去後に露出した感光性樹脂組成物層の表面と前記シランカップリング処理ガラス基板の表面とが接するように重ね合わせ、ラミネータ(株式会社日立インダストリイズ製(LamicII型))を用いて、前記100℃で2分間加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。続いてポリエチレンテレフタレートの仮支持体を、熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去した。仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と感光性樹脂組成物層の間の距離を200μmに設定し、露光量70mJ/cmでパターン露光した。
≪Formation of separation wall≫
The alkali-free glass substrate was washed with a rotating brush having nylon hair while spraying a glass detergent solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds by showering, and after washing with pure water shower, silane coupling solution (N-β (aminoethyl)) A 0.3% by mass aqueous solution of γ-aminopropyltrimethoxysilane, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water by shower. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating apparatus.
On the obtained silane coupling treated glass substrate, the cover film is removed from the photosensitive transfer material K1 produced by the above production method, and the surface of the photosensitive resin composition layer exposed after the removal and the silane coupling treated glass are removed. The substrate was superposed so that it was in contact with the surface of the substrate, and the substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes using a laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)). The laminate was laminated with a transfer speed of 2.2 m / min. Subsequently, the polyethylene terephthalate temporary support was peeled off at the interface with the thermoplastic resin layer to remove the temporary support. After peeling off the temporary support, exposure is performed with a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing vertically. The distance between the mask surface and the photosensitive resin composition layer was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 70 mJ / cm 2 .

次いで、KOH現像液〔CDK−1(商品名)の100倍希釈液(pH=11.8)、富士写真フイルム(株)製〕にて現像して、感光性樹脂組成物層の未露光部分及びその下の中間層、熱可塑性樹脂層を除去しガラス基板上にブラックマトリックスパターン様離画壁を得た。つづいて大気下においてアライナーにて基板の表から基板の全面を2000mJ/cmでポスト露光し、続いて240℃50分にてポストベークを行って光学濃度4.0の離画壁を得た。
次いで、実施例1と同様にカラーフィルタ、液晶表示装置を作製し、実施例1の記載と同様の評価を行った結果を表10に示す。
Next, development is performed with a KOH developer (100-fold diluted solution of CDK-1 (trade name) (pH = 11.8), manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.), and an unexposed portion of the photosensitive resin composition layer. The intermediate layer and the thermoplastic resin layer thereunder were removed to obtain a black matrix pattern-like separation wall on the glass substrate. Subsequently, the whole surface of the substrate was post-exposed at 2000 mJ / cm 2 from the surface of the substrate with an aligner in the atmosphere, followed by post-baking at 240 ° C. for 50 minutes to obtain a separation wall having an optical density of 4.0. .
Next, a color filter and a liquid crystal display device were produced in the same manner as in Example 1, and the results of evaluation similar to that described in Example 1 are shown in Table 10.

[実施例3]
上記感光性樹脂組成物K1において、添加する含フッ素化合物(1)を、含フッ素化合物(2)に変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K2を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K2作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 3]
In the photosensitive resin composition K1, the photosensitive resin composition K2 produced in the same procedure was used except that the fluorine-containing compound (1) to be added was changed to the fluorine-containing compound (2). Table 10 shows the results of producing the photosensitive transfer material K2 by the described method, performing the same procedure as in Example 2, and performing the same evaluation.

[実施例4]
上記感光性樹脂組成物K1において、添加する含フッ素化合物(1)を、含フッ素化合物(3)に変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K3を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K3作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 4]
In the photosensitive resin composition K1, the photosensitive resin composition K3 produced in the same procedure was used except that the fluorine-containing compound (1) to be added was changed to the fluorine-containing compound (3). Table 10 shows the results of producing a photosensitive transfer material K3 by the described method, performing the same procedure as in Example 2, and performing the same evaluation.

[実施例5]
上記感光性樹脂組成物K1において、添加する含フッ素化合物(1)を、含フッ素化合物(4)に変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K4を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K4作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 5]
In the photosensitive resin composition K1, the photosensitive resin composition K4 produced in the same procedure was used except that the fluorine-containing compound (1) to be added was changed to the fluorine-containing compound (4). Table 10 shows the results of producing a photosensitive transfer material K4 by the described method, performing the same procedure as in Example 2, and performing the same evaluation.

[実施例6]
上記感光性樹脂組成物K1において、添加する含フッ素化合物(1)を、含フッ素化合物(5)に変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K5を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K5作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 6]
In the photosensitive resin composition K1, the photosensitive resin composition K5 produced in the same procedure was used except that the fluorine-containing compound (1) to be added was changed to the fluorine-containing compound (5). The photosensitive transfer material K5 was prepared by the method described, and the results of the same procedure and the same evaluation as in Example 2 are shown in Table 10.

[実施例7]
上記感光性樹脂組成物K1において、添加する含フッ素化合物(1)を、含フッ素化合物(6)に変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K6を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K6作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 7]
In the photosensitive resin composition K1, the photosensitive resin composition K6 produced in the same procedure was used except that the fluorine-containing compound (1) to be added was changed to the fluorine-containing compound (6). The photosensitive transfer material K6 was prepared by the method described, and the results of the same procedure and the same evaluation as in Example 2 are shown in Table 10.

[実施例8]
上記感光性樹脂組成物K1において、添加する含フッ素化合物(1)を、含フッ素化合物(7)に変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K7を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K7作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 8]
In the photosensitive resin composition K1, the photosensitive resin composition K7 produced in the same procedure was used except that the fluorine-containing compound (1) to be added was changed to the fluorine-containing compound (7). Table 10 shows the results of producing a photosensitive transfer material K7 by the described method, performing the same procedure as in Example 2, and performing the same evaluation.

[実施例9]
実施例1における感光性樹脂組成物K1の組成を、下表のごとく変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K8を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K8を作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 9]
Photosensitive transfer by the method described in Example 2 using the photosensitive resin composition K8 prepared in the same procedure except that the composition of the photosensitive resin composition K1 in Example 1 was changed as shown in the table below. Table 10 shows the result of producing the material K8 and performing the same procedure and the same evaluation as in Example 2.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

[実施例10]
実施例1における感光性樹脂組成物K1の組成を、下表のごとく変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K9を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K9を作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 10]
Photosensitive transfer by the method described in Example 2 using the photosensitive resin composition K9 prepared in the same procedure except that the composition of the photosensitive resin composition K1 in Example 1 was changed as shown in the table below. Table 10 shows the results of manufacturing the material K9, performing the same procedure as in Example 2, and performing the same evaluation.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

[実施例11]
実施例1における感光性樹脂組成物K1の組成を、下表のごとく変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K10を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K10を作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 11]
Photosensitive transfer by the method described in Example 2 using the photosensitive resin composition K10 prepared in the same procedure except that the composition of the photosensitive resin composition K1 in Example 1 was changed as shown in the table below. Table 10 shows the results of manufacturing the material K10, performing the same procedure as in Example 2, and performing the same evaluation.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

[実施例12]
実施例1における感光性樹脂組成物K1の組成を、下表のごとく変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K11を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K11を作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 12]
Photosensitive transfer by the method described in Example 2 using the photosensitive resin composition K11 produced in the same procedure except that the composition of the photosensitive resin composition K1 in Example 1 was changed as shown in the table below. Table 10 shows the results of manufacturing the material K11, performing the same procedure as in Example 2, and performing the same evaluation.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

[実施例13]
実施例1において、RGB画素用着色インク組成物を下記のRGB画素用着色インク組成物2に変更した以外は、実施例1と同様の方法でカラーフィルタ、液晶表示装置を作製し、実施例1と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 13]
In Example 1, a color filter and a liquid crystal display device were produced in the same manner as in Example 1 except that the color ink composition for RGB pixels was changed to the color ink composition 2 for RGB pixels described below. Table 10 shows the same procedure and the results of the same evaluation.

−顔料分散液の調製−
ブロム化フタロシアニングリーン(C.I.Pigment Green36、商品名:Rionol Green 6YK、東洋インキ製造(株)製)に分散剤(上記分散剤1)及び溶剤(1,3−ブタンジオールジアセテート)(以下1,3−BGDAと略す。)を下記の表8に示す如く配合し、プレミキシングの後、モーターミルM−50(アイガー・ジャパン社製)で、直径0.65mmのジルコニアビーズを充填率80%で用い、周速9m/sで25時間分散し、G用顔料分散液(G1)を調製した。G用顔料分散液(G1)において、顔料及びその他の成分を表8に示す如く配合した以外はG用顔料分散液(G1)と同様にして、G用顔料分散液(G2),R用顔料分散液(R1),(R2),B用顔料分散液(B1),(B2)を調製した。尚、日機装社製ナノトラックUPA−EX150を用いて、この顔料分散液の数平均粒径を測定した。
-Preparation of pigment dispersion-
Brominated phthalocyanine green (CI Pigment Green 36, trade name: Rionol Green 6YK, manufactured by Toyo Ink Manufacturing Co., Ltd.) with a dispersant (dispersant 1 above) and a solvent (1,3-butanediol diacetate) 1,3-BGDA) is blended as shown in Table 8 below, and after premixing, zirconia beads having a diameter of 0.65 mm are filled with a motor mill M-50 (manufactured by Eiger Japan) at a filling rate of 80. %, And dispersed for 25 hours at a peripheral speed of 9 m / s to prepare a pigment dispersion for G (G1). In the G pigment dispersion (G1), except that the pigment and other components were blended as shown in Table 8, the same as the G pigment dispersion (G1), the G pigment dispersion (G2) and the R pigment Dispersions (R1) and (R2) and pigment dispersions for B (B1) and (B2) were prepared. The number average particle size of the pigment dispersion was measured using Nanotrack UPA-EX150 manufactured by Nikkiso Co., Ltd.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

次いで、下記表9に示す処方のとおり、溶剤、モノマー、界面活性剤成分を混合して、25℃で30分間攪拌したのち、不溶物が無いことを確認し、モノマー溶液を調製した。
次に、G用顔料分散液(G1)、G用顔料分散液(G2)を撹拌しながら、前記モノマー液をゆっくりと添加し、25℃で30分間撹拌し、G用インクジェットインク(インクG−1)を調製した。
同様に各色インク(B−1、R−1)を調整した。
Next, as shown in the following Table 9, the solvent, the monomer and the surfactant component were mixed and stirred at 25 ° C. for 30 minutes. After confirming that there was no insoluble matter, a monomer solution was prepared.
Next, while stirring the pigment dispersion liquid for G (G1) and the pigment dispersion liquid for G (G2), the monomer liquid is slowly added and stirred at 25 ° C. for 30 minutes. 1) was prepared.
Similarly, each color ink (B-1, R-1) was adjusted.

用いた素材の詳細を示す。
・C.I.P.R.254(商品名:Irgaphor Red B−CF、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)
・C.I.P.R.177(商品名:Cromophtal Red A2B、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)
・C.I.P.Y.150 (商品名:Bayplast Yellow 5GN 01、バイエル株式会社製)
・C.I.P.B.15:6(商品名:Rionol Blue ES、東洋インキ製造(株)製)
・C.I.P.V.23(商品名:Hostaperm Violet RL−NF、 クラリアントジャパン(株)製)
・1,3−BGDA(1,3−ブタンジオールジアセテート;沸点232℃)
・DPHA(日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA)、(固形分100%)
・界面活性剤2:前記界面活性剤1の欄に示した構造物1(固形分100%)
Details of the materials used are shown.
・ C. I. P. R. 254 (Brand name: Irgaphor Red B-CF, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.)
・ C. I. P. R. 177 (trade name: Chromophthal Red A2B, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.)
・ C. I. P. Y. 150 (Brand name: Bayplast Yellow 5GN 01, manufactured by Bayer Corporation)
・ C. I. P. B. 15: 6 (trade name: Rionol Blue ES, manufactured by Toyo Ink Manufacturing Co., Ltd.)
・ C. I. P. V. 23 (Product name: Hostaperm Violet RL-NF, manufactured by Clariant Japan Co., Ltd.)
1,3-BGDA (1,3-butanediol diacetate; boiling point 232 ° C.)
・ DPHA (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: KAYARAD DPHA), (solid content: 100%)
Surfactant 2: Structure 1 (100% solid content) shown in the surfactant 1 column

Figure 2008033229
Figure 2008033229

[実施例14]
上記感光性樹脂組成物K1において、添加する含フッ素化合物(1)を、含フッ素化合物(10)に変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K12を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K12を作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 14]
In the photosensitive resin composition K1, the photosensitive resin composition K12 produced in the same procedure was used except that the fluorine-containing compound (1) to be added was changed to the fluorine-containing compound (10). A photosensitive transfer material K12 was prepared by the method described, and the results of the same procedure and the same evaluation as in Example 2 are shown in Table 10.

[実施例15]
上記感光性樹脂組成物K1において、添加する含フッ素化合物(1)を、含フッ素化合物(11)に変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K13を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K13を作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 15]
In the photosensitive resin composition K1, the photosensitive resin composition K13 produced in the same procedure was used except that the fluorine-containing compound (1) to be added was changed to the fluorine-containing compound (11). A photosensitive transfer material K13 was prepared by the method described, and the results of the same procedure and the same evaluation as in Example 2 are shown in Table 10.

[実施例16]
上記感光性樹脂組成物K1において、添加する含フッ素化合物(1)を、含フッ素化合物(12)に変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K14を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K14を作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 16]
In the photosensitive resin composition K1, the photosensitive resin composition K14 produced in the same procedure was used except that the fluorine-containing compound (1) to be added was changed to the fluorine-containing compound (12). A photosensitive transfer material K14 was prepared by the method described, and the results of the same procedure and the same evaluation as in Example 2 are shown in Table 10.

[実施例17]
上記感光性樹脂組成物K1において、添加する含フッ素化合物(1)を、含フッ素化合物(13)に変更した以外は同様の手順にて作製した感光性樹脂組成物K15を用い、実施例2に記載の方法にて感光性転写材料K15を作製し、実施例2と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Example 17]
In the photosensitive resin composition K1, the photosensitive resin composition K15 produced in the same procedure was used except that the fluorine-containing compound (1) to be added was changed to the fluorine-containing compound (13). The photosensitive transfer material K15 was produced by the method described, and the results of the same procedure and the same evaluation as in Example 2 are shown in Table 10.

[比較例1]
上記感光性樹脂組成物K1において、添加する含フッ素化合物(1)を、含フッ素化合物(8)に変更した以外は、実施例1と同様の手順、同様の評価を行った結果を表10に示す。
[Comparative Example 1]
Table 10 shows the results of the same procedure and the same evaluation as in Example 1 except that the fluorine-containing compound (1) to be added was changed to the fluorine-containing compound (8) in the photosensitive resin composition K1. Show.

[比較例2]
含フッ素化合物(9)に関しては、樹脂の溶解性が不足した為合成時に析出し、評価ができなかった。
[Comparative Example 2]
With respect to the fluorine-containing compound (9), since the solubility of the resin was insufficient, it was deposited at the time of synthesis and could not be evaluated.

Figure 2008033229
Figure 2008033229

表10に示すように、本発明の感光性樹脂組成物を用いて、離画壁、カラーフィルタ、及び液晶表示装置を作製した場合(実施例1〜17)は、離画壁−基板間の密着性が良好(又は許容範囲内)であり、混色及び表示ムラが抑制されていた。
一方、含フッ素化合物中のフッ素原子含有率が26質量%である感光性樹脂組成物を用いて、離画壁、カラーフィルタ、及び液晶表示装置を作製した場合(比較例1)は、離画壁−基板間の密着性、混色、及び表示ムラが悪化し、許容範囲を超えていた。
As shown in Table 10, when a separation wall, a color filter, and a liquid crystal display device were produced using the photosensitive resin composition of the present invention (Examples 1 to 17), between the separation wall and the substrate. Adhesion was good (or within an allowable range), and color mixing and display unevenness were suppressed.
On the other hand, when a separation wall, a color filter, and a liquid crystal display device were produced using the photosensitive resin composition having a fluorine atom content of 26% by mass in the fluorine-containing compound (Comparative Example 1), the separation was performed. The adhesion between the wall and the substrate, color mixing, and display unevenness deteriorated and exceeded the allowable range.

なお、上記実施例では、含フッ素化合物として前記含フッ素化合物(1)〜(7)、(10)〜(13)のそれぞれを用いた場合を中心に説明したが、本発明の範囲に含まれる含フッ素化合物のうち、他の含フッ素化合物を用いた場合や、2種以上を組み合わせて用いた場合も、本実施例と同様の作用を発揮し得、上記同様に、離画壁−基板間の密着性を良好に保ちつつ、混色及び表示ムラを抑制することができる。   In addition, although the said Example centered on the case where each of said fluorine-containing compound (1)-(7), (10)-(13) was used as a fluorine-containing compound, it was included in the scope of the present invention. Among the fluorine-containing compounds, when other fluorine-containing compounds are used or when two or more kinds are used in combination, the same effect as in this example can be exhibited, and similarly, the separation wall-substrate Color mixing and display unevenness can be suppressed while maintaining good adhesion.

本発明において、離画壁上面、離画壁側面、基板上の凹部等を説明するためのカラーフィルタの断面図である。In the present invention, it is a cross-sectional view of a color filter for explaining a separation wall upper surface, a separation wall side surface, a concave portion on a substrate, and the like.

符号の説明Explanation of symbols

1 ・・・離画壁
2 ・・・着色画素(着色領域)
3 ・・・凹部
4 ・・・離画壁上面
5 ・・・離画壁側面
6 ・・・基板
1... Separation wall 2... Colored pixel (colored area)
3... Recessed portion 4... Separation wall upper surface 5... Separation wall side surface 6.

Claims (12)

感光性樹脂組成物であって、該感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン画像上面の水接触角を、JIS R3257に記載の方法に準拠し測定した際、加熱処理を施す前のパターン画像上面の水接触角をA°、240℃で50分加熱処理し、1時間放冷した後のパターン画像上面の水接触角をB°としたとき、接触角差B°−A°が、20°以上であることを特徴とする感光性樹脂組成物。   A photosensitive resin composition, wherein the water contact angle on the upper surface of a pattern image formed using the photosensitive resin composition is measured in accordance with the method described in JIS R3257, before the heat treatment is performed. When the water contact angle on the upper surface of the image is heat treated at A ° and 240 ° C. for 50 minutes and the water contact angle on the upper surface of the pattern image after cooling for 1 hour is B °, the contact angle difference B ° −A ° is A photosensitive resin composition having an angle of 20 ° or more. 少なくとも、1)開始剤、2)バインダー、3)エチレン性不飽和化合物、4)色材、および5)含フッ素化合物を含む感光性樹脂組成物であって、該含フッ素化合物が、少なくともフッ素原子を側鎖に有する繰り返し単位を含み、該含フッ素化合物中のフッ素原子含有率が36〜70質量%であることを特徴とする感光性樹脂組成物。   A photosensitive resin composition comprising at least 1) an initiator, 2) a binder, 3) an ethylenically unsaturated compound, 4) a colorant, and 5) a fluorine-containing compound, wherein the fluorine-containing compound is at least a fluorine atom A photosensitive resin composition comprising a repeating unit having a side chain and a fluorine atom content in the fluorine-containing compound of 36 to 70% by mass. 前記含フッ素化合物が、(a)少なくともフッ素原子を側鎖に有する繰り返し単位と、(b)ポリエーテル構造を側鎖に有する繰り返し単位と、を含むことを特徴とする請求項2に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive compound according to claim 2, wherein the fluorine-containing compound contains (a) a repeating unit having at least a fluorine atom in a side chain and (b) a repeating unit having a polyether structure in a side chain. Resin composition. 前記含フッ素化合物が、(a)少なくともフッ素原子を側鎖に有する繰り返し単位と、(b)ポリエーテル構造を側鎖に有する繰り返し単位と、(c)カルボン酸基を側鎖に有する繰り返し単位と、を含むことを特徴とする請求項2又は3に記載の感光性樹脂組成物。   The fluorine-containing compound is (a) a repeating unit having at least a fluorine atom in the side chain, (b) a repeating unit having a polyether structure in the side chain, and (c) a repeating unit having a carboxylic acid group in the side chain. The photosensitive resin composition of Claim 2 or 3 characterized by the above-mentioned. 前記(b)ポリエーテル構造を側鎖に有する繰り返し単位が、末端封止型のポリエーテル構造を持つことを特徴とする請求項3又は4に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 3 or 4, wherein the repeating unit (b) having a polyether structure in a side chain has a terminal-capped polyether structure. 仮支持体上に、請求項1〜5のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を有する感光性転写材料。   The photosensitive transfer material which has the photosensitive resin layer which consists of the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-5 on a temporary support body. 基板の少なくとも一方の面に、請求項1〜5のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物、もしくは請求項6に記載の感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、
前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、
露光された前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、
前記現像して得られた感光性樹脂層からなるパターン画像を加熱処理する加熱処理工程と、
を少なくとも有することを特徴とする離画壁の製造方法。
Photosensitivity which forms the photosensitive resin layer in the at least one surface of a board | substrate using the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-5, or the photosensitive transfer material of Claim 6. A resin layer forming step;
An exposure step of exposing the photosensitive resin layer;
A development step of developing the exposed photosensitive resin layer;
A heat treatment step of heat-treating a pattern image formed of the photosensitive resin layer obtained by the development;
A method for producing a separation wall, comprising:
請求項7に記載の離画壁の製造方法より形成されたことを特徴とする離画壁。   A separation wall formed by the method for producing a separation wall according to claim 7. 請求項8に記載の離画壁が基板上を区画し、区画された基板上の凹部に、着色液体組成物を付与することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。   9. A method for producing a color filter, wherein the separation wall according to claim 8 partitions the substrate, and the colored liquid composition is applied to the recesses on the partitioned substrate. 請求項9に記載の着色液体組成物を付与する方法が、着色液体組成物の液滴をインクジェット法により付与して画素を形成する画素形成方法であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。   10. A method for producing a color filter, wherein the method for applying a colored liquid composition according to claim 9 is a pixel forming method for forming pixels by applying droplets of the colored liquid composition by an ink jet method. 請求項9又は10に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。   The color filter manufactured by the manufacturing method of the color filter of Claim 9 or 10. 請求項11に記載のカラーフィルタを有する表示装置。   A display device comprising the color filter according to claim 11.
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